JP2019080084A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019080084A5 JP2019080084A5 JP2019031008A JP2019031008A JP2019080084A5 JP 2019080084 A5 JP2019080084 A5 JP 2019080084A5 JP 2019031008 A JP2019031008 A JP 2019031008A JP 2019031008 A JP2019031008 A JP 2019031008A JP 2019080084 A5 JP2019080084 A5 JP 2019080084A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oxide semiconductor
- barrier diode
- diode element
- schottky barrier
- semiconductor layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 50
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims 20
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 12
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims 9
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 7
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims 7
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims 6
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 claims 5
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims 4
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 4
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 claims 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims 3
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims 3
- 229910052684 Cerium Inorganic materials 0.000 claims 2
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 claims 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims 2
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims 2
- 229910052772 Samarium Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010408 film Substances 0.000 claims 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910021424 microcrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims 1
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2013169966 | 2013-08-19 | ||
| JP2013169966 | 2013-08-19 | ||
| JP2015532701A JPWO2015025499A1 (ja) | 2013-08-19 | 2014-08-08 | 酸化物半導体基板及びショットキーバリアダイオード |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2015532701A Division JPWO2015025499A1 (ja) | 2013-08-19 | 2014-08-08 | 酸化物半導体基板及びショットキーバリアダイオード |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2020207470A Division JP7084465B2 (ja) | 2013-08-19 | 2020-12-15 | 酸化物半導体基板及びショットキーバリアダイオード |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2019080084A JP2019080084A (ja) | 2019-05-23 |
| JP2019080084A5 true JP2019080084A5 (enExample) | 2019-12-12 |
| JP6989545B2 JP6989545B2 (ja) | 2022-01-05 |
Family
ID=52483294
Family Applications (3)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2015532701A Pending JPWO2015025499A1 (ja) | 2013-08-19 | 2014-08-08 | 酸化物半導体基板及びショットキーバリアダイオード |
| JP2019031008A Active JP6989545B2 (ja) | 2013-08-19 | 2019-02-22 | 酸化物半導体基板及びショットキーバリアダイオード |
| JP2020207470A Active JP7084465B2 (ja) | 2013-08-19 | 2020-12-15 | 酸化物半導体基板及びショットキーバリアダイオード |
Family Applications Before (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2015532701A Pending JPWO2015025499A1 (ja) | 2013-08-19 | 2014-08-08 | 酸化物半導体基板及びショットキーバリアダイオード |
Family Applications After (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2020207470A Active JP7084465B2 (ja) | 2013-08-19 | 2020-12-15 | 酸化物半導体基板及びショットキーバリアダイオード |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US9691910B2 (enExample) |
| JP (3) | JPWO2015025499A1 (enExample) |
| KR (1) | KR102226985B1 (enExample) |
| CN (2) | CN105453272B (enExample) |
| TW (1) | TWI615984B (enExample) |
| WO (1) | WO2015025499A1 (enExample) |
Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6975530B2 (ja) | 2015-12-25 | 2021-12-01 | 出光興産株式会社 | 半導体素子及びそれを用いた電気機器 |
| US10340356B2 (en) | 2015-12-25 | 2019-07-02 | Idemitsu Kosan Co., Ltd. | Laminated article |
| JP6976858B2 (ja) * | 2015-12-25 | 2021-12-08 | 出光興産株式会社 | 積層体 |
| WO2017110940A1 (ja) * | 2015-12-25 | 2017-06-29 | 出光興産株式会社 | 半導体素子及びそれを用いた電気機器 |
| CN107039439B (zh) | 2016-02-04 | 2020-03-10 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 存储器及其形成方法 |
| JP6770331B2 (ja) * | 2016-05-02 | 2020-10-14 | ローム株式会社 | 電子部品およびその製造方法 |
| US20180097073A1 (en) * | 2016-10-03 | 2018-04-05 | Flosfia Inc. | Semiconductor device and semiconductor system including semiconductor device |
| US11018238B2 (en) | 2016-10-11 | 2021-05-25 | Idemitsu Kosan Co., Ltd. | Structure, method for manufacturing same, semiconductor element, and electronic circuit |
| JP2018137394A (ja) * | 2017-02-23 | 2018-08-30 | トヨタ自動車株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
| CN110870079B (zh) * | 2017-07-08 | 2024-01-09 | 株式会社Flosfia | 半导体装置 |
| JP6977465B2 (ja) * | 2017-10-06 | 2021-12-08 | 株式会社デンソー | 半導体装置の製造方法 |
| GB2569196B (en) | 2017-12-11 | 2022-04-20 | Pragmatic Printing Ltd | Schottky diode |
| DE102020132743A1 (de) * | 2019-12-13 | 2021-06-17 | Denso Corporation | Elektret |
| JP7638125B2 (ja) | 2021-03-25 | 2025-03-03 | エヌ・ティ・ティ・コミュニケーションズ株式会社 | 医療システム及びコンピュータープログラム |
| CN117954504A (zh) * | 2022-10-19 | 2024-04-30 | 广州华瑞升阳投资有限公司 | 一种肖特基势垒二极管 |
Family Cites Families (68)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4358782A (en) * | 1980-01-17 | 1982-11-09 | Asahi Kasei Kogyo Kabushiki Kaisha | Semiconductor device |
| US4782302A (en) * | 1986-10-31 | 1988-11-01 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Detector and energy analyzer for energetic-hydrogen in beams and plasmas |
| JP2702279B2 (ja) * | 1990-11-30 | 1998-01-21 | 新コスモス電機株式会社 | ガス検知素子 |
| JPH0536975A (ja) | 1991-03-07 | 1993-02-12 | Sumitomo Metal Ind Ltd | シヨツトキーバリアダイオード素子 |
| JPH04302173A (ja) * | 1991-03-29 | 1992-10-26 | Japan Synthetic Rubber Co Ltd | 薄膜ダイオード |
| JPH0897441A (ja) | 1994-09-26 | 1996-04-12 | Fuji Electric Co Ltd | 炭化けい素ショットキーダイオードの製造方法 |
| US20020179957A1 (en) * | 2001-05-29 | 2002-12-05 | Motorola, Inc. | Structure and method for fabricating high Q varactor diodes |
| JP2004022878A (ja) | 2002-06-18 | 2004-01-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
| JP2005072367A (ja) * | 2003-08-26 | 2005-03-17 | Nippon Oil Corp | 光電変換素子 |
| CA2585190A1 (en) * | 2004-11-10 | 2006-05-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Amorphous oxide and field effect transistor |
| JP5053537B2 (ja) * | 2004-11-10 | 2012-10-17 | キヤノン株式会社 | 非晶質酸化物を利用した半導体デバイス |
| US7863611B2 (en) | 2004-11-10 | 2011-01-04 | Canon Kabushiki Kaisha | Integrated circuits utilizing amorphous oxides |
| WO2007058248A1 (ja) * | 2005-11-18 | 2007-05-24 | Idemitsu Kosan Co., Ltd. | 半導体薄膜、及びその製造方法、並びに薄膜トランジスタ |
| KR100723420B1 (ko) * | 2006-02-20 | 2007-05-30 | 삼성전자주식회사 | 비정질 합금 산화층을 포함하는 비휘발성 메모리 소자 |
| JP2007243080A (ja) * | 2006-03-13 | 2007-09-20 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
| US7389675B1 (en) * | 2006-05-12 | 2008-06-24 | The United States Of America As Represented By The National Aeronautics And Space Administration | Miniaturized metal (metal alloy)/ PdOx/SiC hydrogen and hydrocarbon gas sensors |
| JP4929882B2 (ja) * | 2006-07-11 | 2012-05-09 | 富士電機株式会社 | 半導体装置 |
| JP5164357B2 (ja) * | 2006-09-27 | 2013-03-21 | キヤノン株式会社 | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
| JP5261923B2 (ja) * | 2006-10-17 | 2013-08-14 | サンケン電気株式会社 | 化合物半導体素子 |
| JP4362635B2 (ja) * | 2007-02-02 | 2009-11-11 | ローム株式会社 | ZnO系半導体素子 |
| TWI478347B (zh) * | 2007-02-09 | 2015-03-21 | Idemitsu Kosan Co | A thin film transistor, a thin film transistor substrate, and an image display device, and an image display device, and a semiconductor device |
| WO2008136505A1 (ja) | 2007-05-08 | 2008-11-13 | Idemitsu Kosan Co., Ltd. | 半導体デバイス及び薄膜トランジスタ、並びに、それらの製造方法 |
| TWI453915B (zh) * | 2007-09-10 | 2014-09-21 | Idemitsu Kosan Co | Thin film transistor |
| JP2009164237A (ja) | 2007-12-28 | 2009-07-23 | Panasonic Corp | ショットキーバリアダイオード |
| JP2009194225A (ja) | 2008-02-15 | 2009-08-27 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ショットキバリアダイオード、及びショットキバリアダイオードを作製する方法 |
| US8076699B2 (en) * | 2008-04-02 | 2011-12-13 | The Hong Kong Univ. Of Science And Technology | Integrated HEMT and lateral field-effect rectifier combinations, methods, and systems |
| JP5382763B2 (ja) | 2008-04-09 | 2014-01-08 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 半導体素子及びその製造方法と、該半導体素子を備えた電子デバイス |
| JP5198146B2 (ja) * | 2008-05-22 | 2013-05-15 | 株式会社東芝 | 不揮発性記憶装置 |
| JP2010040552A (ja) * | 2008-07-31 | 2010-02-18 | Idemitsu Kosan Co Ltd | 薄膜トランジスタ及びその製造方法 |
| JP4803241B2 (ja) * | 2008-11-27 | 2011-10-26 | 三菱電機株式会社 | 半導体モジュール |
| JP5606682B2 (ja) * | 2009-01-29 | 2014-10-15 | 富士フイルム株式会社 | 薄膜トランジスタ、多結晶酸化物半導体薄膜の製造方法、及び薄膜トランジスタの製造方法 |
| JP2010182852A (ja) * | 2009-02-05 | 2010-08-19 | Konica Minolta Holdings Inc | 金属酸化物半導体、その製造方法及び薄膜トランジスタ |
| US8461582B2 (en) * | 2009-03-05 | 2013-06-11 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and method for manufacturing the same |
| US20100224878A1 (en) * | 2009-03-05 | 2010-09-09 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device |
| JP5453867B2 (ja) * | 2009-03-24 | 2014-03-26 | 株式会社デンソー | ショットキーバリアダイオードを備えた炭化珪素半導体装置およびその製造方法 |
| US8441047B2 (en) | 2009-04-10 | 2013-05-14 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and method for manufacturing the same |
| JP5429287B2 (ja) * | 2009-06-15 | 2014-02-26 | 株式会社村田製作所 | 抵抗スイッチング・メモリー素子 |
| JP2011029238A (ja) * | 2009-07-21 | 2011-02-10 | Fujifilm Corp | 結晶性ホモロガス化合物層を含む積層体の製造方法及び電界効果型トランジスタ |
| WO2011052437A1 (en) * | 2009-10-30 | 2011-05-05 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Non-linear element, display device including non-linear element, and electronic device including display device |
| WO2011065210A1 (en) | 2009-11-28 | 2011-06-03 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Stacked oxide material, semiconductor device, and method for manufacturing the semiconductor device |
| CN104992962B (zh) * | 2009-12-04 | 2018-12-25 | 株式会社半导体能源研究所 | 半导体器件及其制造方法 |
| KR101636998B1 (ko) * | 2010-02-12 | 2016-07-08 | 삼성디스플레이 주식회사 | 박막 트랜지스터 및 그 제조 방법 |
| KR101924318B1 (ko) * | 2010-02-12 | 2018-12-03 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치 및 그 구동 방법 |
| US8835917B2 (en) | 2010-09-13 | 2014-09-16 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device, power diode, and rectifier |
| JP5780902B2 (ja) * | 2010-10-12 | 2015-09-16 | 出光興産株式会社 | 半導体薄膜、薄膜トランジスタ及びその製造方法 |
| JP2012138552A (ja) | 2010-12-28 | 2012-07-19 | Taiyo Yuden Co Ltd | ショットキーダイオードおよびその製造方法 |
| JPWO2012111314A1 (ja) * | 2011-02-18 | 2014-07-03 | 出光興産株式会社 | 電子素子用絶縁材料形成用組成物、電子素子用絶縁材料、電子素子及び薄膜トランジスタ |
| JP5800291B2 (ja) * | 2011-04-13 | 2015-10-28 | ローム株式会社 | ZnO系半導体素子およびその製造方法 |
| US8546879B2 (en) | 2011-08-18 | 2013-10-01 | Monolithic Power Systems, Inc. | High density lateral DMOS with recessed source contact |
| JP5894393B2 (ja) * | 2011-08-19 | 2016-03-30 | 出光興産株式会社 | 酸化物粒子分散液 |
| JP5866727B2 (ja) * | 2011-09-08 | 2016-02-17 | 株式会社タムラ製作所 | β−Ga2O3単結晶膜の製造方法及び結晶積層構造体 |
| US8902082B2 (en) * | 2011-10-11 | 2014-12-02 | Bruce B. Roesner | Communicating statuses of vehicles |
| CN102332474A (zh) * | 2011-10-18 | 2012-01-25 | 北京工业大学 | 一种铟镓锌氧化物肖特基二极管器件及其制备方法 |
| JP2013102081A (ja) * | 2011-11-09 | 2013-05-23 | Tamura Seisakusho Co Ltd | ショットキーバリアダイオード |
| JP5984505B2 (ja) * | 2012-05-22 | 2016-09-06 | 株式会社日立製作所 | 半導体ガスセンサおよびその製造方法 |
| CN103426910B (zh) * | 2012-05-24 | 2016-01-20 | 杰力科技股份有限公司 | 功率半导体元件及其边缘终端结构 |
| US8952470B2 (en) * | 2012-09-10 | 2015-02-10 | James John Lupino | Low cost high density nonvolatile memory array device employing thin film transistors and back to back Schottky diodes |
| JP5777586B2 (ja) * | 2012-09-20 | 2015-09-09 | 株式会社東芝 | 半導体装置及びその製造方法 |
| JP6071569B2 (ja) * | 2013-01-17 | 2017-02-01 | キヤノン株式会社 | 有機発光素子 |
| JP6222931B2 (ja) * | 2013-01-21 | 2017-11-01 | キヤノン株式会社 | 有機発光素子 |
| JP6581765B2 (ja) * | 2013-10-02 | 2019-09-25 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | ブートストラップ回路、およびブートストラップ回路を有する半導体装置 |
| US9300292B2 (en) * | 2014-01-10 | 2016-03-29 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Circuit including transistor |
| JP6541360B2 (ja) * | 2014-02-07 | 2019-07-10 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
| US9842842B2 (en) * | 2014-03-19 | 2017-12-12 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor memory device and semiconductor device and electronic device having the same |
| JP6587497B2 (ja) * | 2014-10-31 | 2019-10-09 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
| TWI688211B (zh) * | 2015-01-29 | 2020-03-11 | 日商半導體能源研究所股份有限公司 | 半導體裝置、電子組件及電子裝置 |
| WO2016128853A1 (en) * | 2015-02-09 | 2016-08-18 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device, electronic component, and electronic device |
| US9489988B2 (en) * | 2015-02-20 | 2016-11-08 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Memory device |
-
2014
- 2014-08-08 US US14/912,815 patent/US9691910B2/en active Active
- 2014-08-08 CN CN201480045490.5A patent/CN105453272B/zh active Active
- 2014-08-08 WO PCT/JP2014/004153 patent/WO2015025499A1/ja not_active Ceased
- 2014-08-08 JP JP2015532701A patent/JPWO2015025499A1/ja active Pending
- 2014-08-08 KR KR1020167004121A patent/KR102226985B1/ko active Active
- 2014-08-08 CN CN202010532733.5A patent/CN111668315B/zh active Active
- 2014-08-15 TW TW103128165A patent/TWI615984B/zh active
-
2017
- 2017-05-25 US US15/605,779 patent/US11769840B2/en active Active
-
2019
- 2019-02-22 JP JP2019031008A patent/JP6989545B2/ja active Active
-
2020
- 2020-12-15 JP JP2020207470A patent/JP7084465B2/ja active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2019080084A5 (enExample) | ||
| JP2021052203A5 (enExample) | ||
| JP7084465B2 (ja) | 酸化物半導体基板及びショットキーバリアダイオード | |
| Lee et al. | A low‐temperature‐grown oxide diode as a new switch element for high‐density, nonvolatile memories | |
| EP0274890B1 (en) | Stable ohmic contacts to thin films of p-type tellurium-containing II-VI semiconductors | |
| EP1881534B1 (en) | Solar cell module | |
| JP3203078B2 (ja) | 光起電力素子 | |
| CN105684159B (zh) | 光电转换装置 | |
| TW201244135A (en) | Solar battery and method for manufacturing the same | |
| WO2018070417A1 (ja) | 構造物、その製造方法、半導体素子及び電子回路 | |
| JP2012094853A (ja) | 配線構造 | |
| CN112186062A (zh) | 一种太阳能电池及其制作方法 | |
| JPH04302172A (ja) | ダイヤモンドショットキーダイオード | |
| CN106784113A (zh) | 一种硅基异质结太阳能电池及其制备方法 | |
| CN105103307A (zh) | 光发电装置 | |
| CN207834314U (zh) | 太阳能电池 | |
| TW201232795A (en) | Back contact solar cell with wiring board, and method for manufacturing back contact solar cell with wiring board | |
| JP5070720B2 (ja) | 太陽電池及びその製造方法 | |
| KR20160063861A (ko) | 태양 전지 | |
| JP5987127B1 (ja) | 光発電素子及びその製造方法 | |
| RU2426194C1 (ru) | Способ изготовления наноструктурного омического контакта фотоэлектрического преобразователя | |
| JP2003051604A (ja) | 光起電力素子 | |
| CN119947389B (zh) | 一种双向导通的纵向结构二极管及其制作方法 | |
| JPH04293272A (ja) | ダイヤモンドpin型ダイオード | |
| JPH06338223A (ja) | 透明導電膜 |