JP5543549B2 - 光学結像装置 - Google Patents
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Claims (63)
- 投影パターンを有するマスクを収容するためのマスク装置と、
光学素子群を有する投影装置と、
基板を収容するための基板装置とを備える光学結像装置、特にはマイクロリソグラフィのための光学結像装置であって、
前記光学素子群が、前記基板に投影パターンを投影するように構成されており、
前記光学素子群が、少なくとも一時的に前記基板に隣接して配置された複数の光学素子、特に最終光学素子を備える光学結像装置において、
前記複数の光学素子の光学素子に関連付けられた熱分離のための遮蔽装置が設けられており、
該遮蔽装置が第1及び第2の層を備え、
該第1層は、スペーサ体が前記光学素子の面と該第2層を形成する第2層構成要素との間に形成する隙間により画定され、
該隙間に流体が充填されることを特徴とする光学結像装置。 - 請求項1に記載の光学結像装置において、
前記光学素子が、前記投影パターンを前記基板に投影する間に光学的に使用される第1領域と光学的に使用されない第2領域とを備え、
前記遮蔽装置が熱分離装置として設けられた第1遮蔽部であり、該第1遮蔽部が、前記第2領域の第1区画の少なくとも一部、特に実質的に前記第2領域の第1区画全体を液浸媒体に対して熱遮蔽し、前記第1区画が、前記液浸媒体に隣接して配置された第2領域の区画全体であり、かつ
熱分離装置として設けられた第2遮蔽部をさらに備え、該第2遮蔽部が、前記第2領域の第2区画の少なくとも一部、特に実質的に前記第2領域の第2区画全体を前記投影装置の隣接区画に対して熱遮蔽し、前記第2区画が、前記投影装置の前記隣接区画に隣接して配置された前記第2領域の区画全体である光学結像装置。 - 請求項1に記載の光学結像装置において、
前記光学素子が、前記投影パターンを前記基板に投影する間に光学的に使用される第1領域と光学的に使用されない第2領域とを備え、
熱分離装置として設けられた第2遮蔽部をさらに備え、該第2遮蔽部が、前記第2領域の第2区画の少なくとも一部、特に実質的に前記第2領域の第2区画全体を前記投影装置の隣接区画に対して熱遮蔽し、前記第2区画が、前記投影装置の前記隣接区画に隣接して配置された前記第2領域の区画全体である光学結像装置。 - 請求項2または3に記載の光学結像装置において、
前記光学素子が保持装置によって保持され、
熱分離装置として第3遮蔽部が設けられており、該第3遮蔽部が、前記保持装置の少なくとも一部、特に実質的に保持装置全体を前記投影装置の少なくとも一部に対して熱遮蔽する光学結像装置。 - 請求項4に記載の光学結像装置において、
前記第3遮蔽部が、前記投影装置の隣接区画に隣接して配置された前記保持装置の領域の少なくとも一部、特に前記投影装置の前記隣接区画に隣接して配置された前記保持装置の領域全体を前記投影装置の前記隣接区画に対して熱遮蔽する光学結像装置。 - 請求項1に記載の光学結像装置において、
前記遮蔽装置が、前記光学素子を、該光学素子の環境の少なくとも一部から少なくとも部分的に熱分離する熱分離装置であり、
前記遮蔽装置が、前記第2の層に接続された少なくとも1つの温度調節装置を備え、前記温度調節装置が、前記遮蔽素子の少なくとも1つの表面の選択可能な温度部分布が実質的に保持されるように構成されている光学結像装置。 - 請求項6に記載の光学結像装置において、
前記温度調節装置が、前記第2の層の領域に伝熱媒体の流れを生じさせるように構成されている光学結像装置。 - 請求項1に記載の光学結像装置において、
前記光学素子と前記基板との間に液浸ゾーンを備え、
作動中に、前記液浸ゾーンは、少なくとも一時的に液浸媒体を充填され、
前記遮蔽装置は、前記液浸媒体に隣接して配置され、
前記遮蔽装置が、前記第2の層の外面に被覆された少なくとも1つの疎水性の表面を、前記光学素子に背向側に備えている光学結像装置。 - 請求項6に記載の光学結像装置において、
前記光学素子に対して目標温度分布TSEが与えられており、
前記遮蔽装置が、前記目標温度分布TSEからの所定の最大偏差ΔTEを保持するように構成されている光学結像装置。 - 請求項9に記載の光学結像装置において、
前記最大偏差ΔTEが、10mK未満、好ましくは1mK未満である光学結像装置。 - 請求項1に記載の光学結像装置において、
前記光学素子が実測温度分布TEを有し、前記光学素子に対して目標温度分布TSEが与えられており、
前記遮蔽装置が、少なくとも1つの確立装置と、前記確立装置に少なくとも一時的に接続された制御装置と、該制御装置に少なくとも一時的に接続された作用装置とを備え、
前記確立装置が、前記実測温度分布TEに作用するか、または該実測温度分布TEを示す少なくとも1つのパラメータPを確立し、
前記制御装置が、前記確立されたパラメータPおよび前記目標温度分布TSEに関連して少なくとも1つの制御値Cを確立し、
前記作用装置が、前記少なくとも1つの確立された制御値Cに関連して、前記実測温度分布TEに影響する制御パラメータCPを、前記目標温度分布TSEからの前記実測温度分布TEの偏差に反作用するよう作用させる、光学結像装置。 - 請求項11に記載の光学結像装置において、
前記パラメータPが、前記光学素子に隣接して配置された液浸媒体の少なくとも1つの局所温度または前記光学素子の少なくとも1つの局所温度である光学結像装置。 - 請求項12に記載の光学結像装置において、
前記確立装置が、
少なくとも1つの局所温度を測定するための少なくとも1つの温度センサを備え、かつ/または
少なくとも1つの局所温度を評価するための少なくとも1つの評価装置を備える光学結像装置。 - 請求項11に記載の光学結像装置において、
前記光学素子に隣接して液浸媒体が配置され、
前記制御パラメータCPが、
前記液浸媒体の温度、
前記液浸媒体の流量、
前記液浸媒体に接触するガス雰囲気の温度、
前記液浸媒体に接触するガス雰囲気の湿度、
前記液浸媒体に接触するガス雰囲気の流量、または
前記光学素子に作動接続している少なくとも1つの温度調節素子の温度
である光学結像装置。 - 請求項11に記載の光学結像装置において、
前記制御装置が、前記光学素子および/または液浸ゾーン内の前記光学素子に隣接して配置された液浸媒体の温度挙動モデルを用いて前記制御値Cを確立するように構成されている光学結像装置。 - 請求項15に記載の光学結像装置において、
前記制御装置が、前記温度挙動モデルを示すモデルデータまたは前記温度挙動モデルを示すモデルデータを計算するためのパラメータを記憶するメモリを備え、
前記制御装置が、前記モデルデータを用いて前記制御値Cを確立する光学結像装置。 - 請求項1に記載の光学結像装置において、
前記光学素子が、少なくとも一時的に液浸媒体を充填される液浸ゾーンに少なくとも一時的に隣接して配置された液浸素子であり、
前記液浸ゾーンが、特に前記液浸素子を形成する最終光学素子と前記基板との間に位置する光学結像装置。 - 請求項1に記載の光学結像装置において、
前記隙間が気体および/または液体を充填され、および/または
前記隙間が、温度調節された流体で連続的または断続的に洗浄される光学結像装置。 - 請求項1に記載の光学結像装置において、
前記遮蔽装置が多層に設計されており、
第3層が特に前記第2層に接続されており、前記第3層が特に疎水層であり、
前記第2層が、特に流体を充填され、外壁と内壁との間に形成される通路を含む光学結像装置。 - 請求項1に記載の光学結像装置において、
前記隙間は、前記光学素子の光学面と前記第2層構成要素との間に延在するシール素子により、周囲の大気に対してシールされる光学結像装置。 - 請求項11に記載の光学結像装置において、
前記遮蔽装置が、前記作用装置として、隣接ガス雰囲気との接触領域で前記光学素子に隣接して配置された液浸媒体の蒸発により誘発される冷却に作用する調節装置を備え、
前記調節装置が、前記液浸媒体に接触する前記ガス雰囲気の少なくとも1つの状態パラメータを調節し、
前記少なくとも1つの状態パラメータが、前記ガス雰囲気の温度TA、前記ガス雰囲気の湿度HAまたは前記ガス雰囲気の流量VAである光学結像装置。 - 請求項21に記載の光学結像装置において、
前記制御装置が、前記接触領域で蒸発により誘発される前記液浸媒体の所定の冷却が予想されるように、特に蒸発により誘発される前記液浸媒体の冷却が実質的に予想されないように、前記接触領域内の前記液浸媒体の状態に関連して前記調節装置に対する制御値Cを確立する光学結像装置。 - 請求項21に記載の光学結像装置において、
前記接触領域が、実質的に前記液浸媒体の自由平面全体にわたって延在している光学結像装置。 - 請求項11に記載の光学結像装置において、
前記遮蔽装置が、前記作用装置として、前記光学素子の温度を調節するために、前記光学素子と作動接続している少なくとも1つの第2温度調節装置を備えている光学結像装置。 - 請求項24に記載の光学結像装置において、
前記制御装置が、前記確立装置によって確立される液浸ゾーンの前記光学素子に隣接して配置された液浸媒体内の温度分布TIに関連して前記第2温度調節装置に対する前記制御値Cを確立し、これにより、前記第2温度調節装置が、前記液浸媒体内で確立された前記温度分布TIに基づく、前記目標温度分布TSEからの前記実測温度分布TEの偏差に反作用するように、前記光学素子の温度を調節する光学結像装置。 - 請求項24に記載の光学結像装置において、
前記第2温度調節装置が、前記光学素子の周縁部領域に配置されている光学結像装置。 - 請求項11に記載の光学結像装置において、
前記光学素子の少なくとも1つの結像エラーが低減され、特に最小限となり、かつ/または
前記光学素子群の少なくとも1つの結像エラーが低減され、特に最小限となるように、前記目標温度分布TSEが選択される光学結像装置。 - 請求項1に記載の光学結像装置において、
前記光学素子が、石英ガラスの屈折率よりも大きい屈折率を有し、かつ/または石英ガラスの屈折率よりも温度依存性が大きい屈折率を有する材料からなっている光学結像装置。 - 請求項1に記載の光学結像装置において、
前記光学素子が、スピネルまたはLuAGから作製されている光学結像装置。 - 請求項1に記載の光学結像装置において、
前記光学素子が、作動中に少なくとも一時的に前記基板に隣接して配置される、前記光学素子群の最終光学素子である光学結像装置。 - 請求項1に記載の光学結像装置において、
開口数が少なくとも1.3、特に少なくとも1.4である光学結像装置。 - 光学素子群の光学素子によって基板に投影パターンを投影する光学結像法において、
熱分離のために、前記光学素子の一部を、該光学素子の環境の少なくとも一部から第1層及び第2層を用いて遮蔽し、
該第1層は、スペーサ体が前記光学素子の面と該第2層を形成する第2層構成要素との間に形成する隙間により画定され、
該隙間に流体が充填されることを特徴とする光学結像法。 - 請求項32に記載の光学結像法において、
前記光学素子が、前記基板に前記投影パターンを投影する間に光学的に使用される第1領域と光学的に使用されない第2領域とを備え、
前記遮蔽は、前記第2領域の第1区画の少なくとも一部、特に実質的に前記第2領域の第1区画全体を液浸媒体に対して遮蔽するものであり、前記第1区画を、前記液浸媒体に隣接して配置された前記第2領域の区画全体とし、かつ
前記第2領域の第2区画の少なくとも一部、特に実質的に前記第2領域の前記第2区画全体を前記投影装置の隣接区画に対してさらに遮蔽し、前記第2区画を、前記投影装置の前記隣接区画に隣接して配置された前記第2領域の区画全体とする光学結像法。 - 請求項32に記載の光学結像法において、
前記光学素子が、前記基板に前記投影パターンを投影する間に光学的に使用される第1領域と光学的に使用されない第2領域とを備え、
前記第2領域の第2区画の少なくとも一部、特に実質的に前記第2領域の前記第2区画全体を前記投影装置の隣接区画に対してさらに遮蔽し、前記第2区画を、前記投影装置の前記隣接区画に隣接して配置された前記第2領域の区画全体とする光学結像法。 - 請求項32に記載の光学結像法において、
保持装置によって前記光学素子を保持し、前記保持装置の少なくとも一部、特に実質的に保持装置全体を、前記投影装置の少なくとも一部に対して遮蔽する光学結像法。 - 請求項35に記載の光学結像法において、
前記投影装置の隣接区画に隣接して配置された前記保持装置の領域の少なくとも一部、特に前記投影装置の隣接区画に隣接して配置された前記保持装置の領域全体を、前記投影装置の前記隣接区画に対して遮蔽する光学結像法。 - 請求項32に記載の光学結像法において、
前記遮蔽が、前記光学素子を、該光学素子の環境の少なくとも一部から少なくとも部分的に熱分離し、
前記第2層に少なくとも1つの温度調節装置が接続され、前記遮蔽素子の少なくとも1つの表面で選択可能な温度分布が維持されるように前記温度調節装置を配置する光学結像法。 - 請求項37に記載の光学結像法において、
前記温度調節装置によって、前記第2の層の領域で伝熱媒体の流れを生じさせる光学結像法。 - 請求項37に記載の光学結像法において、
前記光学素子に対して目標温度分布TSEを与え、
前記第1層、前記第2層および前記温度調節装置により、前記目標温度分布TSEからの所定の最大偏差ΔTEを保持する光学結像法。 - 請求項39に記載の光学結像法において、
前記最大偏差ΔTEを、10mK未満、好ましくは1mK未満にする光学結像法。 - 請求項32に記載の光学結像法において、
前記光学素子が実測温度分布TEを有し、前記光学素子に対して目標温度分布TSEを与え、熱減衰装置が、前記液体によって前記光学素子の前記実測温度分布TEに誘発された変動を減衰し、
前記熱減衰装置が、少なくとも1つの確立装置と、前記確立装置に少なくとも一時的に接続された制御装置と、該制御装置に少なくとも一時的に接続された作用装置とを備え、
前記確立装置が、前記実測温度分布TEに作用するか、または前記実測温度分布TEを示す少なくとも1つのパラメータPを確立し、
前記制御装置が、前記確立されたパラメータPおよび前記目標温度分布TSEに関連して、少なくとも1つの制御値Cを確立し、
前記作用装置が、前記少なくとも1つの確立された制御値Cに関連して、前記実測温度分布TEに作用する制御パラメータCPを、前記目標温度分布TSEからの前記実測温度分布TEの偏差に反作用するように作用させる光学結像法。 - 請求項41に記載の光学結像法において、
前記パラメータPを、前記光学素子に隣接して配置された液浸媒体の少なくとも1つの局所温度または前記光学素子の少なくとも1つの局所温度とする光学結像法。 - 請求項42に記載の光学結像法において、
前記少なくとも1つの局所温度を測定し、かつ/または
前記少なくとも1つの局所温度を評価する光学結像法。 - 請求項41に記載の光学結像法において、
液浸媒体を前記光学素子に隣接して配置し、
前記制御パラメータCPを、
前記液浸媒体の温度、
前記液浸媒体の流量、
前記液浸媒体に接触するガス雰囲気の温度、
前記液浸媒体に接触するガス雰囲気の湿度、
前記液浸媒体に接触するガス雰囲気の流量、または
前記光学素子と作動接続している少なくとも1つの温度調節素子の温度とする光学結像法。 - 請求項41に記載の光学結像法において、
液浸ゾーン内における前記光学素子および/または前記光学素子に隣接して配置された液浸媒体の温度挙動モデルを用いて前記制御値Cを確立する光学結像法。 - 請求項45に記載の光学結像法において、
前記制御値Cを確立するためにモデルデータを使用し、
前記モデルデータを、前記温度挙動モデルまたは前記温度挙動モデルを計算するためのパラメータとする光学結像法。 - 請求項32に記載の光学結像法において、
前記隙間が気体および/または液体を充填され、および/または
前記隙間が、温度調節された流体で連続的または断続的に洗浄される光学結像法。 - 請求項32に記載の光学結像法において、
第3層が特に前記第2層に接続されており、前記第3層が特に疎水層であり、
前記第2層が、特に流体を充填され、外壁と内壁との間に形成される内部通路を含む光学結像法。 - 請求項32に記載の光学結像法において、
前記隙間は、前記光学素子の光学面と前記第2層構成要素との間に延在するシール素子により、周囲の大気に対してシールされる光学結像法。 - 請求項41に記載の光学結像法において、
前記光学素子の一部を、該光学素子の環境の少なくとも一部から前記第1層及び前記第2層を用いて遮蔽する遮蔽装置を、隣接ガス雰囲気との接触領域で蒸発により誘発される前記光学素子に隣接して配置された液浸媒体の冷却に作用させ、
前記液浸媒体に接触する前記ガス雰囲気の少なくとも1つの状態パラメータを調節し、
前記少なくとも1つの状態パラメータを、前記ガス雰囲気の温度TA、前記ガス雰囲気の湿度HAまたは前記ガス雰囲気の流量VAとする光学結像法。 - 請求項50に記載の光学結像法において、
前記接触領域内の前記液浸媒体の状態に関連して前記制御値Cを確立し、これにより、前記液浸媒体の蒸発により誘発される所定の冷却が前記接触領域で予想されるように、特に実質的に蒸発に起因する冷却が前記接触領域で予想されないようにする光学結像法。 - 請求項50に記載の光学結像法において、
前記液浸媒体の自由面全体にわたって前記接触領域を延在させる光学結像法。 - 請求項41に記載の光学結像法において、
前記光学素子の一部を、該光学素子の環境の少なくとも一部から前記第1層及び前記第2層を用いて遮蔽する遮蔽装置によって、前記光学素子の温度を直接に調節する光学結像法。 - 請求項53に記載の光学結像法において、
液浸ゾーンの前記光学素子に隣接して配置された液浸媒体内の温度分布TIに関連して前記制御値Cを確立し、これにより、前記液浸媒体内で確立された前記温度分布TIに基づく前記目標温度分布TSEからの前記実測温度分布TEの偏差に反作用するように前記光学素子の前記温度を調節する光学結像法。 - 請求項53に記載の光学結像法において、
前記光学素子の前記温度を液浸素子の周縁部領域で調節する光学結像法。 - 請求項41に記載の光学結像法において、
前記光学素子の少なくとも1つの光学結像エラーが低減され、特に最小限となるように前記目標温度分布TSEを選択する光学結像法。 - 請求項41に記載の光学結像法において、
前記光学素子群の少なくとも1つの結像エラーが低減され、特に最小限となるように前記目標温度分布TSEを選択する光学結像法。 - 請求項32に記載の光学結像法において、
石英ガラスの屈折率よりも大きい屈折率を有する材料により前記光学素子を作製する光学結像法。 - 請求項32に記載の光学結像法において、
石英ガラスの屈折率よりも温度依存性が大きい屈折率を有する材料により前記光学素子を作製する光学結像法。 - 請求項32に記載の光学結像法において、
スピネルまたはLuAGから前記光学素子を作製する光学結像法。 - 請求項32に記載の光学結像法において、
開口数を少なくとも1.3、特に1.4にする光学結像法。 - 特にマイクロリソグラフィのための光学結像装置において、
投影パターンを有するマスクを収容するためのマスク装置と、
光学素子群を有する投影装置と、基板を収容するための基板装置とを備え、
前記光学素子群が、投影パターンを前記基板に投影するように構成されており、
前記光学素子群が、少なくとも1つの熱制御された光学素子を備える複数の光学素子を備える、特にマイクロリソグラフィのための光学結像装置において、
遮蔽装置に、前記熱制御された光学素子が対応配置されており、該遮蔽装置は、前記熱制御された光学素子の温度分布TEの変動を減衰するように構成されており、
前記遮蔽装置が第1及び第2の層を備え、該第1層は、スペーサ体が前記光学素子の面と該第2層を形成する第2層構成要素との間に形成する隙間により画定され、該隙間に流体が充填され、
前記遮蔽装置が、該熱制御された光学素子のための温度挙動モデルを用いて前記熱制御された光学素子の温度変動を減じることを特徴とする光学結像装置。 - 特にマイクロリソグラフィのための光学結像法において、
投影パターンを備えるマスクを収容するためのマスク装置と、
光学素子群を備える投影装置と、
基板を収容するための基板装置と、
液浸ゾーンとを有し、
前記光学素子群が、投影パターンを前記基板に投影するように構成されており、
前記光学素子群が、作動中に少なくとも一時的に基板に隣接して配置された最終光学素子を備える複数の光学素子を有し、
前記液浸ゾーンが、動作中に、前記最終光学素子と前記基板との間に配置され、少なくとも一時的に液浸媒体を充填される光学結像法において、
前記液浸媒体により前記最終光学素子の温度分布TEに誘発された変動を減じるように構成された遮蔽装置が設けられており、
前記遮蔽装置が第1及び第2の層を備え、該第1層は、スペーサ体が前記光学素子の面と該第2層を形成する第2層構成要素との間に形成する隙間により画定され、該隙間に流体が充填されることを特徴とする光学結像装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102006021797.7 | 2006-05-09 | ||
DE200610021797 DE102006021797A1 (de) | 2006-05-09 | 2006-05-09 | Optische Abbildungseinrichtung mit thermischer Dämpfung |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009508387A Division JP5543201B2 (ja) | 2006-05-09 | 2007-05-09 | 光学結像装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012256921A JP2012256921A (ja) | 2012-12-27 |
JP5543549B2 true JP5543549B2 (ja) | 2014-07-09 |
Family
ID=38529694
Family Applications (5)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009508387A Expired - Fee Related JP5543201B2 (ja) | 2006-05-09 | 2007-05-09 | 光学結像装置 |
JP2012175295A Expired - Fee Related JP5543549B2 (ja) | 2006-05-09 | 2012-08-07 | 光学結像装置 |
JP2014097025A Active JP5908940B2 (ja) | 2006-05-09 | 2014-05-08 | 光学結像装置 |
JP2016058868A Expired - Fee Related JP6240247B2 (ja) | 2006-05-09 | 2016-03-23 | 光学結像装置 |
JP2017212383A Withdrawn JP2018055111A (ja) | 2006-05-09 | 2017-11-02 | 光学結像装置 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009508387A Expired - Fee Related JP5543201B2 (ja) | 2006-05-09 | 2007-05-09 | 光学結像装置 |
Family Applications After (3)
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JP2014097025A Active JP5908940B2 (ja) | 2006-05-09 | 2014-05-08 | 光学結像装置 |
JP2016058868A Expired - Fee Related JP6240247B2 (ja) | 2006-05-09 | 2016-03-23 | 光学結像装置 |
JP2017212383A Withdrawn JP2018055111A (ja) | 2006-05-09 | 2017-11-02 | 光学結像装置 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (4) | US8363206B2 (ja) |
EP (1) | EP2016465B1 (ja) |
JP (5) | JP5543201B2 (ja) |
KR (1) | KR101411764B1 (ja) |
CN (1) | CN101479665B (ja) |
DE (1) | DE102006021797A1 (ja) |
TW (1) | TWI432909B (ja) |
WO (1) | WO2007128835A1 (ja) |
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-
2008
- 2008-11-07 US US12/267,074 patent/US8363206B2/en active Active
-
2012
- 2012-08-07 JP JP2012175295A patent/JP5543549B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2012-12-12 US US13/712,576 patent/US8902401B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2014
- 2014-05-08 JP JP2014097025A patent/JP5908940B2/ja active Active
- 2014-11-03 US US14/531,109 patent/US9810996B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2016
- 2016-03-23 JP JP2016058868A patent/JP6240247B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2017
- 2017-11-01 US US15/800,606 patent/US20180181007A1/en not_active Abandoned
- 2017-11-02 JP JP2017212383A patent/JP2018055111A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014168095A (ja) * | 2006-05-09 | 2014-09-11 | Carl Zeiss Smt Gmbh | 光学結像装置 |
JP2016177289A (ja) * | 2006-05-09 | 2016-10-06 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | 光学結像装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20090135385A1 (en) | 2009-05-28 |
US8902401B2 (en) | 2014-12-02 |
JP2014168095A (ja) | 2014-09-11 |
US20130114057A1 (en) | 2013-05-09 |
TW200813641A (en) | 2008-03-16 |
JP2018055111A (ja) | 2018-04-05 |
JP5543201B2 (ja) | 2014-07-09 |
JP2012256921A (ja) | 2012-12-27 |
CN101479665B (zh) | 2012-07-11 |
US20180181007A1 (en) | 2018-06-28 |
US9810996B2 (en) | 2017-11-07 |
JP2009536452A (ja) | 2009-10-08 |
EP2016465A1 (en) | 2009-01-21 |
US8363206B2 (en) | 2013-01-29 |
KR20090018939A (ko) | 2009-02-24 |
DE102006021797A1 (de) | 2007-11-15 |
US20150109591A1 (en) | 2015-04-23 |
WO2007128835A1 (en) | 2007-11-15 |
JP2016177289A (ja) | 2016-10-06 |
KR101411764B1 (ko) | 2014-06-25 |
EP2016465B1 (en) | 2016-09-14 |
JP6240247B2 (ja) | 2017-11-29 |
CN101479665A (zh) | 2009-07-08 |
JP5908940B2 (ja) | 2016-04-26 |
TWI432909B (zh) | 2014-04-01 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130611 |
|
A601 | Written request for extension of time |
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|
A602 | Written permission of extension of time |
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|
A521 | Written amendment |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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