JP2019026498A - 接合体 - Google Patents
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A−1.加熱装置100の構成:
図1は、本実施形態における加熱装置100の外観構成を概略的に示す斜視図であり、図2は、本実施形態における加熱装置100のXZ断面構成を概略的に示す説明図である。各図には、方向を特定するための互いに直交するXYZ軸が示されている。本明細書では、便宜的に、Z軸正方向を上方向といい、Z軸負方向を下方向というものとするが、加熱装置100は実際にはそのような向きとは異なる向きで設置されてもよい。
保持体10は、所定の方向(本実施形態では上下方向)に略直交する保持面S1および裏面S2を有する略円板状の部材である。保持体10は、例えば、AlN(窒化アルミニウム)やAl2O3(アルミナ)を主成分とするセラミックスにより形成されている。なお、ここでいう主成分とは、含有割合(重量割合)の最も多い成分を意味する。保持体10の直径は、例えば100mm以上、500mm以下程度であり、保持体10の厚さ(上下方向における長さ)は、例えば3mm以上、10mm以下程度である。保持体10は、特許請求の範囲におけるセラミックス部材に相当し、上記所定の方向(上下方向)は、特許請求の範囲における第1の方向に相当する。
柱状支持体20は、上記所定の方向(上下方向)に延びる略円柱状部材である。柱状支持体20は、保持体10と同様に、例えばAlNやAl2O3を主成分とするセラミックスにより形成されている。柱状支持体20の外径は、例えば30mm以上、90mm以下程度であり、柱状支持体20の高さ(上下方向における長さ)は、例えば100mm以上、300mm以下程度である。
図3は、図2のX1部分を拡大したXZ断面構成を概略的に示す説明図である。図3に示すように、受電電極54および接合部56における上下方向に平行な少なくとも1つの断面(XZ断面)において、受電電極54と接合部56との第1の境界線L1は複数の変曲点(P1,P2)を有する。なお、変曲点とは、第1の境界線L1が上に凸から下に凸へ、また、下に凸から上に凸へ変わる点である。
加熱装置100の製造方法は、例えば以下の通りである。初めに、保持体10と柱状支持体20とを作製する。
以上説明したように、本実施形態の加熱装置100によれば、受電電極54および接合部56における上下方向に平行な少なくとも1つの断面(XZ断面)において、受電電極54と接合部56との第1の境界線L1は複数の変曲点(P1,P2)を有する。これにより、受電電極54および接合部56における上下方向に平行な任意の断面において、第1の境界線L1が有する変曲点が1つ以下である構成に比べて、受電電極54と接合部56との間の接触面積が大きいため、受電電極54と接合部56との間の接合強度を向上させることができる。
本明細書で開示される技術は、上述の実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の形態に変形することができ、例えば次のような変形も可能である。
Claims (5)
- セラミックス部材と、
前記セラミックス部材の表面側に配置された外部導電体と、
第1の方向において前記外部導電体に対向して配置された金属部材と、
ロウ材を含み、前記外部導電体と前記金属部材とを接合する接合部と、を備える接合体において、
前記外部導電体および前記接合部における前記第1の方向に平行な少なくとも1つの断面において、前記外部導電体と前記接合部との第1の境界線は複数の変曲点を有することを特徴とする、接合体。 - 請求項1に記載の接合体において、さらに、
前記セラミックス部材の内部に配置され、前記外部導電体のうち、前記接合部と接合される面と反対側の面と電気的に接続された内部導電体を備え、
前記断面において、
前記第1の境界線は、前記金属部材側に突出する凸状線部分を有し、
前記内部導電体は、前記外部導電体のうち前記凸状線部分に対応する箇所に配置されていることを特徴とする、接合体。 - 請求項1または請求項2に記載の接合体において、さらに、
前記セラミックス部材の内部に配置され、前記外部導電体のうち、前記接合部に接合される面と反対側の面に接触した内部導電体を備え、
前記断面において、
前記内部導電体および前記セラミックス部材と前記外部導電体との第2の境界線のうち、前記内部導電体と前記セラミックス部材とに跨がるように延びる跨がり部分の線形は、直線または曲線であることを特徴とする、接合体。 - 請求項1から請求項3までのいずれか一項に記載の接合体において、
前記第1の境界線の両端の少なくとも一方は、前記金属部材とは反対側に窪んだ凹状線部分であることを特徴とする、接合体。 - 請求項1から請求項4までのいずれか一項に記載の接合体において、
前記断面において、
前記第1の境界線における前記複数の変曲点は、前記第1の方向に直交する第2の方向における前記第1の境界線の端側に位置する変曲点ほど、前記金属部材に近い位置に配置されていることを特徴とする、接合体。
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