JPWO2015186736A1 - ローラ式加圧装置、インプリント装置およびローラ式加圧方法 - Google Patents
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Abstract
Description
このように構成すれば、光源の数や出力を小さくすることができる。
次に、本発明のローラ式加圧方法を説明する。本発明のローラ式加圧方法は、対象物を少なくとも表面が弾性部材37aで形成されたメインローラ37によって加圧するためのものであって、対象物を受圧ステージ322上に配置する配置工程と、メインローラ37が対象物に加える圧力を調節する圧力調節工程と、メインローラ37を対象物に対して相対的に移動し、対象物を当該メインローラ37で加圧する加圧工程と、で主に構成される。そして、この加圧工程は、少なくとも表面が弾性部材37aより弾性率の大きい部材で形成される中間ローラ38でメインローラ37を支持すると共に、メインローラ37及び中間ローラ38より軸方向の長さが短く形成されるバックアップローラ39で中間ローラ38を支持することを特徴とする。
2 被成形物
30 調圧室
33 筐体
34 調圧室用密閉手段
37 メインローラ
38 中間ローラ
39 バックアップローラ
45 調圧手段
321 第2枠体
322 受圧ステージ
331 第1枠体
332 調圧プレート
Claims (14)
- 対象物を加圧するためのローラ式加圧装置であって、
少なくとも表面が弾性部材で形成され、前記対象物を加圧するメインローラと、
前記メインローラを前記対象物に対して相対的に移動するためのローラ移動手段と、
前記メインローラが前記対象物に加える圧力を調節する調圧部と、
前記メインローラの圧力を、前記対象物を間に挟んで受ける受圧ステージと、
少なくとも表面が前記弾性部材より弾性率の大きい部材で形成され、前記メインローラを支持する中間ローラと、
前記メインローラ及び前記中間ローラより軸方向の長さが短く形成され、前記中間ローラを支持するバックアップローラと、
を具備することを特徴とするローラ式加圧装置。 - 前記メインローラは、前記バックアップローラ及び前記中間ローラを介して調圧プレートに配置され、
前記調圧部は、前記調圧プレートを介して前記メインローラに加わる圧力を調節する調圧手段を有することを特徴とする請求項1記載のローラ式加圧装置。 - 前記調圧部は、前記調圧プレートの両面にかかる流体の差圧によって生じる力が前記メインローラに加わるように当該調圧プレートを保持する調圧プレート保持部と、前記調圧プレートの両面にかかる流体の差圧を調節する調圧手段と、を有することを特徴とする請求項2記載のローラ式加圧装置。
- 前記ローラ移動手段は、前記調圧プレートに配置されることを特徴とする請求項3記載のローラ式加圧装置。
- 前記中間ローラは、前記メインローラの円周面上に複数配置されることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載のローラ式加圧装置。
- 前記バックアップローラは、前記中間ローラの円周面上に複数配置されることを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載のローラ式加圧装置。
- 前記バックアップローラは、メインローラの中心軸と中間ローラの中心軸を結ぶ面に対し、その両側に均等角度で複数配置されることを特徴とする請求項6記載のローラ式加圧装置。
- 前記中間ローラは金属またはセラミックスからなることを特徴とする請求項1ないし7のいずれかに記載のローラ式加圧装置。
- 請求項1ないし8のいずれかに記載のローラ式加圧装置を備えることを特徴とするインプリント装置。
- 対象物を少なくとも表面が弾性部材で形成されたメインローラによって加圧するためのローラ式加圧方法であって、
前記対象物を受圧ステージ上に配置する配置工程と、
前記メインローラが前記対象物に加える圧力を調節する圧力調節工程と、
前記メインローラを前記対象物に対して相対的に移動し、前記対象物を当該メインローラで加圧する加圧工程と、を有し、
前記加圧工程は、少なくとも表面が前記弾性部材より弾性率の大きい部材で形成される中間ローラで前記メインローラを支持すると共に、前記メインローラ及び前記中間ローラより軸方向の長さが短く形成されるバックアップローラで前記中間ローラを支持することを特徴とするローラ式加圧方法。 - 前記圧力調節工程は、前記バックアップローラ及び前記中間ローラを介して前記メインローラを支持する調圧プレートの両面にかかる流体の差圧を利用して、前記メインローラが前記対象物に加える圧力を調節することを特徴とする請求項10記載のローラ式加圧方法。
- 前記中間ローラは、前記メインローラの移動方向前方および後方で当該メインローラを支持することを特徴とする請求項10又は11記載のローラ式加圧方法。
- 前記バックアップローラは、前記中間ローラの移動方向前方および後方で当該中間ローラを支持することを特徴とする請求項10ないし12のいずれかに記載のローラ式加圧方法。
- 前記中間ローラは金属またはセラミックスからなることを特徴とする請求項10ないし13のいずれかに記載のローラ式加圧方法。
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