JP2007503096A - スパッタ処理システムにおけるプラズマ遷移の制御 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、共振回路および短絡スイッチの共同作用が、アークの開始に対するより優れた反応、異なるプラズマ状態同士の改善された遷移、および向上したプラズマの点火をもたらすことを実現したことに、部分的に起因する。発明の原理によると、共振回路は、短絡された時、プラズマ電流をゼロにし、短い期間プラズマを消すことで、例えば、アーク関連の損傷が効果的に減少する。また、共振回路および短絡の共同作用は、グローおよびアーク放電プラズマの点火を改善できる。
Claims (53)
- 物質処理に使用されるプラズマを制御する装置であって、
インダクタを備える共振回路であって、該共振回路は、電源の出力とプラズマ容器の入力と電気的通信状態にあり、エネルギーを蓄積および解放するためのものである、共振回路と、
該プラズマ容器のプラズマ状態に関連する信号を取得するセンサーであって、該インダクタによって引き起こされる流動を検出するように構成される、センサーと、
該信号に応答し、第一状態と第二状態とを切り替わることができるスイッチ部であって、該スイッチ部の該第二状態は、プラズマ状態の変化を引き起こす該共振回路の共振を可能とするように該共振回路を短絡するためのものである、スイッチ部と
を備える、装置。 - 前記センサーが、前記共振回路の前記インダクタの付近に同軸上に配置される、請求項1に記載の装置。
- 前記スイッチ部が、短絡中に前記共振回路のダンピングインピーダンスとして効果的に作用するのに十分大きい抵抗を有する、請求項1に記載の装置。
- 前記スイッチ部が、前記プラズマ容器にあるアーク放電プラズマの抵抗よりも小さな抵抗を有する、請求項3に記載の装置。
- 前記スイッチ部が、前記プラズマ容器にあるアーク放電プラズマのインピーダンスよりも大きなインピーダンスを有する、請求項3に記載の装置。
- 前記スイッチ部の抵抗が、約0.001Ωから約100.0Ωの範囲の値を有する、請求項3に記載の装置。
- 前記センサーからの前記信号を受信するためかつスイッチ部を前記第一状態と前記第二状態とのうちの少なくとも1つに切り替えさせて前記プラズマの状態に影響を及ぼすためのコントローラをさらに備える、請求項1に記載の装置。
- 前記コントローラが、前記プラズマの状態の遷移が前記信号の変化によって示されたときにおいて、前記スイッチ部を前記第二状態に切り替えるように構成されている、請求項7に記載の装置。
- 前記プラズマ容器の入力に並列の電圧クランプ回路をさらに備える、請求項1に記載の装置。
- 前記電圧クランプが、非対称電圧クランプである、請求項9に記載の装置。
- 前記スイッチ部と該スイッチ部に関連する寄生回路素子とのうちの少なくとも1つの抵抗によって引き起こされる電圧降下に関連したオフセット電圧を該スイッチ部に印加するための、該スイッチ部と直列のゼロバイアス供給部をさらに備える、請求項1に記載の装置。
- 前記共振回路と、前記電源と、前記プラズマ容器の入力とのうちの少なくとも1つの電圧を検出するための電圧センサーをさらに備える、請求項1に記載の装置。
- 前記共振回路と、前記電源と、前記プラズマ容器の入力とのうちの少なくとも1つの電流を検出するための電流センサーをさらに備える、請求項1に記載の装置。
- 前記スイッチ部が、少なくとも1つのスイッチを備える、請求項1に記載の装置。
- 前記スイッチ部が、前記共振回路のインダクタと前記プラズマ容器の入力との間に電気接続された1つの端子を有する、請求項14に記載の装置。
- 前記スイッチ部が、ユニポーラデバイスとバイポーラデバイスとのうちの少なくとも1つを備える、請求項14に記載の装置。
- 前記スイッチ部が、ガススイッチと、SCRスイッチと、IGBTスイッチと、SiTスイッチと、FETスイッチと、GTOスイッチと、MCTスイッチとのうちの少なくとも1つを備える、請求項14に記載の装置。
- 前記プラズマ容器が、前記電源の出力と電気的通信状態にあるカソードを備え、該電源がDC供給を備える、請求項1に記載の装置。
- 前記電源が、前記プラズマ容器と電気的通信状態にあるAC供給を備える、請求項1に記載の装置。
- 前記共振回路と前記電源とが部品を共有する、請求項1に記載の装置。
- 物質処理に使用されるプラズマを制御する方法であって、
電源の出力およびプラズマ容器の入力と電気的通信状態にある共振回路を提供するステップであって、該共振回路はエネルギーを蓄積し解放する、ステップと、
該プラズマ容器のプラズマの状態の遷移を示す変化を検出するステップであって、該遷移は、該プラズマ容器においてグロープラズマからアーク放電プラズマを開始することを包含する、ステップと、
変化が検出された後に半サイクル期間該共振回路を短絡することによって、該共振回路の共振を可能とするステップと
を包含する、方法。 - 前記プラズマの状態に関連する信号を取得するステップをさらに包含し、検出することが該信号の変化を検出することを包含する、請求項21に記載の方法。
- 前記プラズマが、グロープラズマとアーク放電プラズマとのうちの少なくとも1つである、請求項21に記載の方法。
- 前記共振回路を短絡するためのスイッチ部を提供するステップをさらに包含し、短絡するステップが、該共振回路の前記半サイクル期間、前記スイッチを閉じるステップを包含する、請求項21に記載の方法。
- 前記アーク放電プラズマが存続する場合において再度短絡する前に半サイクル期間待機するステップをさらに包含する、請求項21に記載の方法。
- 前記変化が検出されなくなるまで短絡と待機とを繰り返すステップをさらに包含する、請求項25に記載の方法。
- 前記共振回路と、前記電源と、前記プラズマ容器とのうちの少なくとも1つの電圧信号と電流信号とのうちの少なくとも1つを有する第二信号を少なくとも取得するステップをさらに包含し、前記繰り返すステップが、該少なくとも第二信号が持続的なアーク放電プラズマを示す場合において繰り返すステップを包含する、請求項26に記載の方法。
- 前記繰り返すステップが所定回数以上発生したときにおいて、前記短絡するステップが前記電源を停止させるステップを包含する、請求項26に記載の方法。
- 前記繰り返すステップが所定期間内に前記所定回数以上発生したときにおいて、前記短絡するステップが、前記電源を停止させるステップを包含する、請求項28に記載の方法。
- 前記共振回路と、前記電源と、前記プラズマ容器とのうちの少なくとも1つの電圧信号と電流信号とのうちの少なくとも1つを有する第二信号を少なくとも取得するステップと、前記プラズマの状態の前記遷移を示す前記第二信号の変化を検出するステップとをさらに包含する、請求項21に記載の方法。
- 前記取得した信号の第2の変化を検出するステップをさらに包含し、該第2の変化は、前記プラズマの消滅を示す、請求項21に記載の方法。
- 前記プラズマ容器の前記プラズマを再点火するステップをさらに包含する、請求項31に記載の方法。
- 前記再点火するステップが、前記共振回路を短絡することによって該共振回路に蓄えられるエネルギーを増加させるステップと、前記プラズマ容器の前記プラズマを点火するために該蓄積されたエネルギーを該プラズマ容器の入力に導くように前記短絡を取り除くステップとを包含する、請求項32に記載の方法。
- 物質の処理に使用されるプラズマを点火する方法であって、
電源の出力およびプラズマ容器の入力と電気的通信状態にある共振回路を提供するステップであって、該共振回路は、エネルギーを蓄積し解放する、ステップと、
該プラズマ容器のプラズマの状態の遷移を示す変化を検出するステップと、
該共振回路が該電源の電流をアーク放電プラズマの定常状態の電流より大きくさせるまで、該共振回路を短絡することによって、該共振回路に蓄積されたエネルギーを増加するように、該共振回路を短絡するステップと、
該プラズマ容器内で該プラズマを点火するために該プラズマ容器の入力に対して該蓄積したエネルギーを導くように、該短絡を取り除くステップであって、該プラズマ容器の入力に該電流を切り替えるステップを包含する、方法。 - 前記蓄積したエネルギーを増加させるように短絡するステップが、前記共振回路に蓄積されたエネルギーを増加させるように、該共振回路のサイクルの有効期間該共振回路を短絡するステップを包含し、前記短絡を取り除くステップが、前記プラズマ容器のグロー放電プラズマを点火するために該サイクルの該有効期間が経過した後において、前記プラズマ容器の入力に該蓄積したエネルギーを導くステップを包含する、請求項34に記載の方法。
- 前記共振回路が、前記電源の出力および前記プラズマ容器の入力と直列のインダクタを備え、前記信号を検出するステップが、該インダクタによって引き起こされた流動を検出するステップを包含する、請求項21または34に記載の方法。
- 前記プラズマの状態の遷移が、グロープラズマ状態からアーク放電プラズマ状態と、アークプラズマ状態からグロープラズマ状態と、アーク放電プラズマ状態からオフ状態と、グロープラズマ状態からオフ状態と、オフ状態からアーク放電プラズマ状態と、オフ状態からアーク放電プラズマ状態とのうちの1つである、請求項21または34に記載の方法。
- 前記共振回路が、コンデンサおよびインダクタを備え、前記短絡するステップが、前記プラズマ容器の入力に印加される電流の反転を引き起こすように該共振回路で電流を共振させるステップを包含する、請求項21または34に記載の方法。
- 前記逆電圧の大きさを所定の大きさ未満に制限するために、該逆電流をクランプするステップをさらに包含する、請求項38に記載の方法。
- 物質の処理に使用されるプラズマを点火する方法であって、
電源の出力およびプラズマ容器の入力と電気的通信状態にある共振回路を提供するステップであって、該共振回路は、エネルギーを蓄積し解放する、ステップと、
該共振回路が該電源の電流をアーク放電プラズマの定常状態電流よりも大きくさせるまで該共振回路を短絡することによって、該共振回路に蓄積されたエネルギーを増加するように該共振回路を短絡するステップと、
該プラズマ容器のプラズマを点火するために該蓄積したエネルギーを該プラズマ容器の入力に導くように該短絡を取り除くステップであって、該プラズマ容器の入力に該電流を切り替えるステップを包含する、ステップと
を包含する、方法。 - 前記短絡ステップするが、前記共振回路に蓄積されたエネルギーを増加させるように、該共振回路のサイクルの有効期間該共振回路を短絡するステップを包含し、前記短絡を取り除くステップが、前記プラズマ容器のグロープラズマを点火するために、該サイクルの有効期間を経過した後、該蓄積したエネルギーを該プラズマ容器に導くステップを包含する、請求項40に記載の方法。
- 前記サイクルの前記有効期間が半サイクルである、請求項41に記載の方法。
- 前記プラズマ容器のプラズマの状態に関連する信号を検出するステップをさらに包含する、請求項40に記載の方法。
- 物質の処理に使用されるプラズマを点火する方法であって、
電源の出力およびプラズマ容器の入力と電気的通信状態にある共振回路を提供するステップであって、該共振回路は、エネルギーを蓄積し解放する、ステップと、
該共振回路に蓄積されたエネルギーを増加させるように該共振回路を短絡するステップと、
該プラズマ容器のプラズマを点火するために該蓄積したエネルギーを該プラズマ容器の入力に導くように、短絡を取り除くステップと、
該プラズマ容器のプラズマ状態に関連する信号を検出するステップと、
所望のプラズマ状態を点火するのに失敗したことを該信号が示す場合において、短絡を行い、該短絡を取り除くことを繰り返すステップと、
を包含する、方法。 - 前記繰り返すステップが、グロープラズマが点火されるか、該グロープラズマを点火することに所定数回失敗するか、所定の失敗期間が終了するかのうちの一つが起きるまで繰り返すステップを包含する、請求項44に記載の方法。
- 前記繰り返すステップが、アーク放電プラズマが点火されるか、該アーク放電プラズマを点火することに所定数回失敗するか、所定の失敗期間が終了するかのうちの一つが起きるまで繰り返すステップを包含する、請求項44に記載の方法。
- 前記プラズマ容器にあるプラズマの好ましくないプラズマ状態を前記信号が示す場合において、該プラズマ容器のプラズマを消すように短絡するステップをさらに包含する、請求項43または44に記載の方法。
- 物質の処理に使用されるプラズマを点火する方法であって、
電源の出力およびプラズマ容器の入力と電気的通信状態にあるインダクタを含む共振回路を提供するステップであって、該共振回路は、エネルギーを蓄積し解放し、該蓄積したエネルギーの大部分は該インダクタによって蓄積される、ステップと、
該共振回路に蓄積されたエネルギーを増加させるように該共振回路を短絡するステップと、
該プラズマ容器のプラズマを点火するために、該蓄積したエネルギーを該プラズマ容器の入力に導くように該短絡を取り除くステップと
を包含する、方法。 - 前記電源の前記インダクタまたは該電源の該インダクタの一部が、前記共振回路によって共有される、請求項48に記載の方法。
- 前記蓄積したエネルギーの大部分が、前記電源のインダクタによって蓄積される、請求項40に記載の方法。
- 前記電源の前記インダクタが、前記共振回路のインダクタよりも大きなインダクタンスを有する、請求項50に記載の方法。
- 前記プラズマの状態の遷移を示す変化を検出するステップが、該プラズマの状態の遷移を予想する変化を検出するステップを包含する、請求項40、44または48に記載の方法。
- 前記変化が検出された後において、前記共振回路を短絡するステップが、前記遷移が発生する前に短絡するステップを包含する、請求項52に記載の方法。
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