JP2023029382A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】酸化物半導体を用いたトランジスタを有する信頼性の高い半導体装置を提供する。【解決手段】酸化物半導体層を含むボトムゲート構造のトランジスタを有する半導体装置において、酸化物半導体層に接して、第1の絶縁層を形成し、酸素ドープ処理を行うことによって、化学量論的組成よりも過剰に酸素を含む第1の絶縁層とする。第1の絶縁層上に第2の絶縁層を形成することで、第1の絶縁層が含有する過剰な酸素を、効率良く酸化物半導体層に供給することができる。よって、安定した電気的特性を有する信頼性の高い半導体装置を提供することができる。【選択図】図1
Description
開示する発明は、半導体装置及び半導体装置の作製方法に関する。
なお、本明細書等において半導体装置とは、半導体特性を利用することで機能しうる装置
全般を指し、電気光学装置、発光表示装置、半導体回路及び電子機器は全て半導体装置で
ある。
全般を指し、電気光学装置、発光表示装置、半導体回路及び電子機器は全て半導体装置で
ある。
絶縁表面を有する基板上に形成された半導体薄膜を用いてトランジスタを構成する技術が
注目されている。該トランジスタは集積回路(IC)や画像表示装置(単に表示装置とも
表記する)のような半導体電子デバイスに広く応用されている。トランジスタに適用可能
な半導体薄膜としてシリコン系半導体材料が広く知られているが、その他の材料として酸
化物半導体が注目されている。
注目されている。該トランジスタは集積回路(IC)や画像表示装置(単に表示装置とも
表記する)のような半導体電子デバイスに広く応用されている。トランジスタに適用可能
な半導体薄膜としてシリコン系半導体材料が広く知られているが、その他の材料として酸
化物半導体が注目されている。
例えば、酸化物半導体として、酸化亜鉛、又はIn-Ga-Zn系酸化物を用いてトラン
ジスタを作製する技術が開示されている(特許文献1及び特許文献2参照)。
ジスタを作製する技術が開示されている(特許文献1及び特許文献2参照)。
ところで、酸化物半導体においては、水素が含まれることにより伝導帯に近い準位(浅い
準位)にドナーが生成され低抵抗化(n型化)してしまうことが指摘されている。そのた
め、酸化物半導体の形成時に水素が混入しないような措置を講じることが求められる。ま
た、酸化物半導体のみならず、酸化物半導体に接するゲート絶縁膜の水素を低減すること
で、しきい値電圧の変動を低減する技術が開示されている(特許文献3参照)。
準位)にドナーが生成され低抵抗化(n型化)してしまうことが指摘されている。そのた
め、酸化物半導体の形成時に水素が混入しないような措置を講じることが求められる。ま
た、酸化物半導体のみならず、酸化物半導体に接するゲート絶縁膜の水素を低減すること
で、しきい値電圧の変動を低減する技術が開示されている(特許文献3参照)。
また、酸化物半導体において、酸素欠損は酸化物半導体中にキャリアである電子を生成す
る。トランジスタのチャネル形成領域を含む酸化物半導体に酸素欠損が多く存在すると、
チャネル形成領域中に電子を生じさせてしまい、トランジスタのしきい値電圧をマイナス
方向に変動させる要因となる。
る。トランジスタのチャネル形成領域を含む酸化物半導体に酸素欠損が多く存在すると、
チャネル形成領域中に電子を生じさせてしまい、トランジスタのしきい値電圧をマイナス
方向に変動させる要因となる。
上述した問題に鑑み、本発明の一態様では、酸化物半導体を用いた半導体装置であって、
安定した電気特性を有し、信頼性の高い半導体装置及びその作製方法を提供することを目
的の一とする。
安定した電気特性を有し、信頼性の高い半導体装置及びその作製方法を提供することを目
的の一とする。
酸化物半導体層を含むボトムゲート構造のトランジスタを有する半導体装置において、酸
化物半導体層に接して絶縁層を形成し、該絶縁層及び該絶縁層に接する酸化物半導体層に
酸素ドープ処理を行う。酸素ドープ処理により、該絶縁層及び該絶縁層に接する酸化物半
導体層を、化学量論的組成よりも酸素を多く含む酸素過剰な状態とすることができる。酸
化物半導体層と接する絶縁層を、酸素を過剰に含む絶縁層とすることで、該絶縁層から酸
化物半導体層へ酸素を供給することが容易となるため、酸化物半導体層からの酸素の脱離
を防止し、酸化物半導体層中の酸素欠損を補填することが可能となる。
化物半導体層に接して絶縁層を形成し、該絶縁層及び該絶縁層に接する酸化物半導体層に
酸素ドープ処理を行う。酸素ドープ処理により、該絶縁層及び該絶縁層に接する酸化物半
導体層を、化学量論的組成よりも酸素を多く含む酸素過剰な状態とすることができる。酸
化物半導体層と接する絶縁層を、酸素を過剰に含む絶縁層とすることで、該絶縁層から酸
化物半導体層へ酸素を供給することが容易となるため、酸化物半導体層からの酸素の脱離
を防止し、酸化物半導体層中の酸素欠損を補填することが可能となる。
また、酸化物半導体層上に酸素ドープ処理された第1の絶縁層を形成し、第1の絶縁層上
に、さらに第2の絶縁層を形成してもよい。酸素ドープ処理された第1の絶縁層上に第2
の絶縁層を形成することで、第1の絶縁層が含有する過剰な酸素を、効率良く酸化物半導
体層に供給することができる。
に、さらに第2の絶縁層を形成してもよい。酸素ドープ処理された第1の絶縁層上に第2
の絶縁層を形成することで、第1の絶縁層が含有する過剰な酸素を、効率良く酸化物半導
体層に供給することができる。
第2の絶縁層は第1の絶縁層と同様の材料で形成しても良いが、水素、水分などの不純物
、及び酸素の両方に対して遮断効果(ブロック効果)が高い、バリア性を有する金属酸化
物材料を用いることが好ましい。例えば、酸化アルミニウムを用いることが好ましい。
、及び酸素の両方に対して遮断効果(ブロック効果)が高い、バリア性を有する金属酸化
物材料を用いることが好ましい。例えば、酸化アルミニウムを用いることが好ましい。
また、第2の絶縁層を第1の絶縁層と同様の材料で形成し、第2の絶縁層上に第3の絶縁
層としてバリア性を有する金属酸化物材料で形成された金属酸化物層を形成しても良い。
層としてバリア性を有する金属酸化物材料で形成された金属酸化物層を形成しても良い。
金属酸化物層は、第1の絶縁層または第2の絶縁層上に金属層を形成し、該金属層に酸素
ドープ処理を行うことによって、該金属層を酸化させて形成することができる。
ドープ処理を行うことによって、該金属層を酸化させて形成することができる。
酸素を含む絶縁層を、酸化物半導体層とバリア性を有する金属酸化物層で挟む構成とする
ことで、トランジスタの作製工程中及び作製後において、電気特性の変動要因となる水素
、水分などの不純物の酸化物半導体層への混入、及び酸化物半導体を構成する主成分材料
である酸素の酸化物半導体層からの放出(脱離)を防止することができる。よって、トラ
ンジスタの電気特性や信頼性を向上させることができる。
ことで、トランジスタの作製工程中及び作製後において、電気特性の変動要因となる水素
、水分などの不純物の酸化物半導体層への混入、及び酸化物半導体を構成する主成分材料
である酸素の酸化物半導体層からの放出(脱離)を防止することができる。よって、トラ
ンジスタの電気特性や信頼性を向上させることができる。
酸素ドープ処理によって形成された金属酸化物層は、1×1010Ω・m以上1×101
9Ω・m以下、好ましくは1×1010Ω・m以上1×1018Ω・m以下、より好まし
くは1×1011Ω・m以上1×1015Ω・m以下の抵抗率ρを有することが好ましい
。金属酸化物層が上述の範囲の抵抗率を有することで、トランジスタの静電破壊を防止す
ることができる。
9Ω・m以下、好ましくは1×1010Ω・m以上1×1018Ω・m以下、より好まし
くは1×1011Ω・m以上1×1015Ω・m以下の抵抗率ρを有することが好ましい
。金属酸化物層が上述の範囲の抵抗率を有することで、トランジスタの静電破壊を防止す
ることができる。
また、酸化物半導体層と接する絶縁層(例えば、層間絶縁層又はゲート絶縁層)は、可能
な限り水、水素などの不純物が含まれないことが好ましい。酸化物半導体層と接する絶縁
層に水素が含まれると、その水素が酸化物半導体層へ侵入する恐れ、又は、その水素が酸
化物半導体層中の酸素を引き抜く恐れがあるためである。よって、酸化物半導体層と接す
る絶縁層は、脱水化又は脱水素化を目的とした熱処理を施された層であることが好ましい
。
な限り水、水素などの不純物が含まれないことが好ましい。酸化物半導体層と接する絶縁
層に水素が含まれると、その水素が酸化物半導体層へ侵入する恐れ、又は、その水素が酸
化物半導体層中の酸素を引き抜く恐れがあるためである。よって、酸化物半導体層と接す
る絶縁層は、脱水化又は脱水素化を目的とした熱処理を施された層であることが好ましい
。
なお、上記の「酸素ドープ処理」とは、酸素(少なくとも、酸素ラジカル、酸素原子、酸
素分子、オゾン、酸素イオン(酸素分子イオン)、及び/又は酸素クラスタイオンのいず
れかを含む)をバルクに添加することをいう。なお、当該「バルク」の用語は、酸素を、
薄膜表面のみでなく薄膜内部に添加することを明確にする趣旨で用いている。また、「酸
素ドープ処理」には、プラズマ化した酸素をバルクに添加する「酸素プラズマドープ処理
」が含まれる。酸素ドープ処理は、イオン注入法、イオンドーピング法、プラズマイマー
ジョンイオンインプランテーション法、酸素雰囲気下で行うプラズマ処理などを用いて行
うことができる。なお、イオン注入法として、ガスクラスタイオンビームを用いてもよい
。
素分子、オゾン、酸素イオン(酸素分子イオン)、及び/又は酸素クラスタイオンのいず
れかを含む)をバルクに添加することをいう。なお、当該「バルク」の用語は、酸素を、
薄膜表面のみでなく薄膜内部に添加することを明確にする趣旨で用いている。また、「酸
素ドープ処理」には、プラズマ化した酸素をバルクに添加する「酸素プラズマドープ処理
」が含まれる。酸素ドープ処理は、イオン注入法、イオンドーピング法、プラズマイマー
ジョンイオンインプランテーション法、酸素雰囲気下で行うプラズマ処理などを用いて行
うことができる。なお、イオン注入法として、ガスクラスタイオンビームを用いてもよい
。
酸素ドープ処理には、酸素を含むガスを用いることができる。酸素を含むガスとしては、
酸素、一酸化二窒素、二酸化窒素、二酸化炭素、一酸化炭素などを用いることができる。
また、酸素ドープ処理において、上述の酸素を含むガスに希ガスを添加してもよい。
酸素、一酸化二窒素、二酸化窒素、二酸化炭素、一酸化炭素などを用いることができる。
また、酸素ドープ処理において、上述の酸素を含むガスに希ガスを添加してもよい。
本発明の一態様は、ゲート電極と、ゲート電極上に形成されたゲート絶縁層と、ゲート電
極と重畳し、ゲート絶縁層上に形成された酸化物半導体層と、酸化物半導体層上に形成さ
れたソース電極及びドレイン電極と、ソース電極及びドレイン電極上に設けられ、酸化物
半導体層の一部と接する第1の絶縁層と、第1の絶縁層上に形成された第2の絶縁層と、
を有し、第1の絶縁層は、化学量論的組成よりも酸素を多く含むことを特徴とする。
極と重畳し、ゲート絶縁層上に形成された酸化物半導体層と、酸化物半導体層上に形成さ
れたソース電極及びドレイン電極と、ソース電極及びドレイン電極上に設けられ、酸化物
半導体層の一部と接する第1の絶縁層と、第1の絶縁層上に形成された第2の絶縁層と、
を有し、第1の絶縁層は、化学量論的組成よりも酸素を多く含むことを特徴とする。
また、第1の絶縁層は10nmより厚く、100nmより薄いことが好ましい。
本発明の一態様は、ゲート電極を形成し、ゲート電極上にゲート絶縁層を形成し、ゲート
絶縁層上の、ゲート電極と重畳する領域に酸化物半導体層を形成し、酸化物半導体層上に
ソース電極及びドレイン電極を形成し、ソース電極及びドレイン電極上に、酸化物半導体
層の一部と接して化学量論的組成よりも酸素を多く含む第1の絶縁層を形成し、第1の絶
縁層上に第2の絶縁層を形成することを特徴とする。
絶縁層上の、ゲート電極と重畳する領域に酸化物半導体層を形成し、酸化物半導体層上に
ソース電極及びドレイン電極を形成し、ソース電極及びドレイン電極上に、酸化物半導体
層の一部と接して化学量論的組成よりも酸素を多く含む第1の絶縁層を形成し、第1の絶
縁層上に第2の絶縁層を形成することを特徴とする。
第2の絶縁層上に、さらに第3の絶縁層を形成しても良い。第2の絶縁層または第3の絶
縁層は、バリア性を有する金属酸化物層とすることが好ましい。
縁層は、バリア性を有する金属酸化物層とすることが好ましい。
本発明の一態様により、安定した電気特性を付与し、高信頼性化を図ることが可能な酸化
物半導体を用いた半導体装置を提供することができる。
物半導体を用いた半導体装置を提供することができる。
以下では、本明細書に開示する発明の実施の形態について図面を用いて詳細に説明する。
但し、本明細書に開示する発明は以下の説明に限定されず、その形態及び詳細を様々に変
更し得ることは、当業者であれば容易に理解される。また、本明細書に開示する発明は以
下に示す実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。なお、以下に説明す
る本発明の構成において、同一部分または同様の機能を有する部分には、同一の符号を異
なる図面間で共通して用い、その繰り返しの説明は省略する。また、同様の機能を有する
部分を指す場合には、ハッチパターンを同じくし、特に符号を付さない場合がある。
但し、本明細書に開示する発明は以下の説明に限定されず、その形態及び詳細を様々に変
更し得ることは、当業者であれば容易に理解される。また、本明細書に開示する発明は以
下に示す実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。なお、以下に説明す
る本発明の構成において、同一部分または同様の機能を有する部分には、同一の符号を異
なる図面間で共通して用い、その繰り返しの説明は省略する。また、同様の機能を有する
部分を指す場合には、ハッチパターンを同じくし、特に符号を付さない場合がある。
なお、本明細書における「第1」、「第2」等の序数詞は、構成要素の混同を避けるため
に付すものであり、数的に限定するものではないことを付記する。
に付すものであり、数的に限定するものではないことを付記する。
(実施の形態1)
本実施の形態では、半導体装置の一形態であるトランジスタの構成及び作製方法について
説明する。本実施の形態で開示するトランジスタは、チャネルが形成される半導体層に酸
化物半導体を用いたトランジスタである。
本実施の形態では、半導体装置の一形態であるトランジスタの構成及び作製方法について
説明する。本実施の形態で開示するトランジスタは、チャネルが形成される半導体層に酸
化物半導体を用いたトランジスタである。
図1(A)は、チャネルが形成される半導体層に酸化物半導体を用いたトランジスタ15
0の平面構成を示す上面図であり、図1(B)は、図1(A)中でA1-A2の鎖線で示
した部位の断面構成を示す断面図であり、図1(C)は、図1(A)中でB1-B2の鎖
線で示した部位の断面構成を示す断面図である。なお、図面をわかりやすくするため、図
1(A)において一部の構成要素の記載を省略している。
0の平面構成を示す上面図であり、図1(B)は、図1(A)中でA1-A2の鎖線で示
した部位の断面構成を示す断面図であり、図1(C)は、図1(A)中でB1-B2の鎖
線で示した部位の断面構成を示す断面図である。なお、図面をわかりやすくするため、図
1(A)において一部の構成要素の記載を省略している。
図1に示すトランジスタ150は、チャネルエッチング型と呼ばれるボトムゲート構造の
トランジスタの一つであり、また、逆スタガ型と呼ばれるトランジスタ構造の一つでもあ
る。
トランジスタの一つであり、また、逆スタガ型と呼ばれるトランジスタ構造の一つでもあ
る。
図1において、基板101上に絶縁層102が形成され、絶縁層102上にゲート電極1
03が形成され、ゲート電極103上にゲート絶縁層104が形成されている。図1では
、ゲート絶縁層104をゲート絶縁層104aとゲート絶縁層104bの積層とする例を
示しているが、ゲート絶縁層104は単層でもよいし、複数層の積層でもよい。
03が形成され、ゲート電極103上にゲート絶縁層104が形成されている。図1では
、ゲート絶縁層104をゲート絶縁層104aとゲート絶縁層104bの積層とする例を
示しているが、ゲート絶縁層104は単層でもよいし、複数層の積層でもよい。
また、ゲート絶縁層104上に酸化物半導体層105が形成され、酸化物半導体層105
上にソース電極106a及びドレイン電極106bが形成されている。また、酸化物半導
体層105の一部に接し、ソース電極106a及びドレイン電極106b上に絶縁層10
7が形成され、絶縁層107上に絶縁層108が形成されている。
上にソース電極106a及びドレイン電極106bが形成されている。また、酸化物半導
体層105の一部に接し、ソース電極106a及びドレイン電極106b上に絶縁層10
7が形成され、絶縁層107上に絶縁層108が形成されている。
酸化物半導体層105に用いる酸化物半導体としては、少なくともインジウム(In)あ
るいは亜鉛(Zn)を含むことが好ましい。特にInとZnを含むことが好ましい。また
、該酸化物半導体を用いたトランジスタの電気特性のばらつきを減らすためのスタビライ
ザーとして、それらに加えてガリウム(Ga)を有することが好ましい。また、スタビラ
イザーとしてスズ(Sn)を有することが好ましい。また、スタビライザーとしてハフニ
ウム(Hf)を有することが好ましい。また、スタビライザーとしてアルミニウム(Al
)を有することが好ましい。
るいは亜鉛(Zn)を含むことが好ましい。特にInとZnを含むことが好ましい。また
、該酸化物半導体を用いたトランジスタの電気特性のばらつきを減らすためのスタビライ
ザーとして、それらに加えてガリウム(Ga)を有することが好ましい。また、スタビラ
イザーとしてスズ(Sn)を有することが好ましい。また、スタビライザーとしてハフニ
ウム(Hf)を有することが好ましい。また、スタビライザーとしてアルミニウム(Al
)を有することが好ましい。
また、他のスタビライザーとして、ランタノイドである、ランタン(La)、セリウム(
Ce)、プラセオジム(Pr)、ネオジム(Nd)、サマリウム(Sm)、ユウロピウム
(Eu)、ガドリニウム(Gd)、テルビウム(Tb)、ジスプロシウム(Dy)、ホル
ミウム(Ho)、エルビウム(Er)、ツリウム(Tm)、イッテルビウム(Yb)、ル
テチウム(Lu)のいずれか一種あるいは複数種を有してもよい。
Ce)、プラセオジム(Pr)、ネオジム(Nd)、サマリウム(Sm)、ユウロピウム
(Eu)、ガドリニウム(Gd)、テルビウム(Tb)、ジスプロシウム(Dy)、ホル
ミウム(Ho)、エルビウム(Er)、ツリウム(Tm)、イッテルビウム(Yb)、ル
テチウム(Lu)のいずれか一種あるいは複数種を有してもよい。
例えば、酸化物半導体として、酸化インジウム、酸化スズ、酸化亜鉛、二元系金属の酸化
物であるIn-Zn系酸化物、Sn-Zn系酸化物、Al-Zn系酸化物、Zn-Mg系
酸化物、Sn-Mg系酸化物、In-Mg系酸化物、In-Ga系酸化物、三元系金属の
酸化物であるIn-Ga-Zn系酸化物(IGZOとも表記する)、In-Al-Zn系
酸化物、In-Sn-Zn系酸化物、Sn-Ga-Zn系酸化物、Al-Ga-Zn系酸
化物、Sn-Al-Zn系酸化物、In-Hf-Zn系酸化物、In-La-Zn系酸化
物、In-Ce-Zn系酸化物、In-Pr-Zn系酸化物、In-Nd-Zn系酸化物
、In-Sm-Zn系酸化物、In-Eu-Zn系酸化物、In-Gd-Zn系酸化物、
In-Tb-Zn系酸化物、In-Dy-Zn系酸化物、In-Ho-Zn系酸化物、I
n-Er-Zn系酸化物、In-Tm-Zn系酸化物、In-Yb-Zn系酸化物、In
-Lu-Zn系酸化物、四元系金属の酸化物であるIn-Sn-Ga-Zn系酸化物、I
n-Hf-Ga-Zn系酸化物、In-Al-Ga-Zn系酸化物、In-Sn-Al-
Zn系酸化物、In-Sn-Hf-Zn系酸化物、In-Hf-Al-Zn系酸化物を用
いることができる。また、上記酸化物半導体にSiO2を含ませてもよい。
物であるIn-Zn系酸化物、Sn-Zn系酸化物、Al-Zn系酸化物、Zn-Mg系
酸化物、Sn-Mg系酸化物、In-Mg系酸化物、In-Ga系酸化物、三元系金属の
酸化物であるIn-Ga-Zn系酸化物(IGZOとも表記する)、In-Al-Zn系
酸化物、In-Sn-Zn系酸化物、Sn-Ga-Zn系酸化物、Al-Ga-Zn系酸
化物、Sn-Al-Zn系酸化物、In-Hf-Zn系酸化物、In-La-Zn系酸化
物、In-Ce-Zn系酸化物、In-Pr-Zn系酸化物、In-Nd-Zn系酸化物
、In-Sm-Zn系酸化物、In-Eu-Zn系酸化物、In-Gd-Zn系酸化物、
In-Tb-Zn系酸化物、In-Dy-Zn系酸化物、In-Ho-Zn系酸化物、I
n-Er-Zn系酸化物、In-Tm-Zn系酸化物、In-Yb-Zn系酸化物、In
-Lu-Zn系酸化物、四元系金属の酸化物であるIn-Sn-Ga-Zn系酸化物、I
n-Hf-Ga-Zn系酸化物、In-Al-Ga-Zn系酸化物、In-Sn-Al-
Zn系酸化物、In-Sn-Hf-Zn系酸化物、In-Hf-Al-Zn系酸化物を用
いることができる。また、上記酸化物半導体にSiO2を含ませてもよい。
ここで、例えば、In-Ga-Zn系酸化物とは、インジウム(In)、ガリウム(Ga
)、亜鉛(Zn)を有する酸化物、という意味であり、InとGaとZnの比率は問わな
い。また、InとGaとZn以外の金属元素を含んでもよい。このとき、酸化物半導体の
化学量論比に対し、酸素を過剰にすると好ましい。酸素を過剰にすることで酸化物半導体
の酸素欠損に起因するキャリアの生成を抑制することができる。
)、亜鉛(Zn)を有する酸化物、という意味であり、InとGaとZnの比率は問わな
い。また、InとGaとZn以外の金属元素を含んでもよい。このとき、酸化物半導体の
化学量論比に対し、酸素を過剰にすると好ましい。酸素を過剰にすることで酸化物半導体
の酸素欠損に起因するキャリアの生成を抑制することができる。
また、酸化物半導体層は、化学式InMO3(ZnO)m(m>0)で表記される薄膜を
用いることができる。ここで、Mは、Sn、Zn、Ga、Al、Mn及びCoから選ばれ
た一の金属元素または複数の金属元素を示す。また、酸化物半導体として、In2SnO
5(ZnO)n(n>0)で表記される材料を用いてもよい。
用いることができる。ここで、Mは、Sn、Zn、Ga、Al、Mn及びCoから選ばれ
た一の金属元素または複数の金属元素を示す。また、酸化物半導体として、In2SnO
5(ZnO)n(n>0)で表記される材料を用いてもよい。
例えば、In:Ga:Zn=1:1:1(=1/3:1/3:1/3)あるいはIn:G
a:Zn=2:2:1(=2/5:2/5:1/5)の原子数比のIn-Ga-Zn系酸
化物やその組成の近傍の酸化物を用いることができる。あるいは、In:Sn:Zn=1
:1:1(=1/3:1/3:1/3)、In:Sn:Zn=2:1:3(=1/3:1
/6:1/2)あるいはIn:Sn:Zn=2:1:5(=1/4:1/8:5/8)の
原子数比のIn-Sn-Zn系酸化物やその組成の近傍の酸化物を用いるとよい。
a:Zn=2:2:1(=2/5:2/5:1/5)の原子数比のIn-Ga-Zn系酸
化物やその組成の近傍の酸化物を用いることができる。あるいは、In:Sn:Zn=1
:1:1(=1/3:1/3:1/3)、In:Sn:Zn=2:1:3(=1/3:1
/6:1/2)あるいはIn:Sn:Zn=2:1:5(=1/4:1/8:5/8)の
原子数比のIn-Sn-Zn系酸化物やその組成の近傍の酸化物を用いるとよい。
しかし、これらに限られず、必要とする半導体特性(移動度、しきい値、ばらつき等)に
応じて適切な組成のものを用いればよい。また、必要とする半導体特性を得るために、キ
ャリア濃度や不純物濃度、欠陥密度、金属元素と酸素の原子数比、原子間距離、密度等を
適切なものとすることが好ましい。
応じて適切な組成のものを用いればよい。また、必要とする半導体特性を得るために、キ
ャリア濃度や不純物濃度、欠陥密度、金属元素と酸素の原子数比、原子間距離、密度等を
適切なものとすることが好ましい。
例えば、In-Sn-Zn系酸化物では比較的容易に高い移動度が得られる。しかしなが
ら、In-Ga-Zn系酸化物でも、バルク内欠陥密度を低減することにより移動度を上
げることができる。
ら、In-Ga-Zn系酸化物でも、バルク内欠陥密度を低減することにより移動度を上
げることができる。
なお、例えば、In、Ga、Znの原子数比がIn:Ga:Zn=a:b:c(a+b+
c=1)である酸化物と、原子数比がIn:Ga:Zn=A:B:C(A+B+C=1)
の酸化物の組成が近傍であるとは、a、b、cが、
(a―A)2+(b―B)2+(c―C)2≦r2
を満たすことを言い、rは、例えば、0.05とすればよい。他の酸化物でも同様である
。
c=1)である酸化物と、原子数比がIn:Ga:Zn=A:B:C(A+B+C=1)
の酸化物の組成が近傍であるとは、a、b、cが、
(a―A)2+(b―B)2+(c―C)2≦r2
を満たすことを言い、rは、例えば、0.05とすればよい。他の酸化物でも同様である
。
酸化物半導体膜は、例えば非単結晶を有してもよい。非単結晶は、例えば、CAAC(C
Axis Aligned Crystal)、多結晶、微結晶、非晶質部を有する。
非晶質部は、微結晶、CAACよりも欠陥準位密度が高い。また、微結晶は、CAACよ
りも欠陥準位密度が高い。なお、CAACを有する酸化物半導体を、CAAC-OS(C
Axis Aligned Crystalline Oxide Semicond
uctor)と呼ぶ。
Axis Aligned Crystal)、多結晶、微結晶、非晶質部を有する。
非晶質部は、微結晶、CAACよりも欠陥準位密度が高い。また、微結晶は、CAACよ
りも欠陥準位密度が高い。なお、CAACを有する酸化物半導体を、CAAC-OS(C
Axis Aligned Crystalline Oxide Semicond
uctor)と呼ぶ。
非晶質(アモルファス)状態の酸化物半導体膜は、比較的容易に平坦な表面を得ることが
できるため、これを用いてトランジスタを作製した際の界面散乱を低減でき、比較的容易
に、比較的高い移動度を得ることができる。
できるため、これを用いてトランジスタを作製した際の界面散乱を低減でき、比較的容易
に、比較的高い移動度を得ることができる。
また、結晶性を有する酸化物半導体膜では、よりバルク内欠陥を低減することができ、表
面の平坦性を高めればアモルファス状態の酸化物半導体膜以上の移動度を得ることができ
る。表面の平坦性を高めるためには、平坦な表面上に酸化物半導体膜を形成することが好
ましく、具体的には、平均面粗さ(Ra)が1nm以下、好ましくは0.3nm以下、よ
り好ましくは0.1nm以下の表面上に形成するとよい。なお、Raは原子間力顕微鏡(
AFM:Atomic Force Microscope)にて評価可能である。
面の平坦性を高めればアモルファス状態の酸化物半導体膜以上の移動度を得ることができ
る。表面の平坦性を高めるためには、平坦な表面上に酸化物半導体膜を形成することが好
ましく、具体的には、平均面粗さ(Ra)が1nm以下、好ましくは0.3nm以下、よ
り好ましくは0.1nm以下の表面上に形成するとよい。なお、Raは原子間力顕微鏡(
AFM:Atomic Force Microscope)にて評価可能である。
また、酸化物半導体膜としてIn-Zn系酸化物の材料を用いる場合、原子数比で、In
/Zn=0.5以上50以下、好ましくはIn/Zn=1以上20以下、さらに好ましく
はIn/Zn=1.5以上15以下とする。Znの原子数比を好ましい前記範囲とするこ
とで、トランジスタの電界効果移動度を向上させることができる。ここで、化合物の原子
数比がIn:Zn:O=X:Y:Zのとき、Z>1.5X+Yとする。
/Zn=0.5以上50以下、好ましくはIn/Zn=1以上20以下、さらに好ましく
はIn/Zn=1.5以上15以下とする。Znの原子数比を好ましい前記範囲とするこ
とで、トランジスタの電界効果移動度を向上させることができる。ここで、化合物の原子
数比がIn:Zn:O=X:Y:Zのとき、Z>1.5X+Yとする。
酸化物半導体膜は、例えばCAAC-OSを有してもよい。CAAC-OSは、例えば、
c軸配向し、a軸または/およびb軸はマクロに揃っていない。
c軸配向し、a軸または/およびb軸はマクロに揃っていない。
酸化物半導体膜は、例えば微結晶を有してもよい。なお、微結晶を有する酸化物半導体を
、微結晶酸化物半導体と呼ぶ。微結晶酸化物半導体膜は、例えば、1nm以上10nm未
満のサイズの微結晶(ナノ結晶ともいう。)を膜中に含む。または、微結晶酸化物半導体
膜は、例えば、1nm以上10nm未満の結晶部を有する結晶-非晶質混相構造の酸化物
半導体を有している。
、微結晶酸化物半導体と呼ぶ。微結晶酸化物半導体膜は、例えば、1nm以上10nm未
満のサイズの微結晶(ナノ結晶ともいう。)を膜中に含む。または、微結晶酸化物半導体
膜は、例えば、1nm以上10nm未満の結晶部を有する結晶-非晶質混相構造の酸化物
半導体を有している。
酸化物半導体膜は、例えば非晶質部を有してもよい。なお、非晶質部を有する酸化物半導
体を、非晶質酸化物半導体と呼ぶ。非晶質酸化物半導体膜は、例えば、原子配列が無秩序
であり、結晶成分を有さない。または、非晶質酸化物半導体膜は、例えば、完全な非晶質
であり、結晶部を有さない。
体を、非晶質酸化物半導体と呼ぶ。非晶質酸化物半導体膜は、例えば、原子配列が無秩序
であり、結晶成分を有さない。または、非晶質酸化物半導体膜は、例えば、完全な非晶質
であり、結晶部を有さない。
なお、酸化物半導体膜が、CAAC-OS、微結晶酸化物半導体、非晶質酸化物半導体の
混合膜であってもよい。混合膜は、例えば、非晶質酸化物半導体の領域と、微結晶酸化物
半導体の領域と、CAAC-OSの領域と、を有する。また、混合膜は、例えば、非晶質
酸化物半導体の領域と、微結晶酸化物半導体の領域と、CAAC-OSの領域と、の積層
構造を有してもよい。
混合膜であってもよい。混合膜は、例えば、非晶質酸化物半導体の領域と、微結晶酸化物
半導体の領域と、CAAC-OSの領域と、を有する。また、混合膜は、例えば、非晶質
酸化物半導体の領域と、微結晶酸化物半導体の領域と、CAAC-OSの領域と、の積層
構造を有してもよい。
なお、酸化物半導体膜は、例えば、単結晶を有してもよい。
酸化物半導体膜は、複数の結晶部を有し、当該結晶部のc軸が被形成面の法線ベクトルま
たは表面の法線ベクトルに平行な方向に揃っていることが好ましい。なお、異なる結晶部
間で、それぞれa軸およびb軸の向きが異なっていてもよい。そのような酸化物半導体膜
の一例としては、CAAC-OS膜がある。
たは表面の法線ベクトルに平行な方向に揃っていることが好ましい。なお、異なる結晶部
間で、それぞれa軸およびb軸の向きが異なっていてもよい。そのような酸化物半導体膜
の一例としては、CAAC-OS膜がある。
CAAC-OS膜は、完全な非晶質ではない。CAAC-OS膜は、例えば、結晶部およ
び非晶質部を有する結晶-非晶質混相構造の酸化物半導体を有している。なお、当該結晶
部は、一辺が100nm未満の立方体内に収まる大きさであることが多い。また、透過型
電子顕微鏡(TEM:Transmission Electron Microsco
pe)による観察像では、CAAC-OS膜に含まれる非晶質部と結晶部との境界、結晶
部と結晶部との境界は明確ではない。また、TEMによってCAAC-OS膜には粒界(
グレインバウンダリーともいう。)は確認できない。そのため、CAAC-OS膜は、粒
界に起因する電子移動度の低下が抑制される。
び非晶質部を有する結晶-非晶質混相構造の酸化物半導体を有している。なお、当該結晶
部は、一辺が100nm未満の立方体内に収まる大きさであることが多い。また、透過型
電子顕微鏡(TEM:Transmission Electron Microsco
pe)による観察像では、CAAC-OS膜に含まれる非晶質部と結晶部との境界、結晶
部と結晶部との境界は明確ではない。また、TEMによってCAAC-OS膜には粒界(
グレインバウンダリーともいう。)は確認できない。そのため、CAAC-OS膜は、粒
界に起因する電子移動度の低下が抑制される。
CAAC-OS膜に含まれる結晶部は、c軸がCAAC-OS膜の被形成面の法線ベクト
ルまたは表面の法線ベクトルに平行な方向に揃い、かつab面に垂直な方向から見て三角
形状または六角形状の原子配列を有し、c軸に垂直な方向から見て金属原子が層状または
金属原子と酸素原子とが層状に配列している。なお、異なる結晶部間で、それぞれa軸お
よびb軸の向きが異なっていてもよい。本明細書において、単に垂直と記載する場合、8
0°以上100°以下、好ましくは85°以上95°以下の範囲が含まれることとする。
また、単に平行と記載する場合、-10°以上10°以下、好ましくは-5°以上5°以
下の範囲が含まれることとする。
ルまたは表面の法線ベクトルに平行な方向に揃い、かつab面に垂直な方向から見て三角
形状または六角形状の原子配列を有し、c軸に垂直な方向から見て金属原子が層状または
金属原子と酸素原子とが層状に配列している。なお、異なる結晶部間で、それぞれa軸お
よびb軸の向きが異なっていてもよい。本明細書において、単に垂直と記載する場合、8
0°以上100°以下、好ましくは85°以上95°以下の範囲が含まれることとする。
また、単に平行と記載する場合、-10°以上10°以下、好ましくは-5°以上5°以
下の範囲が含まれることとする。
なお、CAAC-OS膜において、結晶部の分布が一様でなくてもよい。例えば、CAA
C-OS膜の形成過程において、酸化物半導体膜の表面側から結晶成長させる場合、被形
成面の近傍に対し表面の近傍では結晶部の占める割合が高くなることがある。また、CA
AC-OS膜へ不純物を添加することにより、当該不純物添加領域において結晶部が非晶
質化することもある。
C-OS膜の形成過程において、酸化物半導体膜の表面側から結晶成長させる場合、被形
成面の近傍に対し表面の近傍では結晶部の占める割合が高くなることがある。また、CA
AC-OS膜へ不純物を添加することにより、当該不純物添加領域において結晶部が非晶
質化することもある。
CAAC-OS膜に含まれる結晶部のc軸は、CAAC-OS膜の被形成面の法線ベクト
ルまたは表面の法線ベクトルに平行な方向に揃うため、CAAC-OS膜の形状(被形成
面の断面形状または表面の断面形状)によっては互いに異なる方向を向くことがある。ま
た、結晶部は、成膜したとき、または成膜後に加熱処理などの結晶化処理を行ったときに
形成される。従って、結晶部のc軸の方向は、CAAC-OS膜が形成されたときの被形
成面の法線ベクトルまたは表面の法線ベクトルに平行な方向になるように揃う。
ルまたは表面の法線ベクトルに平行な方向に揃うため、CAAC-OS膜の形状(被形成
面の断面形状または表面の断面形状)によっては互いに異なる方向を向くことがある。ま
た、結晶部は、成膜したとき、または成膜後に加熱処理などの結晶化処理を行ったときに
形成される。従って、結晶部のc軸の方向は、CAAC-OS膜が形成されたときの被形
成面の法線ベクトルまたは表面の法線ベクトルに平行な方向になるように揃う。
CAAC-OS膜を用いたトランジスタは、可視光や紫外光の照射による電気特性の変動
が小さい。よって、当該トランジスタは、信頼性が高い。
が小さい。よって、当該トランジスタは、信頼性が高い。
なお、酸化物半導体を構成する酸素の一部は窒素で置換されてもよい。
また、CAAC-OSのように結晶部を有する酸化物半導体では、よりバルク内欠陥を低
減することができ、表面の平坦性を高めればアモルファス状態の酸化物半導体以上の移動
度を得ることができる。表面の平坦性を高めるためには、平坦な表面上に酸化物半導体を
形成することが好ましく、具体的には、平均面粗さ(Ra)が1nm以下、好ましくは0
.3nm以下、より好ましくは0.1nm以下の表面上に形成するとよい。Raは原子間
力顕微鏡(AFM:Atomic Force Microscope)にて評価可能で
ある。
減することができ、表面の平坦性を高めればアモルファス状態の酸化物半導体以上の移動
度を得ることができる。表面の平坦性を高めるためには、平坦な表面上に酸化物半導体を
形成することが好ましく、具体的には、平均面粗さ(Ra)が1nm以下、好ましくは0
.3nm以下、より好ましくは0.1nm以下の表面上に形成するとよい。Raは原子間
力顕微鏡(AFM:Atomic Force Microscope)にて評価可能で
ある。
ただし、本実施の形態で説明するトランジスタ150は、ボトムゲート型であるため、酸
化物半導体膜の下方には、ゲート電極103とゲート絶縁層104が存在している。従っ
て、上記平坦な表面を得るために基板上にゲート電極103及びゲート絶縁層104を形
成した後、少なくともゲート電極103と重畳するゲート絶縁層104の表面に対して化
学的機械研磨(CMP:Chemical Mechanical Polishing
)処理などの平坦化処理を行ってもよい。
化物半導体膜の下方には、ゲート電極103とゲート絶縁層104が存在している。従っ
て、上記平坦な表面を得るために基板上にゲート電極103及びゲート絶縁層104を形
成した後、少なくともゲート電極103と重畳するゲート絶縁層104の表面に対して化
学的機械研磨(CMP:Chemical Mechanical Polishing
)処理などの平坦化処理を行ってもよい。
酸化物半導体層105の厚さは、1nm以上30nm以下(好ましくは5nm以上10n
m以下)とし、スパッタリング法、MBE(Molecular Beam Epita
xy)法、CVD法、パルスレーザ堆積法、ALD(Atomic Layer Dep
osition)法等を適宜用いることができる。また、酸化物半導体層105は、スパ
ッタリングターゲット表面に対し、概略垂直に複数の基板表面がセットされた状態で成膜
を行うスパッタ装置を用いて成膜してもよい。
m以下)とし、スパッタリング法、MBE(Molecular Beam Epita
xy)法、CVD法、パルスレーザ堆積法、ALD(Atomic Layer Dep
osition)法等を適宜用いることができる。また、酸化物半導体層105は、スパ
ッタリングターゲット表面に対し、概略垂直に複数の基板表面がセットされた状態で成膜
を行うスパッタ装置を用いて成膜してもよい。
続いて、トランジスタ150の作製方法の一例を、図2及び図3を用いて説明する。
まず、基板101上に絶縁層102を形成し、絶縁層102上にゲート電極103を形成
する(図2(A)参照)。基板101に使用することができる基板に大きな制限はないが
、少なくとも、後の熱処理に耐えうる程度の耐熱性を有していることが必要となる。例え
ば、ガラス基板、セラミック基板、シリコンや炭化シリコンなどの単結晶半導体基板また
は多結晶半導体基板、シリコンゲルマニウムなどの化合物半導体基板、SOI基板の他、
本作製工程の処理温度に耐えうる程度の耐熱性を有するプラスチック基板等を用いること
ができる。また、これらの基板上に半導体素子が設けられたものを、基板101として用
いてもよい。
する(図2(A)参照)。基板101に使用することができる基板に大きな制限はないが
、少なくとも、後の熱処理に耐えうる程度の耐熱性を有していることが必要となる。例え
ば、ガラス基板、セラミック基板、シリコンや炭化シリコンなどの単結晶半導体基板また
は多結晶半導体基板、シリコンゲルマニウムなどの化合物半導体基板、SOI基板の他、
本作製工程の処理温度に耐えうる程度の耐熱性を有するプラスチック基板等を用いること
ができる。また、これらの基板上に半導体素子が設けられたものを、基板101として用
いてもよい。
ガラス基板としては、例えば、バリウムホウケイ酸ガラス、アルミノホウケイ酸ガラスま
たはアルミノケイ酸ガラス等の無アルカリガラス基板を用いるとよい。他に、石英基板、
サファイア基板などを用いることができる。また、基板101として、可撓性基板(フレ
キシブル基板)を用いてもよい。可撓性基板を用いる場合、可撓性基板上に、トランジス
タ150を直接作製してもよいし、他の作製基板上にトランジスタ150を作製し、その
後可撓性基板に剥離、転置してもよい。なお、作製基板から可撓性基板に剥離、転置する
ために、作製基板とトランジスタとの間に、剥離層を設けるとよい。本実施の形態では、
基板101として、アルミノホウケイ酸ガラスを用いる。
たはアルミノケイ酸ガラス等の無アルカリガラス基板を用いるとよい。他に、石英基板、
サファイア基板などを用いることができる。また、基板101として、可撓性基板(フレ
キシブル基板)を用いてもよい。可撓性基板を用いる場合、可撓性基板上に、トランジス
タ150を直接作製してもよいし、他の作製基板上にトランジスタ150を作製し、その
後可撓性基板に剥離、転置してもよい。なお、作製基板から可撓性基板に剥離、転置する
ために、作製基板とトランジスタとの間に、剥離層を設けるとよい。本実施の形態では、
基板101として、アルミノホウケイ酸ガラスを用いる。
絶縁層102は下地層として機能し、基板101からの不純物元素の拡散を防止または低
減することができる。絶縁層102は、窒化アルミニウム、酸化アルミニウム、窒化酸化
アルミニウム、酸化窒化アルミニウム、酸化ガリウム、窒化シリコン、酸化シリコン、窒
化酸化シリコンまたは酸化窒化シリコンから選ばれた材料を、単層でまたは積層して形成
する。なお、本明細書中において、窒化酸化とは、その組成として、酸素よりも窒素の含
有量が多いものであって、酸化窒化とは、その組成として、窒素よりも酸素の含有量が多
いものを示す。なお、各元素の含有量は、例えば、ラザフォード後方散乱法(RBS:R
utherford Backscattering Spectrometry)等を
用いて測定することができる。絶縁層102は、スパッタリング法、CVD法、塗布法、
印刷法等を用いて形成することができる。
減することができる。絶縁層102は、窒化アルミニウム、酸化アルミニウム、窒化酸化
アルミニウム、酸化窒化アルミニウム、酸化ガリウム、窒化シリコン、酸化シリコン、窒
化酸化シリコンまたは酸化窒化シリコンから選ばれた材料を、単層でまたは積層して形成
する。なお、本明細書中において、窒化酸化とは、その組成として、酸素よりも窒素の含
有量が多いものであって、酸化窒化とは、その組成として、窒素よりも酸素の含有量が多
いものを示す。なお、各元素の含有量は、例えば、ラザフォード後方散乱法(RBS:R
utherford Backscattering Spectrometry)等を
用いて測定することができる。絶縁層102は、スパッタリング法、CVD法、塗布法、
印刷法等を用いて形成することができる。
また、絶縁層102に、塩素、フッ素などのハロゲン元素を含ませることで、基板101
からの不純物元素の拡散を防止または低減する機能をさらに高めることができる。絶縁層
102に含ませるハロゲン元素の濃度は、二次イオン質量分析法(SIMS:Secon
dary Ion Mass Spectrometry)を用いた分析により得られる
濃度ピークにおいて、1×1015/cm3以上1×1020/cm3以下とすればよい
。
からの不純物元素の拡散を防止または低減する機能をさらに高めることができる。絶縁層
102に含ませるハロゲン元素の濃度は、二次イオン質量分析法(SIMS:Secon
dary Ion Mass Spectrometry)を用いた分析により得られる
濃度ピークにおいて、1×1015/cm3以上1×1020/cm3以下とすればよい
。
本実施の形態では、基板101上に絶縁層102としてプラズマCVD法を用いて膜厚2
00nmの酸化窒化シリコンを形成する。また、絶縁層102形成時の温度は、基板10
1が耐えうる温度以下で、より高いほうが好ましい。例えば、基板101を350℃以上
450℃以下の温度に加熱しながら絶縁層102を形成する。なお、絶縁層102形成時
の温度は一定であることが好ましい。例えば、絶縁層102の形成を、基板を350℃に
加熱して行う。
00nmの酸化窒化シリコンを形成する。また、絶縁層102形成時の温度は、基板10
1が耐えうる温度以下で、より高いほうが好ましい。例えば、基板101を350℃以上
450℃以下の温度に加熱しながら絶縁層102を形成する。なお、絶縁層102形成時
の温度は一定であることが好ましい。例えば、絶縁層102の形成を、基板を350℃に
加熱して行う。
また、絶縁層102の形成後、減圧下、窒素雰囲気下、希ガス雰囲気下、または超乾燥エ
ア窒素雰囲気下において、加熱処理を行ってもよい。加熱処理により絶縁層102に含ま
れる水素、水分、水素化物、または水酸化物などの濃度を低減することができる。加熱処
理温度は、基板101が耐えうる温度以下で、より高い温度で行うことが好ましい。具体
的には、絶縁層102の成膜温度以上、基板101の歪点未満で行うことが好ましい。
ア窒素雰囲気下において、加熱処理を行ってもよい。加熱処理により絶縁層102に含ま
れる水素、水分、水素化物、または水酸化物などの濃度を低減することができる。加熱処
理温度は、基板101が耐えうる温度以下で、より高い温度で行うことが好ましい。具体
的には、絶縁層102の成膜温度以上、基板101の歪点未満で行うことが好ましい。
また、絶縁層102の形成後、絶縁層102に酸素ドープ処理を行い、絶縁層102を酸
素過剰な状態としてもよい。なお、絶縁層102への酸素ドープ処理は、上記加熱処理後
に行うことが好ましい。
素過剰な状態としてもよい。なお、絶縁層102への酸素ドープ処理は、上記加熱処理後
に行うことが好ましい。
次に、スパッタリング法、真空蒸着法、またはメッキ法を用いて後にゲート電極103と
なる導電層を形成する。ゲート電極103となる導電層は、アルミニウム(Al)、クロ
ム(Cr)、銅(Cu)、タンタル(Ta)、チタン(Ti)、モリブデン(Mo)、タ
ングステン(W)、ネオジム(Nd)、スカンジウム(Sc)から選ばれた金属元素、上
述した金属元素を成分とする合金、上述した金属元素を組み合わせた合金、上述した金属
元素の窒化物などを用いて形成することができる。また、マンガン(Mn)、マグネシウ
ム(Mg)、ジルコニウム(Zr)、ベリリウム(Be)のいずれか一または複数から選
択された金属元素を含む材料用いてもよい。また、リン等の不純物元素を含有させた多結
晶シリコンに代表される半導体、ニッケルシリサイドなどのシリサイドを用いてもよい。
なる導電層を形成する。ゲート電極103となる導電層は、アルミニウム(Al)、クロ
ム(Cr)、銅(Cu)、タンタル(Ta)、チタン(Ti)、モリブデン(Mo)、タ
ングステン(W)、ネオジム(Nd)、スカンジウム(Sc)から選ばれた金属元素、上
述した金属元素を成分とする合金、上述した金属元素を組み合わせた合金、上述した金属
元素の窒化物などを用いて形成することができる。また、マンガン(Mn)、マグネシウ
ム(Mg)、ジルコニウム(Zr)、ベリリウム(Be)のいずれか一または複数から選
択された金属元素を含む材料用いてもよい。また、リン等の不純物元素を含有させた多結
晶シリコンに代表される半導体、ニッケルシリサイドなどのシリサイドを用いてもよい。
また、ゲート電極103となる導電層は、単層構造でも、二層以上の積層構造としてもよ
い。例えば、シリコンを含むアルミニウムを用いた単層構造、アルミニウム上にチタンを
積層する二層構造、窒化チタン上にチタンを積層する二層構造、窒化チタン上にタングス
テンを積層する二層構造、窒化タンタル上にタングステンを積層する二層構造、Cu-M
g-Al合金上にCuを積層する二層構造、窒化チタン上に銅を積層し、さらにその上に
タングステンを形成する三層構造などがある。
い。例えば、シリコンを含むアルミニウムを用いた単層構造、アルミニウム上にチタンを
積層する二層構造、窒化チタン上にチタンを積層する二層構造、窒化チタン上にタングス
テンを積層する二層構造、窒化タンタル上にタングステンを積層する二層構造、Cu-M
g-Al合金上にCuを積層する二層構造、窒化チタン上に銅を積層し、さらにその上に
タングステンを形成する三層構造などがある。
また、ゲート電極103となる導電層は、インジウム錫酸化物、酸化タングステンを含む
インジウム酸化物、酸化タングステンを含むインジウム亜鉛酸化物、酸化チタンを含むイ
ンジウム酸化物、酸化チタンを含むインジウム錫酸化物、インジウム亜鉛酸化物、酸化ケ
イ素を添加したインジウム錫酸化物などの透光性を有する導電性材料を適用することもで
きる。また、上記透光性を有する導電性材料と、上記金属元素を含む材料の積層構造とす
ることもできる。
インジウム酸化物、酸化タングステンを含むインジウム亜鉛酸化物、酸化チタンを含むイ
ンジウム酸化物、酸化チタンを含むインジウム錫酸化物、インジウム亜鉛酸化物、酸化ケ
イ素を添加したインジウム錫酸化物などの透光性を有する導電性材料を適用することもで
きる。また、上記透光性を有する導電性材料と、上記金属元素を含む材料の積層構造とす
ることもできる。
また、ゲート電極103となる導電層として、窒素を含む金属酸化物、具体的には、窒素
を含むIn-Ga-Zn系酸化物や、窒素を含むIn-Sn系酸化物や、窒素を含むIn
-Ga系酸化物や、窒素を含むIn-Zn系酸化物や、窒素を含むSn系酸化物や、窒素
を含むIn系酸化物や、金属窒化膜(InN、SnNなど)を用いることができる。
を含むIn-Ga-Zn系酸化物や、窒素を含むIn-Sn系酸化物や、窒素を含むIn
-Ga系酸化物や、窒素を含むIn-Zn系酸化物や、窒素を含むSn系酸化物や、窒素
を含むIn系酸化物や、金属窒化膜(InN、SnNなど)を用いることができる。
これらの材料は5eV(電子ボルト)以上の仕事関数を有し、ゲート電極として用いた場
合、トランジスタのしきい値電圧をプラスにすることができ、所謂ノーマリーオフのn型
トランジスタを実現できる。
合、トランジスタのしきい値電圧をプラスにすることができ、所謂ノーマリーオフのn型
トランジスタを実現できる。
本実施の形態では、ゲート電極103となる導電層として、スパッタリング法により厚さ
100nmのタングステンを形成する。
100nmのタングステンを形成する。
次に、ゲート電極103となる導電層の一部を選択的にエッチングして、ゲート電極10
3(これと同じ層で形成される配線を含む)を形成する。導電層の一部を選択的にエッチ
ングする場合は、導電層上にレジストマスクを形成し、ドライエッチング法またはウェッ
トエッチング法により、導電層の不要部分を除去すればよい。また、導電層のエッチング
を、ドライエッチング法とウェットエッチング法の両方を組み合わせて行ってもよい。導
電層上に形成するレジストマスクはフォトリソグラフィ法、印刷法、インクジェット法等
を適宜用いることができる。レジストマスクをインクジェット法で形成するとフォトマス
クを使用しないため、製造コストを低減できる。
3(これと同じ層で形成される配線を含む)を形成する。導電層の一部を選択的にエッチ
ングする場合は、導電層上にレジストマスクを形成し、ドライエッチング法またはウェッ
トエッチング法により、導電層の不要部分を除去すればよい。また、導電層のエッチング
を、ドライエッチング法とウェットエッチング法の両方を組み合わせて行ってもよい。導
電層上に形成するレジストマスクはフォトリソグラフィ法、印刷法、インクジェット法等
を適宜用いることができる。レジストマスクをインクジェット法で形成するとフォトマス
クを使用しないため、製造コストを低減できる。
導電層のエッチングをドライエッチング法で行う場合は、エッチングガスとしてハロゲン
元素を含むガスを用いることができる。ハロゲン元素を含むガスの一例としては、塩素(
Cl2)、三塩化硼素(BCl3)、四塩化珪素(SiCl4)もしくは四塩化炭素(C
Cl4)などを代表とする塩素系ガス、四フッ化炭素(CF4)、六フッ化硫黄(SF6
)、三フッ化窒素(NF3)もしくはトリフルオロメタン(CHF3)などを代表とする
フッ素系ガス、臭化水素(HBr)または酸素を適宜用いることができる。また用いるエ
ッチング用ガスに不活性気体を添加してもよい。また、ドライエッチング法としては、反
応性イオンエッチング(RIE:Reactive Ion Etching)法を用い
ることができる。
元素を含むガスを用いることができる。ハロゲン元素を含むガスの一例としては、塩素(
Cl2)、三塩化硼素(BCl3)、四塩化珪素(SiCl4)もしくは四塩化炭素(C
Cl4)などを代表とする塩素系ガス、四フッ化炭素(CF4)、六フッ化硫黄(SF6
)、三フッ化窒素(NF3)もしくはトリフルオロメタン(CHF3)などを代表とする
フッ素系ガス、臭化水素(HBr)または酸素を適宜用いることができる。また用いるエ
ッチング用ガスに不活性気体を添加してもよい。また、ドライエッチング法としては、反
応性イオンエッチング(RIE:Reactive Ion Etching)法を用い
ることができる。
また、プラズマ源として、容量結合型プラズマ(CCP:Capacitively C
oupled Plasma)、誘導結合プラズマ(ICP:Inductively
Coupled Plasma)、電子サイクロトロン共鳴(ECR:Electron
Cyclotron Resonance)プラズマ、ヘリコン波励起プラズマ(HW
P:Helicon Wave Plasma)、マイクロ波励起表面波プラズマ(SW
P:Surface Wave Plasma)などを用いることができる。特に、IC
P、ECR、HWP、及びSWPは、高密度のプラズマを生成することができる。ドライ
エッチング法で行うエッチング(以下、「ドライエッチング処理」ともいう)は、所望の
加工形状にエッチングできるように、エッチング条件(コイル型の電極に印加される電力
量、基板側の電極に印加される電力量、基板側の電極温度等)を適宜調節して行う。
oupled Plasma)、誘導結合プラズマ(ICP:Inductively
Coupled Plasma)、電子サイクロトロン共鳴(ECR:Electron
Cyclotron Resonance)プラズマ、ヘリコン波励起プラズマ(HW
P:Helicon Wave Plasma)、マイクロ波励起表面波プラズマ(SW
P:Surface Wave Plasma)などを用いることができる。特に、IC
P、ECR、HWP、及びSWPは、高密度のプラズマを生成することができる。ドライ
エッチング法で行うエッチング(以下、「ドライエッチング処理」ともいう)は、所望の
加工形状にエッチングできるように、エッチング条件(コイル型の電極に印加される電力
量、基板側の電極に印加される電力量、基板側の電極温度等)を適宜調節して行う。
なお、フォトリソグラフィ法を用いて導電層や絶縁層上に任意形状のレジストマスクを形
成する工程をフォトリソグラフィ工程というが、一般にレジストマスク形成後には、エッ
チング工程とレジストマスクの剥離工程が行われることが多い。このため、特段の説明が
無い限り、本明細書でいうフォトリソグラフィ工程には、レジストマスクの形成工程と、
導電層または絶縁層のエッチング工程と、レジストマスクの剥離工程が含まれているもの
とする。
成する工程をフォトリソグラフィ工程というが、一般にレジストマスク形成後には、エッ
チング工程とレジストマスクの剥離工程が行われることが多い。このため、特段の説明が
無い限り、本明細書でいうフォトリソグラフィ工程には、レジストマスクの形成工程と、
導電層または絶縁層のエッチング工程と、レジストマスクの剥離工程が含まれているもの
とする。
また、ゲート電極103の断面形状、具体的には端部の断面形状(テーパー角や膜厚など
)を工夫することにより、ゲート電極103上に形成される層の被覆性を向上させること
ができる。
)を工夫することにより、ゲート電極103上に形成される層の被覆性を向上させること
ができる。
具体的には、ゲート電極103の断面形状が台形または三角形状となるように、ゲート電
極103の端部をテーパー形状とする。ここで、ゲート電極103端部のテーパー角θを
、60°以下、好ましくは45°以下、さらに好ましくは30°以下とする。このような
角度範囲とすることで、高いゲート電圧がゲート電極103に印加される場合、ソース電
極106a又はドレイン電極106bの端部近傍に生じる恐れのある電界集中を緩和する
ことができる。なお、テーパー角θとは、テーパー形状を有する層を、その断面(基板の
表面と直交する面)方向から観察した際に、当該層の側面と底面がなす当該層内の角度を
示す。また、テーパー角が90°未満である場合を順テーパーといい、テーパー角が90
°以上である場合を逆テーパーという。なお、ゲート電極103に限らず、各層の端部を
順テーパー形状とすることで、その上に被覆する層が途切れてしまう現象(段切れ)を防
ぎ、被覆性を良好なものとすることができる。
極103の端部をテーパー形状とする。ここで、ゲート電極103端部のテーパー角θを
、60°以下、好ましくは45°以下、さらに好ましくは30°以下とする。このような
角度範囲とすることで、高いゲート電圧がゲート電極103に印加される場合、ソース電
極106a又はドレイン電極106bの端部近傍に生じる恐れのある電界集中を緩和する
ことができる。なお、テーパー角θとは、テーパー形状を有する層を、その断面(基板の
表面と直交する面)方向から観察した際に、当該層の側面と底面がなす当該層内の角度を
示す。また、テーパー角が90°未満である場合を順テーパーといい、テーパー角が90
°以上である場合を逆テーパーという。なお、ゲート電極103に限らず、各層の端部を
順テーパー形状とすることで、その上に被覆する層が途切れてしまう現象(段切れ)を防
ぎ、被覆性を良好なものとすることができる。
次いで、ゲート電極103上にゲート絶縁層104を形成する(図2(B)参照)。
なお、ゲート絶縁層104の被覆性を向上させるために、ゲート電極103表面に平坦化
処理を行ってもよい。特にゲート絶縁層104として膜厚の薄い絶縁層を用いる場合、ゲ
ート電極103表面の平坦性が良好であることが好ましい。
処理を行ってもよい。特にゲート絶縁層104として膜厚の薄い絶縁層を用いる場合、ゲ
ート電極103表面の平坦性が良好であることが好ましい。
ゲート絶縁層104は、スパッタリング法、MBE法、CVD法、パルスレーザ堆積法、
ALD法等を適宜用いて形成することができる。また、μ波(例えば周波数2.45GH
z)を用いた高密度プラズマCVD法などを適用することができる。また、ゲート絶縁層
104は、スパッタリングターゲット表面に対し、概略垂直に複数の基板表面がセットさ
れた状態で成膜を行うスパッタ装置を用いて成膜してもよい。
ALD法等を適宜用いて形成することができる。また、μ波(例えば周波数2.45GH
z)を用いた高密度プラズマCVD法などを適用することができる。また、ゲート絶縁層
104は、スパッタリングターゲット表面に対し、概略垂直に複数の基板表面がセットさ
れた状態で成膜を行うスパッタ装置を用いて成膜してもよい。
ゲート絶縁層104の材料としては、窒化アルミニウム、酸化アルミニウム、窒化酸化ア
ルミニウム、酸化窒化アルミニウム、酸化ガリウム、窒化シリコン、酸化シリコン、窒化
酸化シリコンまたは酸化窒化シリコンから選ばれた材料を、単層でまたは積層して形成す
ることができる。本実施の形態では、ゲート絶縁層104として、ゲート絶縁層104a
とゲート絶縁層104bの積層を用いる。
ルミニウム、酸化窒化アルミニウム、酸化ガリウム、窒化シリコン、酸化シリコン、窒化
酸化シリコンまたは酸化窒化シリコンから選ばれた材料を、単層でまたは積層して形成す
ることができる。本実施の形態では、ゲート絶縁層104として、ゲート絶縁層104a
とゲート絶縁層104bの積層を用いる。
また、一般に、容量素子は対向する二つの電極の間に誘電体を挟む構成を有し、誘電体の
厚さが薄いほど(対向する二つの電極間距離が短いほど)、また、誘電体の誘電率が大き
いほど容量値が大きくなる。ただし、容量素子の容量値を増やすために誘電体を薄くする
と、二つの電極間に生じるリーク電流が増加しやすくなり、また、容量素子の絶縁耐圧が
低下しやすくなる。
厚さが薄いほど(対向する二つの電極間距離が短いほど)、また、誘電体の誘電率が大き
いほど容量値が大きくなる。ただし、容量素子の容量値を増やすために誘電体を薄くする
と、二つの電極間に生じるリーク電流が増加しやすくなり、また、容量素子の絶縁耐圧が
低下しやすくなる。
トランジスタのゲート電極、ゲート絶縁層、半導体層が重畳する部分は、前述した容量素
子として機能する(以下、「ゲート容量」ともいう)。なお、半導体層の、ゲート絶縁層
を介してゲート電極と重畳する領域にチャネルが形成される。すなわち、ゲート電極と、
チャネル形成領域が容量素子の二つの電極として機能し、ゲート絶縁層が容量素子の誘電
体として機能する。ゲート容量の容量値は大きいほうが好ましいが、容量値を増やすため
にゲート絶縁層を薄くすると、前述のリーク電流の増加や、絶縁耐圧の低下といった問題
が生じやすい。
子として機能する(以下、「ゲート容量」ともいう)。なお、半導体層の、ゲート絶縁層
を介してゲート電極と重畳する領域にチャネルが形成される。すなわち、ゲート電極と、
チャネル形成領域が容量素子の二つの電極として機能し、ゲート絶縁層が容量素子の誘電
体として機能する。ゲート容量の容量値は大きいほうが好ましいが、容量値を増やすため
にゲート絶縁層を薄くすると、前述のリーク電流の増加や、絶縁耐圧の低下といった問題
が生じやすい。
そこで、ゲート絶縁層104として、ハフニウムシリケート(HfSixOy(x>0、
y>0))、窒素が添加されたハフニウムシリケート(HfSixOyNz(x>0、y
>0、z>0))、窒素が添加されたハフニウムアルミネート(HfAlxOyNz(x
>0、y>0、z>0))、酸化ハフニウム、酸化イットリウムなどのhigh-k材料
を用いると、ゲート絶縁層104を厚くしても、ゲート電極103と酸化物半導体層10
5間の容量値を十分確保することが可能となる。
y>0))、窒素が添加されたハフニウムシリケート(HfSixOyNz(x>0、y
>0、z>0))、窒素が添加されたハフニウムアルミネート(HfAlxOyNz(x
>0、y>0、z>0))、酸化ハフニウム、酸化イットリウムなどのhigh-k材料
を用いると、ゲート絶縁層104を厚くしても、ゲート電極103と酸化物半導体層10
5間の容量値を十分確保することが可能となる。
例えば、ゲート絶縁層104として誘電率が大きいhigh-k材料を用いると、ゲート
絶縁層104を厚くしても、ゲート絶縁層104に酸化シリコンを用いた場合と同等の容
量値を実現できるため、ゲート電極103と酸化物半導体層105間に生じるリーク電流
を低減できる。また、ゲート電極103と同じ層を用いて形成された配線と、該配線と重
畳する他の配線との間に生じるリーク電流を低減できる。なお、ゲート絶縁層104をh
igh-k材料と、上記材料との積層構造としてもよい。
絶縁層104を厚くしても、ゲート絶縁層104に酸化シリコンを用いた場合と同等の容
量値を実現できるため、ゲート電極103と酸化物半導体層105間に生じるリーク電流
を低減できる。また、ゲート電極103と同じ層を用いて形成された配線と、該配線と重
畳する他の配線との間に生じるリーク電流を低減できる。なお、ゲート絶縁層104をh
igh-k材料と、上記材料との積層構造としてもよい。
ゲート絶縁層104は、後に形成される酸化物半導体層105と接する部分において酸素
を含むことが好ましい。本実施の形態においては、酸化物半導体層105と接するゲート
絶縁層104bは、膜中(バルク中)に少なくとも化学量論比を超える量の酸素が存在す
ることが好ましい。例えば、ゲート絶縁層104bとして、酸化シリコン膜を用いる場合
には、SiO2+α(ただし、α>0)とする。この酸化シリコン膜をゲート絶縁層10
4bとして用いることで、酸化物半導体層105に酸素を供給することができ、特性を良
好にすることができる。
を含むことが好ましい。本実施の形態においては、酸化物半導体層105と接するゲート
絶縁層104bは、膜中(バルク中)に少なくとも化学量論比を超える量の酸素が存在す
ることが好ましい。例えば、ゲート絶縁層104bとして、酸化シリコン膜を用いる場合
には、SiO2+α(ただし、α>0)とする。この酸化シリコン膜をゲート絶縁層10
4bとして用いることで、酸化物半導体層105に酸素を供給することができ、特性を良
好にすることができる。
ゲート絶縁層104aは、窒化シリコンや酸化アルミニウムなどの、水素、水分、水素化
物、または水酸化物などの不純物や、酸素に対するバリア性を有する材料を用いることが
好ましい。ゲート絶縁層104aを、バリア性を有する材料で形成することで、基板側か
らの上記不純物の侵入を防ぐとともに、ゲート絶縁層104b中に含まれる酸素の基板側
への拡散を防ぐことができる。なお、ゲート絶縁層104としてバリア性を有する材料を
用いることで、下地層として機能する絶縁層102の形成を省略することもできる。
物、または水酸化物などの不純物や、酸素に対するバリア性を有する材料を用いることが
好ましい。ゲート絶縁層104aを、バリア性を有する材料で形成することで、基板側か
らの上記不純物の侵入を防ぐとともに、ゲート絶縁層104b中に含まれる酸素の基板側
への拡散を防ぐことができる。なお、ゲート絶縁層104としてバリア性を有する材料を
用いることで、下地層として機能する絶縁層102の形成を省略することもできる。
また、ゲート絶縁層104を形成する前に、酸素、一酸化二窒素、もしくは希ガス(代表
的にはアルゴン)などを用いたプラズマ処理により、被形成面の表面に付着した水分や有
機物などの不純物を除去することが好ましい。
的にはアルゴン)などを用いたプラズマ処理により、被形成面の表面に付着した水分や有
機物などの不純物を除去することが好ましい。
また、ゲート絶縁層104の形成後、減圧下、窒素雰囲気下、希ガス雰囲気下、または超
乾燥エア窒素雰囲気下において、加熱処理を行ってもよい。加熱処理によりゲート絶縁層
104に含まれる水素、水分、水素化物、または水酸化物などの濃度を低減することがで
きる。加熱処理度は、基板101が耐えうる温度以下で、より高い温度で行うことが好ま
しい。具体的には、ゲート絶縁層104の成膜温度以上、基板101の歪点未満で行うこ
とが好ましい。
乾燥エア窒素雰囲気下において、加熱処理を行ってもよい。加熱処理によりゲート絶縁層
104に含まれる水素、水分、水素化物、または水酸化物などの濃度を低減することがで
きる。加熱処理度は、基板101が耐えうる温度以下で、より高い温度で行うことが好ま
しい。具体的には、ゲート絶縁層104の成膜温度以上、基板101の歪点未満で行うこ
とが好ましい。
また、ゲート絶縁層104の形成後、ゲート絶縁層104に酸素ドープ処理を行い、ゲー
ト絶縁層104を酸素過剰な状態としてもよい。酸素ドープ処理は、イオン注入法、イオ
ンドーピング法、プラズマイマージョンイオンインプランテーション法、酸素雰囲気下で
行うプラズマ処理などを用いて行うことができる。なお、ゲート絶縁層104への酸素ド
ープ処理は、上記加熱処理後に行うことが好ましい。
ト絶縁層104を酸素過剰な状態としてもよい。酸素ドープ処理は、イオン注入法、イオ
ンドーピング法、プラズマイマージョンイオンインプランテーション法、酸素雰囲気下で
行うプラズマ処理などを用いて行うことができる。なお、ゲート絶縁層104への酸素ド
ープ処理は、上記加熱処理後に行うことが好ましい。
酸素の供給源となる酸素を多く(過剰に)含むゲート絶縁層104を酸化物半導体層10
5と接して設けることによって、その後の熱処理により該ゲート絶縁層104から酸化物
半導体層105へ酸素を供給することができる。
5と接して設けることによって、その後の熱処理により該ゲート絶縁層104から酸化物
半導体層105へ酸素を供給することができる。
酸化物半導体層105へ酸素を供給することにより、酸化物半導体層105中の酸素欠損
を補填することができる。さらに、ゲート絶縁層104は、作製するトランジスタのサイ
ズやゲート電極103への段差被覆性を考慮して形成することが好ましい。
を補填することができる。さらに、ゲート絶縁層104は、作製するトランジスタのサイ
ズやゲート電極103への段差被覆性を考慮して形成することが好ましい。
次に、ゲート絶縁層104(ゲート絶縁層104b)上に、後に酸化物半導体層105と
なる酸化物半導体層115(図示せず)をスパッタリング法により形成する。
なる酸化物半導体層115(図示せず)をスパッタリング法により形成する。
また、酸化物半導体層115の形成に先立ち、ゲート絶縁層104の酸化物半導体層10
5が接して形成される領域に、平坦化処理を行ってもよい。平坦化処理としては、特に限
定されないが、研磨処理(例えば、CMP処理)、ドライエッチング処理、プラズマ処理
を用いることができる。
5が接して形成される領域に、平坦化処理を行ってもよい。平坦化処理としては、特に限
定されないが、研磨処理(例えば、CMP処理)、ドライエッチング処理、プラズマ処理
を用いることができる。
プラズマ処理としては、例えば、アルゴンガスを導入してプラズマを発生させる逆スパッ
タリングを行うことができる。逆スパッタリングとは、アルゴン雰囲気下で基板側にRF
電源を用いて電圧を印加して基板近傍にプラズマを形成して表面を改質する方法である。
なお、アルゴン雰囲気に代えて窒素、ヘリウム、酸素などを用いてもよい。逆スパッタリ
ングを行うと、ゲート絶縁層104の表面に付着している粉状物質(パーティクル、ごみ
ともいう)を除去することができる。
タリングを行うことができる。逆スパッタリングとは、アルゴン雰囲気下で基板側にRF
電源を用いて電圧を印加して基板近傍にプラズマを形成して表面を改質する方法である。
なお、アルゴン雰囲気に代えて窒素、ヘリウム、酸素などを用いてもよい。逆スパッタリ
ングを行うと、ゲート絶縁層104の表面に付着している粉状物質(パーティクル、ごみ
ともいう)を除去することができる。
また、平坦化処理としての、研磨処理、ドライエッチング処理、プラズマ処理は複数回行
ってもよく、それらを組み合わせて行ってもよい。また、組み合わせて行う場合、工程順
も特に限定されず、ゲート絶縁層104表面の凹凸状態に合わせて適宜設定すればよい。
ってもよく、それらを組み合わせて行ってもよい。また、組み合わせて行う場合、工程順
も特に限定されず、ゲート絶縁層104表面の凹凸状態に合わせて適宜設定すればよい。
なお、酸化物半導体層115を形成するためのスパッタリングガスは、希ガス(代表的に
はアルゴン)雰囲気、酸素ガス雰囲気、希ガス及び酸素の混合ガスを適宜用いる。また、
スパッタリングガスには、水素、水、水酸基または水素化物などの不純物が除去された高
純度ガスを用いることが好ましい。
はアルゴン)雰囲気、酸素ガス雰囲気、希ガス及び酸素の混合ガスを適宜用いる。また、
スパッタリングガスには、水素、水、水酸基または水素化物などの不純物が除去された高
純度ガスを用いることが好ましい。
なお、酸化物半導体層115は、酸素が多く含まれるような条件(例えば、酸素100%
の雰囲気下でスパッタリング法により成膜を行うなど)で形成して、酸素を多く含むまた
は酸素が過飽和な状態(好ましくは酸化物半導体が結晶状態における化学量論的組成に対
し、酸素の含有量が過剰な領域が含まれている状態)とすることが好ましい。
の雰囲気下でスパッタリング法により成膜を行うなど)で形成して、酸素を多く含むまた
は酸素が過飽和な状態(好ましくは酸化物半導体が結晶状態における化学量論的組成に対
し、酸素の含有量が過剰な領域が含まれている状態)とすることが好ましい。
例えば、スパッタリング法を用いて酸化物半導体層を形成する場合、スパッタリングガス
の酸素の占める割合が多い条件で行うことが好ましく、スパッタリングガスを酸素ガス1
00%として行うことが好ましい。スパッタリングガス中の酸素ガスの占める割合が多い
条件、特に酸素ガス100%で成膜すると、例えば形成温度を300℃以上としても、酸
化物半導体層中からのZnの放出が抑えられる。
の酸素の占める割合が多い条件で行うことが好ましく、スパッタリングガスを酸素ガス1
00%として行うことが好ましい。スパッタリングガス中の酸素ガスの占める割合が多い
条件、特に酸素ガス100%で成膜すると、例えば形成温度を300℃以上としても、酸
化物半導体層中からのZnの放出が抑えられる。
また、酸化物半導体層115は、銅、アルミニウム、塩素などの不純物がほとんど含まれ
ない高純度化されたものであることが望ましい。トランジスタの製造工程において、これ
らの不純物が混入または酸化物半導体層表面に付着する恐れのない工程を適宜選択するこ
とが好ましい。具体的には、酸化物半導体層中の銅濃度は1×1018atoms/cm
3以下、好ましくは1×1017atoms/cm3以下とする。また、酸化物半導体層
中のアルミニウム濃度は1×1018atoms/cm3以下とする。また、酸化物半導
体層中の塩素濃度は2×1018atoms/cm3以下とする。
ない高純度化されたものであることが望ましい。トランジスタの製造工程において、これ
らの不純物が混入または酸化物半導体層表面に付着する恐れのない工程を適宜選択するこ
とが好ましい。具体的には、酸化物半導体層中の銅濃度は1×1018atoms/cm
3以下、好ましくは1×1017atoms/cm3以下とする。また、酸化物半導体層
中のアルミニウム濃度は1×1018atoms/cm3以下とする。また、酸化物半導
体層中の塩素濃度は2×1018atoms/cm3以下とする。
また、酸化物半導体層115中のナトリウム(Na)、リチウム(Li)、カリウム(K
)などのアルカリ金属の濃度は、Naは5×1016cm-3以下、好ましくは1×10
16cm-3以下、さらに好ましくは1×1015cm-3以下、Liは5×1015c
m-3以下、好ましくは1×1015cm-3以下、Kは5×1015cm-3以下、好
ましくは1×1015cm-3以下とする。
)などのアルカリ金属の濃度は、Naは5×1016cm-3以下、好ましくは1×10
16cm-3以下、さらに好ましくは1×1015cm-3以下、Liは5×1015c
m-3以下、好ましくは1×1015cm-3以下、Kは5×1015cm-3以下、好
ましくは1×1015cm-3以下とする。
本実施の形態においては、酸化物半導体層115として、AC電源装置を有するスパッタ
リング装置を用いたスパッタリング法により、膜厚35nmのIn-Ga-Zn系酸化物
(IGZO)を形成する。スパッタリング法で作製するためのターゲットとしては、組成
として、In:Ga:Zn=1:1:1[原子数比]の金属酸化物ターゲットを用いる。
リング装置を用いたスパッタリング法により、膜厚35nmのIn-Ga-Zn系酸化物
(IGZO)を形成する。スパッタリング法で作製するためのターゲットとしては、組成
として、In:Ga:Zn=1:1:1[原子数比]の金属酸化物ターゲットを用いる。
また、金属酸化物ターゲットの相対密度(充填率)は90%以上100%以下、好ましく
は95%以上99.9%以下である。相対密度の高い金属酸化物ターゲットを用いること
により、成膜した酸化物半導体層は緻密な層とすることができる。
は95%以上99.9%以下である。相対密度の高い金属酸化物ターゲットを用いること
により、成膜した酸化物半導体層は緻密な層とすることができる。
まず、減圧状態に保持された成膜室内に基板101を保持する。そして、成膜室内の残留
水分を除去しつつ水素及び水分が除去されたスパッタガスを導入し、上記ターゲットを用
いてゲート絶縁層104上に酸化物半導体層115を形成する。成膜室内の残留水分を除
去するためには、吸着型の真空ポンプ、例えば、クライオポンプ、イオンポンプ、チタン
サブリメーションポンプを用いることが好ましい。また、排気手段としては、ターボ分子
ポンプにコールドトラップを加えたものであってもよい。クライオポンプを用いて排気し
た成膜室は、例えば、水素原子、水(H2O)など水素原子を含む化合物(より好ましく
は炭素原子を含む化合物も)等が排気されるため、当該成膜室で形成した酸化物半導体層
115に含まれる不純物の濃度を低減できる。
水分を除去しつつ水素及び水分が除去されたスパッタガスを導入し、上記ターゲットを用
いてゲート絶縁層104上に酸化物半導体層115を形成する。成膜室内の残留水分を除
去するためには、吸着型の真空ポンプ、例えば、クライオポンプ、イオンポンプ、チタン
サブリメーションポンプを用いることが好ましい。また、排気手段としては、ターボ分子
ポンプにコールドトラップを加えたものであってもよい。クライオポンプを用いて排気し
た成膜室は、例えば、水素原子、水(H2O)など水素原子を含む化合物(より好ましく
は炭素原子を含む化合物も)等が排気されるため、当該成膜室で形成した酸化物半導体層
115に含まれる不純物の濃度を低減できる。
また、ゲート絶縁層104と酸化物半導体層115を大気に解放せずに連続的に形成して
もよい。ゲート絶縁層104と酸化物半導体層115とを大気に曝露せずに連続して形成
すると、ゲート絶縁層104表面に水素や水分などの不純物が付着することを防止するこ
とができる。
もよい。ゲート絶縁層104と酸化物半導体層115とを大気に曝露せずに連続して形成
すると、ゲート絶縁層104表面に水素や水分などの不純物が付着することを防止するこ
とができる。
次に、フォトリソグラフィ工程を用いて、酸化物半導体層115の一部を選択的にエッチ
ングし、島状の酸化物半導体層105を形成する(図2(C)参照)。また、酸化物半導
体層105を形成するためのレジストマスクをインクジェット法で形成してもよい。レジ
ストマスクをインクジェット法で形成するとフォトマスクを使用しないため、製造コスト
を低減できる。
ングし、島状の酸化物半導体層105を形成する(図2(C)参照)。また、酸化物半導
体層105を形成するためのレジストマスクをインクジェット法で形成してもよい。レジ
ストマスクをインクジェット法で形成するとフォトマスクを使用しないため、製造コスト
を低減できる。
なお、酸化物半導体層115のエッチングは、ドライエッチング法でもウェットエッチン
グ法でもよく、両方を用いてもよい。ウェットエッチング法により、酸化物半導体層11
5のエッチングを行う場合は、エッチング液として、燐酸と酢酸と硝酸を混ぜた溶液や、
シュウ酸を含む溶液などを用いることができる。また、ITO-07N(関東化学社製)
を用いてもよい。また、ドライエッチング法で酸化物半導体層115のエッチングを行う
場合は、例えば、ECR(Electron Cyclotron Resonance
)またはICP(Inductively Coupled Plasma)などの高密
度プラズマ源を用いたドライエッチング法を用いることができる。また、広い面積に渡っ
て一様な放電が得られやすいドライエッチング法として、ECCP(Enhanced
Capacitively Coupled Plasma)モードを用いたドライエッ
チング法がある。このドライエッチング法であれば、例えば基板として、第10世代の3
mを超えるサイズの基板を用いる場合にも対応することができる。
グ法でもよく、両方を用いてもよい。ウェットエッチング法により、酸化物半導体層11
5のエッチングを行う場合は、エッチング液として、燐酸と酢酸と硝酸を混ぜた溶液や、
シュウ酸を含む溶液などを用いることができる。また、ITO-07N(関東化学社製)
を用いてもよい。また、ドライエッチング法で酸化物半導体層115のエッチングを行う
場合は、例えば、ECR(Electron Cyclotron Resonance
)またはICP(Inductively Coupled Plasma)などの高密
度プラズマ源を用いたドライエッチング法を用いることができる。また、広い面積に渡っ
て一様な放電が得られやすいドライエッチング法として、ECCP(Enhanced
Capacitively Coupled Plasma)モードを用いたドライエッ
チング法がある。このドライエッチング法であれば、例えば基板として、第10世代の3
mを超えるサイズの基板を用いる場合にも対応することができる。
また、酸化物半導体層105形成後に、酸化物半導体層105中の過剰な水素(水や水酸
基を含む)を除去(脱水化または脱水素化)するための加熱処理を行ってもよい。加熱処
理の温度は、300℃以上700℃以下、または基板の歪み点未満とする。加熱処理は減
圧下又は窒素雰囲気下などで行うことができる。例えば、加熱処理装置の一つである電気
炉に基板を導入し、酸化物半導体層105に対して窒素雰囲気下450℃において1時間
の加熱処理を行う。
基を含む)を除去(脱水化または脱水素化)するための加熱処理を行ってもよい。加熱処
理の温度は、300℃以上700℃以下、または基板の歪み点未満とする。加熱処理は減
圧下又は窒素雰囲気下などで行うことができる。例えば、加熱処理装置の一つである電気
炉に基板を導入し、酸化物半導体層105に対して窒素雰囲気下450℃において1時間
の加熱処理を行う。
なお、加熱処理装置は電気炉に限られず、抵抗発熱体などの発熱体からの熱伝導または熱
輻射によって、被処理物を加熱する装置を用いてもよい。例えば、GRTA(Gas R
apid Thermal Anneal)装置、LRTA(Lamp Rapid T
hermal Anneal)装置等のRTA(Rapid Thermal Anne
al)装置を用いることができる。LRTA装置は、ハロゲンランプ、メタルハライドラ
ンプ、キセノンアークランプ、カーボンアークランプ、高圧ナトリウムランプ、高圧水銀
ランプなどのランプから発する光(電磁波)の輻射により、被処理物を加熱する装置であ
る。GRTA装置は、高温のガスを用いて加熱処理を行う装置である。高温のガスには、
アルゴンなどの希ガス、または窒素のような、加熱処理によって被処理物と反応しない不
活性気体が用いられる。
輻射によって、被処理物を加熱する装置を用いてもよい。例えば、GRTA(Gas R
apid Thermal Anneal)装置、LRTA(Lamp Rapid T
hermal Anneal)装置等のRTA(Rapid Thermal Anne
al)装置を用いることができる。LRTA装置は、ハロゲンランプ、メタルハライドラ
ンプ、キセノンアークランプ、カーボンアークランプ、高圧ナトリウムランプ、高圧水銀
ランプなどのランプから発する光(電磁波)の輻射により、被処理物を加熱する装置であ
る。GRTA装置は、高温のガスを用いて加熱処理を行う装置である。高温のガスには、
アルゴンなどの希ガス、または窒素のような、加熱処理によって被処理物と反応しない不
活性気体が用いられる。
例えば、加熱処理として、650℃~700℃の高温に加熱した不活性ガス中に基板を入
れ、数分間加熱した後、基板を不活性ガス中から出すGRTAを行ってもよい。
れ、数分間加熱した後、基板を不活性ガス中から出すGRTAを行ってもよい。
なお、加熱処理においては、窒素、またはヘリウム、ネオン、アルゴン等の希ガスに、水
、水素などが含まれないことが好ましい。または、熱処理装置に導入する窒素、またはヘ
リウム、ネオン、アルゴン等の希ガスの純度を、6N(99.9999%)以上好ましく
は7N(99.99999%)以上(即ち不純物濃度を1ppm以下、好ましくは0.1
ppm以下)とすることが好ましい。
、水素などが含まれないことが好ましい。または、熱処理装置に導入する窒素、またはヘ
リウム、ネオン、アルゴン等の希ガスの純度を、6N(99.9999%)以上好ましく
は7N(99.99999%)以上(即ち不純物濃度を1ppm以下、好ましくは0.1
ppm以下)とすることが好ましい。
また、加熱処理により酸化物半導体層105を加熱した後、同じ炉に高純度の酸素ガス、
高純度の一酸化二窒素ガス、又は超乾燥エア(キャビティリングダウン分光法(CRDS
:Cavity Ring-Down Spectroscopy)を用いた露点計を用
いて測定した場合の水分量が20ppm(露点換算で-55℃)以下、好ましくは1pp
m以下、より好ましくは10ppb以下の空気)を導入してもよい。酸素ガスまたは一酸
化二窒素ガスに、水、水素などが含まれないことが好ましい。または、熱処理装置に導入
する酸素ガスまたは一酸化二窒素ガスの純度を、6N以上好ましくは7N以上(即ち、酸
素ガスまたは一酸化二窒素ガス中の不純物濃度を1ppm以下、好ましくは0.1ppm
以下)とすることが好ましい。酸素ガス又は一酸化二窒素ガスの作用により、脱水化また
は脱水素化処理による不純物の排除工程によって同時に減少してしまった酸化物半導体を
構成する主成分材料である酸素を供給することによって、酸化物半導体内の酸素欠損が低
減され、酸化物半導体層105をi型(真性)または実質的にi型化することができる。
この点、シリコンなどのように不純物元素を添加してのi型化ではないため、酸化物半導
体のi型化は従来にない技術思想を含むものといえる。
高純度の一酸化二窒素ガス、又は超乾燥エア(キャビティリングダウン分光法(CRDS
:Cavity Ring-Down Spectroscopy)を用いた露点計を用
いて測定した場合の水分量が20ppm(露点換算で-55℃)以下、好ましくは1pp
m以下、より好ましくは10ppb以下の空気)を導入してもよい。酸素ガスまたは一酸
化二窒素ガスに、水、水素などが含まれないことが好ましい。または、熱処理装置に導入
する酸素ガスまたは一酸化二窒素ガスの純度を、6N以上好ましくは7N以上(即ち、酸
素ガスまたは一酸化二窒素ガス中の不純物濃度を1ppm以下、好ましくは0.1ppm
以下)とすることが好ましい。酸素ガス又は一酸化二窒素ガスの作用により、脱水化また
は脱水素化処理による不純物の排除工程によって同時に減少してしまった酸化物半導体を
構成する主成分材料である酸素を供給することによって、酸化物半導体内の酸素欠損が低
減され、酸化物半導体層105をi型(真性)または実質的にi型化することができる。
この点、シリコンなどのように不純物元素を添加してのi型化ではないため、酸化物半導
体のi型化は従来にない技術思想を含むものといえる。
脱水化又は脱水素化のための加熱処理は、酸化物半導体層の形成後であれば、島状の酸化
物半導体層105の形成前に行ってもよく、形成後に行ってもよい。また、脱水化又は脱
水素化のための加熱処理は、複数回行ってもよく、他の加熱処理と兼ねてもよい。
物半導体層105の形成前に行ってもよく、形成後に行ってもよい。また、脱水化又は脱
水素化のための加熱処理は、複数回行ってもよく、他の加熱処理と兼ねてもよい。
また、脱水化又は脱水素化処理によって、酸化物半導体を構成する主成分材料である酸素
が同時に脱離して減少してしまう恐れがある。酸化物半導体層において、酸素が脱離した
箇所では酸素欠損が存在し、該酸素欠損に起因してトランジスタの電気特性変動を招くド
ナー準位が生じてしまう。
が同時に脱離して減少してしまう恐れがある。酸化物半導体層において、酸素が脱離した
箇所では酸素欠損が存在し、該酸素欠損に起因してトランジスタの電気特性変動を招くド
ナー準位が生じてしまう。
このため、脱水化又は脱水素化処理を行った酸化物半導体層105に、酸素ドープ処理を
行い、酸化物半導体層105中に酸素を供給してもよい。
行い、酸化物半導体層105中に酸素を供給してもよい。
脱水化又は脱水素化処理を行った酸化物半導体層105に、酸素を導入して酸化物半導体
層105中に酸素を供給することによって、脱水化または脱水素化処理による不純物の排
除工程によって生じた酸化物半導体内の酸素欠損を低減し、酸化物半導体層105をi型
(真性)化することができる。i型(真性)化した酸化物半導体層105を有するトラン
ジスタは、電気特性変動が抑制されており、電気的に安定である。
層105中に酸素を供給することによって、脱水化または脱水素化処理による不純物の排
除工程によって生じた酸化物半導体内の酸素欠損を低減し、酸化物半導体層105をi型
(真性)化することができる。i型(真性)化した酸化物半導体層105を有するトラン
ジスタは、電気特性変動が抑制されており、電気的に安定である。
酸化物半導体層105に酸素導入する場合、酸素ドープ処理を酸化物半導体層105に直
接行ってもよいし、他の層を介して行ってもよい。
接行ってもよいし、他の層を介して行ってもよい。
また、酸素の導入により、酸化物半導体層105を構成する元素と水素の間の結合、或い
は該元素と水酸基の間の結合を切断するとともに、これらの水素または水酸基が酸素と反
応することで水を生成するため、酸素の導入後に加熱処理を行うと、不純物である水素ま
たは水酸基が、水として脱離しやすくなる。このため、酸化物半導体層105へ酸素を導
入した後に加熱処理を行ってもよい。その後、さらに酸化物半導体層105に酸素を導入
し、酸化物半導体層105を酸素過剰な状態としてもよい。また、酸化物半導体層105
への酸素の導入と加熱処理は、それぞれを交互に複数回行ってもよい。また、加熱処理と
酸素の導入を同時に行ってもよい。
は該元素と水酸基の間の結合を切断するとともに、これらの水素または水酸基が酸素と反
応することで水を生成するため、酸素の導入後に加熱処理を行うと、不純物である水素ま
たは水酸基が、水として脱離しやすくなる。このため、酸化物半導体層105へ酸素を導
入した後に加熱処理を行ってもよい。その後、さらに酸化物半導体層105に酸素を導入
し、酸化物半導体層105を酸素過剰な状態としてもよい。また、酸化物半導体層105
への酸素の導入と加熱処理は、それぞれを交互に複数回行ってもよい。また、加熱処理と
酸素の導入を同時に行ってもよい。
このように、酸化物半導体層105は水素などの不純物が十分に除去されることにより高
純度化され、また、十分な酸素が供給されて酸化物半導体層105中の酸素欠損が低減さ
れることにより、i型(真性)または実質的にi型(真性)化されたものであることが望
ましい。
純度化され、また、十分な酸素が供給されて酸化物半導体層105中の酸素欠損が低減さ
れることにより、i型(真性)または実質的にi型(真性)化されたものであることが望
ましい。
電子供与体(ドナー)となる水分または水素などの不純物が低減されて高純度化された酸
化物半導体(purified OS)は、その後、酸化物半導体に酸素を供給して、酸
化物半導体内の酸素欠損を低減することによりi型(真性)の酸化物半導体又はi型に限
りなく近い(実質的にi型化した)酸化物半導体とすることができる。チャネルが形成さ
れる半導体層にi型または実質的にi型化された酸化物半導体を用いたトランジスタは、
オフ電流が著しく低いという特性を有する。
化物半導体(purified OS)は、その後、酸化物半導体に酸素を供給して、酸
化物半導体内の酸素欠損を低減することによりi型(真性)の酸化物半導体又はi型に限
りなく近い(実質的にi型化した)酸化物半導体とすることができる。チャネルが形成さ
れる半導体層にi型または実質的にi型化された酸化物半導体を用いたトランジスタは、
オフ電流が著しく低いという特性を有する。
具体的に、高純度化された酸化物半導体層の水素濃度は、SIMSによる水素濃度の測定
値が、好ましくは5×1019atoms/cm3以下、より好ましくは5×1018a
toms/cm3以下、さらにより好ましくは5×1017atoms/cm3以下とす
る。また、酸化物半導体層105に十分な酸素が供給されて酸素が過飽和の状態とするた
め、酸化物半導体層105を挟むように酸素を多く含む絶縁層(酸化シリコンなど)を接
して設けることが好ましい。
値が、好ましくは5×1019atoms/cm3以下、より好ましくは5×1018a
toms/cm3以下、さらにより好ましくは5×1017atoms/cm3以下とす
る。また、酸化物半導体層105に十分な酸素が供給されて酸素が過飽和の状態とするた
め、酸化物半導体層105を挟むように酸素を多く含む絶縁層(酸化シリコンなど)を接
して設けることが好ましい。
また、酸素を多く含む絶縁層の水素濃度もトランジスタの特性に影響を与えるため重要で
ある。酸素を多く含む絶縁層の水素濃度が、7.2×1020atoms/cm3以上で
ある場合には、トランジスタの初期特性のバラツキの増大、L長依存性の増大、さらにB
Tストレス試験において大きく劣化するため、酸素を多く含む絶縁層の水素濃度は、好ま
しくは7.2×1020atoms/cm3未満とする。即ち、酸化物半導体層の水素濃
度は5×1019atoms/cm3以下、且つ、酸素を多く含む絶縁層の水素濃度は、
7.2×1020atoms/cm3未満とすることが好ましい。
ある。酸素を多く含む絶縁層の水素濃度が、7.2×1020atoms/cm3以上で
ある場合には、トランジスタの初期特性のバラツキの増大、L長依存性の増大、さらにB
Tストレス試験において大きく劣化するため、酸素を多く含む絶縁層の水素濃度は、好ま
しくは7.2×1020atoms/cm3未満とする。即ち、酸化物半導体層の水素濃
度は5×1019atoms/cm3以下、且つ、酸素を多く含む絶縁層の水素濃度は、
7.2×1020atoms/cm3未満とすることが好ましい。
ここで、水素濃度のSIMS分析について触れておく。SIMS分析は、その原理上、試
料表面近傍や、材質が異なる膜との積層界面近傍のデータを正確に得ることが困難である
ことが知られている。そこで、層中における水素濃度の厚さ方向の分布をSIMSで分析
する場合、対象となる層が存在する範囲において、値に極端な変動が無く、ほぼ一定の値
が得られる領域における平均値を、水素濃度として採用する。また、測定の対象となる層
の厚さが小さい場合、隣接する膜内の水素濃度の影響を受けて、ほぼ一定の値が得られる
領域を見いだせない場合がある。この場合、当該層が存在する領域における、水素濃度の
最大値または最小値を、当該層中の水素濃度として採用する。さらに、当該層が存在する
領域において、最大値を有する山型のピーク、最小値を有する谷型のピークが存在しない
場合、変曲点の値を水素濃度として採用する。
料表面近傍や、材質が異なる膜との積層界面近傍のデータを正確に得ることが困難である
ことが知られている。そこで、層中における水素濃度の厚さ方向の分布をSIMSで分析
する場合、対象となる層が存在する範囲において、値に極端な変動が無く、ほぼ一定の値
が得られる領域における平均値を、水素濃度として採用する。また、測定の対象となる層
の厚さが小さい場合、隣接する膜内の水素濃度の影響を受けて、ほぼ一定の値が得られる
領域を見いだせない場合がある。この場合、当該層が存在する領域における、水素濃度の
最大値または最小値を、当該層中の水素濃度として採用する。さらに、当該層が存在する
領域において、最大値を有する山型のピーク、最小値を有する谷型のピークが存在しない
場合、変曲点の値を水素濃度として採用する。
次いで、酸化物半導体層105上に導電層117(図示せず)を形成し、フォトリソグラ
フィ工程により導電層117の一部を選択的にエッチングして、ソース電極106a及び
ドレイン電極106bを形成する(図2(D)参照)。
フィ工程により導電層117の一部を選択的にエッチングして、ソース電極106a及び
ドレイン電極106bを形成する(図2(D)参照)。
ソース電極106a及びドレイン電極106bとなる導電層117は、後の加熱処理に耐
えられる材料を用いて形成する。導電層117としては、例えば、Al、Cr、Cu、T
a、Ti、Mo、Wから選ばれた元素を含む金属、または上述した元素を成分とする金属
窒化物(窒化チタン、窒化モリブデン、窒化タングステン)等を用いることができる。ま
た、Al、Cuなどの金属層の下側又は上側の一方または双方にTi、Mo、Wなどの高
融点金属またはそれらの金属窒化物(窒化チタン、窒化モリブデン、窒化タングステン)
を積層させた構成としても良い。導電層117を導電性の金属酸化物で形成しても良い。
導電性の金属酸化物としては酸化インジウム(In2O3)、酸化スズ(SnO2)、酸
化亜鉛(ZnO)、酸化インジウム酸化スズ(In2O3―SnO2、ITOと略記する
)、酸化インジウム酸化亜鉛(In2O3―ZnO)またはこれらの金属酸化物材料に酸
化シリコンを含ませたものを用いることができる。
えられる材料を用いて形成する。導電層117としては、例えば、Al、Cr、Cu、T
a、Ti、Mo、Wから選ばれた元素を含む金属、または上述した元素を成分とする金属
窒化物(窒化チタン、窒化モリブデン、窒化タングステン)等を用いることができる。ま
た、Al、Cuなどの金属層の下側又は上側の一方または双方にTi、Mo、Wなどの高
融点金属またはそれらの金属窒化物(窒化チタン、窒化モリブデン、窒化タングステン)
を積層させた構成としても良い。導電層117を導電性の金属酸化物で形成しても良い。
導電性の金属酸化物としては酸化インジウム(In2O3)、酸化スズ(SnO2)、酸
化亜鉛(ZnO)、酸化インジウム酸化スズ(In2O3―SnO2、ITOと略記する
)、酸化インジウム酸化亜鉛(In2O3―ZnO)またはこれらの金属酸化物材料に酸
化シリコンを含ませたものを用いることができる。
本実施の形態では、導電層117としてスパッタリング法により厚さ200nmのチタン
を形成する。導電層117のエッチングは、ゲート電極103の形成と同様の方法で行う
ことができる。例えば、エッチングガス(BCl3:Cl2=750sccm:150s
ccm)を用い、バイアス電力を1500Wとし、ICP電源電力を0Wとし、圧力を2
.0PaとしたICPエッチング法により行うことができる。
を形成する。導電層117のエッチングは、ゲート電極103の形成と同様の方法で行う
ことができる。例えば、エッチングガス(BCl3:Cl2=750sccm:150s
ccm)を用い、バイアス電力を1500Wとし、ICP電源電力を0Wとし、圧力を2
.0PaとしたICPエッチング法により行うことができる。
なお、ソース電極106a及びドレイン電極106bの形成により露出した酸化物半導体
層105の表面には、ソース電極106a及びドレイン電極106bを構成する元素や、
処理室内に存在する元素、エッチングに用いたエッチングガスを構成する元素が不純物と
して付着する場合がある。
層105の表面には、ソース電極106a及びドレイン電極106bを構成する元素や、
処理室内に存在する元素、エッチングに用いたエッチングガスを構成する元素が不純物と
して付着する場合がある。
不純物が付着すると、トランジスタのオフ電流の増加、或いはトランジスタの電気特性の
劣化がもたらされやすい。また、酸化物半導体層105に寄生チャネルが生じやすくなり
、電気的に分離されるべき電極が酸化物半導体層105を介して電気的に接続されやすく
なる。
劣化がもたらされやすい。また、酸化物半導体層105に寄生チャネルが生じやすくなり
、電気的に分離されるべき電極が酸化物半導体層105を介して電気的に接続されやすく
なる。
また、不純物によっては、酸化物半導体層105内の表面近傍や側面近傍に混入し、酸化
物半導体層105中の酸素を引き抜いてしまい、酸化物半導体層105の表面近傍や側面
近傍に酸素欠損が形成されることがある。例えば、上述したエッチングガスに含まれる塩
素やボロンや、処理室の構成材料であるアルミニウムは、酸化物半導体層105がn型化
する要因の一つとなりうる。
物半導体層105中の酸素を引き抜いてしまい、酸化物半導体層105の表面近傍や側面
近傍に酸素欠損が形成されることがある。例えば、上述したエッチングガスに含まれる塩
素やボロンや、処理室の構成材料であるアルミニウムは、酸化物半導体層105がn型化
する要因の一つとなりうる。
そこで、本発明の一態様では、ソース電極106a及びドレイン電極106bを形成する
ためのエッチングが終了した後、酸化物半導体層105及びソース電極106a及びドレ
イン電極106bの表面や側面に付着した不純物を除去するための洗浄処理(不純物除去
処理)を行う。
ためのエッチングが終了した後、酸化物半導体層105及びソース電極106a及びドレ
イン電極106bの表面や側面に付着した不純物を除去するための洗浄処理(不純物除去
処理)を行う。
不純物除去処理は、プラズマ処理、または溶液による処理によって行うことができる。プ
ラズマ処理としては、酸素プラズマ処理または一酸化二窒素プラズマ処理などを用いるこ
とができる。また、プラズマ処理として希ガス(代表的にはアルゴン)を用いてもよい。
ラズマ処理としては、酸素プラズマ処理または一酸化二窒素プラズマ処理などを用いるこ
とができる。また、プラズマ処理として希ガス(代表的にはアルゴン)を用いてもよい。
また、溶液による洗浄処理としては、TMAH溶液などのアルカリ性の溶液、水、希フッ
酸などの酸性の溶液を用いて行うことができる。例えば、希フッ酸を用いる場合、50w
t%フッ酸を、水で1/102乃至1/105程度、好ましくは1/103乃至1/10
5程度に希釈した希フッ酸を使用する。すなわち、濃度が0.5重量%乃至5×10-4
重量%の希フッ酸、好ましくは5×10-2重量%乃至5×10-4重量%の希フッ酸を
洗浄処理に用いることが望ましい。洗浄処理により、露出した酸化物半導体層105の表
面に付着した上記不純物を除去することができる。
酸などの酸性の溶液を用いて行うことができる。例えば、希フッ酸を用いる場合、50w
t%フッ酸を、水で1/102乃至1/105程度、好ましくは1/103乃至1/10
5程度に希釈した希フッ酸を使用する。すなわち、濃度が0.5重量%乃至5×10-4
重量%の希フッ酸、好ましくは5×10-2重量%乃至5×10-4重量%の希フッ酸を
洗浄処理に用いることが望ましい。洗浄処理により、露出した酸化物半導体層105の表
面に付着した上記不純物を除去することができる。
また、希フッ酸溶液を用いて不純物除去処理を行うと、露出した酸化物半導体層105の
表面をエッチングすることができる。すなわち、露出した酸化物半導体層105の表面に
付着した不純物や、酸化物半導体層105内の表面近傍に混入した不純物を、酸化物半導
体層105の一部とともに除去することができる。これにより、酸化物半導体層105に
おいて、ソース電極106a及びドレイン電極106bと重畳する領域の厚さが、ソース
電極106a及びドレイン電極106bと重畳しない領域の厚さより大きくなる。
表面をエッチングすることができる。すなわち、露出した酸化物半導体層105の表面に
付着した不純物や、酸化物半導体層105内の表面近傍に混入した不純物を、酸化物半導
体層105の一部とともに除去することができる。これにより、酸化物半導体層105に
おいて、ソース電極106a及びドレイン電極106bと重畳する領域の厚さが、ソース
電極106a及びドレイン電極106bと重畳しない領域の厚さより大きくなる。
不純物除去処理を行うことで、SIMSを用いた分析により得られる濃度ピークにおいて
、酸化物半導体層表面における塩素濃度を1×1019/cm3以下(好ましくは5×1
018/cm3以下、さらに好ましくは1×1018/cm3以下)とすることができる
。また、ボロン濃度を1×1019/cm3以下(好ましくは5×1018/cm3以下
、さらに好ましくは1×1018/cm3以下)とすることができる。また、アルミニウ
ム濃度を1×1019/cm3以下(好ましくは5×1018/cm3以下、さらに好ま
しくは1×1018/cm3以下)とすることができる。
、酸化物半導体層表面における塩素濃度を1×1019/cm3以下(好ましくは5×1
018/cm3以下、さらに好ましくは1×1018/cm3以下)とすることができる
。また、ボロン濃度を1×1019/cm3以下(好ましくは5×1018/cm3以下
、さらに好ましくは1×1018/cm3以下)とすることができる。また、アルミニウ
ム濃度を1×1019/cm3以下(好ましくは5×1018/cm3以下、さらに好ま
しくは1×1018/cm3以下)とすることができる。
不純物除去処理を行うことで、安定した電気特性を有する信頼性の高いトランジスタ15
0を実現することができる。
0を実現することができる。
次いで、酸化物半導体層105の一部に接し、ソース電極106a及びドレイン電極10
6b上に、酸化物半導体層105と接する絶縁層111を20nm乃至50nmの厚さで
形成する(図3(A)参照)。絶縁層111は、絶縁層102またはゲート絶縁層104
と同様の材料及び方法で形成することができる。例えば、酸化シリコンや、酸化窒化シリ
コンなどをスパッタリング法やCVD法で形成し、絶縁層107として用いることができ
る。
6b上に、酸化物半導体層105と接する絶縁層111を20nm乃至50nmの厚さで
形成する(図3(A)参照)。絶縁層111は、絶縁層102またはゲート絶縁層104
と同様の材料及び方法で形成することができる。例えば、酸化シリコンや、酸化窒化シリ
コンなどをスパッタリング法やCVD法で形成し、絶縁層107として用いることができ
る。
本実施の形態では、絶縁層111として、プラズマCVD法により厚さ30nmの酸化窒
化シリコンを形成する。絶縁層111の形成は、例えば、SiH4とN2Oのガス流量比
をSiH4:N2O=20sccm:3000sccmとし、圧力を40Paとし、RF
電源電力(電源出力)を100Wとし、基板温度を350℃とすればよい。
化シリコンを形成する。絶縁層111の形成は、例えば、SiH4とN2Oのガス流量比
をSiH4:N2O=20sccm:3000sccmとし、圧力を40Paとし、RF
電源電力(電源出力)を100Wとし、基板温度を350℃とすればよい。
次に、絶縁層111に酸素121を導入し、絶縁層111を、酸素を過剰に含む絶縁層1
07とする。(図3(B)参照)。酸素121には、少なくとも、酸素ラジカル、オゾン
、酸素原子、酸素イオン(分子イオン、クラスタイオンを含む)、のいずれかが含まれて
いる。酸素121の導入は、酸素ドープ処理により行うことができる。
07とする。(図3(B)参照)。酸素121には、少なくとも、酸素ラジカル、オゾン
、酸素原子、酸素イオン(分子イオン、クラスタイオンを含む)、のいずれかが含まれて
いる。酸素121の導入は、酸素ドープ処理により行うことができる。
また、酸素121の導入は、絶縁層111の全面を一度に処理してもよいし、例えば、線
状のイオンビームを用いてもよい。線状のイオンビームを用いる場合には、基板101又
はイオンビームを相対的に移動(スキャン)させることで、絶縁層111の全面に酸素1
21を導入することができる。
状のイオンビームを用いてもよい。線状のイオンビームを用いる場合には、基板101又
はイオンビームを相対的に移動(スキャン)させることで、絶縁層111の全面に酸素1
21を導入することができる。
酸素121の供給ガスとしては、酸素原子を含有するガスを用いればよく、例えば、O2
ガス、N2Oガス、CO2ガス、COガス、NO2ガス等を用いることができる。なお、
酸素の供給ガスに希ガス(例えばAr)を含有させてもよい。
ガス、N2Oガス、CO2ガス、COガス、NO2ガス等を用いることができる。なお、
酸素の供給ガスに希ガス(例えばAr)を含有させてもよい。
また、例えば、イオン注入法で酸素の導入を行う場合、酸素121のドーズ量は1×10
13ions/cm2以上5×1016ions/cm2以下とするのが好ましく、絶縁
層107の酸素の含有量は、化学量論的組成を超える程度とするのが好ましい。なお、こ
のような化学量論的組成よりも酸素を過剰に含む領域は、絶縁層107の一部に存在して
いればよい。なお、酸素の注入深さは、注入条件により適宜制御すればよい。
13ions/cm2以上5×1016ions/cm2以下とするのが好ましく、絶縁
層107の酸素の含有量は、化学量論的組成を超える程度とするのが好ましい。なお、こ
のような化学量論的組成よりも酸素を過剰に含む領域は、絶縁層107の一部に存在して
いればよい。なお、酸素の注入深さは、注入条件により適宜制御すればよい。
本実施の形態では、酸素121の導入を、酸素雰囲気下で行うプラズマ処理で行う。なお
、絶縁層107は、酸化物半導体層105と接する絶縁層であるため、可能な限り水、水
素などの不純物が含まれないことが好ましい。したがって、酸素121の導入の前に、絶
縁層111中の水素(水や水酸基を含む)を低減するための加熱処理を行うことが好まし
い。脱水化又は脱水素化処理を目的とした加熱処理の温度は、300℃以上700℃以下
、または基板の歪み点未満とする。脱水化又は脱水素化処理を目的とした加熱処理は、前
述の加熱処理と同様に行うことができる。
、絶縁層107は、酸化物半導体層105と接する絶縁層であるため、可能な限り水、水
素などの不純物が含まれないことが好ましい。したがって、酸素121の導入の前に、絶
縁層111中の水素(水や水酸基を含む)を低減するための加熱処理を行うことが好まし
い。脱水化又は脱水素化処理を目的とした加熱処理の温度は、300℃以上700℃以下
、または基板の歪み点未満とする。脱水化又は脱水素化処理を目的とした加熱処理は、前
述の加熱処理と同様に行うことができる。
酸素121の導入のためのプラズマ処理(酸素プラズマ処理)は、酸素流量を250sc
cmとし、ICP電源電力を0Wとし、バイアス電力を4500Wとし、圧力を15Pa
として行う。この時、酸素プラズマ処理により絶縁層111に導入された酸素の一部は、
絶縁層111を通過して酸化物半導体層105に導入される。酸化物半導体層105中に
絶縁層111を介して酸素が導入されるため、酸化物半導体層105の表面にプラズマに
よるダメージが入りにくく、半導体装置の信頼性を向上することができる。絶縁層111
は、10nmより厚く、100nmより薄くすることが好ましい。絶縁層111の厚さを
10nm以下とすると、酸化物半導体層105が酸素プラズマ処理時のダメージを受けや
すくなる。また、絶縁層111の厚さを100nm以上とすると、酸素プラズマ処理によ
り導入された酸素が、十分に酸化物半導体層105に供給されない恐れがある。また、絶
縁層111の脱水化又は脱水素化処理を目的とした加熱処理及び/又は酸素121の導入
は、複数回行ってもよい。絶縁層111に酸素を導入することにより、絶縁層107を酸
素供給層として機能させることができる。
cmとし、ICP電源電力を0Wとし、バイアス電力を4500Wとし、圧力を15Pa
として行う。この時、酸素プラズマ処理により絶縁層111に導入された酸素の一部は、
絶縁層111を通過して酸化物半導体層105に導入される。酸化物半導体層105中に
絶縁層111を介して酸素が導入されるため、酸化物半導体層105の表面にプラズマに
よるダメージが入りにくく、半導体装置の信頼性を向上することができる。絶縁層111
は、10nmより厚く、100nmより薄くすることが好ましい。絶縁層111の厚さを
10nm以下とすると、酸化物半導体層105が酸素プラズマ処理時のダメージを受けや
すくなる。また、絶縁層111の厚さを100nm以上とすると、酸素プラズマ処理によ
り導入された酸素が、十分に酸化物半導体層105に供給されない恐れがある。また、絶
縁層111の脱水化又は脱水素化処理を目的とした加熱処理及び/又は酸素121の導入
は、複数回行ってもよい。絶縁層111に酸素を導入することにより、絶縁層107を酸
素供給層として機能させることができる。
次に、絶縁層107上に絶縁層108を200nm乃至500nmの厚さで形成する(図
3(C)参照)。絶縁層108は、絶縁層102またはゲート絶縁層104と同様の材料
及び方法で形成することができる。例えば、酸化シリコンや酸化窒化シリコンなどをスパ
ッタリング法やCVD法で形成し、絶縁層108として用いることができる。
3(C)参照)。絶縁層108は、絶縁層102またはゲート絶縁層104と同様の材料
及び方法で形成することができる。例えば、酸化シリコンや酸化窒化シリコンなどをスパ
ッタリング法やCVD法で形成し、絶縁層108として用いることができる。
本実施の形態では、絶縁層108として、プラズマCVD法により厚さ370nmの酸化
窒化シリコンを形成する。絶縁層108の形成は、例えば、SiH4とN2Oのガス流量
比をSiH4:N2O=30sccm:4000sccmとし、圧力を200Paとし、
RF電源電力(電源出力)を150Wとし、基板温度を220℃とすればよい。
窒化シリコンを形成する。絶縁層108の形成は、例えば、SiH4とN2Oのガス流量
比をSiH4:N2O=30sccm:4000sccmとし、圧力を200Paとし、
RF電源電力(電源出力)を150Wとし、基板温度を220℃とすればよい。
なお、絶縁層108の形成後、不活性ガス雰囲気下、酸素雰囲気下、または不活性ガスと
酸素の混合雰囲気下で250℃以上650℃以下、好ましくは300℃以上600℃以下
の温度で加熱処理を行ってもよい。当該加熱処理によって、絶縁層107に含まれる酸素
を酸化物半導体層105へと供給し、酸化物半導体層105の酸素欠損を補填することが
できる。絶縁層107上に絶縁層108を形成することで、絶縁層107が含有する酸素
を効率良く酸化物半導体層105に供給することができる。
酸素の混合雰囲気下で250℃以上650℃以下、好ましくは300℃以上600℃以下
の温度で加熱処理を行ってもよい。当該加熱処理によって、絶縁層107に含まれる酸素
を酸化物半導体層105へと供給し、酸化物半導体層105の酸素欠損を補填することが
できる。絶縁層107上に絶縁層108を形成することで、絶縁層107が含有する酸素
を効率良く酸化物半導体層105に供給することができる。
また、絶縁層108に酸素ドープ処理を行い、絶縁層108に酸素121を導入し、酸素
過剰な状態としてもよい。絶縁層108への酸素121の導入は、絶縁層107への酸素
121の導入と同様に行ってもよい。また、絶縁層108への酸素121の導入後、不活
性ガス雰囲気下、酸素雰囲気下、または不活性ガスと酸素の混合雰囲気下で250℃以上
650℃以下、好ましくは300℃以上600℃以下の温度で加熱処理を行ってもよい。
過剰な状態としてもよい。絶縁層108への酸素121の導入は、絶縁層107への酸素
121の導入と同様に行ってもよい。また、絶縁層108への酸素121の導入後、不活
性ガス雰囲気下、酸素雰囲気下、または不活性ガスと酸素の混合雰囲気下で250℃以上
650℃以下、好ましくは300℃以上600℃以下の温度で加熱処理を行ってもよい。
図11(A)は、図1(B)に示す部位201の拡大図であり、図11(B)は、図1(
C)に示す部位202の拡大図である。図11(A)、図11(B)に示す矢印は、絶縁
層107に含まれる酸素122が酸化物半導体層105に供給される様子を示している。
絶縁層107に含まれる酸素122は、酸化物半導体層105と絶縁層107が接する領
域で酸化物半導体層105に直接供給されるだけでなく、ゲート絶縁層104bを介して
酸化物半導体層105に間接的にも供給される。また、絶縁層108またはゲート絶縁層
104bを酸素過剰な状態とした場合は、絶縁層108またはゲート絶縁層104bに含
まれる酸素も酸化物半導体層105に供給することができる。
C)に示す部位202の拡大図である。図11(A)、図11(B)に示す矢印は、絶縁
層107に含まれる酸素122が酸化物半導体層105に供給される様子を示している。
絶縁層107に含まれる酸素122は、酸化物半導体層105と絶縁層107が接する領
域で酸化物半導体層105に直接供給されるだけでなく、ゲート絶縁層104bを介して
酸化物半導体層105に間接的にも供給される。また、絶縁層108またはゲート絶縁層
104bを酸素過剰な状態とした場合は、絶縁層108またはゲート絶縁層104bに含
まれる酸素も酸化物半導体層105に供給することができる。
以上の工程によって、本実施の形態のトランジスタ150が形成される。なお、トランジ
スタ150上にさらに絶縁層を形成してもかまわない。本実施の形態では、トランジスタ
150上に平坦化絶縁層110を形成する例を示す(図3(D)参照)。平坦化絶縁層1
10としては、ポリイミド、アクリル樹脂、ポリイミドアミド、べンゾシクロブテン系樹
脂、ポリアミド、エポキシ樹脂等の耐熱性を有する有機材料を用いることができる。また
、上記有機材料の他に、低誘電率材料(low-k材料)、シロキサン系樹脂、PSG(
リンガラス)、BPSG(リンボロンガラス)等を用いることができる。なお、これらの
材料で形成される絶縁層を複数積層させることで平坦化絶縁層110を形成してもよい。
スタ150上にさらに絶縁層を形成してもかまわない。本実施の形態では、トランジスタ
150上に平坦化絶縁層110を形成する例を示す(図3(D)参照)。平坦化絶縁層1
10としては、ポリイミド、アクリル樹脂、ポリイミドアミド、べンゾシクロブテン系樹
脂、ポリアミド、エポキシ樹脂等の耐熱性を有する有機材料を用いることができる。また
、上記有機材料の他に、低誘電率材料(low-k材料)、シロキサン系樹脂、PSG(
リンガラス)、BPSG(リンボロンガラス)等を用いることができる。なお、これらの
材料で形成される絶縁層を複数積層させることで平坦化絶縁層110を形成してもよい。
チャネルが形成される半導体層に酸化物半導体を用いたトランジスタは、酸化物半導体層
に酸素が供給されることで、酸化物半導体層と絶縁層との界面準位密度を低減できる。こ
の結果、トランジスタの動作などに起因して、酸化物半導体層と絶縁層との界面にキャリ
アが捕獲されることを抑制することができ、信頼性の高いトランジスタを得ることができ
る。
に酸素が供給されることで、酸化物半導体層と絶縁層との界面準位密度を低減できる。こ
の結果、トランジスタの動作などに起因して、酸化物半導体層と絶縁層との界面にキャリ
アが捕獲されることを抑制することができ、信頼性の高いトランジスタを得ることができ
る。
さらに、酸化物半導体層の酸素欠損に起因してキャリアが生じる場合がある。一般に酸化
物半導体層の酸素欠損は、酸化物半導体層中にキャリアである電子が生成される一因とな
る。この結果、トランジスタのしきい値電圧がマイナス方向にシフトしてしまう。そこで
、酸化物半導体層に酸素が十分に供給され、好ましくは酸化物半導体層に酸素が過剰に含
まれていることにより、酸化物半導体層の酸素欠損密度を低減することができる。
物半導体層の酸素欠損は、酸化物半導体層中にキャリアである電子が生成される一因とな
る。この結果、トランジスタのしきい値電圧がマイナス方向にシフトしてしまう。そこで
、酸化物半導体層に酸素が十分に供給され、好ましくは酸化物半導体層に酸素が過剰に含
まれていることにより、酸化物半導体層の酸素欠損密度を低減することができる。
なお、酸化物半導体層105を、複数の酸化物半導体層が積層された構造としてもよい。
例えば、酸化物半導体層105を、第1の酸化物半導体層と第2の酸化物半導体層の積層
として、第1の酸化物半導体層と第2の酸化物半導体層に異なる組成の金属酸化物を用い
てもよい。例えば、第1の酸化物半導体層に三元系金属の酸化物を用い、第2の酸化物半
導体層に二元系金属の酸化物を用いてもよい。また、例えば、第1の酸化物半導体層と第
2の酸化物半導体層を、どちらも三元系金属の酸化物としてもよい。
例えば、酸化物半導体層105を、第1の酸化物半導体層と第2の酸化物半導体層の積層
として、第1の酸化物半導体層と第2の酸化物半導体層に異なる組成の金属酸化物を用い
てもよい。例えば、第1の酸化物半導体層に三元系金属の酸化物を用い、第2の酸化物半
導体層に二元系金属の酸化物を用いてもよい。また、例えば、第1の酸化物半導体層と第
2の酸化物半導体層を、どちらも三元系金属の酸化物としてもよい。
また、第1の酸化物半導体層と第2の酸化物半導体層の構成元素を同一とし、両者の組成
を異ならせてもよい。例えば、第1の酸化物半導体層の原子数比をIn:Ga:Zn=1
:1:1とし、第2の酸化物半導体層の原子数比をIn:Ga:Zn=3:1:2として
もよい。また、第1の酸化物半導体層の原子数比をIn:Ga:Zn=1:3:2とし、
第2の酸化物半導体層の原子数比をIn:Ga:Zn=2:1:3としてもよい。
を異ならせてもよい。例えば、第1の酸化物半導体層の原子数比をIn:Ga:Zn=1
:1:1とし、第2の酸化物半導体層の原子数比をIn:Ga:Zn=3:1:2として
もよい。また、第1の酸化物半導体層の原子数比をIn:Ga:Zn=1:3:2とし、
第2の酸化物半導体層の原子数比をIn:Ga:Zn=2:1:3としてもよい。
この時、第1の酸化物半導体層と第2の酸化物半導体層のうち、ゲート電極に近い側(チ
ャネル側)の酸化物半導体層のInとGaの含有率をIn>Gaとするとよい。またゲー
ト電極から遠い側(バックチャネル側)の酸化物半導体層のInとGaの含有率をIn≦
Gaとするとよい。
ャネル側)の酸化物半導体層のInとGaの含有率をIn>Gaとするとよい。またゲー
ト電極から遠い側(バックチャネル側)の酸化物半導体層のInとGaの含有率をIn≦
Gaとするとよい。
酸化物半導体では主として重金属のs軌道がキャリア伝導に寄与しており、Inの含有率
を多くすることによりs軌道のオーバーラップが多くなる傾向があるため、In>Gaの
組成となる酸化物はIn≦Gaの組成となる酸化物と比較して高い移動度を備える。また
、GaはInと比較して酸素欠損の形成エネルギーが大きく酸素欠損が生じにくいため、
In≦Gaの組成となる酸化物はIn>Gaの組成となる酸化物と比較して安定した特性
を備える。
を多くすることによりs軌道のオーバーラップが多くなる傾向があるため、In>Gaの
組成となる酸化物はIn≦Gaの組成となる酸化物と比較して高い移動度を備える。また
、GaはInと比較して酸素欠損の形成エネルギーが大きく酸素欠損が生じにくいため、
In≦Gaの組成となる酸化物はIn>Gaの組成となる酸化物と比較して安定した特性
を備える。
チャネル側にIn>Gaの組成となる酸化物半導体を適用し、バックチャネル側にIn≦
Gaの組成となる酸化物半導体を適用することで、トランジスタの移動度及び信頼性をさ
らに高めることが可能となる。
Gaの組成となる酸化物半導体を適用することで、トランジスタの移動度及び信頼性をさ
らに高めることが可能となる。
また、第1の酸化物半導体層と第2の酸化物半導体層に、結晶性の異なる酸化物半導体を
適用してもよい。すなわち、単結晶酸化物半導体、多結晶酸化物半導体、非晶質酸化物半
導体、またはCAAC-OSを適宜組み合わせた構成としてもよい。また、第1の酸化物
半導体層と第2の酸化物半導体層の少なくともどちらか一方に非晶質酸化物半導体を適用
すると、酸化物半導体層105の内部応力や外部からの応力を緩和し、トランジスタの特
性ばらつきが低減され、また、トランジスタの信頼性をさらに高めることが可能となる。
適用してもよい。すなわち、単結晶酸化物半導体、多結晶酸化物半導体、非晶質酸化物半
導体、またはCAAC-OSを適宜組み合わせた構成としてもよい。また、第1の酸化物
半導体層と第2の酸化物半導体層の少なくともどちらか一方に非晶質酸化物半導体を適用
すると、酸化物半導体層105の内部応力や外部からの応力を緩和し、トランジスタの特
性ばらつきが低減され、また、トランジスタの信頼性をさらに高めることが可能となる。
一方で、非晶質酸化物半導体は水素などのドナーとなる不純物を吸収しやすく、また、酸
素欠損が生じやすいためn型化されやすい。このため、チャネル側の酸化物半導体層は、
CAAC-OSなどの結晶性を有する酸化物半導体を適用することが好ましい。
素欠損が生じやすいためn型化されやすい。このため、チャネル側の酸化物半導体層は、
CAAC-OSなどの結晶性を有する酸化物半導体を適用することが好ましい。
また、トランジスタとしてボトムゲート構造のチャネルエッチング型のトランジスタを用
いる場合、バックチャネル側に非晶質酸化物半導体を用いると、ソース電極及びドレイン
電極形成時のエッチング処理により酸素欠損が生じ、n型化されやすい。このため、チャ
ネルエッチング型のトランジスタを用いる場合は、バックチャネル側の酸化物半導体層に
結晶性を有する酸化物半導体を適用することが好ましい。
いる場合、バックチャネル側に非晶質酸化物半導体を用いると、ソース電極及びドレイン
電極形成時のエッチング処理により酸素欠損が生じ、n型化されやすい。このため、チャ
ネルエッチング型のトランジスタを用いる場合は、バックチャネル側の酸化物半導体層に
結晶性を有する酸化物半導体を適用することが好ましい。
また、酸化物半導体層105を3層以上の積層構造とし、複数層の結晶性を有する酸化物
半導体層で非晶質酸化物半導体層を挟む構造としてもよい。また、結晶性を有する酸化物
半導体層と非晶質酸化物半導体層を交互に積層する構造としてもよい。
半導体層で非晶質酸化物半導体層を挟む構造としてもよい。また、結晶性を有する酸化物
半導体層と非晶質酸化物半導体層を交互に積層する構造としてもよい。
酸化物半導体層105を複数層の積層構造とする場合の上記構成は、それぞれを適宜組み
合わせて用いることができる。
合わせて用いることができる。
また、酸化物半導体層105を複数層の積層構造とし、各酸化物半導体層の形成後に酸素
ドープ処理を行ってもよい。各酸化物半導体層の形成毎に酸素ドープ処理を行うことで、
酸化物半導体内の酸素欠損を低減する効果を高めることができる。
ドープ処理を行ってもよい。各酸化物半導体層の形成毎に酸素ドープ処理を行うことで、
酸化物半導体内の酸素欠損を低減する効果を高めることができる。
本実施の形態は、他の実施の形態に記載した構成と適宜組み合わせて実施することが可能
である。
である。
(実施の形態2)
本実施の形態では、トランジスタ150と異なる構成を有するトランジスタ160及びト
ランジスタ170について説明する。
本実施の形態では、トランジスタ150と異なる構成を有するトランジスタ160及びト
ランジスタ170について説明する。
図4(C)に示すトランジスタ160は、トランジスタ150における絶縁層108の代
わりに、絶縁層109が形成される点が異なる。トランジスタ160は以下のように形成
することができる。まず、トランジスタ150と同様に絶縁層107まで形成し、絶縁層
107に酸素121を導入した後、絶縁層107上に金属層119を形成する(図4(A
)参照)。本実施の形態では、金属層119として、アルミニウムを用いる。
わりに、絶縁層109が形成される点が異なる。トランジスタ160は以下のように形成
することができる。まず、トランジスタ150と同様に絶縁層107まで形成し、絶縁層
107に酸素121を導入した後、絶縁層107上に金属層119を形成する(図4(A
)参照)。本実施の形態では、金属層119として、アルミニウムを用いる。
金属層119は、スパッタリング法、蒸着法、CVD法等によって形成することが好まし
い。また、金属層119の膜厚は3nm以上10nm以下とすることが好ましい。本実施
の形態では、膜厚5nmのアルミニウムを形成する。
い。また、金属層119の膜厚は3nm以上10nm以下とすることが好ましい。本実施
の形態では、膜厚5nmのアルミニウムを形成する。
なお、絶縁層107上に形成される金属層119は、後に酸素が導入されることによって
金属酸化物層(絶縁層109)となり、トランジスタのバリア層として機能する材料で形
成する。該金属酸化物層としては、トランジスタへの水素、水分などの不純物、及び酸素
の両方に対して通過させない遮断効果(ブロック効果)が高い、バリア性を有する材料を
用いて形成することができる。また、金属酸化物層となる金属材料としては、アルミニウ
ムの他に、マグネシウムを添加したアルミニウム、チタンを添加したアルミニウム、絶縁
層107上に接するアルミニウムとアルミニウム上に接するマグネシウムの積層、又は、
絶縁層107上に接するアルミニウムとアルミニウム上に接するチタンの積層、等を用い
ることができる。
金属酸化物層(絶縁層109)となり、トランジスタのバリア層として機能する材料で形
成する。該金属酸化物層としては、トランジスタへの水素、水分などの不純物、及び酸素
の両方に対して通過させない遮断効果(ブロック効果)が高い、バリア性を有する材料を
用いて形成することができる。また、金属酸化物層となる金属材料としては、アルミニウ
ムの他に、マグネシウムを添加したアルミニウム、チタンを添加したアルミニウム、絶縁
層107上に接するアルミニウムとアルミニウム上に接するマグネシウムの積層、又は、
絶縁層107上に接するアルミニウムとアルミニウム上に接するチタンの積層、等を用い
ることができる。
次いで、金属層119に対して、酸素121を導入する。酸素121の導入は、酸素ドー
プ処理により行うことができる。本実施の形態では、酸素121の導入を、酸素雰囲気下
で行うプラズマ処理で行う。これによって、金属層119の酸化物である、絶縁層109
が形成される(図4(B)参照)。
プ処理により行うことができる。本実施の形態では、酸素121の導入を、酸素雰囲気下
で行うプラズマ処理で行う。これによって、金属層119の酸化物である、絶縁層109
が形成される(図4(B)参照)。
なお、酸素ドープ処理によって形成された絶縁層109は、化学量論的組成に一致した酸
素を含有する必要はなく、多少の導電性を有していてもよい。例えば、組成がAl2Ox
で表される酸化アルミニウムの場合、xは1以上3.5以下とすることが好ましい。また
、酸化アルミニウムが導電性を有する場合、その抵抗率ρを、1×1010Ω・m以上1
×1019Ω・m以下、好ましくは1×1010Ω・m以上1×1018Ω・m以下、よ
り好ましくは1×1011Ω・m以上1×1015Ω・m以下とすることが好ましい。酸
化アルミニウムが上述の範囲の抵抗率を有することで、トランジスタの静電破壊を防止す
ることが可能となる。
素を含有する必要はなく、多少の導電性を有していてもよい。例えば、組成がAl2Ox
で表される酸化アルミニウムの場合、xは1以上3.5以下とすることが好ましい。また
、酸化アルミニウムが導電性を有する場合、その抵抗率ρを、1×1010Ω・m以上1
×1019Ω・m以下、好ましくは1×1010Ω・m以上1×1018Ω・m以下、よ
り好ましくは1×1011Ω・m以上1×1015Ω・m以下とすることが好ましい。酸
化アルミニウムが上述の範囲の抵抗率を有することで、トランジスタの静電破壊を防止す
ることが可能となる。
絶縁層109の形成後、加熱処理を行ってもよい。加熱処理の温度は、例えば250℃以
上600℃以下、好ましくは300℃以上600℃以下とすることができる。
上600℃以下、好ましくは300℃以上600℃以下とすることができる。
以上の工程によって、トランジスタ160が形成される。なお、トランジスタ160上に
さらに絶縁層を形成してもかまわない。本実施の形態では、トランジスタ160上に平坦
化絶縁層110を形成する例を示す(図4(D)参照)。
さらに絶縁層を形成してもかまわない。本実施の形態では、トランジスタ160上に平坦
化絶縁層110を形成する例を示す(図4(D)参照)。
図5に示すトランジスタ170は、トランジスタ150が有する絶縁層108上に、絶縁
層109を形成した構造を有する。絶縁層109は、トランジスタ160が有する絶縁層
109と同様に形成することができる。
層109を形成した構造を有する。絶縁層109は、トランジスタ160が有する絶縁層
109と同様に形成することができる。
なお、絶縁層109(または金属層119)を構成する金属元素によっては、酸化物半導
体層105をn型化する不純物元素となるため、絶縁層109は酸化物半導体層105に
接しないように形成することが好ましい。トランジスタ170に示すように、絶縁層10
9は酸化物半導体層105からなるべく離して形成することが好ましい。
体層105をn型化する不純物元素となるため、絶縁層109は酸化物半導体層105に
接しないように形成することが好ましい。トランジスタ170に示すように、絶縁層10
9は酸化物半導体層105からなるべく離して形成することが好ましい。
また、絶縁層102またはゲート絶縁層104aと、絶縁層108または絶縁層109を
水素、水分、水素化物、または水酸化物などの不純物や、酸素に対するバリア性を有する
材料を用いて形成することが好ましい。上記絶縁層にバリア性を有する材料を適用し、酸
化物半導体層105をバリア性を有する層で挟むまたは包む構成とすることで、外部から
の不純物の浸入を防ぐとともに、酸化物半導体層105、絶縁層107、ゲート絶縁層1
04bからの酸素の脱離を防ぐことができる。
水素、水分、水素化物、または水酸化物などの不純物や、酸素に対するバリア性を有する
材料を用いて形成することが好ましい。上記絶縁層にバリア性を有する材料を適用し、酸
化物半導体層105をバリア性を有する層で挟むまたは包む構成とすることで、外部から
の不純物の浸入を防ぐとともに、酸化物半導体層105、絶縁層107、ゲート絶縁層1
04bからの酸素の脱離を防ぐことができる。
本実施の形態は、他の実施の形態に記載した構成と適宜組み合わせて実施することが可能
である。
である。
(実施の形態3)
上記実施の形態で一例を示したトランジスタを用いて表示機能を有する半導体装置(表示
装置ともいう)を作製することができる。また、トランジスタを含む駆動回路の一部また
は全体を、画素部と同じ基板上に一体形成し、システムオンパネルを形成することができ
る。本実施の形態では、上記実施の形態で一例を示したトランジスタを用いた表示装置の
例について、図6及び図7を用いて説明する。なお、図7(A)及び図7(B)は、図6
(B)中でM-Nの鎖線で示した部位の断面構成を示す断面図である。
上記実施の形態で一例を示したトランジスタを用いて表示機能を有する半導体装置(表示
装置ともいう)を作製することができる。また、トランジスタを含む駆動回路の一部また
は全体を、画素部と同じ基板上に一体形成し、システムオンパネルを形成することができ
る。本実施の形態では、上記実施の形態で一例を示したトランジスタを用いた表示装置の
例について、図6及び図7を用いて説明する。なお、図7(A)及び図7(B)は、図6
(B)中でM-Nの鎖線で示した部位の断面構成を示す断面図である。
図6(A)において、第1の基板4001上に設けられた画素部4002を囲むようにし
て、シール材4005が設けられ、第2の基板4006によって封止されている。図6(
A)においては、第1の基板4001上のシール材4005によって囲まれている領域と
は異なる領域に、別途用意された基板上に単結晶半導体又は多結晶半導体で形成された信
号線駆動回路4003、及び走査線駆動回路4004が実装されている。また、信号線駆
動回路4003、走査線駆動回路4004、または画素部4002に与えられる各種信号
及び電位は、FPC(Flexible printed circuit)4018a
、FPC4018bから供給されている。
て、シール材4005が設けられ、第2の基板4006によって封止されている。図6(
A)においては、第1の基板4001上のシール材4005によって囲まれている領域と
は異なる領域に、別途用意された基板上に単結晶半導体又は多結晶半導体で形成された信
号線駆動回路4003、及び走査線駆動回路4004が実装されている。また、信号線駆
動回路4003、走査線駆動回路4004、または画素部4002に与えられる各種信号
及び電位は、FPC(Flexible printed circuit)4018a
、FPC4018bから供給されている。
図6(B)及び図6(C)において、第1の基板4001上に設けられた画素部4002
と、走査線駆動回路4004とを囲むようにして、シール材4005が設けられている。
また画素部4002と、走査線駆動回路4004の上に第2の基板4006が設けられて
いる。よって画素部4002と、走査線駆動回路4004とは、第1の基板4001とシ
ール材4005と第2の基板4006とによって、表示素子と共に封止されている。図6
(B)及び図6(C)においては、第1の基板4001上のシール材4005によって囲
まれている領域とは異なる領域に、別途用意された基板上に単結晶半導体又は多結晶半導
体で形成された信号線駆動回路4003が実装されている。図6(B)及び図6(C)に
おいては、信号線駆動回路4003、走査線駆動回路4004、または画素部4002に
与えられる各種信号及び電位は、FPC4018から供給されている。
と、走査線駆動回路4004とを囲むようにして、シール材4005が設けられている。
また画素部4002と、走査線駆動回路4004の上に第2の基板4006が設けられて
いる。よって画素部4002と、走査線駆動回路4004とは、第1の基板4001とシ
ール材4005と第2の基板4006とによって、表示素子と共に封止されている。図6
(B)及び図6(C)においては、第1の基板4001上のシール材4005によって囲
まれている領域とは異なる領域に、別途用意された基板上に単結晶半導体又は多結晶半導
体で形成された信号線駆動回路4003が実装されている。図6(B)及び図6(C)に
おいては、信号線駆動回路4003、走査線駆動回路4004、または画素部4002に
与えられる各種信号及び電位は、FPC4018から供給されている。
また図6(B)及び図6(C)においては、信号線駆動回路4003を別途形成し、第1
の基板4001に実装している例を示しているが、この構成に限定されない。走査線駆動
回路を別途形成して実装しても良いし、信号線駆動回路の一部または走査線駆動回路の一
部のみを別途形成して実装しても良い。
の基板4001に実装している例を示しているが、この構成に限定されない。走査線駆動
回路を別途形成して実装しても良いし、信号線駆動回路の一部または走査線駆動回路の一
部のみを別途形成して実装しても良い。
なお、別途形成した駆動回路の接続方法は、特に限定されるものではなく、COG(Ch
ip On Glass)方法、ワイヤボンディング方法、或いはTAB(Tape A
utomated Bonding)方法などを用いることができる。図6(A)は、C
OG方法により信号線駆動回路4003、走査線駆動回路4004を実装する例であり、
図6(B)は、COG方法により信号線駆動回路4003を実装する例であり、図6(C
)は、TAB方法により信号線駆動回路4003を実装する例である。
ip On Glass)方法、ワイヤボンディング方法、或いはTAB(Tape A
utomated Bonding)方法などを用いることができる。図6(A)は、C
OG方法により信号線駆動回路4003、走査線駆動回路4004を実装する例であり、
図6(B)は、COG方法により信号線駆動回路4003を実装する例であり、図6(C
)は、TAB方法により信号線駆動回路4003を実装する例である。
また、表示装置は、表示素子が封止された状態にあるパネルと、該パネルにコントローラ
を含むIC等を実装した状態にあるモジュールとを含む。
を含むIC等を実装した状態にあるモジュールとを含む。
なお、本明細書中における表示装置とは、画像表示デバイス、表示デバイス、もしくは光
源(照明装置含む)を指す。また、コネクター、例えばFPCもしくはTABテープもし
くはTCPが取り付けられたモジュール、TABテープやTCPの先にプリント配線板が
設けられたモジュール、または表示素子にCOG方式によりIC(集積回路)が直接実装
されたモジュールも全て表示装置に含むものとする。
源(照明装置含む)を指す。また、コネクター、例えばFPCもしくはTABテープもし
くはTCPが取り付けられたモジュール、TABテープやTCPの先にプリント配線板が
設けられたモジュール、または表示素子にCOG方式によりIC(集積回路)が直接実装
されたモジュールも全て表示装置に含むものとする。
また第1の基板上に設けられた画素部及び走査線駆動回路は、トランジスタを複数有して
おり、上記実施の形態で示したトランジスタを適用することができる。
おり、上記実施の形態で示したトランジスタを適用することができる。
表示装置に設けられる表示素子としては液晶素子(液晶表示素子ともいう)、発光素子(
発光表示素子ともいう)、を用いることができる。発光素子は、電流または電圧によって
輝度が制御される素子をその範疇に含んでおり、具体的には無機EL(Electro
Luminescence)、有機EL等が含まれる。また、電子インクなど、電気的作
用によりコントラストが変化する表示媒体も適用することができる。
発光表示素子ともいう)、を用いることができる。発光素子は、電流または電圧によって
輝度が制御される素子をその範疇に含んでおり、具体的には無機EL(Electro
Luminescence)、有機EL等が含まれる。また、電子インクなど、電気的作
用によりコントラストが変化する表示媒体も適用することができる。
図7(A)及び図7(B)で示すように、半導体装置は接続端子電極4015及び端子電
極4016を有しており、接続端子電極4015及び端子電極4016はFPC4018
が有する端子と異方性導電層4019を介して、電気的に接続されている。
極4016を有しており、接続端子電極4015及び端子電極4016はFPC4018
が有する端子と異方性導電層4019を介して、電気的に接続されている。
接続端子電極4015は、第1の電極層4030と同じ導電層から形成され、端子電極4
016は、トランジスタ4010、4011のソース電極及びドレイン電極と同じ導電層
で形成されている。
016は、トランジスタ4010、4011のソース電極及びドレイン電極と同じ導電層
で形成されている。
また第1の基板4001上に設けられた画素部4002と、走査線駆動回路4004は、
トランジスタを複数有しており、図7(A)及び図7(B)では、画素部4002に含ま
れるトランジスタ4010と、走査線駆動回路4004に含まれるトランジスタ4011
とを例示している。図7(A)では、トランジスタ4010、トランジスタ4011上に
は絶縁層4020が設けられ、図7(B)では、絶縁層4024の上にさらに平坦化層4
021が設けられている。なお、絶縁層4023は下地層として機能する絶縁層である。
トランジスタを複数有しており、図7(A)及び図7(B)では、画素部4002に含ま
れるトランジスタ4010と、走査線駆動回路4004に含まれるトランジスタ4011
とを例示している。図7(A)では、トランジスタ4010、トランジスタ4011上に
は絶縁層4020が設けられ、図7(B)では、絶縁層4024の上にさらに平坦化層4
021が設けられている。なお、絶縁層4023は下地層として機能する絶縁層である。
本実施の形態では、トランジスタ4010、トランジスタ4011として、上記実施の形
態で示したトランジスタを適用することができる。
態で示したトランジスタを適用することができる。
上記実施の形態で示したトランジスタは、電気特性変動が抑制されており、電気的に安定
である。よって、図7(A)及び図7(B)で示す本実施の形態の半導体装置として信頼
性の高い半導体装置を提供することができる。
である。よって、図7(A)及び図7(B)で示す本実施の形態の半導体装置として信頼
性の高い半導体装置を提供することができる。
また、図7(B)では、絶縁層4024上において、駆動回路用のトランジスタ4011
の酸化物半導体層のチャネル形成領域と重なる位置に導電層4017が設けられている例
を示している。本実施の形態では、導電層4017を第1の電極層4030と同じ導電層
で形成する。導電層4017を酸化物半導体層のチャネル形成領域と重なる位置に設ける
ことによって、BT試験前後におけるトランジスタ4011のしきい値電圧の変化量をさ
らに低減することができる。また、導電層4017の電位は、トランジスタ4011のゲ
ート電極と同じでもよいし、異なっていても良く、導電層を第2のゲート電極として機能
させることもできる。また、導電層4017の電位は、GND、0V、或いはフローティ
ング状態であってもよい。
の酸化物半導体層のチャネル形成領域と重なる位置に導電層4017が設けられている例
を示している。本実施の形態では、導電層4017を第1の電極層4030と同じ導電層
で形成する。導電層4017を酸化物半導体層のチャネル形成領域と重なる位置に設ける
ことによって、BT試験前後におけるトランジスタ4011のしきい値電圧の変化量をさ
らに低減することができる。また、導電層4017の電位は、トランジスタ4011のゲ
ート電極と同じでもよいし、異なっていても良く、導電層を第2のゲート電極として機能
させることもできる。また、導電層4017の電位は、GND、0V、或いはフローティ
ング状態であってもよい。
また、導電層4017は外部の電場を遮蔽する機能も有する。すなわち外部の電場が内部
(薄膜トランジスタを含む回路部)に作用しないようにする機能(特に静電気に対する静
電遮蔽機能)も有する。導電層4017の遮蔽機能により、静電気などの外部の電場の影
響によりトランジスタの電気的な特性が変動することを防止することができる。導電層4
017は、上記実施の形態で示した、いずれのトランジスタにも適用可能である。
(薄膜トランジスタを含む回路部)に作用しないようにする機能(特に静電気に対する静
電遮蔽機能)も有する。導電層4017の遮蔽機能により、静電気などの外部の電場の影
響によりトランジスタの電気的な特性が変動することを防止することができる。導電層4
017は、上記実施の形態で示した、いずれのトランジスタにも適用可能である。
画素部4002に設けられたトランジスタ4010は表示素子と電気的に接続し、表示パ
ネルを構成する。表示素子は表示を行うことができれば特に限定されず、様々な表示素子
を用いることができる。
ネルを構成する。表示素子は表示を行うことができれば特に限定されず、様々な表示素子
を用いることができる。
図7(A)に表示素子として液晶素子を用いた液晶表示装置の例を示す。図7(A)にお
いて、表示素子である液晶素子4013は、第1の電極層4030、第2の電極層403
1、及び液晶層4008を含む。なお、液晶層4008を挟持するように配向膜として機
能する絶縁層4032、絶縁層4033が設けられている。第2の電極層4031は第2
の基板4006側に設けられ、第1の電極層4030と第2の電極層4031とは液晶層
4008を介して重畳する構成となっている。
いて、表示素子である液晶素子4013は、第1の電極層4030、第2の電極層403
1、及び液晶層4008を含む。なお、液晶層4008を挟持するように配向膜として機
能する絶縁層4032、絶縁層4033が設けられている。第2の電極層4031は第2
の基板4006側に設けられ、第1の電極層4030と第2の電極層4031とは液晶層
4008を介して重畳する構成となっている。
またスペーサ4035は絶縁層を選択的にエッチングすることで得られる柱状のスペーサ
であり、第1の電極層4030と第2の電極層4031との間隔(セルギャップ)を制御
するために設けられている。なお球状のスペーサを用いていても良い。
であり、第1の電極層4030と第2の電極層4031との間隔(セルギャップ)を制御
するために設けられている。なお球状のスペーサを用いていても良い。
表示素子として、液晶素子を用いる場合、サーモトロピック液晶、低分子液晶、高分子液
晶、高分子分散型液晶、強誘電性液晶、反強誘電性液晶等を用いることができる。これら
の液晶材料は、条件により、コレステリック相、スメクチック相、キュービック相、カイ
ラルネマチック相、等方相等を示す。
晶、高分子分散型液晶、強誘電性液晶、反強誘電性液晶等を用いることができる。これら
の液晶材料は、条件により、コレステリック相、スメクチック相、キュービック相、カイ
ラルネマチック相、等方相等を示す。
また、配向膜を用いないブルー相を示す液晶を用いてもよい。ブルー相は液晶相の一つで
あり、コレステリック液晶を昇温していくと、コレステリック相から等方相へ転移する直
前に発現する相である。ブルー相は狭い温度範囲でしか発現しないため、温度範囲を改善
するために5重量%以上のカイラル剤を混合させた液晶組成物を用いて液晶層に用いる。
ブルー相を示す液晶とカイラル剤とを含む液晶組成物は、応答速度が1msec以下と短
く、光学的等方性であるため配向処理が不要であり、視野角依存性が小さい。また配向膜
を設けなくてもよいのでラビング処理も不要となるため、ラビング処理によって引き起こ
される静電破壊を防止することができ、作製工程中の液晶表示装置の不良や破損を軽減す
ることができる。よって液晶表示装置の生産性を向上させることが可能となる。酸化物半
導体層を用いるトランジスタは、静電気の影響によりトランジスタの電気的な特性が著し
く変動して設計範囲を逸脱する恐れがある。よって酸化物半導体層を用いるトランジスタ
を有する液晶表示装置にブルー相の液晶材料を用いることはより効果的である。
あり、コレステリック液晶を昇温していくと、コレステリック相から等方相へ転移する直
前に発現する相である。ブルー相は狭い温度範囲でしか発現しないため、温度範囲を改善
するために5重量%以上のカイラル剤を混合させた液晶組成物を用いて液晶層に用いる。
ブルー相を示す液晶とカイラル剤とを含む液晶組成物は、応答速度が1msec以下と短
く、光学的等方性であるため配向処理が不要であり、視野角依存性が小さい。また配向膜
を設けなくてもよいのでラビング処理も不要となるため、ラビング処理によって引き起こ
される静電破壊を防止することができ、作製工程中の液晶表示装置の不良や破損を軽減す
ることができる。よって液晶表示装置の生産性を向上させることが可能となる。酸化物半
導体層を用いるトランジスタは、静電気の影響によりトランジスタの電気的な特性が著し
く変動して設計範囲を逸脱する恐れがある。よって酸化物半導体層を用いるトランジスタ
を有する液晶表示装置にブルー相の液晶材料を用いることはより効果的である。
また、液晶材料の固有抵抗は、1×109Ω・cm以上であり、好ましくは1×1011
Ω・cm以上であり、さらに好ましくは1×1012Ω・cm以上である。なお、本明細
書における固有抵抗の値は、20℃で測定した値とする。
Ω・cm以上であり、さらに好ましくは1×1012Ω・cm以上である。なお、本明細
書における固有抵抗の値は、20℃で測定した値とする。
本実施の形態で用いる高純度化された酸化物半導体層を用いたトランジスタは、オフ状態
における電流値(オフ電流値)を低くすることができる。よって、画像信号等の電気信号
の保持時間を長くすることができ、電源オン状態では書き込み間隔も長く設定できる。よ
って、リフレッシュ動作の頻度を少なくすることができるため、消費電力を抑制する効果
を奏する。
における電流値(オフ電流値)を低くすることができる。よって、画像信号等の電気信号
の保持時間を長くすることができ、電源オン状態では書き込み間隔も長く設定できる。よ
って、リフレッシュ動作の頻度を少なくすることができるため、消費電力を抑制する効果
を奏する。
液晶表示装置に設けられる保持容量の大きさは、画素部に配置されるトランジスタのリー
ク電流等を考慮して、所定の期間の間電荷を保持できるように設定される。保持容量の大
きさは、トランジスタのオフ電流等を考慮して設定すればよい。高純度の酸化物半導体層
を有するトランジスタを用いることにより、各画素における液晶容量に対して1/3以下
、好ましくは1/5以下の容量の大きさを有する保持容量を設ければ充分である。
ク電流等を考慮して、所定の期間の間電荷を保持できるように設定される。保持容量の大
きさは、トランジスタのオフ電流等を考慮して設定すればよい。高純度の酸化物半導体層
を有するトランジスタを用いることにより、各画素における液晶容量に対して1/3以下
、好ましくは1/5以下の容量の大きさを有する保持容量を設ければ充分である。
また、上述の酸化物半導体を用いたトランジスタは、比較的高い電界効果移動度が得られ
るため、高速駆動が可能である。よって、表示機能を有する半導体装置の画素部に上記ト
ランジスタを用いることで、高画質な画像を提供することができる。また、同一基板上に
駆動回路部または画素部を作り分けて作製することが可能となるため、半導体装置の部品
点数を削減することができる。
るため、高速駆動が可能である。よって、表示機能を有する半導体装置の画素部に上記ト
ランジスタを用いることで、高画質な画像を提供することができる。また、同一基板上に
駆動回路部または画素部を作り分けて作製することが可能となるため、半導体装置の部品
点数を削減することができる。
液晶表示装置には、TN(Twisted Nematic)モード、IPS(In-P
lane-Switching)モード、FFS(Fringe Field Swit
ching)モード、ASM(Axially Symmetric aligned
Micro-cell)モード、OCB(Optical Compensated B
irefringence)モード、FLC(Ferroelectric Liqui
d Crystal)モード、AFLC(AntiFerroelectric Liq
uid Crystal)モードなどを用いることができる。
lane-Switching)モード、FFS(Fringe Field Swit
ching)モード、ASM(Axially Symmetric aligned
Micro-cell)モード、OCB(Optical Compensated B
irefringence)モード、FLC(Ferroelectric Liqui
d Crystal)モード、AFLC(AntiFerroelectric Liq
uid Crystal)モードなどを用いることができる。
また、ノーマリーブラック型の液晶表示装置、例えば垂直配向(VA)モードを採用した
透過型の液晶表示装置としてもよい。ここで、垂直配向モードとは、液晶表示パネルの液
晶分子の配列を制御する方式の一種であり、電圧が印加されていないときにパネル面に対
して液晶分子が垂直方向を向く方式である。垂直配向モードとしては、いくつか挙げられ
るが、例えば、MVA(Multi-Domain Vertical Alignme
nt)モード、PVA(Patterned Vertical Alignment)
モード、ASV(Advanced Super View)モードなどを用いることが
できる。また、画素(ピクセル)をいくつかの領域(サブピクセル)に分け、それぞれ別
の方向に分子を倒すよう工夫されているマルチドメイン化あるいはマルチドメイン設計と
いわれる方法を用いることができる。
透過型の液晶表示装置としてもよい。ここで、垂直配向モードとは、液晶表示パネルの液
晶分子の配列を制御する方式の一種であり、電圧が印加されていないときにパネル面に対
して液晶分子が垂直方向を向く方式である。垂直配向モードとしては、いくつか挙げられ
るが、例えば、MVA(Multi-Domain Vertical Alignme
nt)モード、PVA(Patterned Vertical Alignment)
モード、ASV(Advanced Super View)モードなどを用いることが
できる。また、画素(ピクセル)をいくつかの領域(サブピクセル)に分け、それぞれ別
の方向に分子を倒すよう工夫されているマルチドメイン化あるいはマルチドメイン設計と
いわれる方法を用いることができる。
また、表示装置において、ブラックマトリクス(遮光層)、偏光部材、位相差部材、反射
防止部材などの光学部材(光学基板)などは適宜設ける。例えば、偏光基板及び位相差基
板による円偏光を用いてもよい。また、光源としてバックライト、サイドライトなどを用
いてもよい。
防止部材などの光学部材(光学基板)などは適宜設ける。例えば、偏光基板及び位相差基
板による円偏光を用いてもよい。また、光源としてバックライト、サイドライトなどを用
いてもよい。
また、画素部における表示方式は、プログレッシブ方式やインターレース方式等を用いる
ことができる。また、カラー表示する際に画素で制御する色要素としては、RGB(Rは
赤、Gは緑、Bは青を表す)の三色に限定されない。例えば、RGBW(Wは白を表す)
、又はRGBに、イエロー、シアン、マゼンタ等を一色以上追加したものがある。なお、
色要素のドット毎にその表示領域の大きさが異なっていてもよい。ただし、本発明はカラ
ー表示の表示装置に限定されるものではなく、モノクロ表示の表示装置に適用することも
できる。
ことができる。また、カラー表示する際に画素で制御する色要素としては、RGB(Rは
赤、Gは緑、Bは青を表す)の三色に限定されない。例えば、RGBW(Wは白を表す)
、又はRGBに、イエロー、シアン、マゼンタ等を一色以上追加したものがある。なお、
色要素のドット毎にその表示領域の大きさが異なっていてもよい。ただし、本発明はカラ
ー表示の表示装置に限定されるものではなく、モノクロ表示の表示装置に適用することも
できる。
また、表示装置に含まれる表示素子として、エレクトロルミネッセンスを利用する発光素
子を適用することができる。エレクトロルミネッセンスを利用する発光素子は、発光材料
が有機化合物であるか、無機化合物であるかによって区別され、一般的に、前者は有機E
L素子、後者は無機EL素子と呼ばれている。
子を適用することができる。エレクトロルミネッセンスを利用する発光素子は、発光材料
が有機化合物であるか、無機化合物であるかによって区別され、一般的に、前者は有機E
L素子、後者は無機EL素子と呼ばれている。
有機EL素子は、発光素子に電圧を印加することにより、一対の電極から電子および正孔
がそれぞれ発光性の有機化合物を含む層に注入され、電流が流れる。そして、それらキャ
リア(電子および正孔)が再結合することにより、発光性の有機化合物が励起状態を形成
し、その励起状態が基底状態に戻る際に発光する。このようなメカニズムから、このよう
な発光素子は、電流励起型の発光素子と呼ばれる。
がそれぞれ発光性の有機化合物を含む層に注入され、電流が流れる。そして、それらキャ
リア(電子および正孔)が再結合することにより、発光性の有機化合物が励起状態を形成
し、その励起状態が基底状態に戻る際に発光する。このようなメカニズムから、このよう
な発光素子は、電流励起型の発光素子と呼ばれる。
無機EL素子は、その素子構成により、分散型無機EL素子と薄膜型無機EL素子とに分
類される。分散型無機EL素子は、発光材料の粒子をバインダ中に分散させた発光層を有
するものであり、発光メカニズムはドナー準位とアクセプター準位を利用するドナー-ア
クセプター再結合型発光である。薄膜型無機EL素子は、発光層を誘電体層で挟み込み、
さらにそれを電極で挟んだ構造であり、発光メカニズムは金属イオンの内殻電子遷移を利
用する局在型発光である。なお、ここでは、発光素子として有機EL素子を用いて説明す
る。
類される。分散型無機EL素子は、発光材料の粒子をバインダ中に分散させた発光層を有
するものであり、発光メカニズムはドナー準位とアクセプター準位を利用するドナー-ア
クセプター再結合型発光である。薄膜型無機EL素子は、発光層を誘電体層で挟み込み、
さらにそれを電極で挟んだ構造であり、発光メカニズムは金属イオンの内殻電子遷移を利
用する局在型発光である。なお、ここでは、発光素子として有機EL素子を用いて説明す
る。
発光素子は発光を取り出すために少なくとも一対の電極の一方が透明であればよい。そし
て、基板上にトランジスタ及び発光素子を形成し、基板とは逆側の面から発光を取り出す
上面射出や、基板側の面から発光を取り出す下面射出や、基板側及び基板とは反対側の面
から発光を取り出す両面射出構造の発光素子があり、どの射出構造の発光素子も適用する
ことができる。
て、基板上にトランジスタ及び発光素子を形成し、基板とは逆側の面から発光を取り出す
上面射出や、基板側の面から発光を取り出す下面射出や、基板側及び基板とは反対側の面
から発光を取り出す両面射出構造の発光素子があり、どの射出構造の発光素子も適用する
ことができる。
図7(B)に表示素子として発光素子を用いた発光装置の例を示す。表示素子である発光
素子4513は、画素部4002に設けられたトランジスタ4010と電気的に接続して
いる。なお発光素子4513の構成は、第1の電極層4030、電界発光層4511、第
2の電極層4031の積層構造であるが、示した構成に限定されない。発光素子4513
から取り出す光の方向などに合わせて、発光素子4513の構成は適宜変えることができ
る。
素子4513は、画素部4002に設けられたトランジスタ4010と電気的に接続して
いる。なお発光素子4513の構成は、第1の電極層4030、電界発光層4511、第
2の電極層4031の積層構造であるが、示した構成に限定されない。発光素子4513
から取り出す光の方向などに合わせて、発光素子4513の構成は適宜変えることができ
る。
隔壁4510は、有機絶縁材料、又は無機絶縁材料を用いて形成する。特に感光性の樹脂
材料を用い、第1の電極層4030上に開口部を形成し、その開口部の側壁が連続した曲
率を持って形成される傾斜面となるように形成することが好ましい。
材料を用い、第1の電極層4030上に開口部を形成し、その開口部の側壁が連続した曲
率を持って形成される傾斜面となるように形成することが好ましい。
電界発光層4511は、単数の層で構成されていても、複数の層が積層されるように構成
されていてもどちらでも良い。
されていてもどちらでも良い。
発光素子4513に酸素、水素、水分、二酸化炭素等が侵入しないように、第2の電極層
4031及び隔壁4510上に保護層を形成してもよい。保護層としては、窒化シリコン
、窒化酸化シリコン、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、酸化窒化アルミニウム、窒
化酸化アルミニウム、DLC膜等を形成することができる。また、第1の基板4001、
第2の基板4006、及びシール材4005によって封止された空間には充填材4514
が設けられ密封されている。このように外気に曝されないように気密性が高く、脱ガスの
少ない保護フィルム(貼り合わせフィルム、紫外線硬化樹脂フィルム等)やカバー材でパ
ッケージング(封入)することが好ましい。
4031及び隔壁4510上に保護層を形成してもよい。保護層としては、窒化シリコン
、窒化酸化シリコン、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、酸化窒化アルミニウム、窒
化酸化アルミニウム、DLC膜等を形成することができる。また、第1の基板4001、
第2の基板4006、及びシール材4005によって封止された空間には充填材4514
が設けられ密封されている。このように外気に曝されないように気密性が高く、脱ガスの
少ない保護フィルム(貼り合わせフィルム、紫外線硬化樹脂フィルム等)やカバー材でパ
ッケージング(封入)することが好ましい。
充填材4514としては窒素やアルゴンなどの不活性な気体の他に、紫外線硬化樹脂また
は熱硬化樹脂を用いることができ、PVC(ポリビニルクロライド)、アクリル樹脂、ポ
リイミド、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、PVB(ポリビニルブチラル)またはEVA
(エチレンビニルアセテート)を用いることができる。例えば充填材として窒素を用いれ
ばよい。
は熱硬化樹脂を用いることができ、PVC(ポリビニルクロライド)、アクリル樹脂、ポ
リイミド、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、PVB(ポリビニルブチラル)またはEVA
(エチレンビニルアセテート)を用いることができる。例えば充填材として窒素を用いれ
ばよい。
また、必要であれば、発光素子の射出面に偏光板、又は円偏光板(楕円偏光板を含む)、
位相差板(λ/4板、λ/2板)、カラーフィルタなどの光学フィルムを適宜設けてもよ
い。また、偏光板又は円偏光板に反射防止膜を設けてもよい。例えば、表面の凹凸により
反射光を拡散し、映り込みを低減できるアンチグレア処理を施すことができる。
位相差板(λ/4板、λ/2板)、カラーフィルタなどの光学フィルムを適宜設けてもよ
い。また、偏光板又は円偏光板に反射防止膜を設けてもよい。例えば、表面の凹凸により
反射光を拡散し、映り込みを低減できるアンチグレア処理を施すことができる。
表示素子に電圧を印加する第1の電極層及び第2の電極層(画素電極層、共通電極層、対
向電極層などともいう)においては、取り出す光の方向、電極層が設けられる場所、及び
電極層のパターン構造によって透光性、反射性を選択すればよい。
向電極層などともいう)においては、取り出す光の方向、電極層が設けられる場所、及び
電極層のパターン構造によって透光性、反射性を選択すればよい。
第1の電極層4030、第2の電極層4031は、酸化タングステンを含むインジウム酸
化物、酸化タングステンを含むインジウム亜鉛酸化物、酸化チタンを含むインジウム酸化
物、酸化チタンを含むインジウム錫酸化物、インジウム錫酸化物(以下、ITOと示す。
)、インジウム亜鉛酸化物、酸化ケイ素を添加したインジウム錫酸化物などの透光性を有
する導電性材料を用いることができる。
化物、酸化タングステンを含むインジウム亜鉛酸化物、酸化チタンを含むインジウム酸化
物、酸化チタンを含むインジウム錫酸化物、インジウム錫酸化物(以下、ITOと示す。
)、インジウム亜鉛酸化物、酸化ケイ素を添加したインジウム錫酸化物などの透光性を有
する導電性材料を用いることができる。
また、第1の電極層4030、第2の電極層4031はタングステン(W)、モリブデン
(Mo)、ジルコニウム(Zr)、ハフニウム(Hf)、バナジウム(V)、ニオブ(N
b)、タンタル(Ta)、クロム(Cr)、コバルト(Co)、ニッケル(Ni)、チタ
ン(Ti)、白金(Pt)、アルミニウム(Al)、銅(Cu)、銀(Ag)等の金属、
又はその合金、若しくはその金属窒化物から一つ、又は複数種を用いて形成することがで
きる。
(Mo)、ジルコニウム(Zr)、ハフニウム(Hf)、バナジウム(V)、ニオブ(N
b)、タンタル(Ta)、クロム(Cr)、コバルト(Co)、ニッケル(Ni)、チタ
ン(Ti)、白金(Pt)、アルミニウム(Al)、銅(Cu)、銀(Ag)等の金属、
又はその合金、若しくはその金属窒化物から一つ、又は複数種を用いて形成することがで
きる。
また、第1の電極層4030、第2の電極層4031として、導電性高分子(導電性ポリ
マーともいう)を含む導電性組成物を用いて形成することができる。導電性高分子として
は、いわゆるπ電子共役系導電性高分子を用いることができる。例えば、ポリアニリンま
たはその誘導体、ポリピロールまたはその誘導体、ポリチオフェンまたはその誘導体、若
しくはアニリン、ピロールおよびチオフェンの2種以上からなる共重合体若しくはその誘
導体等があげられる。
マーともいう)を含む導電性組成物を用いて形成することができる。導電性高分子として
は、いわゆるπ電子共役系導電性高分子を用いることができる。例えば、ポリアニリンま
たはその誘導体、ポリピロールまたはその誘導体、ポリチオフェンまたはその誘導体、若
しくはアニリン、ピロールおよびチオフェンの2種以上からなる共重合体若しくはその誘
導体等があげられる。
また、トランジスタは静電気などにより破壊されやすいため、駆動回路保護用の保護回路
を設けることが好ましい。保護回路は、非線形素子を用いて構成することが好ましい。
を設けることが好ましい。保護回路は、非線形素子を用いて構成することが好ましい。
以上のように上記実施の形態で示したトランジスタを適用することで、表示機能を有する
信頼性のよい半導体装置を提供することができる。
信頼性のよい半導体装置を提供することができる。
本実施の形態は、他の実施の形態に記載した構成と適宜組み合わせて実施することが可能
である。
である。
(実施の形態4)
上記実施の形態に示したトランジスタを用いて、対象物の情報を読み取るイメージセンサ
機能を有する半導体装置を作製することができる。
上記実施の形態に示したトランジスタを用いて、対象物の情報を読み取るイメージセンサ
機能を有する半導体装置を作製することができる。
図8(A)に、イメージセンサ機能を有する半導体装置の一例を示す。図8(A)はフォ
トセンサの等価回路であり、図8(B)はフォトセンサの一部を示す断面図である。
トセンサの等価回路であり、図8(B)はフォトセンサの一部を示す断面図である。
フォトダイオード602は、一方の電極がフォトダイオードリセット信号線658に、他
方の電極がトランジスタ640のゲートに電気的に接続されている。トランジスタ640
は、ソース又はドレインの一方がフォトセンサ基準信号線672に、ソース又はドレイン
の他方がトランジスタ656のソース又はドレインの一方に電気的に接続されている。ト
ランジスタ656は、ゲートがゲート信号線659に、ソース又はドレインの他方がフォ
トセンサ出力信号線671に電気的に接続されている。
方の電極がトランジスタ640のゲートに電気的に接続されている。トランジスタ640
は、ソース又はドレインの一方がフォトセンサ基準信号線672に、ソース又はドレイン
の他方がトランジスタ656のソース又はドレインの一方に電気的に接続されている。ト
ランジスタ656は、ゲートがゲート信号線659に、ソース又はドレインの他方がフォ
トセンサ出力信号線671に電気的に接続されている。
なお、本明細書における回路図において、酸化物半導体層を用いるトランジスタと明確に
判明できるように、酸化物半導体層を用いるトランジスタの記号には「OS」と記載して
いる。図8(A)において、トランジスタ640、トランジスタ656は上記実施の形態
に示したトランジスタが適用でき、チャネルが形成される半導体層に酸化物半導体を用い
るトランジスタである。本実施の形態では、実施の形態1で示したトランジスタ150と
同様な構造を有するトランジスタを適用する例を示す。トランジスタ640は、酸化物半
導体層上にチャネル保護層として機能する絶縁層が設けられた、ボトムゲート構造の逆ス
タガ型トランジスタである。
判明できるように、酸化物半導体層を用いるトランジスタの記号には「OS」と記載して
いる。図8(A)において、トランジスタ640、トランジスタ656は上記実施の形態
に示したトランジスタが適用でき、チャネルが形成される半導体層に酸化物半導体を用い
るトランジスタである。本実施の形態では、実施の形態1で示したトランジスタ150と
同様な構造を有するトランジスタを適用する例を示す。トランジスタ640は、酸化物半
導体層上にチャネル保護層として機能する絶縁層が設けられた、ボトムゲート構造の逆ス
タガ型トランジスタである。
図8(B)は、フォトセンサにおけるフォトダイオード602及びトランジスタ640の
構成例を示す断面図であり、絶縁表面を有する基板601(TFT基板)上に、センサと
して機能するフォトダイオード602及びトランジスタ640が設けられている。フォト
ダイオード602、トランジスタ640の上には接着層608を用いて基板613が設け
られている。
構成例を示す断面図であり、絶縁表面を有する基板601(TFT基板)上に、センサと
して機能するフォトダイオード602及びトランジスタ640が設けられている。フォト
ダイオード602、トランジスタ640の上には接着層608を用いて基板613が設け
られている。
トランジスタ640上には絶縁層633、絶縁層634が設けられている。フォトダイオ
ード602は、絶縁層633上に設けられ、絶縁層633上に形成した電極641a、電
極641bと、絶縁層634上に設けられた電極層642との間に、絶縁層633側から
順に第1半導体層606a、第2半導体層606b、及び第3半導体層606cを積層し
た構造を有している。
ード602は、絶縁層633上に設けられ、絶縁層633上に形成した電極641a、電
極641bと、絶縁層634上に設けられた電極層642との間に、絶縁層633側から
順に第1半導体層606a、第2半導体層606b、及び第3半導体層606cを積層し
た構造を有している。
電極641bは、絶縁層634上に形成された導電層643と電気的に接続し、電極層6
42は電極641aを介して導電層645と電気的に接続している。導電層645は、ト
ランジスタ640のゲート電極と電気的に接続しており、フォトダイオード602はトラ
ンジスタ640と電気的に接続している。
42は電極641aを介して導電層645と電気的に接続している。導電層645は、ト
ランジスタ640のゲート電極と電気的に接続しており、フォトダイオード602はトラ
ンジスタ640と電気的に接続している。
ここでは、第1半導体層606aとしてp型の導電型を有する半導体層と、第2半導体層
606bとして高抵抗な半導体層(i型半導体層)、第3半導体層606cとしてn型の
導電型を有する半導体層を積層するpin型のフォトダイオードを例示している。
606bとして高抵抗な半導体層(i型半導体層)、第3半導体層606cとしてn型の
導電型を有する半導体層を積層するpin型のフォトダイオードを例示している。
第1半導体層606aはp型半導体層であり、p型を付与する不純物元素を含むアモルフ
ァスシリコンにより形成することができる。第1半導体層606aの形成には13族の不
純物元素(例えばボロン(B))を含む半導体材料ガスを用いて、プラズマCVD法によ
り形成する。半導体材料ガスとしてはシラン(SiH4)を用いればよい。または、Si
2H6、SiH2Cl2、SiHCl3、SiCl4、SiF4等を用いてもよい。また
、不純物元素を含まないアモルファスシリコンを形成した後に、拡散法やイオン注入法を
用いて該アモルファスシリコンに不純物元素を導入してもよい。イオン注入法等により不
純物元素を導入した後に加熱等を行うことで、不純物元素を拡散させるとよい。この場合
にアモルファスシリコンを形成する方法としては、LPCVD法、気相成長法、又はスパ
ッタリング法等を用いればよい。第1半導体層606aの膜厚は10nm以上50nm以
下となるよう形成することが好ましい。
ァスシリコンにより形成することができる。第1半導体層606aの形成には13族の不
純物元素(例えばボロン(B))を含む半導体材料ガスを用いて、プラズマCVD法によ
り形成する。半導体材料ガスとしてはシラン(SiH4)を用いればよい。または、Si
2H6、SiH2Cl2、SiHCl3、SiCl4、SiF4等を用いてもよい。また
、不純物元素を含まないアモルファスシリコンを形成した後に、拡散法やイオン注入法を
用いて該アモルファスシリコンに不純物元素を導入してもよい。イオン注入法等により不
純物元素を導入した後に加熱等を行うことで、不純物元素を拡散させるとよい。この場合
にアモルファスシリコンを形成する方法としては、LPCVD法、気相成長法、又はスパ
ッタリング法等を用いればよい。第1半導体層606aの膜厚は10nm以上50nm以
下となるよう形成することが好ましい。
第2半導体層606bは、i型半導体層(真性半導体層)であり、アモルファスシリコン
により形成する。第2半導体層606bの形成には、半導体材料ガスを用いて、アモルフ
ァスシリコンをプラズマCVD法により形成する。半導体材料ガスとしては、シラン(S
iH4)を用いればよい。または、Si2H6、SiH2Cl2、SiHCl3、SiC
l4、SiF4等を用いてもよい。第2半導体層606bの形成は、LPCVD法、気相
成長法、スパッタリング法等により行ってもよい。第2半導体層606bの膜厚は200
nm以上1000nm以下となるように形成することが好ましい。
により形成する。第2半導体層606bの形成には、半導体材料ガスを用いて、アモルフ
ァスシリコンをプラズマCVD法により形成する。半導体材料ガスとしては、シラン(S
iH4)を用いればよい。または、Si2H6、SiH2Cl2、SiHCl3、SiC
l4、SiF4等を用いてもよい。第2半導体層606bの形成は、LPCVD法、気相
成長法、スパッタリング法等により行ってもよい。第2半導体層606bの膜厚は200
nm以上1000nm以下となるように形成することが好ましい。
第3半導体層606cは、n型半導体層であり、n型を付与する不純物元素を含むアモル
ファスシリコンにより形成する。第3半導体層606cの形成には、15族の不純物元素
(例えばリン(P))を含む半導体材料ガスを用いて、プラズマCVD法により形成する
。半導体材料ガスとしてはシラン(SiH4)を用いればよい。または、Si2H6、S
iH2Cl2、SiHCl3、SiCl4、SiF4等を用いてもよい。また、不純物元
素を含まないアモルファスシリコンを形成した後に、拡散法やイオン注入法を用いて該ア
モルファスシリコンに不純物元素を導入してもよい。イオン注入法等により不純物元素を
導入した後に加熱等を行うことで、不純物元素を拡散させるとよい。この場合にアモルフ
ァスシリコンを形成する方法としては、LPCVD法、気相成長法、又はスパッタリング
法等を用いればよい。第3半導体層606cの膜厚は20nm以上200nm以下となる
よう形成することが好ましい。
ファスシリコンにより形成する。第3半導体層606cの形成には、15族の不純物元素
(例えばリン(P))を含む半導体材料ガスを用いて、プラズマCVD法により形成する
。半導体材料ガスとしてはシラン(SiH4)を用いればよい。または、Si2H6、S
iH2Cl2、SiHCl3、SiCl4、SiF4等を用いてもよい。また、不純物元
素を含まないアモルファスシリコンを形成した後に、拡散法やイオン注入法を用いて該ア
モルファスシリコンに不純物元素を導入してもよい。イオン注入法等により不純物元素を
導入した後に加熱等を行うことで、不純物元素を拡散させるとよい。この場合にアモルフ
ァスシリコンを形成する方法としては、LPCVD法、気相成長法、又はスパッタリング
法等を用いればよい。第3半導体層606cの膜厚は20nm以上200nm以下となる
よう形成することが好ましい。
また、第1半導体層606a、第2半導体層606b、及び第3半導体層606cは、ア
モルファス半導体ではなく、多結晶半導体を用いて形成してもよいし、微結晶半導体や、
セミアモルファス半導体(SAS:Semi Amorphous Semicondu
ctor)を用いて形成してもよい。
モルファス半導体ではなく、多結晶半導体を用いて形成してもよいし、微結晶半導体や、
セミアモルファス半導体(SAS:Semi Amorphous Semicondu
ctor)を用いて形成してもよい。
また、光電効果で発生した正孔の移動度は電子の移動度に比べて小さいため、pin型の
フォトダイオードはp型の半導体層側を受光面とする方がよい特性を示す。ここでは、p
in型のフォトダイオードが形成されている基板601の面からフォトダイオード602
が受ける光622を電気信号に変換する例を示す。また、受光面とした半導体層側とは逆
の導電型を有する半導体層側からの光は外乱光となるため、電極層は遮光性を有する導電
層を用いるとよい。また、n型の半導体層側を受光面として用いることもできる。
フォトダイオードはp型の半導体層側を受光面とする方がよい特性を示す。ここでは、p
in型のフォトダイオードが形成されている基板601の面からフォトダイオード602
が受ける光622を電気信号に変換する例を示す。また、受光面とした半導体層側とは逆
の導電型を有する半導体層側からの光は外乱光となるため、電極層は遮光性を有する導電
層を用いるとよい。また、n型の半導体層側を受光面として用いることもできる。
絶縁層633、絶縁層634としては、表面凹凸を低減するため平坦化層として機能する
絶縁層が好ましい。絶縁層633、絶縁層634としては、例えばポリイミド、アクリル
樹脂、ベンゾシクロブテン樹脂、ポリアミド、エポキシ樹脂等の、耐熱性を有する有機絶
縁材料を用いることができる。また上記有機絶縁材料の他に、低誘電率材料(low-k
材料)、シロキサン系樹脂、PSG(リンガラス)、BPSG(リンボロンガラス)等の
単層、又は積層を用いることができる。
絶縁層が好ましい。絶縁層633、絶縁層634としては、例えばポリイミド、アクリル
樹脂、ベンゾシクロブテン樹脂、ポリアミド、エポキシ樹脂等の、耐熱性を有する有機絶
縁材料を用いることができる。また上記有機絶縁材料の他に、低誘電率材料(low-k
材料)、シロキサン系樹脂、PSG(リンガラス)、BPSG(リンボロンガラス)等の
単層、又は積層を用いることができる。
フォトダイオード602に入射する光を検出することによって、被検出物の情報を読み取
ることができる。なお、被検出物の情報を読み取る際にバックライトなどの光源を用いる
ことができる。
ることができる。なお、被検出物の情報を読み取る際にバックライトなどの光源を用いる
ことができる。
上記実施の形態で示したトランジスタは、電気特性変動が抑制されており、電気的に安定
である。従って、安定した電気特性を有するトランジスタ640を含む信頼性の高い半導
体装置を提供することができる。また、信頼性の高い半導体装置を歩留まりよく作製し、
高生産化を達成することができる。
である。従って、安定した電気特性を有するトランジスタ640を含む信頼性の高い半導
体装置を提供することができる。また、信頼性の高い半導体装置を歩留まりよく作製し、
高生産化を達成することができる。
本実施の形態は、他の実施の形態に記載した構成と適宜組み合わせて実施することが可能
である。
である。
(実施の形態5)
本明細書に開示する半導体装置は、さまざまな電子機器(遊技機も含む)に適用すること
ができる。電子機器としては、テレビジョン装置(テレビ、又はテレビジョン受信機とも
いう)、コンピュータ用などのモニタ、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、デジタ
ルフォトフレーム、携帯電話機、携帯型ゲーム機、携帯情報端末、音響再生装置、遊技機
(パチンコ機、スロットマシン等)、ゲーム筐体が挙げられる。これらの電子機器の具体
例を図9及び図10に示す。
本明細書に開示する半導体装置は、さまざまな電子機器(遊技機も含む)に適用すること
ができる。電子機器としては、テレビジョン装置(テレビ、又はテレビジョン受信機とも
いう)、コンピュータ用などのモニタ、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、デジタ
ルフォトフレーム、携帯電話機、携帯型ゲーム機、携帯情報端末、音響再生装置、遊技機
(パチンコ機、スロットマシン等)、ゲーム筐体が挙げられる。これらの電子機器の具体
例を図9及び図10に示す。
図9(A)は、表示部を有するテーブル9000を示している。テーブル9000は、筐
体9001に表示部9003が組み込まれており、表示部9003により映像を表示する
ことが可能である。なお、4本の脚部9002により筐体9001を支持した構成を示し
ている。また、電力供給のための電源コード9005を筐体9001に有している。
体9001に表示部9003が組み込まれており、表示部9003により映像を表示する
ことが可能である。なお、4本の脚部9002により筐体9001を支持した構成を示し
ている。また、電力供給のための電源コード9005を筐体9001に有している。
実施の形態1乃至4のいずれかに示す半導体装置は、表示部9003に用いることが可能
であり、電子機器に高い信頼性を付与することができる。
であり、電子機器に高い信頼性を付与することができる。
表示部9003は、タッチ入力機能を有しており、テーブル9000の表示部9003に
表示された表示ボタン9004を指などで触れることで、画面操作や、情報を入力するこ
とができ、また他の家電製品との通信を可能とする、又は制御を可能とすることで、画面
操作により他の家電製品をコントロールする制御装置としてもよい。例えば、実施の形態
3に示したイメージセンサ機能を有する半導体装置を用いれば、表示部9003にタッチ
入力機能を持たせることができる。
表示された表示ボタン9004を指などで触れることで、画面操作や、情報を入力するこ
とができ、また他の家電製品との通信を可能とする、又は制御を可能とすることで、画面
操作により他の家電製品をコントロールする制御装置としてもよい。例えば、実施の形態
3に示したイメージセンサ機能を有する半導体装置を用いれば、表示部9003にタッチ
入力機能を持たせることができる。
また、筐体9001に設けられたヒンジによって、表示部9003の画面を床に対して垂
直に立てることもでき、テレビジョン装置としても利用できる。狭い部屋においては、大
きな画面のテレビジョン装置は設置すると自由な空間が狭くなってしまうが、テーブルに
表示部が内蔵されていれば、部屋の空間を有効に利用することができる。
直に立てることもでき、テレビジョン装置としても利用できる。狭い部屋においては、大
きな画面のテレビジョン装置は設置すると自由な空間が狭くなってしまうが、テーブルに
表示部が内蔵されていれば、部屋の空間を有効に利用することができる。
図9(B)は、テレビジョン装置9100を示している。テレビジョン装置9100は、
筐体9101に表示部9103が組み込まれており、表示部9103により映像を表示す
ることが可能である。なお、ここではスタンド9105により筐体9101を支持した構
成を示している。
筐体9101に表示部9103が組み込まれており、表示部9103により映像を表示す
ることが可能である。なお、ここではスタンド9105により筐体9101を支持した構
成を示している。
テレビジョン装置9100の操作は、筐体9101が備える操作スイッチや、別体のリモ
コン操作機9110により行うことができる。リモコン操作機9110が備える操作キー
9109により、チャンネルや音量の操作を行うことができ、表示部9103に表示され
る映像を操作することができる。また、リモコン操作機9110に、当該リモコン操作機
9110から出力する情報を表示する表示部9107を設ける構成としてもよい。
コン操作機9110により行うことができる。リモコン操作機9110が備える操作キー
9109により、チャンネルや音量の操作を行うことができ、表示部9103に表示され
る映像を操作することができる。また、リモコン操作機9110に、当該リモコン操作機
9110から出力する情報を表示する表示部9107を設ける構成としてもよい。
図9(B)に示すテレビジョン装置9100は、受信機やモデムなどを備えている。テレ
ビジョン装置9100は、受信機により一般のテレビ放送の受信を行うことができ、さら
にモデムを介して有線又は無線による通信ネットワークに接続することにより、一方向(
送信者から受信者)又は双方向(送信者と受信者間、あるいは受信者間同士など)の情報
通信を行うことも可能である。
ビジョン装置9100は、受信機により一般のテレビ放送の受信を行うことができ、さら
にモデムを介して有線又は無線による通信ネットワークに接続することにより、一方向(
送信者から受信者)又は双方向(送信者と受信者間、あるいは受信者間同士など)の情報
通信を行うことも可能である。
実施の形態1乃至4のいずれかに示す半導体装置は、表示部9103、9107に用いる
ことが可能であり、テレビジョン装置、及びリモコン操作機に高い信頼性を付与すること
ができる。
ことが可能であり、テレビジョン装置、及びリモコン操作機に高い信頼性を付与すること
ができる。
図9(C)はコンピュータであり、本体9201、筐体9202、表示部9203、キー
ボード9204、外部接続ポート9205、ポインティングデバイス9206等を含む。
コンピュータは、本発明の一態様を用いて作製される半導体装置をその表示部9203に
用いることにより作製される。先の実施の形態に示した半導体装置を利用すれば、信頼性
の高いコンピュータとすることが可能となる。
ボード9204、外部接続ポート9205、ポインティングデバイス9206等を含む。
コンピュータは、本発明の一態様を用いて作製される半導体装置をその表示部9203に
用いることにより作製される。先の実施の形態に示した半導体装置を利用すれば、信頼性
の高いコンピュータとすることが可能となる。
図10(A)及び図10(B)は2つ折り可能なタブレット型端末である。図10(A)
は、開いた状態であり、タブレット型端末は、筐体9630、表示部9631aと表示部
9631bを有する表示部9631、表示モード切り替えスイッチ9626、電源スイッ
チ9627、省電力モード切り替えスイッチ9625、留め具9629、操作スイッチ9
628、を有する。
は、開いた状態であり、タブレット型端末は、筐体9630、表示部9631aと表示部
9631bを有する表示部9631、表示モード切り替えスイッチ9626、電源スイッ
チ9627、省電力モード切り替えスイッチ9625、留め具9629、操作スイッチ9
628、を有する。
実施の形態1乃至4のいずれかに示す半導体装置は、表示部9631a、表示部9631
bに用いることが可能であり、信頼性の高いタブレット型端末とすることが可能となる。
bに用いることが可能であり、信頼性の高いタブレット型端末とすることが可能となる。
表示部9631aは、一部をタッチパネルの領域9632aとすることができ、表示され
た操作キー9638にふれることでデータ入力をすることができる。なお、表示部963
1aにおいては、一例として半分の領域が表示のみの機能を有する構成、もう半分の領域
がタッチパネルの機能を有する構成を示しているが該構成に限定されない。表示部963
1aの全ての領域がタッチパネルの機能を有する構成としても良い。例えば、表示部96
31aの全面をキーボードボタン表示させてタッチパネルとし、表示部9631bを表示
画面として用いることができる。
た操作キー9638にふれることでデータ入力をすることができる。なお、表示部963
1aにおいては、一例として半分の領域が表示のみの機能を有する構成、もう半分の領域
がタッチパネルの機能を有する構成を示しているが該構成に限定されない。表示部963
1aの全ての領域がタッチパネルの機能を有する構成としても良い。例えば、表示部96
31aの全面をキーボードボタン表示させてタッチパネルとし、表示部9631bを表示
画面として用いることができる。
また、表示部9631bにおいても表示部9631aと同様に、表示部9631bの一部
をタッチパネルの領域9632bとすることができる。また、タッチパネルのキーボード
表示切り替えボタン9639が表示されている位置に指やスタイラスなどでふれることで
表示部9631bにキーボードボタン表示することができる。
をタッチパネルの領域9632bとすることができる。また、タッチパネルのキーボード
表示切り替えボタン9639が表示されている位置に指やスタイラスなどでふれることで
表示部9631bにキーボードボタン表示することができる。
また、タッチパネルの領域9632aとタッチパネルの領域9632bに対して同時にタ
ッチ入力することもできる。
ッチ入力することもできる。
また、表示モード切り替えスイッチ9626は、縦表示又は横表示などの表示の向きを切
り替え、白黒表示やカラー表示の切り替えなどを選択できる。省電力モード切り替えスイ
ッチ9625は、タブレット型端末に内蔵している光センサで検出される使用時の外光の
光量に応じて表示の輝度を最適なものとすることができる。タブレット型端末は光センサ
だけでなく、ジャイロ、加速度センサ等の傾きを検出するセンサなどの他の検出装置を内
蔵させてもよい。
り替え、白黒表示やカラー表示の切り替えなどを選択できる。省電力モード切り替えスイ
ッチ9625は、タブレット型端末に内蔵している光センサで検出される使用時の外光の
光量に応じて表示の輝度を最適なものとすることができる。タブレット型端末は光センサ
だけでなく、ジャイロ、加速度センサ等の傾きを検出するセンサなどの他の検出装置を内
蔵させてもよい。
また、図10(A)では表示部9631bと表示部9631aの表示面積が同じ例を示し
ているが特に限定されず、一方のサイズともう一方のサイズが異なっていてもよく、表示
の品質も異なっていてもよい。例えば一方が他方よりも高精細な表示を行える表示パネル
としてもよい。
ているが特に限定されず、一方のサイズともう一方のサイズが異なっていてもよく、表示
の品質も異なっていてもよい。例えば一方が他方よりも高精細な表示を行える表示パネル
としてもよい。
図10(B)は、閉じた状態であり、タブレット型端末は、筐体9630、太陽電池96
33、充放電制御回路9634、バッテリー9635、DCDCコンバータ9636を有
する。なお、図10(B)では充放電制御回路9634の一例としてバッテリー9635
、DCDCコンバータ9636を有する構成について示している。
33、充放電制御回路9634、バッテリー9635、DCDCコンバータ9636を有
する。なお、図10(B)では充放電制御回路9634の一例としてバッテリー9635
、DCDCコンバータ9636を有する構成について示している。
なお、タブレット型端末は2つ折り可能なため、未使用時に筐体9630を閉じた状態に
することができる。従って、表示部9631a、表示部9631bを保護できるため、耐
久性に優れ、長期使用の観点からも信頼性の優れたタブレット型端末を提供できる。
することができる。従って、表示部9631a、表示部9631bを保護できるため、耐
久性に優れ、長期使用の観点からも信頼性の優れたタブレット型端末を提供できる。
また、この他にも図10(A)及び図10(B)に示したタブレット型端末は、様々な情
報(静止画、動画、テキスト画像など)を表示する機能、カレンダー、日付又は時刻など
を表示部に表示する機能、表示部に表示した情報をタッチ入力操作又は編集するタッチ入
力機能、様々なソフトウェア(プログラム)によって処理を制御する機能、等を有するこ
とができる。
報(静止画、動画、テキスト画像など)を表示する機能、カレンダー、日付又は時刻など
を表示部に表示する機能、表示部に表示した情報をタッチ入力操作又は編集するタッチ入
力機能、様々なソフトウェア(プログラム)によって処理を制御する機能、等を有するこ
とができる。
タブレット型端末の表面に装着された太陽電池9633によって、電力をタッチパネル、
表示部、又は映像信号処理部等に供給することができる。なお、太陽電池9633は、筐
体9630の片面又は両面に設けることができ、バッテリー9635の充電を効率的に行
う構成とすることができるため好適である。なおバッテリー9635としては、リチウム
イオン電池を用いると、小型化を図れる等の利点がある。
表示部、又は映像信号処理部等に供給することができる。なお、太陽電池9633は、筐
体9630の片面又は両面に設けることができ、バッテリー9635の充電を効率的に行
う構成とすることができるため好適である。なおバッテリー9635としては、リチウム
イオン電池を用いると、小型化を図れる等の利点がある。
また、図10(B)に示す充放電制御回路9634の構成、及び動作について図10(C
)にブロック図を示し説明する。図10(C)には、太陽電池9633、バッテリー96
35、DCDCコンバータ9636、コンバータ9637、スイッチSW1乃至SW3、
表示部9631について示しており、バッテリー9635、DCDCコンバータ9636
、コンバータ9637、スイッチSW1乃至SW3が、図10(B)に示す充放電制御回
路9634に対応する箇所となる。
)にブロック図を示し説明する。図10(C)には、太陽電池9633、バッテリー96
35、DCDCコンバータ9636、コンバータ9637、スイッチSW1乃至SW3、
表示部9631について示しており、バッテリー9635、DCDCコンバータ9636
、コンバータ9637、スイッチSW1乃至SW3が、図10(B)に示す充放電制御回
路9634に対応する箇所となる。
まず外光により太陽電池9633により発電がされる場合の動作の例について説明する。
太陽電池で発電した電力は、バッテリー9635を充電するための電圧となるようDCD
Cコンバータ9636で昇圧又は降圧がなされる。そして、表示部9631の動作に太陽
電池9633からの電力が用いられる際にはスイッチSW1をオンにし、コンバータ96
37で表示部9631に必要な電圧に昇圧又は降圧をすることとなる。また、表示部96
31での表示を行わない際には、SW1をオフにし、SW2をオンにしてバッテリー96
35の充電を行う構成とすればよい。
太陽電池で発電した電力は、バッテリー9635を充電するための電圧となるようDCD
Cコンバータ9636で昇圧又は降圧がなされる。そして、表示部9631の動作に太陽
電池9633からの電力が用いられる際にはスイッチSW1をオンにし、コンバータ96
37で表示部9631に必要な電圧に昇圧又は降圧をすることとなる。また、表示部96
31での表示を行わない際には、SW1をオフにし、SW2をオンにしてバッテリー96
35の充電を行う構成とすればよい。
なお太陽電池9633については、発電手段の一例として示したが、特に限定されず、圧
電素子(ピエゾ素子)や熱電変換素子(ペルティエ素子)などの他の発電手段によるバッ
テリー9635の充電を行う構成であってもよい。例えば、無線(非接触)で電力を送受
信して充電する無接点電力伝送モジュールや、また他の充電手段を組み合わせて行う構成
としてもよい。
電素子(ピエゾ素子)や熱電変換素子(ペルティエ素子)などの他の発電手段によるバッ
テリー9635の充電を行う構成であってもよい。例えば、無線(非接触)で電力を送受
信して充電する無接点電力伝送モジュールや、また他の充電手段を組み合わせて行う構成
としてもよい。
本実施の形態は、他の実施の形態に記載した構成と適宜組み合わせて実施することが可能
である。
である。
101 基板
102 絶縁層
103 ゲート電極
104 ゲート絶縁層
105 酸化物半導体層
107 絶縁層
108 絶縁層
109 絶縁層
110 平坦化絶縁層
111 絶縁層
115 酸化物半導体層
117 導電層
119 金属層
121 酸素
122 酸素
150 トランジスタ
160 トランジスタ
170 トランジスタ
201 部位
202 部位
601 基板
602 フォトダイオード
608 接着層
613 基板
622 光
633 絶縁層
634 絶縁層
640 トランジスタ
642 電極層
643 導電層
645 導電層
656 トランジスタ
658 フォトダイオードリセット信号線
659 ゲート信号線
671 フォトセンサ出力信号線
672 フォトセンサ基準信号線
4001 基板
4002 画素部
4003 信号線駆動回路
4004 走査線駆動回路
4005 シール材
4006 基板
4008 液晶層
4010 トランジスタ
4011 トランジスタ
4013 液晶素子
4015 接続端子電極
4016 端子電極
4017 導電層
4018 FPC
4019 異方性導電層
4020 絶縁層
4021 平坦化層
4023 絶縁層
4024 絶縁層
4030 電極層
4031 電極層
4032 絶縁層
4033 絶縁層
4035 スペーサ
4510 隔壁
4511 電界発光層
4513 発光素子
4514 充填材
9000 テーブル
9001 筐体
9002 脚部
9003 表示部
9004 表示ボタン
9005 電源コード
9100 テレビジョン装置
9101 筐体
9103 表示部
9105 スタンド
9107 表示部
9109 操作キー
9110 リモコン操作機
9201 本体
9202 筐体
9203 表示部
9204 キーボード
9205 外部接続ポート
9206 ポインティングデバイス
9625 スイッチ
9626 スイッチ
9627 電源スイッチ
9628 操作スイッチ
9629 留め具
9630 筐体
9631 表示部
9633 太陽電池
9634 充放電制御回路
9635 バッテリー
9636 DCDCコンバータ
9637 コンバータ
9638 操作キー
9639 ボタン
104a ゲート絶縁層
104b ゲート絶縁層
106a ソース電極
106b ドレイン電極
4018a FPC
4018b FPC
606a 半導体層
606b 半導体層
606c 半導体層
641a 電極
641b 電極
9631a 表示部
9631b 表示部
9632a 領域
9632b 領域
102 絶縁層
103 ゲート電極
104 ゲート絶縁層
105 酸化物半導体層
107 絶縁層
108 絶縁層
109 絶縁層
110 平坦化絶縁層
111 絶縁層
115 酸化物半導体層
117 導電層
119 金属層
121 酸素
122 酸素
150 トランジスタ
160 トランジスタ
170 トランジスタ
201 部位
202 部位
601 基板
602 フォトダイオード
608 接着層
613 基板
622 光
633 絶縁層
634 絶縁層
640 トランジスタ
642 電極層
643 導電層
645 導電層
656 トランジスタ
658 フォトダイオードリセット信号線
659 ゲート信号線
671 フォトセンサ出力信号線
672 フォトセンサ基準信号線
4001 基板
4002 画素部
4003 信号線駆動回路
4004 走査線駆動回路
4005 シール材
4006 基板
4008 液晶層
4010 トランジスタ
4011 トランジスタ
4013 液晶素子
4015 接続端子電極
4016 端子電極
4017 導電層
4018 FPC
4019 異方性導電層
4020 絶縁層
4021 平坦化層
4023 絶縁層
4024 絶縁層
4030 電極層
4031 電極層
4032 絶縁層
4033 絶縁層
4035 スペーサ
4510 隔壁
4511 電界発光層
4513 発光素子
4514 充填材
9000 テーブル
9001 筐体
9002 脚部
9003 表示部
9004 表示ボタン
9005 電源コード
9100 テレビジョン装置
9101 筐体
9103 表示部
9105 スタンド
9107 表示部
9109 操作キー
9110 リモコン操作機
9201 本体
9202 筐体
9203 表示部
9204 キーボード
9205 外部接続ポート
9206 ポインティングデバイス
9625 スイッチ
9626 スイッチ
9627 電源スイッチ
9628 操作スイッチ
9629 留め具
9630 筐体
9631 表示部
9633 太陽電池
9634 充放電制御回路
9635 バッテリー
9636 DCDCコンバータ
9637 コンバータ
9638 操作キー
9639 ボタン
104a ゲート絶縁層
104b ゲート絶縁層
106a ソース電極
106b ドレイン電極
4018a FPC
4018b FPC
606a 半導体層
606b 半導体層
606c 半導体層
641a 電極
641b 電極
9631a 表示部
9631b 表示部
9632a 領域
9632b 領域
Claims (1)
- 基板上のゲート電極と、
前記ゲート電極上のゲート絶縁層と、
前記ゲート絶縁層を介してゲート電極と対向する酸化物半導体層と、
前記酸化物半導体層上のソース電極及びドレイン電極と、
前記酸化物半導体層、前記ソース電極及び前記ドレイン電極上の第1の絶縁層と、
前記第1の絶縁層上の第2の絶縁層と、を有し、
前記酸化物半導体層は微結晶を有し、
前記酸化物半導体層は、InとGaとZnとを有し、
前記酸化物半導体層は第1の領域と、前記第1の領域上の第2の領域と、を有し、
前記第1の領域及び前記第2の領域は、それぞれ前記ソース電極及びドレイン電極と重なる領域を有し、
前記第1の領域のInとGaの原子数比におけるInの割合は、前記第2の領域のInとGaの原子数比におけるInの割合より大きい半導体装置。
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WO2015170450A1 (ja) * | 2014-05-09 | 2015-11-12 | 株式会社Joled | 薄膜トランジスタ基板及びその製造方法 |
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WO2016063160A1 (en) * | 2014-10-20 | 2016-04-28 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device, manufacturing method thereof, display device, and display module |
JPWO2016067161A1 (ja) * | 2014-10-28 | 2017-08-31 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置およびその作製方法 |
US20160155803A1 (en) * | 2014-11-28 | 2016-06-02 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor Device, Method for Manufacturing the Semiconductor Device, and Display Device Including the Semiconductor Device |
JP6711642B2 (ja) * | 2015-02-25 | 2020-06-17 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
US10056497B2 (en) | 2015-04-15 | 2018-08-21 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and manufacturing method thereof |
WO2017064590A1 (en) | 2015-10-12 | 2017-04-20 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for manufacturing semiconductor device |
JP6351868B2 (ja) * | 2015-10-29 | 2018-07-04 | 三菱電機株式会社 | 薄膜トランジスタ基板 |
JP6429816B2 (ja) * | 2016-02-17 | 2018-11-28 | 三菱電機株式会社 | 薄膜トランジスタおよびその製造方法、薄膜トランジスタ基板、液晶表示装置 |
JP6668455B2 (ja) | 2016-04-01 | 2020-03-18 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 酸化物半導体膜の作製方法 |
US11302717B2 (en) * | 2016-04-08 | 2022-04-12 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Transistor and method for manufacturing the same |
KR20170126398A (ko) * | 2016-05-09 | 2017-11-17 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치 및 상기 반도체 장치를 갖는 표시 장치 |
JP7154136B2 (ja) * | 2017-02-07 | 2022-10-17 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置の作製方法 |
CN107146816B (zh) * | 2017-04-10 | 2020-05-15 | 华南理工大学 | 一种氧化物半导体薄膜及由其制备的薄膜晶体管 |
CN109427974B (zh) * | 2017-08-22 | 2021-02-19 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种薄膜晶体管及其制作方法、电子器件 |
TWI648844B (zh) * | 2017-11-06 | 2019-01-21 | Industrial Technology Research Institute | 薄膜電晶體及其製造方法 |
KR102217171B1 (ko) * | 2018-07-30 | 2021-02-17 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 성막 방법 및 성막 장치 |
CN109920846B (zh) * | 2019-03-11 | 2023-11-03 | 长江存储科技有限责任公司 | 晶体管及其形成方法、存储器 |
JP2022051108A (ja) * | 2020-09-18 | 2022-03-31 | キオクシア株式会社 | 半導体装置及び半導体記憶装置 |
CN112397573B (zh) * | 2020-11-17 | 2023-06-27 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 一种阵列基板及其制备方法、显示面板 |
Family Cites Families (161)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60198861A (ja) | 1984-03-23 | 1985-10-08 | Fujitsu Ltd | 薄膜トランジスタ |
JPH0244256B2 (ja) | 1987-01-28 | 1990-10-03 | Kagaku Gijutsucho Mukizaishitsu Kenkyushocho | Ingazn2o5deshimesarerurotsuhoshokeinosojokozoojusurukagobutsuoyobisonoseizoho |
JPS63210023A (ja) | 1987-02-24 | 1988-08-31 | Natl Inst For Res In Inorg Mater | InGaZn↓4O↓7で示される六方晶系の層状構造を有する化合物およびその製造法 |
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JP2918914B2 (ja) * | 1989-08-23 | 1999-07-12 | 株式会社東芝 | 半導体装置及びその製造方法 |
JPH05251705A (ja) | 1992-03-04 | 1993-09-28 | Fuji Xerox Co Ltd | 薄膜トランジスタ |
JP3479375B2 (ja) | 1995-03-27 | 2003-12-15 | 科学技術振興事業団 | 亜酸化銅等の金属酸化物半導体による薄膜トランジスタとpn接合を形成した金属酸化物半導体装置およびそれらの製造方法 |
EP0820644B1 (en) | 1995-08-03 | 2005-08-24 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Semiconductor device provided with transparent switching element |
JP3625598B2 (ja) | 1995-12-30 | 2005-03-02 | 三星電子株式会社 | 液晶表示装置の製造方法 |
JP4170454B2 (ja) | 1998-07-24 | 2008-10-22 | Hoya株式会社 | 透明導電性酸化物薄膜を有する物品及びその製造方法 |
JP2000150861A (ja) | 1998-11-16 | 2000-05-30 | Tdk Corp | 酸化物薄膜 |
JP3276930B2 (ja) | 1998-11-17 | 2002-04-22 | 科学技術振興事業団 | トランジスタ及び半導体装置 |
TW460731B (en) | 1999-09-03 | 2001-10-21 | Ind Tech Res Inst | Electrode structure and production method of wide viewing angle LCD |
JP4089858B2 (ja) | 2000-09-01 | 2008-05-28 | 国立大学法人東北大学 | 半導体デバイス |
KR20020038482A (ko) | 2000-11-15 | 2002-05-23 | 모리시타 요이찌 | 박막 트랜지스터 어레이, 그 제조방법 및 그것을 이용한표시패널 |
JP3997731B2 (ja) | 2001-03-19 | 2007-10-24 | 富士ゼロックス株式会社 | 基材上に結晶性半導体薄膜を形成する方法 |
JP2002289859A (ja) | 2001-03-23 | 2002-10-04 | Minolta Co Ltd | 薄膜トランジスタ |
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JP3925839B2 (ja) | 2001-09-10 | 2007-06-06 | シャープ株式会社 | 半導体記憶装置およびその試験方法 |
JP4164562B2 (ja) | 2002-09-11 | 2008-10-15 | 独立行政法人科学技術振興機構 | ホモロガス薄膜を活性層として用いる透明薄膜電界効果型トランジスタ |
EP1443130B1 (en) | 2001-11-05 | 2011-09-28 | Japan Science and Technology Agency | Natural superlattice homologous single crystal thin film, method for preparation thereof, and device using said single crystal thin film |
JP4083486B2 (ja) | 2002-02-21 | 2008-04-30 | 独立行政法人科学技術振興機構 | LnCuO(S,Se,Te)単結晶薄膜の製造方法 |
US7049190B2 (en) | 2002-03-15 | 2006-05-23 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Method for forming ZnO film, method for forming ZnO semiconductor layer, method for fabricating semiconductor device, and semiconductor device |
JP3933591B2 (ja) | 2002-03-26 | 2007-06-20 | 淳二 城戸 | 有機エレクトロルミネッセント素子 |
US7339187B2 (en) | 2002-05-21 | 2008-03-04 | State Of Oregon Acting By And Through The Oregon State Board Of Higher Education On Behalf Of Oregon State University | Transistor structures |
AU2003236143A1 (en) | 2002-05-22 | 2003-12-02 | Masashi Kawasaki | Semiconductor device and display comprising same |
JP2004022625A (ja) | 2002-06-13 | 2004-01-22 | Murata Mfg Co Ltd | 半導体デバイス及び該半導体デバイスの製造方法 |
US7105868B2 (en) | 2002-06-24 | 2006-09-12 | Cermet, Inc. | High-electron mobility transistor with zinc oxide |
US7067843B2 (en) | 2002-10-11 | 2006-06-27 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Transparent oxide semiconductor thin film transistors |
JP4574118B2 (ja) * | 2003-02-12 | 2010-11-04 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置及びその作製方法 |
JP4166105B2 (ja) | 2003-03-06 | 2008-10-15 | シャープ株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
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JP4108633B2 (ja) | 2003-06-20 | 2008-06-25 | シャープ株式会社 | 薄膜トランジスタおよびその製造方法ならびに電子デバイス |
US7262463B2 (en) | 2003-07-25 | 2007-08-28 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Transistor including a deposited channel region having a doped portion |
TWI228831B (en) * | 2003-12-26 | 2005-03-01 | Au Optronics Corp | Method of fabricating a thin film transistor |
US7145174B2 (en) | 2004-03-12 | 2006-12-05 | Hewlett-Packard Development Company, Lp. | Semiconductor device |
US7297977B2 (en) | 2004-03-12 | 2007-11-20 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Semiconductor device |
US7282782B2 (en) | 2004-03-12 | 2007-10-16 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Combined binary oxide semiconductor device |
CN102856390B (zh) | 2004-03-12 | 2015-11-25 | 独立行政法人科学技术振兴机构 | 包含薄膜晶体管的lcd或有机el显示器的转换组件 |
US7211825B2 (en) | 2004-06-14 | 2007-05-01 | Yi-Chi Shih | Indium oxide-based thin film transistors and circuits |
JP2006100760A (ja) | 2004-09-02 | 2006-04-13 | Casio Comput Co Ltd | 薄膜トランジスタおよびその製造方法 |
US7285501B2 (en) | 2004-09-17 | 2007-10-23 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Method of forming a solution processed device |
US7298084B2 (en) | 2004-11-02 | 2007-11-20 | 3M Innovative Properties Company | Methods and displays utilizing integrated zinc oxide row and column drivers in conjunction with organic light emitting diodes |
US7791072B2 (en) | 2004-11-10 | 2010-09-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Display |
EP1810335B1 (en) | 2004-11-10 | 2020-05-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Light-emitting device |
US7868326B2 (en) | 2004-11-10 | 2011-01-11 | Canon Kabushiki Kaisha | Field effect transistor |
EP2453480A2 (en) | 2004-11-10 | 2012-05-16 | Canon Kabushiki Kaisha | Amorphous oxide and field effect transistor |
US7453065B2 (en) | 2004-11-10 | 2008-11-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Sensor and image pickup device |
US7829444B2 (en) | 2004-11-10 | 2010-11-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Field effect transistor manufacturing method |
US7863611B2 (en) | 2004-11-10 | 2011-01-04 | Canon Kabushiki Kaisha | Integrated circuits utilizing amorphous oxides |
US7579224B2 (en) | 2005-01-21 | 2009-08-25 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for manufacturing a thin film semiconductor device |
US7608531B2 (en) | 2005-01-28 | 2009-10-27 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device, electronic device, and method of manufacturing semiconductor device |
TWI562380B (en) | 2005-01-28 | 2016-12-11 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | Semiconductor device, electronic device, and method of manufacturing semiconductor device |
US7858451B2 (en) | 2005-02-03 | 2010-12-28 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Electronic device, semiconductor device and manufacturing method thereof |
US7948171B2 (en) | 2005-02-18 | 2011-05-24 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Light emitting device |
US20060197092A1 (en) | 2005-03-03 | 2006-09-07 | Randy Hoffman | System and method for forming conductive material on a substrate |
US8681077B2 (en) | 2005-03-18 | 2014-03-25 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device, and display device, driving method and electronic apparatus thereof |
US7544967B2 (en) | 2005-03-28 | 2009-06-09 | Massachusetts Institute Of Technology | Low voltage flexible organic/transparent transistor for selective gas sensing, photodetecting and CMOS device applications |
US7645478B2 (en) | 2005-03-31 | 2010-01-12 | 3M Innovative Properties Company | Methods of making displays |
US8300031B2 (en) | 2005-04-20 | 2012-10-30 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device comprising transistor having gate and drain connected through a current-voltage conversion element |
JP2006344849A (ja) | 2005-06-10 | 2006-12-21 | Casio Comput Co Ltd | 薄膜トランジスタ |
US7402506B2 (en) | 2005-06-16 | 2008-07-22 | Eastman Kodak Company | Methods of making thin film transistors comprising zinc-oxide-based semiconductor materials and transistors made thereby |
US7691666B2 (en) | 2005-06-16 | 2010-04-06 | Eastman Kodak Company | Methods of making thin film transistors comprising zinc-oxide-based semiconductor materials and transistors made thereby |
US7507618B2 (en) | 2005-06-27 | 2009-03-24 | 3M Innovative Properties Company | Method for making electronic devices using metal oxide nanoparticles |
KR100711890B1 (ko) | 2005-07-28 | 2007-04-25 | 삼성에스디아이 주식회사 | 유기 발광표시장치 및 그의 제조방법 |
JP2007059128A (ja) | 2005-08-23 | 2007-03-08 | Canon Inc | 有機el表示装置およびその製造方法 |
JP2007073705A (ja) | 2005-09-06 | 2007-03-22 | Canon Inc | 酸化物半導体チャネル薄膜トランジスタおよびその製造方法 |
JP4850457B2 (ja) | 2005-09-06 | 2012-01-11 | キヤノン株式会社 | 薄膜トランジスタ及び薄膜ダイオード |
JP4280736B2 (ja) | 2005-09-06 | 2009-06-17 | キヤノン株式会社 | 半導体素子 |
JP5116225B2 (ja) | 2005-09-06 | 2013-01-09 | キヤノン株式会社 | 酸化物半導体デバイスの製造方法 |
JP5064747B2 (ja) | 2005-09-29 | 2012-10-31 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置、電気泳動表示装置、表示モジュール、電子機器、及び半導体装置の作製方法 |
US8137050B2 (en) | 2005-09-29 | 2012-03-20 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Pickup device and pickup method |
JP5078246B2 (ja) | 2005-09-29 | 2012-11-21 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置、及び半導体装置の作製方法 |
EP3614442A3 (en) | 2005-09-29 | 2020-03-25 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device having oxide semiconductor layer and manufactoring method thereof |
JP5037808B2 (ja) | 2005-10-20 | 2012-10-03 | キヤノン株式会社 | アモルファス酸化物を用いた電界効果型トランジスタ、及び該トランジスタを用いた表示装置 |
CN101667544B (zh) | 2005-11-15 | 2012-09-05 | 株式会社半导体能源研究所 | 半导体器件及其制造方法 |
TWI292281B (en) | 2005-12-29 | 2008-01-01 | Ind Tech Res Inst | Pixel structure of active organic light emitting diode and method of fabricating the same |
US7867636B2 (en) | 2006-01-11 | 2011-01-11 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Transparent conductive film and method for manufacturing the same |
JP4977478B2 (ja) | 2006-01-21 | 2012-07-18 | 三星電子株式会社 | ZnOフィルム及びこれを用いたTFTの製造方法 |
US7576394B2 (en) | 2006-02-02 | 2009-08-18 | Kochi Industrial Promotion Center | Thin film transistor including low resistance conductive thin films and manufacturing method thereof |
US7977169B2 (en) | 2006-02-15 | 2011-07-12 | Kochi Industrial Promotion Center | Semiconductor device including active layer made of zinc oxide with controlled orientations and manufacturing method thereof |
KR20070101595A (ko) | 2006-04-11 | 2007-10-17 | 삼성전자주식회사 | ZnO TFT |
US20070252928A1 (en) | 2006-04-28 | 2007-11-01 | Toppan Printing Co., Ltd. | Structure, transmission type liquid crystal display, reflection type display and manufacturing method thereof |
JP5028033B2 (ja) | 2006-06-13 | 2012-09-19 | キヤノン株式会社 | 酸化物半導体膜のドライエッチング方法 |
JP4999400B2 (ja) | 2006-08-09 | 2012-08-15 | キヤノン株式会社 | 酸化物半導体膜のドライエッチング方法 |
JP4609797B2 (ja) | 2006-08-09 | 2011-01-12 | Nec液晶テクノロジー株式会社 | 薄膜デバイス及びその製造方法 |
JP4332545B2 (ja) | 2006-09-15 | 2009-09-16 | キヤノン株式会社 | 電界効果型トランジスタ及びその製造方法 |
JP5164357B2 (ja) | 2006-09-27 | 2013-03-21 | キヤノン株式会社 | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
JP4274219B2 (ja) | 2006-09-27 | 2009-06-03 | セイコーエプソン株式会社 | 電子デバイス、有機エレクトロルミネッセンス装置、有機薄膜半導体装置 |
US7622371B2 (en) | 2006-10-10 | 2009-11-24 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Fused nanocrystal thin film semiconductor and method |
US7772021B2 (en) | 2006-11-29 | 2010-08-10 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Flat panel displays comprising a thin-film transistor having a semiconductive oxide in its channel and methods of fabricating the same for use in flat panel displays |
JP2008140684A (ja) | 2006-12-04 | 2008-06-19 | Toppan Printing Co Ltd | カラーelディスプレイおよびその製造方法 |
KR101303578B1 (ko) | 2007-01-05 | 2013-09-09 | 삼성전자주식회사 | 박막 식각 방법 |
US8207063B2 (en) | 2007-01-26 | 2012-06-26 | Eastman Kodak Company | Process for atomic layer deposition |
KR100851215B1 (ko) | 2007-03-14 | 2008-08-07 | 삼성에스디아이 주식회사 | 박막 트랜지스터 및 이를 이용한 유기 전계 발광표시장치 |
US7795613B2 (en) | 2007-04-17 | 2010-09-14 | Toppan Printing Co., Ltd. | Structure with transistor |
KR101325053B1 (ko) | 2007-04-18 | 2013-11-05 | 삼성디스플레이 주식회사 | 박막 트랜지스터 기판 및 이의 제조 방법 |
KR20080094300A (ko) | 2007-04-19 | 2008-10-23 | 삼성전자주식회사 | 박막 트랜지스터 및 그 제조 방법과 박막 트랜지스터를포함하는 평판 디스플레이 |
KR101334181B1 (ko) | 2007-04-20 | 2013-11-28 | 삼성전자주식회사 | 선택적으로 결정화된 채널층을 갖는 박막 트랜지스터 및 그제조 방법 |
CN101663762B (zh) | 2007-04-25 | 2011-09-21 | 佳能株式会社 | 氧氮化物半导体 |
KR101345376B1 (ko) | 2007-05-29 | 2013-12-24 | 삼성전자주식회사 | ZnO 계 박막 트랜지스터 및 그 제조방법 |
JP4755143B2 (ja) | 2007-06-05 | 2011-08-24 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置の作製方法 |
JP5213422B2 (ja) * | 2007-12-04 | 2013-06-19 | キヤノン株式会社 | 絶縁層を有する酸化物半導体素子およびそれを用いた表示装置 |
CN103258857B (zh) | 2007-12-13 | 2016-05-11 | 出光兴产株式会社 | 使用了氧化物半导体的场效应晶体管及其制造方法 |
US8202365B2 (en) | 2007-12-17 | 2012-06-19 | Fujifilm Corporation | Process for producing oriented inorganic crystalline film, and semiconductor device using the oriented inorganic crystalline film |
JP5467728B2 (ja) | 2008-03-14 | 2014-04-09 | 富士フイルム株式会社 | 薄膜電界効果型トランジスタおよびその製造方法 |
JP4555358B2 (ja) | 2008-03-24 | 2010-09-29 | 富士フイルム株式会社 | 薄膜電界効果型トランジスタおよび表示装置 |
KR100941850B1 (ko) * | 2008-04-03 | 2010-02-11 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 박막 트랜지스터, 그의 제조 방법 및 박막 트랜지스터를구비하는 평판 표시 장치 |
KR100963026B1 (ko) | 2008-06-30 | 2010-06-10 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 박막 트랜지스터, 그의 제조 방법 및 박막 트랜지스터를구비하는 평판 표시 장치 |
KR100963027B1 (ko) | 2008-06-30 | 2010-06-10 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 박막 트랜지스터, 그의 제조 방법 및 박막 트랜지스터를구비하는 평판 표시 장치 |
JP5584960B2 (ja) * | 2008-07-03 | 2014-09-10 | ソニー株式会社 | 薄膜トランジスタおよび表示装置 |
JP5345456B2 (ja) | 2008-08-14 | 2013-11-20 | 富士フイルム株式会社 | 薄膜電界効果型トランジスタ |
JP5644071B2 (ja) * | 2008-08-20 | 2014-12-24 | 株式会社リコー | 電界効果型トランジスタ、表示素子、画像表示装置及びシステム |
JP5345359B2 (ja) * | 2008-09-18 | 2013-11-20 | 富士フイルム株式会社 | 薄膜電界効果型トランジスタおよびそれを用いた表示装置 |
JP4623179B2 (ja) | 2008-09-18 | 2011-02-02 | ソニー株式会社 | 薄膜トランジスタおよびその製造方法 |
JP5451280B2 (ja) | 2008-10-09 | 2014-03-26 | キヤノン株式会社 | ウルツ鉱型結晶成長用基板およびその製造方法ならびに半導体装置 |
KR101570347B1 (ko) * | 2008-11-25 | 2015-11-20 | 삼성디스플레이 주식회사 | 박막 트랜지스터 표시판 및 그 제조 방법 |
JP5515281B2 (ja) * | 2008-12-03 | 2014-06-11 | ソニー株式会社 | 薄膜トランジスタ、表示装置、電子機器および薄膜トランジスタの製造方法 |
JP5606682B2 (ja) | 2009-01-29 | 2014-10-15 | 富士フイルム株式会社 | 薄膜トランジスタ、多結晶酸化物半導体薄膜の製造方法、及び薄膜トランジスタの製造方法 |
JP4752925B2 (ja) | 2009-02-04 | 2011-08-17 | ソニー株式会社 | 薄膜トランジスタおよび表示装置 |
JP5512144B2 (ja) * | 2009-02-12 | 2014-06-04 | 富士フイルム株式会社 | 薄膜トランジスタ及びその製造方法 |
JP2010205987A (ja) | 2009-03-04 | 2010-09-16 | Sony Corp | 薄膜トランジスタおよびその製造方法並びに表示装置 |
JP4571221B1 (ja) | 2009-06-22 | 2010-10-27 | 富士フイルム株式会社 | Igzo系酸化物材料及びigzo系酸化物材料の製造方法 |
JP4415062B1 (ja) | 2009-06-22 | 2010-02-17 | 富士フイルム株式会社 | 薄膜トランジスタ及び薄膜トランジスタの製造方法 |
EP3217435A1 (en) * | 2009-09-16 | 2017-09-13 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Transistor and display device |
KR101779349B1 (ko) | 2009-10-14 | 2017-09-18 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치 및 그 제작 방법 |
KR101812683B1 (ko) | 2009-10-21 | 2017-12-27 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치 제작방법 |
KR101847656B1 (ko) * | 2009-10-21 | 2018-05-24 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치 및 그 제조 방법 |
KR101932407B1 (ko) * | 2009-11-06 | 2018-12-27 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치 및 그 제작 방법 |
CN102598282B (zh) * | 2009-11-06 | 2015-09-23 | 株式会社半导体能源研究所 | 半导体装置及其制造方法 |
CN102668097B (zh) | 2009-11-13 | 2015-08-12 | 株式会社半导体能源研究所 | 半导体器件及其制造方法 |
KR101893332B1 (ko) * | 2009-11-13 | 2018-08-31 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치 및 반도체 장치의 구동 방법 |
KR101922849B1 (ko) | 2009-11-20 | 2018-11-27 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치 |
KR101945306B1 (ko) | 2009-11-28 | 2019-02-07 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 적층 산화물 재료, 반도체 장치 및 반도체 장치의 제작 방법 |
JP5679143B2 (ja) * | 2009-12-01 | 2015-03-04 | ソニー株式会社 | 薄膜トランジスタならびに表示装置および電子機器 |
KR20110076507A (ko) * | 2009-12-29 | 2011-07-06 | 주식회사 하이닉스반도체 | 반도체 소자의 매립 게이트 전극 형성방법 |
KR20240016443A (ko) | 2010-02-05 | 2024-02-06 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치 및 반도체 장치의 제조 방법 |
JP2011187506A (ja) | 2010-03-04 | 2011-09-22 | Sony Corp | 薄膜トランジスタおよびその製造方法、並びに表示装置 |
KR101877377B1 (ko) | 2010-04-23 | 2018-07-11 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치의 제작 방법 |
CN106057907B (zh) | 2010-04-23 | 2019-10-22 | 株式会社半导体能源研究所 | 半导体装置的制造方法 |
CN102859705B (zh) | 2010-04-23 | 2015-12-09 | 株式会社半导体能源研究所 | 半导体装置及半导体装置的制造方法 |
US9537043B2 (en) | 2010-04-23 | 2017-01-03 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Photoelectric conversion device and manufacturing method thereof |
CN102859703B (zh) | 2010-04-23 | 2015-12-02 | 株式会社半导体能源研究所 | 半导体装置的制造方法 |
WO2011135987A1 (en) | 2010-04-28 | 2011-11-03 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for manufacturing semiconductor device |
WO2011142467A1 (en) * | 2010-05-14 | 2011-11-17 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for manufacturing semiconductor device |
US8629438B2 (en) | 2010-05-21 | 2014-01-14 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and manufacturing method thereof |
JP5627929B2 (ja) * | 2010-05-28 | 2014-11-19 | 富士フイルム株式会社 | 非晶質酸化物薄膜の製造方法及び電界効果型トランジスタの製造方法 |
WO2011158704A1 (en) * | 2010-06-18 | 2011-12-22 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for manufacturing semiconductor device |
JP5771079B2 (ja) * | 2010-07-01 | 2015-08-26 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 撮像装置 |
EP2589085B1 (en) * | 2010-07-02 | 2019-02-20 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Thin film transistors |
US8508276B2 (en) * | 2010-08-25 | 2013-08-13 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device including latch circuit |
US8546161B2 (en) * | 2010-09-13 | 2013-10-01 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Manufacturing method of thin film transistor and liquid crystal display device |
JP5352599B2 (ja) * | 2011-01-17 | 2013-11-27 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
US8709922B2 (en) | 2011-05-06 | 2014-04-29 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device |
US8466031B2 (en) * | 2011-05-27 | 2013-06-18 | Micron Technology, Inc. | Mixed valent oxide memory and method |
KR102072244B1 (ko) * | 2011-11-30 | 2020-01-31 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치 및 반도체 장치의 제작 방법 |
US8785258B2 (en) | 2011-12-20 | 2014-07-22 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for manufacturing semiconductor device |
KR102100425B1 (ko) | 2011-12-27 | 2020-04-13 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치 및 반도체 장치의 제작 방법 |
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