JP2006326948A - 微細構造転写装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】
ロールの回転速度を高くし生産性を高めても期待したパターンを転写することができる微細構造転写装置を提供することである。
【解決手段】
樹脂層に微細なパターンを有するスタンパを加熱加圧することにより、樹脂層に該スタンパの微細パターンを転写する微細構造転写装置であり、スタンパを有するべルト9をスタンパのパターン面が樹脂層2側となるようにして樹脂層2と対向させ、多段に設けたローラ13によりベルト9を介してスタンパを樹脂層2に加熱加圧し、転写する。
【選択図】 図1
Description
2‥被転写フィルム
3,5‥巻取ロール
4,7‥保護フィルム
9‥エンドレスベルトスタンパ
10‥駆動ローラ
11‥従動ローラ
12‥張力調整ローラ
13‥加熱加圧ローラ
14‥バックアップローラ
Claims (5)
- 樹脂層に微細なパターンを有するスタンパを加熱加圧することにより、該樹脂層に該スタンパの微細パターンを転写する微細構造転写装置において、
スタンパを有するべルトをスタンパのパターン面が該樹脂層側となるようにして該樹脂層と対向させ、多段に設けたローラにより該ベルトを介して該スタンパを該樹脂層に加熱加圧することを特徴とする微細構造転写装置。 - 上記請求項1において、多段に設けた該各ローラの円周部に上流側のものから下流側のものに向けて順次厚さが薄くなる弾性部材を設けてあることを特徴とする微細構造転写装置。
- 上記請求項1において、該各ローラは上流側のものから下流側のものに向けて順次加熱温度が高くなるようにしてあることを特徴とする微細構造転写装置。
- 上記請求項1において、装置全体を真空チャンバに納めてあることを特徴とする微細構造転写装置。
- 上記請求項1において、該各ローラはバックアップローラで加圧するようになっていることを特徴とする微細構造転写装置。
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