JP2013249505A5 - - Google Patents

Claims (10)

1. 成膜対象物を搬送するロールツーロール機構であって、搬送される成膜対象物に印加される張力を緩和する張力緩和部を有するロールツーロール機構と、
   前記ロールツーロール機構によって搬送される前記成膜対象物を加熱する加熱部と
   を具備する成膜装置。
2. 請求項１に記載の成膜装置であって、
   前記張力緩和部は、前記成膜対象物を挟持するピンチロールを有する
   成膜装置。
3. 請求項２に記載の成膜装置であって、
   前記ピンチロールは、前記成膜対象物の搬送をガイドするガイドロールと、弾性材料からなるロール表面を有する弾性ロールとを有し、前記弾性ロールが前記ガイドロールに押圧されることで前記成膜対象物を挟持する
   成膜装置。
4. 請求項１から３のうちいずれか一つに記載の成膜装置であって、
   前記張力緩和部は、複数のロールからなる多段ロールである
   成膜装置。
5. 請求項１から４のうちいずれか一つに記載の成膜装置であって、
   前記成膜対象物の弛み量を検出する弛み検出センサをさらに具備し、
   前記張力緩和部は、前記弛み検出センサの出力に応じて前記成膜対象物に印加される張力を調整する
   成膜装置。
6. 請求項１から５のうちいずれか一つに記載の成膜装置であって、
   前記張力緩和部は、前記成膜対象物に印加される張力を、前記成膜対象物において双晶変形が生じる張力以下に緩和する
   成膜装置。
7. 請求項１から６のうちいずれか一つに記載の成膜装置であって、
   前記成膜対象物は、銅を含む金属箔であって、
   前記張力緩和部は、前記成膜対象物に印加される張力を１ＭＰａ未満に緩和する
   成膜装置。
8. 請求項１から７のうちいずれか一つに記載の成膜装置であって、
   前記加熱部によって加熱されている成膜対象物に、炭素を含む炭素源物質を供給する成膜材料供給部をさらに具備する
   成膜装置。
9. 成膜対象物をロールツーロール機構にセットし、
   前記ロールツーロール機構によって前記成膜対象物を搬送し、
   前記成膜対象物に成膜材料を供給し、
   前記ロールツーロール機構によって前記成膜対象物に印加されている張力が緩和された状態で、前記成膜対象物を加熱する
   成膜方法。
10. 請求項９に記載の成膜方法であって、
    前記成膜材料を加熱する工程は、前記ロールツーロール機構による前記成膜対象物の搬送を停止し、張力を緩和した後に実施する
    成膜方法。