JP2014003179A - プラズマ処理装置及びフィルタユニット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】このフィルタユニット52(IN)においては、コイル104(1),104(2)の内側を遊動可能に貫通する棒体114と、コイル104(1),104(2)の下端部に結合または係合したままコイル軸方向で摺動可能に棒体114に取り付けられるコイル受け部材126と、上記の送りねじ機構132とによって、コイル104(1),104(2)の長さsまたは巻線間隔dを調整するためのコイル長さ調整部134が構成されている。
【選択図】図4
Description
[プラズマ処理装置全体の構成]
[フィルタユニット内の回路構成]
[フィルタユニット内の物理的構成]
[フィルタユニットの作用]
λ=2π/(ω√(LC) ・・・・(1)
L1=μ0×π×r1 2×n2/(s+k×r1) ・・・・(2)
L2=μ0×π×r2 2×n2/(s+k×r2) ・・・・(3)
ただし、μ0は真空の透磁率、nはコイルの巻き数、r1,r2はコイルの半径、kは長岡係数(たとえばk=0.9)である。
[実施例1]
[実施例2]
[他の実施形態又は変形例]
12 サセプタ(下部電極)
24 排気装置
28 (プラズマ生成用)高周波電源
30 (イオン引き込み用)高周波電源
32 マッチングユニット
40(IN) 内側の発熱線
40(OUT) 外側の発熱線
54(IN),54(OUT) フィルタユニット
58(IN),58(OUT) ヒータ電源
100(1) 第1の給電ライン
100(2) 第2の給電ライン
102(1) 第1のフィルタ
102(2) 第2のフィルタ
104(1),104(2) コイル
106(1),106(2) コンデンサ
110 外導体
120(1),120(2) 分布定数線路
126 コイル受け部材
132 送りねじ機構
134 コイル長さ調整部
Claims (27)
- プラズマ処理が行われる処理容器と、
前記処理容器内に設けられる電気的部材と、
前記電気的部材を前記処理容器の外に配置される外部回路に電気的に接続するための線路と、
前記電気的部材から前記外部回路に向かって前記線路に入ってくる所定周波数の高周波ノイズを減衰させ、または阻止するためのコイルを含むフィルタと、
前記コイルのインダクタンスを調整するためのコイルインダクタンス調整部と
を有するプラズマ処理装置。 - プラズマ処理が行われる処理容器と、
前記処理容器内に配置される第1の電極と、
前記第1の電極に設けられる発熱体と、
前記発熱体を前記処理容器の外に配置されるヒータ電源に電気的に接続するための給電ラインと、
前記発熱体を介して前記給電ラインに入ってくる所定周波数の高周波ノイズを減衰させ、または阻止するためのコイルを含むフィルタと、
前記コイルのインダクタンスを調整するためのコイルインダクタンス調整部と
を有するプラズマ処理装置。 - 前記電極に一定の周波数を有する基本波の高周波を印加するための高周波電源を有する、請求項2に記載のプラズマ処理装置。
- 前記発熱体が並列に複数設けられ、それら複数の前記発熱体にそれぞれ対応する複数の前記フィルタが方位角方向で均一な距離間隔を空けて配置される、請求項2または請求項3に記載のプラズマ処理装置。
- 前記高周波ノイズは、前記基本波の2倍の周波数を有する2次高調波を含む、請求項3または請求項4に記載のプラズマ処理装置。
- 前記第1の電極の上に被処理体が載置される、請求項2〜5のいずれか一項に記載のプラズマ処理装置。
- 前記給電ラインが、前記発熱体の両端にそれぞれ接続される第1および第2の給電導線を有し、
前記コイルが、前記第1の給電導線の一部を構成する第1のコイル単体と、前記第2の給電導線の一部を構成する第2のコイル単体とを含み、
前記第1および第2のコイル単体をそれぞれ構成する第1および第2のコイル導線が、並進しながら等しい巻線長で螺旋状に巻かれている、
請求項2〜6のいずれか一項に記載のプラズマ処理装置。 - 前記コイルインダクタンス調整部は、前記コイルの長さまたは巻線間隔を調整するためのコイル長さ調整部を有する、請求項1〜7のいずれか一項に記載のプラズマ処理装置。
- 前記コイル長さ調整部は、
前記コイルの内側を遊動可能に貫通する棒軸と、
前記コイルの一端に結合または係合したまま前記コイル軸方向で摺動可能に前記棒軸に取り付けられるコイル受け部材と、
前記コイル受け部材を前記棒軸上で移動させ、かつ所望の位置で固定するための送りねじ機構と
を有する、請求項8に記載のプラズマ処理装置。 - 前記コイル長さ調整部は、
前記コイルの内側を遊動可能に貫通する棒状のねじ軸と、
前記コイルの一端に結合または係合したまま前記コイル軸方向で移動可能に前記ねじ軸に取り付けられるコイル受け部材と、
前記コイル受け部材を所望の位置で固定するために前記ねじ軸に螺合するナットと
を有する、請求項8に記載のプラズマ処理装置。 - 前記コイル長さ調整部は、前記処理容器側に位置する前記コイルの一端を固定し、前記処理容器と反対側に位置する前記コイルの他端を前記コイル受け部材に結合または係合させる、請求項9または請求項10に記載のプラズマ処理装置。
- 前記コイルの巻線間が弾力性を有する絶縁体で塞がっている、請求項1〜11のいずれか一項に記載のプラズマ処理装置。
- 前記絶縁体は、前記コイルを覆うチューブである、請求項12に記載のプラズマ処理装置。
- 前記コイルは空芯コイルである、請求項1〜13のいずれか一項に記載のプラズマ処理装置。
- 前記フィルタは、前記コイルを収容または包囲する筒形の外導体を有し、特性インピーダンスが一定の分布定数線路を形成する、請求項1〜14のいずれか一項に記載のプラズマ処理装置。
- 前記外導体が電気的に接地されている、請求項15に記載のプラズマ処理装置。
- 前記フィルタは、前記処理容器内の処理空間側から見て前記高周波電極の背後に配置される、請求項1〜16のいずれか一項に記載のプラズマ処理装置。
- 前記処理容器側から見て、前記コイルが前記フィルタの初段に設けられ、前記コイルの反対側の端子がコンデンサを介して接地電位の導電性部材に電気的に接続される、請求項1〜17のいずれか一項に記載のプラズマ処理装置。
- プラズマ処理が行われる処理容器内の電気的部材が前記処理容器の外に配置される外部回路に線路を介して電気的に接続されているプラズマ処理装置において、前記電気的部材から前記外部回路に向かって前記線路に入ってくる所定周波数の高周波ノイズを減衰させ、または阻止するために前記線路の途中に設けられるフィルタユニットであって、
前記線路の一部を構成するコイルと、
前記コイルのインダクタンスを調整するためのコイルインダクタンス調整部と
を有するフィルタユニット。 - プラズマ処理が行われる処理容器内の第1の電極に設けられている発熱体が前記処理容器の外に配置されるヒータ電源に給電ラインを介して電気的に接続されているプラズマ処理装置において、前記発熱体から前記ヒータ電源に向かって前記給電ラインに入ってくる所定周波数の高周波ノイズを減衰させ、または阻止するために前記給電ラインの途中に設けられるフィルタユニットであって、
前記給電ラインの一部を構成するコイルと、
前記コイルのインダクタンスを調整するためのコイルインダクタンス調整部と
を有するフィルタユニット。 - 前記コイルインダクタンス調整部は、前記コイルの長さまたは巻線間隔を調整するためのコイル長さ調整部を有する、請求項19または請求項20に記載のフィルタユニット。
- 前記コイル長さ調整部は、
前記コイルの内側を遊動可能に貫通する棒軸と、
前記コイルの一端に結合または係合したまま前記コイル軸方向で摺動可能に前記棒軸に取り付けられるコイル受け部材と、
前記コイル受け部材を前記棒軸上で移動させ、かつ所望の位置で固定するための送りねじ機構と
を有する、請求項21に記載のフィルタユニット。 - 前記コイル長さ調整部は、
前記コイルの内側を遊動可能に貫通する棒状のねじ軸と、
前記コイルの一端に結合または係合したまま前記コイル軸方向で移動可能に前記ねじ軸に取り付けられるコイル受け部材と、
前記コイル受け部材を固定するために前記ねじ軸に螺合するナットと
を有する、請求項21に記載のフィルタユニット。 - 前記コイル長さ調整部は、前記処理容器側に位置する前記コイルの一端を固定し、前記処理容器と反対側に位置する前記コイルの他端を前記コイル受け部材に結合または係合させる、請求項22または請求項23に記載のフィルタユニット。
- 前記コイルの巻線間が弾力性を有する絶縁体で塞がっている、請求項19〜24のいずれか一項に記載のフィルタユニット。
- 前記絶縁体は、前記コイルを覆うチューブである、請求項25に記載のフィルタユニット。
- 前記コイルは空芯コイルである、請求項19〜26のいずれか一項に記載のフィルタユニット。
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