JPH0513557A - 静電チヤツク装置 - Google Patents
静電チヤツク装置Info
- Publication number
- JPH0513557A JPH0513557A JP16423191A JP16423191A JPH0513557A JP H0513557 A JPH0513557 A JP H0513557A JP 16423191 A JP16423191 A JP 16423191A JP 16423191 A JP16423191 A JP 16423191A JP H0513557 A JPH0513557 A JP H0513557A
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- Japan
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- chuck
- plate
- electrode plates
- power receiving
- receiving electrode
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 チャック電極板への給電性に優れるととも
に、セラミック板の表面層の破損の防止を図った静電チ
ャック装置の提供。 【構成】 裏面に凹部１１、１２を形成し表面がチャッ
ク面１３とされるアルミナ板１と、アルミナ板１内に埋
設されるチャック電極板２、３と、凹部１１，１２の底
で露出する様にアルミナ板１内に埋設される受電用電極
板４、５と、チャック電極板２、３と受電用電極板４、
５とを電気接続する連絡部６、７とを備え、高電圧発生
装置に電気接続した給電用電極８、９を受電用電極板
４、５の露出面４１、５１に押圧させてなる。
に、セラミック板の表面層の破損の防止を図った静電チ
ャック装置の提供。 【構成】 裏面に凹部１１、１２を形成し表面がチャッ
ク面１３とされるアルミナ板１と、アルミナ板１内に埋
設されるチャック電極板２、３と、凹部１１，１２の底
で露出する様にアルミナ板１内に埋設される受電用電極
板４、５と、チャック電極板２、３と受電用電極板４、
５とを電気接続する連絡部６、７とを備え、高電圧発生
装置に電気接続した給電用電極８、９を受電用電極板
４、５の露出面４１、５１に押圧させてなる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、シリコンウエハー等を
静電気で吸着させる静電チャック装置に関する。
静電気で吸着させる静電チャック装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の静電チャック装置Ｂは、図３に示
すように、裏面に凹部１１０、１２０を形成し、表面が
チャック面１３０とされるアルミナ板１００と、露出面
２１０、３１０が凹部１１０、１２０の底で露出する様
に埋設されるチャック電極板２００、３００とを備え、
高電圧発生装置に電気接続した給電用電極４００、５０
０を露出面２１０、３１０に接触させてなる。
すように、裏面に凹部１１０、１２０を形成し、表面が
チャック面１３０とされるアルミナ板１００と、露出面
２１０、３１０が凹部１１０、１２０の底で露出する様
に埋設されるチャック電極板２００、３００とを備え、
高電圧発生装置に電気接続した給電用電極４００、５０
０を露出面２１０、３１０に接触させてなる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の静電チャック装置Ｂは、以下の様な課題がある。
（ア）給電用電極４００、５００とチャック電極板２０
０、３００の露出面２１０、３１０との電気接続を良好
にしようとして給電用電極４００、５００の接触圧を大
きくすると、薄い表面層１４０が破損（破壊強度は表面
層３００μｍで約４ｋｇ）を起こす。（イ）表面層１４
０の破損防止の為、チャック面１３０とチャック電極板
２００、３００との距離を３００μｍ以下にすることが
できず、強力な吸引力が得られない。本発明の目的は、
チャック電極板への給電性に優れるとともに、セラミッ
ク板の表面層の破損の防止を図った静電チャック装置の
提供にある。
来の静電チャック装置Ｂは、以下の様な課題がある。
（ア）給電用電極４００、５００とチャック電極板２０
０、３００の露出面２１０、３１０との電気接続を良好
にしようとして給電用電極４００、５００の接触圧を大
きくすると、薄い表面層１４０が破損（破壊強度は表面
層３００μｍで約４ｋｇ）を起こす。（イ）表面層１４
０の破損防止の為、チャック面１３０とチャック電極板
２００、３００との距離を３００μｍ以下にすることが
できず、強力な吸引力が得られない。本発明の目的は、
チャック電極板への給電性に優れるとともに、セラミッ
ク板の表面層の破損の防止を図った静電チャック装置の
提供にある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する為、
本発明は、裏面に一対の凹部を形成し、表面がチャック
面とされる電気絶縁性のセラミック板と、該セラミック
板内に、前記チャック面と微少な間隔を隔てて埋設され
る一対のチャック電極板と、一部が前記凹部の底で露出
する様に、前記セラミック板内に埋設される一対の受電
用電極板と、前記チャック電極板と受電用電極板とを電
気接続する連絡部とを備え、高電圧発生装置に電気接続
した棒状の給電用電極を、前記凹部の底の受電用電極板
の露出面に押圧させてなる構成を採用した。
本発明は、裏面に一対の凹部を形成し、表面がチャック
面とされる電気絶縁性のセラミック板と、該セラミック
板内に、前記チャック面と微少な間隔を隔てて埋設され
る一対のチャック電極板と、一部が前記凹部の底で露出
する様に、前記セラミック板内に埋設される一対の受電
用電極板と、前記チャック電極板と受電用電極板とを電
気接続する連絡部とを備え、高電圧発生装置に電気接続
した棒状の給電用電極を、前記凹部の底の受電用電極板
の露出面に押圧させてなる構成を採用した。
【０００５】
【作用および発明の効果】チャック電極板への給電性を
向上させる為、給電用電極で受電用電極板の露出面を充
分押圧する様にしても、受電用電極板はセラミック板の
奥深く埋設されているのでセラミック板の破損を起こさ
ない。チャック電極板には給電用電極の押圧力が直接か
からないので、セラミック板の表面層を薄くすることが
でき、強力な吸引力が得られる。
向上させる為、給電用電極で受電用電極板の露出面を充
分押圧する様にしても、受電用電極板はセラミック板の
奥深く埋設されているのでセラミック板の破損を起こさ
ない。チャック電極板には給電用電極の押圧力が直接か
からないので、セラミック板の表面層を薄くすることが
でき、強力な吸引力が得られる。
【０００６】
【実施例】本発明の一実施例を、図１および図２に基づ
いて説明する。静電チャック装置Ａは、図１に示す様
に、裏面に凹部１１、１２を形成し、表面がチャック面
１３とされるアルミナ板１と、アルミナ板１内に埋設さ
れるチャック電極板２、３および受電用電極板４、５
と、チャック電極板２、３と受電用電極板４、５とを電
気接続する連絡部６、７とを備え、高電圧発生装置（図
示せず）に電気接続した給電用電極８、９で受電用電極
板４、５の露出面４１、５１を押圧している。また、６
００はチャック面１３に吸着保持されるシリコンウエハ
ー、７００は熱放散用の金属基台、８００は低融点ガラ
スリング８１０で凹部１１、１２の径大部に固着された
碍管である。
いて説明する。静電チャック装置Ａは、図１に示す様
に、裏面に凹部１１、１２を形成し、表面がチャック面
１３とされるアルミナ板１と、アルミナ板１内に埋設さ
れるチャック電極板２、３および受電用電極板４、５
と、チャック電極板２、３と受電用電極板４、５とを電
気接続する連絡部６、７とを備え、高電圧発生装置（図
示せず）に電気接続した給電用電極８、９で受電用電極
板４、５の露出面４１、５１を押圧している。また、６
００はチャック面１３に吸着保持されるシリコンウエハ
ー、７００は熱放散用の金属基台、８００は低融点ガラ
スリング８１０で凹部１１、１２の径大部に固着された
碍管である。
【０００７】アルミナ板１は、直径１５０ｍｍ、厚さ３
ｍｍの円盤である。チャック電極板２、３は、半径７０
ｍｍ、厚さ１５μｍの半円状を呈し、アルミナ板１内
に、チャック面１３から２００μｍの間隔を隔てて埋設
されている。受電用電極板４、５は、厚さ１５μｍの小
判状を呈し、露出面４１、５１が凹部１１、１２の底で
露出する様に、アルミナ板１内に埋設されている。これ
らの凹部１１、１２は、図示下面側の径大部と、その奥
に形成される径小部とからなる。給電用電極８、９は、
導電性を有する棒状の金属で形成され、バネ（図示せ
ず）により図示上方に付勢されている。
ｍｍの円盤である。チャック電極板２、３は、半径７０
ｍｍ、厚さ１５μｍの半円状を呈し、アルミナ板１内
に、チャック面１３から２００μｍの間隔を隔てて埋設
されている。受電用電極板４、５は、厚さ１５μｍの小
判状を呈し、露出面４１、５１が凹部１１、１２の底で
露出する様に、アルミナ板１内に埋設されている。これ
らの凹部１１、１２は、図示下面側の径大部と、その奥
に形成される径小部とからなる。給電用電極８、９は、
導電性を有する棒状の金属で形成され、バネ（図示せ
ず）により図示上方に付勢されている。
【０００８】以下、静電チャック装置Ａの製造方法を図
２とともに説明する。（１）グリーンシート１４（厚さ
０．６５ｍｍ）の上にタングステンペースト３１（厚さ
２０μｍ）を半円状に印刷する。（２）穴１５１をイン
ク穴埋め印刷法で埋めて上下面の導通を図ったグリーン
シート１５（厚さ０．６５ｍｍ）をこの上に積層する。
（３）タングステンペースト３２（厚さ２０μｍ）をグ
リーンシート１５上に印刷する。（４）この上に、穴１
６１、１７１、１８１、１９１を開けたグリーンシート
１６〜１９（シート１８の厚さは０．５１ｍｍ他は０．
６５ｍｍ）を積層する。（５）この積層体を一体焼成す
ると、グリーンシート１４〜１９がアルミナ板１に、タ
ングステンペースト３１がチャック電極板３に、タング
ステンペースト３２が受電用電極板５に、穴１５１のイ
ンクが連絡部７に、穴１６１、１７１、１８１、１９１
が凹部１２にそれぞれなる。（６）裏面、表面の平面精
度が０．０１ｍｍ以下であり、かつ、チャック電極板
２、３とチャック面１３との距離が２００μｍになる様
にアルミナ板１を研磨する。（７）碍管８００を、低融
点ガラスリング８１０で凹部１２の径大部に固着する。
（８）これを金属基台７００の載置部に嵌め込んで固定
し、受電用電極板４、５の露出面４１、５１を押圧する
様に給電用電極８、９を取り付ければ静電チャック装置
Ａが完成する。
２とともに説明する。（１）グリーンシート１４（厚さ
０．６５ｍｍ）の上にタングステンペースト３１（厚さ
２０μｍ）を半円状に印刷する。（２）穴１５１をイン
ク穴埋め印刷法で埋めて上下面の導通を図ったグリーン
シート１５（厚さ０．６５ｍｍ）をこの上に積層する。
（３）タングステンペースト３２（厚さ２０μｍ）をグ
リーンシート１５上に印刷する。（４）この上に、穴１
６１、１７１、１８１、１９１を開けたグリーンシート
１６〜１９（シート１８の厚さは０．５１ｍｍ他は０．
６５ｍｍ）を積層する。（５）この積層体を一体焼成す
ると、グリーンシート１４〜１９がアルミナ板１に、タ
ングステンペースト３１がチャック電極板３に、タング
ステンペースト３２が受電用電極板５に、穴１５１のイ
ンクが連絡部７に、穴１６１、１７１、１８１、１９１
が凹部１２にそれぞれなる。（６）裏面、表面の平面精
度が０．０１ｍｍ以下であり、かつ、チャック電極板
２、３とチャック面１３との距離が２００μｍになる様
にアルミナ板１を研磨する。（７）碍管８００を、低融
点ガラスリング８１０で凹部１２の径大部に固着する。
（８）これを金属基台７００の載置部に嵌め込んで固定
し、受電用電極板４、５の露出面４１、５１を押圧する
様に給電用電極８、９を取り付ければ静電チャック装置
Ａが完成する。
【０００９】つぎに、静電チャック装置Ａの作用効果を
述べる。（ア）チャック電極板２、３と受電用電極板
４、５との間にセラミックが介在する様になる為、アル
ミナ板１の破壊強度は約４０ｋｇに向上する。このた
め、受電用電極板４、５を給電用電極８、９で強く押圧
することが可能となり、チャック電極板２、３への給電
が確実に行える。（イ）チャック電極板２、３には給電
用電極８、９の押圧力が直接かからないので、アルミナ
板１の表面層を２００μｍ迄薄くすることができる。こ
のため、静電チャック装置Ａの吸引力を著しく向上させ
ることができる。
述べる。（ア）チャック電極板２、３と受電用電極板
４、５との間にセラミックが介在する様になる為、アル
ミナ板１の破壊強度は約４０ｋｇに向上する。このた
め、受電用電極板４、５を給電用電極８、９で強く押圧
することが可能となり、チャック電極板２、３への給電
が確実に行える。（イ）チャック電極板２、３には給電
用電極８、９の押圧力が直接かからないので、アルミナ
板１の表面層を２００μｍ迄薄くすることができる。こ
のため、静電チャック装置Ａの吸引力を著しく向上させ
ることができる。
【００１０】本発明は、上記実施例以外に、つぎの実施
態様を含む。ａ．上記実施例では、チャック電極板と受
電用電極板とを電気接続する連絡部をインク穴埋め印刷
法に拠り形成したが、スルーホールで形成しても良い。
ｂ．セラミック板は、アルミナ以外のセラミックグリー
ンシートを積層し、一体焼成して製造しても良い。ま
た、タングステンペースト３１、３２の代わりに、白
金、鉛、銅、銀などの導電ペーストを用いても良い。
ｃ．グリーンシート１５の厚さは任意であり、また、二
層以上にしても良い。
態様を含む。ａ．上記実施例では、チャック電極板と受
電用電極板とを電気接続する連絡部をインク穴埋め印刷
法に拠り形成したが、スルーホールで形成しても良い。
ｂ．セラミック板は、アルミナ以外のセラミックグリー
ンシートを積層し、一体焼成して製造しても良い。ま
た、タングステンペースト３１、３２の代わりに、白
金、鉛、銅、銀などの導電ペーストを用いても良い。
ｃ．グリーンシート１５の厚さは任意であり、また、二
層以上にしても良い。
【図１】本発明の一実施例に係る静電チャック装置の構
造説明図である。
造説明図である。
【図２】その装置に用いるセラミック板の未焼成積層状
態を示す説明図である。
態を示す説明図である。
【図３】従来の静電チャック装置の構造説明図である。
１ アルミナ板（セラミック板） ２、３ チャック電極板 ４、５ 受電用電極板 ６、７ 連絡部 ８、９ 給電用電極 １１、１２ 凹部 １３ チャック面 ４１、５１ 露出面 Ａ 静電チャック装置
【手続補正書】
【提出日】平成３年７月４日
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正内容】
【図２】
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 裏面に一対の凹部を形成し、表面がチャ
ック面とされる電気絶縁性のセラミック板と、 該セラミック板内に、前記チャック面と微少な間隔を隔
てて埋設される一対のチャック電極板と、 一部が前記凹部の底で露出する様に、前記セラミック板
内に埋設される一対の受電用電極板と、 前記チャック電極板と受電用電極板とを電気接続する連
絡部と を備え、高電圧発生装置に電気接続した棒状の給電用電
極を、前記凹部の底の受電用電極板の露出面に押圧させ
てなる静電チャック装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16423191A JPH0513557A (ja) | 1991-07-04 | 1991-07-04 | 静電チヤツク装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16423191A JPH0513557A (ja) | 1991-07-04 | 1991-07-04 | 静電チヤツク装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0513557A true JPH0513557A (ja) | 1993-01-22 |
Family
ID=15789167
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16423191A Pending JPH0513557A (ja) | 1991-07-04 | 1991-07-04 | 静電チヤツク装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0513557A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5633073A (en) * | 1995-07-14 | 1997-05-27 | Applied Materials, Inc. | Ceramic susceptor with embedded metal electrode and eutectic connection |
| US5751537A (en) * | 1996-05-02 | 1998-05-12 | Applied Materials, Inc. | Multielectrode electrostatic chuck with fuses |
| US5817406A (en) * | 1995-07-14 | 1998-10-06 | Applied Materials, Inc. | Ceramic susceptor with embedded metal electrode and brazing material connection |
| US6055150A (en) * | 1996-05-02 | 2000-04-25 | Applied Materials, Inc. | Multi-electrode electrostatic chuck having fuses in hollow cavities |
| WO2002083597A1 (fr) * | 2001-04-12 | 2002-10-24 | Ibiden Co., Ltd. | Corps soude en ceramique et son procede de fabrication, structure en ceramique destinee a une tranche a semi-conducteurs |
| JP2016225557A (ja) * | 2015-06-03 | 2016-12-28 | 京セラ株式会社 | 試料保持具およびこれを用いたプラズマエッチング装置 |
-
1991
- 1991-07-04 JP JP16423191A patent/JPH0513557A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5633073A (en) * | 1995-07-14 | 1997-05-27 | Applied Materials, Inc. | Ceramic susceptor with embedded metal electrode and eutectic connection |
| US5817406A (en) * | 1995-07-14 | 1998-10-06 | Applied Materials, Inc. | Ceramic susceptor with embedded metal electrode and brazing material connection |
| US5751537A (en) * | 1996-05-02 | 1998-05-12 | Applied Materials, Inc. | Multielectrode electrostatic chuck with fuses |
| US6055150A (en) * | 1996-05-02 | 2000-04-25 | Applied Materials, Inc. | Multi-electrode electrostatic chuck having fuses in hollow cavities |
| WO2002083597A1 (fr) * | 2001-04-12 | 2002-10-24 | Ibiden Co., Ltd. | Corps soude en ceramique et son procede de fabrication, structure en ceramique destinee a une tranche a semi-conducteurs |
| JP2016225557A (ja) * | 2015-06-03 | 2016-12-28 | 京セラ株式会社 | 試料保持具およびこれを用いたプラズマエッチング装置 |
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