JP2017228968A - フィルタを設計する方法 - Google Patents
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Abstract
Description
φ≧4×LP …(1)
(1)式に示す関係が満たされない場合には、一以上のピッチの変更前の一つの共振周波数が変更後には二つの共振周波数へと変化する事態が生じ得る。一方、(1)式に満たす関係を満たすことにより、安定した周波数−インピーダンス特性が得られる。
F(m,ZD,LD)=a(m,ZD)×LD+b(m,ZD,LD) …(2)
式(2)において、a(m,ZD)は次数m及び位置ZDに依存する一次関数の傾きを表す定数である。また、b(m,ZD,LD)は、次数m、位置ZD、及び、距離LDに依存する一次関数の定数である。
Claims (5)
- フィルタを設計する方法であって、
軸方向に沿って互いに等しい複数のピッチを提供する巻線を有する基準コイル、及び、該基準コイルと並列接続されたコンデンサを有する分布定数型の基準フィルタの共振周波数と遮断すべき高周波の周波数との間の第1の差を求める工程と、
前記第1の差が所定値以下である場合に、該第1の差を減少させるために前記複数のピッチのうち長さを変更する一以上のピッチを決定する工程と、
前記第1の差が前記所定値より大きい場合に、該第1の差を減少させるために前記基準コイルを直列接続された第1のコイル要素と第2のコイル要素に分割する該基準コイル中の分割位置、及び、前記第1のコイル要素と前記第2のコイル要素との間の分割距離を決定する工程と、
を含む方法。 - 前記一以上のピッチは、前記複数のピッチの各々の変化に応じた前記基準フィルタの複数の共振周波数の変化量が登録されたテーブルを参照して、前記第1の差を最小化するように決定され、
前記分割位置及び前記分割距離は、前記第1のコイル要素と前記第2のコイル要素とに分割される前記基準コイル中の位置、及び、前記第1のコイル要素と前記第2のコイル要素との間の距離に対する、直列接続された該第1のコイル要素及び該第2のコイル要素、並びに、該第1のコイル要素及び該第2のコイル要素に対して並列接続された前記コンデンサを含むフィルタの複数の共振周波数の予め準備された関係を用いて、前記第1の差を最小化するように決定される、
請求項1に記載の方法。 - 直列接続された前記第1のコイル要素及び前記第2のコイル要素、並びに、該第1のコイル要素及び該第2のコイル要素に対して並列接続された前記コンデンサを含むフィルタの共振周波数と前記高周波の前記周波数との間の第2の差を減少させるために前記第1のコイル要素及び第2のコイル要素を含むコイルの巻線によって提供される前記軸方向の複数のピッチのうち長さを変更する一以上の別のピッチを決定する工程を更に含む、請求項1に記載の方法。
- 直列接続された前記第1のコイル要素及び前記第2のコイル要素、並びに、該第1のコイル要素及び該第2のコイル要素に対して並列接続された前記コンデンサを含むフィルタの共振周波数と前記高周波の前記周波数との間の第2の差を減少させるために前記第1のコイル要素及び第2のコイル要素を含むコイルの巻線によって提供される前記軸方向の複数のピッチのうち長さを変更する一以上の別のピッチを決定する工程を更に含み、
前記一以上の別のピッチは、前記テーブルを参照して前記第2の差を最小化するように決定される、
請求項2に記載の方法。 - 前記高周波はプラズマ処理装置が備える載置台の下部電極に供給される高周波であり、
該方法によって設計されるフィルタは、前記載置台内に設けられたヒータと該ヒータに接続された電源を含むヒータコントローラとの間において前記高周波を遮断するフィルタである、
請求項1〜4の何れか一項に記載の方法。
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