JP5030638B2 - カラーフィルタ及びその製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、液晶ディスプレイや固体撮像素子等に用いられるカラーフィルタを作製するのに好適なカラーフィルタ及びその製造に関する。

カラーフィルタは、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）や固体撮像素子（ＣＣＤ、ＣＭＯＳなど）に不可欠な構成部品である。

液晶ディスプレイは、表示装置としてＣＲＴと比較すると、コンパクトであり、かつ性能面では同等以上であることから、テレビ画面、パソコン画面、その他の表示装置の表示部として従来のＣＲＴに置き換わりつつある。また、近年では、液晶ディスプレイの技術動向は、画面が比較的小面積であった従来のモニター用途から、画面が大型で高度な画質が求められるＴＶ用途に向かいつつある。

ＬＣＤ用カラーフィルタ用途においては、大型ＴＶ用として基板サイズが拡大しており、大型基板を用いた場合の生産性向上のため、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）等の着色画素（すなわちカラーフィルタ）の形成に用いられる硬化性組成物としては、低エネルギーで硬化できるものが望まれる。

また、ＴＶ用途の液晶ディスプレイでは、従来のモニター用途のものに比し、より高度な画質が求められている。すなわち、コントラスト及び色純度の向上である。したがって、コントラスト向上の点から、着色画素（カラーフィルタ）の形成に用いられる硬化性組成物については、使用する着色剤（有機顔料等）の粒子サイズがより微小であることが求められている（例えば、特許文献１参照）。これに伴ない、顔料分散のための分散剤添加量が増加する傾向にある。また、色純度向上の点から、硬化性組成物の固形分中に占める着色剤（有機顔料等）の含有率がより高いものが求められている。これに伴ない、硬化性組成物の固形成分中に占める光重合開始剤及び光重合性モノマーの含有率が相対的に減少する傾向にある。

一方、固体撮像素子用カラーフィルタ用途においては、パターンの薄膜化が進んでおり、これに伴なって硬化性組成物中の顔料濃度が高くなっている。更に、顔料の微細化に伴なって硬化性組成物中の顔料分散剤の割合が増加する傾向にもある。したがって、光重合開始剤及び光重合性モノマーの含有率は相対的に少なくなる。

以上のように、液晶ディスプレイ用、固体撮像素子用のいずれの用途においても、硬化性組成物を硬化させるために必要な成分である光重合開始剤及び光重合性モノマーの含有率が制限されるうえ、顔料濃度も高くなっているため、基板となる無機材料との間の密着性が不充分になっており、ひいては所望のパターン形成が著しく困難になっている。

上記に関連して、無機基板への密着性を向上させるため、シランカップリング剤を導入する技術が提案されている（例えば、特許文献３〜４参照）。また、本来現像除去されるべき領域（ネガ型では非露光部）における現像残査を防止する技術として、１級アミンや２級アミン系シランカップリング剤を導入する技術が提案されている（例えば、特許文献５参照）。
特開２００６−３０５４１号公報 特開平２−１２７６０２号公報 特許第２８７４０９１ 特開平１１−３８２２６号公報 特開２０００−３５６７０号公報

しかし、任意のシランカップリング剤を単に導入するのみでは、充分な密着性を得ることはできず、むしろシランカップリング剤の導入により現像除去されるべき領域（ネガ型では非露光部）の着色層の無機基板への密着性も高まるために、該領域で現像残渣が残りやすくなる。

また、上記の１級アミンや２級アミンは、組成物中のエチレン性不飽和結合にマイケル付加する特性により、経時で組成物の粘度が上昇する、組成物がゲル化する等の課題がある。

本発明は、上記に鑑み成されたものであり、未露光の非硬化部における現像残査を少なく抑えてパターン形成性を保ちつつ、基材となる無機材料との密着性に優れた着色パターンを備えたカラーフィルタ及びその製造方法を提供することを目的とし、該目的を達成することを課題とする。

本発明は、特定の密着助剤で処理された無機材料と、この無機材料の表面への層形成に用いる顔料組成物に添加するシラン化合物として特定の有機シラン化合物を用いた構成とすることが、無機材料とこの上に形成された着色パターンとの密着性を良化するのに効果的であるとの知見を得、かかる知見に基づいて達成されたものである。
前記課題を解決するための手段は、以下の通りである。

＜１＞ 無機材料上に下記一般式（Ａ）で表される化合物である密着助剤を付与する密着処理工程と、密着助剤が付与された前記無機材料の上に、（Ａ）下記一般式（ＩＩ）で表される有機シラン化合物と（Ｂ）オキシム系化合物と（Ｃ）エチレン性不飽和二重結合を有する化合物と（Ｄ）顔料とを含有し、前記有機シラン化合物の含有量が硬化性顔料組成物の全固形分量に対して０．１〜１質量％である前記硬化性顔料組成物を付与して硬化性層を形成する層形成工程と、前記硬化性層を、マスクを介してパターン状に露光する露光工程と、露光後の前記硬化性層を現像して着色パターンを形成する現像工程と、を含むカラーフィルタの製造方法である。

前記（II）において、Ｌ’はヒドロキシ基、アミノ基、チオカルボニル基、メルカプト基、カルバモイル基、カルバモイルオキシ基、カルバモイルアミノ基から選択される親水性基、スルホンアミド部位、ウレタン部位、チオウレタン部位、アミド部位、チオエーテル部位、ウレア部位、チオウレア部位、オキシカルボニルオキシ部位、アンモニウム基、２級アミン部位、３級アミン部位、−（ＣＨ_２ＣＨ_２Ｏ）_ａ−で表されるポリエチレンオキシ部位（但し、ａは２以上の整数）、及び下記構造式で表される部分構造（１価ないし３価の親水性部位）を含む１価の有機基を表し、Ｒ^１及びＲ^２は各々独立に炭化水素基を表す。ｎは１〜３の整数を表す。

前記構造式中、Ｍ^１及びＭ^２は、それぞれ独立に水素原子、１価の金属原子を表す。
〔一般式（Ａ）中、Ｒ ^１ 〜Ｒ ^６ は、各々独立に炭素数１〜４の炭化水素基を表す。〕

＜２＞ 前記有機シラン化合物が、下記一般式（III）又は下記一般式（IV）で表される化合物であることを特徴とする前記＜１＞に記載のカラーフィルタの製造方法である。

前記一般式（III）において、Ｒ^１１及びＲ^１２は、各々独立に炭素数１〜６の炭化水素基を表す。Ｒ^３は、炭素数１〜１２の２価の炭化水素基を表し、炭化水素構造中に環構造及び／又は不飽和結合を有していてもよい。Ｘは、ヒドロキシ基、アミノ基、チオカルボニル基、メルカプト基、カルバモイル基、カルバモイルオキシ基、カルバモイルアミノ基から選択される親水性基、スルホンアミド部位、ウレタン部位、チオウレタン部位、アミド部位、チオエーテル部位、ウレア部位、チオウレア部位、オキシカルボニルオキシ部位、アンモニウム基、２級アミン部位、３級アミン部位、−（ＣＨ_２ＣＨ_２Ｏ）_ａ−で表されるポリエチレンオキシ部位（但し、ａは２以上の整数）、及び下記構造式で表される部分構造から選択される１価の親水性部位を表す。ｎは１〜３の整数を表す。

前記一般式（IV）において、Ｒ^１１及びＲ^１２は、各々独立に炭素数１〜６の炭化水素基を表し、Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６及びＲ^７は各々独立に単結合、又は炭素数１〜１２の炭化水素鎖を表す。Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６及びＲ^７が炭化水素鎖を表す場合、その炭化水素構造中に環構造及び／又は不飽和結合を有していてもよい。Ｘ’は、ヒドロキシ基、アミノ基、チオカルボニル基、メルカプト基、カルバモイル基、カルバモイルオキシ基、カルバモイルアミノ基から選択される親水性基、スルホンアミド部位、ウレタン部位、チオウレタン部位、アミド部位、チオエーテル部位、ウレア部位、チオウレア部位、オキシカルボニルオキシ部位、アンモニウム基、２級アミン部位、３級アミン部位、−（ＣＨ_２ＣＨ_２Ｏ）_ａ−で表されるポリエチレンオキシ部位（但し、ａは２以上の整数）、及び下記構造式で表される部分構造（１価の親水性部位）を含む親水性部位を含んでもよい１価の置換基を表す。Ｙ及びＹ’は、各々独立に２価の親水性部位を表し、Ｚはｑの値に応じた２価又は３価の親水性部位を表す。ｐは０〜２０の整数を表し、ｑは１又は２を表し、ｒは０〜３の整数を表す。ｎは１〜３の整数を表す。

前記構造式中、Ｍ^１及びＭ^２は、それぞれ独立に水素原子、１価の金属原子を表す。
＜３＞ 前記有機シラン化合物は、前記一般式（IV）で表される有機シラン化合物であり、かつＸ’、Ｙ、Ｙ’、及びＺの少なくとも１つにアミノ基を有することを特徴とする前記＜２＞に記載のカラーフィルタの製造方法である。
＜４＞ 前記１価の親水性部位がアミノ基であることを特徴とする前記＜１＞〜＜３＞のいずれか１つに記載のカラーフィルタの製造方法。

＜５＞ 上記＜１＞〜＜４＞のいずれか１つのカラーフィルタの製造方法により作製された密着助剤が付与された無機材料の密着助剤付与面に着色パターンを有するカラーフィルタである。

本発明によれば、未露光の非硬化部における現像残査を少なく抑えてパターン形成性を保ちつつ、基材となる無機材料との密着性に優れた着色パターンを備えたカラーフィルタ及びその製造方法を提供することができる。また、本発明のカラーフィルタの製造方法は、上記のカラーフィルタを高い生産性にて製造するのに有効である。

以下、本発明のカラーフィルタの製造方法について詳細に説明し、該説明を通じて、本発明のカラーフィルタについても詳述することとする。

本発明のカラーフィルタの製造方法は、無機材料上に密着助剤を（好ましくは塗布もしくは蒸着により）付与する密着処理工程と、密着助剤が付与された前記無機材料の上に硬化性顔料組成物を付与（好ましくは塗布）して硬化性層を形成する層形成工程と、前記硬化性層を、マスクを介してパターン状に露光する露光工程と、露光後の前記硬化性層を現像して着色パターンを形成する現像工程とを設けて構成されたものである。本発明のカラーフィルタの製造方法は、必要に応じて更に、他の構成を設けて構成することができる。

本発明のカラーフィルタの製造方法においては、カラーフィルタを構成する基板として密着助剤が付与された無機材料を用い、無機材料の密着助剤が付与された領域（例えば、密着助剤が付与された無機基材の表面）に形成する硬化性層中に特定の有機シラン化合物を存在させることで、有機シラン化合物を介し、顔料、或いは分散剤と密着助剤が付与された領域との密着性と現像性に優れた状態を形成することができ、現像除去しようとする領域での現像残渣を悪化することなく、無機材料面との密着性に優れた着色パターンを形成することができる。
しかも、密着助剤の付与、層形成、露光、現像の簡易なプロセスでカラーフィルタの作製が可能であり、生産性も高めることができる。

以下、本発明のカラーフィルタの製造方法の各工程について詳細に説明する。
−密着処理工程−
密着処理工程では、無機材料上に密着助剤を付与する。密着助剤の付与は、塗布、インクジェット付与、印刷、蒸着などの方法により行なうことができる。

塗布による場合、スリット塗布、回転塗布、流延塗布、ロール塗布、スプレー塗布等の各種公知の塗布方法を適用することができる。

インクジェット付与による場合、インクジェットヘッドを用いたインクジェット法により吐出する方法を適用できる。インクジェットヘッドとしては、例えば、静電誘引力を利用してインクを吐出させる電荷制御方式、ピエゾ素子の振動圧力を利用するドロップオンデマンド方式（圧力パルス方式）、電気信号を音響ビームに変えインクに照射して放射圧を利用してインクを吐出させる音響インクジェット方式、インクを加熱して気泡を形成し、生じた圧力を利用するサーマルインクジェット（バブルジェット（登録商標））方式、等のヘッドが好適である。

印刷による場合、スクリーン印刷法を適用することができる。
蒸着による場合、スプレーによる噴霧、気化による蒸着、ディッピング等が挙げられる。中でも、気化による蒸着が好ましく、その場合、減圧下で３０〜６００秒程度処理されることが好ましい。

塗布やインクジェット付与による場合、密着助剤を用いて調製した溶液が用いられる。この溶液には、例えば、シクロヘキサノンなどの溶剤に、所望の密着助剤を混合、溶解して調製したものを用いることができる。

上記のように密着助剤の付与後は、ホットプレート、オーブン等を用いて、５０〜３００℃で３０〜６００秒程度乾燥させることが好ましい。

本発明に用いる密着助剤としては、後述の硬化性層（特に有機シラン化合物）との間に働く硬化部（画像）密着性と未硬化部現像性の点から、シリコン窒化物、シリコン酸化物などを用いることができる。中でも、非硬化部（非露光部）の現像残渣を悪化することなく、無機の基板面との密着性に優れた着色パターンを形成する点から、下記一般式（Ａ）で表される化合物が好ましい。但し、本発明においてはこれに限定されるものではない。

前記一般式（Ａ）中、Ｒ^１〜Ｒ^６は、各々独立に炭素数１〜４の炭化水素基を表し、構造中に環構造及び／又は不飽和結合を有していてもよい。炭素数１〜４の炭化水素基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基等が挙げられる。中でも、Ｒ^１〜Ｒ^６の全てがメチル基である場合が好ましい。

前記一般式（Ａ）で表される化合物の具体例を列挙する。但し、本発明においてはこれらに制限されるものではない。

密着助剤の無機基材上における存在量としては、密着助剤が処理された無機基材上の水の接触角が５０°以上が好ましく、６０°以上が好ましい。前記範囲内であると、本来現像除去される未露光領域の後述の硬化性層の現像残渣を少なく抑えつつ、カラーフィルタを構成する着色パターンの密着性を効果的に向上させることができる。

無機材料としては、任意の基材上に設けられた無機膜、無機基材（基板、シート、フィルム等を含む）などが含まれ、無機基材が好ましい。更に好ましい例として、固体撮像素子等に用いられる光電変換素子基板、例えばシリコン基板（特にＳｉＮ、ＳｉＯ_２、ＳｉＯＮ基板等の無機基板）等や、相補性金属酸化膜半導体（ＣＭＯＳ）等が挙げられる。これらの基板は、各画素を隔離するブラックストライプが形成されている場合もある。
中でも特に、無機基板が前記一般式（Ａ）で表される化合物で処理されている場合が好ましい。

−層形成工程−
層形成工程では、前記密着処理工程において密着助剤が付与された無機材料の上に、（Ａ）一般式（ＩＩ）で表される有機シラン化合物、（Ｂ）オキシム系化合物、（Ｃ）エチレン性不飽和二重結合を有する化合物、及び（Ｄ）顔料を含有する硬化性顔料組成物を塗布して硬化性層を形成する。

無機材料上に硬化性顔料組成物を付与する方法としては、塗布、インクジェット付与、印刷、蒸着などの方法が挙げられる。これらの詳細については、前記密着処理工程と同様である。

硬化性顔料組成物の塗布膜厚としては、０．１〜５μｍが好ましく、０．２〜３μｍがより好ましく、０．２〜１μｍがさらに好ましい。膜厚が前記範囲内であると、密着性に優れた着色パターンを形成する点で有効である。

無機材料上に形成された硬化性層の乾燥（プリベーク）は、ホットプレート、オーブン等を用いて、５０〜１４０℃の温度で１０〜３００秒間の加熱条件で行なうことができる。

なお、硬化性顔料組成物の詳細〔（Ａ）一般式（Ｉ）で表される有機シラン化合物、（Ｂ）オキシム系化合物、（Ｃ）エチレン性不飽和二重結合を有する化合物、及び（Ｄ）顔料を含む〕については後述する。

−露光工程−
露光工程では、前記層形成工程で形成された硬化性層を、マスクを介してパターン状に露光（パターン露光）する。このパターン露光により、硬化性層に潜像を形成することができる。

露光は、所定のマスクパターンを有するマスクを用い、照射された放射線をマスクを通してパターン状にあてることにより行なえる。

露光に使用可能な放射線としては、ｇ線、ｉ線等の紫外線が好ましく用いられる。
露光時の照射量は、５〜１５００ｍＪ／ｃｍ^２が好ましく、１０〜１０００ｍＪ／ｃｍ^２がより好ましく、１０〜５００ｍＪ／ｃｍ^２が最も好ましい。

−現像工程−
現像工程では、前記露光工程で露光された後の硬化性層を現像して着色パターンを形成する。現像により前記露光工程で形成された潜像が顕在化させることができる。この着色パターンは、カラーフィルタを構成するＲＧＢを含む着色画素をなすものである。

前記露光工程での露光後、硬化性層の露光領域だけを硬化させ、非露光領域を現像液で現像する。このとき、未露光領域である非硬化部をアルカリ水溶液に溶出させ、露光領域である硬化部だけが残る。このようにして、色画素（例えば３色もしくは４色の画素）で構成された着色パターン膜（カラーフィルタ膜）が形成される。

現像液としては、有機アルカリ現像液が好適であり、無機材料の回路などにダメージを起さないものが望ましい。現像温度は、通常２０℃〜３０℃であり、現像時間は２０〜９０秒である。

現像液の調製に用いるアルカリ剤としては、例えば、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、１，８−ジアザビシクロ−［５、４、０］−７−ウンデセンなどの有機アルカリ性化合物が挙げられる。
現像液としては、上記のアルカリ剤を濃度が０．００１〜１０質量％、好ましくは０．０１〜１質量％となるように純水で希釈したアルカリ性水溶液が好ましく使用される。

なお、このようなアルカリ性水溶液を現像液として使用した場合は、一般に現像後に純水で洗浄（リンス）する。

さらに、本発明においては、上記の密着処理工程、層形成工程、露光工程、及び現像工程を行なった後、必要により形成された着色パターンを加熱及び／又は露光することにより硬化する硬化工程を含んでいてもよい。

硬化工程の一つとして、余剰の現像液を洗浄除去して乾燥を施した後に、加熱処理（ポストベーク）を行なうことが好ましい。ポストベークは、硬化を完全なものとするための現像後の加熱処理であり、通常１００℃〜２４０℃の熱処理が行なわれる。前記温度範囲の中では、２００℃〜２４０℃が好ましい。
このポストベークは、現像後の硬化性層を、前記条件にてホットプレートやコンベクションオーブン（熱風循環式乾燥機）、高周波加熱機等の加熱手段を用いて、連続式あるいはバッチ式で行なうことができる。

上記のように、各色ごとに既述した各工程を所望の色相数だけ順次繰り返し行なうことにより、所望の色相の硬化パターンで構成されたカラーフィルタを製造することができる。

〜硬化性顔料組成物〜
次に、硬化性顔料組成物を構成するための各成分について詳述する。
本発明における硬化性顔料組成物は、少なくとも、（Ａ）後述の一般式（ＩＩ）で表される有機シラン化合物（以下、「特定有機シラン化合物」ということがある。）、（Ｂ）オキシム系化合物、（Ｃ）エチレン性不飽和二重結合を有する化合物、及び（Ｄ）顔料を含有する。また、必要に応じて、更に分散剤、増感剤、バインダーポリマー等の他の成分を用いて構成することができる。

（Ａ）一般式（Ｉ）で表される有機シラン化合物
本発明における硬化性顔料組成物は、下記一般式（Ｉ）で表される有機シラン化合物（特定有機シラン化合物）の少なくとも一種を含有する。この特定有機シラン化合物を含有することで、既述の密着助剤が付与された無機材料との間で高い密着性が得られる。しかも、硬化性顔料組成物が未露光状態のときには、現像良好であり、現像残渣を抑えることができる。

前記一般式（Ｉ）において、Ｌは１価の有機基を表し、Ｒ^１及びＲ^２は各々独立に炭化水素基を表す。ｎは１〜３の整数を表す。

Ｌで表される１価の有機基としては、例えば、炭素数１以上の置換されていてもよいアルキル基、アルケニル基、アリール基、アルコキシ基、アミノ基、又はこれらの組み合わされた基が挙げられる。中でも、炭素数１〜２０の置換されていてもよいアルキル基が好ましい。

Ｒ^１、Ｒ^２で表される炭化水素基としては、例えば、直鎖、分岐鎖、又は環状のアルキル基（例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、シクロヘキシル基、フェニル基）などが挙げられる。中でも、Ｒ^１、Ｒ^２は、炭素数１〜１２の直鎖、分岐鎖又は環状のアルキル基が好ましく、炭素数１〜６の直鎖のアルキル基がより好ましく、メチル基、エチル基は特に好ましい。
また、ｎは１〜３の整数を表し、安定性と密着性の観点から、好ましくは２〜３である。

本発明における有機シラン化合物は、分子内に親水性部位が少なくとも１つ有する化合物が好ましく、複数の親水性部位を有する化合物がより好ましい。複数の親水性部位が分子内に存在する場合、親水性部位は同一であっても異なっていてもよい。

前記一般式（Ｉ）で表される有機シラン化合物のうち、硬化性の点及び硬化後の硬化部以外を現像等して除去する場合の除去性の点から、下記一般式（II）で表される有機シラン化合物が好ましい。すなわち、親水性部位を含む１価の有機基を有する有機シラン化合物である。

前記一般式（II）において、Ｌ’は、親水性部位を含む１価の有機基を表す。
Ｒ^１及びＲ^２は各々独立に炭化水素基を表し、一般式（Ｉ）のＲ^１及びＲ^２と同義であり、Ｒ^１、Ｒ^２で表される炭化水素基の詳細及びその好ましい態様については、一般式（Ｉ）における場合と同様である。
また、ｎは１〜３の整数を表し、安定性と密着性の観点から、好ましくは２〜３である。

以下、Ｌ’で表される「親水性部位を含む１価の有機基」について説明する。
１価の有機基Ｌ’に含まれる「親水性部位」とは、水に代表される高極性物質との親和性が高い有極性の原子団を表し、例えば酸素、窒素、硫黄、リンなどの原子を含む。このような親水性部位として、水に代表される高極性物質との双極子−双極子相互作用、双極子−イオン相互作用、イオン結合、水素結合等が可能な部位が挙げられる。

親水性部位の例としては、酸素、窒素、硫黄などの原子を含む極性基や解離基、水素結合ドナー、水素結合アクセプター、複数の孤立電子対を有しこれらが集まって親水場を提供できる部位等が挙げられる。具体的には、例えば、ヒドロキシ基、アミノ基、カルボニル基、チオカルボニル基、メルカプト基、カルバモイル基、カルバモイルオキシ基、カルバモイルアミノ基などの親水性基、スルホンアミド部位、ウレタン部位、チオウレタン部位、アミド部位、エステル部位、チオエーテル部位、ウレア部位、チオウレア部位、オキシカルボニルオキシ部位、アンモニウム基、２級アミン部位、３級アミン部位、−（ＣＨ_２ＣＨ_２Ｏ）_ａ−で表されるポリエチレンオキシ部位（但し、ａは２以上の整数）、オキシカルボニルオキシ部位、及び下記構造式で表される部分構造（１価ないし３価の親水性部位）などが挙げられる。

前記構造式中、Ｍ^１及びＭ^２は、それぞれ独立に水素原子、１価の金属原子（例えば、リチウム、ナトリウム、カリウムなど）を表す。

このような親水性部位の中でも、硬化性顔料組成物の経時安定性の観点から、後述する「（Ｃ）エチレン性不飽和二重結合を有する化合物」のエチレン性二重結合に対してマイケル付加反応を起こさない構造がより好ましい。かかる観点から、ヒドロキシ基、カルボニル基、チオカルボニル基、カルバモイル基、カルバモイルオキシ基、カルバモイルアミノ基、ウレタン部位、チオウレタン部位、アミド部位、エステル部位、チオエーテル部位、ウレア部位、チオウレア部位、オキシカルボニルオキシ部位、アンモニウム基、３級アミン部位、−（ＣＨ_２ＣＨ_２Ｏ）_ａ−で表されるポリエチレンオキシ部位（但し、ａは２以上の整数）、オキシカルボニルオキシ部位、及び前記構造式で表される部分構造（１価ないし３価の親水性部位）が好ましい。

また、前記一般式（II）の部分構造である−Ｓｉ（ＯＲ^１）_ｎＲ^２ _３−ｎが加水分解反応を受けると、硬化性組成物が経時により増粘する等の要因となることがある。このような加水分解反応を誘発しにくいという観点からは、親水性部位の中でも、ヒドロキシ基、カルボニル基、チオカルボニル基、ウレタン部位、チオウレタン部位、アミド部位、エステル部位、チオエーテル部位、カルバモイル基、カルバモイルオキシ基、カルバモイルアミノ基、ウレア部位、チオウレア部位、３級アミン部位、ポリエチレンオキシ部位が好ましく、ヒドロキシ基、ウレタン部位、チオウレタン部位、アミド部位、スルホンアミド部位、エステル部位、ウレア部位、チオウレア部位、３級アミン部位、ポリエチレンオキシ部位が更に好ましく、ヒドロキシ基、ウレタン部位、チオウレタン部位、ウレア部位、３級アミン部位、−（ＣＨ_２ＣＨ_２Ｏ）_ａ−で表されるポリエチレンオキシ部位（但し、ａは２以上の整数）が最も好ましい。

上記の特定有機シラン化合物のうち、更に好ましくは、下記一般式（III）又は一般式（IV）で表される化合物である。

〈一般式（III）表される有機シラン化合物〉

前記一般式（III）において、Ｒ^１１及びＲ^１２は、各々独立に、炭素数１〜６の炭化水素基を表す。Ｒ^１１、Ｒ^１２で表される炭素数１〜６の炭化水素基としては、直鎖、分岐鎖、又は環状の炭素数１〜６のアルキル基（例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、シクロヘキシル基、フェニル基）などが挙げられる。中でも、Ｒ^１１、Ｒ^１２は、好ましくはメチル基、エチル基である。

Ｒ^３は、炭素数１〜１２の２価の炭化水素基を表し、炭化水素基は無置換でも置換基を有していてもよい。また、炭化水素基の炭化水素構造中には、環構造及び／又は不飽和結合を有していてもよい。また、炭化水素構造中に１価の親水性部位を有していてもよい。ここでいう親水性部位は、前記Ｌ’において説明したのものうち、１価の親水性部位として挙げたものをさし、好ましい例も同様である。
Ｒ^３で表される２価の炭化水素基の詳細については後述する。

Ｘは１価の親水性部位を表す。ここでいう親水性部位は、前記Ｌ’において説明したのものうち、１価の親水性部位として挙げたものをさし、好ましい例も同様である。
ｎは１〜３の整数を表し、安定性と密着性の観点から、好ましくは２〜３である。

〈一般式（IV）表される有機シラン化合物〉

前記一般式（IV）において、Ｒ^１１及びＲ^１２は、各々独立に炭素数１〜６の炭化水素基を表す。Ｒ^１１、Ｒ^１２で表される炭素数１〜６の炭化水素基としては、直鎖、分岐鎖、又は環状の炭素数１〜６のアルキル基（例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、シクロヘキシル基、フェニル基）などが挙げられる。中でも、Ｒ^１１、Ｒ^１２は、好ましくはメチル基、エチル基である。

Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６及びＲ^７は、各々独立に、単結合、又は無置換でも置換基を有していてもよい炭素数１〜１２の炭化水素鎖（２価の炭化水素基）を表す。ただし、Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６及びＲ^７が炭化水素鎖（２価の炭化水素基）を表す場合、その炭化水素構造中に環構造及び／又は不飽和結合を有していてもよい。また、炭化水素鎖（２価の炭化水素基）は、置換基として１価の親水性部位を有するものであってもよい。
Ｒ^４〜Ｒ^７で表される２価の炭化水素基の詳細については後述する。

Ｘ’は、水素原子、又は１価の置換基を表し、１価の置換基は親水性部位を含んでもよい。ここでいう親水性部位は、前記Ｌ’において説明したのものうち、１価の親水性部位として挙げたものをさし、好ましい例も同様である。

Ｙ及びＹ’は、各々独立に２価の親水性部位を表し、Ｚは、ｑの値に応じた２価又は３価の親水性部位を表し、ｑは１又は２である。すなわち、ｑが１の場合、Ｚは２価の親水性部位を表し、ｑが２の場合、Ｚは３価の親水性部位を表す。２価又は３価の親水性部位としては、前記一般式（Ｉ）又は一般式（II）において説明した親水性部位のうち、２価又は３価の親水性部位として例示したものと同様のものを挙げることができる。
ｐは０〜２０の整数を表し、ｒは０〜３の整数を表す。ｎは１〜３の整数を表す。

前記一般式（III）中のＲ^３、又は、前記一般式（IV）中のＲ^４、Ｒ^５、Ｒ^６、Ｒ^７が２価の炭化水素基である場合、直鎖、分岐鎖、又は環状構造を含むアルキル基、芳香環基が好ましく、これらは置換基を有していてもよい。
また、この２価の炭化水素基に導入可能な置換基としては、例えば、脂肪族基、芳香族基、ヘテロ環基、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、脂肪族オキシ基、芳香族オキシ基、ヘテロ環オキシ基、親水性基が挙げられ、中でも、炭素数１〜１２の脂肪族基、芳香族基、ヘテロ環基、塩素原子、シアノ基、親水性基が好ましい。
炭素数１〜１２の脂肪族基の好ましい例としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、シクロヘキシル基、オクチル基などが挙げられ、中でもメチル基、エチル基、プロピル基が好ましい。
芳香族基の例としては、フェニル基、ナフチル基、アントラセン基が挙げられ、フェニル基が好ましい。
ヘテロ環基の例としては、モルホリノ基、テトラヒドロフルフリル基、ピロリル基、フリル基、チオフェニル基、ベンゾピロリル基、ベンゾフリル基、ベンゾチオフェニル基、ピラゾリル基、イソキサゾリル基、イソチアゾリル基、インダゾリル基、ベンゾイソキサゾリル基、ベンゾイソチアゾリル基、イミダゾリル基、オキサゾリル基、チアゾリル基、ベンゾイミダゾリル基、ベンゾオキサゾリル基、ベンゾチアゾリル基、ピリジル基、キノリニル基、イソキノリニル基、ピリダジニル基、ピリミジニル基、ピラジニル基、シンノリニル基、フタラジニル基、キナゾリニル基、キノキサリニル基、アクリジニル基、フェナンスリジニル基、フタラジニル基、カルバゾリル基、カルボリニル基、プリニル基、トリアゾリル基、オキサジアゾリル基、チアジアゾリル基が挙げられ、モルホリノ基、テトラヒドロフルフリル基、ピリジル基が好ましい。
親水性基の例としては、ヒドロキシ基、アミノ基、カルボニル基、チオカルボニル基、メルカプト基、カルバモイル基、カルバモイルオキシ基、カルバモイルアミノ基などが挙げられ、ヒドロキシ基、カルボニル基、アミノ基が好ましい。

前記一般式（III）中のＲ^３、又は、前記一般式（IV）中のＲ^４、Ｒ^５、Ｒ^６、Ｒ^７が２価の炭化水素基である場合に有していてもよい「１価の親水性部位」としては、例えば、ヒドロキシ基、アミノ基、メルカプト基、アンモニウム基、カルバモイル基、カルバモイルオキシ基、カルバモイルアミノ基、及び下記構造式で表される部分構造部位（Ｍ^１、Ｍ^２については既述の通りである）が挙げられる。

上記のうち、前記一般式（III）中のＲ^３で表される「２価の炭化水素基」は、好ましくは炭素数１〜５のメチレン鎖、又は置換基を有していてもよく鎖中に酸素原子を含んでもよいメチレン鎖であり（より好ましくは、炭素数３のメチレン鎖）である。
前記一般式（IV）中のＲ^４〜Ｒ^７で表される「２価の炭化水素基」は、好ましくは炭素数１〜５のメチレン鎖、又は置換基を有していてもよく鎖中に酸素原子を含んでもよいメチレン鎖であり（より好ましくは、炭素数３のメチレン鎖）である。

前記一般式（III）中のＸ、又は前記一般式（IV）中のＸ’における１価の親水性部位の好ましい例としては、ヒドロキシ基、アミノ基、メルカプト基、アンモニウム基、カルバモイル基、カルバモイルオキシ基、カルバモイルアミノ基、及び下記構造式で表される部分構造部位（Ｍ^１、Ｍ^２については既述の通りである）が挙げられる。

前記一般式（IV）中、Ｙ^１、Ｙ^２、Ｚが２価の親水性部位である場合、その好ましい例としては、カルボニル基、チオカルボニル基、ウレタン部位、チオウレタン部位、アミド部位、エステル部位、チオエーテル部位、スルホンアミド部位、ウレア部位、チオウレア部位、２級アミン部位、−（ＣＨ_２ＣＨ_２Ｏ）_ａ−で表されるポリエチレンオキシ部位（但し、ａは２以上の整数）、オキシカルボニルオキシ部位、及び下記構造式で表される部分構造部位（Ｍ^１については既述の通りである）等が挙げられる。

前記一般式（IV）中、Ｚが３価の親水性部位である場合、その好ましい例としては、３級アミン部位、ウレア部位、チオウレア部位及び下記構造式で表される部分構造等が挙げられる。

前記一般式（III）で表される化合物のうち、好ましくは、Ｒ^１１、Ｒ^１２がメチル基又ははエチル基であって、Ｒ^３が炭素数１〜５のメチレン鎖、又は置換基を有していてもよく、鎖中に酸素原子を含んでもよいメチレン鎖（より好ましくは、炭素数３のメチレン鎖）であって、Ｘがアミノ基であって、ｎが２〜３（より好ましくは２）である場合がより好ましい。
また、前記一般式（IV）で表される化合物のうち、好ましくは、Ｒ^１１、Ｒ^１２がメチル基又はエチル基であって、Ｒ^４、Ｒ^５が炭素数１〜５のメチレン鎖（より好ましくは、炭素数２のメチレン鎖）であって、Ｒ^６、Ｒ^７が炭素数１〜５のメチレン鎖（より好ましくは、炭素数３のメチレン鎖）であって、Ｘ’がアミノ基であって、Ｙ、Ｙ’、Ｚがアミノ基であって、ｐが０であって、ｑが１であって、ｒが０であって、ｎが２〜３（より好ましくは２）である場合がより好ましい。

以下、前記一般式（Ｉ）ないし（IV）で表される特定有機シラン化合物の具体例を示す。但し、本発明においてはこれらに限定されるものではない。
前記一般式（Ｉ）で表される有機シラン化合物としては、例えば、β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、ビニルトリアセトキシシラン、γ−クロロプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、γ−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、トリメチルクロロシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、ビスアリルトリメトキシシラン、テトラエトキシシラン、ビス（トリメトキシシリル）ヘキサン、フェニルトリメトキシシラン等が挙げられる。

更に好ましい形態である前記一般式（II）、（III）又は（IV）で表される有機シラン化合物の具体例〔例示化合物（１）〜（１４５）〕を挙げる。

本発明における特定有機シラン化合物の硬化性顔料組成物中における含有量としては、０．１〜５．０質量％であることが好ましく、０．１〜１．０質量％であることがより好ましく、０．３〜０．８質量％であることが更に好ましい。特定有機シラン化合物の含有量が前記範囲内であると、現像除去しようとする領域での現像残渣を悪化することなく、無機の基板面との密着性に優れた着色パターンを形成することができる。

（Ｂ）光重合開始剤
本発明における硬化性顔料組成物は、光重合開始剤の少なくとも一種を含有する。
光重合開始剤は、光により分解し、後述の「（Ｃ）エチレン性不飽和二重結合を有する化合物」の重合を開始、促進する化合物であり、波長３００〜５００ｎｍの領域に吸収を有するものであることが好ましい。また、光重合開始剤は、単独で、又は２種以上を併用することができる。

光重合開始剤としては、例えば、有機ハロゲン化化合物、オキシジアゾール化合物、カルボニル化合物、ケタール化合物、ベンゾイン化合物、アクリジン化合物、有機過酸化化合物、アゾ化合物、クマリン化合物、アジド化合物、メタロセン化合物、ヘキサアリールビイミダゾール化合物、有機ホウ酸塩化合物、ジスルホン化合物、オキシムエステル化合物、オニウム塩化合物、アシルホスフィン（オキシド）化合物が挙げられる。
以下、これらの各化合物について詳細に述べる。

有機ハロゲン化化合物としては、具体的には、例えば「Bull Chem.Soc Japan」（若林等、４２、２９２４（１９６９））、米国特許第３，９０５，８１５号明細書、特公昭４６−４６０５号公報、特開昭４８−３６２８１号公報、特開昭５５−３２０７０号公報、特開昭６０−２３９７３６号公報、特開昭６１−１６９８３５号公報、特開昭６１−１６９８３７号公報、特開昭６２−５８２４１号公報、特開昭６２−２１２４０１号公報、特開昭６３−７０２４３号公報、特開昭６３−２９８３３９号公報、M.P.Hutt“Jurnal of Heterocyclic Chemistry”１（No.3），１９７０」に記載の化合物が挙げられ、特に、トリハロメチル基が置換したオキサゾール化合物、ｓ−トリアジン化合物が挙げられる。

ｓ−トリアジン化合物として、より好適には、少なくとも一つのモノ、ジ、又はトリハロゲン置換メチル基がｓ−トリアジン環に結合したｓ−トリアジン誘導体、具体的には、例えば、２，４，６−トリス（モノクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２，４，６−トリス（ジクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２，４，６−トリス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−メチル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２―ｎ−プロピル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（α，α，β−トリクロロエチル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−フェニル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（３，４−エポキシフェニル）−４、６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−クロロフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−〔１−（ｐ−メトキシフェニル）−２，４−ブタジエニル〕−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−スチリル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−メトキシスチリル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−ｉ−プロピルオキシスチリル）−４、６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−トリル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−ナトキシナフチル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−フェニルチオ−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−ベンジルチオ−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２，４，６−トリス（ジブロモメチル）−ｓ−トリアジン、２，４，６−トリス（トリブロモメチル）−ｓ−トリアジン、２−メチル−４，６−ビス（トリブロモメチル）−ｓ−トリアジン、２−メトキシ−４，６−ビス（トリブロモメチル）−ｓ−トリアジン等が挙げられる。

オキシジアゾール化合物としては、例えば、２−トリクロロメチル−５−スチリル−１，３，４−オキソジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（シアノスチリル）−１，３，４−オキソジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（ナフト−１−イル）−１，３，４−オキソジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（４−スチリル）スチリル−１，３，４−オキソジアゾールなどが挙げられる。

カルボニル化合物としては、例えば、ベンゾフェノン、ミヒラーケトン、２−メチルベンゾフェノン、３−メチルベンゾフェノン、４−メチルベンゾフェノン、２−クロロベンゾフェノン、４−ブロモベンゾフェノン、２−カルボキシベンゾフェノン等のベンゾフェノン誘導体、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、２，２−ジエトキシアセトフェノン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、α−ヒドトキシ−２−メチルフェニルプロパノン、１−ヒドロキシ−１−メチルエチル−（ｐ−イソプロピルフェニル）ケトン、１−ヒドロキシ−１−（ｐ−ドデシルフェニル）ケトン、２−メチルー（４’−（メチルチオ）フェニル）−２−モルホリノ−１−プロパノン、１，１，１−トリクロロメチル−（ｐ−ブチルフェニル）ケトン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−４−モルホリノブチロフェノン等のアセトフェノン誘導体、チオキサントン、２−エチルチオキサントン、２−イソプロピルチオキサントン、２−クロロチオキサントン、２，４−ジメチルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２，４−ジイソプロピルチオキサントン等のチオキサントン誘導体、ｐ−ジメチルアミノ安息香酸エチル、ｐ−ジエチルアミノ安息香酸エチル等の安息香酸エステル誘導体等を挙げることができる。

ケタール化合物としては、例えば、ベンジルメチルケタール、ベンジル−β−メトキシエチルエチルアセタールなどを挙げることができる。

ベンゾイン化合物としては、例えば、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾインメチルエーテル、メチルｏ−ベンゾイルベンゾエートなどを挙げることができる。

アクリジン化合物としては、例えば、９−フェニルアクリジン、１，７−ビス（９−アクリジニル）ヘプタンなどを挙げることができる。

有機過酸化化合物としては、例えば、トリメチルシクロヘキサノンパーオキサイド、アセチルアセトンパーオキサイド、１，１−ビス（ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシ）−３，３，５−トリメチルシクロヘキサン、１，１−ビス（ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシ）シクロヘキサン、２，２−ビス（ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシ）ブタン、ｔｅｒｔ−ブチルハイドロパーオキサイド、クメンハイドロパーオキサイド、ジイソプロピルベンゼンハイドロパーオキサイド、２，５−ジメチルヘキサン−２，５−ジハイドロパーオキサイド、１，１，３，３−テトラメチルブチルハイドロパーオキサイド、ｔｅｒｔ−ブチルクミルパーオキサイド、ジクミルパーオキサイド、２，５−ジメチル−２，５−ジ（ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシ）ヘキサン、２，５−オキサノイルパーオキサイド、過酸化コハク酸、過酸化ベンゾイル、２，４−ジクロロベンゾイルパーオキサイド、ジイソプロピルパーオキシジカーボネート、ジ−２−エチルヘキシルパーオキシジカーボネート、ジ−２−エトキシエチルパーオキシジカーボネート、ジメトキシイソプロピルパーオキシカーボネート、ジ（３−メチル−３−メトキシブチル）パーオキシジカーボネート、ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシアセテート、ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシピバレート、ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシネオデカノエート、ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシオクタノエート、ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシラウレート、ターシルカーボネート、３，３’，４，４’−テトラ−（ｔ−ブチルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン、３，３’，４，４’−テトラ−（ｔ−ヘキシルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン、３，３’，４，４’−テトラ−（ｐ−イソプロピルクミルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン、カルボニルジ（ｔ−ブチルパーオキシ二水素二フタレート）、カルボニルジ（ｔ−ヘキシルパーオキシ二水素二フタレート）等が挙げられる。

アゾ化合物としては、例えば、特開平８−１０８６２１号公報に記載のアゾ化合物等を挙げることができる。

クマリン化合物としては、例えば、３−メチル−５−アミノ−（（ｓ−トリアジン−２−イル）アミノ）−３−フェニルクマリン、３−クロロ−５−ジエチルアミノ−（（ｓ−トリアジン−２−イル）アミノ）−３−フェニルクマリン、３−ブチル−５−ジメチルアミノ−（（ｓ−トリアジン−２−イル）アミノ）−３−フェニルクマリン等を挙げることができる。

アジド化合物としては、例えば、米国特許第２８４８３２８号明細書、米国特許第２８５２３７９号明細書、及び米国特許第２９４０８５３号明細書に記載の有機アジド化合物、２，６−ビス（４−アジドベンジリデン）−４−エチルシクロヘキサノン（ＢＡＣ−Ｅ）等が挙げられる。

メタロセン化合物としては、例えば、特開昭５９−１５２３９６号公報、特開昭６１−１５１１９７号公報、特開昭６３−４１４８４号公報、特開平２−２４９号公報、特開平２−４７０５号公報、特開平５−８３５８８号公報記載の種々のチタノセン化合物、例えば、ジ−シクロペンタジエニル−Ｔｉ−ビス−フェニル、ジ−シクロペンタジエニル−Ｔｉ−ビス−２，６−ジフルオロフェニ−１−イル、ジ−シクロペンタジエニル−Ｔｉ−ビス−２，４−ジ−フルオロフェニ−１−イル、ジ−シクロペンタジエニル−Ｔｉ−ビス−２，４，６−トリフルオロフェニ−１−イル、ジ−シクロペンタジエニル−Ｔｉ−ビス−２，３，５，６−テトラフルオロフェニ−１−イル、ジ−シクロペンタジエニル−Ｔｉ−ビス−２，３，４，５，６−ペンタフルオロフェニ−１−イル、ジ−メチルシクロペンタジエニル−Ｔｉ−ビス−２，６−ジフルオロフェニ−１−イル、ジ−メチルシクロペンタジエニル−Ｔｉ−ビス−２，４，６−トリフルオロフェニ−１−イル、ジ−メチルシクロペンタジエニル−Ｔｉ−ビス−２，３，５，６−テトラフルオロフェニ−１−イル、ジ−メチルシクロペンタジエニル−Ｔｉ−ビス−２，３，４，５，６−ペンタフルオロフェニ−１−イル、特開平１−３０４４５３号公報、特開平１−１５２１０９号公報に記載の鉄−アレーン錯体等が挙げられる。

ヘキサアリールビイミダゾール化合物としては、例えば、特公平６−２９２８５号公報、並びに米国特許第３，４７９，１８５号、同第４，３１１，７８３号、同第４，６２２，２８６号等の各明細書に記載の種々の化合物、具体的には、２，２’−ビス（ｏ−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（ｏ−ブロモフェニル））４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（ｏ，ｐ−ジクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（ｏ−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラ（ｍ−メトキシフェニル）ビイジダゾール、２，２’−ビス（ｏ，ｏ’−ジクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（ｏ−ニトロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（ｏ−メチルフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（ｏ−トリフルオロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール等が挙げられる。

有機ホウ酸塩化合物としては、例えば、特開昭６２−１４３０４４号、特開昭６２−１５０２４２号、特開平９−１８８６８５号、特開平９−１８８６８６号、特開平９−１８８７１０号、特開２０００−１３１８３７、特開２００２−１０７９１６、特許第２７６４７６９号、特開２００２−１１６５３９号（特願２０００−３１０８０８号）、等の各公報、並びに、Kunz,Martin“Rad Tech’98.Proceeding April 19-22,1998,Chicago”等に記載される有機ホウ酸塩、特開平６−１５７６２３号公報、特開平６−１７５５６４号公報、特開平６−１７５５６１号公報に記載の有機ホウ素スルホニウム錯体あるいは有機ホウ素オキソスルホニウム錯体、特開平６−１７５５５４号公報、特開平６−１７５５５３号公報に記載の有機ホウ素ヨードニウム錯体、特開平９−１８８７１０号公報に記載の有機ホウ素ホスホニウム錯体、特開平６−３４８０１１号公報、特開平７−１２８７８５号公報、特開平７−１４０５８９号公報、特開平７−３０６５２７号公報、特開平７−２９２０１４号公報等の有機ホウ素遷移金属配位錯体等が具体例として挙げられる。

ジスルホン化合物としては、例えば、特開昭６１−１６６５４４号公報、特開２００２−３２８４６５号公報（特願２００１−１３２３１８号）等に記載される化合物等が挙げられる。

オキシムエステル化合物としては、例えば、J.C.S. Perkin II (1979 )1653-1660)、J.C.S. Perkin II (1979)156-162、Journal of Photopolymer Science and Technology(1995)202-232、特開２０００−６６３８５号公報に記載の化合物、特開２０００−８００６８号公報、特表２００４−５３４７９７号公報に記載の化合物等が挙げられる。

オニウム塩化合物としては、例えば、S.I.Schlesinger,Photogr.Sci.Eng.,18,387(1974)、T.S.Bal et al,Polymer,21,423(1980)に記載のジアゾニウム塩、米国特許第４，０６９，０５５号明細書、特開平４−３６５０４９号等に記載のアンモニウム塩、米国特許第４，０６９，０５５号、同４，０６９，０５６号の各明細書に記載のホスホニウム塩、欧州特許第１０４、１４３号、米国特許第３３９，０４９号、同第４１０，２０１号の各明細書、特開平２−１５０８４８号、特開平２−２９６５１４号の各公報に記載のヨードニウム塩などが挙げられる。

本発明に好適に用いることのできるヨードニウム塩は、ジアリールヨードニウム塩であり、安定性の観点から、アルキル基、アルコキシ基、アリーロキシ基等の電子供与性基で２つ以上置換されていることが好ましい。また、その他の好ましいスルホニウム塩の形態として、トリアリールスルホニウム塩の１つの置換基がクマリン、アントアキノン構造を有し、３００ｎｍ以上に吸収を有するヨードニウム塩などが好ましい。

本発明に好適に用いることのできるスルホニウム塩としては、欧州特許第３７０，６９３号、同３９０，２１４号、同２３３，５６７号、同２９７，４４３号、同２９７，４４２号、米国特許第４，９３３，３７７号、同１６１，８１１号、同４１０，２０１号、同３３９，０４９号、同４，７６０，０１３号、同４，７３４，４４４号、同２，８３３，８２７号、独国特許第２，９０４，６２６号、同３，６０４，５８０号、同３，６０４，５８１号の各明細書に記載のスルホニウム塩が挙げられ、安定性の感度点から好ましくは電子吸引性基で置換されていることが好ましい。電子吸引性基としては、ハメット値が０より大きいことが好ましい。好ましい電子吸引性基としては、ハロゲン原子、カルボン酸などが挙げられる。
また、その他の好ましいスルホニウム塩としては、トリアリールスルホニウム塩の１つの置換基がクマリン、アントアキノン構造を有し、３００ｎｍ以上に吸収を有するスルホニウム塩が挙げられる。別の好ましいスルホニウム塩としては、トリアリールスルホニウム塩が、アリロキシ基、アリールチオ基を置換基に有する３００ｎｍ以上に吸収を有するスルホニウム塩が挙げられる。

さらに、オニウム塩化合物として、J.V.Crivello et al,Macromolecules,10(6),1307(1977)、J.V.Crivello et al,J.Polymer Sci.,Polymer Chem.Ed.,17,1047(1979)に記載のセレノニウム塩、C.S.Wen et al,Teh,Proc.Conf.Rad.Curing ASIA,p478 Tokyo,Oct(1988)に記載のアルソニウム塩等のオニウム塩等が挙げられる。

アシルホスフィン（オキシド）化合物としては、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製のイルガキュア８１９、ダロキュア４２６５、ダロキュアＴＰＯなどが挙げられる。

本発明に用いられる（Ｂ）光重合開始剤としては、露光感度の観点から、トリハロメチルトリアジン系化合物、ベンジルジメチルケタール化合物、α−ヒドロキシケトン化合物、α−アミノケトン化合物、アシルホスフィン系化合物、フォスフィンオキサイド系化合物、メタロセン化合物、オキシム系化合物、ビイミダゾール系化合物、オニウム系化合物、ベンゾチアゾール系化合物、ベンゾフェノン系化合物、アセトフェノン系化合物及びその誘導体、シクロペンタジエン−ベンゼン−鉄錯体及びその塩、ハロメチルオキサジアゾール化合物、３−アリール置換クマリン化合物からなる群より選択される化合物が好ましい。

より好ましくは、トリハロメチルトリアジン系化合物、α−アミノケトン化合物、アシルホスフィン系化合物、フォスフィンオキサイド系化合物、オキシム系化合物、ビイミダゾール系化合物、オニウム系化合物、ベンゾフェノン系化合物、アセトフェノン系化合物であり、トリハロメチルトリアジン系化合物、α−アミノケトン化合物、オキシム系化合物、ビイミダゾール系化合物、ベンゾフェノン系化合物からなる群より選ばれる少なくとも一種の化合物が更に好ましい。また、オキシム系化合物が最も好ましい。

光重合開始剤の硬化性顔料組成物中における含有量としては、硬化性組成物の全固形分に対して、０．１〜５０質量％であることが好ましく、より好ましくは０．５〜３０質量％、特に好ましくは１〜２０質量％である。光重合開始剤の含有量が前記範囲内であると、良好な感度とパターン形成性が得られる。

（Ｃ）エチレン性不飽和二重結合を有する化合物
本発明における硬化性顔料組成物は、エチレン性不飽和二重結合を有する化合物の少なくとも一種を含有する。この「エチレン性不飽和二重結合を有する化合物」は、少なくとも一個のエチレン性不飽和二重結合を有する付加重合性化合物であり、前記光重合開始剤の作用を受けて重合し、硬化性顔料組成物を硬化する。

本発明における「エチレン性不飽和二重結合を有する化合物」は、末端エチレン性不飽和結合を少なくとも１個、好ましくは２個以上有する化合物から選ぶことができる。このような化合物群は、当該産業分野において広く知られるものであり、本発明においてはこれらを特に限定なく用いることができる。

「エチレン性不飽和二重結合を有する化合物」は、例えば、モノマー、プレポリマー、すなわち２量体、３量体及びオリゴマー、又はそれらの混合物、並びにこれらの共重合体などの化学的形態を持つものが挙げられる。
モノマー及びその共重合体の例としては、不飽和カルボン酸（例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、イソクロトン酸、マレイン酸など）や、そのエステル類、アミド類が挙げられ、好ましくは、不飽和カルボン酸と脂肪族多価アルコール化合物とのエステル、不飽和カルボン酸と脂肪族多価アミン化合物とのアミド類が用いられる。また、ヒドロキシル基やアミノ基、メルカプト基等の求核性置換基を有する不飽和カルボン酸エステルあるいはアミド類と単官能もしくは多官能イソシアネート類あるいはエポキシ類との付加反応物、及び単官能もしくは、多官能のカルボン酸との脱水縮合反応物等も好適に使用される。また、イソシアネート基や、エポキシ基等の親電子性置換基を有する不飽和カルボン酸エステルあるいはアミド類と単官能もしくは多官能のアルコール類、アミン類、チオール類との付加反応物、更にハロゲン基や、トシルオキシ基等の脱離性置換基を有する不飽和カルボン酸エステルあるいはアミド類と単官能もしくは多官能のアルコール類、アミン類、チオール類との置換反応物も好適である。また、別の例として、上記の不飽和カルボン酸の代わりに、不飽和ホスホン酸、スチレン、ビニルエーテル等に置き換えた化合物群を使用することも可能である。

不飽和カルボン酸と脂肪族多価アルコール化合物とのエステルのモノマーの具体例としては、アクリル酸エステルとして、エチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、１，３−ブタンジオールジアクリレート、テトラメチレングリコールジアクリレート、プロピレングリコールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリ（アクリロイルオキシプロピル）エーテル、トリメチロールエタントリアクリレート、ヘキサンジオールジアクリレート、１，４−シクロヘキサンジオールジアクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、ペンタエリスリトールジアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールジアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ソルビトールトリアクリレート、ソルビトールテトラアクリレート、ソルビトールペンタアクリレート、ソルビトールヘキサアクリレート、トリ（アクリロイルオキシエチル）イソシアヌレート、ポリエステルアクリレートオリゴマー、イソシアヌール酸ＥＯ変性トリアクリレート等がある。

また、メタクリル酸エステルとして、テトラメチレングリコールジメタクリレート、トリエチレングリコールジメタクリレート、ネオペンチルグリコールジメタクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、トリメチロールエタントリメタクリレート、エチレングリコールジメタクリレート、１，３−ブタンジオールジメタクリレート、ヘキサンジオールジメタクリレート、ペンタエリスリトールジメタクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールジメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート、ソルビトールトリメタクリレート、ソルビトールテトラメタクリレート、ビス〔ｐ−（３−メタクリルオキシ−２−ヒドロキシプロポキシ）フェニル〕ジメチルメタン、ビス−〔ｐ−（メタクリルオキシエトキシ）フェニル〕ジメチルメタン等がある。

イタコン酸エステルとして、エチレングリコールジイタコネート、プロピレングリコールジイタコネート、１，３−ブタンジオールジイタコネート、１，４−ブタンジオールジイタコネート、テトラメチレングリコールジイタコネート、ペンタエリスリトールジイタコネート、ソルビトールテトライタコネート等がある。
クロトン酸エステルとして、エチレングリコールジクロトネート、テトラメチレングリコールジクロトネート、ペンタエリスリトールジクロトネート、ソルビトールテトラジクロトネート等がある。
イソクロトン酸エステルとしては、エチレングリコールジイソクロトネート、ペンタエリスリトールジイソクロトネート、ソルビトールテトライソクロトネート等がある。
マレイン酸エステルとしては、エチレングリコールジマレート、トリエチレングリコールジマレート、ペンタエリスリトールジマレート、ソルビトールテトラマレート等がある。

その他のエステルの例として、特公昭５１−４７３３４号公報、特開昭５７−１９６２３１号公報に記載の脂肪族アルコール系エステル類や、特開昭５９−５２４０号公報、特開昭５９−５２４１号公報、特開平２−２２６１４９号公報に記載の芳香族系骨格を有するもの、特開平１−１６５６１３号公報に記載のアミノ基を含有するもの等も好適に用いられる。更に、前述のエステルモノマーは混合物としても使用することができる。

また、不飽和カルボン酸と脂肪族多価アミン化合物とのアミド類のモノマーの具体例としては、メチレンビス−アクリルアミド、メチレンビス−メタクリルアミド、１，６−ヘキサメチレンビス−アクリルアミド、１，６−ヘキサメチレンビス−メタクリルアミド、ジエチレントリアミントリスアクリルアミド、キシリレンビスアクリルアミド、キシリレンビスメタクリルアミド等がある。その他の好ましいアミド系モノマーの例としては、特公昭５４−２１７２６号公報に記載の、シクロへキシレン構造を有するものを挙げることができる。

また、イソシアネートと水酸基の付加反応を用いて製造されるウレタン系付加重合性化合物も好適である。このような具体例としては、例えば、特公昭４８−４１７０８号公報に記載の、１分子に２個以上のイソシアネート基を有するポリイソシアネート化合物に下記一般式（Ｖ）で表される水酸基を有するビニルモノマーを付加させた、１分子中に２個以上の重合性ビニル基を含有するビニルウレタン化合物等が挙げられる。
ＣＨ_２＝Ｃ（Ｒ^４）ＣＯＯＣＨ_２ＣＨ（Ｒ^５）ＯＨ ・・・（Ｖ）
（一般式（Ｖ）中、Ｒ^４及びＲ^５は、各々独立に水素原子又はメチル基を表す。）

また、ウレタン系付加重合性化合物として、特開昭５１−３７１９３号、特公平２−３２２９３号、特公平２−１６７６５号の各公報に記載のウレタンアクリレート類や、特公昭５８−４９８６０号、特公昭５６−１７６５４号、特公昭６２−３９４１７号、特公昭６２−３９４１８号の各公報に記載のエチレンオキサイド系骨格を有するウレタン化合物類も好適である。更に、特開昭６３−２７７６５３号、特開昭６３−２６０９０９号、特開平１−１０５２３８号の各公報に記載の、分子内にアミノ構造やスルフィド構造を有する付加重合性化合物類も挙げられる。

その他の例としては、特開昭４８−６４１８３号、特公昭４９−４３１９１号、特公昭５２−３０４９０号の各公報に記載の、ポリエステルアクリレート類、エポキシ樹脂と（メタ）アクリル酸を反応させたエポキシアクリレート類等の多官能のアクリレートやメタクリレートを挙げることができる。また、特公昭４６−４３９４６号、特公平１−４０３３７号、特公平１−４０３３６号の各公報に記載の特定の不飽和化合物や、特開平２−２５４９３号公報に記載のビニルホスホン酸系化合物等も挙げることができる。また、特開昭６１−２２０４８号公報に記載の、ペルフルオロアルキル基を有する構造が好適な場合もある。更に、日本接着協会誌ｖｏｌ．２０、Ｎｏ．７、３００〜３０８ページ（１９８４年）に光硬化性モノマー及びオリゴマーとして紹介されているものも使用することができる。

これらのエチレン性不飽和二重結合を有する付加重合性の化合物については、その構造、単独使用か併用か、添加量等の使用方法の詳細は最終的に調製する組成物の性能設計に合わせて任意に設定することができる。「エチレン性不飽和二重結合を有する化合物」は、例えば、次のような観点で選択される。
感度の観点からは、１分子あたりの不飽和基含量が多い構造の化合物が好ましく、多くの場合は２官能以上の化合物が好ましい。また、画像部、すなわち硬化後の膜強度を高くするためには、３官能以上の化合物が好ましく、更に、異なる官能数・異なる重合性基（例えばアクリル酸エステル、メタクリル酸エステル、スチレン系化合物、ビニルエーテル系化合物）の化合物を併用することも有効であり、この場合には感度と強度との両方を調節することができる。硬化感度の観点から、（メタ）アクリル酸エステル構造を２個以上有する化合物を用いることが好ましく、３個以上有する化合物を用いることがより好ましく、４個以上有する化合物を用いることが最も好ましい。また、硬化感度及び未露光部の現像性の観点からは、ＥＯ変性体を含有する化合物が好ましい。
また、硬化性層中の他の成分（例えば、バインダーポリマー、光重合開始剤、着色剤（顔料、染料等）との相溶性、分散性に対しても「エチレン性不飽和二重結合を有する化合物」の選択・使用法は重要な要因であり、例えば、低純度化合物の使用や２種以上の併用により相溶性を向上させ得ることがある。また、無機基板との密着性を更に向上させる目的で特定の構造を選択することもあり得る。

以上の観点より、ビスフェノールＡジアクリレート、ビスフェノールＡジアクリレートＥＯ変性体、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリ（アクリロイルオキシプロピル）エーテル、トリメチロールエタントリアクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、ペンタエリスリトールジアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ソルビトールトリアクリレート、ソルビトールテトラアクリレート、ソルビトールペンタアクリレート、ソルビトールヘキサアクリレート、トリ（アクリロイルオキシエチル）イソシアヌレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレートＥＯ変性体、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートＥＯ変性体などが好ましいものとして挙げられ、また、市販品としては、ウレタンオリゴマーＵＡＳ−１０、ＵＡＢ−１４０（山陽国策パルプ社製）、ＤＰＨＡ−４０Ｈ（日本化薬社製）、ＵＡ−３０６Ｈ、ＵＡ−３０６Ｔ、ＵＡ−３０６Ｉ、ＡＨ−６００、Ｔ−６００、ＡＩ−６００（共栄社製）が好ましい。

中でも、ビスフェノールＡジアクリレートＥＯ変性体、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、トリ（アクリロイルオキシエチル）イソシアヌレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレートＥＯ変性体、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートＥＯ変性体などが、市販品としては、ＤＰＨＡ−４０Ｈ（日本化薬社製）、ＵＡ−３０６Ｈ、ＵＡ−３０６Ｔ、ＵＡ−３０６Ｉ、ＡＨ−６００、Ｔ−６００、ＡＩ−６００（共栄社製）がより好ましい。

「エチレン性不飽和二重結合を有する化合物」の硬化性顔料組成物中における含有量としては、硬化性顔料組成物の固形分中に対して、５〜５０質量％が好ましく、７〜４０質量％がより好ましく、１０〜３５質量％が更に好ましい。「エチレン性不飽和二重結合を有する化合物」の含有量が前記範囲内であると、着色パターンを形成したときの硬度及び無機基板との密着性を確保するのに有効である。

（Ｄ）顔料
本発明における硬化性顔料組成物は、着色剤として、顔料の少なくとも一種を含有する。顔料には、特に制限はなく、従来公知の種々の顔料を１種単独であるいは２種以上を混合して用いることができる。

顔料としては、従来公知の種々の無機顔料又は有機顔料を用いることができる。また、無機顔料及び有機顔料のいずれも高透過率であることが好ましいことを考慮すると、なるべく細かいものの使用が好ましく、ハンドリング性をも考慮すると、顔料の平均粒子径としては、０．０１〜０．１μｍが好ましく、０．０１〜０．０５μｍがより好ましい。

前記無機顔料としては、例えば、金属酸化物、金属錯塩等の金属化合物を挙げることができる。具体的な例として、鉄、コバルト、アルミニウム、カドミウム、鉛、銅、チタン、マグネシウム、クロム、亜鉛、アンチモン等の金属酸化物、及び前記金属の複合酸化物を挙げることができる。

前記有機顔料としては、例えば、
Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１１，２４，３１，５３，８３，９３，９９，１０８，１０９，１１０，１３８，１３９，１４７，１５０，１５１，１５４，１５５，１６７，１８０，１８５，１９９；
Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ３６，３８，４３，７１；
Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド８１，１０５，１２２，１４９，１５０，１５５，１６６,１７１，１７５，１７６，１７７，２０９，２２０，２２４，２４２，２５４，２５５，２６４，２７０；
Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１９，２３，３２，３９；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１，２，１５，１５：１，１５：３，１５：６，１６，２２，６０，６６；
Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７，３６，３７；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２５，２８；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック１，７；

本発明では、特に顔料の構造中に塩基性のＮ原子を持つものを好ましく用いることができる。塩基性のＮ原子を持つ顔料は、組成物中で良好な分散性を示す。その原因については充分解明されていないが、感光性重合成分と顔料との親和性の良さが影響しているものと推定される。

好ましい顔料としては、以下のものを挙げることができる。但し、本発明はこれらに限定されるものではない。
Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１１，２４，１０８，１０９，１１０，１３８，１３９，１５０，１５１，１５４，１６７，１８０，１８５，
Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ３６，７１，
Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１２２，１５０，１６６，１７１，１７５，１７７，２０９，２２４，２４２，２５４，２５５，２６４，
Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１９，２３，３２，
Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：１，１５：３，１５：６，１６，２２，６０，６６，

これら有機顔料は、単独で、もしくは色純度を上げるため種々組合せて用いることができる。組合せの具体例を以下に表す。
例えば、赤色用の顔料として、アントラキノン系顔料、ペリレン系顔料、ジケトピロロピロール系顔料単独又はそれらの少なくとも一種と、ジスアゾ系黄色顔料、イソインドリン系黄色顔料、キノフタロン系黄色顔料又はペリレン系赤色顔料と、の混合などを用いることができる。例えば、アントラキノン系顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７７が挙げられ、ペリレン系顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１５５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２２４が挙げられ、ジケトピロロピロール系顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５４が挙げられ、色再現性の点でＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９との混合が好ましい。また、赤色顔料と黄色顔料との質量比は、１００：５〜１００：５０が好ましい。質量比が前記範囲内であると、４００ｎｍから５００ｎｍの光透過率を抑えることが可能で色純度を上げるのに効果的であり、主波長が短波長よりになるのを抑えて、色再現性を確保しやすい。質量比は、特に１００：３０〜１００：５０の範囲が最適である。なお、赤色顔料同士の組み合わせの場合は、色度に併せて調整することができる。

また、緑色用の顔料としては、ハロゲン化フタロシアニン系顔料を単独で、又は、これとジスアゾ系黄色顔料、キノフタロン系黄色顔料、アゾメチン系黄色顔料もしくはイソインドリン系黄色顔料との混合を用いることができる。このような例としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７、３６、３７とＣ．Ｉ．ピグメントイエロー８３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１８０又はＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１８５との混合が好ましい。緑色顔料と黄色顔料との質量比は、１００：５〜１００：１５０が好ましく、１００：３０〜１００：１２０の範囲が特に好ましい。

青色用の顔料としては、フタロシアニン系顔料を単独で、又はこれとジオキサジン系紫色顔料との混合を用いることができる。例えば、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６とＣ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３との混合が好ましい。青色顔料と紫色顔料との質量比は、１００：０〜１００：３０が好ましく、より好ましくは１００：１０〜１００：３０である。

カラーフィルタを作製したときの色ムラやコントラストの観点から、顔料の一次粒子径は１０〜１００ｎｍが好ましく、１０〜７０ｎｍがより好ましく、１０〜５０ｎｍが更に好ましく、１０〜４０ｎｍが最も好ましい。

顔料の硬化性顔料組成物中における含有量としては、硬化性顔料組成物の全固形分に対して、２０質量％以上が好ましく、より好ましくは３０質量％以上であり、特に好ましくは３０〜７０質量％である。顔料の含有量が前記範囲内であると、高濃度で色相の良好な着色パターンが得られ、コントラストの高い鮮やかなカラーフィルタを得る点で好ましい。

本発明における硬化性顔料組成物は、以上説明した成分（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）及び（Ｄ）と共に、必要に応じて、以下に示す任意成分をさらに含有してもよい。以下、本発明における硬化性顔料組成物が含有できる任意成分（Ｅ）〜（Ｊ）について説明する。

（Ｅ）分散剤
本発明における硬化性顔料組成物が（Ｄ）顔料を含有する場合、該顔料の分散性を向上させる観点から、分散剤の少なくとも一種を添加することが好ましい。

本発明に用いうる分散剤（顔料分散剤）としては、高分子分散剤〔例えば、ポリアミドアミンとその塩、ポリカルボン酸とその塩、高分子量不飽和酸エステル、変性ポリウレタン、変性ポリエステル、変性ポリ（メタ）アクリレート、（メタ）アクリル系共重合体、ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合物〕、及び、ポリオキシエチレンアルキルリン酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミン、アルカノールアミン、顔料誘導体等を挙げることができる。
高分子分散剤は、その構造からさらに直鎖状高分子、末端変性型高分子、グラフト型高分子、ブロック型高分子に分類することができる。

高分子分散剤は、顔料の表面に吸着し、再凝集を防止するように作用する。そのため、顔料表面へのアンカー部位を有する末端変性型高分子、グラフト型高分子、ブロック型高分子が好ましい構造として挙げることができる。一方で、顔料誘導体は顔料表面を改質することで、高分子分散剤の吸着を促進させる効果を有する。

顔料分散剤の具体例としては、ＢＹＫ Ｃｈｅｍｉｅ社製「Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１０１（ポリアミドアミン燐酸塩）、１０７（カルボン酸エステル）、１１０（酸基を含む共重合物）、１３０（ポリアミド）、１６１、１６２、１６３、１６４、１６５、１６６、１７０（高分子共重合物）」、「ＢＹＫ−Ｐ１０４、Ｐ１０５（高分子量不飽和ポリカルボン酸）、ＥＦＫＡ社製「ＥＦＫＡ４０４７、４０５０、４０１０、４１６５（ポリウレタン系）、ＥＦＫＡ４３３０、４３４０（ブロック共重合体）、４４００、４４０２（変性ポリアクリレート）、５０１０（ポリエステルアミド）、５７６５（高分子量ポリカルボン酸塩）、６２２０（脂肪酸ポリエステル）、６７４５（フタロシアニン誘導体）、６７５０（アゾ顔料誘導体）」、味の素ファンテクノ社製「アジスパーＰＢ８２１、ＰＢ８２２」、共栄社化学社製「フローレンＴＧ−７１０（ウレタンオリゴマー）」、「ポリフローＮｏ．５０Ｅ、Ｎｏ．３００（アクリル系共重合体）」、楠本化成社製「ディスパロンＫＳ−８６０、８７３ＳＮ、８７４、＃２１５０（脂肪族多価カルボン酸）、＃７００４（ポリエーテルエステル）、ＤＡ−７０３−５０、ＤＡ−７０５、ＤＡ−７２５」、花王社製「デモールＲＮ、Ｎ（ナフタレンスルホン酸ホルマリン重縮合物）、ＭＳ、Ｃ、ＳＮ−Ｂ（芳香族スルホン酸ホルマリン重縮合物）」、「ホモゲノールＬ−１８（高分子ポリカルボン酸）」、「エマルゲン９２０、９３０、９３５、９８５（ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル）」、「アセタミン８６（ステアリルアミンアセテート）」、ルーブリゾール社製「ソルスパース５０００（フタロシアニン誘導体）、２２０００（アゾ顔料誘導体）、１３２４０（ポリエステルアミン）、３０００、１７０００、２７０００（末端部に機能部を有する高分子）、２４０００、２８０００、３２０００、３８５００（グラフト型高分子）」、日光ケミカル者製「ニッコールＴ１０６（ポリオキシエチレンソルビタンモノオレート）、ＭＹＳ−ＩＥＸ（ポリオキシエチレンモノステアレート）」等が挙げられる。

これらの分散剤は、単独で使用してもよく、２種以上を組み合わせて使用してもよい。本発明においては、特に、顔料誘導体と高分子分散剤とを組み合わせて使用することが好ましい。

分散剤の硬化性顔料組成物中における含有量としては、顔料に対して、１〜１００質量％が好ましく、３〜１００質量％がより好ましく、５〜８０質量％が更に好ましい。
具体的には、高分子分散剤を用いる場合であれば、その使用量としては、顔料に対して、５〜１００質量％の範囲が好ましく、１０〜８０質量％の範囲がより好ましい。また、顔料誘導体を使用する場合であれば、その使用量としては、顔料に対して１〜３０質量％の範囲が好ましく、３〜２０質量％の範囲がより好ましく、５〜１５質量％の範囲が特に好ましい。

顔料と分散剤とを用いる場合、硬化感度、色濃度の観点から、顔料及び分散剤の含有量の総和が、硬化性顔料組成物を構成する全固形分に対して、３０質量％以上９０質量％以下であることが好ましく、４０質量％以上８５質量％以下であることがより好ましく、５０質量％以上８０質量％以下であることがさらに好ましい。

（Ｆ）増感剤
本発明における硬化性顔料組成物は、ラジカル開始剤のラジカル発生効率の向上、感光波長の長波長化の目的で、増感剤の少なくとも一種を含有していてもよい。本発明に用いることができる増感剤としては、前記光重合開始剤に対し、電子移動機構又はエネルギー移動機構で増感させるものが好ましい。

本発明に用いることができる増感剤としては、以下に列挙する化合物類に属し、かつ３００ｎｍ〜４５０ｎｍ（好ましくは３３０ｎｍから４５０ｎｍ）の波長領域に吸収波長を有するものが挙げられる。
例えば、多核芳香族類（例えば、フェナントレン、アントラセン、ピレン、ペリレン、トリフェニレン、９，１０−ジアルコキシアントラセン）、キサンテン類（例えば、フルオレッセイン、エオシン、エリスロシン、ローダミンＢ、ローズベンガル）、チオキサントン類（イソプロピルチオキサントン、ジエチルチオキサントン、クロロチオキサントン）、シアニン類（例えばチアカルボシアニン、オキサカルボシアニン）、メロシアニン類（例えば、メロシアニン、カルボメロシアニン）、フタロシアニン類、チアジン類（例えば、チオニン、メチレンブルー、トルイジンブルー）、アクリジン類（例えば、アクリジンオレンジ、クロロフラビン、アクリフラビン）、アントラキノン類（例えば、アントラキノン）、スクアリウム類（例えば、スクアリウム）、アクリジンオレンジ、クマリン類（例えば、７−ジエチルアミノ−４−メチルクマリン）、ケトクマリン、フェノチアジン類、フェナジン類、スチリルベンゼン類、アゾ化合物、ジフェニルメタン、トリフェニルメタン、ジスチリルベンゼン類、カルバゾール類、ポルフィリン、スピロ化合物、キナクリドン、インジゴ、スチリル、ピリリウム化合物、ピロメテン化合物、ピラゾロトリアゾール化合物、ベンゾチアゾール化合物、バルビツール酸誘導体、チオバルビツール酸誘導体、アセトフェノン、ベンゾフェノン、チオキサントン、ミヒラーズケトンなどの芳香族ケトン化合物、Ｎ−アリールオキサゾリジノンなどのヘテロ環化合物などが挙げられる。
更に、欧州特許第５６８，９９３号明細書、米国特許第４，５０８，８１１号明細書、同５，２２７，２２７号明細書、特開２００１−１２５２５５号公報、特開平１１−２７１９６９号公報等に記載の化合物等などが挙げられる。
より好ましくはベンゾフェノン、ミヒラーズケトン、クマリン類（例えば、７−ジエチルアミノ−４−メチルクマリン）、ケトクマリン等が挙げられる。

増感剤は、１種単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。
増感剤の硬化性顔料組成物中における含有量は、深部への光吸収効率と開始分解効率の観点から、硬化性顔料組成物の全固形分に対して、０．１〜２０質量％であることが好ましく、０．５〜１５質量％がより好ましい。

（Ｇ）バインダーポリマー
本発明における硬化性顔料組成物は、被膜特性向上などの目的で、必要に応じて、さらにバインダーポリマーの少なくとも一種を用いることができる。
バインダーポリマーとしては、線状有機ポリマーを用いることが好ましい。線状有機ポリマーとしては、公知のものを任意に使用できる。好ましくは、水現像もしくは弱アルカリ水現像を可能とするために、水もしくは弱アルカリ水に可溶性又は膨潤性である線状有機ポリマーが選択される。線状有機ポリマーは、被膜形成剤としてだけでなく、水、弱アルカリ水もしくは有機溶剤現像剤としての用途に応じて選択使用される。例えば、水可溶性有機ポリマーを用いると水現像が可能になる。

このような線状有機ポリマーとしては、側鎖にカルボン酸基を有するラジカル重合体、例えば、特開昭５９−４４６１５号公報、特公昭５４−３４３２７号公報、特公昭５８−１２５７７号公報、特公昭５４−２５９５７号公報、特開昭５４−９２７２３号公報、特開昭５９−５３８３６号公報、特開昭５９−７１０４８号公報に記載されているもの、すなわち、カルボキシル基を有するモノマーを単独あるいは共重合させた樹脂、酸無水物を有するモノマーを単独あるいは共重合させ酸無水物ユニットを加水分解もしくはハーフエステル化もしくはハーフアミド化させた樹脂、エポキシ樹脂を不飽和モノカルボン酸及び酸無水物で変性させたエポキシアクリレート等が挙げられる。カルボキシル基を有するモノマーとしては、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、４−カルボキシルスチレン等が挙げられ、酸無水物を有するモノマーとしては、無水マレイン酸等が挙げられる。
また同様に、側鎖にカルボン酸基を有する酸性セルロース誘導体がある。この他に水酸基を有する重合体に環状酸無水物を付加させたものなどが有用である。

アルカリ可溶性の樹脂はアルカリ水現像が可能であり、アルカリ可溶性の樹脂として共重合体を用いる場合、共重合させる化合物として、先に挙げたモノマー以外の他のモノマーを用いることもできる。他のモノマーの例としては、下記（１）〜（１２）の化合物が挙げられる。

（１）２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−ヒドロキシプロピルアクリレート、３−ヒドロキシプロピルアクリレート、４−ヒドロキシブチルアクリレート、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、２−ヒドロキシプロピルメタクリレート、３−ヒドロキシプロピルメタクリレート、４−ヒドロキシブチルメタクリレート等の脂肪族水酸基を有するアクリル酸エステル類、及びメタクリル酸エステル類。
（２）アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル酸プロピル、アクリル酸ブチル、アクリル酸イソブチル、アクリル酸アミル、アクリル酸ヘキシル、アクリル酸２−エチルヘキシル、アクリル酸オクチル、アクリル酸ベンジル、アクリル酸−２−クロロエチル、グリシジルアクリレート、３，４−エポキシシクロヘキシルメチルアクリレート、ビニルアクリレート、２−フェニルビニルアクリレート、１−プロペニルアクリレート、アリルアクリレート、２−アリロキシエチルアクリレート、プロパルギルアクリレート等のアルキルアクリレート。

（３）メタクリル酸メチル、メタクリル酸エチル、メタクリル酸プロピル、メタクリル酸ブチル、メタクリル酸イソブチル、メタクリル酸アミル、メタクリル酸ヘキシル、メタクリル酸２−エチルヘキシル、メタクリル酸シクロヘキシル、メタクリル酸ベンジル、メタクリル酸−２−クロロエチル、グリシジルメタクリレート、３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレート、ビニルメタクリレート、２−フェニルビニルメタクリレート、１−プロペニルメタクリレート、アリルメタクリレート、２−アリロキシエチルメタクリレート、プロパルギルメタクリレート等のアルキルメタクリレート。
（４）アクリルアミド、メタクリルアミド、Ｎ−メチロールアクリルアミド、Ｎ−エチルアクリルアミド、Ｎ−ヘキシルメタクリルアミド、Ｎ−シクロヘキシルアクリルアミド、Ｎ−ヒドロキシエチルアクリルアミド、Ｎ−フェニルアクリルアミド、Ｎ−ニトロフェニルアクリルアミド、Ｎ−エチル−Ｎ−フェニルアクリルアミド、ビニルアクリルアミド、ビニルメタクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジアリルアクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジアリルメタクリルアミド、アリルアクリルアミド、アリルメタクリルアミド等のアクリルアミドもしくはメタクリルアミド。

（５）エチルビニルエーテル、２−クロロエチルビニルエーテル、ヒドロキシエチルビニルエーテル、プロピルビニルエーテル、ブチルビニルエーテル、オクチルビニルエーテル、フェニルビニルエーテル等のビニルエーテル類。
（６）ビニルアセテート、ビニルクロロアセテート、ビニルブチレート、安息香酸ビニル等のビニルエステル類。
（７）スチレン、α−メチルスチレン、メチルスチレン、クロロメチルスチレン、ｐ−アセトキシスチレン等のスチレン類。
（８）メチルビニルケトン、エチルビニルケトン、プロピルビニルケトン、フェニルビニルケトン等のビニルケトン類。
（９）エチレン、プロピレン、イソブチレン、ブタジエン、イソプレン等のオレフィン類。

（１０）Ｎ−ビニルピロリドン、アクリロニトリル、メタクリロニトリル等。
（１１）マレイミド、Ｎ−アクリロイルアクリルアミド、Ｎ−アセチルメタクリルアミド、Ｎ−プロピオニルメタクリルアミド、Ｎ−（ｐ−クロロベンゾイル）メタクリルアミド等の不飽和イミド。
（１２）α位にヘテロ原子が結合したメタクリル酸系モノマー。例えば、特開２００２−３０９０５７号公報（特願２００１−１１５５９５号）、特開２００２−３１１５６９号公報（特願２００１−１１５５９８号）等に記載されている化合物を挙げることができる。

これらの中で、側鎖にアリル基やビニルエステル基とカルボキシル基を有する（メタ）アクリル樹脂及び特開２０００−１８７３２２号公報、特開２００２−６２６９８号公報に記載されている側鎖に二重結合を有するアルカリ可溶性樹脂や、特開２００１−２４２６１２号公報に記載されている側鎖にアミド基を有するアルカリ可溶性樹脂が膜強度、感度、現像性のバランスに優れており、好適である。

また、特公平７−１２００４号、特公平７−１２００４１号、特公平７−１２００４２号、特公平８−１２４２４号、特開昭６３−２８７９４４号、特開昭６３−２８７９４７号、特開平１−２７１７４１号、特願平１０−１１６２３２号等の各公報に記載されている、酸基を含有するウレタン系バインダーポリマーや、特開２００２−１０７９１８号公報に記載されている、酸基と二重結合を側鎖に有するウレタン系バインダーポリマーは、非常に、強度に優れるので、耐刷性・低露光適性の点で有利である。
また、欧州特許９９３９６６号明細書、欧州特許１２０４０００号明細書、特開２００１−３１８４６３号公報等に記載の、酸基を有するアセタール変性ポリビニルアルコール系バインダーポリマーは、膜強度、現像性のバランスに優れており、好適である。
さらにこの他に水溶性線状有機ポリマーとして、ポリビニルピロリドンやポリエチレンオキサイド等が有用である。また、硬化後の膜強度を上げるために、アルコール可溶性ナイロンや２，２−ビス−（４−ヒドロキシフェニル）−プロパンとエピクロロヒドリンのポリエーテル等も有用である。

バインダーポリマーの重量平均分子量としては、好ましくは５，０００以上であり、さらに好ましくは１万〜３０万の範囲であり、数平均分子量については好ましくは１，０００以上であり、さらに好ましくは２，０００〜２５万の範囲である。多分散度（重量平均分子量／数平均分子量）は１以上が好ましく、さらに好ましくは１．１〜１０の範囲である。

バインダーポリマーは、ランダムポリマー、ブロックポリマー、グラフトポリマー等のいずれでもよい。

バインダーポリマーは、従来公知の方法により合成することができる。合成する際に用いられる溶媒としては、例えば、テトラヒドロフラン、エチレンジクロリド、シクロヘキサノン、メチルエチルケトン、アセトン、メタノール、エタノール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、２−メトキシエチルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、１−メトキシ−２−プロパノール、１−メトキシ−２−プロピルアセテート、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、トルエン、酢酸エチル、乳酸メチル、乳酸エチル、ジメチルスルホキシド、水等が挙げられる。これらの溶媒は単独で又は２種以上混合して用いられる。
バインダーポリマーを合成する際に用いられるラジカル重合開始剤としては、アゾ系開始剤、過酸化物開始剤等公知の化合物が挙げられる。

（Ｈ）共増感剤
本発明における硬化性顔料組成物は、共増感剤の少なくとも一種を含有することも好ましい。共増感剤は、増感色素や光重合開始剤の活性放射線に対する感度を一層向上させる、あるいは酸素による重合性化合物の重合阻害を抑制する等の作用を有する。

このような共増感剤の例としては、アミン類、例えば「Journal of Polymer Society」（M.R.Sanderら著、第10巻 ３１７３頁（１９７２））、特公昭４４−２０１８９号公報、特開昭５１−８２１０２号公報、特開昭５２−１３４６９２号公報、特開昭５９−１３８２０５号公報、特開昭６０−８４３０５号公報、特開昭６２−１８５３７号公報、特開昭６４−３３１０４号公報、Research Disclosure（33825号）に記載の化合物等が挙げられる。具体的には、例えば、トリエタノールアミン、ｐ−ジメチルアミノ安息香酸エチルエステル、ｐ−ホルミルジメチルアニリン、ｐ−メチルチオジメチルアニリン等が挙げられる。

共増感剤の別の例としては、チオール及びスルフィド類、例えば、特開昭５３−７０２号公報、特公昭５５−５００８０６号公報、特開平５−１４２７７２号公報記載のチオール化合物、特開昭５６−７５６４３号公報のジスルフィド化合物等が挙げられる。具体的には、例えば、２−メルカプトベンゾチアゾール、２−メルカプトベンゾオキサゾール、２−メルカプトベンゾイミダゾール、２−メルカプト−４（３Ｈ）−キナゾリン、β−メルカプトナフタレン等が挙げられる。

さらに、共増感剤の別の例として、アミノ酸化合物（例、Ｎ−フェニルグリシン等）、特公昭４８−４２９６５号公報に記載の有機金属化合物（例、トリブチル錫アセテート等）、特公昭５５−３４４１４号公報に記載の水素供与体、特開平６−３０８７２７号公報に記載のイオウ化合物（例、トリチアン等）等が挙げられる。

共増感剤を用いる場合、共増感剤の硬化性顔料組成物中における含有量は、重合成長速度と連鎖移動のバランスによる硬化速度の向上の観点から、硬化性顔料組成物の全固形分（質量）に対して、０．１〜３０質量％の範囲が好ましく、１〜２５質量％の範囲がより好ましく、０．５〜２０質量％の範囲が更に好ましい。

（Ｉ）重合禁止剤
本発明においては、硬化性顔料組成物の調製中あるいは保存中における「エチレン性不飽和二重結合を有する化合物」の不要な熱重合を阻止するために、少量の熱重合防止剤を添加することが望ましい。

本発明に用いうる熱重合防止剤としては、例えば、ハイドロキノン、ｐ−メトキシフェノール、ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、ピロガロール、ｔ−ブチルカテコール、ベンゾキノン、４，４’−チオビス（３−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，２’−メチレンビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、Ｎ−ニトロソフェニルヒドロキシアミン第一セリウム塩等が挙げられる。

熱重合防止剤の硬化性顔料組成物への添加量は、硬化性顔料組成物の全質量に対して、約０．０１〜約５質量％が好ましい。

また、必要に応じて、酸素による重合阻害を防止するために、ベヘン酸やベヘン酸アミドのような高級脂肪酸誘導体等を添加して、塗布後の乾燥の過程で感光層の表面に偏在させてもよい。高級脂肪酸誘導体の添加量は、硬化性顔料組成物の全質量に対して、約０．５〜約１０質量％が好ましい。

（Ｊ）その他の添加剤
さらに、本発明においては、硬化後の膜物性を改良するために、無機充填剤や可塑剤、硬化性層表面のインク着肉性を向上させ得る感脂化剤等の公知の添加剤を加えてもよい。
可塑剤としては、例えば、ジオクチルフタレート、ジドデシルフタレート、トリエチレングリコールジカプリレート、ジメチルグリコールフタレート、トリクレジルホスフェート、ジオクチルアジペート、ジブチルセバケート、トリアセチルグリセリン等が挙げられる。
添加剤を用いる場合、添加剤は「（Ｃ）エチレン性不飽和二重結合を有する化合物」と添加剤との合計質量に対して、１０質量％以下添加することができる。

上記のように、本発明における硬化性顔料組成物は、無機材料の密着助剤と組み合わせた構成とすることにより、無機材料上に設けられた際に高い密着性を示す。したがって、本発明のカラーフィルタ及びその製造方法は、３次元光造形やホログラフィー、カラーフィルタなどの画像表示用途に好適である。

本発明のカラーフィルタは、密着助剤が付与された無機材料の密着助剤付与面に着色パターンが設けられたものであり、好ましくは既述の本発明のカラーフィルタの製造方法により作製される。

本発明のカラーフィルタは、密着助剤で処理された無機材料と既述の硬化性顔料組成物を用いて構成されるため、形成された着色パターンが無機基板との間で高い密着性を示す。また、硬化した組成物（すなわち着色パターン）は耐現像性に優れており、露光領域における無機基板との密着性が良好で、高解像度のパターンが得られる。したがって、本発明のカラーフィルタ及びその製造方法は、ＣＣＤ等の固体撮像素子等の作製に好適に用いることができ、特に１００万画素を超えるような高解像度のＣＣＤ素子やＣＭＯＳ等に好適である。
本発明のカラーフィルタは、例えば、ＣＣＤを構成する各画素の受光部と集光するためのマイクロレンズとの間に配置されるカラーフィルタとして用いることができる。

以下、本発明を実施例により更に具体的に説明するが、本発明はその主旨を越えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、「％」及び「部」は質量基準である。

（実施例１）
−１．硬化性顔料組成物の調製−
（１−１）顔料分散液の調製
顔料として、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６とＣ．Ｉピグメントグリーン７とＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９とを８０／２０／３５（質量比）の割合で混合した混合物１５部、分散剤としてＢＹＫ２００１（Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ：ビックケミー（ＢＹＫ）社製、固形分濃度４５．０％）１０部（固形分換算約４．５部）、ベンジルメタクリレート／メタクリル酸（モル比：７０／３０）共重合体５．５部、及び溶媒としてシクロヘキサノン６９．５部を混合した混合液を、ビーズミルにより１５時間混合、分散して、顔料分散液（Ｐ１）を調製した。
顔料分散液（Ｐ１）について、顔料の平均粒子径をマイクロトラック ナノトラクＵＰＡ−ＥＸ１５０（日機装（株）製）を用いて、動的光散乱法により測定したところ、２００ｎｍであった。

（１−２）硬化性顔料組成物（塗布液）の調製
上記の顔料分散液Ｐ１を用い、下記組成中の各成分を混合、撹拌して硬化性顔料組成物Ｐ１の溶液を調製した。
〈組成〉
・前記顔料分散液（Ｐ１） … ６５部
・前記例示化合物（103）〔（Ａ）特定有機シラン化合物〕 … ０．１５部
・オクタンジオン−Ｏ−ベンゾイルオキシム〔（Ｂ）光重合開始剤〕 … １．５部
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート … ６部
〔（Ｃ）エチレン性不飽和結合含有化合物〕
・アルカリ可溶性樹脂（バインダーポリマー） … ２部
〔ベンジルメタクリレート／メタクリル酸（モル比：７０／３０）
共重合体、Ｍｗ：３００００〕
・ＰＧＭＥＡ（溶媒） …２５．３５部

ここで、硬化性顔料組成物Ｐ１の溶液の保存安定性について、室温で１ヶ月保存する前と保存後の粘度をそれぞれＥ型粘度計（東機産業（株）製）を用いて測定し、下記判定基準にしたがって評価した。評価結果は下記表１に示す。
<判定基準>
○：粘度上昇は認められなかった。
△：５％以上１０％未満の粘度上昇が認められた。
×：１０％以上の粘度上昇が認められた。

−２．カラーフィルタの作製−
（２−１）硬化性層の形成
Ｓｉ基板を準備し、このＳｉ基板の表面に、減圧密着処理装置ＬＰＡＨ（スピン塗布用塗布装置ＳＫ−６０ＢＷに内蔵）（大日本スクリーン（株）製）を用いて下記条件で、ＨＭＤＳ（富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製；ヘキサメチルジシラザン）を蒸気蒸着した。このとき、Ｄｒｏｐ Ｍａｓｔｅｒ ５００（協和界面科学（株）製）で測定したＳｉ基板上の水の接触角は、６２°であった。
その後、Ｓｉ基板のＨＭＤＳを蒸着した側に、スピン塗布用塗布装置ＳＫ−６０ＢＷ（大日本スクリーン（株）製）を用いて下記条件で、硬化性顔料組成物Ｐ１の溶液をスピン塗布した後、１００℃で１２０秒間のプリベーク（prebake）を施して硬化性層を形成した。

〈蒸気蒸着条件〉
・基板温度…１１０℃
・蒸着時間…４５秒
〈スピン塗布条件〉
・滴下量…２ｇ
・塗布速度…１０００ｒ.ｐ.ｍ.
・塗布厚（乾燥厚）…１．０μｍ
・塗布温度…２３℃

（２−２）露光、現像
上記より形成された硬化性層を、ｉ線露光装置ＦＰＡ-３０００ｉ５＋（Ｃａｎｏｎ（株）製）により、線幅１．０〜７．０μｍのＢａｙｅｒパターンテスト用フォトマスクを用いて露光し、露光後、硬化性層の全面を有機系現像液（商品名：ＣＤ２０００、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製）の６０％水溶液で覆い、６０秒間静止した。このようにして、Ｓｉ基板上に着色パターンを形成した。

（２−３）リンス処理
静止後、純水をストレート状に噴射して現像液を洗い流し、露光及び現像処理を施した後の硬化性層（着色パターン）を２２０℃のホットプレートにて５分間加熱した（ポストベーク）。以上のようにして、Ｓｉ基板上にカラーフィルタを形成した。

−３．性能評価−
上記の硬化性層及びカラーフィルタについて、現像残渣、及び着色パターンの基板密着性を下記のようにして評価した。評価結果は下記表１に示す。

（1）現像残渣（硬化性層の残渣）
露光量を５０〜１２５０ｍＪ／ｃｍ^２の種々の露光量に変更して露光を行ない、１．５μｍのＢａｙｅｒパターンにおける１００ｍＪ露光時のポストベーク後のパターン間の残渣を、寸法ＳＥＭ（Ｓ−９２６０Ａ、日立ハイテクノロジーズ（株）製）にて観察し、下記の評価基準にしたがって評価した。
<評価基準>
○：未露光部には、残渣が全く確認されなかった。
△：未露光部に残渣がわずかに確認されたが、実用上問題のない程度であった。
×：未露光部に残渣が著しく確認された。

（2）基板密着性
カラーフィルタ中にパターン欠損が発生しているか否かを顕微鏡により観察し、下記の評価基準にしたがって、ポストベーク後の基板密着性を評価した。
<評価基準>
◎：パターン欠損が全く観察されなかった。
○：パターン欠損がほとんど観察されなかった。
△： パターン欠損が部分的に僅かに観察された。
×：パターン欠損が著しく観察された。

（実施例２〜８、１０、１１、比較例５、６）
実施例１において、硬化性顔料組成物Ｐ１の調製に用いた特定有機シラン化合物である例示化合物（103）を、下記表１に示すように他の例示化合物（特定有機シラン化合物）に代えたこと以外、実施例１と同様にして、着色パターンを形成してカラーフィルタを作製した。また、実施例１と同様の評価を行なった。評価結果は下記表１に示す。

（比較例１）
実施例１において、硬化性顔料組成物Ｐ１の調製に用いた特定有機シラン化合物である例示化合物（103）を加えなかったこと以外、実施例１と同様にして、着色パターンを形成してカラーフィルタを作製し、実施例１と同様の評価を行なった。評価結果は下記表１に示す。

（比較例２）
比較例１において、さらにＳｉ基板への蒸気蒸着を行なわなかったこと以外、比較例１と同様にして、着色パターンを形成してカラーフィルタを作製し、実施例１と同様の評価を行なった。評価結果は下記表１に示す。

（比較例３）
実施例１において、Ｓｉ基板への蒸気蒸着を行なわなかったこと以外、実施例１と同様にして、着色パターンを形成してカラーフィルタを作製し、実施例１と同様の評価を行なった。評価結果は下記表１に示す。

（比較例４）
実施例１において、有機シラン化合物として、ビニルトリクロロシラン（シラン化合物）を用いたこと以外、実施例１と同様にして、着色パターンを形成してカラーフィルタを作製し、実施例１と同様の評価を行なった。評価結果は下記表１に示す。

前記表１に示すように、実施例では、特定有機シラン化合物を含む顔料組成物を用い、密着助剤で処理された無機基板上に形成された着色パターンは、特定有機シラン化合物を用いない比較例１、さらに密着助剤による処理も行なわない比較例２に対し、パターン間の残渣の程度を損なうことなく、無機基板との密着性を向上させることができた。実施例においては、無機基板と着色パターンとの間の相互作用を強めて密着性を向上させたことにより、露光領域である画像部（硬化部）は現像液による浸食が抑制され、また、未露光領域である非硬化部は現像液浸透を促進されており、結果として残渣が改善され、無機基板における優れたパターン形成性が実現された。しかも、無機基板への密着助剤の付与と特定有機シラン化合物を含有する硬化性顔料組成物とを組み合わせた構成とすることによって、特定有機シラン化合物の添加量の抑制も可能であり、硬化性顔料組成物を調製したときの溶液状態での保存安定性も良化した。
また、従来公知のシラン化合物（ビニルトリクロロシラン）を用いた比較例３では、基板密着性、残渣ともに良好な結果が得られなかった。

Claims (5)

1. 無機材料上に下記一般式（Ａ）で表される化合物である密着助剤を付与する密着処理工程と、
   密着助剤が付与された前記無機材料の上に、（Ａ）下記一般式（ＩＩ）で表される有機シラン化合物と（Ｂ）オキシム系化合物と（Ｃ）エチレン性不飽和二重結合を有する化合物と（Ｄ）顔料とを含有し、前記有機シラン化合物の含有量が硬化性顔料組成物の全固形分量に対して０．１〜１質量％である前記硬化性顔料組成物を付与して硬化性層を形成する層形成工程と、
   前記硬化性層を、マスクを介してパターン状に露光する露光工程と、
   露光後の前記硬化性層を現像して着色パターンを形成する現像工程と、
   を含むカラーフィルタの製造方法。
   
   〔一般式（II）中、Ｌ’はヒドロキシ基、アミノ基、チオカルボニル基、メルカプト基、カルバモイル基、カルバモイルオキシ基、カルバモイルアミノ基から選択される親水性基、スルホンアミド部位、ウレタン部位、チオウレタン部位、アミド部位、チオエーテル部位、ウレア部位、チオウレア部位、オキシカルボニルオキシ部位、アンモニウム基、２級アミン部位、３級アミン部位、−（ＣＨ_２ＣＨ_２Ｏ）_ａ−で表されるポリエチレンオキシ部位（但し、ａは２以上の整数）、及び下記構造式で表される部分構造（１価ないし３価の親水性部位）を含む１価の有機基を表し、Ｒ^１及びＲ^２は各々独立に炭化水素基を表す。ｎは１〜３の整数を表す。〕
   
   〔前記構造式中、Ｍ^１及びＭ^２は、それぞれ独立に水素原子、１価の金属原子を表す。〕
   〔一般式（Ａ）中、Ｒ ^１ 〜Ｒ ^６ は、各々独立に炭素数１〜４の炭化水素基を表す。〕
2. 前記有機シラン化合物が、下記一般式（III）又は下記一般式（IV）で表される化合物であることを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタの製造方法。
   
   〔一般式（III）中、Ｒ^１１及びＲ^１２は、各々独立に炭素数１〜６の炭化水素基を表す。Ｒ^３は、炭素数１〜１２の２価の炭化水素基を表し、炭化水素構造中に環構造及び／又は不飽和結合を有していてもよい。Ｘは、ヒドロキシ基、アミノ基、チオカルボニル基、メルカプト基、カルバモイル基、カルバモイルオキシ基、カルバモイルアミノ基から選択される親水性基、スルホンアミド部位、ウレタン部位、チオウレタン部位、アミド部位、チオエーテル部位、ウレア部位、チオウレア部位、オキシカルボニルオキシ部位、アンモニウム基、２級アミン部位、３級アミン部位、−（ＣＨ_２ＣＨ_２Ｏ）_ａ−で表されるポリエチレンオキシ部位（但し、ａは２以上の整数）、及び下記構造式で表される部分構造（１価の親水性部位）から選択される１価の親水性部位を表す。ｎは１〜３の整数を表す。
   一般式（IV）中、Ｒ^１１及びＲ^１２は、各々独立に炭素数１〜６の炭化水素基を表し、Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６及びＲ^７は、各々独立に、単結合、又は炭素数１〜１２の炭化水素鎖を表す。Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６及びＲ^７が炭化水素鎖を表す場合、その炭化水素構造中に環構造及び／又は不飽和結合を有していてもよい。Ｘ’は、ヒドロキシ基、アミノ基、チオカルボニル基、メルカプト基、カルバモイル基、カルバモイルオキシ基、カルバモイルアミノ基から選択される親水性基、スルホンアミド部位、ウレタン部位、チオウレタン部位、アミド部位、チオエーテル部位、ウレア部位、チオウレア部位、オキシカルボニルオキシ部位、アンモニウム基、２級アミン部位、３級アミン部位、−（ＣＨ_２ＣＨ_２Ｏ）_ａ−で表されるポリエチレンオキシ部位（但し、ａは２以上の整数）、及び下記構造式で表される部分構造（１価の親水性部位）を含む親水性部位を含んでもよい１価の置換基を表す。Ｙ及びＹ’は、各々独立に２価の親水性部位を表し、Ｚはｑの値に応じた２価又は３価の親水性部位を表す。ｐは０〜２０の整数を表し、ｑは１又は２を表し、ｒは０〜３の整数を表す。ｎは１〜３の整数を表す。〕
   
   
   〔前記構造式中、Ｍ^１及びＭ^２は、それぞれ独立に水素原子、１価の金属原子を表す。〕
3. 前記有機シラン化合物は、前記一般式（IV）で表される有機シラン化合物であり、かつＸ’、Ｙ、Ｙ’、及びＺの少なくとも１つにアミノ基を有することを特徴とする請求項２に記載のカラーフィルタの製造方法。
4. 前記１価の親水性部位がアミノ基であることを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載のカラーフィルタの製造方法。
5. 請求項１〜４のいずれか１に記載のカラーフィルタの製造方法により作製された、密着助剤が付与された無機材料の密着助剤付与面に着色パターンを有するカラーフィルタ。