JP7255659B1 - 静電チャック装置 - Google Patents
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Abstract
Description
静電チャック装置1は、ウエハ(試料)Wを搭載する載置面2sを有する静電チャックプレート2と、静電チャックプレート2を載置面2sの反対側から支持する基台3と、静電チャックプレート2に電圧を付与する給電端子16と、を備える。なお、静電チャックプレート2の上面の外周部には、ウエハWを囲むフォーカスリングが配置されていてもよい。
多孔体40は、第1貫通孔31の内周面31aに接着固定される。第1貫通孔31の内周面31aと多孔体40の外周面40aとの間には、第1接着層50が設けられる。第1接着層50は、第1貫通孔31の内周面31aと多孔体40の外周面40aとを互いに接着する。
次に、上述の実施形態に採用可能な複数の変形例の多孔体およびその近傍の構成について説明する。なお、以下に説明する各変形例の説明において、既に説明した実施形態および変形例と同一態様の構成要素については、同一符号を付し、その説明を省略する。また、以下に説明する各変形例において、それぞれの第1接着層は、載置面から0.1mmまでの領域Aにおいて、厚さが0.15mm以下とされている。
図3は、変形例1の静電チャック装置101の部分断面模式図である。
上述の実施形態と同様に、第1貫通孔31の内周面31aには、第1接着層150を介して多孔体140が接着固定される。一方で、第2貫通孔32には、筒状の碍子124が挿入される。
図4は、変形例2の静電チャック装置201の部分断面模式図である。
上述の実施形態と同様に、第1貫通孔231の内周面231aには、第1接着層250を介して多孔体240が接着固定される。一方で、第2貫通孔32には、筒状の碍子224が挿入される。
図5は、変形例3の静電チャック装置301の部分断面模式図である。
上述の実施形態と同様に、第1貫通孔31の内周面31aには、第1接着層350を介して多孔体340が接着固定される。一方で、第2貫通孔332には、筒状の碍子324が挿入される。
図6は、変形例4の静電チャック装置401の部分断面模式図である。
上述の実施形態と同様に、第1貫通孔31の内周面31aには、第1接着層450を介して多孔体440が接着固定される。一方で、第2貫通孔332には、筒状の碍子424が挿入される。
Claims (8)
- 試料を搭載する載置面が設けられる誘電体基板、および前記誘電体基板の内部に位置する吸着電極を有する静電チャックプレートと、
前記静電チャックプレートを前記載置面の反対側から支持する基台と、を備え、
前記静電チャックプレートには、前記載置面にガスを供給する第1貫通孔が設けられ、
前記第1貫通孔には、前記ガスを通過させる多孔体が挿入され、
前記第1貫通孔の内周面と前記多孔体の外周面との間には、前記内周面と前記外周面とを互いに接着する第1接着層が設けられ、
前記第1接着層の厚さ寸法は、少なくとも前記載置面から0.1mmまでの領域において0mm以上0.15mm以下であり、
前記静電チャックプレートと前記基台との間には、前記静電チャックプレートと前記基台とを互いに接着する第2接着層が設けられ、
前記第2接着層は、
前記第1接着層と接触する接触部と、
前記接触部を囲む剥離抑制部と、を有する、静電チャック装置。 - 前記剥離抑制部の厚さ寸法は、前記接触部の厚さ寸法より大きい、請求項1に記載の静電チャック装置。
- 前記基台には、前記第1貫通孔に繋がる第2貫通孔が設けられ、
前記第2貫通孔には、筒状の碍子が挿入され、
前記第2貫通孔の前記静電チャックプレート側の開口部には、直径を大きくする大径部が設けられ、
前記剥離抑制部の一部は、前記大径部と前記碍子の外周面との間に配置される、請求項1又は2に記載の静電チャック装置。 - 試料を搭載する載置面が設けられる誘電体基板、および前記誘電体基板の内部に位置する吸着電極を有する静電チャックプレートと、
前記静電チャックプレートを前記載置面の反対側から支持する基台と、を備え、
前記静電チャックプレートには、前記載置面にガスを供給する第1貫通孔が設けられ、
前記第1貫通孔には、前記ガスを通過させる多孔体が挿入され、
前記第1貫通孔の内周面と前記多孔体の外周面との間には、前記内周面と前記外周面とを互いに接着する第1接着層が設けられ、
前記第1接着層の厚さ寸法は、少なくとも前記載置面から0.1mmまでの領域において0mm以上0.15mm以下であり、
前記載置面の平面視において、前記第1接着層が前記多孔体に隠れる、静電チャック装置。 - 前記第1貫通孔には、前記載置面から深さ方向に離れるに従い直径を小さくするテーパ面が設けられ、
前記多孔体の外周面には、前記テーパ面に対向する円錐面が設けられる、
請求項4に記載の静電チャック装置。 - 試料を搭載する載置面が設けられる誘電体基板、および前記誘電体基板の内部に位置する吸着電極を有する静電チャックプレートと、
前記静電チャックプレートを前記載置面の反対側から支持する基台と、を備え、
前記静電チャックプレートには、前記載置面にガスを供給する第1貫通孔が設けられ、
前記第1貫通孔には、前記ガスを通過させる多孔体が挿入され、
前記第1貫通孔の内周面と前記多孔体の外周面との間には、前記内周面と前記外周面とを互いに接着する第1接着層が設けられ、
前記第1接着層の厚さ寸法は、少なくとも前記載置面から0.1mmまでの領域において0mm以上0.15mm以下であり、
前記基台には、前記第1貫通孔に繋がる第2貫通孔が設けられ、
前記第2貫通孔には、筒状の碍子が挿入され、
前記碍子の前記静電チャックプレート側の端面には、凹溝が設けられ、
前記第1接着層の一部は、前記凹溝の内部まで延びる、静電チャック装置。 - 前記静電チャックプレートと前記基台との間には、前記静電チャックプレートと前記基台とを互いに接着する第2接着層が設けられ、
前記第1接着層と前記第2接着層とは、互いに離間する、請求項4~6の何れか一項に記載の静電チャック装置。 - 前記基台には、前記第1貫通孔に繋がる第2貫通孔が設けられ、
前記第2貫通孔には、筒状の碍子が挿入され、
前記碍子は、前記静電チャックプレートに接触する、
請求項4~7の何れか一項に記載の静電チャック装置。
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