JP2011133868A - 電子写真装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】アモルファスシリコンカーバイドで構成された表面層を有する電子写真感光体を有する電子写真装置において、表面層におけるケイ素原子の原子密度(Si)と炭素原子の原子密度(C)との和に対する炭素原子の原子密度(C)の比(C/(Si+C))が、電子写真感光体の回転軸方向において一方の端部から他方の端部に向かって大きくなっており、かつ回転軸方向の全領域において0.61以上0.75以下であり、電子写真装置が、一方の端部側から他方の端部側に向かって排気する気流発生手段を有する。
【選択図】図2
Description
放電生成物が回転軸方向の片側に偏った際には、片削れという回転軸方向の一方の端部側で削れ量が大きくなる現象が起きる。この場合には、クリーニング不良の発生につながる場合がある。
本発明の目的は、放電生成物に起因する感光体の表面層における削れ量を感光体の回転軸方向で均一にすることである。
該表面層におけるケイ素原子の原子密度(Si)と炭素原子の原子密度(C)との和に対する炭素原子の原子密度(C)の比(C/(Si+C))が、該電子写真感光体の回転軸方向において一方の端部から他方の端部に向かって大きくなっており、かつ該回転軸方向の全領域において0.61以上0.75以下であり、
該電子写真装置が、該一方の端部側から該他方の端部側に向かって排気する気流発生手段を有する
ことを特徴とする電子写真装置である。
まず、本発明の電子写真装置について説明する。
本発明の電子写真装置の一例を図1に示す。
図1において、101は電子写真感光体であり、102は該感光体101に静電潜像を形成する前に帯電を行う一次帯電器である。103は静電潜像の形成された電子写真感光体101に現像材であるトナー104を供給するための現像器である。105は電子写真感光体表面のトナー104を転写材106に移行させるための転写帯電器である。107は、転写材106の静電吸着力を低下させ,転写材106を感光体から分離するための分離帯電器である。
この気流発生手段115および116と一次帯電器102、感光体101の位置関係を示す、回転軸方向の断面の模式図を図2に示す。
基体の材質としては、例えば、銅、アルミニウム、ニッケル、コバルト、鉄、クロム、モリブデン、チタンやこれらの合金を用いることができる。中でも、加工性や製造コストを考慮すると、アルミニウムが優れている。この場合、Al−Mg系合金、Al−Mn系合金のいずれかを用いることが好ましい。基体は、基体洗浄装置で処理される前に、例えば表面を鏡面切削加工することがある。
図5は、洗浄後の円筒状基体5101の表面に電荷注入阻止層5201、光導電層5202および表面層5301を順次積層した電子写真感光体5000の模式図である。
図5を使用して電子写真感光体を構成する各層について説明する。
表面層5301には、本発明では、アモルファスシリコン系の材料にC原子を含有するアモルファスシリコンカーバイド(a−SiC)材料が用いられる。より具体的には、C原子(C)およびH原子(H)を含有するアモルファスシリコン(以下「a−SiC:H」とも表記する)材料が用いられる。または、C原子(C)、H原子(H)および/またはハロゲン原子(X)を含有するアモルファスシリコン(以下「a−SiC:H,X」とも表記する)材料も用いられる。これは、前述のように電気的特性、光学的特性、画像特性、および高硬度に基づく耐久性などが優れているためである。
さらに、好ましくは、a−SiC表面層におけるSi原子の原子密度とC原子の原子密度との和(以下「Si+C原子密度」とも表記する)を6.60×1022原子/cm3以上にする。
なお、Si原子の原子密度を、以下「Si原子密度」とも表記する。また、C原子の原子密度を、以下「C原子密度」とも表記する。
光導電層5202の材料は、電子写真感光体に照射される光の波長に感受性を有する材料であり、Si原子を含む材料が挙げられ、特に、Si原子を母材とするアモルファス材料を含むことが好ましい。また、光導電層には、光導電性および電荷保持特性を向上させるため、水素原子や、必要に応じてハロゲン原子を含有させてもよい。
電荷注入阻止層5201は、電子写真感光体5000の自由表面が一定極性の帯電処理を受けた際、基体側より光導電層側に電荷が注入されるのを阻止する機能を有し、逆の極性の帯電処理を受けた際にはそのような機能は発揮されない、いわゆる、極性依存性を有している。
極性依存性を付与するために、電荷注入阻止層5201には伝導性を制御する原子を光導電層5202に比ベ多く含有させる。
次に、電荷注入阻止層5201、光導電層5202、表面層5301にa−SiCを採用した場合における堆積膜形成の流れについて、プラズマCVD法を例にとって説明する。
図6は、本発明の電子写真感光体の製造に使用できる、高周波電源を用いたRFプラズマCVD法により堆積膜を形成する装置の一例の模式図である。
この装置は主として、反応容器6110を有する堆積膜形成装置6100、原料ガス供給装置6200、および、反応容器6110の中を減圧するための排気装置(図示せず)から構成されている。
まず、図6に示した高周波電源を用いたプラズマ処理装置で、周波数はRF帯を用いて、円筒状基体(直径80mm、長さ358mm、厚さ3mmの鏡面加工を施した円筒状のアルミニウム製の導電性基体)上に堆積膜を形成し、電子写真感光体を作製した。
この際、C/(Si+C)が、電子写真感光体の一方の端部から他方の端部へ向かって、漸次大きくなる表面層を作製するために、図6のガス導入口6115の位置を調整した。ガス導入口6115の位置の調整は、C/(Si+C)の分布が均一になる位置(以下、標準位置と記述する)に対して、C/(Si+C)を大きくする端部側(図6中下側)のガス導入口6115の数を減少させることで行なった。より具体的には、本例では、36個のガス導入口が上から下までほぼ均等に設けられている原料ガス導入管4本と、上半分にはガス導入口が6個設けられていて下半分にはガス導入口が1個設けられている原料ガス導入管4本の、合計8本の原料ガス導入管を、2種交互に、かつ円筒状基体を囲むように反応容器の中に設置した。
その際、表1に示す各層形成時の基板温度、反応容器内圧、高周波電力、SiH4流量、H2流量、B2H6流量、NO流量およびCH4流量条件で電荷注入阻止層、光導電層、表面層を順次形成した。
電子写真感光体の作製本数は、同じ成膜条件(層形成条件)で2本作製した。
具体的には、一方の端部位置をAとし、他方の端部位置をBとし、5等分し5個の領域に区分した。等分した領域は、端部Aを含む領域をNo.1とし、端部Bを含む領域をNo.5として、No.1の領域に隣接する領域をNo.2、として、領域No.5に向かって順にNo.3、No.4とした。
そして、5箇所の領域について、領域毎に任意の3点で後述の分析方法を実施した。その後、該任意の3点で得られたC/(Si+C)、Si原子密度、C原子密度、Si+C原子密度のデータについて平均値を算出し、各領域のそれぞれの値とした。
まず、表1の電荷注入阻止層および光導電層のみを形成したリファレンス電子写真感光体を作製し、任意の周方向における長手方向の中央部を15mm四方の正方形で切り出し、リファレンス試料を作製した。次に、電荷注入阻止層、光導電層および表面層を形成した電子写真感光体を同様に切り出し、測定用試料を作製した。リファレンス試料と測定用試料を分光エリプソメトリー(J.A.Woollam社製:高速分光エリプソメトリーM−2000)により測定し、表面層の膜厚を求めた。
分光エリプソメトリーの具体的な測定条件は、入射角:60°、65°、70°、測定波長:195nmから700nm、ビーム径:1mm×2mmである。
次に、リファレンス試料の測定結果をリファレンスとして、測定用試料をリファレンス試料と同様に分光エリプソメトリーにより各入射角で波長と振幅比Ψおよび位相差Δの関係を求めた。
比較例1において、C/(Si+C)が0.61以上で、C/(Si+C)が回転軸方向で均一になるように電子写真感光体を作製した。具体的には、図6に示したガス導入口6115の位置を実施例1とは変更し、図6のプラズマ処理装置を用いて電子写真感光体を作製した。ガス導入口6115の位置を、実施例1でC/(Si+C)が漸次大きくなるようにした位置から標準位置に戻した。成膜条件は、実施例1と同じ表2の条件で行った。作製本数は合計2本で、分析用に1本、比較例1の摩耗量評価用に1本とした。
摩耗量の評価は以下の手順で行った。
まず、作製直後の電子写真感光体における表面層の膜厚を回転軸方向の複数箇所で後述の方法で測定し、算出された膜厚を初期膜厚とした。その後、後述の実験機による連続通紙試験を実施し、初期と同じ箇所で表面層の膜厚を測定して算出された膜厚を試験後膜厚とした。そして、取得した初期膜厚と試験後膜厚の差分を摩耗量とした。また、回転軸方向の複数箇所で測定・算出された摩耗量中で最大値と最小値の差分を摩耗量ムラとした。詳細な方法については以下に示す。
測定方法は、2mmのスポット径で電子写真感光体の表面に垂直に光を照射し、分光計(大塚電子製:MCPD−2000)を用いて、反射光の分光測定を行った。得られた反射波形をもとに表面層の膜厚を算出した。このとき、波長範囲を500nmから750nm、光導電層の屈折率を3.30とし、表面層の屈折率は上述したSi+C原子密度測定の際に行った分光エリプソメトリーの測定より求められた値を用いた。
以上の測定を前述したように区分した5箇所の領域について、領域毎に回転軸方向にほぼ等間隔の3点で測定し、3点での測定値の平均値を各領域における表面層の膜厚とした。
初期膜厚測定後の電子写真感光体を、図1に示した気流発生装置を設けたキヤノン(株)製のデジタル電子写真装置「iR−5065」(商品名)を改造した装置に設置した。気流発生装置の効果を検証するために、前記電子写真装置内において前記気流発生装置以外の気流発生源は停止させる改造を行った。また、電子写真感光体の回転による気流の乱れは、電子写真感光体の回転速度を同じにすることで同一条件と仮定した。
連続通紙試験の前後に行った膜厚測定から取得した、前述の5個に区分した各領域の初期膜厚および試験後膜厚の差分を求め、各領域の40万枚の連続通紙試験における摩耗量を算出した。また、算出された5個の領域の摩耗量から平均摩耗量を算出した。さらに、5個に区分した各領域の摩耗量を比較して摩耗量の最大値と最小値の差分を算出し、摩耗量ムラを算出した。そして、算出した5個の領域の摩耗量および平均摩耗量、摩耗量ムラについて、比較例1を基準とし、比較例1の各値を分母にとった場合の比率を各々算出して評価した。したがって、算出された各値が1より小さい場合に、比較例1より良好になったと判断した。
画像評価を以下の方法で実施した。
画像評価は、連続通紙試験前のハーフトーンにおける画像濃度ムラと連続通紙試験後のハーフトーンにおける画像濃度ムラを比較して画像濃度ムラ変動を検証した。
評価方法は、ハーフトーン画像について、前記5個の各領域に対応する画像位置で、領域毎に任意の3点を反射濃度計(X−Rite Inc製:504 分光濃度計)により画像濃度を測定し、濃度の平均値を各領域の濃度とした。5個の領域における最大濃度と最小濃度の差分を画像濃度ムラとした。そして、連続通紙試験前と連続通紙試験後の画像濃度ムラの差分を画像濃度ムラ変動とした。
画像濃度ムラ変動は以下の基準で判定した。
◎ :0.01未満(優)
○ :0.01以上0.02未満(良)
△ :0.02以上0.03未満(可)
× :0.03以上(不可)
これは、均一なC/(Si+C)の分布では、前述したように気流発生手段を用いた場合、排気側は放電生成物が多くなり摩耗量が増加し摩耗量にムラができるからであると考えられる。しかし、実施例1のように排気側に向かってC/(Si+C)を漸次大きくすることで、排気側の摩耗量が減少して摩耗量のムラが低減されると考えられる。
このことから、気流発生手段の排気側に向かってC/(Si+C)を漸次大きくすることが、摩耗量ムラ抑制に効果があり、画像が良好に保たれることがわかった。
比較例1と全く同じ成膜条件で電子写真感光体を1本作製した。作製した電子写真感光体を、図1に示す改造電子写真装置に気流発生装置を設けない以外は同様に改造した電子写真装置に前述の実施例1および比較例1と同様に設置し、比較例1と同様の摩耗量評価および画像評価を行った。
その結果を、実施例1、比較例1の結果とともに表4に示す。
これは、気流発生手段が設けない場合は、放電生成物が電子写真装置内に滞留して高濃度になることで、電子写真感光体の表面の変質が促進され、摩耗量が増加したと考えられる。
このことから、気流発生手段が摩耗量低減には重要であることが確認された。
C/(Si+C)が実施例1の各領域を各々比較した場合に実施例1より大きくなるように電子写真感光体を作製した。作製は、図6に示したガス導入口6115の位置を調整したプラズマ処理装置を用いて電子写真感光体を作製した。成膜条件は、電荷注入阻止層および光導電層は実施例1と同じ条件で、表面層は表5に示す条件で行った。電子写真感光体は、同じ成膜条件(層形成条件)で2本作製した。
表4から明らかなように、C/(Si+C)を全域で実施例1より大きく、0.75以下にした場合においても、回転軸方向で一方の端部から他方の端部に向かってC/(Si+C)が漸次大きくなっている電子写真感光体では、摩耗量ムラが低減した。また、画像濃度ムラ変動も抑制されることがわかった。
比較例3として、C/(Si+C)が実施例1の各領域を各々比較した場合に実施例1より小さくなるように電子写真感光体を作製した。作製は、図6に示したガス導入口6115の位置を調整したプラズマ処理装置を用いて電子写真感光体を作製した。成膜条件は、電荷注入阻止層および光導電層は実施例1と同じ条件で、表面層は表5に示した条件で行った。電子写真感光体は、同じ成膜条件(層形成条件)で2本作製した。
表4から明らかなように、C/(Si+C)の平均値を0.56にした場合は、実施例1と同様に、回転軸方向で一方の端部から他方の端部に向かってC/(Si+C)が漸次大きくなっている電子写真感光体では、やはり摩耗量ムラが低減することがわかった。また、画像濃度ムラ変動も抑制されることがわかった。しかし、平均摩耗量は増加することがわかった。これは、放電生成物による反応の起点となるSi原子の比率が高くなったため、変質が促進されたためと考えられる。
このことから、C/(Si+C)が0.61以上の範囲であることが重要であることがわかった。
C/(Si+C)が実施例2の各領域を各々比較した場合に実施例2より大きくなるように電子写真感光体を作製した。作製は、図6に示したガス導入口6115の位置を調整し、図6のプラズマ処理装置を用いて電子写真感光体を作製した。成膜条件は、電荷注入阻止層および光導電層は実施例1と同じ条件で、表面層は表5に示した条件で行った。電子写真感光体は、同じ成膜条件(層形成条件)で2本作製した。
実施例1と同様に、作製した電子写真感光体の1本を用いて、回転軸方向について分割した5箇所の領域で分析を行ない、各領域のC/(Si+C)、Si原子密度、C原子密度、Si+C原子密度の値を求めた。その結果を表8に示す。
表4から明らかなように、C/(Si+C)の平均値を0.83のように大きくした場合にも、実施例1と同様に、以下の効果が得られることがわかった。回転方向で一方の端部から他方の端部に向かってC/(Si+C)が漸次大きくなっているa−SiC表面層の電子写真感光体では、やはり摩耗量ムラが低減する。しかし、平均摩耗量は比較例3と同様に増加することがわかった。
これは、(Si+C)原子密度が同程度で、C原子の比率が高くなることでグラファイト成分が増加したために平均摩耗量が増加したと考えられる。
このことから、C/(Si+C)が0.75以下の範囲であることが重要であることがわかった。
実施例1と全く同様の条件で作製した電子写真感光体を用いて、感光体設置方法のみ変更し、他は実施例1と同様の改造電子写真装置、評価条件で摩耗量評価を実施した。
電子写真感光体を、実施例1と逆の配置で、すなわち、C/(Si+C)が小さいほうの端部である領域No.1を図7の排気ファン707側となるように設置した。よって、C/(Si+C)が大きい領域No.5を排気から離れた領域701に対応させて設置した。この場合における摩耗量評価および画像評価の結果を表4に示した。
これは、放電生成物が多い排気側に、C/(Si+C)が小さい端部を配置したために、排気側の摩耗量が増大し、さらにもう一方の端部の摩耗量が減少したために摩耗量のムラが大きくなったと考えられる。
このことから、C/(Si+C)の分布と排気する方向が重要であることがわかった。
実施例3は、実施例1と全く同様の条件で作製した電子写真感光体を用いて、改造した電子写真装置を図8に示す電子写真装置に変更した以外は、実施例1と同様の摩耗量評価を行った。この際、図8に示した電子写真装置は、気流発生手段815によって空気を電子写真感光体801の表面に対向する帯電部材802の内部を通過させた後に、電子写真感光体801の表面に吹き付けられるように改造した。
摩耗量評価および画像評価の結果を表4に示した。
表4の結果から明らかなように、気流発生手段によって空気を電子写真感光体の表面に対向するに帯電部材の内部を通過させた後に、電子写真感光体の表面に吹き付けることによって、平均摩耗量が低減することがわかった。また、画像濃度ムラ変動も抑制された。
これは、帯電部材の内部を通過して空気を吹き付けることによって、最も放電生成物が滞留しやすい帯電器の放電部分から効果的に放電生成物を排除できたためと考えられる。このことから、帯電部材の内部を通過して空気を吹き付ける、もしくは帯電部材の表面から空気を吹き付けることが重要であるとわかった。
実施例2と全く同様の条件で作製した電子写真感光体を用いて、実施例3と同様の改造電子写真装置で、実施例3と同様の摩耗量評価を行った。摩耗量評価および画像評価の結果を表4に示した。
表4の結果から実施例3と同様に、気流発生手段によって空気を電子写真感光体の表面に対向するに帯電部材の内部を通過させた後に、電子写真感光体の表面に吹き付けることによって、平均摩耗量が低減することがわかった。また、画像濃度ムラ変動も抑制された。
C/(Si+C)が全域で0.61以上0.75以下になり、(Si+C)原子密度の平均値が6.60×1022原子/cm3程度になるように電子写真感光体を作製した。電子写真感光体の作製は、図6に示したガス導入口6115の位置を調整し、図6のプラズマ処理装置を用いて行なった。成膜条件は、電荷注入阻止層および光導電層は実施例1と同じ条件で、表面層は表5に示した条件で行った。電子写真感光体は、同じ成膜条件(層形成条件)で2本作製した。
表4から明らかなように、実施例2および実施例4と同様にC/(Si+C)の値を0.75までの範囲にした場合において、(Si+C)原子密度を6.60×1022原子/cm3に増加させると、平均摩耗量がさらに低減することがわかった。また、画像濃度ムラ変動も抑制されることがわかった。
これは、a−SiC表面層の構成原子間の距離が短縮されることにより、結合力が高くなること、およびグラファイト成分が低減されるため、変質が抑制され、摩耗量が低減したことによるものであると考えられる。
C/(Si+C)が全域で0.61以上0.75以下になり、(Si+C)原子密度の平均値が実施例5より大きくなるように電子写真感光体を作製した。電子写真感光体の作製は、図6に示したガス導入口6115の位置を調整し、図6のプラズマ処理装置を用いて行なった。その結果、後述の分析結果のように、作製した電子写真感光体の中では、(Si+C)原子密度の平均値は7.70×1022原子/cm3が最大であった。成膜条件は、電荷注入阻止層および光導電層は実施例1と同じ条件で、表面層は表5に示した条件で行った。電子写真感光体は、同じ成膜条件(層形成条件)で2本作製した。
実施例1と同様に、作製した電子写真感光体の1本を用いて、回転軸方向について分割した5箇所の領域で分析を行ない、各領域のC/(Si+C)、Si原子密度、C原子密度、Si+C原子密度の値を求めた。その結果を表10に示す。
表4から明らかなように、実施例2および実施例4と同様にC/(Si+C)の値を0.75までの範囲にした場合において、(Si+C)原子密度を7.70×1022原子/cm3に増加させると、実施例5と同様に平均摩耗量が低減することがわかった。また、画像濃度ムラ変動も抑制されることがわかった。
これは、実施例5と同様に、a−SiC表面層の構成原子間の距離が短縮されることにより、結合力が高くなること、およびグラファイト成分が低減されるため、変質が抑制され、摩耗量が低減したことによるものであると考えられる。
実施例7は、実施例5と全く同様の条件で作製した電子写真感光体を用いて、実施例3と同様の改造電子写真装置で実施例3と同様の摩耗量評価を行った。摩耗量評価および画像評価の結果を表4に示した。
これは、実施例5および実施例6と同様に、a−SiC表面層の構成原子間の距離が短縮されることにより、結合力が高くなること、およびグラファイト成分が低減されるため、変質が抑制され、摩耗量が低減したことによるものであると考えられる。
実施例8は、実施例6と全く同様の条件で作製した電子写真感光体を用いて、実施例3と同様の改造した電子写真装置で実施例3と同様の摩耗量評価を行った。摩耗量評価および画像評価の結果を表4に示した。
これは、実施例5および実施例6、実施例7と同様に、a−SiC表面層の構成原子間の距離が短縮されることにより、結合力が高くなること、およびグラファイト成分が低減されるため、変質が抑制され、摩耗量が低減したことのよるものであると考えられる。
Claims (3)
- アモルファスシリコンカーバイドで構成された表面層を有する電子写真感光体を有する電子写真装置において、
該表面層におけるケイ素原子の原子密度(Si)と炭素原子の原子密度(C)との和に対する炭素原子の原子密度(C)の比(C/(Si+C))が、該電子写真感光体の回転軸方向において一方の端部から他方の端部に向かって大きくなっており、かつ該回転軸方向の全領域において0.61以上0.75以下であり、
該電子写真装置が、該一方の端部側から該他方の端部側に向かって排気する気流発生手段を有する
ことを特徴とする電子写真装置。 - 前記気流発生手段が、前記電子写真感光体の表面に対向する帯電部材の表面から空気を吹き付ける手段を有する請求項1に記載の電子写真装置。
- 前記表面層におけるケイ素原子の原子密度と炭素原子の原子密度との和が6.60×1022原子/cm3以上である請求項1または2に記載の電子写真装置。
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