JP2020519010A - 自己選択メモリにおけるプログラミング改良 - Google Patents
自己選択メモリにおけるプログラミング改良 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020519010A JP2020519010A JP2019557593A JP2019557593A JP2020519010A JP 2020519010 A JP2020519010 A JP 2020519010A JP 2019557593 A JP2019557593 A JP 2019557593A JP 2019557593 A JP2019557593 A JP 2019557593A JP 2020519010 A JP2020519010 A JP 2020519010A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- memory
- conductive material
- dimension
- memory storage
- chalcogenide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000015654 memory Effects 0.000 title claims abstract description 303
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 74
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 156
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 140
- 230000005055 memory storage Effects 0.000 claims description 100
- 150000004770 chalcogenides Chemical class 0.000 claims description 89
- 239000011669 selenium Substances 0.000 claims description 33
- 229910052729 chemical element Inorganic materials 0.000 claims description 30
- 229910052711 selenium Inorganic materials 0.000 claims description 29
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 21
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 19
- 229910052714 tellurium Inorganic materials 0.000 claims description 19
- BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N Selenium Chemical compound [Se] BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 claims description 16
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 230000001154 acute effect Effects 0.000 claims description 11
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 claims description 11
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 9
- PORWMNRCUJJQNO-UHFFFAOYSA-N tellurium atom Chemical compound [Te] PORWMNRCUJJQNO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 7
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 7
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 150000001768 cations Chemical group 0.000 claims description 5
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 3
- 125000003748 selenium group Chemical group *[Se]* 0.000 claims description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 abstract description 44
- 238000010586 diagram Methods 0.000 abstract description 13
- 230000005012 migration Effects 0.000 abstract description 10
- 238000013508 migration Methods 0.000 abstract description 10
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 16
- 230000006870 function Effects 0.000 description 14
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 10
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 9
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 9
- -1 etc.) Inorganic materials 0.000 description 8
- 230000008569 process Effects 0.000 description 8
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 7
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 7
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 7
- 238000003491 array Methods 0.000 description 6
- 239000005387 chalcogenide glass Substances 0.000 description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 6
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 6
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 6
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 5
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 5
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 5
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 description 4
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 4
- 230000002085 persistent effect Effects 0.000 description 4
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 3
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 description 3
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 3
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000001451 molecular beam epitaxy Methods 0.000 description 3
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 3
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 3
- 229910018110 Se—Te Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910005936 Ge—Sb Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910005939 Ge—Sn Inorganic materials 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000577 Silicon-germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910020938 Sn-Ni Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910020923 Sn-O Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002855 Sn-Pd Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018731 Sn—Au Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910008937 Sn—Ni Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910008772 Sn—Se Inorganic materials 0.000 description 1
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LEVVHYCKPQWKOP-UHFFFAOYSA-N [Si].[Ge] Chemical compound [Si].[Ge] LEVVHYCKPQWKOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony atom Chemical compound [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000036755 cellular response Effects 0.000 description 1
- 239000013626 chemical specie Substances 0.000 description 1
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000013500 data storage Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 239000012777 electrically insulating material Substances 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000006386 memory function Effects 0.000 description 1
- 229910001092 metal group alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012782 phase change material Substances 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002910 rare earth metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003624 transition metals Chemical class 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C13/00—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00
- G11C13/0002—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00 using resistive RAM [RRAM] elements
- G11C13/0004—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00 using resistive RAM [RRAM] elements comprising amorphous/crystalline phase transition cells
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C13/00—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00
- G11C13/0002—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00 using resistive RAM [RRAM] elements
- G11C13/0021—Auxiliary circuits
- G11C13/0069—Writing or programming circuits or methods
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C13/00—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00
- G11C13/0002—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00 using resistive RAM [RRAM] elements
- G11C13/0007—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00 using resistive RAM [RRAM] elements comprising metal oxide memory material, e.g. perovskites
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C13/00—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00
- G11C13/0002—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00 using resistive RAM [RRAM] elements
- G11C13/0021—Auxiliary circuits
- G11C13/003—Cell access
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C13/00—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00
- G11C13/0002—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00 using resistive RAM [RRAM] elements
- G11C13/0021—Auxiliary circuits
- G11C13/004—Reading or sensing circuits or methods
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B63/00—Resistance change memory devices, e.g. resistive RAM [ReRAM] devices
- H10B63/80—Arrangements comprising multiple bistable or multi-stable switching components of the same type on a plane parallel to the substrate, e.g. cross-point arrays
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices having no potential barriers, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/011—Manufacture or treatment of multistable switching devices
- H10N70/061—Shaping switching materials
- H10N70/063—Shaping switching materials by etching of pre-deposited switching material layers, e.g. lithography
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices having no potential barriers, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/20—Multistable switching devices, e.g. memristors
- H10N70/24—Multistable switching devices, e.g. memristors based on migration or redistribution of ionic species, e.g. anions, vacancies
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices having no potential barriers, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/801—Constructional details of multistable switching devices
- H10N70/821—Device geometry
- H10N70/826—Device geometry adapted for essentially vertical current flow, e.g. sandwich or pillar type devices
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices having no potential barriers, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/801—Constructional details of multistable switching devices
- H10N70/881—Switching materials
- H10N70/882—Compounds of sulfur, selenium or tellurium, e.g. chalcogenides
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices having no potential barriers, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/801—Constructional details of multistable switching devices
- H10N70/881—Switching materials
- H10N70/882—Compounds of sulfur, selenium or tellurium, e.g. chalcogenides
- H10N70/8825—Selenides, e.g. GeSe
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices having no potential barriers, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/801—Constructional details of multistable switching devices
- H10N70/881—Switching materials
- H10N70/882—Compounds of sulfur, selenium or tellurium, e.g. chalcogenides
- H10N70/8828—Tellurides, e.g. GeSbTe
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices having no potential barriers, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/801—Constructional details of multistable switching devices
- H10N70/881—Switching materials
- H10N70/884—Switching materials based on at least one element of group IIIA, IVA or VA, e.g. elemental or compound semiconductors
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C13/00—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00
- G11C13/0002—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00 using resistive RAM [RRAM] elements
- G11C13/0021—Auxiliary circuits
- G11C13/0069—Writing or programming circuits or methods
- G11C2013/0073—Write using bi-directional cell biasing
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C2213/00—Indexing scheme relating to G11C13/00 for features not covered by this group
- G11C2213/50—Resistive cell structure aspects
- G11C2213/52—Structure characterized by the electrode material, shape, etc.
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C2213/00—Indexing scheme relating to G11C13/00 for features not covered by this group
- G11C2213/70—Resistive array aspects
- G11C2213/71—Three dimensional array
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C2213/00—Indexing scheme relating to G11C13/00 for features not covered by this group
- G11C2213/70—Resistive array aspects
- G11C2213/74—Array wherein each memory cell has more than one access device
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C2213/00—Indexing scheme relating to G11C13/00 for features not covered by this group
- G11C2213/70—Resistive array aspects
- G11C2213/77—Array wherein the memory element being directly connected to the bit lines and word lines without any access device being used
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Semiconductor Memories (AREA)
- Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)
Abstract
Description
材料は、カルコゲニド材料の上に設けることができる。第1の導電性材料、第2の導電性材料、およびカルコゲニド材料は、その後、エッチングされ、非対称形状を有するメモリ・セルを作り出すことができる。誘電性材料は、導電性材料およびカルコゲニド材料の周りに設けることができる。
の電極に向かってイオンが移動したかを感知するために、セルの両端間に電圧を加えることによって読み取ることができる。
点でメモリ・セル105の読取りまたは書込みをするために付勢することができる。同じワード・ライン110またはビット・ライン115と電子連通(例えば、接続)している他のメモリ・セル105は、非ターゲット・メモリ・セル105と呼ぶことができる。
感知することができる。例えば、感知構成部品125は、メモリ・セル105にアクセスすることによって生成される信号に基づいて、メモリ・セル105の記憶された論理状態を判断するように構成することができる。信号は電圧または電流を含むことができ、電圧感知増幅器、電流感知増幅器、または両方を備えることができる。例えば、電圧は、(対応するワード・ライン110およびビット・ライン115を使用して)メモリ・セル105に加えることができ、得られた電流の大きさはメモリ・セル105の電気抵抗に依存することがある。同様に、電流をメモリ・セル105に加えることができ、電流を生成するための電圧の大きさはメモリ・セル105の電気抵抗に依存することがある。感知構成部品125は、信号を検出および増幅させるために、様々なトランジスタまたは増幅器を備え、ラッチングと呼ぶこともできる。メモリ・セル105の検出された論理状態はその後、出力135として出力することができる。いくつかの場合では、感知構成部品125は、列デコーダ130または行デコーダ120の一部であってもよい。あるいは、感知構成部品125は、列デコーダ130または行デコーダ120に接続、または電子連通してもよい。
などの限界のある電源に頼る移動デバイスに対して、メモリ・アレイの展開または動作(例えば、電力供給、熱生成、材料制限など)を抑制する可能性がある。以下に論じるように、不揮発性PCMおよび/または自己選択メモリ・セルは、他のメモリ・アーキテクチャに対する改良された性能をもたらす有益な特性を有する。例えば、PCMおよび/または自己選択メモリは、DRAMに匹敵する読取/書込速度を提供するが、不揮発性であってもよく、大きなセル密度を可能にする。
の導電性ライン(例えば、ビット・ライン115−aなどのアクセス・ライン)と接触していてもよい。ピラーはメモリ・セル105−aを備えることができ、メモリ・セル105−aは第1の電極(例えば、上部電極205)、メモリ記憶素子220、および第2の電極(例えば、底部電極210)を備えている。メモリ記憶素子220は、非対称形状(例えば、図3を参照して記載したように、メモリ記憶素子220−a)であってもよい。この非対称形状は、メモリ・セル105−aの極性によって、上部電極205または底部電極210でのイオンの混み合いを生じさせることがある。上部電極205または底部電極210でのイオンの混み合いにより、上に記載するように、メモリ・セル105−aのより正確な感知が可能になる。
含む第1のカルコゲニド・ガラスを含むことができる。いくつかの例では、メモリ記憶素子220は、セレニウム、ヒ素(As)、テルル(Te)、ケイ素(Si)、ゲルマニウム(Ge)、またはアンチモン(Sb)の少なくとも1つの合成物を含んでいる。電圧がメモリ記憶素子220の両端間に加えられると(または、上部電極205と底部電極210の間に電圧差があると)、イオンは一方またはその他の電極に向かって移動することができる。例えば、TeおよびSeイオンは正の電極に向かって移動することができ、GeおよびAsイオンは負の電極に向かって移動することができる。メモリ記憶素子220はまた、セレクタ・デバイスとして働くことができる。このタイプのメモリ・アーキテクチャは、自己選択メモリと呼ぶことができる。
せることができる。第1の電極(例えば、上部電極205−a)の一部は、第1の側部305に接触することができ、また第2の側部310に接触することができる第2の電極(例えば、底部電極210−a)の一部より小さい面積を有することができる。
ことがある。加えて、例えば、メモリ・セル105−eはまた、上部電極205−cに電圧を加えることによって感知することができる。得られる電流はその後、低抵抗領域340−aおよび高抵抗領域335−aに遭遇する可能性がある。これらの抵抗領域、すなわち底部電極210−cでの、またはその近くの高抵抗領域335−a、および上部電極210−cでの、またはその近くの低抵抗領域340−aの反対の向き、および各向きに関連する閾値電圧は、メモリ・セル105−eの第1の記憶された論理状態(例えば、論理「0」)を示すことがある。
て、ワード・ライン110−bまたはデジット・ライン115−bを活性化するように構成することができる。例えば、バイアス構成部品405は、上に記載したように、メモリ・セル105−fを読み取るまたは書き込むために、メモリ・セル105−fを操作するために電圧を加えるように構成することができる。いくつかの場合では、メモリ・コントローラ140−aは、図1に示すように、列デコーダ、行デコーダ、または両方を備えることができる。これにより、メモリ・コントローラ140−aが1つまたは複数のメモリ・セル105−fにアクセスすることが可能になる。バイアス構成部品405は、感知構成部品125−aの動作に対する電圧を提供することができる。
)、UNIX(登録商標)、LINUX(登録商標)、または別の知られているオペレーティング・システムなどのオペレーティング・システムを利用することができる。
ことができ、第2の側部および第3の側部は鋭角を形成することができる。いくつかの例では、材料の第1の除去は、第1の導電性材料で始まるエッチングを含むことができる。別の例では、材料の第1の除去は、第2の導電性材料で始まるエッチングを含むことができる。
させることができる。
を含むことができ、カルコゲニド材料815は、セレニウム、ヒ素、テルル、ケイ素またはゲルマニウムの少なくとも1つの組成物を含むことができる。いくつかの例では、追加のインターフェイス材料を、第1の導電性材料805と第2の導電性材料810の間、および第2の導電性材料810と第3の導電性材料820の間に蒸着させることができる。
手段と、カルコゲニド材料内に複数のメモリ構成部品を形成するための第1の方向の材料の第1の除去するための手段であって、複数のうちの各カルコゲニド材料メモリ構成部品は、第1の側部、第2の側部、第3の側部、および第4の側部を備え、第1の側部および第3の側部は鈍角を形成し、第2の側部および第3の側部は鋭角を形成する、該手段と、第1の導電性材料、第2の導電性材料、および複数のカルコゲニド材料メモリ構成部品の周りに誘電性材料を蒸着させるための手段とを備えることができる。
もよく、パルスを負の極性で加えられることもできる。いくつかの例は、第1の表面で化学素子の濃度を増加させることに少なくとも一部基づいて、メモリ記憶構成部品の第2の表面で異なる化学素子の濃度を増加させることを含むことができる。
エピタキシャル層であってもよい。基板、または基板のサブ領域の導電性は、これに限らないが、リン、ホウ素、またはヒ素を含む様々な化学種を使用して、ドーピングにより制御することができる。ドーピングは、イオン注入によって、または任意の他のドーピング手段によって、基板の初期形成または成長中に行なうことができる。
憶、磁気ディスク記憶または他の磁気記憶デバイス、または指示またはデータ構造の形で所望のプログラム・コード手段を担持または記憶するために使用することができ、汎用または専用コンピュータ、または汎用または専用プロセッサによってアクセスすることができる任意の他の持続性媒体を含むことができる。また、任意の接続がコンピュータ読取可能媒体と適切に呼ばれる。例えば、ソフトウェアが、同軸ケーブル、光ファイバ・ケーブル、ツイスト・ペア、デジタル・サブスクライバ・ライン(DSL)、または赤外線、放射線およびマイクロ波などの無線技術を使用して、ウェブサイト、サーバ、または他の遠隔ソースから伝達される場合、同軸ケーブル、光ファイバ・ケーブル、ツイスト・ペア、デジタル・サブスクライバ・ライン(DSL)、または赤外線、放射線およびマイクロ波などの無線技術が媒体の定義に含まれる。本明細書で使用する、ディスク(disk)およびディスク(disc)は、CD、レーザ・ディスク、光ディスク、デジタル多用途ディスク(DVD)、フロッピー・ディスクおよびブルーレイ・ディスクを含み、ディスク(disk)は通常データを磁気的に再生し、ディスク(disc)はレーザで光学的にデータを再生する。上記の組合せはまた、コンピュータ読取可能媒体の範囲内に含まれる。
Claims (50)
- 第1の表面および前記第1の表面に対向する第2の表面を備えたカルコゲニド材料メモリ記憶素子であって、前記第2の表面は前記第1の表面より大きな面積を有する、カルコゲニド材料メモリ記憶素子と、
前記第1の表面に結合された第1の電極と、
前記第2の表面に結合され、前記カルコゲニド材料メモリ記憶素子を介して前記第1の電極と電子連通する第2の電極と
を備える、メモリ・デバイス。 - 前記カルコゲニド材料メモリ記憶素子はセレニウムを含む、請求項1に記載のメモリ・デバイス。
- 前記第1の表面または前記第2の表面に対する前記セレニウムの濃度は、前記第1の電極と前記第2の電極の間で前記カルコゲニド材料メモリ記憶素子の両端間の電圧の極性に少なくとも一部基づく、請求項2に記載のメモリ・デバイス。
- 前記メモリ・デバイスの論理状態は、前記電圧の前記極性を使用して前記カルコゲニド材料メモリ記憶素子をプログラミングすることに少なくとも一部基づく、請求項3に記載のメモリ・デバイス。
- 前記カルコゲニド材料メモリ記憶素子の断面は台形を含む、請求項1に記載のメモリ・デバイス。
- 前記カルコゲニド材料メモリ記憶素子は台形柱を含む、請求項1に記載のメモリ・デバイス。
- 前記カルコゲニド材料メモリ記憶素子は錐台を含む、請求項1に記載のメモリ・デバイス。
- 第1の側部、前記第1の側部に対向する第2の側部、前記第1の側部および前記第2の側部に隣接する第3の側部、および前記第3の側部に対向する第4の側部を有するカルコゲニド材料メモリ記憶素子であって、前記第1の側部および前記第3の側部は鈍角を形成し、前記第2の側部および前記第3の側部は鋭角を形成する、カルコゲニド材料メモリ記憶素子と、
前記カルコゲニド材料メモリ記憶素子の前記第1の側部と第1のアクセス・ラインの間に結合された第1の電極と、
前記カルコゲニド材料メモリ記憶素子の前記第2の側部と第2のアクセス・ラインの間に結合された第2の電極と
を備える、メモリ・デバイス。 - 前記第1の側部および前記第4の側部は鈍角を形成し、前記第2の側部および前記第4の側部は鋭角を形成する、請求項8に記載のメモリ・デバイス。
- 前記第1の側部に接触している前記第1の電極の一部は、前記第2の側部に接触している前記第2の電極の一部より小さい面積を有する、請求項9に記載のメモリ・デバイス。
- 前記カルコゲニド材料メモリ記憶素子は自己選択メモリ構成部品を備える、請求項8に記載のメモリ・デバイス。
- 前記カルコゲニド材料メモリ記憶素子は、セレニウム、ヒ素、テルル、ケイ素、またはゲルマニウムの少なくとも1つの組成物を含む、請求項8に記載のメモリ・デバイス。
- 前記カルコゲニド材料メモリ記憶素子の前記第1の側部または前記第2の側部に対するセレニウムの濃度は、前記カルコゲニド材料メモリ記憶素子のプログラミング動作中に、前記第1のアクセス・ラインおよび前記第2のアクセス・ラインの間の電圧の極性に少なくとも一部基づく、請求項12に記載のメモリ・デバイス。
- 前記メモリ・デバイスの論理状態は、前記第1の電極に接触している前記カルコゲニド材料メモリ記憶素子の閾値電圧に少なくとも一部基づく、請求項8に記載のメモリ・デバイス。
- 第1の導電性材料、第2の導電性材料、および前記第1の導電性材料と前記第2の導電性材料の間のカルコゲニド材料を含むスタックを形成することと、
前記カルコゲニド材料内に複数のメモリ構成部品を形成するための第1の方向の材料の第1の除去することとであって、前記複数のうちの各カルコゲニド材料メモリ構成部品は、第1の側部、第2の側部、第3の側部、および第4の側部を備え、前記第1の側部および前記第3の側部は鈍角を形成し、前記第2の側部および前記第3の側部は鋭角を形成することと、
前記第1の導電性材料、前記第2の導電性材料、および前記複数のカルコゲニド材料メモリ構成部品の周りに誘電性材料を蒸着させること
を含む、メモリ・デバイスを形成する方法。 - 前記材料の第1の除去することは、前記第1の側部と平行な平面に第1の寸法を有する前記第1の導電性材料、および前記第2の側部と平行な平面に第2の寸法を有する前記第2の導電性材料をもたらし、前記第1の寸法は、前記第2の寸法より小さい、請求項15に記載の方法。
- 前記第1の導電性材料の前記第1の寸法は、前記第1の側部の第1の寸法と等しく、前記第2の側部の前記第2の寸法は、前記第2の側部の第1の寸法と等しい、請求項16に記載の方法。
- 前記第1の導電性材料に結合された第1のアクセス・ラインを形成することと、
前記第2の導電性材料に結合された第2のアクセス・ラインを形成すること
を含む、請求項15に記載の方法。 - 前記第1の導電性材料は、前記第2の導電性材料とは異なる、請求項18に記載の方法。
- 前記カルコゲニド材料は、セレニウム、ヒ素、ゲルマニウム、ケイ素またはテルルの少なくとも1つを含む、請求項19に記載の方法。
- 前記材料の第1の除去することは、前記第1の導電性材料で開始する、エッチングすることを含む、請求項15に記載の方法。
- 前記材料の第1の除去することは、前記第2の導電性材料で開始する、エッチングすることを含む、請求項15に記載の方法。
- 前記誘電性材料は、窒化ケイ素、酸化ケイ素、酸化アルミニウム、または酸化アフニウムの少なくとも1つを含む、請求項15に記載の方法。
- 第2の方向の材料の第2の除去することであって、前記複数のメモリ構成部品は、第5の側部、第6の側部、第7の側部、および第8の側部を備え、前記第5の側部および前記第7の側部は鈍角を形成し、前記第6の側部および前記第7の側部は鋭角を形成することをさらに含む、請求項16に記載の方法。
- 前記材料の第2の除去することは、前記第5の側部と平行な平面で第3の寸法を有する前記第1の導電性材料をもたらす、請求項24に記載の方法。
- 前記材料の第2の除去することは、前記第5の側部と平行な平面で第4の寸法を有する前記第2の導電性材料をもたらし、前記第3の寸法は前記第2の寸法より大きい、請求項25に記載の方法。
- 第1の論理値を記憶するために、カルコゲニド材料メモリ記憶構成部品の第1の表面で化学素子の濃度を増加させることと、
前記第1の論理値と異なる第2の論理値を記憶するために、前記カルコゲニド材料メモリ記憶構成部品の第2の表面で前記化学素子の濃度を増加させることであって、前記第1の表面は前記第2の表面に対向すること
を含む、方法。 - 前記第2の表面は、前記第1の表面の面積より大きな面積を有する、請求項27に記載の方法。
- 前記第1の表面での前記化学素子の前記濃度は、前記第2の表面での前記化学素子の前記濃度より大きい、請求項27に記載の方法。
- 前記カルコゲニド材料メモリ記憶構成部品に読取パルスを加えることと、
前記第1の論理値または前記第2の論理値が、前記読取パルスを加えることに少なくとも一部基づいて、前記カルコゲニド材料メモリ記憶構成部品で記憶されたかどうかを判断することと
をさらに含む、請求項27に記載の方法。 - 前記化学素子はカチオンであり、前記パルスを負の極性で加えられる、請求項30に記載の方法。
- 前記第1の表面で前記化学素子の前記濃度を増加させることに少なくとも一部基づいて、前記メモリ記憶構成部品の前記第2の表面で異なる化学素子の濃度を増加させることをさらに含む、請求項27に記載の方法。
- 第1の導電性材料、第2の導電性材料、および前記第1の導電性材料と前記第2の導電性材料の間のカルコゲニド材料を含むスタックを形成するための手段と、
前記カルコゲニド材料内に複数のメモリ構成部品を形成するための第1の方向の材料の第1の除去するための手段であって、前記複数のうちの各カルコゲニド材料メモリ構成部品は、第1の側部、第2の側部、第3の側部、および第4の側部を備え、前記第1の側部および前記第3の側部は鈍角を形成し、前記第2の側部および前記第3の側部は鋭角を形成する、該手段と、
前記第1の導電性材料、前記第2の導電性材料、および前記複数のカルコゲニド材料メモリ構成部品の周りに誘電性材料を蒸着させるための手段と
を備える、装置。 - 前記材料の第1の除去は、前記第1の側部と平行な平面に第1の寸法を有する前記第1の導電性材料、および前記第2の側部と平行な平面に第2の寸法を有する前記第2の導電性材料をもたらし、前記第1の寸法は、前記第2の寸法より小さい、請求項33に記載の装置。
- 前記第1の導電性材料の前記第1の寸法は、前記第1の側部の第1の寸法と等しく、前記第2の側部の前記第2の寸法は、前記第2の側部の第1の寸法と等しい、請求項34に記載の装置。
- 前記第1の導電性材料に結合された第1のアクセス・ラインを形成するための手段と、
前記第2の導電性材料に結合された第2のアクセス・ラインを形成するための手段と
を備える、請求項33に記載の装置。 - 前記第1の導電性材料は、前記第2の導電性材料とは異なる、請求項36に記載の装置。
- 前記カルコゲニド材料は、セレニウム、ヒ素、ゲルマニウム、ケイ素またはテルルの少なくとも1つを含む、請求項37に記載の装置。
- 前記材料の第1の除去するための手段は、前記第1の導電性材料で開始するエッチングを含む、請求項33に記載の装置。
- 前記材料の第1の除去するための手段は、前記第2の導電性材料で開始するエッチングを含む、請求項33に記載の装置。
- 前記誘電性材料は、窒化ケイ素、酸化ケイ素、酸化アルミニウム、または酸化アフニウムの少なくとも1つを含む、請求項33に記載の装置。
- 第2の方向の材料の第2の除去するための手段であって、前記複数のメモリ構成部品は、第5の側部、第6の側部、第7の側部、および第8の側部を備え、前記第5の側部および前記第7の側部は鈍角を形成し、前記第6の側部および前記第7の側部は鋭角を形成する、該手段をさらに備える、請求項34に記載の装置。
- 前記材料の第2の除去するための手段は、前記第5の側部と平行な平面で第3の寸法を有する前記第1の導電性材料をもたらす、請求項42に記載の装置。
- 前記材料の第2の除去するための手段は、前記第5の側部と平行な平面で第4の寸法を有する前記第2の導電性材料をもたらし、前記第3の寸法は前記第2の寸法より大きい、請求項43に記載の装置。
- 第1の論理値を記憶するために、カルコゲニド材料メモリ記憶構成部品の第1の表面で化学素子の濃度を増加させるための手段と、
前記第1の論理値と異なる第2の論理値を記憶するために、前記カルコゲニド材料メモリ記憶構成部品の第2の表面で前記化学素子の濃度を増加させるための手段であって、前記第1の表面は前記第2の表面に対向する、該手段と
を備える、装置。 - 前記第2の表面は、前記第1の表面の面積より大きな面積を有する、請求項45に記載の装置。
- 前記第1の表面での前記化学素子の前記濃度は、前記第2の表面での前記化学素子の前記濃度より大きい、請求項45に記載の装置。
- 前記カルコゲニド材料メモリ記憶構成部品に読取パルスを加えるための手段と、
前記第1の論理値または前記第2の論理値が、前記読取パルスを加えることに少なくとも一部基づいて、前記カルコゲニド材料メモリ記憶構成部品で記憶されたかどうかを判断するための手段と
をさらに含む、請求項45に記載の装置。 - 前記化学素子はカチオンであり、前記パルスを負の極性で加えられる、請求項48に記載の装置。
- 前記第1の表面で前記化学素子の前記濃度を増加させることに少なくとも一部基づいて、前記メモリ記憶構成部品の前記第2の表面で異なる化学素子の濃度を増加させるための手段をさらに含む、請求項49に記載の装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US15/582,329 US10424374B2 (en) | 2017-04-28 | 2017-04-28 | Programming enhancement in self-selecting memory |
US15/582,329 | 2017-04-28 | ||
PCT/US2018/028391 WO2018200312A1 (en) | 2017-04-28 | 2018-04-19 | Programming enhancement in self-selecting memory |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020519010A true JP2020519010A (ja) | 2020-06-25 |
JP6913763B2 JP6913763B2 (ja) | 2021-08-04 |
Family
ID=63916770
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019557593A Active JP6913763B2 (ja) | 2017-04-28 | 2018-04-19 | 自己選択メモリにおけるプログラミング改良 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US10424374B2 (ja) |
EP (1) | EP3616202B1 (ja) |
JP (1) | JP6913763B2 (ja) |
KR (1) | KR102227971B1 (ja) |
CN (1) | CN110574114B (ja) |
SG (1) | SG11201909850PA (ja) |
TW (1) | TWI679639B (ja) |
WO (1) | WO2018200312A1 (ja) |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10163977B1 (en) | 2017-03-22 | 2018-12-25 | Micron Technology, Inc. | Chalcogenide memory device components and composition |
US10727405B2 (en) | 2017-03-22 | 2020-07-28 | Micron Technology, Inc. | Chalcogenide memory device components and composition |
US10424374B2 (en) | 2017-04-28 | 2019-09-24 | Micron Technology, Inc. | Programming enhancement in self-selecting memory |
US10381075B2 (en) | 2017-12-14 | 2019-08-13 | Micron Technology, Inc. | Techniques to access a self-selecting memory device |
US10546632B2 (en) | 2017-12-14 | 2020-01-28 | Micron Technology, Inc. | Multi-level self-selecting memory device |
US10541364B2 (en) | 2018-02-09 | 2020-01-21 | Micron Technology, Inc. | Memory cells with asymmetrical electrode interfaces |
US10854813B2 (en) | 2018-02-09 | 2020-12-01 | Micron Technology, Inc. | Dopant-modulated etching for memory devices |
US10693065B2 (en) | 2018-02-09 | 2020-06-23 | Micron Technology, Inc. | Tapered cell profile and fabrication |
US10424730B2 (en) * | 2018-02-09 | 2019-09-24 | Micron Technology, Inc. | Tapered memory cell profiles |
US10651237B2 (en) * | 2018-08-29 | 2020-05-12 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Resistive random access memory device |
JP7271057B2 (ja) * | 2018-11-21 | 2023-05-11 | マイクロン テクノロジー,インク. | カルコゲナイドメモリデバイスの構成要素及び組成物 |
US10559337B1 (en) | 2018-11-30 | 2020-02-11 | Micron Technology, Inc. | Vertical decoder |
US10985212B2 (en) | 2019-04-16 | 2021-04-20 | Micron Technology, Inc. | Multi-component cell architectures for a memory device |
US20210057645A1 (en) * | 2019-08-23 | 2021-02-25 | Globalfoundries Singapore Pte. Ltd. | Memory device and method of forming the same |
KR20210083049A (ko) | 2019-12-26 | 2021-07-06 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 전자 장치 및 전자 장치의 제조 방법 |
US11139025B2 (en) | 2020-01-22 | 2021-10-05 | International Business Machines Corporation | Multi-level cell threshold voltage operation of one-selector-one-resistor structure included in a crossbar array |
US11825754B2 (en) * | 2021-05-27 | 2023-11-21 | Micron Technology, Inc. | Memory cells with sidewall and bulk regions in planar structures |
US11957068B2 (en) * | 2021-05-27 | 2024-04-09 | Micron Technology, Inc. | Memory cells with sidewall and bulk regions in vertical structures |
KR20230154529A (ko) * | 2022-05-02 | 2023-11-09 | 삼성전자주식회사 | 반도체 메모리 소자 |
US11996145B2 (en) | 2022-05-03 | 2024-05-28 | Western Digital Technologies, Inc. | Cross-point array with threshold switching selector memory element |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009130138A (ja) * | 2007-11-22 | 2009-06-11 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 |
US20110155984A1 (en) * | 2009-12-31 | 2011-06-30 | Andrea Redaelli | Self-selecting pcm device not requiring a dedicated selector transistor |
JP2013016530A (ja) * | 2011-06-30 | 2013-01-24 | Sony Corp | 記憶素子およびその製造方法ならびに記憶装置 |
JP2014528656A (ja) * | 2011-10-17 | 2014-10-27 | マイクロン テクノロジー, インク. | メモリセルおよびメモリセルアレイ |
WO2015013478A1 (en) * | 2013-07-26 | 2015-01-29 | Micron Technology, Inc. | Memory cell with independently-sized elements |
US20150364681A1 (en) * | 2014-06-12 | 2015-12-17 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Nonvolatile storage device and method of producing the device |
Family Cites Families (89)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR950027954A (ko) | 1994-03-17 | 1995-10-18 | 김주용 | 반도체 소자의 콘택홀 형성방법 |
JP4693411B2 (ja) | 2002-10-30 | 2011-06-01 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置の作製方法 |
US20040099926A1 (en) | 2002-11-22 | 2004-05-27 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device, display device, and light-emitting device, and methods of manufacturing the same |
JP4554152B2 (ja) | 2002-12-19 | 2010-09-29 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体チップの作製方法 |
US6885590B1 (en) | 2003-01-14 | 2005-04-26 | Advanced Micro Devices, Inc. | Memory device having A P+ gate and thin bottom oxide and method of erasing same |
US7049652B2 (en) | 2003-12-10 | 2006-05-23 | Sandisk Corporation | Pillar cell flash memory technology |
DE102004020575B3 (de) * | 2004-04-27 | 2005-08-25 | Infineon Technologies Ag | Halbleiterspeicherbauelement in Cross-Point-Architektur |
US7259038B2 (en) | 2005-01-19 | 2007-08-21 | Sandisk Corporation | Forming nonvolatile phase change memory cell having a reduced thermal contact area |
US8110863B2 (en) | 2005-06-01 | 2012-02-07 | Sandisk 3D Llc | TFT charge storage memory cell having high-mobility corrugated channel |
US20070054460A1 (en) | 2005-06-23 | 2007-03-08 | Atmel Corporation | System and method for providing a nanoscale, highly selective, and thermally resilient silicon, germanium, or silicon-germanium etch-stop |
US20070010082A1 (en) | 2005-07-05 | 2007-01-11 | Cay-Uwe Pinnow | Structure and method for manufacturing phase change memories with particular switching characteristics |
KR101369864B1 (ko) | 2005-08-12 | 2014-03-05 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체장치 및 그 제조방법 |
JP2007073779A (ja) | 2005-09-07 | 2007-03-22 | Elpida Memory Inc | 不揮発性メモリ素子及びその製造方法 |
US7973384B2 (en) | 2005-11-02 | 2011-07-05 | Qimonda Ag | Phase change memory cell including multiple phase change material portions |
US7723692B2 (en) * | 2005-11-21 | 2010-05-25 | Fujifilm Corporation | Solid state radiation sensor and manufacturing method of the same |
US20070238225A1 (en) * | 2006-04-07 | 2007-10-11 | Guy Wicker | Phase change memory with improved temperature stability |
US8896045B2 (en) | 2006-04-19 | 2014-11-25 | Infineon Technologies Ag | Integrated circuit including sidewall spacer |
TWI312189B (en) | 2006-07-04 | 2009-07-11 | Macronix Int Co Ltd | Memory device and manufacturing method and operating method thereof |
US7688618B2 (en) | 2006-07-18 | 2010-03-30 | Qimonda North America Corp. | Integrated circuit having memory having a step-like programming characteristic |
US8084799B2 (en) | 2006-07-18 | 2011-12-27 | Qimonda Ag | Integrated circuit with memory having a step-like programming characteristic |
US7800092B2 (en) | 2006-08-15 | 2010-09-21 | Micron Technology, Inc. | Phase change memory elements using energy conversion layers, memory arrays and systems including same, and methods of making and using |
US8003972B2 (en) | 2006-08-30 | 2011-08-23 | Micron Technology, Inc. | Bottom electrode geometry for phase change memory |
US20080096344A1 (en) | 2006-10-24 | 2008-04-24 | Macronix International Co., Ltd. | Method for Manufacturing a Resistor Random Access Memory with a Self-Aligned Air Gap insulator |
TWI327381B (en) | 2006-10-27 | 2010-07-11 | Macronix Int Co Ltd | Apparatus, fabrication method and operating method and for non-volatile multi-bit memory |
KR100810617B1 (ko) | 2007-02-09 | 2008-03-06 | 삼성전자주식회사 | 멀티 비트 상전이 메모리소자 및 그 제조방법 |
US7656697B2 (en) * | 2007-03-29 | 2010-02-02 | Qimonda Ag | Integrated circuit having a resistively switching memory and method |
US7786461B2 (en) | 2007-04-03 | 2010-08-31 | Macronix International Co., Ltd. | Memory structure with reduced-size memory element between memory material portions |
US7808028B2 (en) | 2007-04-18 | 2010-10-05 | International Business Machines Corporation | Trench structure and method of forming trench structure |
US8368044B2 (en) | 2007-04-20 | 2013-02-05 | Nxp B.V. | Electronic device comprising a convertible structure |
US7550313B2 (en) * | 2007-07-21 | 2009-06-23 | International Business Machines Corporation | Method for delineation of phase change memory (PCM) cells separated by PCM and upper electrode regions modified to have high film resistivity |
KR20090077232A (ko) | 2008-01-10 | 2009-07-15 | 삼성전자주식회사 | 상변화층 및 그를 포함하는 상변화 메모리 소자 |
JP5364280B2 (ja) | 2008-03-07 | 2013-12-11 | 株式会社東芝 | 不揮発性記憶装置及びその製造方法 |
WO2009122347A2 (en) | 2008-04-01 | 2009-10-08 | Nxp B.V. | Multiple bit phase change memory cell |
US7825398B2 (en) | 2008-04-07 | 2010-11-02 | Macronix International Co., Ltd. | Memory cell having improved mechanical stability |
JP4460646B2 (ja) * | 2008-06-03 | 2010-05-12 | パナソニック株式会社 | 不揮発性記憶素子、不揮発性記憶装置、および不揮発性半導体装置 |
JP5288933B2 (ja) | 2008-08-08 | 2013-09-11 | 株式会社東芝 | 半導体記憶装置及びその製造方法 |
US7772583B2 (en) | 2008-08-21 | 2010-08-10 | Micron Technology, Inc. | Memory devices and methods of forming the same |
IT1392578B1 (it) * | 2008-12-30 | 2012-03-09 | St Microelectronics Rousset | Metodo di programmazione multilivello di celle di memoria a cambiamento di fase utilizzante impulsi di reset adattativi |
JP5367400B2 (ja) | 2009-02-12 | 2013-12-11 | 株式会社東芝 | 半導体記憶装置、及びその製造方法 |
US8153488B2 (en) | 2009-03-24 | 2012-04-10 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method for manufacturing nonvolatile storage device |
JP4810581B2 (ja) | 2009-03-25 | 2011-11-09 | 株式会社東芝 | 不揮発性記憶装置 |
US8193522B2 (en) | 2009-04-09 | 2012-06-05 | Qualcomm Incorporated | Diamond type quad-resistor cells of PRAM |
US8363463B2 (en) | 2009-06-25 | 2013-01-29 | Macronix International Co., Ltd. | Phase change memory having one or more non-constant doping profiles |
KR20110015934A (ko) | 2009-08-10 | 2011-02-17 | 삼성전자주식회사 | 비휘발성 메모리 장치 및 이의 프로그램 방법 |
US8278641B2 (en) | 2009-12-23 | 2012-10-02 | Intel Corporation | Fabricating current-confining structures in phase change memory switch cells |
NZ601967A (en) | 2010-03-12 | 2015-03-27 | Omeros Corp | Pde10 inhibitors and related compositions and methods |
US8729521B2 (en) | 2010-05-12 | 2014-05-20 | Macronix International Co., Ltd. | Self aligned fin-type programmable memory cell |
WO2012033106A1 (ja) | 2010-09-10 | 2012-03-15 | 独立行政法人科学技術振興機構 | メモリーセルブロック及びその製造方法、メモリー装置並びにメモリー装置の駆動方法 |
US8502343B1 (en) | 2010-11-17 | 2013-08-06 | The University Of Toledo | Nanoelectric memristor device with dilute magnetic semiconductors |
US8426242B2 (en) | 2011-02-01 | 2013-04-23 | Macronix International Co., Ltd. | Composite target sputtering for forming doped phase change materials |
KR101952879B1 (ko) | 2011-02-01 | 2019-02-28 | 매크로닉스 인터내셔널 컴퍼니 리미티드 | 도핑된 상 변화 재료를 형성하기 위한 복합 타겟의 스퍼터링 |
CN103262240B (zh) | 2011-02-23 | 2016-08-03 | 松下知识产权经营株式会社 | 非易失性存储元件及其制造方法 |
JP5439419B2 (ja) | 2011-03-18 | 2014-03-12 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置及び不揮発性半導体記憶装置の製造方法 |
JP5780948B2 (ja) | 2011-12-22 | 2015-09-16 | 日立建機株式会社 | アキシャルピストン式液圧ポンプ |
US9496491B2 (en) | 2012-05-21 | 2016-11-15 | Micron Technology, Inc. | Methods of forming a metal chalcogenide material and related methods of forming a memory cell |
US8993374B2 (en) | 2012-08-03 | 2015-03-31 | Micron Technology, Inc. | Phase change material gradient structures and methods |
US8796098B1 (en) | 2013-02-26 | 2014-08-05 | Cypress Semiconductor Corporation | Embedded SONOS based memory cells |
US9343668B2 (en) | 2013-03-14 | 2016-05-17 | Crossbar, Inc. | Low temperature in-situ doped silicon-based conductor material for memory cell |
KR101431656B1 (ko) | 2013-04-05 | 2014-08-21 | 한국과학기술연구원 | 저머늄 및 셀레늄을 이용한 칼코지나이드 스위칭 소자 및 그 제조방법 |
JP2014216553A (ja) | 2013-04-26 | 2014-11-17 | 株式会社東芝 | 抵抗変化型記憶装置 |
GB2515100A (en) * | 2013-06-14 | 2014-12-17 | Ibm | Phase-change memory cells |
US9257431B2 (en) | 2013-09-25 | 2016-02-09 | Micron Technology, Inc. | Memory cell with independently-sized electrode |
CN104517987B (zh) | 2013-09-27 | 2019-01-22 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 半导体存储控制单元、集成电路及集成电路的制造方法 |
US9176020B2 (en) | 2013-10-01 | 2015-11-03 | Freescale Semiconductor, Inc. | Pressure sensor having multiple pressure cells and sensitivity estimation methodology |
KR20150085155A (ko) | 2014-01-13 | 2015-07-23 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 상변화 구조물을 갖는 반도체 집적 회로 장치 및 그 제조방법 |
US9806129B2 (en) | 2014-02-25 | 2017-10-31 | Micron Technology, Inc. | Cross-point memory and methods for fabrication of same |
US9362338B2 (en) | 2014-03-03 | 2016-06-07 | Sandisk Technologies Inc. | Vertical thin film transistors in non-volatile storage systems |
US9564582B2 (en) | 2014-03-07 | 2017-02-07 | Applied Materials, Inc. | Method of forming magnetic tunneling junctions |
DE102014103303A1 (de) | 2014-03-12 | 2015-10-01 | Universität Konstanz | Verfahren zum Herstellen von Solarzellen mit simultan rückgeätzten dotierten Bereichen |
US9324423B2 (en) * | 2014-05-07 | 2016-04-26 | Micron Technology, Inc. | Apparatuses and methods for bi-directional access of cross-point arrays |
US9455301B2 (en) | 2014-05-20 | 2016-09-27 | Sandisk Technologies Llc | Setting channel voltages of adjustable resistance bit line structures using dummy word lines |
KR20160006028A (ko) | 2014-07-08 | 2016-01-18 | 삼성전자주식회사 | 저항 변화 메모리 장치 |
US10056143B2 (en) | 2015-09-08 | 2018-08-21 | Arm Ltd. | Correlated electron switch programmable fabric |
US9847481B2 (en) | 2015-10-27 | 2017-12-19 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Metal landing on top electrode of RRAM |
US10134470B2 (en) | 2015-11-04 | 2018-11-20 | Micron Technology, Inc. | Apparatuses and methods including memory and operation of same |
US10128262B2 (en) | 2015-12-26 | 2018-11-13 | Intel Corporation | Vertical memory having varying storage cell design through the storage cell stack |
US9553265B1 (en) | 2016-01-14 | 2017-01-24 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | RRAM device with data storage layer having increased height |
US9607691B1 (en) * | 2016-02-17 | 2017-03-28 | Micron Technology, Inc. | Memory cell architecture for multilevel cell programming |
KR20170099214A (ko) | 2016-02-23 | 2017-08-31 | 삼성전자주식회사 | 가변 저항 메모리 소자 및 그 제조 방법 |
US9923139B2 (en) | 2016-03-11 | 2018-03-20 | Micron Technology, Inc. | Conductive hard mask for memory device formation |
KR102495000B1 (ko) | 2016-03-18 | 2023-02-02 | 삼성전자주식회사 | 반도체 소자 및 이의 제조방법 |
US9799381B1 (en) | 2016-09-28 | 2017-10-24 | Intel Corporation | Double-polarity memory read |
US10424374B2 (en) | 2017-04-28 | 2019-09-24 | Micron Technology, Inc. | Programming enhancement in self-selecting memory |
US10096576B1 (en) | 2017-06-13 | 2018-10-09 | Micron Technology, Inc. | Semiconductor device assemblies with annular interposers |
US10566519B2 (en) | 2017-08-18 | 2020-02-18 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Method for forming a flat bottom electrode via (BEVA) top surface for memory |
JP2019057660A (ja) | 2017-09-22 | 2019-04-11 | 東芝メモリ株式会社 | メモリデバイス |
US10693065B2 (en) | 2018-02-09 | 2020-06-23 | Micron Technology, Inc. | Tapered cell profile and fabrication |
US10854813B2 (en) | 2018-02-09 | 2020-12-01 | Micron Technology, Inc. | Dopant-modulated etching for memory devices |
US10424730B2 (en) | 2018-02-09 | 2019-09-24 | Micron Technology, Inc. | Tapered memory cell profiles |
-
2017
- 2017-04-28 US US15/582,329 patent/US10424374B2/en active Active
-
2018
- 2018-04-19 EP EP18790479.2A patent/EP3616202B1/en active Active
- 2018-04-19 WO PCT/US2018/028391 patent/WO2018200312A1/en active Application Filing
- 2018-04-19 JP JP2019557593A patent/JP6913763B2/ja active Active
- 2018-04-19 SG SG11201909850P patent/SG11201909850PA/en unknown
- 2018-04-19 KR KR1020197033436A patent/KR102227971B1/ko active IP Right Grant
- 2018-04-19 CN CN201880027808.5A patent/CN110574114B/zh active Active
- 2018-04-27 TW TW107114369A patent/TWI679639B/zh active
-
2019
- 2019-07-22 US US16/518,847 patent/US11200950B2/en active Active
-
2021
- 2021-12-07 US US17/544,679 patent/US11735261B2/en active Active
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009130138A (ja) * | 2007-11-22 | 2009-06-11 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 |
US20110155984A1 (en) * | 2009-12-31 | 2011-06-30 | Andrea Redaelli | Self-selecting pcm device not requiring a dedicated selector transistor |
JP2011139057A (ja) * | 2009-12-31 | 2011-07-14 | Numonyx Bv | 専用のセレクタトランジスタが不要な自己選択式pcmデバイス |
JP2013016530A (ja) * | 2011-06-30 | 2013-01-24 | Sony Corp | 記憶素子およびその製造方法ならびに記憶装置 |
JP2014528656A (ja) * | 2011-10-17 | 2014-10-27 | マイクロン テクノロジー, インク. | メモリセルおよびメモリセルアレイ |
WO2015013478A1 (en) * | 2013-07-26 | 2015-01-29 | Micron Technology, Inc. | Memory cell with independently-sized elements |
US20150028280A1 (en) * | 2013-07-26 | 2015-01-29 | Micron Technology, Inc. | Memory cell with independently-sized elements |
US20150364681A1 (en) * | 2014-06-12 | 2015-12-17 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Nonvolatile storage device and method of producing the device |
JP2016015477A (ja) * | 2014-06-12 | 2016-01-28 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 不揮発性記憶装置およびその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20220172779A1 (en) | 2022-06-02 |
CN110574114A (zh) | 2019-12-13 |
KR102227971B1 (ko) | 2021-03-16 |
EP3616202A4 (en) | 2020-12-30 |
US20180315475A1 (en) | 2018-11-01 |
US20200013463A1 (en) | 2020-01-09 |
EP3616202A1 (en) | 2020-03-04 |
JP6913763B2 (ja) | 2021-08-04 |
CN110574114B (zh) | 2023-09-19 |
EP3616202B1 (en) | 2022-11-30 |
SG11201909850PA (en) | 2019-11-28 |
US11200950B2 (en) | 2021-12-14 |
TW201907403A (zh) | 2019-02-16 |
US11735261B2 (en) | 2023-08-22 |
TWI679639B (zh) | 2019-12-11 |
US10424374B2 (en) | 2019-09-24 |
KR20190131599A (ko) | 2019-11-26 |
WO2018200312A1 (en) | 2018-11-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6913763B2 (ja) | 自己選択メモリにおけるプログラミング改良 | |
JP6905067B2 (ja) | メモリダイ領域の有効利用 | |
KR102219285B1 (ko) | 임베디드 리프레시에 의한 드리프트 완화 | |
JP7230051B2 (ja) | 水平方向のアクセス・ラインを有する自己選択メモリ・アレイ | |
JP7123151B2 (ja) | メモリ・デバイスのためのドーパント変調型エッチング | |
KR102447789B1 (ko) | 테이퍼진 메모리 셀 프로파일 | |
US11404637B2 (en) | Tapered cell profile and fabrication | |
JP7431887B2 (ja) | 非対称電極界面を有するメモリ・セル | |
KR20200067295A (ko) | 칼코게나이드 메모리 디바이스 컴포넌트들 및 조성물 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20191220 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20191220 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20201215 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210305 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210622 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210712 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6913763 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |