JP2019513189A5 - - Google Patents

Claims (14)

1. 基材の第１表面上にある第１の縁部領域を第１の支持ローラに係合することであって、前記第１の支持ローラはシャフトの第１の端部を中心として回転可能であり、前記基材はその幅よりもかなり長い長さを有する、係合することと、
   前記基材の前記第１表面上にある第２の縁部領域を第２の支持ローラに係合することであって、前記第２の支持ローラは前記その第１の端部とは反対側の前記シャフトの第２の端部を中心として回転可能であり、前記第１のローラと前記第２のローラとの間にあり前記基材の幅の少なくとも約５０％で構成される中央領域はローラによる支持がない、係合することと、
   前記第１の支持ローラ及び前記第２の支持ローラ上で前記基材を運搬することと、
   前記基材上に薄膜を形成するのに十分な回数、
   （ａ）前記基材を第１の前駆体に暴露するステップ及び
   （ｂ）前記基材を前記第１の前駆体に暴露した後、反応種を前記基材に供給して前記第１の前駆体と反応させるステップの、
   シーケンスを繰り返すことであって、
   前記薄膜を、前記第１の前駆体と前記反応種との反応生成物として形成する、繰り返すことと、
   前記薄膜上に蒸気を堆積させて前記薄膜上にコーティングを形成することと、
   を含む、方法。
2. 前記薄膜上に前記蒸気を堆積させる前に前記基材を冷却すること、を更に含む、請求項１に記載の方法。
3. 前記基材を前記第１の前駆体に暴露する前に前記基材を加熱すること、を含む、請求項１又は２に記載の方法。
4. 前記その第１表面とは反対側の前記基材の第２表面が、前記反応種と実質的に接触しない、請求項１〜３のいずれか一項に記載の方法。
5. 前記蒸気を前記薄膜上に堆積することが、前記薄膜が前記基材の幅の５０％より広く覆う固体表面に接触する前に起こる、請求項１〜４のいずれか一項に記載の方法。
6. 前記薄膜は３ｎｍ〜２０ｎｍの厚さを有する、請求項１〜５のいずれか一項に記載の方法。
7. 前記繰り返すステップは、（ｃ）ステップ（ｂ）の後に、前記基材を第２の前駆体に暴露することと、（ｄ）前記基材を前記第２の前駆体に暴露した後に反応種を前記基材に供給することと、を更に含む、請求項１〜６のいずれか一項に記載の方法。
8. 前記支持ローラのうちの少なくとも一方を前記基材の運動方向に対してある角度に向けること、を更に含む、請求項１〜７のいずれか一項に記載の方法。
9. 第１の前駆体が導入されている第１のゾーンと、
   第２の前駆体が導入されている第２のゾーンと、
   前記第１のゾーンと前記第２のゾーンとの間にあり、反応種が発生している第３のゾーンと、
   前記基材の単一の主表面に接触している少なくとも２つの支持ローラを備える基材運搬機構であって、
   前記基材は第１の縁部及び第２の縁部を有し、前記支持ローラは、
   前記基材の第１の縁部領域に接触している第１の支持ローラ及び
   前記基材の第２の縁部領域に接触している第２の支持ローラを備え、
   前記基材は前記基材の幅の少なくとも約５０％で構成され、前記第１の支持ローラと前記第２の支持ローラとの間の非接触領域を含む基材運搬機構と、
   蒸気を発生させる蒸気源を備える蒸気処理システムと、
   を備える、システム。
10. 前記基材を加熱する加熱システムを更に備える、請求項９に記載のシステム。
11. 前記基材を冷却する冷却システムを更に備える、請求項９又は１０に記載のシステム。
12. 前記蒸気から前記基材上に堆積された液体モノマー又は液体オリゴマーの重合を開始するために構成された硬化源を更に備える、請求項９〜１１のいずれか一項に記載のシステム。
13. 反応種を前記第３のゾーンに供給するフリーラジカル発生器を更に備える、請求項９〜１２のいずれか一項に記載のシステム。
14. 前記基材の運動方向の変化中に前記基材を支持するアイドルローラを更に備える、請求項９〜１３のいずれか一項に記載のシステム。