JPH1138226A - カラーフィルタ用感放射線性組成物 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、現像時のパターンの欠け及び剥が
れがなく、成膜後の機械的強度が良好なカラーフィルタ
用感放射線性組成物を提供することにある。 【解決手段】 カラーフィルタ用感放射線性組成物は、
（Ａ）着色剤、（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂、（Ｃ）多官
能性モノマー、（Ｄ）光重合開始剤および（Ｅ）エチレ
ン性不飽和結合を有するシランカップリング剤を含有す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、カラー液晶表示装
置、カラー撮像管素子等に用いられるカラーフィルタの
製造に使用されるカラーフィルタ用感放射線性組成物に
関する。

【０００２】

【従来の技術】カラー液晶表示装置、カラー撮像管素子
等に用いられるカラーフィルタは、感光性樹脂の塗膜に
フォトマスクを介し放射線を照射して、放射線照射部を
硬化させ、その後現像処理を行なって、塗膜の放射線未
照射部を除去してパターンを形成したのち、染色する方
法（染色法）や、感光性樹脂に着色剤を分散した組成物
を用いて、前記と同様に塗膜形成、放射線照射および現
像処理を行うフォトリソグラフィー法等の方法により製
造されており、これらのカラーフィルタの着色剤には、
赤、緑および青の３原色のほか、特にカラー撮像管の場
合、シアン、マゼンタおよび黄の補色の組み合わせも使
用されている。そして、近年におけるカラー液晶表示装
置、カラー撮像管素子等の高品質化および用途の拡大を
反映して、感放射線性組成物としての現像性および成膜
後の性質のさらなる向上が求められている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、以上のよう
な事情に鑑みてなされたものであり、その課題は、現像
時のパターンの欠け及び剥がれがなく、成膜後の機械的
強度が良好なカラーフィルタ用感放射線性組成物を提供
することにある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明の要旨は、（Ａ）
着色剤、（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂、（Ｃ）多官能性モ
ノマー、（Ｄ）光重合開始剤および（Ｅ）エチレン性不
飽和結合を有するシランカップリング剤を含有すること
を特徴とするカラーフィルタ用感放射線性組成物、から
なる。

【０００５】以下、本発明を詳細に説明する。（Ａ）着色剤 本発明における着色剤は、色調が特に限定されるもので
はなく、カラーフィルタの用途に応じて適宜選定され、
また有機着色剤でも無機着色剤でもよい。前記有機着色
剤とは、具体的には染料、有機顔料、天然色素等を意味
し、また前記無機着色剤とは、具体的には無機顔料のほ
か、体質顔料と呼ばれる無機塩をも意味するものである
が、カラーフィルタには高精密な発色と耐熱性が求めら
れることから、本発明における着色剤としては、発色性
が高く、且つ耐熱性の高い着色剤、特に耐熱分解性の高
い着色剤が好ましく、通常有機着色剤、特に有機顔料が
好ましい。前記有機顔料としては、例えばカラーインデ
ックス（C.I.；The Society ofDyers and Colorist
s 社発行) においてピグメント（Pigment）に分類さ
れている化合物、具体的には、下記のようなカラーイン
デックス（C.I.）番号が付されているものを挙げること
ができる。C.I.ピグメントイエロー１２、C.I.ピグメン
トイエロー１３、C.I.ピグメントイエロー１４、C.I.ピ
グメントイエロー１７、C.I.ピグメントイエロー２０、
C.I.ピグメントイエロー２４、C.I.ピグメントイエロー
３１、C.I.ピグメントイエロー５５、C.I.ピグメントイ
エロー８３、C.I.ピグメントイエロー９３、C.I.ピグメ
ントイエロー１０９、C.I.ピグメントイエロー１１０、
C.I.ピグメントイエロー１３８、C.I.ピグメントイエロ
ー１３９、C.I.ピグメントイエロー１５０、C.I.ピグメ
ントイエロー１５３、C.I.ピグメントイエロー１５４、
C.I.ピグメントイエロー１５５、C.I.ピグメントイエロ
ー１６６、C.I.ピグメントイエロー１６８；C.I.ピグメ
ントオレンジ３６、C.I.ピグメントオレンジ４３、C.I.
ピグメントオレンジ５１；C.I.ピグメントレッド９、C.
I.ピグメントレッド９７、C.I.ピグメントレッド１２
２、C.I.ピグメントレッド１２３、C.I.ピグメントレッ
ド１４９、C.I.ピグメントレッド１７６、C.I.ピグメン
トレッド１７７、C.I.ピグメントレッド１８０、C.I.ピ
グメントレッド２１５；C.I.ピグメントバイオレット１
９、C.I.ピグメントバイオレット２３、C.I.ピグメント
バイオレット２９；C.I.ピグメントブルー１５、C.I.ピ
グメントブルー１５：３、C.I.ピグメントブルー１５：
４、C.I.ピグメントブルー１５：６；C.I.ピグメントグ
リーン７、C.I.ピグメントグリーン３６；C.I.ピグメン
トブラウン２３、C.I.ピグメントブラウン２５；C.I.ピ
グメントブラック１、ピグメントブラック７。また、前
記無機着色剤としては、具体的には、例えば酸化チタ
ン、硫酸バリウム、亜鉛華、硫酸鉛、黄色鉛、亜鉛黄、
べんがら（赤色酸化鉄(III))、カドミウム赤、群青、紺
青、酸化クロム緑、コバルト緑、アンバー、チタンブラ
ック、合成鉄黒、カーボンブラック等を挙げることがで
きる。さらに本発明における着色剤は、所望により、顔
料粒子の表面をポリマーで改質したものを使用すること
ができる。前記着色剤は、単独でまたは２種以上を混合
して使用することができる。本発明における着色剤は、
所望により、分散剤とともに使用することができる。こ
のような分散剤としては、具体的に、例えばカチオン
系、アニオン系、ノニオン系、両性、シリコーン系、フ
ッ素系等の界面活性剤を挙げることができる。前記界面
活性剤としては、具体的に、例えばポリオキシエチレン
ラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエー
テル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル等のポリオ
キシエチレンアルキルエーテル類；ポリオキシエチレン
オクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニル
フェニルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルフェ
ニルエーテル類；ポリエチレングリコールジラウレー
ト、ポリエチレングリコールジステアレート等のポリエ
チレングリコールジエステル類；ソルビタン脂肪酸エス
テル類；脂肪酸変性ポリエステル類；３級アミン変性ポ
リウレタン類；ポリエチレンイミン類；等を挙げること
ができ、さらに具体的に商品名で、例えばＫＰ（信越化
学工業製）、ポリフロー（共栄社油脂化学工業製）、エ
フトップ（トーケムプロダクツ製）、メガファック（大
日本インキ化学工業製）、フロラード（住友スリーエム
製）、アサヒガード、サーフロン（旭硝子製）等を挙げ
ることができる。これらの界面活性剤は、単独でまたは
２種以上を混合して使用することができる。前記界面活
性剤は、着色剤１００重量部に対して、通常、５０重量
部以下、好ましくは０〜３０重量部使用する。

【０００６】（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂 本発明におけるアルカリ可溶性樹脂としては、着色剤に
対してバインダーとして作用し、かつカラーフィルタ製
造時の現像処理工程において用いられるアルカリ現像液
に可溶性である限り、適宜のポリマーを使用することが
できる。このようなアルカリ可溶性樹脂としては、例え
ば、カルボキシル基、フェノール性水酸基等の酸性官能
基を含有するポリマーを挙げることができる。アルカリ
可溶性樹脂のうち、カルボキシル基含有アルカリ可溶性
樹脂としては、例えば、１個以上のカルボキシル基を有
するエチレン性不飽和モノマー（以下、単に「カルボキ
シル基含有不飽和モノマー」という。）の（共）重合体
を挙げることができ、前記カルボキシル基含有不飽和モ
ノマーの（共）重合体としては、特にカルボキシル基含
有不飽和モノマーと他の共重合可能なエチレン性不飽和
モノマー（以下、単に「他の不飽和モノマー」とい
う。）とからなるモノマー混合物の共重合体（以下、単
に「カルボキシル基含有共重合体（ｂ）」という。）が
好ましい。前記カルボキシル基含有不飽和モノマーとし
ては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン
酸、α−クロルアクリル酸、エタクリル酸、けい皮酸、
２ー（メタ）アクリロイルオキシエチルコハク酸、ωー
カルボキシポリカプロラクトンモノ（メタ）アクリレー
ト等の不飽和モノカルボン酸類；マレイン酸、無水マレ
イン酸、フマル酸、イタコン酸、無水イタコン酸、シト
ラコン酸、無水シトラコン酸、メサコン酸等の不飽和ジ
カルボン酸（無水物）類；３価以上の不飽和多価カルボ
ン酸（無水物）類等を挙げることができる。これらのカ
ルボキシル基含有不飽和モノマーは、単独でまたは２種
以上を混合して使用することができる。また、前記他の
不飽和モノマーとしては、例えば、スチレン、α−メチ
ルスチレン、ｏ−ビニルトルエン、ｍ−ビニルトルエ
ン、ｐ−ビニルトルエン、ｏ−クロルスチレン、ｍ−ク
ロルスチレン、ｐ−クロルスチレン、ｐ−メトキシスチ
レン等の芳香族ビニル化合物；メチルアクリレート、メ
チルメタクリレート、エチルアクリレート、エチルメタ
クリレート、ｎ−プロピルアクリレート、ｉ−プロピル
アクリレート、ｎ−プロピルメタクリレート、ｉ−プロ
ピルメタクリレート、ｎ−ブチルアクリレート、ｉ−ブ
チルアクリレート、ｓｅｃ−ブチルアクリレート、ｔ−
ブチルアクリレート、ｎ−ブチルメタクリレート、ｉ−
ブチルメタクリレート、ｓｅｃ−ブチルメタクリレー
ト、ｔ−ブチルメタクリレート、２−ヒドロキシエチル
アクリレート、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、
ベンジルアクリレート、ベンジルメタクリレート等の不
飽和カルボン酸エステル類；２−アミノエチルアクリレ
ート、２−アミノエチルメタクリレート、２−アミノプ
ロピルアクリレート、２−アミノプロピルメタクリレー
ト、３−アミノプロピルアクリレート、３−アミノプロ
ピルメタクリレート等の不飽和カルボン酸アミノアルキ
ルエステル類；グリシジルアクリレート、グリシジルメ
タクリレート等の不飽和カルボン酸グリシジルエステル
類；酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、酪酸ビニル、安
息香酸ビニル等のカルボン酸ビニルエステル類；ビニル
メチルエーテル、ビニルエチルエーテル、アリルグリシ
ジルエーテル、メタリルグリシジルエーテル等の不飽和
エーテル類；アクリロニトリル、メタクリロニトリル、
α−クロロアクリロニトリル、シアン化ビニリデン等の
シアン化ビニル化合物；アクリルアミド、メタクリルア
ミド、α−クロロアクリルアミド、Ｎ−（２−ヒドロキ
シエチル）アクリルアミド、Ｎ−（２−ヒドロキシエチ
ル）メタクリルアミド、Ｎ−フェニルマレイミド、Ｎ−
シクロヘキシルマレイミド等の不飽和アミドあるいは不
飽和イミド類；１，３−ブタジエン、イソプレン、クロ
ロプレン等の脂肪族共役ジエン類；ポリスチレン、ポリ
メチルアクリレート、ポリメチルメタクリレート、ポリ
ｎ−ブチルアクリレート、ポリｎ−ブチルメタクリレー
ト、ポリシリコーン等の重合体分子鎖の末端にモノアク
リロイル基あるいはモノメタクリロイル基を有するマク
ロモノマー類等を挙げることができる。これらの他の不
飽和モノマーは、単独でまたは２種以上を混合して使用
することができる。

【０００７】カルボキシル基含有共重合体（ｂ）として
は、アクリル酸および／またはメタクリル酸とメチ
ルメタクリレート、２−ヒドロキシエチルアクリレー
ト、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、ベンジルア
クリレート、ベンジルメタクリレート、スチレン、ポリ
スチレンマクロモノマーおよびポリメチルメタクリレー
トマクロモノマーの群から選ばれる少なくとも１種の他
の不飽和モノマーとの共重合体が好ましい。好ましいカ
ルボキシル基含有共重合体（ｂ）の具体例としては、ア
クリル酸／ベンジルアクリレート共重合体、アクリル酸
／ベンジルアクリレート／スチレン共重合体、アクリル
酸／メチルアクリレート／スチレン共重合体、アクリル
酸／ベンジルアクリレート／ポリスチレンマクロモノマ
ー共重合体、アクリル酸／ベンジルアクリレート／ポリ
メチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、アクリ
ル酸／メチルアクリレート／ポリスチレンマクロモノマ
ー共重合体、アクリル酸／メチルアクリレート／ポリメ
チルメタクリレートマクロモノマー共重合体、アクリル
酸／ベンジルメタクリレート共重合体、アクリル酸／ベ
ンジルメタクリレート／スチレン共重合体、アクリル酸
／メチルメタクリレート／スチレン共重合体、アクリル
酸／ベンジルメタクリレート／ポリスチレンマクロモノ
マー共重合体、アクリル酸／ベンジルメタクリレート／
ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、ア
クリル酸／メチルメタクリレート／ポリスチレンマクロ
モノマー共重合体、アクリル酸／メチルメタクリレート
／ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、
アクリル酸／２−ヒドロキシエチルメタクリレート／ベ
ンジルメタクリレート／ポリスチレンマクロモノマー共
重合体、アクリル酸／２−ヒドロキシエチルメタクリレ
ート／ベンジルメタクリレート／ポリメチルメタクリレ
ートマクロモノマー共重合体等のアクリル酸共重合体；
メタクリル酸／ベンジルアクリレート共重合体、メタク
リル酸／ベンジルアクリレート／スチレン共重合体、メ
タクリル酸／メチルアクリレート／スチレン共重合体、
メタクリル酸／ベンジルアクリレート／ポリスチレンマ
クロモノマー共重合体、メタクリル酸／ベンジルアクリ
レート／ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重
合体、メタクリル酸／メチルアクリレート／ポリスチレ
ンマクロモノマー共重合体、メタクリル酸／メチルアク
リレート／ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共
重合体、メタクリル酸／ベンジルメタクリレート共重合
体、メタクリル酸／ベンジルメタクリレート／スチレン
共重合体、メタクリル酸／メチルメタクリレート／スチ
レン共重合体、メタクリル酸／ベンジルメタクリレート
／ポリスチレンマクロモノマー共重合体、メタクリル酸
／ベンジルメタクリレート／ポリメチルメタクリレート
マクロモノマー共重合体、メタクリル酸／メチルメタク
リレート／ポリスチレンマクロモノマー共重合体、メタ
クリル酸／メチルメタクリレート／ポリメチルメタクリ
レートマクロモノマー共重合体、メタクリル酸／２−ヒ
ドロキシエチルメタクリレート／ベンジルメタクリレー
ト／ポリスチレンマクロモノマー共重合体、メタクリル
酸／２−ヒドロキシエチルメタクリレート／ベンジルメ
タクリレート／ポリメチルメタクリレートマクロモノマ
ー共重合体等のメタクリル酸共重合体等を挙げることが
できる。

【０００８】これらのカルボキシル基含有共重合体
（ｂ）のうち、特にメタクリル酸／ベンジルメタクリレ
ート共重合体、メタクリル酸／ベンジルメタクリレート
／スチレン共重合体、メタクリル酸／メチルメタクリレ
ート／スチレン共重合体、メタクリル酸／ベンジルメタ
クリレート／ポリスチレンマクロモノマー共重合体、メ
タクリル酸／ベンジルメタクリレート／ポリメチルメタ
クリレートマクロモノマー共重合体、メタクリル酸／メ
チルメタクリレート／ポリスチレンマクロモノマー共重
合体、メタクリル酸／メチルメタクリレート／ポリメチ
ルメタクリレートマクロモノマー共重合体、メタクリル
酸／２−ヒドロキシエチルメタクリレート／ベンジルメ
タクリレート／ポリスチレンマクロモノマー共重合体、
メタクリル酸／２−ヒドロキシエチルメタクリレート／
ベンジルメタクリレート／ポリメチルメタクリレートマ
クロモノマー共重合体が好ましい。

【０００９】カルボキシル基含有共重合体（ｂ）におけ
るカルボキシル基含有不飽和モノマーの共重合割合は、
通常、５〜５０重量％、好ましくは１０〜４０重量％で
ある。この場合、カルボキシル基含有不飽和モノマーの
共重合割合が５重量％未満では、得られる感放射線性組
成物のアルカリ現像液に対する溶解性が低下する傾向が
あり、また５０重量％を超えると、アルカリ現像液によ
る現像時に、形成された画素の基板からの脱落や画素表
面の膜荒れを来たしやすくなる傾向がある。特にカルボ
キシル基含有不飽和モノマーを前記特定の共重合割合で
含有するカルボキシル基含有共重合体（ｂ）は、アルカ
リ現像液に対して優れた溶解性を有するものであり、当
該共重合体をバインダーとして用いた感放射線性組成物
は、アルカリ現像液による現像後に未溶解物が残存する
ことが極めて少なく、基板上の画素を形成する部分以外
の領域における地汚れ、膜残り等が発生し難く、しかも
該組成物から得られる画素は、アルカリ現像液に過剰に
溶解することがなく、基板に対して、優れた密着性を有
し、基板から脱落するおそれもないものとなる。カルボ
キシル基含有共重合体（ｂ）のゲルパーミエーションク
ロマトグラフィー（ＧＰＣ；溶出溶媒テトラヒドロフラ
ン）で測定したポリスチレン換算重量平均分子量（以
下、単に「重量平均分子量」という。）は、好ましくは
３，０００〜３００，０００、さらに好ましくは５，０
００〜１００，０００である。

【００１０】また、アルカリ可溶性のポリエステル樹脂
を、アルカリ可溶性樹脂として使用することもできる。
このようなポリエステル樹脂としては、特に比較的低分
子量のポリ乳酸が好ましい。前記ポリ乳酸の重量平均分
子量は、通常、３，０００〜３００，０００、好ましく
は５，０００〜１００，０００である。

【００１１】また、フェノール性水酸基含有アルカリ可
溶性樹脂としては、例えば、フェノール性水酸基含有ビ
ニル芳香族化合物の（共）重合体、フェノールノボラッ
ク樹脂等を挙げることができる。前記フェノール性水酸
基含有ビニル芳香族化合物としては、例えば、ｏ−ヒド
ロキシスチレン、ｍ−ヒドロキシスチレン、ｐ−ヒドロ
キシスチレン、ｏ−ヒドロキシ−α−メチルスチレン、
ｍ−ヒドロキシ−α−メチルスチレン、ｐ−ヒドロキシ
−α−メチルスチレン等を挙げることができる。これら
のフェノール性水酸基含有ビニル芳香族化合物は、単独
でまたは２種以上を混合して使用することができる。前
記フェノール性水酸基含有ビニル芳香族化合物は、場合
により１種以上の他の共重合可能なエチレン性不飽和モ
ノマー、例えば前記他の不飽和モノマーと共重合させる
ことができる。また、前記フェノールノボラック樹脂に
使用されるフェノール類としては、例えば、ｏ−クレゾ
ール、ｍ−クレゾール、ｐ−クレゾール、２，３−キシ
レノール、２，４−キシレノール、２，５−キシレノー
ル、３，４−キシレノール、３，５−キシレノール、
２，３，５−トリメチルフェノール、３，４，５−トリ
メチルフェノール等を挙げることができ、またアルデヒ
ド類としては、例えば、ホルムアルデヒド、トリオキサ
ン、パラホルムアルデヒド、ベンズアルデヒド、アセト
アルデヒド、プロピルアルデヒド、フェニルアセトアル
デヒド、グリオキサール、グルタルアルデヒド、テレフ
タルアルデヒド、イソフタルアルデヒド等を挙げること
ができる。これらのフェノール類およびアルデヒド類
は、それぞれ単独でまたは２種以上を混合して使用する
ことができる。フェノール性水酸基含有ビニル芳香族化
合物の（共）重合体の重量平均分子量は、好ましくは
１，０００〜１５０，０００、さらに好ましくは３，０
００〜１００，０００である。また、フェノールノボラ
ック樹脂の重量平均分子量は、好ましくは１，０００〜
１５０，０００、さらに好ましくは１，５００〜８０，
０００である。

【００１２】本発明におけるアルカリ可溶性樹脂の使用
量は、（Ａ）着色剤１００重量部に対して、通常、１０
〜１０００重量部、好ましくは２０〜５００重量部であ
る。この場合、アルカリ可溶性樹脂の使用量が１０重量
部未満では、例えば、アルカリ現像性が低下したり、画
素が形成される部分以外の領域での地汚れや膜残りが発
生するおそれがあり、一方１０００重量部を超えると、
相対的に着色剤濃度が低下するため、薄膜として目的と
する色濃度を達成することが困難となる場合がある。

【００１３】（Ｃ）多官能性モノマー 本発明における多官能性モノマーは、重合可能なエチレ
ン性不飽和結合を２個以上有するモノマーからなる。こ
のような多官能性モノマーとしては、例えば、エチレン
グリコール、プロピレングリコール等のアルキレングリ
コールのジアクリレートまたはジメタクリレート類；ポ
リエチレングリコール、ポリプロピレングリコール等の
ポリアルキレングリコールのジアクリレートまたはジメ
タクリレート類；グリセリン、トリメチロールプロパ
ン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール、
コハク酸変性ペンタエリスリトールトリアクリレート等
の３価以上の多価アルコールのポリアクリレートまたは
ポリメタクリレート類；ポリエステル、エポキシ樹脂、
ウレタン樹脂、アルキド樹脂、シリコーン樹脂、スピラ
ン樹脂等のオリゴアクリレートまたはオリゴメタクリレ
ート類；両末端ヒドロキシポリブタジエン、両末端ヒド
ロキシポリイソプレン、両末端ヒドロキシポリカプロラ
クトン等の両末端ヒドロキシル化重合体のジアクリレー
トまたはジメタクリレート類や、トリスアクリロイルオ
キシエチルフォスフェート、トリスメタクリロイルオキ
シエチルフォスフェート等を挙げることができる。これ
らの多官能性モノマーのうち、３価以上の多価アルコー
ルのポリアクリレートまたはポリメタクリレート類が好
ましく、具体的にはトリメチロールプロパントリアクリ
レート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、
ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリス
リトールトリメタクリレート、ペンタエリスリトールテ
トラアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタク
リレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレー
ト、ジペンタエリスリトールペンタメタクリレート、ジ
ペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエ
リスリトールヘキサメタクリレート、コハク酸変性ペン
タエリスリトールトリアクリレート等を挙げることがで
き、特にトリメチロールプロパントリアクリレート、ペ
ンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリ
スリトールヘキサアクリレート、コハク酸変性ペンタエ
リスリトールトリアクリレートが、画素強度が高く、画
素表面の平滑性に優れ、かつ画素が形成される部分以外
の領域での地汚れ、膜残り等を発生し難い点で好まし
い。前記多官能性モノマーは、単独でまたは２種以上を
混合して使用することができる。本発明における多官能
性モノマーの使用量は、（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂１０
０重量部に対して、通常、５〜５００重量部、好ましく
は２０〜３００重量部である。この場合、多官能性モノ
マーの使用量が５重量部未満では、画素強度あるいは画
素表面の平滑性が不十分となる傾向があり、一方５００
重量部を超えると、例えば、アルカリ現像性が低下した
り、画素が形成される部分以外の領域での地汚れや膜残
りが発生しやすくなる傾向がある。

【００１４】（Ｄ）光重合開始剤 本発明における光重合開始剤は、可視光線、紫外線、遠
紫外線、電子線、Ｘ線等の放射線の照射により、前記
（Ｃ）多官能性モノマーの重合を開始しうる活性種を発
生することができる化合物からなる。このような光重合
開始剤としては、下記式（１）、式（２）または式
（３）で表される主要骨格を少なくとも１種有するビイ
ミダゾール系化合物のほか、ベンゾイン系化合物、アセ
トフェノン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、α−ジ
ケトン系化合物、多核キノン系化合物、キサントン系化
合物、ジアゾ系化合物、トリアジン系化合物等を挙げる
ことができ、これらのうちビイミダゾール系化合物が好
ましい。

【００１５】

【化１】

【００１６】前記ビイミダゾール系化合物の具体例とし
ては、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，
４’，５，５’──トラキス（４−エトキシカルボニル
フェニル）ビイミダゾール、２，２’−ビス（２−クロ
ロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラキス（４−
フェノキシカルボニルフェニル）ビイミダゾール、２，
２’−ビス（２，４−ジクロロフェニル）−４，４’，
５，５’−テトラキス（４−エトキシカルボニルフェニ
ル）ビイミダゾール、２，２’−ビス（２，４−ジクロ
ロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラキス（４−
フェノキシカルボニルフェニル）ビイミダゾール、２，
２’−ビス（２，４，６−トリクロロフェニル）−４，
４’，５，５’−テトラキス（４−エトキシカルボニル
フェニル）ビイミダゾール、２，２’−ビス（２，４，
６−トリクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テト
ラキス（４−フェノキシカルボニルフェニル）ビイミダ
ゾール、２，２’−ビス（２−シアノフェニル）−４，
４’，５．５’−テトラキス（４−エトキシカルボニル
フェニル）ビイミダゾール、２，２’−ビス（２−シア
ノフェニル）−４，４’，５，５’−テトラキス（４−
フェノキシカルボニルフェニル）ビイミダゾール、２，
２’−ビス（２−メチルフェニル）−４，４’，５，
５’−テトラキス（４−メトキシカルボニルフェニル）
ビイミダゾール、２，２’−ビス（２−メチルフェニ
ル）−４，４’，５，５’−テトラキス（４−エトキシ
カルボニルフェニル）ビイミダゾール、２，２’−ビス
（２−メチルフェニル）−４，４’，５，５’−テトラ
キス（４−フェノキシカルボニルフェニル）ビイミダゾ
ール、２，２’−ビス（２−エチルフェニル）−４，
４’，５，５’−テトラキス（４−メトキシカルボニル
フェニル）ビイミダゾール、２，２’−ビス（２−エチ
ルフェニル）−４，４’，５，５’−テトラキス（４−
エトキシカルボニルフェニル）ビイミダゾール、２，
２’−ビス（２−エチルフェニル）−４，４’，５，
５’−テトラキス（４−フェノキシカルボニルフェニ
ル）ビイミダゾール、２，２’−ビス（２−フェニルフ
ェニル）−４，４’，５，５’−テトラキス（４−メト
キシカルボニルフェニル）ビイミダゾール、２，２’−
ビス（２−フェニルフェニル）−４，４’，５，５’−
テトラキス（４−エトキシカルボニルフェニル）ビイミ
ダゾール、２，２’−ビス（２−フェニルフェニル）−
４，４’，５，５’−テトラキス（４−フェノキシカル
ボニルフェニル）ビイミダゾール、

【００１７】２，２’−ビス（２，４−ジクロロフェニ
ル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾ
ール、２，２’−ビス（２，４，６−トリクロロフェニ
ル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾ
ール、２，２’−ビス（２，４−ジブロモフェニル）−
４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、
２，２’−ビス（２，４，６−トリブロモフェニル）−
４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、
２，２’−ビス（２，４−ジシアノフェニル）−４，
４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，
２’−ビス（２，４，６−トリシアノフェニル）−４，
４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，
２’−ビス（２，４−ジメチルフェニル）−４，４’，
５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−
ビス（２，４，６−トリメチルフェニル）−４，４’，
５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−
ビス（２，４−ジエチルフェニル）−４，４’，５，
５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス
（２，４，６−トリエチルフェニル）−４，４’，５，
５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス
（２，４−ジフェニルフェニル）−４，４’，５，５’
−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス
（２，４，６−トリフェニルフェニル）−４，４’，
５，５’−テトラフェニルビイミダゾール等を挙げるこ
とができる。

【００１８】これらのビイミダゾール系化合物のうち、
特に２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，
４’，５，５’−テトラキス（４−エトキシカルボニル
フェニル）ビイミダゾール、２，２’−ビス（２−ブロ
モフェニル）−４，４’，５，５’−テトラキス（４−
エトキシカルボニルフェニル）ビイミダゾール、２，
２’−ビス（２，４−ジクロロフェニル）−４，４’，
５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−
ビス（２，４−ジブロモフェニル）−４，４’，５，
５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス
（２，４，６−トリクロロフェニル）−４，４’，５，
５’−テトラフェニルビイミダゾールおよび２，２’−
ビス（２，４，６−トリブロモフェニル）−４，４’，
５，５’−テトラフェニルビイミダゾールが好ましい。
前記ビイミダゾール系化合物は、溶剤に対する溶解性に
優れ、未溶解物、析出物等の異物を生じることがなく、
しかも感度が高く、少ないエネルギー量の放射線照射に
より硬化反応を十分進行させるとともに、コントラスト
が高く、放射線未照射部で硬化反応が生じることがない
ため、放射線照射後の塗膜は、現像液に対して不溶性の
硬化部分と、現像液に対して高い溶解性を有する未硬化
部分とに明確に区分され、パターンの欠落、欠損やアン
ダーカットのない優れたカラーフィルタを形成すること
ができる。

【００１９】また、前記ベンゾイン系化合物としては、
例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベン
ゾインエチルエーテル、ベンゾインｉ−プロピルエーテ
ル、ベンゾインｉ−ブチルエーテル、４，４’−ビス
（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、メチル−２−ベン
ゾイルベンゾエート等を挙げることができる。前記アセ
トフェノン系化合物としては、例えば、２，２−ジメト
キシ−２−フェニルアセトフェノン、２−ヒドロキシ−
２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、１−
（４−ｉ−プロピルフェニル）−２−ヒドロキシ−２−
メチルプロパン−１−オン、４−（２−ヒドロキシエト
キシ）フェニル−（２−ヒドロキシ−２−プロピル）ケ
トン、２，２−ジメトキシアセトフェノン、２，２−ジ
エトキシアセトフェノン、２−メチル−（４−メチルチ
オフェニル）−２−モルフォリノ−１−プロパン−１−
オン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−
モルフォリノフェニル）ブタン−１−オン、１−ヒドロ
キシシクロヘキシルフェニルケトン、４−アジドアセト
フェノン、４−アジドベンザルアセトフェノン等を挙げ
ることができる。前記ベンゾフェノン系化合物として
は、例えば、ベンゾフェノン、４，４’−ビス（ジメチ
ルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−ビス（ジエチル
アミノ）ベンゾフェノン、３，３−ジメチル−４−メト
キシベンゾフェノン等を挙げることができる。前記α−
ジケトン系化合物としては、例えば、ジアセチル、ジベ
ンゾイル、メチルベンゾイルホルメート等を挙げること
ができる。前記多核キノン系化合物としては、例えば、
アントラキノン、２−エチルアントラキノン、２−ｔ−
ブチルアントラキノン、１，４−ナフトキノン等を挙げ
ることができる。前記キサントン系化合物としては、例
えば、キサントン、チオキサントン、２，４−ジエチル
チオキサントン、２−クロロチオキサントン等を挙げる
ことができる。前記ジアゾ系化合物としては、例えば、
４−ジアゾジフェニルアミン、４−ジアゾ−４’−メト
キシジフェニルアミン、４−ジアゾ−３−メトキシジフ
ェニルアミン等を挙げることができる。前記トリアジン
系化合物としては、例えば、２−（２’−フリルエチリ
デン）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリ
アジン、２−（３’，４’−ジメトキシスチリル）−
４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、
２−（４’−メトキシナフチル）−４，６−ビス（トリ
クロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（２’−ブロモ
−４’−メチルフェニル）−４，６−ビス（トリクロロ
メチル）−ｓ−トリアジン、２−（２’−チオフェニル
エチリデン）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ
−トリアジン等を挙げることができる。さらに、前記以
外の光重合開始剤として、４−アジドベンズアルデヒ
ド、アジドピレン、ビス（２，６−ジメトキシベンゾイ
ル）−２，４，４−トリメチルペンチルフォスフィンオ
キサイド、Ｎ−フェニルチオアクリドン、トリフェニル
ピリリウムパークロレート等を使用することもできる。

【００２０】本発明において、光重合開始剤は、単独で
または２種以上を混合して使用することができる。本発
明における光重合開始剤の使用量は、（Ｃ）多官能性モ
ノマー１００重量部に対して、通常、０．０１〜２００
重量部、好ましくは１〜１２０重量部、特に好ましくは
１〜５０重量部である。この場合、光重合開始剤の使用
量が０．０１重量部未満では、放射線照射による硬化が
不十分となり、パターンに欠落、欠損やアンダーカット
を生じるおそれがあり、一方２００重量部を超えると、
形成されたパターンが現像時に基板から脱落しやすく、
またパターンが形成される部分以外の領域で地汚れ、膜
残り等を生じやすくなる。

【００２１】さらに、本発明においては、前記光重合開
始剤と共に、増感剤、硬化促進剤、高分子光架橋・増感
剤等を併用することもできる。前記増感剤としては、例
えば、４−ジエチルアミノアセトフェノン、４−ジメチ
ルアミノプロピオフェノン、エチル−４−ジメチルアミ
ノベンゾエート、２−エチルヘキシル−１，４−ジメチ
ルアミノベンゾエート、２，５−ビス（４’−ジエチル
アミノベンザル）シクロヘキサノン、７−ジエチルアミ
ノ−３−（４−ジエチルアミノベンゾイル）クマリン、
４−（ジエチルアミノ）カルコン等を挙げることができ
る。これらの増感剤は、単独でまたは２種以上を混合し
て使用することができる。前記硬化促進剤としては、例
えば、２−メルカプトベンゾイミダゾール、２−メルカ
プトベンゾチアゾール、２−メルカプトベンゾオキサゾ
ール、２，５−ジメルカプト−１，３，４−チアジアゾ
ール、２−メルカプト−４，６−ジメチルアミノピリジ
ン等の連鎖移動剤を挙げることができる。これらの硬化
促進剤は、単独でまたは２種以上を混合して使用するこ
とができる。また、前記高分子光架橋・増感剤は、放射
線の照射により架橋剤および／または増感剤として作用
しうる少なくとも１種の官能基を主鎖および／または側
鎖中に有する高分子化合物であり、その例としては、４
−アジドベンズアルデヒドとポリビニルアルコールとの
縮合物、４−アジドベンズアルデヒドとフェノールノボ
ラック樹脂との縮合物、４−アクリロイルフェニルシン
ナモイルエステルの単独重合体あるいは共重合体、１，
４−ポリブタジエン、１，２−ポリブタジエン等を挙げ
ることができる。これらの高分子光架橋・増感剤は、単
独でまたは２種以上を混合して使用することができる。
本発明における増感剤、硬化促進剤および高分子光架橋
・増感剤の合計使用量は、光重合開始剤１００重量部に
対して、通常、３００重量部以下、好ましくは５〜２０
０重量部、さらに好ましくは１０〜１００重量部であ
る。

【００２２】本発明においては、光重合開始剤として、
特にビイミダゾール系化合物とベンゾフェノン系化合物
および／またはチアゾール系硬化促進剤とを組み合わせ
て使用することが、形成された画素が現像時に基板から
脱落し難く、画素強度および感度も高い点で好ましい。
本発明において、光重合開始剤としてビイミダゾール系
化合物と他の成分とを併用する場合、他の成分の使用量
は、光重合開始剤全体の８０重量％以下であることが好
ましい。本発明における特に好ましい光重合開始剤を、
その構成成分の組み合わせとして示すと、下記のものを
挙げることができる。即ち、２，２’−ビス（２−クロ
ロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラキス（４−
エトキシカルボニルフェニル）ビイミダゾール／４，
４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２，
２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，
５’−テトラキス（４−エトキシカルボニルフェニル）
ビイミダゾール／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベ
ンゾフェノン／２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１
−（４−モルフォリノフェニル）ブタン−１−オン、
２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，
５，５’−テトラキス（４−エトキシカルボニルフェニ
ル）ビイミダゾール／４，４’−ビス（ジエチルアミ
ノ）ベンゾフェノン／１−ヒドロキシシクロヘキシルフ
ェニルケトン、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）
−４，４’，５，５’−テトラキス（４−エトキシカル
ボニルフェニル）ビイミダゾール／４，４’−ビス（ジ
メチルアミノ）ベンゾフェノン／１−ヒドロキシシクロ
ヘキシルフェニルケトン／２−メルカプトベンゾチアゾ
ール、２，２’−ビス（２，４−ジクロロフェニル）−
４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール／
４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、
２，２’−ビス（２，４−ジブロモフェニル）−４，
４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール／４，
４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン／２−ベ
ンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノ
フェニル）ブタン−１−オン、２，２’−ビス（２，４
−ジブロモフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフ
ェニルビイミダゾール／４，４’−ビス（ジエチルアミ
ノ）ベンゾフェノン／１−ヒドロキシシクロヘキシルフ
ェニルケトン、２，２’−ビス（２，４，６−トリクロ
ロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビ
イミダゾール／４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベン
ゾフェノン／１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケ
トン／２−メルカプトベンゾチアゾール。（Ｅ）エチレン性不飽和結合を有するシランカップリン
グ剤 エチレン性不飽和結合を有するシランカップリング剤と
しては、ビニルトリクロロシラン、ビニルトリメトキシ
シラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス（２
ーメトキシエトキシ）シラン等のビニル基含有シランカ
ップリング剤、３ーメタクリロキシプロピルトリメトキ
シシラン、３ーメタクリロキシプロピルトリエトキシシ
ラン等の（メタ）アクリロイルオキシ基含有シランカッ
プリング剤が挙げられ、成膜後の耐剥離性の面から（メ
タ）アクリロイルオキシ基含有シランカップリングが好
ましい。本発明におけるエチレン性不飽和結合を有する
シランカップリング剤の使用量は、多官能性モノマー１
００重量部に対して、通常、０．１〜５０重量部、好ま
しくは１〜１０重量部である。

【００２３】他の添加剤 本発明のカラーフィルタ用感放射線性組成物には、溶剤
を配合することができる。前記溶剤としては、前記
（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）および（Ｄ）成分や、所望によ
り配合される他の添加剤成分を溶解または分散し、かつ
これらの成分と反応せず、適度の揮発性を有するもので
ある限り、適宜に選択して使用することができる。この
ような溶剤としては、例えば、エチレングリコールモノ
メチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテ
ル等のグリコールエーテル類；エチレングリコールモノ
メチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエ
チルエーテルアセテート等のエチレングリコールモノア
ルキルエーテルアセテート類；ジエチレングリコールモ
ノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエ
ーテル、ジエチレングリコールモノｎ−プロピルエーテ
ル、ジエチレングリコールモノｎ−ブチルエーテル等の
ジエチレングリコールモノアルキルエーテル類；プロピ
レングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピ
レングリコールモノエチルエーテルアセテート等のプロ
ピレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類；
ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレング
リコールジエチルエーテル、テトラヒドロフラン等の他
のエーテル類；メチルエチルケトン、シクロヘキサノ
ン、２−ヘプタノン、３−ヘプタノン等のケトン類；２
−ヒドロキシプロピオン酸メチル、２−ヒドロキシプロ
ピオン酸エチル等の乳酸アルキルエステル類；２−ヒド
ロキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、３−メトキシ
プロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチ
ル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプ
ロピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢
酸エチル、２−ヒドロキシ−３−メチルブタン酸メチ
ル、３−メチル−３−メトキシブチルアセテート、３−
メチル−３−メトキシブチルプロピオネート、酢酸エチ
ル、酢酸ブチル、ぎ酸ｎ−アミル、酢酸ｉ−アミル、酢
酸ｉ−ブチル、プロピオン酸ｎ−ブチル、酪酸ｉ−プロ
ピル、酪酸エチル、酪酸ｎ−ブチル、ピルビン酸メチ
ル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸ｎ−プロピル、アセ
ト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、２−オキソブタン酸
エチル等の他のエステル類；トルエン、キシレン等の芳
香族炭化水素類を挙げることができる。これらの溶剤
は、単独でまたは２種以上を混合して使用することがで
きる。さらに、前記溶剤とともに、ベンジルエチルエー
テル、ジヘキシルエーテル、アセトニルアセトン、イソ
ホロン、カプロン酸、カプリル酸、１−オクタノール、
１−ノナノール、ベンジルアルコール、酢酸ベンジル、
安息香酸エチル、しゅう酸ジエチル、マレイン酸ジエチ
ル、γ−ブチロラクトン、炭酸エチレン、炭酸プロピレ
ン、フェニルセロソルブアセテート等の高沸点溶剤を併
用することもできる。これらの高沸点溶剤は、単独でま
たは２種以上を混合して使用することができる。前記溶
剤のうち、溶解性、顔料分散性、塗布性等の観点から、
エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プ
ロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プ
ロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジ
エチレングリコールジメチルエーテル、シクロヘキサノ
ン、２−ヘプタノン、３−ヘプタノン、２−ヒドロキシ
プロピオン酸エチル、３−メチル−３−メトキシブチル
プロピオネート、３−メトキシプロピオン酸エチル、３
−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオ
ン酸エチル、酢酸ｎ−ブチル、ぎ酸ｎ−アミル、酢酸ｉ
−アミル、酢酸ｉ−ブチル、プロピオン酸ｎ−ブチル、
酪酸ｉ−プロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、ピルビン
酸エチル等が好ましく、また高沸点溶剤としてはγ−ブ
チロラクトン等が好ましい。本発明における溶剤の使用
量は、（Ｂ）バインダーポリマー１００重量部に対し
て、通常、１００〜１００００重量部、好ましくは５０
０〜５０００重量部である。

【００２４】さらに、本発明のカラーフィルタ用感放射
線性組成物は、必要に応じて溶剤以外の種々の添加剤を
含有することもできる。このような添加剤としては、例
えば、硫酸バリウム、炭酸カルシウム等の体質顔料；銅
フタロシアニン誘導体等の青色顔料誘導体や黄色顔料誘
導体等の分散助剤；ガラス、アルミナ等の充填剤；ポリ
ビニルアルコール、ポリエチレングリコールモノアルキ
ルエーテル、ポリ（フロロアルキルアクリレート）等の
高分子化合物；ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面
活性剤、アニオン系界面活性剤等の界面活性剤；ビニル
トリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニ
ルトリス（２−メトキシエトキシ）シラン、Ｎ−（２−
アミノエチル）−３−アミノプロピルメチルジメトキシ
シラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピ
ルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリエトキ
シシラン、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラ
ン、３−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラ
ン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルト
リメトキシシラン、３−クロロプロピルメチルジメトキ
シシラン、３−クロロプロピルトリメトキシシラン、３
−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、３−メ
ルカプトプロピルトリメトキシシラン等の密着促進剤；
２，２−チオビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノ
ール）、２，６−ジ−ｔ−ブチルフェノール等の酸化防
止剤；２−（３−ｔ−ブチル−５−メチル−２−ヒドロ
キシフェニル）−５−クロロベンゾトリアゾール、アル
コキシベンゾフェノン等の紫外線吸収剤；ポリアクリル
酸ナトリウム等の凝集防止剤等を挙げることができる。

【００２５】カラーフィルタの形成方法 次に、本発明のカラーフィルタ用感放射線性組成物を用
いて、カラーフィルタを形成する方法について説明す
る。まず、透明基板の表面上の画素パターンを形成する
部分を区画するように遮光層を形成し、この基板上に、
例えば（Ａ）着色剤が分散された組成物を塗布したの
ち、プリベークを行って溶剤を蒸発させ、塗膜を形成す
る。次いで、この塗膜にフォトマスクを介して放射線を
照射したのち、アルカリ現像液で現像処理を行い、塗膜
の放射線未照射部を溶解除去することによって、着色さ
れた画素が所定のパターンで配置された画素アレイを形
成する。その後、必要に応じて、他の色（例えば、赤、
緑または青）の着色剤が分散された各組成物を用い、上
記と同様にして、各組成物の塗布、プリベーク、放射線
照射および現像処理を行い、各色の画素アレイを同一基
板上に順次形成することにより、カラーフィルタを得
る。カラーフィルタを形成する際に使用される透明基板
としては、例えば、ガラス、シリコン、ポリカーボネー
ト、ポリエステル、芳香族ポリアミド、ポリアミドイミ
ド、ポリイミド等を挙げることができる。これらの透明
基板には、所望により、シランカップリング剤等による
薬品処理、プラズマ処理、イオンプレーティング、スパ
ッタリング、気相反応法、真空蒸着等の適宜の前処理を
施しておくこともできる。本発明のカラーフィルタ用感
放射線性組成物を透明基板に塗布する際には、回転塗
布、流延塗布、ロール塗布等の適宜の塗布法を採用する
ことができる。塗布厚さは、乾燥後の膜厚として、通
常、０．１〜１０μｍ、好ましくは０．２〜１．５μｍ
である。カラーフィルタを形成する際に使用される放射
線としては、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、Ｘ
線等を使用することができるが、波長が１９０〜４５０
ｎｍの範囲にある放射線が好ましい。放射線の照射エネ
ルギー量は、好ましくは１〜１０００ｍＪ／ｃｍ² であ
る。また、前記アルカリ現像液としては、例えば、炭酸
ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、水酸化ナトリウム、
水酸化カリウム、テトラメチルアンモニウムハイドロオ
キサイド、コリン、１，８−ジアザビシクロ−［５．
４．０］−７−ウンデセン、１，５−ジアザビシクロ−
［４．３．０］−５−ノネン等の水溶液が好ましい。前
記アルカリ現像液には、例えば、メタノール、エタノー
ル等の水溶性有機溶剤や界面活性剤等を適量添加するこ
ともできる。なお、アルカリ現像後は、通常、水洗す
る。アルカリ現像法としては、シャワー現像法、スプレ
ー現像法、ディップ（浸漬）現像法、パドル（液盛り）
現像法等を適用することができ、現像条件は、常温で５
〜３００秒が好ましい。このようにして形成されたカラ
ーフィルタは、特にカラー撮像管素子に好適に使用され
るほか、カラー液晶表示装置、カラーセンサー等にも有
用である。

【００２６】

【発明の実施の形態】以下、実施例を挙げて、本発明の
実施の形態をさらに具体的に説明する。但し、本発明
は、これらの実施例に何ら制約されるものではない。 比較例１ （Ａ）成分としてC.I.ピグメントイエロー８３とC.I.ピ
グメントグリーン３６との１７／８３（重量比）混合物
８０重量部、（Ｂ）成分としてメタクリル酸／ベンジル
メタクリレート／ポリスチレンマクロモノマー共重合体
（共重合重量比＝２５／６５／１０、重量平均分子量＝
５５，０００）５０重量部、（Ｃ）成分としてジペンタ
エリスリトールペンタアクリレート４０重量部、（Ｄ）
成分として２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−
４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール１
０重量部と４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフ
ェノン１０重量部、および溶剤としてエチレングリコー
ルモノエチルエーテルアセテート８００重量部を混合し
て組成物を調製した。次いで、表面にナトリウムイオン
の溶出を防止するシリカ(SiO₂)膜が形成されたソーダガ
ラス製透明基板の表面上に、画素パターンを形成する部
分を区画するように遮光層を設けたのち、スピンコータ
ーを用いて前記感放射線性組成物を塗布し、９０℃で２
分間プリベークを行なって、膜厚２．０μｍの塗膜を形
成した。その後、基板を冷却したのち、高圧水銀ランプ
を用い、フォトマスクを介して、塗膜に波長３６５ｎ
ｍ、４０５ｎｍおよび４３６ｎｍの光を含む１００ｍＪ
／ｃｍ² の紫外線を照射した。次いで、基板を２５℃の
０．１重量％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水
溶液中に１分間浸漬して現像処理を行い、超純水で洗浄
し、風乾したのち、さらに１８０℃で３０分間ポストベ
ークを行なって、各辺２０μｍ×２０μｍの大きさの緑
色の画素パターンが形成された画素アレイを作製した。
このとき、得られた画素アレイを光学顕微鏡で観察した
ところ、パターンの欠け、剥がれが認められた。

【００２７】

【実施例】

実施例１ （Ａ）成分としてC.I.ピグメントイエロー８３とC.I.ピ
グメントグリーン３６との１７／８３（重量比）混合物
８０重量部、（Ｂ）成分としてメタクリル酸／ベンジル
メタクリレート／ポリスチレンマクロモノマー共重合体
（共重合重量比＝２５／６５／１０、重量平均分子量＝
５５，０００）５０重量部、（Ｃ）成分としてジペンタ
エリスリトールペンタアクリレート４０重量部、（Ｄ）
成分として２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−
４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール１
０重量部と４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフ
ェノン１０重量部、（Ｅ）成分としてγーメタクリロキ
シプロピルトリメトキシシラン５重量部、および溶剤と
してエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート
８００重量部を混合して組成物を調製した。次いで、こ
の組成物を用い、比較例１と同様に処理して、緑色の画
素パターンが形成された画素アレイを作製した。得られ
た画素アレイを光学顕微鏡で観察したところ、パターン
の欠け及び剥がれは認められず、現像性に優れており、
またパターン形状も良好であった。

【００２８】

【発明の効果】本発明の組成物は、現像時のパターンの
欠け及び剥がれがなく、成膜後の機械的強度の良好なた
め、カラーフィルタに有効に用いることが出来る。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 （Ａ）着色剤、（Ｂ）アルカリ可溶性樹
   脂、（Ｃ）多官能性モノマー、（Ｄ）光重合開始剤およ
   び（Ｅ）エチレン性不飽和結合を有するシランカップリ
   ング剤を含有することを特徴とするカラーフィルタ用感
   放射線性組成物。