JP6550291B2 - フィルムのパターン転写装置およびフィルムのパターン転写方法 - Google Patents

Description

本発明の実施形態は、パターン転写のベースとなるフィルム（ベースフィルム）の両面にフィルム状の型（賦形フィルムの賦形面）を同時に転写する装置、いわゆるロールツーロール式両面同時転写装置およびその転写方法に関する。

例えば、特許文献１には、ベースフィルムの両面に光反応性組成物を塗布して光反応性組成物層を形成し、形成した光反応性組成物層の上に光透過性フィルムを貼り合わせ、光を照射して該組成物層を硬化させた後、貼り合わせた光透過性フィルムを剥離する装置が開示されている。かかる装置は、光透過性フィルムの繰出機と巻取機を、ベースフィルムの一面側および他面側の双方にそれぞれ備えている。したがって、フィルム面に紫外線硬化性を持つ透明樹脂などで樹脂層が形成され、該樹脂層の表面が賦形面（凹凸部）として加工されている賦形フィルムを用いれば、ベースフィルムの光反応性組成物層に賦形面を転写し、ベースフィルムに所定のパターン（賦形面の凹凸を反転させた凹凸部）を両面同時に形成することが可能である。

このように、特許文献１に記載の装置は、賦形面を転写したパターンをベースフィルムの両面に同時に形成する装置（両面同時転写式装置）として使用可能であり、この場合の動作について説明する。かかる装置において、ベースフィルムは、繰出ロールから水平方向（重力方向と直交する平面上の所定方向）に繰り出される。この場合例えば、繰り出されたベースフィルムの上側および下側から上下のフィルム面に対して紫外線硬化性樹脂を塗布し、紫外線硬化性樹脂の層（以下、単に樹脂層という）を形成する。なお、上下は重力方向を基準に定義し、以下の説明では便宜上、ベースフィルムの上側のフィルム面を表面、下側のフィルム面を裏面という。

次いで、ベースフィルムの表面の樹脂層に表面用の賦形フィルムを貼り合わせる。その際、表面用の賦形フィルムは、賦形面をベースフィルムの表面に向ける。同時に、ベースフィルムの裏面の樹脂層に裏面用の賦形フィルムを貼り合わせる。その際、裏面用の賦形フィルムは、賦形面をベースフィルムの裏面に向ける。貼り合わせ部位には押圧ロールが配置されており、上下からベースフィルムに賦形フィルムを押し付けることで、賦形フィルムの賦形面がベースフィルムの表面および裏面の樹脂層にそれぞれ転写されるようになっている。これにより、ベースフィルムの樹脂層の表面にパターンが形成される。

そして、上下から賦形フィルムに挟まれた状態でベースフィルムの表面および裏面の樹脂層に樹脂層硬化部の光源から紫外線を照射し、パターンが形成された樹脂層を硬化させてベースフィルムに固着させる。これにより、樹脂層の表面にパターンを有するベースフィルムとして、転写フィルムが生成される。その後、転写フィルムから賦形フィルムを剥離ロールで剥離する。このように、特許文献１に記載の装置によれば、賦形フィルムから転写されたパターンをベースフィルムの両面に同時に形成することができる。

特開２００４−３２２４０８号公報

しかしながら、ベースフィルムの両面に同一のパターンを形成する場合、特許文献１に記載の装置においては次のような問題が生じる。

特許文献１に記載の装置では、ベースフィルムが水平に搬送され、ベースフィルムに対する紫外線硬化性樹脂の塗布は上下から行われている。紫外線硬化性樹脂の塗液は、塗布された後も硬化するまでは流動性を持つため、平面的に広がっていく（レベリング）。レベリングにより、ベースフィルムに形成される樹脂層の均一性が高められる。ベースフィルムは連続的に搬送されているため、塗布された紫外線硬化性樹脂は搬送方向へは広がり易い。これに対し、ベースフィルムのフィルム面上で搬送方向と直交する方向（以下、幅方向という）には、塗布された紫外線硬化性樹脂が広がり難い。すなわち、ベースフィルムの上側（表面側）では、樹脂層の形成時に塗液が重力方向（下向き）に吐出されるので幅方向には比較的広がり易い。一方、ベースフィルムの下側（裏面側）では塗液が重力方向とは反対方向（上向き）に吐出されるので幅方向には広がり難い。したがって、ベースフィルムの表面と裏面とでレベリングの程度に差が生じ、表面と裏面の樹脂層の厚みなどに違いが生じる可能性がある。

ベースフィルムに賦形フィルムを押し付けて樹脂層に賦形面を転写するパターン転写部（押圧ロールの配置部位）では、ベースフィルムの表面には上から、裏面には下から賦形フィルムが供給される。賦形フィルムの賦形面とベースフィルムの樹脂層とが合流する部分では、賦形フィルムの賦形面にベースフィルムの樹脂層をなす紫外線硬化性樹脂が接触するが、その際、賦形面と樹脂層の間のエア（空気）が紫外線硬化性樹脂に押し出されて賦形面の外へ抜けていく。したがって、賦形面と樹脂層の間でエアが抜け切らないうちに紫外線の照射により樹脂層が硬化されると、樹脂層に形成されるパターンの精度が残ったエアによって低下するおそれがある。特に、ベースフィルムの搬送速度が速い場合、賦形面と樹脂層の間のエアが抜け切る前に樹脂層が硬化されて、樹脂層のパターン精度がさらに低下し易い。賦形面と樹脂層の間のエアは浮力によって上昇するが、ベースフィルムの裏面側は、上部がベースフィルムで遮られている分だけ、表面側よりもエアが抜け難い。このため、ベースフィルムの裏面側で賦形面と樹脂層の間のエアを抜くために、ベースフィルムの搬送速度を抑制せざるを得ない場合がある。

また、パターン転写部では、ベースフィルムの樹脂層に貼り合わされた上下の賦形フィルムを挟むように、押圧ロールが上下に並んで配置されている。押圧ロールは、自重により下方へ撓むように変形する。したがって、ベースフィルムおよび樹脂層は、表面側の幅方向の中央部が下に撓むとともに、その分だけ裏面側が下に出っ張るように変形する。この状態で樹脂層が硬化すると、ベースフィルムが下方へ湾曲した状態となるおそれがあり、結果的に表面および裏面のパターンの形態に相違が生じ易くなる。

パターンが形成された樹脂層を硬化させ、ベースフィルムに固着させる樹脂層硬化部には、樹脂層に紫外線を照射する紫外線照射ランプが上下に配置されている。紫外線照射ランプは、紫外線以外の波長の光も発生させるため、また樹脂層が硬化する際には、重合熱が発生するため、樹脂層硬化部の雰囲気温度が上昇する。暖められた空気は上へ上がっていく。したがって、ベースフィルムの表面側では、紫外線照射ランプの方へ上昇気流が生じるが、裏面側は、ベースフィルムにより上昇気流が遮られて熱がこもり易い。このため、ベースフィルムの表面側と裏面側とで雰囲気温度に差が生じ、表面側の樹脂層と裏面側の樹脂層とで硬化性に相違が生じる場合がある。この場合、表面および裏面のパターンの形態に相違が生じるおそれがある。

樹脂層硬化部では、ベースフィルムおよび賦形フィルムの張力が小さいと、これらのフィルムは自重により下方へたるむように変形する。このような自重による変形は、搬送方向および幅方向のいずれにも発生するが、幅方向は押圧ロールによって支持されているので、搬送方向のたるみが問題となる。特に、低張力でベースフィルムおよび賦形フィルムを搬送しなければならない場合、これらのフィルムが搬送方向に大きくたるんだ状態となるおそれがある。このような状態では、ベースフィルムの表面側には圧縮する力が作用し、裏面側には引っ張る力が作用する。したがって、この状態で樹脂層が硬化すると、ベースフィルムの表面側と裏面側に作用する力が異なるため、表面と裏面のパターンの形態に相違が生じるおそれがある。

このように、特許文献１に記載の装置では、ベースフィルムの両面に賦形フィルムの賦形面を転写したパターンを形成する際、その形成環境の条件が表面側（上側）と裏面側（下側）で一致しない場合が多い。

この場合、ベースフィルムに樹脂層を形成する樹脂層形成部から、パターン転写部、および樹脂層硬化部まで、ベースフィルムおよびベースフィルムにパターンを形成した樹脂層が設けられた転写フィルムを重力方向の上方から下方へ搬送することで、上述したような問題の解決を図ることが考えられる。このような装置構成とすれば、ベースフィルムの一面側と他面側における重力の影響を一致させることが可能となる。

ところで、ベースフィルムに対し、一面側と他面側に形成した厚さの異なる樹脂層にパターンを転写し、これらの樹脂層を硬化させてパターンを形成する場合がある。この場合、厚い方の樹脂層は、薄い方の樹脂層よりも硬化時の収縮が大きいため、厚い方の樹脂層側が凹曲状となるようにベースフィルムが反ってしまうおそれがある。このようにベースフィルムが反った状態では、厚さの異なる樹脂層にパターンを両面同時に精度よく形成することが難しい。

そこで、フィルムの両面の厚さの異なる樹脂層にパターンを形成する場合であっても、これらのパターンを両面同時に精度よく形成することが可能なフィルムのパターン転写装置およびフィルムのパターン転写方法を提供する。

実施形態のフィルムのパターン転写装置は、ベースフィルムの両面に液状の樹脂を塗布して樹脂層を形成する樹脂層形成部と、ベースフィルムの両面の樹脂層にそれぞれ賦形フィルムを押し付け、賦形フィルムの賦形面をベースフィルムの両面の樹脂層に同時に転写することにより、ベースフィルムの両面の樹脂層にパターンを形成するパターン転写部と、パターンが形成された樹脂層を硬化させ、ベースフィルムに固着させることにより転写フィルムを生成する樹脂層硬化部と、転写フィルムから賦形フィルムを剥離させる賦形フィルム剥離部と、ベースフィルムを繰り出し、樹脂層形成部とパターン転写部と樹脂層硬化部と賦形フィルム剥離部とを通過させ、生成された前記転写フィルムを巻き取るフィルム搬送部と、を備える。樹脂層硬化部は、パターンが形成された樹脂層を硬化させる作用部と、樹脂層をベースフィルムへ向けて押圧する押圧ロールと、を有する。

実施形態のフィルムのパターン転写装置およびフィルムのパターン転写方法によれば、フィルムの両面の厚さの異なる樹脂層にパターンを形成する場合であっても、これらのパターンを両面同時に精度よく形成することができる。

実施形態のフィルムのパターン転写方法を実施するためのフィルムのパターン転写装置を示す概略構成図。 実施形態のフィルムのパターン転写装置において、ベースフィルムの樹脂層に賦形フィルムの賦形面を転写したパターンを持つ転写フィルムが生成され、転写フィルムから賦形フィルムが剥離されるまでの態様を示す概略構成図。 賦形フィルムに賦形面を形成する装置（一般的なロールツーロール式片面ＵＶ転写装置）を示す概略構成図。 賦形面およびパターンの態様例を示す図であって、(ａ)はラインアンドスペース（縦溝もしくは横溝）とした賦形面の平面図、(ｂ)は(ａ)の矢印Ａ４１部分における賦形面の断面を矢印方向から示す図、(ｃ)は(ａ)のラインアンドスペースに対応するパターンを(ｂ)と同様の断面で示す図、(ｄ)はクロス溝とした賦形面の平面図、(ｅ)は(ｄ)の矢印Ａ４２部分における賦形面の断面を矢印方向から示す図、(ｆ)は(ｄ)のクロス溝に対応するパターンを(ｅ)と同様の断面で示す図、(ｇ)はドットとした賦形面の平面図、(ｈ)は(ｇ)の矢印Ａ４３部分における賦形面の断面を矢印方向から示す図、(ｉ)は(ｈ)のドットに対応するパターンを(ｅ)と同様の断面で示す図。 ベースフィルムに形成されるアライメントマークの態様例を示す図であって、(ａ)は、ベースフィルムの表面および裏面のアライメントマークの形態を、裏面側から示す図、(ｂ)は、ベースフィルムの表面と裏面とに生じるアライメントマークの搬送方向および幅方向の位置ずれの態様を示す図。 ガイドロールに対するベースフィルムの抱き角（ラップ角）と、ベースフィルムの両面側におけるダイの位置との関係を示す図であって、(ａ)は、ベースフィルムの表面側のダイを裏面側のダイよりも上側に配置して抱き角を大きくした態様例を示す図、(ｂ)は、ベースフィルムの裏面側のダイを表面側のダイよりも上側に配置して抱き角を小さくした態様例を示す図。 移動機構によるダイおよびガイドロールの移動態様を示す図であって、(ａ)は、ベースフィルムおよび賦形フィルムが重力方向（パスライン）に対してベースフィルムの裏面側へ位置ずれしている状態を示す図、(ｂ)は、(ａ)の矢印Ａ７で示す方向へダイおよびガイドロールを移動させ、ベースフィルムおよび賦形フィルムをパスラインに沿わせた状態を示す図。 移動機構によるダイおよびガイドロールの移動態様を示す図であって、(ａ)は、ベースフィルムおよび賦形フィルムが重力方向（パスライン）に対してベースフィルムの表面側へ位置ずれしている状態を示す図、(ｂ)は、(ａ)の矢印Ａ８で示す方向へダイおよびガイドロールを移動させ、ベースフィルムおよび賦形フィルムをパスラインに沿わせた状態を示す図。 図１の矢印Ａ１１部分における断面を矢印方向から示す図。 樹脂層硬化部の押圧ロールの態様例を示す図。 樹脂層硬化部の押圧ロールの態様の変形例を示す図。 図１の矢印Ａ１２部分における断面を矢印方向から示す図。 表面用賦形フィルム繰出軸（表面用賦形フィルムのロール）の移動機構を示す概略構成図。

以下、本発明の一実施形態に係るフィルムのパターン転写装置およびフィルムのパターン転写方法について、図１から図１３を参照して説明する。

図１は、本実施形態のフィルムのパターン転写方法を実施するためのフィルムのパターン転写装置１を示す概略構成図である。パターン転写装置１は、パターン転写のベースとなるフィルム（ベースフィルム）２の両面に、フィルム状の型（賦形フィルム）３を同時に転写してパターンを形成し、転写フィルム２０を生成する装置（ロールツーロール式両面同時転写装置）である。

図１に示すように、パターン転写装置１は、樹脂層形成部４、パターン転写部５、樹脂層硬化部６、賦形フィルム剥離部７、およびフィルム搬送部８を備えている。樹脂層形成部４、パターン転写部５、樹脂層硬化部６、および賦形フィルム剥離部７は、この順番に重力方向に沿って上から下へ配置されている。フィルム搬送部８は、樹脂層形成部４、パターン転写部５、および樹脂層硬化部６に順次ベースフィルム２を搬送するとともに、樹脂層硬化部６および賦形フィルム剥離部７に順次転写フィルム２０を搬送している。

図２は、ベースフィルム２の樹脂層２２に賦形フィルム３の賦形面（凹凸部）３１が転写され、パターン２１（賦形面３１の凹凸部を反転させた凹凸部）が形成された後、かかる樹脂層２２を硬化、固着させたベースフィルム２から賦形フィルム３が剥離されるまでの態様を示す概略図である。なお、以下の説明では、パターン２１が形成された樹脂層２２を硬化、固着させたベースフィルム２を転写フィルム２０と称し、適宜ベースフィルム２と区別する。

図２に示すように、ベースフィルム２は、平面状のフィルム面が所定長さに亘って連続する樹脂フィルムである。本実施形態では、光透過性（透光性）、具体的には紫外線透過性を持つベースフィルム２を一例として適用するが、遮光性のフィルム（例えば、金属箔のような不透明フィルム）をベースフィルム２として適用することも可能である。なお、以下の説明では便宜上、ベースフィルム２のフィルム面のうち、後述するガイドロール８３と接触しないベースフィルム２の片面側のフィルム面（カーブの外周側の面）を表面２ａ、その背面側のフィルム面（ガイドロール８３と接触するカーブの内周側の面）を裏面２ｂという。後述する転写フィルム２０についても、ベースフィルム２の表面側および裏面側に相当するフィルム面をそれぞれ表面および裏面という。

賦形フィルム３は、フィルム面が所定長さに亘って連続する紫外線透過性を持つ透明樹脂フィルムである。賦形フィルム３は、樹脂モールドとして構成されており、片面に所定の賦形面３１が形成されている。賦形フィルム３の片側のフィルム面には、ベースフィルム２にパターン２１を形成する前に、予めパターン２１に対応する賦形面３１が形成される。すなわち、パターン２１と賦形面３１は、互いの凹凸部を反転させた凹凸部であり、賦形面３１がパターン２１の成形型に相当する。賦形フィルム３に対する賦形面３１の形成については、後述する。

樹脂層形成部４、パターン転写部５、樹脂層硬化部６、賦形フィルム剥離部７、およびフィルム搬送部８は、床材で隔てられて重力方向に沿って上下に並ぶ複数の空間に分けて配置されている。これらの各空間は、例えば２階建て以上の建物の各フロアであってもよいし、建物の１フロアや平屋の建屋の中を床面からの高さが異なる複数の階層に区切った配置エリアなどであってもよい。具体的には、角管を組み合わせたフレーム構造や板材をステーで繋ぐ構造などを適用して配置エリアを形成することができる。

このように樹脂層形成部４、パターン転写部５、樹脂層硬化部６、賦形フィルム剥離部７、およびフィルム搬送部８を階層に分けて配置することで、ある程度の長さで個別の作業工程距離が必要な場合などであっても、樹脂層形成部４、パターン転写部５、樹脂層硬化部６、および賦形フィルム剥離部７を重力方向に沿って（端的には高さ方向に伸びる縦型に）配置し、これら各部４〜７にフィルム搬送部８でベースフィルム２もしくは転写フィルム２０を搬送することができる。例えば、後述するように樹脂層硬化部６でベースフィルム２の紫外線硬化性樹脂層を硬化させる際、ある程度の搬送距離（時間）に亘って紫外線を照射する必要がある場合などであっても、パターン転写装置１を縦型に構成することができる。

本実施形態では、図１に示すように、建屋の中を床材１１〜１３で区切って４つの配置エリアＦ１〜Ｆ４が形成されている。床材１１〜１３は、建屋の床面１０に設けられた支柱１４によって支持されている。この場合、第３の床材１３は床面１０を嵩上げし、さらに第１の床材１１が第３の床材１３を、第２の床材１２が第１の床材１１をそれぞれ嵩上げしている。パターン転写部５と樹脂層硬化部６とは、第１の床材１１で隔てられ、樹脂層形成部４とパターン転写部５とは、第２の床材１２で隔てられている。また、配置エリアＦ２には、樹脂層硬化部６と賦形フィルム剥離部７、配置エリアＦ３には、パターン転写部５、配置エリアＦ４には、樹脂層形成部４がそれぞれ配置されている。フィルム搬送部８は、配置エリアＦ１〜Ｆ４のすべてに亘って配置されている。

床材１１〜１３には、重力方向に沿って一直線上に並ぶ通し孔１１ａ〜１３ａがそれぞれ形成されている。通し孔１１ａ〜１３ａには、ベースフィルム２（転写フィルム２０）および賦形フィルム３が通されている。この場合、第１の通し孔１１ａにはベースフィルム２および賦形フィルム３の両方、第２の通し孔１２ａにはベースフィルム２、第３の通し孔１３ａには転写フィルム２０がそれぞれ通されている。なお、通し孔１１ａ〜１３ａを貫く重力方向の仮想直線は、ベースフィルム２（転写フィルム２０）および賦形フィルム３の正常な搬送経路に相当しており、以下この仮想直線（搬送経路）をパスラインＰＬという。

本実施形態のパターン転写装置１は、ベースフィルム２の両面に賦形フィルム３の賦形面３１を同時に転写し、パターン２１を形成する装置であるが、ここではまず、賦形フィルム３に対する賦形面３１の形成について説明する。

図３には、賦形フィルム３の片側のフィルム面に賦形面３１を形成する装置（一般的なロールツーロール式片面ＵＶ転写装置）３０の概略構成を示す。図３に示すように、賦形フィルム３は、賦形フィルム用ベースフィルム３０ａの片面に樹脂層３０ｂを形成し、樹脂層３０ｂに成型ロール３０５を押し付け、成型ロール３０５の成形型（賦形面３１の型となる凹凸部）３０６を樹脂層３０ｂに転写して形成されている。なお、以下の説明では便宜上、賦形フィルム用ベースフィルム３０ａの樹脂層３０ｂの形成側、換言すれば賦形フィルム３の賦形面３１の形成側のフィルム面を表面、その背面側のフィルム面を裏面という。

賦形フィルム用ベースフィルム３０ａは、平面状のフィルム面が所定長さに亘って連続する紫外線透過性を持つ透明樹脂フィルムであり、繰出軸３０１から繰り出される。繰り出された賦形フィルム用ベースフィルム３０ａには、コーティングロール３０２で搬送される際、樹脂がダイ３０３から表面に吐出され、吐出された樹脂で樹脂層３０ｂが形成される。樹脂としては、紫外線硬化性を持ち、常温で液体状の透明樹脂が用いられる。

表面に樹脂層３０ｂが形成された賦形フィルム用ベースフィルム３０ａは、押付ロール３０４によって成型ロール３０５に押し付けられ、成型ロール３０５の成形型３０６が樹脂層３０ｂに転写される。これにより、成形型３０６の凹凸を反転させた凹凸部として樹脂層３０ｂに賦形面３１が形成される。賦形面３１が形成された樹脂層３０ｂは、紫外線照射ランプ３０７から紫外線が照射されて硬化する。

賦形面３１が形成された樹脂層３０ｂが硬化し、表面に固着した賦形フィルム用ベースフィルム３０ａ、つまり賦形フィルム３は、剥離ロール３０８によって成型ロール３０５から剥離され、巻取軸３０９で巻き取られる。なお、賦形フィルム用ベースフィルム３０ａおよび賦形フィルム３は、複数の中継ロール３１０で適宜中継して搬送される。

賦形面３１は、成形型３０６の凹凸を反転させた凹凸状の態様をなす。図４には、賦形面３１の態様例を示す。図４(ａ),(ｂ)はラインアンドスペースと呼ばれる縦溝（横溝）、同図(ｄ)，(ｅ)はクロス溝、同図(ｇ)，(ｈ)はドットの態様例であるが、賦形面３１は任意の態様で構わない。本実施形態では、ベースフィルム２の表面２ａ用の賦形フィルム（以下適宜、表面用賦形フィルムという）３ａ、および裏面２ｂ用の賦形フィルム（以下適宜、裏面用賦形フィルムという）３ｂをそれぞれ形成する。表面用賦形フィルム３ａの賦形面３１ａと裏面用賦形フィルム３ｂの賦形面３１ｂは、同一であってもよいし、異なっていてもよい。

例えば、表面用賦形フィルム３ａの賦形面３１ａと裏面用賦形フィルム３ｂの賦形面３１ｂを同一とした場合、ベースフィルム２の表面２ａおよび裏面２ｂには、これらの賦形面３１ａ，３１ｂの凹凸部を反転させた凹凸部で構成される同一のパターン２１が形成される。図４(ｃ)は、賦形面３１ａ，３１ｂがいずれも同図(ａ),(ｂ)に示すラインアンドスペースである場合に形成されるパターン２１の態様を示す。同様に、図４(ｆ)は、同図(ｄ),(ｅ)に示すクロス溝、同図(ｉ)は、同図(ｄ),(ｅ)に示すドットである場合にそれぞれ形成されるパターン２１の態様をそれぞれ示す。

ここで、賦形フィルム用ベースフィルム３０ａおよび樹脂層３０ｂは、後述するようにベースフィルム２の樹脂層２２に紫外線を透過させる必要があるため、いずれも紫外線透過性を持つ透明樹脂で形成する。また、樹脂層３０ｂを形成する透明樹脂としては、樹脂層２２から容易に剥離可能な樹脂を適用する。

図３に示す装置３０では、ロール面に成形型（凹凸部）３０６が直接刻まれた成型ロール３０５を用いて樹脂層３０ｂにかかる成形型３０６を転写しているが、例えば、Ｎｉ電鋳などで製造したスタンパ（表面に凹凸部が形成された板状のベース材）を無垢のロールに巻き付けて転写を行ってもよい。

また、本実施形態では、表面用賦形フィルム３ａの賦形面３１ａには、表面用のアライメントマーク賦形部、裏面用賦形フィルム３ｂの賦形面３１ｂには、裏面用のアライメントマーク賦形部をそれぞれ形成する。これらのアライメントマーク賦形部を転写して形成したベースフィルム２のアライメントマークの位置を監視することで、ベースフィルム２に対するパターン転写の精度（例えばパターン２１の転写、形成位置のずれなど）を調整することが可能となっている。アライメントマーク賦形部用の成形型（凹部や凸部）は、成型ロール３０５のロール面の１箇所もしくは複数個所に形成する。これにより、表面用および裏面用の賦形フィルム３ａ，３ｂに対し、共通して１箇所もしくは複数個所にそれぞれアライメントマーク賦形部（成型ロール３０５のアライメントマーク賦形部用の成形型の凹凸部を反転させた凹凸部）が形成される。

図５には、表面用および裏面用の賦形フィルム３により、ベースフィルム２に形成されたアライメントマーク（賦形フィルム３のアライメントマーク賦形部の凹凸部を反転させた凹凸部）２３の態様例を示す。図５(ａ)は、ベースフィルム２の表面２ａのアライメントマーク２３ａ、および裏面２ｂのアライメントマーク２３ｂの態様を、裏面２ｂ側から示す図である。この場合、アライメントマーク２３ａ，２３ｂを円形としているが、その形状は任意の図形でよく、また文字や記号などであっても構わない。これらのアライメントマーク２３ａ，２３ｂを用いたパターン転写の精度調整については後述する。

次に、本実施形態のパターン転写装置１について、ベースフィルム２および転写フィルム２０の流れに沿って説明する。図１に示すように、ベースフィルム２は、フィルム搬送部８によって樹脂層形成部４から、パターン転写部５、樹脂層硬化部６まで重力方向に沿って上から下へ搬送されている。引き継いで、転写フィルム２０は、フィルム搬送部８によって樹脂層硬化部６から賦形フィルム剥離部７まで重力方向に沿って上から下へ搬送されている。

フィルム搬送部８は、ベースフィルム２を繰り出すフィルム繰出軸８１と、繰り出したベースフィルム２から生成された転写フィルム２０を巻き取るフィルム巻取軸８２とを備えている。フィルム繰出軸８１およびフィルム巻取軸８２は、いずれもモータ（図示省略）により、所定方向（図１においては時計回り）に回転する回転軸であり、フィルム繰出軸８１が樹脂層形成部４の手前（ベースフィルム２の搬送方向の上流側）に、フィルム巻取軸８２が賦形フィルム剥離部７の先（同下流側）にそれぞれ配置されている。これにより、転写フィルム２０の生成前後の態様を含め、ベースフィルム２は、樹脂層形成部４から、パターン転写部５、樹脂層硬化部６、賦形フィルム剥離部７まで所定の張力を保って搬送される。その際、フィルム繰出軸８１およびフィルム巻取軸８２は、ベースフィルム２および転写フィルム２０が常に一定の速度（ラインスピード）で搬送されるように、制御部（図示省略）などにより回転制御されている。

ベースフィルム２（転写フィルム２０）を境に水平方向の同一側に配置される場合、フィルム繰出軸８１とフィルム巻取軸８２は同一方向へ回転し、水平方向の反対側に配置される場合、フィルム繰出軸８１とフィルム巻取軸８２は互いに逆方向へ回転する。図１では、フィルム繰出軸８１を配置エリアＦ３、フィルム巻取軸８２を配置エリアＦ２にそれぞれ配置しているが、これらを配置する階層は特に限定されない。

また、フィルム搬送部８は、フィルム繰出軸８１とフィルム巻取軸８２との間の搬送経路上に配置されるガイドロール８３と複数の中継ロール８４を備えている。ガイドロール８３および中継ロール８４はいずれも、回転軸であるフィルム繰出軸８１およびフィルム巻取軸８２によって搬送されるベースフィルム２もしくは転写フィルム２０に連れ立って回転するアイドルロールである。

ガイドロール８３は、樹脂層形成部４の手前（上流側）でベースフィルム２をカーブさせ、その搬送方向を重力方向に沿って上から下へ向けるように、配置エリアＦ４に配置されている。中継ロール８４は、フィルム繰出軸８１とフィルム巻取軸８２との間で、ガイドロール８３とともにベースフィルム２もしくは転写ロール２０の搬送方向を変更する。中継ロール８４のうちの１つ（図１に示す中継ロール８４ｂ）は、重力方向に沿ってガイドロール８３の下方に配置される。中継ロール８４ｂは、賦形フィルム剥離部７の先（下流側）で転写フィルム２０の搬送方向を重力方向から別方向（本実施形態においては、水平方向）へ向けるように、配置エリアＦ１に配置されている。図１では、ガイドロール８３および中継ロール８４ａを配置エリアＦ４、中継ロール８４ｂおよび中継ロール８４ｃを配置エリアＦ１にそれぞれ配置しているが、これらを配置する階層はこれに限定されない。

樹脂層形成部４は、ベースフィルム２の両面に液状の樹脂を塗布して樹脂層２２を形成する。図１に示すように、樹脂層形成部４は、樹脂を貯留するタンク４１と、タンク４１から樹脂を送出するポンプ４２と、ポンプ４２から送出された樹脂をベースフィルム２の両面に吐出するダイ４３とを備えている。樹脂層２２を形成する樹脂としては、紫外線硬化性を持ち、常温で液状の透明樹脂が用いられる。タンク４１、ポンプ４２、およびダイ４３は、配管で繋げられ、ベースフィルム２の表面２ａ用と裏面２ｂ用にそれぞれ一式ずつ、配置エリアＦ４に配置されている。ただし、タンク４１およびポンプ４２は、１台ずつにまとめて表面２ａ用と裏面２ｂ用とで共用とし、配管を分岐させるなどして、一対のダイ４３にそれぞれ樹脂を供給するようにしてもよい。

図１および図２に示すように、ダイ４３は、ベースフィルム２を隔てて両側（表面２ａ側および裏面２ｂ側）に１つずつ、互いの樹脂吐出口４３１の位置を上下にずらして配置されている。具体的には、一対のダイ４３のうち、上側に配置されるダイ４３ａは、ガイドロール８３と接触しないベースフィルム２の片面、つまりベースフィルム２の表面２ａに樹脂層２２ａを形成するように、樹脂吐出口４３１を表面２ａに向けて配置されている。これに対し、下側に配置されるダイ４３ｂは、ベースフィルム２の裏面２ｂに樹脂層２２ｂを形成するように、樹脂吐出口４３１を裏面２ｂに向けて配置されている。

ダイ４３の樹脂吐出口４３１から樹脂を吐出する際には、樹脂吐出口４３１でベースフィルム２を極僅かに（数ミリ程度）押し込む。したがって、図６に示すように、ベースフィルム２の表面２ａ側のダイ４３ａを、裏面２ｂ側のダイ４３ｂよりも上側に配置することで（同図(ａ)に示す態様）、ダイ４３ｂをダイ４３ａよりも上側に配置した場合（同図(ｂ)に示す態様）と比べて、ガイドロール８３に対するベースフィルム２の抱き角（ラップ角）を大きくすることができる（α１＞α２）。これにより、ガイドロール８３をベースフィルム２に連れ立ってスムーズに回転させ、ベースフィルム２を重力方向に沿って上から下へ安定して搬送させることができる。この結果、例えばベースフィルム２がガイドロール８３のロール面を滑るような事態を防ぎ、ベースフィルム２に生じる不具合などを抑制できる。

なお、樹脂を吐出する際にダイ４３でベースフィルム２を押し込むのは、形成される樹脂層２２の表面状態が良好となるように調整するためである。これにより、スジなどがなく表面の滑らかな樹脂層２２を形成することができる。

ベースフィルム２の樹脂層２２は、表面２ａ側と裏面２ｂ側とで厚さが異なる。本実施形態では、図２に示すように、樹脂層２２は、表面２ａ側よりも裏面２ｂ側の方が厚くなっている（Ｄａ＜Ｄｂ）。したがって、表面２ａ側の樹脂層２２ａを形成するダイ４３ａよりも、裏面２ｂ側の樹脂層２２ｂを形成するダイ４３ｂの方が、樹脂吐出口４３１からの単位時間当たりの吐出量が多くなるように、ダイ４３ａ，４３ｂに対するタンク４１およびポンプ４２からの樹脂の供給が調整されている。

図１に示すように、パターン転写装置１は、一対のダイ４３の一方と他方（ダイ４３ａとダイ４３ｂ）およびガイドロール８３をまとめて、パターン転写部５、樹脂層硬化部６、および賦形フィルム剥離部７に対して水平方向へ移動させる移動機構９を備えている。

図７および図８は、移動機構９によるダイ４３ａ，４３ｂおよびガイドロール８３の移動態様を示す図である。図７および図８に示すように、移動機構９は、ベースフィルム２もしくはベースフィルム２と賦形フィルム３が床材１１〜１３の通し孔１１ａ〜１３ａの中で重力方向のパスラインＰＬに沿うように、ダイ４３ａ，４３ｂおよびガイドロール８３を移動させる。

図１に示すように、移動機構９は、ダイ４３ａ、ダイ４３ｂおよびガイドロール８３を１つにユニット化しており、これらをユニットごと移動させる。したがって、ダイ４３ａ、ダイ４３ｂおよびガイドロール８３は、相互の位置関係を維持したまま移動機構９により移動される。

ダイ４３ａ，４３ｂの樹脂吐出口４３１から樹脂を吐出する際には、樹脂吐出口４３１でベースフィルム２を極僅かに（数ミリ程度）押し込むので、その際にベースフィルム２をパスラインＰＬから位置ずれさせる場合がある。図７(ａ)には、ベースフィルム２および賦形フィルム３がパスラインＰＬに対して裏面２ｂ側（同図(ａ)においては左側）へ位置ずれした状態、図８(ａ)には、ベースフィルム２および賦形フィルム３がパスラインＰＬに対して表面２ａ側（同図(ａ)においては右側）へ位置ずれした状態の一例をそれぞれ示す。

図７(ａ)に示す状態となっている場合、水平方向に沿ってベースフィルム２の裏面２ｂ側から表面２ａ側へ向かう方向（同図(ａ)に示す矢印Ａ７の方向）に、ダイ４３ａ，４３ｂおよびガイドロール８３を移動機構９で距離Ｌ７だけ移動させる。これにより、図７(ｂ)に示すように、パターン転写部５、樹脂層硬化部６、賦形フィルム剥離部７において、ベースフィルム２および賦形フィルム３をパスラインＰＬに沿わせることができる。

また、図８(ａ)に示す状態となっている場合、水平方向に沿ってベースフィルム２の表面２ａ側から裏面２ｂ側へ向かう方向（同図(ａ)に示す矢印Ａ８の方向）に、ダイ４３ａ，４３ｂおよびガイドロール８３を移動機構９で距離Ｌ８だけ移動させる。これにより、図８(ｂ)に示すように、パターン転写部５、樹脂層硬化部６、賦形フィルム剥離部７において、ベースフィルム２および賦形フィルム３をパスラインＰＬに沿わせることができる。

移動機構９としては、モータとボールねじを用いた機構、エアシリンダとストッパを用いた機構、レールとスライダを用いた機構などのように、所定方向へ直線移動可能で、かつ所定位置で位置決め可能な機構を適用することができる。

このように本実施形態によれば、ダイ４３ａ，４３ｂおよびガイドロール８３を移動機構９で水平方向へ移動させることができる。すなわち、パターン転写装置１の初期設置時におけるベースフィルム２および賦形フィルム３のパスラインＰＬからのずれを容易に調整することができる。加えて、パターン転写装置１の稼働後にパスラインＰＬからのずれが生じた場合であっても、かかるずれを容易に再調整することができる。したがって、パターン転写部５での樹脂層２２に対する賦形面３１の転写およびパターン２１の形成、樹脂層硬化部６での樹脂層２２の硬化および固着（転写フィルム２０の生成）、賦形フィルム剥離部７での転写フィルム２０からの賦形フィルム３の剥離を、常にパスラインＰＬに沿って行うことができる。

このため、樹脂層２２に対する賦形面３１の転写およびパターン２１の形成の状態、パターン２１が形成された樹脂層２２の硬化および固着の状態、転写フィルム２０からの賦形フィルム３の剥離状態を、表面２ａと裏面２ｂとで一致させることができる。これにより、ベースフィルム２の表面２ａと裏面２ｂに、パターン２１を同時に精度よく形成することができる。

なお、本実施形態の移動機構９では、ダイ４３ａ、ダイ４３ｂおよびガイドロール８３をユニット化してまとめて移動させているが、ダイ４３ａ、ダイ４３ｂおよびガイドロール８３を個別に、あるいはまとめてかつ個別にも移動させることが可能な移動機構としてもよい。例えば、ダイ４３ａとダイ４３ｂとは、図２に示すように互いの樹脂吐出口４３１の位置を上下にずらして配置されているので、これらを個別に移動させた場合であっても、これらが互いにぶつかって損傷するような事態は回避できる。

また、本実施形態においては、後述するようにパターン転写部５、樹脂層硬化部６、および賦形フィルム剥離部７もそれぞれ所定の移動機構により水平方向へ移動可能となっている。

図１に示すように、パターン転写部５は、賦形フィルム３を繰り出す賦形フィルム繰出軸５１と、賦形フィルム繰出軸５１から繰り出された賦形フィルム３の流れを重力方向に沿って上から下へ向ける（端的にはパスラインＰＬに沿わせる）ロール５２とを備えている。賦形フィルム繰出軸５１およびロール５２は、賦形フィルム３の裏面（賦形面３１の背面側のフィルム面）と接触する。

また、賦形フィルム繰出軸５１およびロール５２は、ベースフィルム２の表面２ａ用と裏面２ｂ用にそれぞれ一式ずつ配置されている。ベースフィルム２の表面２ａ側には、表面用賦形フィルム３ａを繰り出す表面用賦形フィルム繰出軸５１ａと、繰り出された表面用賦形フィルム３ａの流れを下向きに変えるバックアップロール５２ａが配置されている。一方、ベースフィルム２の裏面２ｂ側には、裏面用賦形フィルム３ｂを繰り出す裏面用賦形フィルム繰出軸５１ｂと、繰り出された裏面用賦形フィルム３ｂの流れを下向きに変えるインフィードロール５２ｂが配置されている。

表面用賦形フィルム繰出軸５１ａおよび裏面用賦形フィルム繰出軸５１ｂは、いずれもモータ（図示省略）により、互いに逆方向へ回転する回転軸である。図１においては、表面用賦形フィルム繰出軸５１ａが反時計回りに、裏面用賦形フィルム繰出軸５１ｂが時計回りに回転する。その際、表面用賦形フィルム繰出軸５１ａおよび裏面用賦形フィルム繰出軸５１ｂは、ベースフィルム２のラインスピードと常に同一速度で表面用賦形フィルム３ａおよび裏面用賦形フィルム３ｂを繰り出すように、制御部（図示省略）などにより回転制御されている。

図１および図９に示すように、バックアップロール５２ａは、表面用賦形フィルム繰出軸５１ａによって繰り出された表面用賦形フィルム３ａに連れ立って回転するゴム製のアイドルロールである。インフィードロール５２ｂは、モータ５３で回転する金属製の回転ロールであり、ロール面に例えばハードクロームなどによるメッキが施されている。バックアップロール５２ａとインフィードロール５２ｂは、表面用賦形フィルム３ａと裏面用賦形フィルム３ｂを上から下へ流すとともに、これらの賦形フィルム３ａ，３ｂを押し付けながらベースフィルム２を上から下へ送り出すように対向している。

ベースフィルム２がバックアップロール５２ａとインフィードロール５２ｂにより送り出されることで、表面用賦形フィルム３ａの賦形面３１ａがベースフィルム２の樹脂層２２ａに接触して転写され、樹脂層２２ａの表面にパターン２１ａが形成される。また、裏面用賦形フィルム３ｂの賦形面３１ｂがベースフィルム２の樹脂層２２ｂに接触して転写され、樹脂層２２ｂの表面にパターン２１ｂが形成される。賦形フィルム３ａ，３ｂをベースフィルム２の樹脂層２２ａ，２２ｂに接触させるため、以降の樹脂層硬化部６において樹脂層２２ａ，２２ｂが酸素阻害により未硬化となることが抑止される。

インフィードロール５２ｂは、第１の床材１１に固定されているのに対し、バックアップロール５２ａは、第１の床材１１に対して移動可能となっている。図１に示すように、パターン転写装置１は、バックアップロール５２ａを移動させる移動機構５４を備えている。移動機構５４は、ベースフィルム２の樹脂層２２ａ、別の捉え方をすればインフィードロール５２ｂに対して進退可能に、バックアップロール５２ａを水平方向へ移動させる。

これにより、インフィードロール５２ｂに対するバックアップロール５２ａの押し込み量を適宜調整することができる。すなわち、賦形面３１ａ，３１ｂの樹脂層２２ａ，２２ｂに対する接触圧を加減することができるため、樹脂層２２ａ，２２ｂへの賦形面３１ａ，３１ｂの転写状態を調整することができる。

移動機構５４としては、モータとボールねじを用いた機構、エアシリンダとストッパを用いた機構、レールとスライダを用いた機構などのように、所定方向へ直線移動可能で、かつ所定位置で位置決め可能な機構を適用することができる。

図１および図２に示すように、樹脂層硬化部６は、賦形フィルム３の賦形面３１が転写され、パターン２１が形成されたベースフィルム２の樹脂層２２を硬化させる作用部６１と、作用部６１で硬化される樹脂層２２をベースフィルム２へ向けて押圧する押圧ロール６２とを備えている。樹脂層２２が紫外線硬化性を持つ透明樹脂で形成されているため、本実施形態においては、樹脂層２２に紫外線を照射する光源６１ａと、光源６１ａから照射された紫外線を遮る遮光板６１ｂにより、作用部６１が構成されている。また、樹脂層２２、ベースフィルム２および賦形フィルム３がいずれも紫外線透過性を持つ樹脂であるため、ベースフィルム２を境にした一方側に光源６１ａ、他方側に遮光板６１ｂをそれぞれ配置している。このように光源６１ａの配置が一方側のみであっても、ベースフィルム２の表面２ａ側の樹脂層２２ａおよび裏面２ｂ側の樹脂層２２ｂをいずれも光源６１ａで硬化させ、樹脂層２２ａ，２２ｂをベースフィルム２に固着させることができる。本実施形態では、ベースフィルム２の表面２ａ側に光源６１ａ、裏面２ｂ側に遮光板６１ｂがそれぞれ配置されている。

光源６１ａとしては、例えば、高圧水銀ランプやＬＥＤランプなどを適用することができる。光源６１ａをＬＥＤランプとした場合、発熱量が極めて小さく、ベースフィルム２へ与える熱ダメージも少なく、ベースフィルム２を冷却する必要もない。また、ランプ自体も小さく、省電力化を図ることもできる。また、光源６１ａは、ベースフィルム２が賦形フィルム剥離部７に搬送されるまでの間に、樹脂層２２を硬化させて、ベースフィルム２に固着させることが可能となるように、１つもしくは複数個を重力方向（パスラインＰＬ）に沿って並べて配置すればよい。なお、ベースフィルム２を遮光性のフィルム（例えば、金属箔のような不透明フィルム）とした場合には、光源６１ａをベースフィルム２の表面２ａ側と裏面２ｂ側の双方に配置する。

押圧ロール６２は、作用部６１の光源６１ａと作用部６１で硬化される薄い方の樹脂層２２との間に配置され、かかる薄い方の樹脂層２２をベースフィルム２へ向けて押圧する。本実施形態では、ベースフィルム２の表面２ａ側に押圧ロール６２が配置され、樹脂層２２ａを押圧するように構成されている。この場合、押圧ロール６２は、紫外線透過性材（例えば、紫外線透過性を持つ透明樹脂）で構成され、光源６１ａの照射方向の前方に配置されている。これにより、押圧ロール６２によって遮られることなく、樹脂層２２ａ、さらにはベースフィルム２を通して樹脂層２２ｂへ紫外線を照射することができる。

本実施形態においては、ベースフィルム２の裏面２ｂ側の樹脂層２２ｂを表面２ａ側の樹脂層２２ａよりも厚くしている。厚い方の樹脂層２２ｂは、薄い方の樹脂層２２ａよりも硬化時の収縮が大きいため、光源６１ａから紫外線を照射して樹脂層２２ａ，２２ｂを硬化させた際、図１０に示すように、裏面２ｂ側（同図においては左側）が凹曲状となるようにベースフィルム２に反りが生ずるおそれがある（同図に示す破線の状態）。

このため、押圧ロール６２は、ベースフィルム２の表面２ａ側に配置され、裏面２ｂ側への反りに抗するように表面２ａ側を押圧する。これにより、表面２ｂおよび裏面２ｂのいずれ側へもベースフィルム２に反りが生じないようにしている。すなわち、押圧ロール６２でベースフィルム２の表面２ａ側を押圧することで、表面２ａ側が凹曲状となるようにベースフィルム２を反らせた状態で、樹脂層２２ａ，２２ｂに紫外線を照射することができる。

これにより、樹脂層２２ａ，２２ｂの硬化および固着時にベースフィルム２の裏面２ｂ側への反りを低減でき、ベースフィルム２を重力方向（パスラインＰＬ）に沿った状態（図１０に示す実線の状態）とすることができる。したがって、ベースフィルム２の裏面２ｂ側の樹脂層２２ｂが表面２ａ側の樹脂層２２ａよりも厚い場合であっても、ベースフィルム２の表面２ａと裏面２ｂにパターン２１を同時に精度よく形成することができる。すなわち、転写フォルム２０の生成精度を高めることができる。

樹脂層硬化部６は、押圧ロール６２を単体で、もしくは光源６１ａとともに移動させる移動機構（図示省略）を備えている。かかる移動機構は、ベースフィルム２の樹脂層２２ａへ向けて進退可能に、押圧ロール６２を水平方向へ移動させる。これにより、樹脂層２２ａに対する押圧ロール６２の押圧量を適宜調整できるようになっている。移動機構としては、モータとボールねじを用いた機構、エアシリンダとストッパを用いた機構、レールとスライダを用いた機構などのように、所定方向へ直線移動可能で、かつ所定位置で位置決め可能な機構を適用することができる。

なお、図１１に示す変形例のように、２本の押圧ロール６２を光源６１ａの照射方向（同図においては右から左へ向かう方向）から外れて配置する場合、押圧ロール６２は、紫外線透過性材（例えば、紫外線透過性を持つ透明樹脂）で構成しなくともよく、紫外線遮光性材（例えば、紫外線遮光性を持つ不透明樹脂）で構成してもよい。図１１に示すように、光源６１ａの照射方向の前方で、光源６１ａの上下に２本の押圧ロール６２を配置すれば、押圧ロール６２を紫外線遮光性材で構成した場合であっても、押圧ロール６２によって遮られることなく、樹脂層２２ａ、さらにはベースフィルム２を通して樹脂層２２ｂへ紫外線を照射することができる。

図１および図２に示すように、賦形フィルム剥離部７は、樹脂層硬化部６で生成された転写フィルム２０（樹脂層２２が硬化、固着されたベースフィルム２）から賦形フィルム３を剥離させるロール７１と、ベースフィルム２から剥離された賦形フィルム３を巻き取る賦形フィルム巻取軸７２とを備えている。ロール７１および賦形フィルム巻取軸７２は、賦形フィルム３の裏面（賦形面３１の背面側のフィルム面）と接触する。

また、ロール７１および賦形フィルム巻取軸７２は、表面用賦形フィルム３ａ用と裏面用賦形フィルム３ｂ用にそれぞれ一式ずつ配置されている。ベースフィルム２の表面２ａ側には、樹脂層２２ａから表面用賦形フィルム３ａを剥離する剥離ロール７１ａと、剥離された表面用賦形フィルム３ａを巻き取る表面用賦形フィルム巻取軸７２ａが配置されている。一方、ベースフィルム２の裏面２ｂ側には、樹脂層２２ｂから裏面用賦形フィルム３ｂを剥離するアウトフィードロール７１ｂと、剥離された裏面用賦形フィルム３ｂを巻き取る裏面用賦形フィルム巻取軸７２ｂが配置されている。

表面用賦形フィルム巻取軸７２ａおよび裏面用賦形フィルム巻取軸７２ｂは、いずれもモータ（図示省略）により、互いに逆方向へ回転する回転軸である。図１においては、表面用賦形フィルム巻取軸７２ａが反時計回りに、裏面用賦形フィルム巻取軸７２ｂが時計回りに回転する。その際、表面用賦形フィルム巻取軸７２ａおよび裏面用賦形フィルム巻取軸７２ｂは、転写フィルム２０のラインスピードと常に同一速度で表面用賦形フィルム３ａおよび裏面用賦形フィルム３ｂを巻き取るように、制御部（図示省略）などにより回転制御されている。なお、賦形フィルム巻取軸７２ａ，７２ｂで巻き取られた賦形フィルム３ａ，３ｂは、傷やごみの付着などの破損がない場合、賦形フィルム繰出軸５１にセットして再利用することが可能である。

図１および図１２に示すように、剥離ロール７１ａは、樹脂層２２ａから剥離される表面用賦形フィルム３ａに連れ立って回転するゴム製のアイドルロールである。アウトフィードロール７１ｂは、モータ７３で回転する金属製の回転ロールであり、ロール面に例えばハードクロームなどによるメッキが施されている。剥離ロール７１ａとアウトフィードロール７１ｂは、転写フィルム２０（ベースフィルム２の樹脂層２２ａと樹脂層２２ｂ）から表面用賦形フィルム３ａと裏面用賦形フィルム３ｂを剥離させながら、これらの賦形フィルム３ａ，３ｂの流れを重力方向から水平方向へ向けて送り出すように対向している。これにより、表面用賦形フィルム３ａが樹脂層２２ａから剥離されるとともに、裏面用賦形フィルム３ｂが樹脂層２２ｂから剥離される。

アウトフィードロール７１ｂは、第３の床材１３に固定されているのに対し、剥離ロール７１ａは、第３の床材１３に対して移動可能となっている。図１に示すように、パターン転写装置１は、剥離ロール７１ａを移動させる移動機構７４を備えている。移動機構７４は、表面用賦形フィルム３ａ、別の捉え方をすればアウトフィードロール７１ｂに対して進退可能に、剥離ロール７１ａを水平方向へ移動させる。

これにより、アウトフィードロール７１ｂに対する剥離ロール７１ａの押し込み量を適宜調整することができる。すなわち、賦形フィルム３ａ，３ｂの樹脂層２２ａ，２２ｂに対する接触圧を加減することができるため、樹脂層２２ａ，２２ｂからの賦形フィルム３ａ，３ｂの剥離状態を調整することができる。

移動機構７４としては、モータとボールねじを用いた機構、エアシリンダとストッパを用いた機構、レールとスライダを用いた機構などのように、所定方向へ直線移動可能で、かつ所定位置で位置決め可能な機構を適用することができる。

賦形フィルム剥離部７で賦形フィルム３が剥離された転写フィルム２０は、フィルム搬送部８のフィルム巻取軸８２で巻き取られる。特に図示しないが、その際、例えば樹脂層２２のパターン２１を保護するために、表面２ａおよび裏面２ｂにラミネートを施した状態で、あるいはスペーサで挟んだ状態で、転写フィルム２０をフィルム巻取軸８２で巻き取ってもよい。また、賦形フィルム剥離部７を省略し、賦形フィルム３を転写フィルム２０から剥離せずに、そのままの状態でフィルム搬送部８のフィルム巻取軸８２で巻き取り、後工程で別途、賦形フィルム３を剥離するようにしてもよい。

図１に示すように、フィルム転写装置１は、フィルム巻取軸８２で巻き取る前に、転写フィルム２０（パターン２１が形成された樹脂層２２が固着したベースフィルム２）のアライメントマーク２３を撮像するアライメントカメラ８０を備えている。図１には、配置エリアＦ１に配置され、パターン２１が形成されたベースフィルム２を裏面２ｂ側から撮像するアライメントカメラ８０の構成を一例として示す。

本実施形態においては、パターン転写部５により、図５に示すように、パターン２１とともにアライメントマーク２３がベースフィルム２に形成されている。この場合、ベースフィルム２の表面２ａ側の樹脂層２２ａにはアライメントマーク２３ａ、裏面２ｂ側の樹脂層２２ｂにはアライメントマーク２３ｂがそれぞれ形成されている。ベースフィルム２および樹脂層２２がいずれも透明樹脂であるため、ベースフィルム２の裏面２ｂ側からアライメントカメラ８０で撮像した場合であっても、裏面２ｂのアライメントマーク２３ｂおよび表面２ａのアライメントマーク２３ａの両方をまとめて撮像することができる。したがって、ベースフィルム２の表面２ａ側からアライメントカメラ８０で撮像するようにしても構わない。

なお、ベースフィルム２や樹脂層２２が不透明樹脂で構成されている場合、アライメントカメラ８０は、ベースフィルム２の表面２ａ側および裏面２ｂ側の双方に配置する必要がある。ベースフィルム２の表面２ａ側および裏面２ｂ側の双方にアライメントカメラ８０を配置する場合、ベースフィルム２および樹脂層２２は、透明樹脂もしくは不透明樹脂のいずれで構成されていても構わない。

アライメントカメラ８０で撮像したアライメントマーク２３ａ，２３ｂの位置を監視することで、ベースフィルム２に対するパターン転写の精度（例えば、パターン２１の転写、形成位置のずれなど）を調整することができる。

このようなアライメントマーク２３を用いたベースフィルム２に対するパターン転写の精度の調整について説明する。精度調整にあたっては、まず、アライメントカメラ８０で撮像したベースフィルム２の表面２ａのアライメントマーク２３ａと裏面２ｂのアライメントマーク２３ｂとのずれ量、具体的には重心位置のずれ量を測定する。本実施形態では、ベースフィルム２の裏面２ｂのパターン位置を基準とし、アライメントマーク２３ａ，２３ｂの重心位置のずれ量に基づいて表面２ａのパターン位置を調整している。

例えば、図５(ｂ)に示すように、裏面２ｂのアライメントマーク２３ｂを基準として、ベースフィルム２の搬送方向（同図(ａ)に示す矢印Ａ５１の方向）へ基準距離Ｌ５０だけずれ、幅方向（同図(ａ)に示す矢印Ａ５２の方向）には同一の位置を、表面２ａのアライメントマーク２３ａの正規位置とする。図５(ｂ)に示す状態では、アライメントマーク２３ａは、正規位置からベースフィルム２の搬送方向に対して距離Ｌ５１だけ遅れてずれているとともに、幅方向に対して距離Ｌ５２だけ左方へずれている。

搬送方向の位置ずれは、裏面２ｂのアライメントマーク２３ｂに対して表面２ａのアライメントマーク２３ａが遅れている場合（図５(ｂ)に示す状態）、表面側賦形フィルム３ａの繰出距離（フィルムパス）を短くして、アライメントマーク２３ａの形成タイミングを早める。逆に、アライメントマーク２３ｂに対してアライメントマーク２３ａが先行している場合、表面用賦形フィルム３ａのフィルムパスを長くして、アライメントマーク２３ａの形成タイミングを遅らせる。

このような表面用賦形フィルム３ａのフィルムパス調整のため、図１に示すように、パターン転写部５は、コンペンセイターロール５５と、コンペンセイターロール５５の上流側および下流側に配置される賦形フィルム中継ロール５６とを備えている。コンペンセイターロール５５は、表面用賦形フィルム繰出軸５１ａの下流側、かつバックアップロール５２ａの上流側に配置され、移動機構５７により重力方向に沿って上下に移動可能となっている。コンペンセイターロール５５を上下に移動させることで、その移動距離に応じて表面用賦形フィルム３ａのフィルムパスの長短を調整できる。移動機構５７としては、モータとボールねじを用いた機構を一例として適用するが、エアシリンダとストッパを用いた機構、レールとスライダを用いた機構などのように、所定方向へ直線移動可能で、かつ所定位置で位置決め可能な機構を適用することができる。

幅方向の位置ずれは、裏面２ｂのアライメントマーク２３ｂに対して表面２ａのアライメントマーク２３ａが搬送方向へ向かって左方にずれている場合（図５(ｂ)に示す状態）、表面側賦形フィルム３ａの繰出位置を搬送方向へ向かって右方に移動させる。逆に、アライメントマーク２３ｂに対してアライメントマーク２３ａが搬送方向へ向かって右方にずれている場合、表面側賦形フィルム３ａの繰出位置を搬送方向へ向かって左方に移動させる。

このような表面用賦形フィルム３ａの繰出位置調整のため、図１３に示すように、表面用賦形フィルム繰出軸５１ａ、換言すれば表面用賦形フィルム繰出軸５１ａに巻き付けられた表面用賦形フィルム３ａのロールは、表面用賦形フィルム３ａの繰出方向へ向かって左右に、移動機構５８によって移動可能となっている。図１３は、表面用賦形フィルム繰出軸５１ａの近傍を図１の右方から示す側面図である。

このように表面用賦形フィルム繰出軸５１ａ（表面用賦形フィルム３ａのロール）を左右に移動させることで、表面用賦形フィルム３ａの水平方向（図１３に示す矢印Ａ１３の方向）の繰出位置を調整することができる。移動機構５８としては、モータとボールねじを用いた機構を一例として適用するが、エアシリンダとストッパを用いた機構、レールとスライダを用いた機構などのように、所定方向へ直線移動可能で、かつ所定位置で位置決め可能な機構を適用することができる。

移動機構５７によるコンペンセイターロール５５の移動、および移動機構５８による表面用賦形フィルム繰出軸５１ａ（表面用賦形フィルム３ａのロール）の移動は、アライメントカメラ８０で撮像したアライメントマーク２３ａ，２３ｂの位置情報に基づいて、制御部（図示省略）などにより自動的に行われる。

なお、ステアリングロールを取り付けて表面用賦形フィルム３ａの繰出位置調整を行うことも可能であるが、この場合、ステアリングロールユニットやガイドロールを取り付けるためのスペースが別途必要となる。したがって、モータとボールねじなどの移動機構５８で表面用賦形フィルム３ａの繰出位置を調整する方が望ましい。

また、パターン転写部５においては、ベースフィルム２の樹脂層２２がまだ硬化されていないため、バックアップロール５２ａを移動機構（例えば、移動機構５７と同様のモータとボールねじなど）により、表面用賦形フィルム３ａの流れ方向へ向かって左右に移動させることで、表面用賦形フィルム３ａによるベースフィルム２の送出位置を調整してもよい。

このように、本実施形態のフィルムのパターン転写装置１、およびパターン転写装置１により実施されるフィルムのパターン転写方法によれば、ベースフィルム２および賦形フィルム３を重力方向（パスラインＰＬ）に沿って上から下へ安定して搬送させることができる。また、ベースフィルム２および賦形フィルム３を確実に重力方向に沿わせた状態で、ベースフィルム２の両面に対して同時にパターン２１を形成することができる。

なお、本実施形態のパターン転写装置１は、ベースフィルム２および賦形フィルム３を重力方向（パスラインＰＬ）に沿って上から下へ搬送させているため、上述した効果に加えて、パターン形成時の表面２ａ側と裏面２ｂ側における環境条件を同等にする次のような効果も有する。

樹脂層形成部４では、ベースフィルム２および賦形フィルム３を重力方向（パスラインＰＬ）に沿って搬送させながら、表面２ａおよび裏面２ｂに樹脂層２２を形成するため、その際の重力の影響を両面で一致させることができる。したがって、表面２ａと裏面２ｂの両方に樹脂層２２を形成する際、樹脂のレベリングに差を生じさせずに済む。このため、ベースフィルム２の表面２ａと裏面２ｂに形成される樹脂層２２に、意図しない厚みの差が生じることを防ぐことができる。

パターン転写部５では、賦形フィルム３を重力方向（パスラインＰＬ）に沿って流すとともに、賦形フィルム３を押し付けながらベースフィルム２を上から下へ送り出す。このため、樹脂層２２をなす樹脂で樹脂層２２と賦形面３１の間のエアを押し出すことができるので、賦形面３１の外へエアを抜き易い。したがって、樹脂層２２と賦形面３１の間からエアを抜くためにベースフィルム２の搬送速度（ラインスピード）を抑制せずに済むから、ラインスピードを上げて処理効率の向上を図ることが可能となる。

また、パターン転写部５においては、バックアップロール５２ａとインフィードロール５２ｂが自重により下方へ撓むように変形する場合がある。しかしながら、これらのロール５２ａ，５２ｂは、水平方向に並んで配置されてベースフィルム２を上から下へ送り出すため、これらのロール５２ａ，５２ｂの変形によってベースフィルム２が変形することがない。したがって、ベースフィルム２の表面２ａと裏面２ｂに形成されるパターン２１ａ，２１ｂの形態に、意図しない相違が生じることを防ぐことができる。

樹脂層硬化部６では、ベースフィルム２および賦形フィルム３を重力方向（パスラインＰＬ）に沿って搬送させながら、表面２ａおよび裏面２ｂの樹脂層２２を硬化させるため、その際に両面での雰囲気温度の差をほぼなくすことができる。また、樹脂層硬化部６では、ベースフィルム２の表面２ａおよび裏面２ｂの樹脂層２２を硬化させる際、ベースフィルム２の張力が小さくても、ベースフィルム２が自重により下方へたるむように変形することがない。したがって、ベースフィルム２の表面２ａと裏面２ｂとで樹脂層２２の硬化性をほぼ一致させることができるので、形成されるパターン２１の形態に意図しない相違が生じることを防ぐことができる。

以上、本発明の実施形態を説明したが、上述した実施形態は、一例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。また、上述した新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施することが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これらの実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

例えば、本実施形態のパターン転写装置１は、ベースフィルム２の両面（表面２ａおよび裏面２ｂ）にパターン２１を形成するが、片面のみにパターン２１を形成することも可能である。

また、本実施形態のパターン転写装置１は、樹脂層形成部４、パターン転写部５、樹脂層硬化部６、および賦形フィルム剥離部７において、転写フィルム２０の生成前後の態様を含め、ベースフィルム２を重力方向（パスラインＰＬ）に沿って上から下へ搬送させているが、これとは逆に下から上へ搬送させることも可能である。この場合、樹脂層形成部４、パターン転写部５、樹脂層硬化部６、および賦形フィルム剥離部７は、この順番に重力方向に沿って下から上へ配置する。ただし、本実施形態のようにベースフィルム２を上から下へ搬送させる場合には、下から上へ搬送させる場合と比較して、次のような利点がある。

図１に示すように、本実施形態では、パターン転写部５の下方に樹脂層硬化部６が配置されている。このため、樹脂層硬化部６で発生した熱（例えば、光源６１ａによる発熱）が上昇気流によってパターン転写部５へ伝わり易い。パターン転写部５の雰囲気温度が上昇すると、ベースフィルム２の樹脂層２２をなす樹脂の流動性が高まり、結果的に賦形面３１の転写精度が向上することが期待できる。ベースフィルム２を下から上へ搬送させる場合、パターン転写部５の上方に樹脂層硬化部６が配置されるため、このような賦形面３１の転写精度の向上は期待できない。

また、本実施形態では、パターン転写部５の下方に樹脂層硬化部６が配置されているため、樹脂層硬化部６で発生した熱が上方へ逃げるので、樹脂層硬化部６の下方に配置される賦形フィルム剥離部７がかかる熱の影響を受けることが少ない。賦形フィルム剥離部７での賦形フィルム３の剥離性は、雰囲気温度が低いほどよくなる。ベースフィルム２を下から上へ搬送させる場合、樹脂層硬化部６の上方に賦形フィルム剥離部７が配置されるため、このような賦形フィルム３の剥離性の向上は期待できない。

これらを考慮すれば、本実施形態のように、ベースフィルム２を重力方向（パスラインＰＬ）に沿って上から下へ搬送させることが好ましい。

１…パターン転写装置、２…ベースフィルム、２ａ…表面、２ｂ…裏面、３…賦形フィルム、４…樹脂層形成部、５…パターン転写部、６…樹脂層硬化部、７…賦形フィルム剥離部、８…フィルム搬送部、９…移動機構、１０…床面、１１…第１の床材、１１ａ…第１の通し孔、１２…第２の床材、１２ａ…第２の通し孔、１３…第３の床材、１３ａ…第３の通し孔、２０…転写フィルム、２１…パターン、２２…樹脂層、３１…賦形面、４１…タンク、４２…ポンプ、４３…ダイ、５１…賦形フィルム繰出軸、５２ａ…バックアップロール、５２ｂ…インフィードロール、６１…作用部、６１ａ…光源、６１ｂ…遮光板、６２…押圧ロール、７１ａ…剥離ロール、７１ｂ…アウトフィードロール、７２…賦形フィルム巻取軸、８１…フィルム繰出軸、８２…フィルム巻取軸、８３…ガイドロール、４３１…樹脂吐出口、Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３，Ｆ４…配置エリア、ＰＬ…パスライン。

Claims (9)

1. ベースフィルムの両面に液状の樹脂を塗布して樹脂層を形成する樹脂層形成部と、
   前記ベースフィルムの両面の前記樹脂層にそれぞれ賦形フィルムを押し付け、前記賦形フィルムの賦形面を前記ベースフィルムの両面の前記樹脂層に同時に転写することにより、前記ベースフィルムの両面の前記樹脂層にパターンを形成するパターン転写部と、
   前記パターンが形成された前記樹脂層を硬化させ、前記ベースフィルムに固着させることにより転写フィルムを生成する樹脂層硬化部と、
   前記転写フィルムから前記賦形フィルムを剥離させる賦形フィルム剥離部と、
   前記ベースフィルムを繰り出し、前記樹脂層形成部と前記パターン転写部と前記樹脂層硬化部と前記賦形フィルム剥離部とを通過させ、生成された前記転写フィルムを巻き取るフィルム搬送部と、を備え、
   前記樹脂層硬化部は、前記パターンが形成された前記樹脂層を硬化させる作用部と、前記樹脂層を前記ベースフィルムへ向けて押圧する押圧ロールと、を有する
   フィルムのパターン転写装置。
2. 前記押圧ロールは、前記ベースフィルムの一面側と他面側とで樹脂層の厚さが薄い方の側に配置される
   請求項１に記載のフィルムのパターン転写装置。
3. 前記樹脂層は、紫外線硬化性樹脂で形成され、
   前記作用部は、紫外線を照射する光源を有し、
   前記押圧ロールは、紫外線透過性材で構成され、前記作用部の光源の紫外線照射方向の前方に配置される
   請求項２に記載のフィルムのパターン転写装置。
4. 前記樹脂層は、紫外線硬化性樹脂で形成され、
   前記作用部は、紫外線を照射する光源を有し、
   前記押圧ロールは、紫外線遮光性材で構成され、前記作用部の光源の紫外線照射方向から外れて配置される
   請求項２に記載のフィルムのパターン転写装置。
5. 前記ベースフィルムは、紫外線透過性を持つ樹脂で形成される
   請求項３または４に記載のフィルムのパターン転写装置。
6. 前記フィルム搬送部は、前記樹脂層形成部の手前で前記ベースフィルムの搬送方向を重力方向に沿って上から下へ向けるガイドロールを有し、
   前記樹脂層形成部は、前記ベースフィルムを隔てて両側に１つずつ、互いの樹脂吐出口の位置を上下にずらして配置される一対のダイを有する
   請求項１から５のいずれかに記載のフィルムのパターン転写装置。
7. 前記フィルム搬送部は、
   前記樹脂層が形成される前のベースフィルムを繰り出す繰出軸と、
   前記転写フィルムを巻き取る巻取軸と、
   前記繰出軸と前記巻取軸との間で、前記ガイドロールとともに前記ベースフィルムもしくは前記転写フィルムの搬送方向を変更する複数の中継ロールと、を有し、
   前記複数の中継ロールのうちの１つは、重力方向に沿って前記ガイドロールの下方に配置される
   請求項６に記載のフィルムのパターン転写装置。
8. 前記ガイドロールの下方に配置される中継ロールは、前記賦形フィルム剥離部の先で前記転写フィルムの搬送方向を重力方向から別方向へ向ける
   請求項７に記載のフィルムのパターン転写装置。
9. ベースフィルムの両面に液状の樹脂を塗布して樹脂層を形成することと、
   前記ベースフィルムの樹脂層に賦形フィルムを押し付け、前記賦形フィルムの賦形面を前記樹脂層に転写することにより、前記樹脂層の表面にパターンを形成することと、
   前記パターンが形成された樹脂層を硬化させ、前記ベースフィルムに固着させることにより転写フィルムを生成することと、
   前記転写フィルムから前記賦形フィルムを剥離させることと、
   前記ベースフィルムを繰り出し、繰り出した前記ベースフィルムへの前記樹脂層の形成と、前記樹脂層への前記賦形面の転写および前記パターンの形成と、前記樹脂層の硬化および前記ベースフィルムへの固着と、前記転写フィルムからの前記賦形フィルムの剥離とを経て、生成された前記転写フィルムを巻き取ることと、を含み、
   前記ベースフィルムには、一面側と他面側とで異なる厚さの前記樹脂層を形成し、
   前記パターンが形成された樹脂層は、前記ベースフィルムへ向けて押圧しながら硬化させる
   フィルムにパターンを転写する方法。

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