JPH04365049A - 感光性組成物 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、平版印刷版、多色印刷
の校正刷、オーバーヘッドプロジェクター用図面、さら
には半導体素子の集積回路を製造する際に微細なレジス
トパターンを形成することが可能なポジ型感光性組成物
に関する。

【０００２】

【従来の技術】平版印刷版等の用途において、活性光線
により可溶化する、いわゆるポジチブに作用する感光性
物質としては、従来オルトキノンジアジド化合物が知ら
れており、実際平版印刷版等に広く利用されてきた。こ
のようなオルトキノンジアジド化合物としては、例えば
米国特許第　２，７６６，１１８号、同第　２，７６７
，０９２号、同第　２，７７２，９７２号、同第　２，
８５９，１１２号、同第　２，９０７，６６５号、同第
　３，０４６，１１０号、同第　３，０４６，１１１号
、同第　３，０４６，１１５号、同第　３，０４６，１
１８号、同第　３，０４６，１１９号、同第３，０４６
，１２０　号、同第　３，０４６，１２１号、同第　３
，０４６，１２２号、同第　３，０４６，１２３号、同
第３，０６１，４３０　号、同第　３，１０２，８０９
号、同第　３，１０６，４６５号、同第　３，６３５，
７０９号、同第３，６４７，４４３　号の各明細書をは
じめ、多数の刊行物に記されている。

【０００３】これらのオルトキノンジアジド化合物は、
活性光線の照射により分解を起こして５員環のカルボン
酸を生じ、アルカリ可溶性となることを利用したもので
あるが、いずれも十分な感度を示すものではなかった。 これは、オルトキノンジアジド化合物によっては、光化
学的な増感を達成するのが困難であり、本質的にその量
子収率が１を越えないことに起因するものである。また
感光波長が固定化される為、光源適性に乏しく、白燈安
全性付与が困難であり、更に　Ｄｅｅｐ　ＵＶ領域での
吸収が大きいため、低波長光使用によるフォトレジスト
の解像力向上を目的とした用途には適さない。

【０００４】これらの欠点を克服するために、例えば特
公昭４８−１２２４２号、特開昭５２−４０１２５号、
米国特許第　４，３０７，１７３号などの各公報および
明細書に記載の方法が試みられているが、いずれも不十
分な改良に留まっている。また最近、オルトキノンジア
ジド化合物に替わる新規ポジ型感光材料の開発を目的と
して、いくつかの提案がなされている。その１つとして
、例えば特公昭５６−２６９６号の公報に記載されてい
るオルトニトロカルビノールエステル基を有するポリマ
ー化合物が挙げられる。しかし、この場合においても十
分な感度が得られなかった。

【０００５】一方、半導体素子、磁気バルブメモリ、集
積回路等の電子部品を製造するためのパターン形成法と
して、フォトレジストを利用して作成する方法が一般に
行われている。フォトレジストには、光照射により被照
射部が現像液に不溶化するネガ型と、反対に可溶化する
ポジ型とがある。ネガ型はポジ型に比べて感度が良く、
湿式エッチングに必要な基板との接着性及び耐薬品性に
も優れていることから、近年までフォトレジストの主流
を占めていた。しかし、半導体素子等の高密度化、高集
積化に伴い、パターンの線幅や間隔が極めて小さくなり
、また、基板のエッチングにはドライエッチングが採用
されるようになったことから、フォトレジストには高解
像度および高ドライエッチング耐性が望まれるようにな
り、現在ではポジ型フォトレジストが主流となっている
。特に、ポジ型フォトレジストの中でも、感度、解像力
、ドライエッチング耐性に優れることから、例えばジェ
ー・シー・ストリエータ著、コダック・マイクロエレク
トロニクス・セミナー・プロシーディングス、第１１６
頁（１９７６年）（　Ｊ．　Ｃ．Ｓｔｒｉｅｔｅｒ，　
Ｋｏｄａｋ　Ｍｉｃｒｏｅｌｅｃ−ｔｏｒｏｎｉｃｓ　
Ｓｅｍｉｎｏｒ　Ｐｒｏｃｅｅｄｉｎｇｓ，　１１６　
（１９７６））　等に記載されているアルカリ可溶性の
ノボラック樹脂をベースにしたアルカリ現像型のポジ型
フォトレジストが現在広く使用されている。

【０００６】しかしながら、近年電子機器の多機能化、
高感化に伴い、さらに高密度ならびに高集積化を図るべ
くパターンの微細化が強く要請されている。これらの要
求に対し、従来のオルトキノンジアジド感光物に、アル
カリ可溶性を付与したポリシロキサン又はポリシルメチ
レン等のシリコンポリマーを組み合わせた感光性組成物
、例えば特開昭６１−２５６３４７号、同６１−１４４
６３９号、同６２−１５９１４１号、同６２−１９１８
４９号、同６２−２２０９４９号、同６２−２２９１３
６号、同６３−９０５３４号、同６３−９１６５４号等
の各公報に記載の感光性組成物、特開昭６２−１３６６
３８号の公報記載のポリシロキサン／カーボネートのブ
ロック共重合体に有効量のオニウム塩を組み合わせた感
光性組成物が提示されている。しかしながら、これらの
シリコンポリマーは、アルカリ可溶性の機能付与等の為
にその製造が著しく困難となり、また経時安定性も十分
ではなかった。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、上記
問題点が解決された新規なポジ型感光性組成物を提供す
ることにある。即ち、高い感光性を有し、かつ、広範囲
の波長光の使用が可能である新規なポジ型感光性組成物
を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明者は、上記目的を
達成すべく、オルトキノンジアジドに代わる新規ポジ型
感光性組成物の探索を行った結果、クレゾール樹脂のよ
うなアルカリ可溶性ポリマー中に一般式（Ｉ）で示され
る化合物を含有させることにより、鮮明なポジ画像が得
られることを見出し、本発明を完成させるに至った。

【０００９】即ち、本発明は、下記一般式（Ｉ）で示さ
れる化合物とアルカリ可溶性ポリマーを含有することを
特徴とするポジ型感光性組成物である。

【００１０】

【化２】

【００１１】式中、Ｒ１　は、置換または未置換のアル
キル基、アリール基又はアシル基を示し、Ｒ２　〜Ｒ６
　は、各々独立に水素原子、ハロゲン原子、置換又は未
置換のアルキル基、アリール基、アルコキシ基、アシル
基、アルコキシカルボニル基、スチリル基、アミノ基、
もしくは、ニトロ基又はシアノ基を示す。又Ｒ２　とＲ
３　、Ｒ３　とＲ４　、Ｒ４　とＲ５　、Ｒ５　とＲ６
　は互いに結合して、それらが結合している炭素原子と
ともにベンゼン環又は複素環を形成してもよい。

【００１２】Ｘ−　は酸アニオンを示す。現在のところ
、鮮明なポジ画像が得られる理由は明らかでないが、未
露光部では、一般式（Ｉ）で示される化合物とアルカリ
可溶性ポリマーが相互作用をなし、感光層のアルカリ現
像液に対する溶解性を低下させ、一方露光部では、光照
射され一般式（Ｉ）の化合物が分解し、酸を発生するこ
とにより、アルカリ現像液に対する溶解性が増加するた
め、ポジ画像になるものと推定される。

【００１３】以下、本発明のポジ型感光性組成物につい
て詳細に説明する。本発明で使用される一般式（Ｉ）の
化合物は、公知の方法で、あるいは、これに類似する方
法で合成することができる。たとえば、特公昭４６−４
２３６３号に記載されているように、置換ピリジン−Ｎ
−オキサイドを、メチル−Ｐ−トルエンスルホネート、
ハロゲン化合物などでアルキル化することにより合成さ
れる。

【００１４】一般式（Ｉ）におけるＲ１　〜Ｒ６　のア
ルキル基としては、炭素原子数が１から１８までの直鎖
状、分枝状および環状のアルキル基をあげることができ
る。 その具体例としてはメチル基、エチル基、プロピル基、
ブチル基、ペンチル基、イソプロピル基、イソブチル基
、ｔｅｒｔ−ブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキ
シル基などが含まれる。

【００１５】Ｒ１　〜Ｒ６　の置換アルキル基としては
、上記のような、アルキル基にハロゲン原子やアルコキ
シ基、ヒドロキシル基などが置換した基である。その具
体例としては、２−クロロエチル基、２−メトキシエチ
ル基、２−ヒドロキシエチル基などが含まれる。Ｒ１　
〜Ｒ６　のアリール基としては、フェニル基等の単環の
ベンゼン環残基、ナフチル基、アントリル基、フェナン
トリル基等の２環および３環の縮合ベンゼン環の残基、
ビフェニル基等の２環のベンゼン環集合系の残基ならび
にインデニル基、アセナフテニル基、フルオレニル基等
のベンゼン環と５員不飽和環との縮合系の残基をあげる
ことができる。

【００１６】Ｒ１　〜Ｒ６　の置換アリール基としては
上記のアリール基にハロゲン原子、アルキル基、アルコ
キシ基、アシル基、ニトロ基、アミノ基が置換した基が
含まれる。具体例としてはクロロフェニル基、メチルフ
ェニル基、ジメチルフェニル基、メトキシフェニル基、
アセチルフェニル基、ジメチルアミノフェニル基などが
あげられる。

【００１７】Ｒ１　〜Ｒ６　アシル基としては、アセチ
ル基、プロピオニル基、などが挙げられ、場合によりハ
ロゲン原子、アルキル基で置換されていても良い。Ｒ１
　〜Ｒ６　のアルコキシ基としては、炭素数が１から１
０までの直鎖状、分枝状、および環状のアルコキシ基を
挙げることができ、場合によっては、ハロゲン原子、ヒ
ドロキシ基、アミノ基等で置換されていても良い。その
具体例としては、メトキシ基、ｔｅｒｔ−ブトキシ基な
どがあげられる。

【００１８】Ｒ１　〜Ｒ６　のアルコキシカルボニル基
としては、炭素数が１から１０までの直鎖状、分枝状お
よび環状のアルキル基がオキシカルボニル基に結合した
残基であり、場合によっては、ハロゲン原子、アルコキ
シ基、ヒドロキシ基などで置換されていても良い。その
具体例としては、メトキシカルボニル基、ｔｅｒｔ−ブ
トキシカルボニル基、ジメチルアミノエトキシカルボニ
ル基などをあげることができる。

【００１９】Ｒ１　〜Ｒ６　のスチリル基及びアミノ基
は、場合によっては、アルキル基、アリール基で置換さ
れていてもよい。Ｘ−　は酸アニオンであり、具体例と
しては、ハロゲン原子アニオン、　ＢＦ４−　、ＢＣｌ
４−　、　ＺｎＣｌ５−　、　ＳｂＣｌ６−　、　Ｆｅ
Ｃｌ４−　、　ＧａＣｌ４−　、　ＧａＢｒ４−　、Ａ
ｌＩ４−　、ＡｌＣｌ４−　、ＳｂＦ６−　、ＣＦ３Ｓ
Ｏ３−　、　ＰＦ６−　、ＢＰｈ４−、ナフタレン−１
−スルホン酸、アントラセン−１−スルホン酸等の縮合
多核芳香族スルホン酸アニオン、アントラキノンスルホ
ン酸アニオン、アントラセンスルホン酸アニオン、スル
ホン酸基含有染料などが挙げられるがこれらに限定され
るものではない。

【００２０】下記に本発明において使用される一般式（
Ｉ）の化合物を具体的に列挙するが、本発明の範囲はこ
れらに限定されるものではない。

【００２１】

【化３】

【００２２】

【化４】

【００２３】

【化５】

【００２４】

【化６】

【００２５】

【化７】

【００２６】一般式（Ｉ）で示される化合物は単一で使
用できるが、数種の混合物として使用してもよい。感光
性組成物中の一般式（Ｉ）で示される化合物の添加量は
、好ましくは感光性組成物全固形分に対し、０．０１〜
５０重量％、更に好ましくは１〜３０重量％の範囲であ
る。

【００２７】本発明で使用されるアルカリ可溶性ポリマ
ーは、好ましくはフェノール性ヒドロキシ基、カルボン
酸基、スルホン酸基、イミド基、スルホンアミド基、Ｎ
−スルホニルアミド基、Ｎ−スルホニルウレタン基、活
性メチレン基等のｐＫａ　１１以下の酸性基を有するポ
リマーである。好適なアルカリ可溶性ポリマーとしては
、ノボラック型フェノール樹脂、具体的にはフェノール
−ホルムアルデヒド樹脂、ｏ−クレゾール−ホルムアル
デヒド樹脂、ｍ−クレゾール−ホルムアルデヒド樹脂、
ｐ−クレゾール−ホルムアルデヒド樹脂、キシレノール
−ホルムアルデヒド樹脂またはこれらの共縮合物などが
ある。更に、特開昭５０−１２５８０６号公報に記され
ている様に上記の様なフェノール樹脂と共に、ｔ−ブチ
ルフェノールホルムアルデヒド樹脂のような炭素数３〜
８のアルキル基で置換されたフェノールまたはクレゾー
ルとホルムアルデヒドとの縮合物とを併用してもよい。 またＮ−（４−ヒドロキシフェニル）メタクリルアミド
のようなフェノール性ヒドロキシ基含有モノマーを共重
合成分とするポリマー、ｐ−ヒドロキシスチレン、ｏ−
ヒドロキシスチレン、ｍ−イソプロペニルフェノール、
ｐ−イソプロペニルフェノール等の単独または共重合ポ
リマー、更にこれらのポリマーの部分エーテル化もしく
は部分エステル化したポリマーも使用できる。

【００２８】更に、アクリル酸、メタクリル酸等のカル
ボキシ基含有モノマーを共重合成分とするポリマー、特
開昭６１−２６７０４２号公報記載のカルボキシ基含有
ポリビニルアセタール樹脂、特開昭６３−１２４０４７
号公報記載のカルボキシル基含有ポリウレタン樹脂も好
適に使用される。更にまた、Ｎ−（４−スルファモイル
フェニル）メタクリルアミド、Ｎ−フェニルスルホニル
メタクリルアミド、マレイミドを共重合成分とするポリ
マー、特開昭６３−１２７２３７号公報記載の活性メチ
レン基含有ポリマーも使用できる。

【００２９】これらのアルカリ可溶性ポリマーは単一で
使用できるが、数種の混合物として使用してもよい。感
光性組成物中のアルカリ可溶性ポリマーの添加量は、好
ましくは感光性組成物全固形分に対し、１０〜９０重量
％、更に好ましくは３０〜８０重量％の範囲である。

【００３０】本発明のポジ型感光性組成物には必要に応
じて、更に染料、顔料、可塑剤および前記酸を発生する
化合物の酸発生効率を増大させる化合物（増感剤）など
を添加することができる。このような増感剤としては、
メロシアニン色素、シアニン色素等が使用できるが、こ
れらに限定されるものではない。

【００３１】これらの増感剤と一般式（Ｉ）で示される
化合物との割合は、好ましくはモル比で０．０１／１〜
２０／１であり、重量比で０．１／１〜５／１の範囲で
使用される。また、本発明のポジ型感光性組成物には着
色剤として染料を用いることができるが、好適な染料と
しては油溶性染料および塩基性染料がある。具体的には
、例えばオイルエロー＃１０１、オイルイエロー＃１３
０、オイルピンク＃３１２、オイルグリーンＢＧ、オイ
ルブルーＢＯＳ、オイルブラックＢＹ、オイルブラック
ＢＳ、オイルブラックＴ−５０５（以上オリエンタル化
学工業（株）製）、クリスタルバイオレット（ＣＩ４２
５５５）、メチルバイオレット（ＣＩ４２５３５）、ロ
ーダミンＢ（ＣＩ４５１７０Ｂ）、マラカイトグリーン
（ＣＩ４２０００）、メチレンブルー（ＣＩ５２０１５
）などを挙げることができる。

【００３２】これらの染料は、感光製組成物全固形分に
対し、０．０１〜１０重量％の割合で感光性組成物中に
添加することができる。本発明の組成物中には、更に感
度を高めるために環状酸無水物、その他のフィラーなど
を加えることができる。環状酸無水物としては米国特許
第４，１１５，１２８号明細書に記載されているような
無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒド
ロ無水フタル酸、３，６−エンドオキシ−テトラヒドロ
無水フタル酸、テトラクロル無水フタル酸、無水マレイ
ン酸、クロル無水マレイン酸、α−フェニル無水マレイ
ン酸、無水コハク酸、ピロメリット酸等がある。これら
の環状酸無水物を好ましくは感光性組成物全固形分に対
し１〜１５重量％含有させることによって感度を最大３
倍程度まで高めることができる。

【００３３】本発明のポジ型感光性組成物は、平版印刷
版用の材料として使用する場合には上記各成分を溶解す
る溶剤に溶かして、支持体上に塗布する。また、半導体
等のレジスト材料用としては、溶媒に溶解したままで使
用する。ここで使用する溶媒としては、エチレンジクロ
ライド、シクロヘキサノン、メチルエチルケトン、メタ
ノール、エタノール、プロパノール、エチレングリコー
ルモノメチルエーテル、１−メトキシ−２−プロパノー
ル、エチレングリコールモノエチルエーテル、２−メト
キシエチルアセテート、１−メトキシ−２−プロピルア
セテート、ジメトキシエタン、乳酸メチル、乳酸エチル
、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルホ
ルムアミド、テトラメチルウレア、Ｎ−メチルピロリド
ン、ジメチルスルホキシド、スルホラン、γ−ブチルラ
クトン、トルエン、酢酸エチルなどがあり、これらの溶
媒を単独あるいは混合して使用する。そして溶媒中の上
記成分（添加物を含む全固形分）の濃度は、好ましくは
２〜５０重量％である。また、塗布して使用する場合、
塗布量は用途により異なるが、例えば感光性平版印刷版
についていえば一般的に固形分として０．５〜３．０ｇ
／ｍ２　、またフォトレジストについていえば一般的に
固形分として０．１〜３．０ｇ／ｍ２　が好ましい。塗
布量が少なくなるにつれて、感光性は大になるが、感光
膜の皮膜特性は低下する。

【００３４】本発明のポジ型感光性組成物を用いて平版
印刷版を製造する場合、その支持体としては、例えば、
紙、プラスチック（例えばポリエチレン、ポリプロピレ
ン、ポリスチレンなど）がラミネートされた紙、例えば
アルミニウム（アルミニウム合金も含む）、亜鉛、銅な
どのような金属板、例えば、二酢酸セルロース、三酢酸
セルロース、プロピオン酸セルロース、酢酸セルロース
、酢酸酪酸セルロース、硝酸セルロース、ポリエチレン
テレフタレート、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリプ
ロピレン、ポリカーボネート、ポリビニルアセタールな
どのようなプラスチックのフィルム、上記のごとき金属
がラミネート、もしくは蒸着された紙、もしくはプラス
チックフィルムなどが含まれる。これらの支持体のうち
、アルミニウム板は寸度的に著しく安定であり、しかも
安価であるので特に好ましい。更に特公昭４８−１８３
２７号公報に記されているようなポリエチレンテレフタ
レートフィルム上にアルミニウムシートが結合された複
合体シートも好ましい。アルミニウム板の表面をワイヤ
ブラシグレイニングで研磨粒子のスラリーを注ぎながら
ナイロンブラシ粗面化するブラシレイニング、ボールグ
レイニング、液体ホーニングによるグレイニング、バフ
グレイニング等の機械的方法、ＨＦやＡｌＣｌ３　、　
ＨＣｌ　をエッチャントするケミカルグレイニング、硝
酸または塩酸を電解液とする電解グレイニングやこれら
の粗面化法を複合させて行った複合グレイニングによっ
て表面を砂目立てした後、必要に応じて酸またはアルカ
リによりエッチング処理され、引き続き硫酸、リン酸、
ホウ酸、クロム酸、スルファミン酸またはこれらの混酸
中で直流または交流電源にて陽極酸化を行い、アルミニ
ウム表面に強固な不動態皮膜を設けたものが好ましい。 このような不動態皮膜自体でアルミニウム表面は親水化
されてしまうが、更に必要に応じて米国特許第２，７１
４，０６６　号明細書や米国特許第　３，１８１，４６
１号明細書に記載されている珪酸塩処理（珪酸ナトリウ
ム、珪酸カリウム）、米国特許第　２，９４６，６３８
号明細書に記載されているフッ化ジルコニウム酸カリウ
ム処理、米国特許第　３，２０１，２４７号明細書に記
載されているホスホモリブデート処理、英国特許第　１
，１０８，５５９号明細書に記載されているアルキルチ
タネート処理、独国特許第　１，０９１，４４３号明細
書に記載されているポリアルリル酸処理、独国特許第　
１，１３４，０９３号明細書や英国特許第　１，２３０
，４４７号明細書に記載されているポリビニルホスホン
酸処理、特公昭４４−６４０９号公報に記載されている
ホスホン酸処理、米国特許第　３，３０７，９５１号明
細書に記載されているフイチン酸処理、特開昭５８−１
６８９３号や特開昭５８−１６２９１号の各公報に記載
されている親水性有機高分子化合物と２価の金属よりな
る複合処理、特開昭５９−１０１６５１号公報に記載さ
れているスルホン酸基を有する水溶性重合体の下塗によ
って親水化処理を行ったものは特に好ましい。その他の
親水化処理方法としては、米国特許第　３，６５８，６
６２号明細書に記載されているシリケート電着を挙げる
ことができる。

【００３５】また砂目立て処理、陽極酸化後、封孔処理
を施したものが好ましい。かかる封孔処理は熱水および
無機塩または有機塩を含む熱水溶液への浸漬並びに水蒸
気浴などによって行われる。本発明のポジ型感光性組成
物をフォトレジストとして使用する場合には銅板又は銅
メッキ板、シリコン板、ステンレス板、ガラス板等の種
々の材質の基板を支持体として用いることができる。

【００３６】本発明のポジ型感光性組成物は公知の塗布
技術により上記の支持体上に塗布される。上記の塗布技
術の例としては、回転塗布法、ワイヤーバー塗布法、デ
ィップ塗布法、エアーナイフ塗布法、ロール塗布法、ブ
レート塗布法、カーテン塗布法及びスプレー塗布法等を
挙げることができる。上記のようにして塗布されたポジ
型感光性組成物層は、４０〜１５０℃で０．５〜１０分
間、熱風乾燥機、赤外線乾燥機等を用いて乾燥される。

【００３７】本発明のポジ型感光性組成物を含む感光性
平版印刷版及びフォトレジスト等は、通常、像露光、現
像工程を施される。像露光に用いられる活性光線の光源
としては、例えば、水銀灯、メタルハライドランプ、キ
セノンランプ、ケミカルランプ、カーボンアーク灯など
がある。放射線としては、電子線、Ｘ線、イオンビーム
、遠紫外線などがある。フォトレジスト用の光源として
は、ｇ線、ｉ線、Ｄｅｅｐ　−ＵＶ光が好ましく使用さ
れる。また高密度エネルギービーム（レーザービームま
たは電子線）による走査露光も本発明に使用することが
できる。このようなレーザービームとしてはヘリウム・
ネオンレーザー、アルゴンレーザー、クリプトンイオン
レーザー、ヘリウム・カドミウムレーザー、ＫｒＦエキ
シマレーザーなどが挙げられる。

【００３８】本発明のポジ型感光性組成物の現像に用い
る現像液としては、珪酸ナトリウム、珪酸カリウム、水
酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化リチウム、第
三リン酸ナトリウム、第二リン酸ナトリウム、第三リン
酸アンモニウム、第二リン酸アンモニウム、メタ珪酸ナ
トリウム、重炭酸ナトリウム、アンモニア水などのよう
な無機アルカリ剤およびテトラアルキルアンモニウムハ
イドライドなどのような有機アルカリ剤の水溶液が適当
であり、それらの濃度が０．１〜１０重量％、好ましく
は０．５〜５重量％になるように添加される。

【００３９】また、該アルカリ性水溶液には、必要に応
じて界面活性剤やアルコールなどのような有機溶媒を加
えることもできる。

【００４０】

【発明の効果】本発明のポジ型感光性組成物は、高い感
光性を有し、かつ、広範囲の波長光の使用が可能である
。

【００４１】

【実施例】以下、本発明を実施例により更に詳細に説明
するが、本発明の内容がこれにより限定されるものでは
ない。

【００４２】

【実施例１〜８】厚さ０．２４ｍｍの２Ｓアルミニウム
板を８０℃に保った第三燐酸ナトリウムの１０％水溶液
に３分間浸漬して脱脂し、ナイロンブラシで砂目立てし
た後、アルミン酸ナトリウムで約１０分間エッチングし
て、硫酸水素ナトリウム３％水溶液でデスマット処理を
行った。このアルミニウム板を２０％硫酸中で電流密度
２Ａ／ｄｍ２　において２分間陽極酸化を行った。

【００４３】次に下記表１に示される一般式（Ｉ）の化
合物を用いて、下記処方のとおりに８種類の感光液〔Ａ
〕−１〜〔Ａ〕−８を調製した。この感光液を陽極酸化
されたアルミニウム板上に塗布し、１００℃で２分間乾
燥して、それぞれの感光性平版印刷版を作製した。 このときの塗布量は全て乾燥重量で１．５ｇ／ｍ２　に
なるように調整した。 感光液処方〔Ａ〕 　　一般式（Ｉ）の化合物　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　０．２　
　ｇ　　クレゾールホルムアルデヒドノボラック樹脂　
　　　　　　　　　　　　　１．０　　ｇ　　オイルブ
ルー＃６０３（オリエント化学工業（株）製）　　　　
０．０１ｇ　　メチルエチルケトン　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　５　　　　ｇ　　メチルセロソルブ　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　１５　　　　ｇ得られた平版印刷版の感光層上
に濃度差０．１５のグレースケールを密着させ、２ＫＷ
の高圧水銀灯で５０ｃｍの距離から２分間露光を行った
。露光した平版印刷版をＤＰ−４（商品名：富士写真フ
ィルム（株）製）の８倍希釈水溶液で２５℃において６
０秒間浸漬現像したところ、すべて鮮明なポジ画像が得
られた。

【００４４】この時、得られるグレイスケールの段数を
表１に示す。 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　表　　　　１────────────
────────────────────────　
　実施例　　　　感　　光　　液　　　　一般式（Ｉ）
の化合物　　　　グレイスケールの段数───────
─────────────────────────
────　　　　１　　　　　　〔Ａ〕−１　　　　　
　　　　　化合物（１）　　　　　　　　　　　　　　
　　　　４　　　　２　　　　　　〔Ａ〕−２　　　　
　　　　　　　　〃　　（２）　　　　　　　　　　　
　　　　　　　４　　　　３　　　　　　〔Ａ〕−３　
　　　　　　　　　　　〃　　（３）　　　　　　　　
　　　　　　　　　　３　　　　４　　　　　　〔Ａ〕
−４　　　　　　　　　　　　〃　　（４）　　　　　
　　　　　　　　　　　　　３　　　　５　　　　　　
〔Ａ〕−５　　　　　　　　　　　　〃　　（５）　　
　　　　　　　　　　　　　　　　３　　　　６　　　
　　　〔Ａ〕−６　　　　　　　　　　　　〃　　（６
）　　　　　　　　　　　　　　　　　　５　　　　７
　　　　　　〔Ａ〕−７　　　　　　　　　　　　〃　
　（７）　　　　　　　　　　　　　　　　　　４　　
　　８　　　　　　〔Ａ〕−８　　　　　　　　　　　
　〃　　（８）　　　　　　　　　　　　　　　　　　
７────────────────────────
────────────

【００４５】

【実施例９〜１３】厚さ０．５ｍｍのシリコンウェハー
上に下記感光液〔Ｂ〕をスピンナーで塗布し、ホットプ
レート上で９０℃において２分間乾燥させ、乾燥時の膜
厚が１μになるように調整した。 感光液処方〔Ｂ〕 　　一般式（Ｉ）の化合物　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　０．２　　　
　ｇ　　クレゾールホルムアルデヒドノボラック樹脂　
　　　　　　　　　　　１．０　　　　ｇ　　エチルセ
ロソルブアセテート　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　７．５　　　　ｇ　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　表　
　　　２　　　　─────────────────
──────────────　　　　　　実施例　　
　　　　感　　光　　液　　　　　　　　　　　　一般
式（Ｉ）の化合物　　　　─────────────
──────────────────　　　　　　　
　９　　　　　　　　〔Ｂ〕−１　　　　　　　　　　
　　　　化　　合　　物　　（１）　　　　　　１０　
　　　　　　　〔Ｂ〕−２　　　　　　　　　　　　　
　　　　　〃　　　　　　（２）　　　　　　１１　　
　　　　　　〔Ｂ〕−３　　　　　　　　　　　　　　
　　　　〃　　　　　　（３）　　　　　　１２　　　
　　　　　〔Ｂ〕−４　　　　　　　　　　　　　　　
　　　〃　　　　　　（４）　　　　　　１３　　　　
　　　　〔Ｂ〕−５　　　　　　　　　　　　　　　　
　　〃　　　　　　（５）　　　　─────────
──────────────────────次に得
られたレジストを波長２５４ｎｍの単色光を用いた縮小
投影露光装置（ステッパー）を用いて露光し、テトラメ
チルアンモニウムヒドロキシドの２．４％水溶液で６０
秒間現像することにより、レジストパターンを形成させ
た。その結果、すべてのサンプルにおいて０．８μｍ　
のライン＆スペースの良好なパターンが得られた。

【００４６】以上の結果により、一般式（Ｉ）の化合物
とアルカリ可溶のバインダーを組合せたポジ型感光性組
成物を用いることにより、鮮明なポジ画像が得られるこ
とが明らかになった。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　下記一般式（Ｉ）で示される化合物と
   、アルカリ可溶性ポリマーを含有することを特徴とする
   ポジ型感光性組成物。 【化１】 式中、Ｒ１　は、置換または未置換のアルキル基、アリ
   ール基又はアシル基を示し、Ｒ２　〜Ｒ６　は、各々独
   立に水素原子、ハロゲン原子、置換又は未置換のアルキ
   ル基、アリール基、アルコキシ基、アシル基、アルコキ
   シカルボニル基、スチリル基、アミノ基、もしくは、ニ
   トロ基又はシアノ基を示す。又Ｒ２　とＲ３　、Ｒ３　
   とＲ４　、Ｒ４　とＲ５　、Ｒ５　とＲ６　は互いに結
   合して、それらが結合している炭素原子とともにベンゼ
   ン環又は複素環を形成してもよい。Ｘ−　は酸アニオン
   を示す。