JP2005268654A - 静電チャック - Google Patents
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Abstract
【構成】 金属製ベース部材21内におけるガス流路の壁面に、セラミック製の管状体31を内挿して固定した。ガス流路は、その内面に、絶縁材層(セラミック層)が設けられたことになり、金属製ベース部材21をなす金属が露出しない。このため、ここを通過するガスは、プラズマ発生のための交流電圧が同ベース部材21に印加されても励起されないため高電位とならず、異常放電を防止できる。
【選択図】 図1
Description
前記金属製ベース部材内を貫通して前記静電チャック板の表面に開口するガス流路を有するものにおいて、
前記金属製ベース部材内におけるガス流路の壁面に絶縁材層を形成したことを特徴とする静電チャックである。
前記金属製ベース部材内を貫通して前記静電チャック板の表面に開口されるガス流路を有するものにおいて、
前記金属製ベース部材内におけるガス流路内に、絶縁性がありかつ連続気孔を有する多孔質セラミック体を装填したことを特徴とする静電チャックである。さらに、請求項5に記載の本発明は、前記ガス流路が、前記金属製ベース部材の厚み方向に貫通状に設けられていることを特徴とする請求項4に記載の静電チャックである。
2 静電チャック板
3 静電チャック板の表面
21 金属製ベース部材
25 金属製ベース部材内におけるガス流路
31 セラミック製の管状体(絶縁材層)
51 多孔質セラミック体
Claims (5)
- 絶縁材製の静電チャック板と、プラズマ発生用の電極をなす金属製ベース部材とを接合してなる静電チャックであって、
前記金属製ベース部材内を貫通して前記静電チャック板の表面に開口するガス流路を有するものにおいて、
前記金属製ベース部材内におけるガス流路の壁面に絶縁材層を形成したことを特徴とする静電チャック。 - 前記ガス流路が、前記金属製ベース部材の厚み方向に貫通状に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の静電チャック。
- 前記金属製ベース部材内におけるガス流路に、セラミック製の管状体が嵌め込まれて固定され、該管状体が前記絶縁材層を形成していることを特徴とする請求項1又は2に記載の静電チャック。
- 絶縁材製の静電チャック板と、プラズマ発生用の電極をなす金属製ベース部材とを接合してなる静電チャックであって、
前記金属製ベース部材内を貫通して前記静電チャック板の表面に開口されるガス流路を有するものにおいて、
前記金属製ベース部材内におけるガス流路内に、絶縁性がありかつ連続気孔を有する多孔質セラミック体を装填したことを特徴とする静電チャック。 - 前記ガス流路が、前記金属製ベース部材の厚み方向に貫通状に設けられていることを特徴とする請求項4に記載の静電チャック。
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