JP2013229582A - 薄膜コンデンサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】薄膜コンデンサ10は、下地電極11上に積層された二つ以上の誘電体層12と、誘電体層12の間に積層され、前記誘電体層12から露出した内部電極層13と、前記露出した内部電極層13を介して内部電極層13と電気的に接続する接続電極14と、を備え、内部電極層13の結晶粒の平均粒径Dと、接続電極14の結晶粒の平均粒径dの関係がD>dであることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
D>d (1)
0.5≦L/t≦120 (2)
なお、突出部13aの突出量Lとは、突出部13aと接続電極14とが接触している(接続されている)部分の最大長さをいう。このように構成することで、突出部の突出量が接続電極と好適に接続できる適度な範囲に収まり、内部電極層13と接続電極14との接続状態をより一層安定させることができる。この結果、内部電極層13と接続電極14との電気的接続の安定性を向上させることが可能となる。そして、接続状態の安定性が向上すると、製品の歩留まりが良くなり、また、信頼性も向上する。この条件式の下限値(0.5≦L/t)に関しては、突出部13aを設けることによる接続状態の一層の安定化という効果が十分には得られなくなってしまう。また、この条件式の上限値(L/t≦120)に関しては、突出部13aの突出量Lが大きすぎると、接続電極14を形成する際に、隣り合う内部電極層13の突出部13aの間に接続電極材料が進入し難くなって、製造時の薬液が残留しやすくなる。そして、薬液の残渣に起因する湿度の侵入によって、製造された薄膜コンデンサの絶縁抵抗の劣化が生じる可能性が高くなり、信頼性が低下する可能性がある。
D>d (1)
(実施例13〜22)実施例1と同様に薄膜コンデンサを作製した。ただし、内部電極層の厚みは、実施例17で100nm、実施例14と22で500nm,その他は300nmに設定した。誘電体層12及び内部電極層13を積層した後、熱処理を行った集合体上に内部電極との接続を行える位置に開口部21を有するレジスト層を形成した。その後、開口部21の誘電体12をエッチング液にてエッチングした。このときエッチング液は、塩酸+フッ化アンモニウム水溶液を用いた。このエッチングにより、開口部21の誘電体12は除去し、かつ内部電極層13の端部は、開口部21の誘電体12の側壁から突出する状態にして、突出部13aを形成した。突出量Lは、4水準変化させた。すなわち、実施例13と14で5nm、実施例15、16および17で50nm、実施例18から21で300nm、実施例22で2μmとした。その後、レジスト層を剥離し、再度熱処理を行った後、集合体前記開口部に接続用導体層(接続電極14)としてNi膜をスパッタリングにより形成し、種々の温度すなわち 実施例13と18は、熱処理なし、実施例14、15および19は200℃、実施例16、20は400℃、実施例17、21および22は600℃で熱処理を行い、結晶粒径を制御した。さらにパシベーション膜15を形成し、さらに端子電極16を形成した。実施例1と同様にコンデンサの容量とESRを測定し、容量に関しては、その平均値及び標準偏差を算出した。さらに、接続用導体層(接続電極14)と内部電極層13の突出部13aのNi部分をFIB等により切断して、上述の実施例と同様、ランダムに10個ずつの結晶粒径を測定した。測定は、ひとつの結晶粒の断面の面積を円相当の直径に換算し、これをランダムに10個の結晶粒断面に実施して平均を求め各々の平均粒径とした。
次に、ESRを評価してみると、接続性が反映され、2≦D/d≦100の範囲で、ESRが500mΩと低下させることができることがわかる。さらに、5≦D/d≦20の範囲であるとさらに抵抗は低く、400mΩ以下が得られ、接続性の安定性が確認された。
Claims (4)
- 下地電極上に誘電体層と内部電極層とが交互に複数積層され、
前記内部電極層の一部が前記誘電体層から露出しており、
前記内部電極層の露出部の少なくとも一部が接する接続電極を有し、
前記内部電極層の結晶粒の平均粒径Dと、前記接続電極の結晶粒の平均粒径dの関係がD>dであることを特徴とする薄膜コンデンサ。 - 前記Dおよびdの関係が、2≦D/d≦100であることを特徴とする、請求項1に記載の薄膜コンデンサ。
- 前記露出した内部電極層が積層方向から見て前記誘電体層から突出する突出部を有し、前記接続電極が、前記突出部に含まれる前記内部電極層の表面の少なくとも一部および端面を介して前記内部電極層と電気的に接続する接続電極である請求項1に記載の薄膜コンデンサ。
- 前記接続電極が少なくともNi領域またはNi合金領域を有し、この領域における接続電極の結晶粒の平均粒径dの関係がD>dである請求項1〜3のいずれか一項に記載の薄膜コンデンサ。
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