KR20120052648A - 그래핀 전사장치 및 그래핀 전사방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 그래핀 전사장치 및 그래핀 전사방법에 관련된 것으로, 본 발명의 일 측면에 따른 그래핀 전사장치는, 그래핀이 부착된 열 박리 필름의 상기 그래핀이 전사대상 필름에 부착되도록 상기 열 박리 필름과 상기 전사대상 필름을 압착시키는 제1롤러와, 상기 제1롤러를 통과한 상기 열 박리 필름이 접착력을 상실하도록 상기 열 박리 필름과 상기 전사대상 필름을 서로 밀착되는 방향으로 가압하면서 가열하는 제2롤러와, 상기 제1롤러와 상기 제2롤러 사이에서 상기 열 박리 필름을 예열하는 가열부를 구비한다.
또한 본 발명의 다른 일 측면에 따른 그래핀 전사방법은, 그래핀이 부착된 열 박리 필름의 상기 그래핀이 전사대상 필름에 부착되도록 상기 열 박리 필름과 상기 전사대상 필름을 압착시키는 단계와, 압착된 상기 열 박리 필름과 상기 전사대상 필름을 예열하는 단계와, 상기 열 박리 필름이 필름이 접착력을 상실하도록 예열된 상기 열 박리 필름을 재 가열하는 단계를 포함한다.

Description

그래핀 전사장치 및 그래핀 전사방법{Apparatus for transferring graphene and method for transferring graphene}

본 발명은 그래핀을 전사대상 필름에 전사하는 장치 및 그래핀을 전사대상 필름에 전사하기 위한 방법에 관련된 것이다.

그래핀(graphene)은 탄소가 육각형의 형태로 서로 연결되어 벌집 모양의 2차원 평면 구조를 이루는 물질로서, 그 두께가 매우 얇고 투명하며 전기 전도성이 매우 큰 특성을 가진다. 그래핀의 이러한 특성을 이용하여 그래핀을 투명 디스플레이 또는 휘어질 수 있는 디스플레이에 적용하려는 시도가 많이 이루어지고 있으며, 최근에는 그래핀을 대형으로 합성하려는 시도가 활발히 이루어지고 있다.

그래핀은 화학적 환원법 또는 화학기상증착법(chemical vapor deposition) 등 여러가지 방법으로 합성이 가능하다. 화학기상증착법을 이용할 경우, 촉매금속의 표면에서 합성된 그래핀을 열 박리 필름에 부착된 후, 촉매금속을 에칭하여 제거함으로써 그래핀을 열 박리 필름으로 이동시킨다.

열 박리 필름에 부착된 그래핀은 전사대상 필름, 즉 기판용 필름으로 전사되는데, 이를 위하여 열 박리 필름의 그래핀을 전사대상 필름에 부착하고 열 박리 필름을 박리 온도로 가열하여 열 박리 필름만을 분리시킨다.

한편, 열 박리 필름을 가열하는 과정은 고온의 롤러에 의해서 수행되기도 하는데, 롤러는 선 접촉으로 열 박리 필름 및 전사대상 필름을 가열하므로 짧은 시간 동안 국부적으로 열 박리 필름을 가열하게 된다. 이와 같이 롤러를 이용하여 좁은 영역을 급격하게 가열할 경우에 그래핀이 손상되거나 품질이 저하되는 문제가 있다.

상기의 문제를 해결하기 위하여 본 발명의 일부 측면은, 열 박리 필름에 부착된 그래핀을 전사대상 필름에 전사하는 과정에서 그래핀이 손상되거나 품질이 저하되는 것을 효과적으로 억제할 수 있는 그래핀 전사장치 및 그래핀 전사방법을 제공함에 목적이 있다.

상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 측면에 따른 그래핀 전사장치는, 그래핀이 부착된 열 박리 필름의 상기 그래핀이 전사대상 필름에 부착되도록 상기 열 박리 필름과 상기 전사대상 필름을 압착시키는 제1롤러와, 상기 제1롤러를 통과한 상기 열 박리 필름이 접착력을 상실하도록 상기 열 박리 필름과 상기 전사대상 필름을 서로 밀착되는 방향으로 가압하면서 가열하는 제2롤러와, 상기 제1롤러와 상기 제2롤러 사이에서 상기 열 박리 필름을 예열하는 가열부를 구비한다.

또한 상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 다른 일 측면에 따른 그래핀 전사방법은, 그래핀이 부착된 열 박리 필름의 상기 그래핀이 전사대상 필름에 부착되도록 상기 열 박리 필름과 상기 전사대상 필름을 압착시키는 단계와, 압착된 상기 열 박리 필름과 상기 전사대상 필름을 예열하는 단계와, 상기 열 박리 필름이 필름이 접착력을 상실하도록 예열된 상기 열 박리 필름을 재 가열하는 단계를 포함한다.

본 발명의 일부 측면에 따른 그래핀 전사장치 및 그래핀 전사방법에 의하면, 열 박리 필름에 부착된 그래핀을 전사대상 필름에 전사하는 과정에서 그래핀이 손상되거나 품질이 저하되는 것을 효과적으로 억제할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 그래핀 전사장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2는 도 1의 II부분을 개략적으로 확대하여 도시한 도면이다.
도 3은 도 1의 III부분을 개략적으로 확대하여 도시한 도면이다.
도 4는 도 1의 IV부분을 개략적으로 확대하여 도시한 도면이다.
도 5는 도 1의 V부분을 개략적으로 확대하여 도시한 도면이다.
도 6은 도 1의 VI부분을 개략적으로 확대하여 도시한 도면이다.
도 7은 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 그래핀 전사방법을 개략적으로 도시한 흐름도이다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 그래핀 전사장치에 관하여 설명한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 그래핀 전사장치를 개략적으로 도시한 도면이며, 도 2 내지 도 6은 각각 도 1의 II부분 내지 VI부분을 개략적으로 확대하여 도시한 도면이다.

도 1을 참조하면, 본 실시예에 따른 그래핀 전사장치(1)는

제1권출릴(510), 제2권출릴(610), 제1롤러(100), 가열부(300), 제2롤러(200), 이송 가이드(400), 제1권취릴(520) 및 제2권취릴(620)을 구비한다.

제1권출릴(510)은 일면에 그래핀(15)이 부착된 열 박리 필름(10)이 감겨져 배치되는 것이다. 도 2에 도시된 바와 같이, 열 박리 필름(10)의 일면(10a)에는 그래핀(15)이 부착되어 있다. 열 박리 필름(10)은 상온에서 그 일면(10a)이 접착성을 가지지만 소정의 온도, 소위 박리 온도 이상으로 가열되면 그 일면(10a)이 접착성을 잃는 성질을 가진다. 열 박리 필름(10)은 제품에 따라서 다양한 박리 온도를 가진다. 이하에서는 박리 온도가 섭씨 90도 정도인 열 박리 필름(10)을 사용하는 것을 예로 들어 설명한다.

제2권출릴(610)은 전사대상 필름(20)이 감겨져 배치되는 것이다. 전사대상 필름(20)은 기판의 역할을 하는 것으로, PDMS(Polydimethylsiloxane), PET(Polyethylen Terephthalate), 폴리 이미드 필름(Polyimide film), 유리(glass), 천연 고무 및 합성 고무 중 어느 하나의 소재로 이루어 질 수 있다. 본 실시예에서는 전사대상 필름(20)이 제2권출릴(610)에 감겨져 배치될 수 있도록 연성의 소재로 이루어진 전사대상 필름(20)을 사용하는 것을 예로 들어 설명한다.

제1롤러(100)는 소정의 간격으로 이격된 한 쌍으로 이루어지며, 제1권출릴(510) 및 제2권출릴(610)에서 권출된 열 박리 필름(10)과 전사대상 필름(20)을 압착시키는 역할을 한다. 즉, 제1권출릴(510)에서 권출된 열 박리 필름(10)과 제2권출릴(610)에서 권출된 전사대상 필름(20)은 제1롤러(100)의 사이로 투입됨으로써 서로 압착된다. 이때 열 박리 필름(10)은 그래핀(15)이 부착된 일면(10a)이 부착된 일면(10a)이 전사대상 필름(20)을 향하도록 배치된 상태에서 제1롤러(100)로 투입되므로, 열 박리 필름(10)과 전사대상 필름(20)이 제1롤러(100)를 통과하면 그래핀(15)이 전사대상 필름(20)에 부착된다. 한편, 열 박리 필름(10)의 그래핀(15)이 부착된 일면(10a)의 타면(10b)에는 그래핀(15)이 부착되는 것을 방지하기 위하여, 커버 필름(미도시)이 부착될 수도 있다.

가열부(300)는 한 쌍의 제1롤러(100) 사이를 통과한 열 박리 필름(10)과 전사대상 필름(20)을 예열하기 위한 것으로, 열 박리 필름(10)과 전사대상 필름(20)을 사이에 두도록 배치된다. 가열부(300)는 열 박리 필름(10)을 그 박리 온도보다 낮은 온도로 가열하는 것이 바람직하다. 예컨대 열 박리 필름(10)의 박리 온도가 섭씨 90도인 경우, 가열부(300)는 열 박리 필름(10)을 섭씨 50~80도 정도로 가열하는 것이 바람직하다. 가열부(300)는 제1롤러(100)를 통과하여 서로 부착된 열 박리 필름(10)과 전사대상 필름(20)이 점진적으로 가열될 수 있도록, 열 박리 필름과 전사대상 필름(20)의 이동방향으로 연장되게 배치된다.

가열부(300)는 열 박리 필름(10) 및 전사대상 필름(20)을 가열할 수 있는 것이면 어떤 것이든 가능하다. 예를 들어 가열부(300)는 내부가 소정의 온도로 유지되는 항온 챔버일 수도 있고, 복사열을 발산하는 전열선일 수도 있으며, 열풍을 열 박리 필름(10) 및 전사대상 필름(20)에 분사하는 장치일 수도 있다.

제2롤러(200)는 소정의 간격으로 이격된 한 쌍으로 이루어지며, 가열부(300)를 통과한 열 박리 필름(10)과 전사대상 필름(20)을 서로 밀착되는 방향으로 가압함과 동시에 가열하는 역할을 한다. 즉 가열부(300)를 통과하여 예열된 열 박리 필름(10)과 전사대상 필름(20)은 제2롤러(200)의 사이로 투입됨으로써 재 가압 및 재 가열된다.

제2롤러(200)는 열 박리 필름(10)을 박리 온도 이상으로 가열할 수 있도록, 열 박리 필름(10)의 박리 온도보다 높은 온도로 유지된다. 예컨대 열 박리 필름(10)의 박리 온도가 섭씨 90도인 경우에, 제2롤러(200)는 예컨대 섭씨 90 내지 300도의 온도로 유지될 수 있다. 제2롤러(200)의 온도는 열 박리 필름(10) 및 전사대상 필름(20)의 종류에 따라 적절하게 설정될 수 있다.

제1권취릴(520)은 제2롤러(200)를 통과한 열 박리 필름(10)을 감아 배치하며, 열 박리 필름(10)을 전사대상 필름(20)으로부터 멀어지는 방향으로 당겨주는 역할을 한다. 즉, 제2롤러(200)를 통과하면서 접착력을 상실한 열 박리 필름(10)은 제1권취릴(520)에 의해서 감기면서 전사대상 필름(20)으로부터 분리된다.

제2권취릴(620)은 제2롤러(200)를 통과한 전사대상 필름(20)을 감아 배치하며, 전사대상 필름(20)을 열 박리 필름(10)으로부터 멀어지는 방향으로 당겨주는 역할을 한다.

이송 가이드(400)는 제2롤러(200)를 통과한 열 박리 필름(10) 상기 제2롤러(200)를 통과하여 서로 분리된 열 박리 필름(10)과 전사대상 필름(20) 사이에 배치되며, 열 박리 필름(10)이 제1권취릴(520)로 이동되도록 안내한다. 또한 이송 가이드(400)는 미쳐 분리되지 못한 열 박리 필름(10)과 전사대상 필름(20)을 확실하게 분리시켜줄 수도 있으며, 서로 분리된 열 박리 필름(10)과 전사대상 필름(20)이 다시 붙는 것을 방지할 수도 있다.

다음으로 본 발명의 다른 일 측면에 따른 그래핀 전사방법의 일 실시예를 도면을 참조하여 설명한다.

본 실시예에 따른 그래핀 전사방법은 열 박리 필름(10)과 전사대상 필름(20)을 압착시키는 단계, 압착된 열 박리 필름(10)과 전사대상 필름(20)을 예열하는 단계 및 열 박리 필름(10)을 재 가열하는 단계를 포함한다. 이하에서는 본 실시예에 따른 그래핀 전사방법을 실현하기 위하여 도 1의 그래핀 전사장치(1)를 이용하는 것을 예로 들어 설명한다.

도 7은 본 실시예에 따른 그래핀 전사방법을 개략적으로 도시한 흐름도이다.

열 박리 필름(10)과 전사대상 필름(20)을 압착시키는 단계는 제1권출릴(510)에서 권출된 열 박리 필름(10)과 제2권출릴(610)에서 권출된 전사대상 필름(20)을 제1롤러(100) 사이로 투입하여 압착시키는 단계(S10)이다. 즉, 도 2에 도시된 바와 같이 제1권출릴(510)에서 권출된 열 박리 필름(10)과 도 3에 도시된 바와 같이 제2권출릴(610)에서 권출된 전사대상 필름(20)은 한 쌍의 제1롤러(100) 사이로 투입되어 서로 압착된다.

도 4에 도시된 바와 같이 제1롤러(100)를 통과한 열 박리 필름(10)과 전사대상 필름(20)의 사이에는 그래핀(15)이 배치되며, 그 그래핀(15)의 일면과 타면은 각각 열 박리 필름(10)과 전사대상 필름(20)에 부착된다.

한편, 제1롤러(100)는 열 박리 필름(10)과 전사대상 필름(20)을 압착시킬 뿐만 아니라, 그래핀(15)과 전사대상 필름(20)을 펴줌으로써 그래핀(15)과 전사대상 필름(20) 사이에 공극이 발생하거나 그래핀(15)이 주름지는 것을 억제하는 효과도 가진다.

열 박리 필름(10)과 전사대상 필름(20)을 예열하는 단계는 제1롤러(100)를 통과한 열 박리 필름(10)과 전사대상 필름(20)을 가열부(300)를 이용하여 예열하는 단계(S20)이다. 가열부(300)는 열 박리 필름(10)과 전사대상 필름(20)의 이동방향으로 연장되게 배치되므로 열 박리 필름(10)과 전사대상 필름(20)을 서서히 가열시켜 준다. 한편, 가열부(300)는 열 박리 필름(10)의 박리 온도보다 낮은 온도까지만 열 박리 필름(10)을 가열하므로, 열 박리 필름(10)은 그 접착력을 유지하여 그래핀(15)에 부착된 상태를 유지한다.

열 박리 필름(10)을 재 가열하는 단계는 열 박리 필름(10)이 접착력을 상실하도록, 가열부(300)를 지나면서 예열된 열 박리 필름(10)과 전사대상 필름(20)을 고온의 제2롤러(200)로 가압 및 가열하는 단계(S30)이다. 제2롤러(200)는 열 박리 필름(10)의 박리 온도보다 높은 온도를 유지하고 있으므로, 열 박리 필름(10)과 전사대상 필름(20)이 제2롤러(200)를 통과하면, 열 박리 필름(10)은 접착력을 상실한다. 즉, 열 박리 필름(10)의 일면(10a)과 그래핀(15) 사이의 접착력이 제거되어 그래핀(15)은 전사대상 필름(20)에만 부착된 상태가 된다.

한편, 제2롤러(200)는 열 박리 필름(10) 및 전사대상 필름(20)을 서로 밀착되는 방향으로 가압하기도 하므로, 그래핀(15)과 전사대상 필름(20) 사이에 남아있을 수 있는 공극을 다시 한번 제거하는 효과를 가질 수 있다.

열 박리 필름(10)이 제2롤러(200)를 통과하여 접착력을 상실하면, 도 1에 도시된 바와 같이 제1권취릴(520)을 이용하여 열 박리 필름(10)을 전사대상 필름(20)으로부터 분리되는 방향으로 당기면서 감아준다. 또한 그래핀(15)이 부착된 전사대상 필름(20)도 제2권취릴(620)을 이용하여 열 박리 필름(10)으로부터 분리되는 방향으로 당기면서 감아준다.

이와 같이 제2롤러(200)를 통과한 열박리 필름(10)과 전사대상 필름(20)을 분리시켜주면, 그래핀(15)은 전사대상 필름(20)에 남게 되고 열 박리 필름(10)만 전사대상 필름(20)으로부터 분리된다. 즉, 도 6에 도시된 바와 같이 그래핀(15)은 열 박리 필름(10)으로부터 전사대상 필름(20)으로 전사된다.

한편, 제2롤러(200)를 통과하여 그래핀(15)이 전사된 전사대상 필름(20)이 제2권취릴(620)에 감기기 전에, 전사대상 필름(20)에 부착된 그래핀(15)을 덮어주는 보호 필름(미도시)을 부착하는 단계가 더 수행될 수도 있다. 보호 필름은 그래핀(15)을 덮어줌으로써 그래핀(15)의 오염 및 손상을 방지하는 역할을 할 수 있다.

종래의 그래핀 전사장치를 이용한 그래핀 전사방법에서는 열 박리 필름의 접착력을 제거하기 위해서 예열하는 과정 없이 고온의 롤러로 서로 압착된 열 박리 필름과 전사대상 필름을 가압 및 가열한다. 따라서 롤러는 열 박리 필름 및 전사대상 필름과 선 접촉하면서 열 박리 필름을 국부적으로 가열한다. 이와 같이 종래의 그래핀 전사장치를 이용한 그래핀 전사방법에서는 고온의 롤러로 열 박리 필름을 국부적으로 가열하기 때문에 열 박리 필름에 충분한 열을 전달하기 위해서 열 박리 필름 및 전사대상 필름의 롤러 통과속도를 느리게 해야 한다. 결과적으로 전체공정에 소요되는 시간이 길어지고 생산성이 저하되는 문제가 있다. 뿐만 아니라 롤러에 의해서 열 박리 필름 및 전사대상 필름의 일부에만 열이 집중되기 때문에 과열 또는 부등 팽창 등으로 인하여 그래핀에 손상되는 등 그래핀의 품질을 유지하는데도 어려움이 있다.

그러나 본 실시예에 따른 그래핀(15) 제조장치 및 그래핀(15) 제조방법에 따르면 가열부(300)를 이용하여 열 박리 필름(10)을 미리 열 박리 온도에 근접한 온도로 예열한 후에 제2롤러(200)로 가압 및 가열하기 때문에, 열 박리 필름(10)을 박리 온도에 이르도록 가열하는데 소요되는 시간이 효과적으로 감소될 수 있다. 그러므로 그래핀(15)을 전사하는 전체 공정의 소요시간을 효과적으로 단축시킬 수 있다.

또한 열 박리 필름(10) 및 전사대상 필름(20)이 제2롤러(200)로 투입되기 전에 가열부(300)로 예열하기 때문에 제2롤러(200)가 열 박리 필름(10) 및 전사대상 필름(20)에 전달하는 열량이 종래의 경우와 비해서 적다. 그러므로 제2롤러(200)는 가열부(300)를 종래의 경우에 비해서 비교적 저온으로 유지될 수 있으며, 열 박리 필름(10) 및 전사대상 필름(20)의 과열 또는 부등 팽창으로 인하여 그래핀(15)이 손상 되거나 품질이 저하되는 것을 효과적으로 억제할 수 있다.

한편, 상술한 실시예에 따른 그래핀 전사장치(1)에서는 제1롤러(100)와 제2롤러(200)는 한 쌍으로 이루어지는 것으로 설명하였으나, 이와는 달리 제1롤러(100)와 제2롤러(200)는 각각 하나로 이루어질 수도 있다. 예컨대 그래핀 전사장치(1)는 컨베이어의 상측에 배치된 하나의 제1롤러 및 하나의 제2롤러를 구비할 수도 있다. 이 경우에 열 박리 필름(10)과 전사대상 필름(20)은 컨베이어와 제1롤러(100) 및 제2롤러(200) 사이로 투입됨으로써 서로 압착될 수 있다. 이 경우에도 제1롤러(100)와 제2롤러(200) 사이에는 열 박리 필름(10)과 전사대상 필름(20)이 제2롤러(200)를 예열하기 위한 가열부(300)가 배치된다.

또한 상술한 실시예에 따른 그래핀 전사방법에서는 릴투릴(Reel to Reel) 방식으로 그래핀(15)을 전사대상 필름(20)에 연속적으로 전사하는 것으로 설명하였으나, 이와는 달리 그래핀 전사방법은 패널방식에 의해서 수행될 수도 있다. 예를 들어 컨베이어에 패널 형태의 전사대상 필름을 배치하고, 그 위에 그래핀이 부착된 열 박리 필름이 배치한 후, 이들을 제1롤러, 가열부 및 제2롤러로 투입함으로써 그래핀을 전사대상 필름에 전사할 수도 있다.

이상 본 발명의 일부 실시예에 대해 설명하였으나 본 발명은 이에 한정되지 않 본 발명은 상술한 실시예에 따른 그래핀 전사장치 및 그래핀 전사방법 이외에도 그 기술적 사상의 범주 내에서 다양한 형태로 구체화될 수 있다.

1 … 그래핀 전사장치 10 … 열 박리 필름
15 … 그래핀 20 … 전사대상 필름
100 … 제1롤러 200 … 제2롤러
300 … 가열부 400 … 이송 가이드
510 … 제1권출릴 520 … 제1권취릴
610 … 제2권출릴 620 … 제2권취릴

Claims (10)

1. 그래핀이 부착된 열 박리 필름의 상기 그래핀이 전사대상 필름에 부착되도록, 상기 열 박리 필름과 상기 전사대상 필름을 압착시키는 제1롤러와,
   상기 제1롤러를 통과한 상기 열 박리 필름이 접착력을 상실하도록, 상기 열 박리 필름과 상기 전사대상 필름을 서로 밀착되는 방향으로 가압하면서 가열하는 제2롤러와,
   상기 제1롤러와 상기 제2롤러 사이에서 상기 열 박리 필름을 예열하는 가열부를 구비한 그래핀 전사장치.
2. 제1항에 있어서,
   상기 가열부는,
   상기 열 박리 필름을 그의 박리 온도 이하로 가열하는 그래핀 전사장치.
3. 제1항에 있어서,
   상기 제1롤러는,
   상기 열 박리 필름과 상기 전사대상 필름을 사이에 두고 압착시키는 한 쌍으로 이루어지며,
   상기 제2롤러는,
   상기 열 박리 필름과 상기 전사대상 필름을 사이에 두고, 상기 열 박리 필름과 상기 전사대상 필름을 가압 및 가열하는 한 쌍으로 이루어지는 그래핀 전사장치.
4. 제1항에 있어서,
   상기 열 박리 필름이 감겨져 배치되며, 상기 열 박리 필름을 상기 제1롤러로 투입시키는 제1권출릴과,
   상기 전사대상 필름이 감겨져 배치되며, 상기 전사대상 필름을 상기 제1롤러로 투입시키는 제2권출릴과,
   상기 제2롤러를 통과한 상기 열 박리 필름이 감겨지는 제1권취릴과,
   상기 제2롤러를 통과한 상기 전사대상 필름이 감겨지는 제2권취릴을 구비하는 그래핀 전사장치.
5. 제4항에 있어서,
   상기 제2롤러를 통과하여 서로 분리된 상기 열 박리 필름과 상기 전사대상 필름 사이에 배치되며, 상기 열 박리 필름이 상기 제1권취릴로 이동되도록 안내하는 이송 가이드를 더 구비하는 그래핀 전사장치.
6. 그래핀이 부착된 열 박리 필름의 상기 그래핀이 전사대상 필름에 부착되도록, 상기 열 박리 필름과 상기 전사대상 필름을 압착시키는 단계와,
   압착된 상기 열 박리 필름과 상기 전사대상 필름을 예열하는 단계와,
   상기 열 박리 필름이 필름이 접착력을 상실하도록, 예열된 상기 열 박리 필름을 재 가열하는 단계를 포함하는 그래핀 전사방법.
7. 제6항에 있어서,
   상기 열 박리 필름과 상기 전사대상 필름을 압착시키는 단계는,
   상기 열 박리 필름과 상기 전사대상 필름을 제1롤러로 투입하여 압착시키는 단계이며,
   상기 열 박리 필름과 상기 전사대상 필름을 예열하는 단계는,
   상기 제1롤러를 통과한 상기 열 박리 필름과 상기 전사대상 필름을 예열하는 단계이며,
   상기 열 박리 필름을 재 가열하는 단계는,
   예열된 상기 열 박리 필름과 상기 전사대상 필름을 제2롤러로 가압 및 가열하는 단계인 그래핀 전사방법.
8. 제7항에 있어서,
   상기 열 박리 필름과 상기 전사대상 필름을 예열하는 단계는,
   상기 열 박리 필름을 그의 박리 온도 이하로 가열하는 단계인 그래핀 전사방법.
9. 제7항에 있어서,
   상기 제1롤러는,
   상기 열 박리 필름과 상기 전사대상 필름을 사이에 두고 압착시키는 한 쌍으로 이루어지며,
   상기 제2롤러는,
   상기 열 박리 필름과 상기 전사대상 필름을 사이에 두고, 상기 열 박리 필름과 상기 전사대상 필름을 가압 및 가열하는 한 쌍으로 이루어지는 그래핀 전사장치.
10. 제7항에 있어서,
    상기 열 박리 필름은,
    제1권출릴에서 권출되어 상기 제1롤러 및 상기 제2롤러를 통과한 후 제1권취릴에 감겨지며,
    상기 전사대상 필름은,
    제2권출릴에서 권출되어 상기 제1롤러 및 상기 제2롤러를 통과한 후 제2권취릴에 감겨지는 그래핀 전사장치.

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