JP4805018B2 - 光重合性組成物、カラーフィルタ、及びその製造方法 - Google Patents

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本発明は、液晶表示素子(LCD)や固体撮像素子(CCD、CMOSなど)等に用いられるカラーフィルタを作製するのに好適な光重合性組成物、カラーフィルタ、及びその製造方法に関する。
カラーフィルタは液晶ディスプレイに不可欠な構成部品である。
液晶ディスプレイは、表示装置としてCRTと比較すると、コンパクトであり、且つ、性能面では同等以上であることから、テレビ画面、パソコン画面、その他の表示装置としてCRTに置き換わりつつある。また、近年では、液晶ディスプレイの開発の動向は、画面が比較的小面積であった従来のモニター用途から、画面が大型で高度な画質が求められるTV用途に向かいつつある。
画面の大型化や基板サイズの大型化に伴い、カラーフィルタを作製する際における、基板への光重合性組成物の塗布は、従来のスピン塗布から省液性や製造効率等に優れるスリット塗布(ダイコート方式)に技術の主体が移っている。
スリット塗布においては、塗布膜の均一性等の観点から、液物性としてスピン塗布以上の流動性が求められる。スリット塗布適性を高めるために、分子側鎖にエチレンオキサイド鎖などアルキレンオキサイド鎖を有したアルカリ可溶性樹脂を使用することが有効であることが知られている(例えば、特許文献1参照。)。
また、スリット塗布の問題点として、塗布液を吐出する塗布ヘッド先端での液の乾燥がある。すなわち、塗布ヘッド先端のスリット開口部で塗布液が外気に曝されるので、塗布液の乾燥、固化がおこって、スリットノズルの詰まりによるスリット塗布ムラを生じたり、基板上に塗布された塗布膜中に固化物が異物として持ち込まれ、品質欠陥の原因になったりした。この問題点を解消するために、沸点の相違する溶剤種を併用する技術が知られている(例えば、特許文献2参照。)。
また、ダイコート(スリット塗布)適性を塗布液に付与するために、溶剤の沸点などを制御する技術も知られている(例えば、特許文献3参照。)。
TV用途の液晶ディスプレイでは、従来のモニター用途のものに比し、より高度な画質が求められている。すなわち、コントラスト及び色純度の向上である。コントラスト向上のため、カラーフィルタの作製に用いられる光重合性組成物に関しては、使用する着色剤(有機顔料等)の粒子サイズとして、より微小なものが求められている。また、色純度向上のため、光重合性組成物の固形分中に占める着色剤(有機顔料)の含有率としては、より高いものが求められている。
一方、固体撮像素子用のカラーフィルタにおいては、更なる高精細化が望まれている。しかし、従来の顔料分散系を適用した光重合性組成物では、顔料が比較的粗大な粒子であるために色ムラが発生する等の問題があり、解像度の更なる向上を図ることは困難で、固体撮像素子のように微細パターンが要求される用途には適さなかった。そこで、着色剤として顔料の代わりに有機溶剤可溶性の染料を用いる技術が提案されている(例えば、特許文献4参照)。
また、固体撮像素子用途のカラーフィルタについては、着色パターンの薄膜化が求められており、従来と同じ色濃度で薄膜化するためには、カラーフィルタの作製に用いられる光重合性組成物中における着色剤の含有率を高くすることが要求される。
以上のように、液晶ディスプレイ用、固体撮像素子用いずれの場合においても、カラーフィルターの作製に用いられる光重合性組成物は着色剤を含有するため、該光重合性組成物を硬化させるために必要な成分である光重合開始剤および光重合性モノマーの含有量が制限されてしまい、充分な感度が得られないという問題があった。さらに、光重合性組成物により形成される着色パターンについて、薄膜化や含有される着色剤の高濃度化が求められる場合には、感度低下がより顕著になるという問題があった。
特開2003−241368号公報 特開2004−346218号公報 特開2004−354601号公報 特開2005−99488号公報
本発明は、前記従来における問題点に鑑み成されたものであり、以下の目的を達成することを課題とする。
即ち、本発明の目的は、着色剤を高濃度に含有する場合であっても硬化に充分な感度を有し、且つ、パターン形成に用いた際に現像時間のずれによるパターン幅の変動が小さい光重合性組成物を提供することにある。
さらに、本発明の他の目的は、本発明の光重合性組成物を用いてなる解像力に優れたカラーフィルタ、及び、該カラーフィルタを高い生産性で製造しうる製造方法を提供することにある。
本発明者は、鋭意研究を行った結果、特定の光重合開始剤を用いることにより、前記課題を解決しうることを見出し本発明を完成するに至った。即ち、前記課題を解決するための手段は、以下の通りである。
<1> (A)ラジカル重合性モノマーと、(B)1分子中に少なくとも1つのラジカル重合性基を有する光重合開始剤と、(C)顔料である着色剤と、(D)分散剤と、を含有し、前記(C)顔料である着色剤及び前記(D)分散剤の含有量の総和が、光重合性組成物を構成する全固形分に対して40質量%以上90質量%以下であることを特徴とする光重合性組成物。
<2>前記(B)1分子中に少なくとも1つのラジカル重合性基を有する光重合開始剤が、波長300〜500nmの領域に吸収を有することを特徴とする前記<1>に記載の光重合性組成物。
> 前記(C)着色剤及び前記(D)分散剤の含有量の総和が、光重合性組成物を構成する全固形分に対して、50質量%以上85質量%以下であることを特徴とする前記<1>又は<2>に記載の光重合性組成物。
>前記(C)着色剤及び前記(D)分散剤の含有量の総和が、光重合性組成物を構成する全固形分に対して、60質量%以上80質量%以下であることを特徴とする前記<1>又は<2>に記載の光重合性組成物。
> さらに、(E)増感剤を含有することを特徴とする、前記<1>から<>のいずれか1項に記載の光重合性組成物。
> 前記(B)1分子中に少なくとも1つのラジカル重合性基を有する光重合開始剤と、前記(A)ラジカル重合性モノマーとの質量比〔(B)/(A)〕が、0.3以上0.8以下であることを特徴とする前記<1>から<>のいずれか1項に記載の光重合性組成物。
> 前記(B)1分子中に少なくとも1つのラジカル重合性基を有する光重合開始剤が、s−トリアジン化合物、ヘキサアリールビイミダゾール化合物、オキシムエステル化合物、ヨードニウム塩化合物、又は、スルホニウム塩化合物に由来する骨格を有することを特徴とする前記<1>から<>いずれか1項に記載の光重合性組成物。
> 支持体上に、前記<1>から<>のいずれか1項に記載の光重合性組成物を用いてなる着色パターンを有することを特徴とするカラーフィルタ。
> 支持体上に、前記<1>から<>いずれか1項に記載の光重合性組成物を塗布して光重合性組成物層を形成する工程と、前記光重合性組成物層をマスクを介して露光する工程と、露光後の前記光重合性組成物層を現像して着色パターンを形成する工程と、を含むことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
本発明によれば、着色剤を高濃度に含有する場合であっても、硬化に充分な感度を有し、且つ、パターン形成に用いた際に現像時間のずれによるパターン幅の変動が小さい光重合性組成物を提供することができる。
さらに、本発明によれば、本発明の光重合性組成物を用いてなる解像力に優れたカラーフィルタ、及び、該カラーフィルタを高い生産性で製造しうる製造方法を提供することができる。
以下、本発明の光重合性組成物、該光重合性組成物を用いてなるカラーフィルタ及びその製造方法について詳細に説明する。
[光重合性組成物]
本発明の光重合性組成物は、(A)ラジカル重合性モノマーと、(B)1分子中に少なくとも1つのラジカル重合性基を有する光重合開始剤と、(C)顔料である着色剤と、(D)分散剤と、を含有し、前記(C)顔料である着色剤及び前記(D)分散剤の含有量の総和が、光重合性組成物を構成する全固形分に対して40質量%以上90質量%以下であることを特徴とする。
先ず、本発明の光重合性組成物の必須成分である、上記(A)乃至(C)成分について説明する。
<(A)ラジカル重合性モノマー>
本発明に用いることができるラジカル重合性モノマーは、少なくとも一個のエチレン性不飽和二重結合を有する付加重合性化合物であり、末端エチレン性不飽和結合を少なくとも1個、好ましくは2個以上有する化合物から選ばれる。このような化合物群は当該産業分野において広く知られるものであり、本発明においてはこれらを特に限定無く用いることができる。これらは、例えばモノマー、プレポリマー、すなわち2量体、3量体及びオリゴマー、又はそれらの混合物ならびにそれらの共重合体などの化学的形態をもつ。モノマー及びその共重合体の例としては、不飽和カルボン酸(例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、イソクロトン酸、マレイン酸など)や、そのエステル類、アミド類が挙げられ、好ましくは、不飽和カルボン酸と脂肪族多価アルコール化合物とのエステル、不飽和カルボン酸と脂肪族多価アミン化合物とのアミド類が用いられる。また、ヒドロキシル基やアミノ基、メルカプト基等の求核性置換基を有する不飽和カルボン酸エステル或いはアミド類と単官能若しくは多官能イソシアネート類或いはエポキシ類との付加反応物、及び単官能若しくは、多官能のカルボン酸との脱水縮合反応物等も好適に使用される。また、イソシアネート基や、エポキシ基等の親電子性置換基を有する不飽和カルボン酸エステル或いはアミド類と単官能若しくは多官能のアルコール類、アミン類、チオール類との付加反応物、更にハロゲン基や、トシルオキシ基等の脱離性置換基を有する不飽和カルボン酸エステル或いはアミド類と単官能若しくは多官能のアルコール類、アミン類、チオール類との置換反応物も好適である。また、別の例として、上記の不飽和カルボン酸の代わりに、不飽和ホスホン酸、スチレン、ビニルエーテル等に置き換えた化合物群を使用することも可能である。
脂肪族多価アルコール化合物と不飽和カルボン酸とのエステルのモノマーの具体例としては、アクリル酸エステルとして、エチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、1,3−ブタンジオールジアクリレート、テトラメチレングリコールジアクリレート、プロピレングリコールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリ(アクリロイルオキシプロピル)エーテル、トリメチロールエタントリアクリレート、ヘキサンジオールジアクリレート、1,4−シクロヘキサンジオールジアクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、ペンタエリスリトールジアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールジアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ソルビトールトリアクリレート、ソルビトールテトラアクリレート、ソルビトールペンタアクリレート、ソルビトールヘキサアクリレート、トリ(アクリロイルオキシエチル)イソシアヌレート、ポリエステルアクリレートオリゴマー、イソシアヌール酸EO変性トリアクリレート等がある。
メタクリル酸エステルとしては、テトラメチレングリコールジメタクリレート、トリエチレングリコールジメタクリレート、ネオペンチルグリコールジメタクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、トリメチロールエタントリメタクリレート、エチレングリコールジメタクリレート、1,3−ブタンジオールジメタクリレート、ヘキサンジオールジメタクリレート、ペンタエリスリトールジメタクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールジメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート、ソルビトールトリメタクリレート、ソルビトールテトラメタクリレート、ビス〔p−(3−メタクリルオキシ−2−ヒドロキシプロポキシ)フェニル〕ジメチルメタン、ビス−〔p−(メタクリルオキシエトキシ)フェニル〕ジメチルメタン等がある。
イタコン酸エステルとしては、エチレングリコールジイタコネート、プロピレングリコールジイタコネート、1,3−ブタンジオールジイタコネート、1,4−ブタンジオールジイタコネート、テトラメチレングリコールジイタコネート、ペンタエリスリトールジイタコネート、ソルビトールテトライタコネート等がある。クロトン酸エステルとしては、エチレングリコールジクロトネート、テトラメチレングリコールジクロトネート、ペンタエリスリトールジクロトネート、ソルビトールテトラジクロトネート等がある。イソクロトン酸エステルとしては、エチレングリコールジイソクロトネート、ペンタエリスリトールジイソクロトネート、ソルビトールテトライソクロトネート等がある。マレイン酸エステルとしては、エチレングリコールジマレート、トリエチレングリコールジマレート、ペンタエリスリトールジマレート、ソルビトールテトラマレート等がある。
その他のエステルの例として、例えば、特公昭51−47334、特開昭57−196231記載の脂肪族アルコール系エステル類や、特開昭59−5240、特開昭59−5241、特開平2−226149記載の芳香族系骨格を有するもの、特開平1−165613記載のアミノ基を含有するもの等も好適に用いられる。更に、前述のエステルモノマーは混合物としても使用することができる。
また、脂肪族多価アミン化合物と不飽和カルボン酸とのアミドのモノマーの具体例としては、メチレンビス−アクリルアミド、メチレンビス−メタクリルアミド、1,6−ヘキサメチレンビス−アクリルアミド、1,6−ヘキサメチレンビス−メタクリルアミド、ジエチレントリアミントリスアクリルアミド、キシリレンビスアクリルアミド、キシリレンビスメタクリルアミド等がある。その他の好ましいアミド系モノマーの例としては、特公昭54−21726記載のシクロへキシレン構造を有すものを挙げることができる。
また、イソシアネートと水酸基の付加反応を用いて製造されるウレタン系付加重合性化合物も好適であり、そのような具体例としては、例えば、特公昭48−41708号公報中に記載されている1分子に2個以上のイソシアネート基を有するポリイソシアネート化合物に、下記一般式(A)で示される水酸基を含有するビニルモノマーを付加させた1分子中に2個以上の重合性ビニル基を含有するビニルウレタン化合物等が挙げられる。
CH2=C(R4)COOCH2CH(R5)OH (A)
(ただし、R4及びR5は、H又はCH3を示す。)
また、特開昭51−37193号、特公平2−32293号、特公平2−16765号に記載されているようなウレタンアクリレート類や、特公昭58−49860号、特公昭56−17654号、特公昭62−39417号、特公昭62−39418号記載のエチレンオキサイド系骨格を有するウレタン化合物類も好適である。更に、特開昭63−277653号、特開昭63−260909号、特開平1−105238号に記載される、分子内にアミノ構造やスルフィド構造を有する付加重合性化合物類を用いることによっては、非常に感光スピードに優れた光重合性組成物を得ることができる。
その他の例としては、特開昭48−64183号、特公昭49−43191号、特公昭52−30490号、各公報に記載されているようなポリエステルアクリレート類、エポキシ樹脂と(メタ)アクリル酸を反応させたエポキシアクリレート類等の多官能のアクリレートやメタクリレートを挙げることができる。また、特公昭46−43946号、特公平1−40337号、特公平1−40336号記載の特定の不飽和化合物や、特開平2−25493号記載のビニルホスホン酸系化合物等も挙げることができる。また、ある場合には、特開昭61−22048号記載のペルフルオロアルキル基を含有する構造が好適に使用される。更に日本接着協会誌vol.20、No.7、300〜308ページ(1984年)に光硬化性モノマー及びオリゴマーとして紹介されているものも使用することができる。
これらのラジカル重合性モノマーとして用いられる付加重合性化合物について、その構造、単独使用か併用か、添加量等の使用方法の詳細は、光重合性組成物の最終的な性能設計にあわせて任意に設定できる。例えば、次のような観点から選択される。
感度の点では1分子あたりの不飽和基含量が多い構造が好ましく、多くの場合、2官能以上が好ましい。また、硬化膜の強度を高くするためには、3官能以上のものがよく、更に、異なる官能数・異なる重合性基(例えばアクリル酸エステル、メタクリル酸エステル、スチレン系化合物、ビニルエーテル系化合物)のものを併用することで、感度と強度の両方を調節する方法も有効である。
また、光重合性組成物に含有される他の成分(例えば、開始剤、着色剤(顔料、染料)等、バインダーポリマー等)との相溶性、分散性に対しても、付加重合化合物の選択・使用法は重要な要因であり、例えば、低純度化合物の使用や、2種以上の併用により相溶性を向上させうることがある。また、基板等との密着性を向上させる目的で特定の構造を選択することもあり得る。
本発明の光重合性組成物におけるラジカル重合性モノマーの含有量としては、露光部における硬化性、現像性の観点から、組成物中の不揮発性成分の総質量に対して、好ましくは5〜70質量%、更に好ましくは10〜60質量%の範囲である。
また、ラジカル重合性モノマーは単独で用いても2種以上併用してもよい。そのほか、ラジカル重合性モノマーは、酸素に対する重合阻害の大小、解像度、かぶり性、屈折率変化、表面粘着性等の観点から適切な構造、配合、添加量を任意に選択できる。
<(B)1分子中に少なくとも1つのラジカル重合性基を有する光重合開始剤>
本発明の光重合性組成物は、(B)1分子中に少なくとも1つのラジカル重合性基を有する光重合開始剤(以下、適宜「特定光重合開始剤」)を含有する。
本発明における特定光重合開始剤は、光により分解し、ラジカル重合性基を有する化合物の重合を開始、促進する化合物であり、1分子中に少なくとも1つのラジカル重合性基を含有することが特徴である。特定光重合開始剤としては、波長300〜500nmの領域に吸収を有するものであることが好ましい。また、特定光重合開始剤は、単独で、又は2種以上を併用して用いることができる。
特定光重合開始剤が分子中にラジカル重合性基を有することにより、本発明の光重合性組成物が着色剤等の成分を高濃度に含有した場合であっても、当該組成物を露光した際に充分な感度を発揮し、露光面のみならず深部まで充分に硬化した堅牢な硬化膜を形成することができるものと考えられる。
ここで、「ラジカル重合性基」とは、特定光重合開始剤におけるエチレン性不飽和二重結合を含む基を指し、末端エチレン性不飽和結合を含む基であることが好ましい。該末端エチレン性不飽和結合を含む基としては、不飽和カルボン酸やそのエステル、アミド、不飽和ホスホン酸、スチレンなどのビニル基置換芳香環を含む基であることが好ましい。
本発明における特定光重合開始剤1分子中に存在するラジカル重合性基の数は、好ましくは1〜10であり、より好ましくは1〜7であり、更に好ましくは1〜4である。特定光重合開始剤1分子中のラジカル重合性基の数が10を超えると、特定光重合開始剤の分子量が大きくなり、組成物中における光開始種濃度が低下することにより、感度が低下する場合がある。
本発明における特定光重合開始剤は、従来公知の光重合開始剤に由来する骨格(以下、「開始剤母核」と呼ぶ場合がある)にラジカル重合性基が直接又は連結基を介して共有結合した構造を有する。また、特定光重合開始剤は、イオン対構造を有し、該イオン対構造中にラジカル重合性基を含むものであってもよい。
特定光重合開始剤におけるラジカル重合性基が連結基を介して開始剤母核に共有結合する場合、該連結基としては、炭素原子の他、窒素原子、酸素原子、硫黄原子などのヘテロ原子から選択される1種又は2種以上の原子から構成される連結基が挙げられる。具体的な連結基としては、アルキレン連結基、カルボニル連結基、エステル連結基、アミド連結基、ウレア連結基、アミノ連結基、エーテル連結基、チオエーテル連結基、スルフィニル連結基、スルホニル連結基が挙げられ、これらの連結基が複数組み合わされて一つの連結基を形成していてもよい。また、これら連結基は環状構造になっていてもよい。
また、特定光重合開始剤がイオン対構造を有する場合、該イオン対構造としては、アンモニウム構造、ホスホニウム構造、及びスルホニウム構造などが挙げられ、これらの中でもアンモニウム構造が好ましい。
特定光重合開始剤における開始剤母核について説明する。
開始剤母核としては、例えば、有機ハロゲン化化合物、オキシジアゾール化合物、カルボニル化合物、ケタール化合物、ベンゾイン化合物、アクリジン化合物、有機過酸化化合物、アゾ化合物、クマリン化合物、アジド化合物、メタロセン化合物、ヘキサアリールビイミダゾール化合物、有機ホウ酸化合物、ジスルホン酸化合物、オキシムエステル化合物、オニウム塩化合物、アシルホスフィン(オキシド)化合物が挙げられる。
有機ハロゲン化化合物としては、具体的には、若林等、「Bull Chem.Soc Japan」42、2924(1969)、米国特許第3,905,815号明細書、特公昭46−4605号、特開昭48−36281号、特開昭55−32070号、特開昭60−239736号、特開昭61−169835号、特開昭61−169837号、特開昭62−58241号、特開昭62−212401号、特開昭63−70243号、特開昭63−298339号、M.P.Hutt“Jurnal of Heterocyclic Chemistry”1(No3),(1970)」筆に記載の化合物が挙げられ、特に、トリハロメチル基が置換したオキサゾール化合物、s−トリアジン化合物が挙げられる。
s−トリアジン化合物として、より好適には、すくなくとも一つのモノ、ジ、又はトリハロゲン置換メチル基がs−トリアジン環に結合したs−トリアジン誘導体、具体的には、例えば、2,4,6−トリス(モノクロロメチル)−s−トリアジン、2,4,6−トリス(ジクロロメチル)−s−トリアジン、2,4,6−トリス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−メチル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2―n−プロピル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(α,α,β−トリクロロエチル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−フェニル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(3,4−エポキシフェニル)−4、6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−クロロフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−〔1−(p−メトキシフェニル)−2,4−ブタジエニル〕−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−スチリル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−メトキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−i−プロピルオキシスチリル)−4、6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−トリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−ナトキシナフチル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−フェニルチオ−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−ベンジルチオ−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2,4,6−トリス(ジブロモメチル)−s−トリアジン、2,4,6−トリス(トリブロモメチル)−s−トリアジン、2−メチル−4,6−ビス(トリブロモメチル)−s−トリアジン、2−メトキシ−4,6−ビス(トリブロモメチル)−s−トリアジン等が挙げられる。
オキシジアゾール化合物としては、2−トリクロロメチル−5−スチリル−1,3,4−オキソジアゾール、2−トリクロロメチル−5−(シアノスチリル)−1,3,4−オキソジアゾール、2−トリクロロメチル−5−(ナフト−1−イル)−1,3,4−オキソジアゾール、2−トリクロロメチル−5−(4−スチリル)スチリル−1,3,4−オキソジアゾールなどが挙げられる。
カルボニル化合物としては、ベンゾフェノン、ミヒラーケトン、2−メチルベンゾフェノン、3−メチルベンゾフェノン、4−メチルベンゾフェノン、2−クロロベンゾフェノン、4−ブロモベンゾフェノン、2−カルボキシベンゾフェノン等のベンゾフェノン誘導体、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2,2−ジエトキシアセトフェノン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、α−ヒドトキシ−2−メチルフェニルプロパノン、1−ヒドロキシ−1−メチルエチル−(p−イソプロピルフェニル)ケトン、1−ヒドロキシ−1−(p−ドデシルフェニル)ケトン、2−メチルー(4’−(メチルチオ)フェニル)−2−モルホリノ−1−プロパノン、1,1,1−トリクロロメチル−(p−ブチルフェニル)ケトン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−4−モルホリノブチロフェノン等のアセトフェノン誘導体、チオキサントン、2−エチルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン等のチオキサントン誘導体、p−ジメチルアミノ安息香酸エチル、p−ジエチルアミノ安息香酸エチル等の安息香酸エステル誘導体等を挙げることができる。
ケタール化合物としては、ベンジルメチルケタール、ベンジル−β−メトキシエチルエチルアセタールなどを挙げることができる。
ベンゾイン化合物としてはmベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾインメチルエーテル、メチルo−ベンゾイルベンゾエートなどを挙げることができる。
アクリジン化合物としては、9−フェニルアクリジン、1,7−ビス(9−アクリジニル)ヘプタンなどを挙げることができる。
有機過酸化化合物としては、例えば、トリメチルシクロヘキサノンパーオキサイド、アセチルアセトンパーオキサイド、1,1−ビス(tert−ブチルパーオキシ)−3,3,5−トリメチルシクロヘキサン、1,1−ビス(tert−ブチルパーオキシ)シクロヘキサン、2,2−ビス(tert−ブチルパーオキシ)ブタン、tert−ブチルハイドロパーオキサイド、クメンハイドロパーオキサイド、ジイソプロピルベンゼンハイドロパーオキサイド、2,5−ジメチルヘキサン−2,5−ジハイドロパーオキサイド、1,1,3,3−テトラメチルブチルハイドロパーオキサイド、tert−ブチルクミルパーオキサイド、ジクミルパーオキサイド、2,5−ジメチル−2,5−ジ(tert−ブチルパーオキシ)ヘキサン、2,5−オキサノイルパーオキサイド、過酸化こはく酸、過酸化ベンゾイル、2,4−ジクロロベンゾイルパーオキサイド、ジイソプロピルパーオキシジカーボネート、ジ−2−エチルヘキシルパーオキシジカーボネート、ジ−2−エトキシエチルパーオキシジカーボネート、ジメトキシイソプロピルパーオキシカーボネート、ジ(3−メチル−3−メトキシブチル)パーオキシジカーボネート、tert−ブチルパーオキシアセテート、tert−ブチルパーオキシピバレート、tert−ブチルパーオキシネオデカノエート、tert−ブチルパーオキシオクタノエート、tert−ブチルパーオキシラウレート、ターシルカーボネート、3,3’,4,4’−テトラ−(t−ブチルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノン、3,3’,4,4’−テトラ−(t−ヘキシルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノン、3,3’,4,4’−テトラ−(p−イソプロピルクミルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノン、カルボニルジ(t−ブチルパーオキシ二水素二フタレート)、カルボニルジ(t−ヘキシルパーオキシ二水素二フタレート)等が挙げられる。
アゾ化合物としては、例えば、特開平8−108621号公報に記載のアゾ化合物等を挙げることができる。
クマリン化合物としては、例えば、3−メチル−5−アミノ−((s−トリアジン−2−イル)アミノ)−3−フェニルクマリン、3−クロロ−5−ジエチルアミノ−((s−トリアジン−2−イル)アミノ)−3−フェニルクマリン、3−ブチル−5−ジメチルアミノ−((s−トリアジン−2−イル)アミノ)−3−フェニルクマリン等を挙げることができる。
アジド化合物としては、米国特許第2848328号明細書、米国特許第2852379号明細書、米国特許第2940853号明細書に記載の有機アジド化合物、及び、2,6−ビス(4−アジドベンジリデン)−4−エチルシクロヘキサノン(BAC−E)等が挙げられる。
メタロセン化合物としては、特開昭59−152396号公報、特開昭61−151197号公報、特開昭63−41484号公報、特開平2−249号公報、特開平2−4705号公報、特開平5−83588号公報記載の種々のチタノセン化合物、例えば、ジ−シクロペンタジエニル−Ti−ビス−フェニル、ジ−シクロペンタジエニル−Ti−ビス−2,6−ジフルオロフェニ−1−イル、ジ−シクロペンタジエニル−Ti−ビス−2,4−ジ−フルオロフェニ−1−イル、ジ−シクロペンタジエニル−Ti−ビス−2,4,6−トリフルオロフェニ−1−イル、ジ−シクロペンタジエニル−Ti−ビス−2,3,5,6−テトラフルオロフェニ−1−イル、ジ−シクロペンタジエニル−Ti−ビス−2,3,4,5,6−ペンタフルオロフェニ−1−イル、ジ−メチルシクロペンタジエニル−Ti−ビス−2,6−ジフルオロフェニ−1−イル、ジ−メチルシクロペンタジエニル−Ti−ビス−2,4,6−トリフルオロフェニ−1−イル、ジ−メチルシクロペンタジエニル−Ti−ビス−2,3,5,6−テトラフルオロフェニ−1−イル、ジ−メチルシクロペンタジエニル−Ti−ビス−2,3,4,5,6−ペンタフルオロフェニ−1−イル、特開平1−304453号公報、特開平1−152109号公報記載の鉄−アレーン錯体等が挙げられる。
ヘキサアリールビイミダゾール化合物としては、例えば、特公平6−29285号公報、米国特許第3,479,185号、同第4,311,783号、同第4,622,286号等の各明細書に記載の種々の化合物、具体的には、2,2’−ビス(o−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(o−ブロモフェニル))4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(o,p−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(o−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(m−メトキシフェニル)ビイジダゾール、2,2’−ビス(o,o’−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(o−ニトロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(o−メチルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(o−トリフルオロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール等が挙げられる。
有機ホウ酸塩化合物としては、例えば、特開昭62−143044号、特開昭62−150242号、特開平9−188685号、特開平9−188686号、特開平9−188710号、特開2000−131837、、特開2002−107916、特許第2764769号、特願2000−310808号、等の各公報、及び、Kunz,Martin“Rad Tech’98.Proceeding April 19−22,1998,Chicago”等に記載される有機ホウ酸塩、特開平6−157623号公報、特開平6−175564号公報、特開平6−175561号公報に記載の有機ホウ素スルホニウム錯体或いは有機ホウ素オキソスルホニウム錯体、特開平6−175554号公報、特開平6−175553号公報に記載の有機ホウ素ヨードニウム錯体、特開平9−188710号公報に記載の有機ホウ素ホスホニウム錯体、特開平6−348011号公報、特開平7−128785号公報、特開平7−140589号公報、特開平7−306527号公報、特開平7−292014号公報等の有機ホウ素遷移金属配位錯体等が具体例として挙げられる。
ジスルホン化合物としては、特開昭61−166544号公報、特願2001−132318号明細書等記載される化合物等が挙げられる。
オキシムエステル化合物としては、J.C.S. Perkin II (1979 )1653−1660)、J.C.S. Perkin II (1979)156−162、Journal of Photopolymer Science and Technology(1995)202−232、特開2000−66385号公報記載の化合物、特開2000−80068号公報、特表2004−534797号公報記載の化合物等が挙げられる。
オニウム塩化合物としては、例えば、S.I.Schlesinger,Photogr.Sci.Eng.,18,387(1974)、T.S.Bal et al,Polymer,21,423(1980)に記載のジアゾニウム塩、米国特許第4,069,055号明細書、特開平4−365049号等に記載のアンモニウム塩、米国特許第4,069,055号、同4,069,056号の各明細書に記載のホスホニウム塩、欧州特許第104、143号、米国特許第339,049号、同第410,201号の各明細書、特開平2−150848号、特開平2−296514号の各公報に記載のヨードニウム塩などが挙げられる。
本発明に好適に用いることのできるヨードニウム塩は、ジアリールヨードニウム塩であり、安定性の観点から、アルキル基、アルコキシ基、アリーロキシ基等の電子供与性基で2つ以上置換されていることが好ましい。また、その他の好ましいスルホニウム塩の形態として、トリアリールスルホニウム塩のの1つの置換基がクマリン、アントアキノン構造を有し、300nm以上に吸収を有するヨードニウム塩などが好ましい。
本発明に好適に用いることのできるスルホニウム塩としては、欧州特許第370,693号、同390,214号、同233,567号、同297,443号、同297,442号、米国特許第4,933,377号、同161,811号、同410,201号、同339,049号、同4,760,013号、同4,734,444号、同2,833,827号、独国特許第2,904,626号、同3,604,580号、同3,604,581号の各明細書に記載のスルホニウム塩が挙げられ、安定性の感度点から好ましくは電子吸引性基で置換されていることが好ましい。電子吸引性基としては、ハメット値が0より大きいことが好ましい。好ましい電子吸引性基としては、ハロゲン原子、カルボン酸などが挙げられる。
また、その他の好ましいスルホニウム塩としては、トリアリールスルホニウム塩の1つの置換基がクマリン、アントアキノン構造を有し、300nm以上に吸収を有するスルホニウム塩が挙げられる。別の好ましいスルホニウム塩としては、トリアリールスルホニウム塩が、アリロキシ基、アリールチオ基を置換基に有する300nm以上に吸収を有するスルホニウム塩が挙げられる。
また、オニウム塩化合物としては、J.V.Crivello et al,Macromolecules,10(6),1307(1977)、J.V.Crivello et al,J.Polymer Sci.,Polymer Chem.Ed.,17,1047(1979)に記載のセレノニウム塩、C.S.Wen et al,Teh,Proc.Conf.Rad.Curing ASIA,p478 Tokyo,Oct(1988)に記載のアルソニウム塩等のオニウム塩等が挙げられる。
アシルホスフィン(オキシド)化合物としては、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製のイルガキュア819、ダロキュア4265、ダロキュアTPOなどが挙げられる。
特定光重合開始剤としては、特に反応性、安定性の面から、s−トリアジン化合物、オキシムエステル化合物、ヘキサアリールビイミダゾール化合物、ヨードニウム塩化合物又はスルホニウム塩化合物を、開始剤母核とするものが好ましい。ヨードニウム塩化合物又はスルホニウム塩化合物としては、300nm以上の領域に吸収を有するものが好ましく、特に350nm以上の領域に吸収を有するものが好ましい。
以下に、特定光重合開始剤の具体例を記すが、本発明における特定光重合開始剤は、これらに限定されるものではない。
Figure 0004805018
Figure 0004805018
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本発明における特定光重合開始剤は、単独で又は2種以上を併用して用いることができる。
本発明の特定光重合開始剤は、上記に挙げたような開始剤母核を用いて公知の反応、例えば、エーテル化、チオエーテル化、エステル化、アミド化、ウレタン化などの方法に準じて合成することができる。
開始剤母核へのラジカル重合性基の導入に関しては、開始剤母核を構築する前に導入しても開始剤母核を構築した後でもどちらでもよく、合成容易性の観点から選択される。
本発明の光重合性組成物には、前記(B)特定光重合開始剤以外に、本発明の効果を損ねない範囲で、さらに他の光重合開始剤を単独で又は2種以上添加してもよい。
他の光重合開始剤としては、前記の開始剤母核として挙げた化合物そのものが挙げられる。
本発明において他の光重合開始剤を用いる場合、特定光重合開始剤と他の光重合開始剤との含有比としては、質量比で、5:95〜99:1が好ましく、7:93〜95:5がより好ましく、10:90〜90:10が更に好ましい。
本発明の光重合性組成物に含有される光重合開始剤(即ち、特定光重合開始剤、及び、所望により含有される他の光重合開始剤)の総含有量は、光重合性組成物の全固形分に対し0.1〜50質量%であることが好ましく、より好ましくは0.5〜30質量%、特に好ましくは1〜20質量%である。この範囲で、良好な感度とパターン形成性が得られる。
また、本発明においては、感度、硬化膜の膜強度の観点から、(B)特定光重合開始剤と(A)ラジカル重合性モノマーとの質量比〔(B)/(A)〕が、0.3以上0.8以下であることが好ましく、0.35以上0.75以下であることがより好ましく、0.4以上0.7以下であることが更に好ましい。
<(C)着色剤>
本発明の光重合性組成物に用いることができる着色剤は、特に限定されず、従来公知の種々の染料や顔料を1種又は2種以上混合して用いることができる。本発明においては、該着色剤として、耐熱性、耐光性の観点から、顔料を必須に含有することを要する。
本発明の光重合性組成物に用いることができる顔料としては、従来公知の種々の無機顔料または有機顔料を用いることができる。また、無機顔料であれ有機顔料であれ、高透過率であることが好ましいことを考慮すると、なるべく細かいものの使用が好ましく、ハンドリング性をも考慮すると、上記顔料の平均粒子径は、0.01μm〜0.1μmが好ましく、0.01μm〜0.05μmがより好ましい。また、上記無機顔料としては、金属酸化物、金属錯塩等で示される金属化合物を挙げることができ、具体的には、鉄、コバルト、アルミニウム、カドミウム、鉛、銅、チタン、マグネシウム、クロム、亜鉛、アンチモン等の金属酸化物、および前記金属の複合酸化物を挙げることができる。
上記有機顔料としては、例えば、
C.I.ピグメント イエロー 11, 24, 31, 53, 53, 83, 93, 99, 108, 109, 110, 138, 139, 147, 150, 151, 154, 155, 167, 180, 185, 199, ;
C.I.ピグメント オレンジ36, 38, 43, 71;
C.I.ピグメント レッド81, 105, 122, 149, 150, 155, 171, 175, 176, 177,209, 220, 224, 242, 254, 255, 264, 270;
C.I.ピグメント バイオレット 19, 23, 32, 39;
C.I.ピグメント ブルー 1, 2, 15, 15:1, 15:3, 15:6, 16, 22, 60, 66;
C.I.ピグメント グリーン 7, 36, 37;
C.I.ピグメント ブラウン 25, 28;
C.I.ピグメント ブラック 1, 7;
カーボンブラック等を挙げることができる。
本発明では、特に顔料の構造式中に塩基性のN原子をもつものを好ましく用いることができる。これら塩基性のN原子をもつ顔料は本発明の組成物中で良好な分散性を示す。その原因については十分解明されていないが、感光性重合成分と顔料との親和性の良さが影響しているものと推定される。
本願発明において好ましく用いることができる顔料として、以下のものを挙げることができる。但し本発明は、これらに限定されるものではない。
C.I.ピグメント イエロー 11, 24, 108, 109, 110, 138, 139, 150, 151, 154, 167, 180, 185,
C.I.ピグメント オレンジ36, 71,
C.I.ピグメント レッド 122, 150, 171, 175, 177, 209, 224, 242, 254, 255, 264,
C.I.ピグメント バイオレット 19, 23, 32,
C.I.ピグメント ブルー 15:1, 15:3, 15:6, 16, 22, 60, 66,
C.I.ピグメント ブラック 1
これら有機顔料は、単独もしくは色純度を上げるため種々組合せて用いることができる。上記組合せの具体例を以下に示す。例えば、赤の顔料として、アントラキノン系顔料、ペリレン系顔料、ジケトピロロピロール系顔料単独またはそれらの少なくとも一種と、ジスアゾ系黄色顔料、イソインドリン系黄色顔料、キノフタロン系黄色顔料またはペリレン系赤色顔料と、の混合などを用いることができる。例えば、アントラキノン系顔料としては、C.I.ピグメントレッド177が挙げられ、ペリレン系顔料としては、C.I.ピグメントレッド155、C.I.ピグメントレッド224が挙げられ、ジケトピロロピロール系顔料としては、C.I.ピグメントレッド254が挙げられ、色再現性の点でC.I.ピグメントイエロー139との混合が好ましい。また、赤色顔料と黄色顔料との質量比は、100:5〜100:50が好ましい。特に、上記質量比としては、100:10〜100:30の範囲が最適である。尚、赤色顔料同士の組み合わせの場合は、色度に併せて調整することができる。
また、緑の顔料としては、ハロゲン化フタロシアニン系顔料を単独で、または、これとジスアゾ系黄色顔料、キノフタロン系黄色顔料、アゾメチン系黄色顔料若しくはイソインドリン系黄色顔料との混合を用いることができる。例えば、このような例としては、C.I.ピグメントグリーン7、36、37とC.I.ピグメントイエロー83、C.I.ピグメントイエロー138、C.I.ピグメントイエロー139、C.I.ピグメントイエロー150、C.I.ピグメントイエロー180またはC.I.ピグメントイエロー185との混合が好ましい。緑顔料と黄色顔料との質量比は、100:5〜100:150が好ましい。上記質量比としては100:30〜100:120の範囲が特に好ましい。
青の顔料としては、フタロシアニン系顔料を単独で、若しくはこれとジオキサジン系紫色顔料との混合を用いることができる。例えばC.I.ピグメントブルー15:6とC.I.ピグメントバイオレット23との混合が好ましい。青色顔料と紫色顔料との質量比は、100:0〜100:30が好ましく、より好ましくは100:10以下である。
また、ブラックマトリックス用の顔料としては、カーボン、チタンカーボン、酸化鉄、酸化チタン単独または混合が用いられ、カーボンとチタンカーボンとの組合せが好ましい。また、カーボンとチタンカーボンとの質量比は、100:0〜100:60の範囲が好ましい。
本発明において、着色剤が染料である場合には、組成物中に均一に溶解して光重合性組成物を得る。
本発明の光重合性組成物に含有される着色剤として使用できる染料は、特に制限はなく、従来カラーフィルター用として公知の染料が使用できる。例えば、特開昭64−90403号公報、特開昭64−91102号公報、特開平1−94301号公報、特開平6−11614号公報、特登2592207号、米国特許第4,808,501号明細書、米国特許第5,667,920号明細書、米国特許第5,059,500号明細書、特開平5−333207号公報、特開平6−35183号公報、特開平6−51115号公報、特開平6−194828号公報、特開平8−211599号公報、特開平4−249549号公報、特開平10−123316号公報、特開平11−302283号公報、特開平7−286107号公報、特開2001−4823号公報、特開平8−15522号公報、特開平8−29771号公報、特開平8−146215号公報、特開平11−343437号公報、特開平8−62416号公報、特開2002−14220号公報、特開2002−14221号公報、特開2002−14222号公報、特開2002−14223号公報、特開平8−302224号公報、特開平8−73758号公報、特開平8−179120号公報、特開平8−151531号公報等に開示されている色素が使用できる。
化学構造としては、ピラゾールアゾ系、アニリノアゾ系、トリフェニルメタン系、アントラキノン系、アンスラピリドン系、ベンジリデン系、オキソノール系、ピラゾロトリアゾールアゾ系、ピリドンアゾ系、シアニン系、フェノチアジン系、ピロロピラゾールアゾメチン系、キサテン系、フタロシアニン系、ペンゾピラン系、インジゴ系等の染料が使用できる。
また、水またはアルカリ現像を行うレジスト系の場合、現像により光未照射部のバインダーおよび/または染料を完全に除去するという観点では、酸性染料および/またはその誘導体が好適に使用できる場合がある。
その他、直接染料、塩基性染料、媒染染料、酸性媒染染料、アゾイック染料、分散染料、油溶染料、食品染料、および/または、これらの誘導体等も有用に使用することができる。
上記酸性染料は、スルホン酸やカルボン酸等の酸性基を有するものであれば特に限定されないが、有機溶剤や現像液に対する溶解性、塩基性化合物との塩形成性、吸光度、組成物中の他の成分との相互作用、耐光性、耐熱性等の必要とされる性能の全てを考慮して選択される。
以下に上記酸性染料の具体例を挙げるが、これらに限定されるものではない。例えば、
acid alizarin violet N;acid black 1,2,24,48;acid blue 1,7,9,15,18,23,25,27,29,40,45,62,70,74,80,83,86,87,90,92,103,112,113,120,129,138,147,158,171,182,192,243,324:1;acid chrome violet K;acid Fuchsin;acid green 1,3,5,9,16,25,27,50;acid orange 6,7,8,10,12,50,51,52,56,63,74,95;acid red 1,4,8,14,17,18,26,27,29,31,34,35,37,42,44,50,51,52,57,66,73,80,87,88,91,92,94,97,103,111,114,129,133,134,138,143,145,150,151,158,176,183,198,211,215,216,217,249,252,257,260,266,274;acid violet 6B,7,9,17,19;acid yellow 1,3,7,9,11,17,23,25,29,34,36,42,54,72,73,76,79,98,99,111,112,114,116,184,243;Food Yellow 3;およびこれらの染料の誘導体が挙げられる。
この中でも上記酸性染料としては、acid black 24;acid blue 23,25,29,62,80,86,87,92,138,158,182,243,324:1;acid orange 8,51,56,63,74;acid red 1,4,8,34,37,42,52,57,80,97,114,143,145,151,183,217;acid violet 7;acid yellow 17,25,29,34,42,72,76,99,111,112,114,116,184,243;acidgreen 25等の染料およびこれらの染料の誘導体が好ましい。
また、上記以外の、アゾ系、キサンテン系、フタロシアニン系の酸性染料も好ましく、C.I.Solvent Blue 44、38;C.I.Solvent orange 45;Rhodamine B、Rhodamine 110等の酸性染料およびこれらの染料の誘導体も好ましく用いられる。
着色剤の含有量としては、光重合性組成物の全固形分中、10〜80質量%であることが好ましく、15〜70質量%がより好ましく、20〜60質量%が更に好ましい。
本発明の光重合性組成物は、以上説明した(A)乃至(C)成分と共に、必要に応じて以下に詳述する任意成分を含有してもよい。以下、本発明の光重合性組成物が含有しうる任意成分について説明する。
<(D)分散剤>
本発明の光重合性組成物は、(C)着色剤として顔料を含有するものであり、該顔料の分散性を向上させる観点から、(D)分散剤を添加する。
本発明に用いうる分散剤(顔料分散剤)としては、高分子分散剤〔例えば、ポリアミドアミンとその塩、ポリカルボン酸とその塩、高分子量不飽和酸エステル、変性ポリウレタン、変性ポリエステル、変性ポリ(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル系共重合体、ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合物〕、および、ポリオキシエチレンアルキルリン酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミン、アルカノールアミン、顔料誘導体等を挙げることができる。
高分子分散剤は、その構造からさらに直鎖状高分子、末端変性型高分子、グラフト型高分子、ブロック型高分子に分類することができる。
高分子分散剤は顔料の表面に吸着し、再凝集を防止する様に作用する。そのため、顔料表面へのアンカー部位を有する末端変性型高分子、グラフト型高分子、ブロック型高分子が好ましい構造として挙げることができる。一方で、顔料誘導体は顔料表面を改質することで、高分子分散剤の吸着を促進させる効果を有する。
本発明に用いうる顔料分散剤の具体例としては、BYK Chemie社製「Disperbyk−101(ポリアミドアミン燐酸塩)、107(カルボン酸エステル)、110(酸基を含む共重合物)、130(ポリアミド)、161、162、163、164、165、166、170(高分子共重合物)」、「BYK−P104、P105(高分子量不飽和ポリカルボン酸)、EFKA社製「EFKA4047、4050、4010、4165(ポリウレタン系)、EFKA4330、4340(ブロック共重合体)、4400、4402(変性ポリアクリレート)、5010(ポリエステルアミド)、5765(高分子量ポリカルボン酸塩)、6220(脂肪酸ポリエステル)、6745(フタロシアニン誘導体)、6750(アゾ顔料誘導体)」、味の素ファンテクノ社製「アジスパーPB821、PB822」、共栄社化学社製「フローレンTG−710(ウレタンオリゴマー)」、「ポリフローNo.50E、No.300(アクリル系共重合体)」、楠本化成社製「ディスパロンKS−860、873SN、874、#2150(脂肪族多価カルボン酸)、#7004(ポリエーテルエステル)、DA−703−50、DA−705、DA−725」、花王社製「デモールRN、N(ナフタレンスルホン酸ホルマリン重縮合物)、MS、C、SN−B(芳香族スルホン酸ホルマリン重縮合物)」、「ホモゲノールL−18(高分子ポリカルボン酸)」、「エマルゲン920、930、935、985(ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル)」、「アセタミン86(ステアリルアミンアセテート)」、ルーブリゾール社製「ソルスパース5000(フタロシアニン誘導体)、22000(アゾ顔料誘導体)、13240(ポリエステルアミン)、3000、17000、27000(末端部に機能部を有する高分子)、24000、28000、32000、38500(グラフト型高分子)」、日光ケミカル者製「ニッコールT106(ポリオキシエチレンソルビタンモノオレート)、MYS−IEX(ポリオキシエチレンモノステアレート)」等が挙げられる。
これらの分散剤は、単独で使用してもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。本発明においては、特に、顔料誘導体と高分子分散剤とを組み合わせて使用することが好ましい。
本発明における分散剤の含有量としては、顔料に対して、15〜120質量%であることが好ましく、20〜90質量%がより好ましく、40〜70質量%が更に好ましい。
具体的には、高分子分散剤を用いる場合であれば、その使用量としては、顔料に対して、5〜100質量%の範囲が好ましく、10〜80質量%の範囲がより好ましい。また、顔料誘導体を使用する場合であれば、その使用量としては、顔料に対し1〜30質量%の範囲にあることが好ましく、3〜20質量%の範囲にあることがより好ましく、5〜15質量%の範囲にあることが特に好ましい。
本発明において、着色剤としての顔料と分散剤とを用いる場合、色コントラスト、塗布液の粘度、感度の観点から、着色剤及び分散剤の含有量の総和が、光重合性組成物を構成する全固形分に対して40質量%以上90質量%以下であ、50質量%以上85質量%以下であることがより好ましく、60質量%以上80質量%以下であることがさらに好ましい。
<(E)増感剤>
本発明の光重合性組成物は、ラジカル開始剤のラジカル発生効率の向上、感光波長の長波長化の目的で、(E)増感剤を含有していてもよい。本発明に用いることができる増感剤としては、前記した光重合開始剤に対し、電子移動機構又はエネルギー移動機構で増感させるものが好ましい。
本発明に用いることができる増感剤としては、以下に列挙する化合物類に属しており、且つ300nm〜450nmの波長領域に吸収波長を有するものが挙げられる。
好ましい増感剤の例としては、以下の化合物類に属しており、かつ330nmから450nm域に吸収波長を有するものを挙げることができる。
例えば、多核芳香族類(例えば、フェナントレン、アントラセン、ピレン、ペリレン、トリフェニレン、9,10−ジアルコキシアントラセン)、キサンテン類(例えば、フルオレッセイン、エオシン、エリスロシン、ローダミンB、ローズベンガル)、チオキサントン類(イソプロピルチオキサントン、ジエチルチオキサントン、クロロチオキサントン)、シアニン類(例えばチアカルボシアニン、オキサカルボシアニン)、メロシアニン類(例えば、メロシアニン、カルボメロシアニン)、フタロシアニン類、チアジン類(例えば、チオニン、メチレンブルー、トルイジンブルー)、アクリジン類(例えば、アクリジンオレンジ、クロロフラビン、アクリフラビン)、アントラキノン類(例えば、アントラキノン)、スクアリウム類(例えば、スクアリウム)、アクリジンオレンジ、クマリン類(例えば、7−ジエチルアミノ−4−メチルクマリン)、ケトクマリン、フェノチアジン類、フェナジン類、スチリルベンゼン類、アゾ化合物、ジフェニルメタン、トリフェニルメタン、ジスチリルベンゼン類、カルバゾール類、ポルフィリン、スピロ化合物、キナクリドン、インジゴ、スチリル、ピリリウム化合物、ピロメテン化合物、ピラゾロトリアゾール化合物、ベンゾチアゾール化合物、バルビツール酸誘導体、チオバルビツール酸誘導体、アセトフェノン、ベンゾフェノン、チオキサントン、ミヒラーズケトンなどの芳香族ケトン化合物、N−アリールオキサゾリジノンなどのヘテロ環化合物などが挙げられる。
等が挙げられ、更に欧州特許第568,993号明細書、米国特許第4,508,811号明細書、同5,227,227号明細書、特開2001−125255号公報、特開平11−271969号公報等に記載の化合物等などが挙げられる。
より好ましい増感色素の例としては、下記一般式(I)〜(IV)で表される化合物が挙げられる。
Figure 0004805018
一般式(I)中、A1は硫黄原子またはNR50を表し、R50はアルキル基またはアリール基を表し、L1は隣接するA1及び隣接炭素原子と共同して色素の塩基性核を形成する非金属原子団を表し、R51、R52はそれぞれ独立に水素原子または一価の非金属原子団を表し、R51、R52は互いに結合して、色素の酸性核を形成してもよい。Wは酸素原子または硫黄原子を表す。
Figure 0004805018
一般式(II)中、Ar1及びAr2はそれぞれ独立にアリール基を表し、−L2−による結合を介して連結している。ここでL2は−O−または−S−を表す。また、Wは一般式(I)に示したものと同義である。
Figure 0004805018
一般式(III)中、A2は硫黄原子またはNR59を表し、L3は隣接するA2及び炭素原子と共同して色素の塩基性核を形成する非金属原子団を表し、R53、R54、R55、R56、R57及びR58はそれぞれ独立に一価の非金属原子団の基を表し、R59はアルキル基またはアリール基を表す。
Figure 0004805018
一般式(IV)中、A3、A4はそれぞれ独立に−S−または−NR62−または−NR63−を表し、R62、R63はそれぞれ独立に置換若しくは非置換のアルキル基、置換若しくは非置換のアリール基を表し、L4、L5はそれぞれ独立に、隣接するA3、A4及び隣接炭素原子と共同して色素の塩基性核を形成する非金属原子団を表し、R60、R61はそれぞれ独立に一価の非金属原子団であるか又は互いに結合して脂肪族性または芳香族性の環を形成することができる。)
増感剤は、1種単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。
本発明の光重合性組成物中における増感剤の含有量は、深部への光吸収効率と開始分解効率の観点から、固形分換算で、0.1〜20質量%であることが好ましく、0.5〜15質量%がより好ましい。
一般式(I)〜(IV)で表される化合物の好ましい具体例としては、以下に示すものが挙げられる。
Figure 0004805018
増感剤は、1種単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。
本発明の光重合性組成物中における増感剤の含有量は、深部への光吸収効率と開始分解効率の観点から、固形分換算で、0.1〜20質量%であることが好ましく、0.5〜15質量%がより好ましい。
<(F)バインダーポリマー>
本発明の光重合性組成物においては、皮膜特性向上などの目的で、必要に応じて、さらにバインダーポリマーを使用することができる。バインダーとしては線状有機ポリマーを用いることが好ましい。このような「線状有機ポリマー」としては、公知のものを任意に使用できる。好ましくは水現像あるいは弱アルカリ水現像を可能とするために、水あるいは弱アルカリ水に可溶性又は膨潤性である線状有機ポリマーが選択される。線状有機ポリマーは、皮膜形成剤としてだけでなく、水、弱アルカリ水あるいは有機溶剤現像剤としての用途に応じて選択使用される。例えば、水可溶性有機ポリマーを用いると水現像が可能になる。このような線状有機ポリマーとしては、側鎖にカルボン酸基を有するラジカル重合体、例えば特開昭59−44615号、特公昭54−34327号、特公昭58−12577号、特公昭54−25957号、特開昭54−92723号、特開昭59−53836号、特開昭59−71048号に記載されているもの、すなわち、カルボキシル基を有するモノマーを単独あるいは共重合させた樹脂、酸無水物を有するモノマーを単独あるいは共重合させ酸無水物ユニットを加水分解もしくはハーフエステル化もしくはハーフアミド化させた樹脂、エポキシ樹脂を不飽和モノカルボン酸および酸無水物で変性させたエポキシアクリレート等が挙げられる。カルボキシル基を有するモノマーとしては、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、4-カルボキシルスチレン等があげられ、酸無水物を有するモノマーとしては、無水マレイン酸等が挙げられる。
また同様に、側鎖にカルボン酸基を有する酸性セルロース誘導体がある。この他に水酸基を有する重合体に環状酸無水物を付加させたものなどが有用である。
アルカリ可溶性樹脂を共重合体として用いる場合、共重合させる化合物として、先にあげたモノマー以外の他のモノマーを用いることもできる。他のモノマーの例としては、下記(1)〜(13)の化合物が挙げられる。
(1)2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルアクリレート、3−ヒドロキシプロピルアクリレート、4−ヒドロキシブチルアクリレート、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、2−ヒドロキシプロピルメタクリレート、3−ヒドロキシプロピルメタクリレート、4−ヒドロキシブチルメタクリレート等の脂肪族水酸基を有するアクリル酸エステル類、及びメタクリル酸エステル類。
(2)アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル酸プロピル、アクリル酸ブチル、アクリル酸イソブチル、アクリル酸アミル、アクリル酸ヘキシル、アクリル酸2-エチルヘキシル、アクリル酸オクチル、アクリル酸ベンジル、アクリル酸−2−クロロエチル、グリシジルアクリレート、3,4−エポキシシクロヘキシルメチルアクリレート、ビニルアクリレート、2−フェニルビニルアクリレート、1−プロペニルアクリレート、アリルアクリレート、2−アリロキシエチルアクリレート、プロパルギルアクリレート等のアルキルアクリレート。
(3)メタクリル酸メチル、メタクリル酸エチル、メタクリル酸プロピル、メタクリル酸ブチル、メタクリル酸イソブチル、メタクリル酸アミル、メタクリル酸ヘキシル、メタクリル酸2-エチルヘキシル、メタクリル酸シクロヘキシル、メタクリル酸ベンジル、メタクリル酸−2−クロロエチル、グリシジルメタクリレート、3,4−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレート、ビニルメタクリレート、2−フェニルビニルメタクリレート、1−プロペニルメタクリレート、アリルメタクリレート、2−アリロキシエチルメタクリレート、プロパルギルメタクリレート等のアルキルメタクリレート。
(4)アクリルアミド、メタクリルアミド、N−メチロールアクリルアミド、N−エチルアクリルアミド、N−ヘキシルメタクリルアミド、N−シクロヘキシルアクリルアミド、N−ヒドロキシエチルアクリルアミド、N−フェニルアクリルアミド、N−ニトロフェニルアクリルアミド、N−エチル−N−フェニルアクリルアミド、ビニルアクリルアミド、ビニルメタクリルアミド、N,N−ジアリルアクリルアミド、N,N−ジアリルメタクリルアミド、アリルアクリルアミド、アリルメタクリルアミド等のアクリルアミド若しくはメタクリルアミド。
(5)エチルビニルエーテル、2−クロロエチルビニルエーテル、ヒドロキシエチルビニルエーテル、プロピルビニルエーテル、ブチルビニルエーテル、オクチルビニルエーテル、フェニルビニルエーテル等のビニルエーテル類。
(6)ビニルアセテート、ビニルクロロアセテート、ビニルブチレート、安息香酸ビニル等のビニルエステル類。
(7)スチレン、α−メチルスチレン、メチルスチレン、クロロメチルスチレン、p−アセトキシスチレン等のスチレン類。
(8)メチルビニルケトン、エチルビニルケトン、プロピルビニルケトン、フェニルビニルケトン等のビニルケトン類。
(9)エチレン、プロピレン、イソブチレン、ブタジエン、イソプレン等のオレフィン類。
(10)N−ビニルピロリドン、アクリロニトリル、メタクリロニトリル等。
(11)マレイミド、N−アクリロイルアクリルアミド、N−アセチルメタクリルアミド、N−プロピオニルメタクリルアミド、N−(p−クロロベンゾイル)メタクリルアミド等の不飽和イミド。
(12)α位にヘテロ原子が結合したメタクリル酸系モノマー。例えば、特願2001−115595号明細書、特願2001−115598号明細書等に記載されている化合物を挙げる事ができる。
これらの中で、側鎖にアリル基やビニルエステル基とカルボキシル基を有する(メタ)アクリル樹脂及び特開2000−187322号公報、特開2002−62698号公報に記載されている側鎖に二重結合を有するアルカリ可溶性樹脂や、特開2001−242612号公報に記載されている側鎖にアミド基を有するアルカリ可溶性樹脂が膜強度、感度、現像性のバランスに優れており、好適である。
また、特公平7−12004号、特公平7−120041号、特公平7−120042号、特公平8−12424号、特開昭63−287944号、特開昭63−287947号、特開平1−271741号、特願平10−116232号等に記載される酸基を含有するウレタン系バインダーポリマーや、特開2002−107918に記載される酸基と二重結合を側鎖に有するウレタン系バインダーポリマーは、非常に、強度に優れるので、耐刷性・低露光適性の点で有利である。
また、欧州特許993966、欧州特許1204000、特開2001−318463等に記載の酸基を有するアセタール変性ポリビニルアルコール系バインダーポリマーは、膜強度、現像性のバランスに優れており、好適である。
さらにこの他に水溶性線状有機ポリマーとして、ポリビニルピロリドンやポリエチレンオキサイド等が有用である。また硬化皮膜の強度を上げるためにアルコール可溶性ナイロンや2,2−ビス−(4−ヒドロキシフェニル)−プロパンとエピクロロヒドリンのポリエーテル等も有用である。
本発明で使用しうるバインダーポリマーの重量平均分子量としては、好ましくは5、000以上であり、さらに好ましくは1万〜30万の範囲であり、数平均分子量については好ましくは1、000以上であり、さらに好ましくは2、000〜25万の範囲である。多分散度(重量平均分子量/数平均分子量)は1以上が好ましく、さらに好ましくは1.1〜10の範囲である。
これらのバインダーポリマーは、ランダムポリマー、ブロックポリマー、グラフトポリマー等いずれでもよい。
本発明で用いうるバインダーポリマーは、従来公知の方法により合成できる。合成する際に用いられる溶媒としては、例えば、テトラヒドロフラン、エチレンジクロリド、シクロヘキサノン、メチルエチルケトン、アセトン、メタノール、エタノール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、2−メトキシエチルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、1−メトキシ−2−プロパノール、1−メトキシ−2−プロピルアセテート、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、トルエン、酢酸エチル、乳酸メチル、乳酸エチル、ジメチルスルホキシド、水等が挙げられる。これらの溶媒は単独で又は2種以上混合して用いられる。
本発明において用いうるバインダーポリマーを合成する際に用いられるラジカル重合開始剤としては、アゾ系開始剤、過酸化物開始剤等公知の化合物が挙げられる。
<(G)共増感剤>
本発明の光重合性組成物は、共増感剤を含有することも好ましい。本発明において共増感剤は、増感色素や開始剤の活性放射線に対する感度を一層向上させる、あるいは酸素による重合性化合物の重合阻害を抑制する等の作用を有する。
この様な共増感剤の例としては、アミン類、例えばM. R. Sanderら著「Journal of Polymer Society」第10巻3173頁(1972)、特公昭44−20189号公報、特開昭51−82102号公報、特開昭52−134692号公報、特開昭59−138205号公報、特開昭60−84305号公報、特開昭62−18537号公報、特開昭64−33104号公報、Research Disclosure 33825号記載の化合物等が挙げられ、具体的には、トリエタノールアミン、p−ジメチルアミノ安息香酸エチルエステル、p−ホルミルジメチルアニリン、p−メチルチオジメチルアニリン等が挙げられる。
共増感剤の別の例としては、チオール及びスルフィド類、例えば、特開昭53−702号公報、特公昭55−500806号公報、特開平5−142772号公報記載のチオール化合物、特開昭56−75643号公報のジスルフィド化合物等が挙げられ、具体的には、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾール、2−メルカプトベンゾイミダゾール、2−メルカプト−4(3H)−キナゾリン、β−メルカプトナフタレン等が挙げられる。
また、共増感剤の別の例としては、アミノ酸化合物(例、N−フェニルグリシン等)、特公昭48−42965号公報記載の有機金属化合物(例、トリブチル錫アセテート等)、特公昭55−34414号公報記載の水素供与体、特開平6−308727号公報記載のイオウ化合物(例、トリチアン等)等が挙げられる。
これら共増感剤の含有量は、重合成長速度と連鎖移動のバランスによる硬化速度の向上の観点から、光重合性組成物の全固形分の質量に対し、0.1〜30質量%の範囲が好ましく、1〜25質量%の範囲がより好ましく、0.5〜20質量%の範囲が更に好ましい。
<(H)重合禁止剤>
本発明においては、光重合性組成物の製造中あるいは保存中において重合可能なエチレン性不飽和二重結合を有する化合物の不要な熱重合を阻止するために少量の熱重合防止剤を添加することが望ましい。
本発明に用いうる熱重合防止剤としては、ハイドロキノン、p−メトキシフェノール、ジ−t−ブチル−p−クレゾール、ピロガロール、t−ブチルカテコール、ベンゾキノン、4,4'−チオビス(3−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,2'−メチレンビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、N−ニトロソフェニルヒドロキシアミン第一セリウム塩等が挙げられる。
熱重合防止剤の添加量は、全組成物の質量に対して約0.01質量%〜約5質量%が好ましい。また必要に応じて、酸素による重合阻害を防止するためにベヘン酸やベヘン酸アミドのような高級脂肪酸誘導体等を添加して、塗布後の乾燥の過程で感光層の表面に偏在させてもよい。高級脂肪酸誘導体の添加量は、全組成物の約0.5質量%〜約10質量%が好ましい。
<その他の添加剤>
さらに、本発明においては、硬化皮膜の物性を改良するために無機充填剤や、可塑剤、感光層表面のインク着肉性を向上させうる感脂化剤等の公知の添加剤を加えてもよい。
可塑剤としては例えばジオクチルフタレート、ジドデシルフタレート、トリエチレングリコールジカプリレート、ジメチルグリコールフタレート、トリクレジルホスフェート、ジオクチルアジペート、ジブチルセバケート、トリアセチルグリセリン等があり、結合剤を使用した場合、エチレン性不飽和二重結合を有する化合物と結合剤との合計質量に対し10質量%以下添加することができる。
−光重合性組成物の製造方法−
本発明の光重合性組成物は、(A)ラジカル重合性モノマー、(B)特定光重合開始剤、(C)着色剤、さらに必要に応じて用いられる、(D)分散剤、顔料誘導体、その他の添加剤を溶剤と混合し各種の混合機、分散機を使用して混合分散する混合分散工程を経ることによって製造することができる。
尚、混合分散工程は、混練分散と、それに続けて行う微分散処理と、からなるのが好ましいが、混練分散を省略することも可能である。
本発明の光重合性組成物の好ましい製造方法は、(C)着色剤及び必要に応じて用いられる顔料誘導体を、(D)分散剤及び必要に応じて用いられる(F)バインダーポリマーの一部で、混練分散処理後の粘度が10,000mPa・s以上、望ましくは100,000mPa・s以上の比較的高粘度になるように混練分散処理し、次いで必要に応じ(F)バインダーポリマーを添加して、微分散処理後の粘度が1,000mPa・s以下、望ましくは100mPa・s以下の比較的低粘度になるように微分散処理する態様である。
混練分散処理で使用しうる機械は、二本ロール、三本ロール、ボールミル、トロンミル、ディスパー、ニーダー、コニーダー、ホモジナイザー、ブレンダー、単軸及び2軸の押出機等であり、これを用いて強い剪断力を与えながら分散する。
次いで、溶剤、(D)分散剤、及び必要に応じて(F)バインダーポリマーを加えて、主として縦型若しくは横型のサンドグラインダー、ピンミル、スリットミル、超音波分散機等を使用し、0.1〜1mmの粒径のガラス、ジルコニア等でできたビーズで微分散処理する。尚、混練分散処理を省くことも可能である。その場合には、(D)着色剤と(E)分散剤若しくは顔料誘導体と、必要に応じ(F)バインダーポリマー及び溶剤でビーズ分散を行う。
尚、混練、分散についての詳細は、T.C.Patton著”Paint Flow and Pigment Dispersion” (1964年 John Wiley and Sons社刊)等にも記載されている。
[カラーフィルタ及びその製造方法]
次に、本発明のカラーフィルタ及びその製造方法について説明する。
本発明のカラーフィルタは、支持体上に、本発明の光重合性組成物を用いてなる着色パターンを有することを特徴とする。
以下、本発明のカラーフィルタについて、その製造方法(本発明のカラーフィルタの製造方法)を通じて詳述する。
本発明のカラーフィルタの製造方法(以下、適宜「本発明のカラーフィルタの製造方法」と略称する。)は、支持体上に、本発明の光重合性組成物を付与して光重合性組成物層を形成する工程(以下、適宜「光重合性組成物層形成工程」と略称する。)と、前記光重合性組成物層をマスクを介して露光する工程(以下、適宜「露光工程」と略称する。)と、露光後の前記光重合性組成物層を現像して着色パターンを形成する工程(以下、適宜「現像工程」と略称する。)と、を含むことを特徴とする。
具体的には、本発明の光重合性組成物を、直接又は他の層を介して基板(支持体)上に回転塗布、スリット塗布、流延塗布、ロール塗布等の塗布方法により塗布して、光重合性組成物層を形成し(光重合性組成物層形成工程)、所定のマスクパターンを介して露光し、光照射された塗布膜部分だけを硬化させ(露光工程)、現像液で現像することによって(現像工程)、各色(3色あるいは4色)の画素からなるパターン状皮膜を形成し、本発明のカラーフィルターを製造することができる。
本発明の製造方法としては、本発明の光重合性組成物を、直接若しくは他の層を介して基板上にスリット塗布によって光重合性組成物層を形成した後(光重合性組成物層形成工程)、該光重合性組成物層を乾燥し、パターン露光(露光工程)、及びアルカリ現像(現像工程)を順次行う態様が好ましい。これにより、液晶表示素子や固体撮像素子に用いられるカラーフィルターを、プロセス上の困難性が少なく、高品質かつ低コストで作製することができる。
光重合性組成物層形成工程においては、インクジェット法、スクリーン印刷法等の方法を適用して、基板上に本発明の光重合性組成物を塗布することもできる。
光重合性組成物層の厚み(乾燥後)は、一般的に0.3〜5.0μm、望ましくは0.5〜3.5μm、最も望ましくは1.0〜2.5μmである。
本発明に用いうる基板としては、例えば、液晶表示素子等に用いられる無アルカリガラス、ソーダガラス、パイレックス(登録商標)ガラス、石英ガラス及びこれらに透明導電膜を付着させたものや、固体撮像素子等に用いられる光電変換素子基板、例えばシリコン基板や、相補性金属酸化膜半導体(CMOS)等が挙げられる。さらに、プラスチック基板も用いることが可能である。これらの基板上には、通常、各画素を隔離するブラックストライプが形成されている場合もある。また、これらの支持体上には、必要により、上部の層との密着改良、物質の拡散防止或いは基板表面の平坦化のために下塗り層を設けてもよい。
また、プラスチック基板にはその表面にガスバリヤー層及び/又は耐溶剤性層を有していることが好ましい。
露光工程に使用される放射線としては、特に、g線、h線、i線等の紫外線が好ましく用いられる。
現像工程では、アルカリ現像処理を行うことにより、露光における光未照射部分の光重合性組成物層をアルカリ水溶液に溶出させ、光硬化した部分だけが残る。
現像液としては、光未照射部の光重合性組成物層を溶解し、一方光照射部を溶解しないものであればいかなるものも用いることができる。
現像液としては、本発明の組成物を溶解し、一方光照射部を溶解しない組成物であればいかなるものも用いることができる。具体的には種々の有機溶剤の組合せやアルカリ性の水溶液を用いることができる。
有機溶剤としては、本発明の組成物を調製する際に使用される前述の溶剤が挙げられる。
現像温度としては通常20℃〜30℃であり、現像時間としては20〜90秒である。
上記アルカリ性の水溶液としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、硅酸ナトリウム、メタ硅酸ナトリウム、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、1,8−ジアザビシクロ−[5,4,0]−7−ウンデセン等のアルカリ性化合物を、濃度が0.001〜10質量%、好ましくは0.01〜1質量%となるように溶解したアルカリ性水溶液が使用される。なお、このようなアルカリ性水溶液からなる現像液を使用した場合には、一般に、現像後、水で洗浄(リンス) する。
現像後の基板は、余剰の現像液を洗浄除去し、乾燥(プリベーク)を施した後に、50℃〜240℃の温度で加熱処理(ポストベーク)を行う。
乾燥(プリベーク)は、ホットプレート、オーブン等で50℃〜140℃の温度で10〜300秒で行うことができる。
ポストベークは、硬化を完全なものとするための現像後の加熱であり、通常、約200℃〜220℃の加熱(ハードベーク)を行う。
このポストベーク処理は、現像後の塗布膜を、上記条件になるようにホットプレートやコンベクションオーブン(熱風循環式乾燥機)、高周波加熱機等の加熱手段を用いて、連続式あるいはバッチ式で行うことができる。
以上、本発明の光重合性組成物の用途として、主にカラーフィルターへの用途を主体に述べてきたが、当該組成物は、カラーフィルターの画素間に設けられるブラックマトリックスにも適用できることは勿論である。
ブラックマトリックスは、本発明の光重合性組成物に、カーボンブラック、チタンブラックなどの黒色の着色剤を添加した組成物を光露光、アルカリ現像し、更にその後、ポストベークして膜の硬化を促進させて形成させることができる。
以上説明した、光重合性組成物層形成工程、露光工程、及び現像工程(更に、必要により硬化工程)を所望の色相数だけ繰り返すことにより、所望の色相よりなるカラーフィルタが作製される。
本発明のカラーフィルタは、液晶表示素子やCCD等の固体撮像素子に用いることができ、特に100万画素を超えるような高解像度のCCD素子やCMOS等に好適である。本発明のカラーフィルタは、例えば、CCDを構成する各画素の受光部と集光するためのマイクロレンズとの間に配置されるカラーフィルタとして用いることができる。
以下、本発明を実施例により更に具体的に説明するが、以下の実施例に限定されるものではない。
(合成例)本発明の光重合開始剤B−1の合成
<化合物(1)の合成>
200ml三口フラスコにフェニルスルフィド18.63g(0.1mol)、二硫化炭素75ml、4−クロロブチリルクロリド14.24g(0.1mol)を加え、窒素ガス置換しながら0℃に冷却した。その後、塩化アルミニウム(III)13.47g(0.1mol)を少しずつ加えた。添加終了後、室温で2時間攪拌し、反応溶液を0.5N塩酸水溶液100ml中に注ぎ、酢酸エチルで抽出した。酢酸エチル層を飽和炭酸水素ナトリウム水溶液、飽和塩化ナトリウム水溶液を用いて順に洗浄し、硫酸マグネシウムを加えて脱水した。硫酸マグネシウムをろ去してエバポレータにより溶剤を濃縮した後、シリカゲルカラムクロマトグラフィーにより精製を行ない、22.45g(収率77%)の下記化合物(1)を得た。
Figure 0004805018
<化合物(2)の合成>
300ml三口フラスコにジメチルホルムアミド(DMF)30ml、化合物(1)22g(0.0757mol)、ヨウ化カリウム1.26g(0.0076mol)を加え、フタルイミド酸カリウム14.02g(0.0757mol)のDMF20ml溶液を滴下した。滴下終了後、さらに1時間攪拌した後、メタノール30ml、蒸留水10ml、水酸化ナトリウム3.03g(0.0757mol)を加えさらに2時間攪拌した。その後、反応溶液を酢酸エチルで抽出し、飽和塩化ナトリウム水溶液で洗浄、硫酸マグネシウムを加えて脱水した。硫酸マグネシウムをろ過してエバポレータにより溶剤を濃縮した後、シリカゲルカラムクロマトグラフィーにより精製を行ない、12.33g(収率60%)の下記化合物(2)を得た。
Figure 0004805018
<化合物(3)の合成>
300ml三口フラスコに、化合物(2)12.21g(0.045mol)、アセトン50ml、トリエチルアミンを5.06g(0.050mol)加え窒素置換した後、アクリル酸クロリド4.07g(0.045mol)のアセトン10ml溶液を滴下した。滴下終了後さらに1時間攪拌し、反応溶液を酢酸エチルで抽出し、飽和塩化ナトリウム水溶液で洗浄、硫酸マグネシウムを加えて脱水した。硫酸マグネシウムをろ過してエバポレータにより溶剤を濃縮した後、シリカゲルカラムクロマトグラフィーにより精製を行ない、9.08g(収率62%)の下記化合物(3)を得た。
Figure 0004805018
<化合物(4)の合成>
100ml三口フラスコにメタノール15ml、ナトリウムメトキシド1.53g(0.028mol)を加え、系中を窒素ガス置換した。反応溶液を0℃に冷却した後、上記で得られた化合物(3)8.72g(0.0268mol)のTHF20ml溶液を30分かけて滴下した。
滴下終了後、室温でさらに2時間攪拌した後、恒温層を用いて反応溶液を10℃に保ち、亜硝酸イソペンチル3.31g(0.028mol)のTHF10ml溶液を30分かけて滴下した。滴下終了後、室温でさらに2時間攪拌した後、反応溶液を0℃に冷却した蒸留水100ml/酢酸3.0mlの溶液中に注いだ。
その後、酢酸エチルで抽出し、飽和塩化ナトリウム水溶液で洗浄、硫酸マグネシウムを加えて脱水した。硫酸マグネシウムをろ過してエバポレータにより溶剤を濃縮した後、シリカゲルカラムクロマトグラフィーにより精製を行ない、6.75g(収率68%)の下記化合物(4)を得た。
Figure 0004805018
<光重合開始剤(B−1)の合成>
100ml三口フラスコに、上記で得られた化合物(4)5.39g(0.0152mol)、THF20mlを加え、系中を窒素ガス置換して攪拌しながら0℃に冷却した。
そこに、ピリジン2.18g(0.028mol)のTHF5ml溶液とアセチルクロリド1.97g(0.025mol)のTHF5ml溶液を別々に同時に滴下した。15分かけて滴下した後、室温でさらに3時間攪拌した。
その後、反応溶液を蒸留水200ml中に注ぎ、酢酸エチルで抽出し、飽和塩化ナトリウム水溶液で洗浄、硫酸マグネシウムを加えて脱水した。硫酸マグネシウムをろ過してエバポレータにより溶剤を濃縮した後、シリカゲルカラムクロマトグラフィーにより精製を行ない、5.72g(収率95%)の光重合開始剤(B−1)を得た。
Figure 0004805018
[実施例1〜12、比較例1]
(分散液PR−1の調製)
下記組成Aの各成分をニーダーにて30分間混練した。混練後、さらに二本ロールにて高粘度分散処理を施した。なお、樹脂の重量平均分子量は、樹脂溶液をGPC法によって分子量測定を行い、ポリスチレン換算の重量平均分子量を求めた。
〔組成A〕
・C.I.ピグメント レッド 254 27質量部
・C.I.ピグメント イエロー 139 4質量部
・ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体(mol比:70/30、Mw:30000)のプロピレングリコールメチルエーテルアセテート溶液(樹脂固形分濃度:50%) 22質量部
・分散剤(商品名:BY−161、BYK社) 2質量部
このようにして得られた分散物に、下記組成Bの各成分を添加し、3000rpmの条件でホモジナイザーを用いて3時間攪拌した。得られた混合溶液を、0.3mmジルコニアビーズを用いたビーズ分散機(商品名: ディスパーマット、GETZMANN社製) にて4時間微分散処理を施した。この分散液をPR−1とする。(固形分20質量%)
〔組成B〕
・ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体(mol比: 70/30、Mw:10000)のプロピレングリコールメチルエーテルアセテート溶液(樹脂固形分濃度:50%) 22質量部
・溶剤:プロピレングリコールメチルエーテルアセテート 200質量部
(分散液PG−1の調製)
組成Aを下記組成Cに変更した以外は、分散液PR−1と同様の方法で、分散液PG−1を調製した。(固形分20質量%)
〔組成C〕
・C.I.ピグメント グリーン 36 21質量部
・C.I.ピグメント イエロー 150 10質量部
・ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体(mol比: 70/30、Mw:30000)のプロピレングリコールメチルエーテルアセテート溶液(樹脂固形分濃度:50%) 20質量部
・分散剤(商品名:BY−161、BYK社製) 4質量部
(分散液PB−1の調製)
組成Aを下記組成Dに変更した以外は、分散液PR−1と同様の方法で、分散液PB−1を調製した。(固形分20質量%)
〔組成D〕
・C.I.ピグメント ブルー 15:6 26質量部
・C.I.ピグメント バイオレット 23 5質量部
・ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体(mol比: 70/30、Mw:30000)のプロピレングリコールメチルエーテルアセテート溶液(樹脂固形分濃度:50%) 20質量部
・分散剤(商品名:BY−161、BYK社製) 4質量部
(光重合性組成物L−1〜L−13の調製)
表1に示す(A)乃至(E)及び界面活性剤の各成分を、固形分濃度が20質量%になるように、表1に示す溶剤(表1中にて追加溶剤と表記)に溶解させ、実施例の光重合性組成物L−1〜L−12、及び、比較例の光重合性組成物L−13を調製した。(以下、適宜「組成物L−1〜L−13」と略称する。)
(パターン露光)
得られた組成物L−1〜L−13の各々を、100mm×100mmのガラス基板(商品名:1737、コーニング社製)上に、乾燥膜厚が2.0μmとなるように塗布し、90℃のオーブンで120秒間乾燥(プリベーク)し、光硬化性塗布膜(光重合性組成物層)を形成した。かかる塗布膜に対して、25μm幅のパターンを形成させるべく、2.5kwの超高圧水銀灯を使用して、マスクを通して露光量を5mJずつ変化させて露光した。露光後、塗布膜の全面を有機系現像液〔商品名:CD、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製〕の10%水溶液で被い、60秒間静止した。その後、純水をシャワー状に噴射して現像液を洗い流し、乾燥させて着色パターンを形成した。画像の形成は、光学顕微鏡およびSEM写真観察により通常の方法で確認した。
−感度の評価−
感度の評価は、上記で得られたパターンについて、パターン幅が25μmになる露光量を適正露光量(感度、mJ)とし、下記式から感度の相対値を求めることにより行った。感度の相対値が小さいほど良好な性能を示す。
感度の相対値=(組成物L−1〜L−13の感度)/(組成物L−13の感度)
−パターン幅安定時間の評価−
上記と同様にして、実施例の組成物L−1〜L−12及び比較例の組成物L−13の各々を、基板上に塗布し、プレベークし、上記で求めた適性露光量で露光した後、現像液を使用して、60秒を基準として現像時間を5秒ずつ変化(減少/増加)させて現像を行った。その後、上記と同様に純水をシャワー状に噴射して現像液を洗い流し、乾燥させて着色パターンを形成した。
パターン幅安定時間の評価は、各々の現像時間に対するこの着色パターンの線幅を求め、線幅が25±1μmを維持できている現像時間の範囲をパターン幅安定時間(秒)とし、下記式からパターン幅安定時間の相対値を求めることにより行った。パターン幅安定時間の相対値が大きいほど良好な性能を示す。
パターン幅安定時間の相対値=
(組成物L−1〜L−13のパターン幅安定時間)/(組成物L−13のパターン
幅安定時間)
以上の結果を表1に示す。
Figure 0004805018
表1に示されるように、実施例の光重合性組成物L−1〜L−12は、比較例の光重合性組成物L−13に比べて、感度に優れた組成物であることがわかる。また、パターン幅安定時間も長く、現像時間のずれによるパターン幅の変動が小さいことから、実施例の光重合性組成物を用いることにより、パターン上部のみならず基板との界面近くにおいても充分に硬化した堅牢な着色パターンが得られことが分かる。
以下に、表1に記載される、(A)ラジカル重合性モノマー、(B)光重合開始剤、(E)増感剤、界面活性剤、溶剤の詳細を示す。
<(A)ラジカル重合性モノマー>
C−1:ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとジペンタエリスリトールヘキサアクリレートの3:7の混合物
<(B)光重合開始剤>
Figure 0004805018
<(E)増感剤>
E−1:1−クロロ−4−nプロポキシ−チオキサントン
<界面活性剤>
F−1:テトラニック 150R1(BASF社製)
<溶剤>
D−1:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)
D−2:3−エトキシプロピオン酸エチル
D−3:乳酸エチル
D−4:プロピレングリコールモノメチルエーテル

Claims (5)

  1. (A)ラジカル重合性モノマーと、(B)1分子中に少なくとも1つのラジカル重合性基を有する光重合開始剤と、(C)顔料である着色剤と、(D)分散剤と、を含有し、前記(C)顔料である着色剤及び前記(D)分散剤の含有量の総和が、光重合性組成物を構成する全固形分に対して40質量%以上90質量%以下であることを特徴とする光重合性組成物。
  2. 前記(B)1分子中に少なくとも1つのラジカル重合性基を有する光重合開始剤が、波長300〜500nmの領域に吸収を有することを特徴とする請求項1に記載の光重合性組成物。
  3. 前記(B)1分子中に少なくとも1つのラジカル重合性基を有する光重合開始剤と、前記(A)ラジカル重合性モノマーとの質量比〔(B)/(A)〕が、0.3以上0.8以下であることを特徴とする請求項1又は請求項に記載の光重合性組成物。
  4. 支持体上に、請求項1から請求項のいずれか1項に記載の光重合性組成物を用いてなる着色パターンを有することを特徴とするカラーフィルタ。
  5. 支持体上に、請求項1から請求項いずれか1項に記載の光重合性組成物を塗布して光重合性組成物層を形成する工程と、前記光重合性組成物層をマスクを介して露光する工程と、露光後の前記光重合性組成物層を現像して着色パターンを形成する工程と、を含むことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
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