JP2008135737A - 静電チャック及び静電チャックの製造方法 - Google Patents
静電チャック及び静電チャックの製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】静電チャック10は、基体11を有し、この基体11の基板載置面11aと平行に基体11内に埋設された電極12を有している。基体11の裏面11bから電極12に向けて穿設された端子穴11cに装入される端子13は、電極12の端子側の平坦面から端子穴11cに向けて形成された円錐台形状の凸部12aを介して電極12と電気的に接続される。この凸部は、電極の端子側の平坦面と当該凸部の斜面とのなす角度が40°以下であり、電極の端子側の平坦面から端子との接合面までの距離が0.01〜0.8mm未満である。
【選択図】図1
Description
この凸部12aは、電極12と同種の材料からなるものが好ましい。つまり、導電性粉末とアルミナ粉末と含有し、この導電性粉末に対するアルミナ粉末の添加量が、5〜20vol%であることが好ましい。凸部12aは、電極12と同種の材料からなることにより、電極12との間に熱膨張係数の差が生じず、熱応力による脆化のおそれがなくなる。また、凸部12aと電極12とが、十分に接合することができる。
11 基体
11a 基板載置面
11b 裏面
11c 端子穴
11d 誘電体層
11e 支持部
12 電極
12a 凸部
13 端子
Claims (5)
- 基板載置面を有する概略円盤状のアルミナセラミックスよりなる基体と、
この基体の上記基板載置面と平行に当該基体内に埋設された電極と、
この基体の上記基板載置面とは反対側になる裏面から、この電極に向けて穿設された端子穴に装入される端子と
を備え、
この電極は、略一定の厚みであり、上記の端子穴に向かう位置に当該電極と同種の材料よりなる概略円錐台形状の凸部を有し、この凸部に上記端子が接合され、
この凸部は、凸部が位置している電極の端子側の平坦面と当該凸部の斜面とのなす角度が40°以下であり、端子側の平坦面から凸部と端子との接合面までの距離が0.01mm以上〜0.8mm未満であることを特徴とする静電チャック。 - 前記電極の端子側の平坦面から凸部と端子との接合面までの距離が、0.02〜0.4mmであることを特徴とする請求項1に記載の静電チャック。
- 前記概略円錐台形の凸部は、底面の直径が2〜6mmであり、前記概略円錐台形状の凸部の頂面の直径よりも、この頂面に接する前記端子の端面の直径が大きいことを特徴とする請求項1又は2に記載の静電チャック。
- 前記電極は、導電性粉末とアルミナ粉末とを含有し、この導電性粉末に対するアルミナ粉末の添加量が、5〜20vol%であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の静電チャック。
- 基体のうち、基板載置面を含む誘電体層の部分のアルミナ焼結体を作成する工程と、
このアルミナ焼結体の表面上に、略一定の厚みの電極を形成する工程と、
この電極上の一部に、当該電極と同種の材料よりなる凸部を、厚さ0.8mm以下でかつ、電極の端子側の平坦面と当該凸部の斜面とのなす角度が40°以下で形成する工程と、
上記アルミナ焼結体及び電極を覆って、基体の支持部を形成した後、この支持部及び上記誘電体層の部分を一体的に焼結する工程と、
基体の裏面から、上記凸部に向けて端子穴を穿設し、この端子穴の底面に凸部を露出させ、この凸部の電極の端子側の平坦面から端子穴の底面までの距離を0.01mm以上〜0.8mm未満とする工程と、
端子穴に端子を装入し、ろう付けにより凸部と接合する工程と
を備えることを特徴とする静電チャックの製造方法。
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