JP2016225557A - 試料保持具およびこれを用いたプラズマエッチング装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 試料保持具10は、上面に試料保持面11を有し下面に凹部12を有するセラミック体1と、前記試料保持面11に沿って広がって前記セラミック体1に埋設された静電吸着用電極2と、該静電吸着用電極2から前記セラミック体1の下面側に伸びるビアホール導体4と、該ビアホール導体4の前記セラミック体1の下面側の端部に接続されるとともに前記セラミック体1の上面に沿う方向に設けられて、少なくとも一部が前記凹部12に露出する電極5と、前記凹部12に挿入されて前記電極5に接続されたリード端子9とを備えており、前記電極5は、前記リード端子9に接続された部分よりも前記ビアホール導体4に接続された部分の方が厚い。
【選択図】 図1
Description
る反りを低減することができる。
いて、電極5の一部が露出している。より具体的には、電極5を凹部12が貫いており、凹部12の壁面に電極5が露出している。凹部12は、リード端子9を挿入するために設けられている。凹部12の形状は、例えば円柱状である。凹部12の寸法は、挿入されるリード端子9の寸法に対応して定められる。具体的には、リード端子9の外周面と凹部12の内周面との間にリード端子9を容易に挿入できる程度の隙間を形成するように、凹部12の寸法は設定される。リード端子9が外径1.5mmの円柱状の場合には、凹部12の径は2〜10mmに設定することができる。
11 :試料保持面
12 :凹部
2 :静電吸着用電極
3 :発熱抵抗体
4 :ビアホール導体
5 :電極
6 :ベースプレート
7 :絶縁層
8 :樹脂層
9 :リード端子
10 :試料保持具
100:プラズマエッチング装置
Claims (5)
- 上面に試料保持面を有し下面に凹部を有するセラミック体と、前記試料保持面に沿って広がって前記セラミック体に埋設された静電吸着用電極と、該静電吸着用電極から前記セラミック体の下面側に伸びるビアホール導体と、該ビアホール導体の前記セラミック体の下面側の端部に接続されるとともに前記試料保持面に沿う方向に設けられて、少なくとも一部が前記凹部に露出する電極と、前記凹部に挿入されて前記電極に接続されたリード端子とを備えており、前記電極は、前記リード端子に接続された部分よりも前記ビアホール導体に接続された部分の方が厚いことを特徴とする試料保持具。
- 前記静電吸着用電極の上面は、前記ビアホール導体が接続された部分の直上が前記試料保持面側に凸形状であることを特徴とする請求項1に記載の試料保持具。
- 前記ビアホール導体は、前記静電吸着用電極に接続された部分および前記電極に接続された部分において細くなっていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の試料保持具。
- 前記電極は、前記リード端子に接続された部分から前記ビアホール導体に接続された部分にかけて徐々に厚くなっていることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の試料保持具。
- 真空チャンバと、該真空チャンバ内に配置された高周波印加用電極を有するベースプレートと、該ベースプレートに搭載された請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の試料保持具とを備えたプラズマエッチング装置。
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