JP2020126913A - セラミックス部材 - Google Patents
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Abstract
Description
、高融点金属などからなる緩衝部材を介して電気的に接続されていてもよい。給電パッド4,5と給電端子6,7、また、これらと緩衝部材とは例えばろう材などを介して接続されていればよい。
AlN粉末95重量%、Y2O3(イットリア)粉末5重量%の混合粉末を一軸加圧して直径350mm、厚さ5mmの成形体を第1層として作製した。
窒化アルミニウム粉末95重量%、Y2O3粉末5重量%の混合粉末を1ton/cm2の圧力でCIP成形することにより成形体のインゴットを作製した。このインゴットに機械加工を施すことにより、直径340mmの円板状の成形体として、厚さ5mmの第1の成形体、厚さ10mmの第2の成形体及び厚さ20mmの第3の成形体を作製した。
Claims (3)
- 窒化アルミニウムを主成分とし、イットリウムを含むセラミックスからなり、基板が載置される載置面を有する基材と、
前記基材の内部に埋設され、モリブデン又はモリブデンを主成分とする合金からなる第1の電極と、
前記第1の電極よりも前記載置面側にて前記基材の内部に埋設され、タングステン又はタングステンを主成分とする合金からなる第2の電極とを備えることを特徴とするセラミックス部材。 - 前記第1の電極に電気的に接続され、前記載置面と反対側にて給電端子と電気的に接続される第1の接続部材と、
前記第2の電極に電気的に接続され、前記載置面と反対側にて給電端子と電気的に接続される第2の接続部材とを備え、
前記第1及び第2の接続部材はモリブデン又はモリブデンを主成分とする合金からなることを特徴とする請求項1に記載のセラミックス部材。 - 前記第1の電極は通電により発熱する発熱体であり、前記第2の電極は高周波電力印加用RF電極又は静電吸着用電極であることを特徴とする請求項1又は2に記載のセラミックス部材。
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