JP7307695B2 - プラズマ源の状態を検出する方法およびプラズマ源 - Google Patents

Description

本発明は、プラズマ源の状態を検出する方法およびプラズマ源に関する。

誘導結合プラズマ（Inductively Coupled Plasma、以下「ＩＣＰ」）は、半導体装置の製造を含む様々な用途に用いられ、たとえば半導体装置の製造では、シリコンウェハに対するエッチング工程や、ＣＶＤ法による膜の生成等に用いられる。特許文献１および２には、ＩＣＰを用いた半導体装置の製造技術が開示されている。

ＩＣＰを発生させるプラズマ源（誘導結合型のプラズマ源）では、ＩＣＰを発生させるために、まず容量結合プラズマ（Capacitively Coupled Plasma、以下「ＣＣＰ」）を発生させ、これをＩＣＰに変化させるものが知られている。この場合において、プラズマがＣＣＰからＩＣＰに変化したことを検出することが重要となる。

従来技術では、ＣＣＰからＩＣＰへの変化を検出する際に、プラズマからの発光を計測し、発光強度に基づいて確認していた。特許文献１および２でも、発光強度に基づく判定が行われている。

特開２００２－３４３６００号公報 特開２００８－１９８６９５号公報

しかしながら、従来の技術では、プラズマがＣＣＰからＩＣＰに変化したことを正確に検出するのが困難であるという課題があった。

たとえば、特許文献１および２のように発光強度に基づいて判断する場合には、そもそもプラズマはＣＣＰとして着火した場合に発光するので、ＣＣＰの発生と、ＣＣＰからＩＣＰへの変化とを区別して判断することが難しい。一般的にＩＣＰのほうが明るく、発光強度も大きいことがわかっているが、正確に判定できる閾値を設定することは困難である。

また、ＣＣＰおよびＩＣＰの発光強度は、プラズマを構成するガスの種類によって変化するので、各種のガスに共通して使用できる閾値を設定するのは困難であり、単一の閾値が有効に機能する条件は限定的である。

本発明はこのような課題を解決するためになされたものであり、プラズマがＣＣＰからＩＣＰに変化したことをより正確に検出することができる方法およびプラズマ源を提供することを目的とする。

本発明に係る方法の一例は、
誘導結合型のプラズマ源の状態を検出する方法であって、
前記プラズマ源は、直流電源回路と、インバータ回路と、共振回路と、放電部とを備え、
前記方法は、
前記放電部において容量結合プラズマを発生させるステップと、
前記容量結合プラズマが発生した後に、前記直流電源回路の出力端における電圧および電流を取得するステップと、
前記電圧の増加分に対する前記電流の増加分の比率を表す電流増加率を取得するステップと、
前記電流増加率の変化に応じて第１信号を出力するステップと、
を備える。

一例では、前記電流増加率を取得する前記ステップにおいて、
前記容量結合プラズマが発生している状態における前記電流増加率である第１電流増加率と、
前記第１電流増加率より後に取得される前記電流増加率である第２電流増加率と、
が取得され、
前記第１信号は、前記第１電流増加率に対する前記第２電流増加率の比率が、所定の閾値を超える場合に出力される。

本発明に係る方法の一例は、
誘導結合型のプラズマ源の状態を検出する方法であって、
前記プラズマ源は、直流電源回路と、インバータ回路と、共振回路と、放電部とを備え、
前記方法は、
前記放電部において容量結合プラズマを発生させるステップと、
前記容量結合プラズマが発生した後に、前記直流電源回路の出力端における電力および電流、又は、前記直流電源回路の出力端における電力および電圧を取得するステップと、
前記電流を前記電力で微分した値が増加から減少に転じた場合、又は、前記電圧を前記電力で微分した値が減少から増加に転じた場合に、第１信号を出力するステップと、
を備える。

一例では、前記第１信号は、プラズマが前記容量結合プラズマから誘導結合プラズマに変化したことを表す信号である。

本発明に係るプラズマ源の一例は、
誘導結合型のプラズマ源であって、
前記プラズマ源は、直流電源回路と、インバータ回路と、共振回路と、放電部とを備え、
前記プラズマ源は、
前記放電部において容量結合プラズマを発生させ、
前記容量結合プラズマが発生した後に、前記直流電源回路の出力端における電圧および電流を取得し、
前記電圧の増加分に対する前記電流の増加分の比率を表す電流増加率を取得し、
前記電流増加率の変化に応じて第１信号を出力する。

本発明に係るプラズマ源の一例は、
誘導結合型のプラズマ源であって、
前記プラズマ源は、直流電源回路と、インバータ回路と、共振回路と、放電部とを備え、
前記プラズマ源は、
前記放電部において容量結合プラズマを発生させ、
前記容量結合プラズマが発生した後に、前記直流電源回路の出力端における電力および電流、又は、前記直流電源回路の出力端における電力および電圧を取得し、
前記電流を前記電力で微分した値が増加から減少に転じた場合、又は、前記電圧を前記電力で微分した値が減少から増加に転じた場合に、第１信号を出力する。

本発明に係る、プラズマ源の状態を検出する方法およびプラズマ源によれば、プラズマがＣＣＰからＩＣＰに変化したことをより正確に検出できる。

本発明の実施形態１に係るプラズマ源の構成の例を示す図。 実施の形態１において測定される電圧および電流の関係を示すグラフ。 実施形態１に係るプラズマ源の状態を検出する方法のフローチャート。 実施形態２において測定される電力と、電流および電圧との関係を示すグラフ。 図４の結果を微分して表したグラフ。 実施形態２に係るプラズマ源の状態を検出する方法のフローチャート。

以下、本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。

実施形態１．
図１に、実施形態１に係るプラズマ源１０の構成の例を示す。プラズマ源１０は誘導結合型のプラズマ源である。実施形態１では、プラズマ源１０における電圧の増加に対する電流の挙動に応じて検出を行う。

プラズマ源１０は、直流電源回路２０と、インバータ回路３０と、共振回路４０と、放電部５０と、制御手段６０とを備える。

直流電源回路２０、インバータ回路３０、共振回路４０および放電部５０は、この順に接続される。すなわち、直流電源回路２０の出力端とインバータ回路３０の入力端とが接続され、インバータ回路３０の出力端と共振回路４０の入力端とが接続され、共振回路４０の出力端と放電部５０の入力端とが接続される。

直流電源回路２０は直流電圧を供給する。インバータ回路３０は直流電圧を交流電圧に変換する。交流電圧の周波数はたとえばＲＦ周波数であり、より具体的な例としては２ＭＨｚまたは約２ＭＨｚである。

共振回路４０は交流電圧を利用して共振現象を起こし、共振した電圧を放電部５０に供給する。本実施形態では、共振回路４０はＬＣ回路部４１およびコンデンサ４２を備え、コンデンサ４２はＬＣ回路部４１に対して放電部５０と並列に接続される。なお、共振回路４０の構成は図示のものに限らない。

放電部５０は、放電管（とくに図示しない）とアンテナ５１とを備える。
放電管は、たとえば誘電体（絶縁体）で形成された円筒面状の放電容器であり、その内部でプラズマが生成される。アンテナ５１は、放電管を取り囲むようにコイル状に形成される導電体であり、共振回路４０に接続される。図１では放電部５０においてアンテナ５１に直列接続した抵抗５２を図示しているが、この抵抗５２は、無負荷時のコイルの抵抗値である。

なお、アンテナ５１の形状はコイル状に限定されない。また、アンテナ５１は、放電管を冷却するために、パイプ形状で内部に水等の冷媒を流すようにしてもよい。また、アンテナ５１は必ずしも放電管を取り囲むように形成される必要は無く、放電管を形成する誘電体（絶縁体）の内部に形成するようにしてもよい。

放電部５０は、供給される電圧を用いてプラズマを発生させる。たとえば、放電容器内にガスを流通させた状態でアンテナ５１に交流電圧が印加されると、アンテナ５１のコイルの端子間電圧によってガスが電離され、プラズマが生成される。これは、コイルの端子間の電界によって結合しているプラズマであり、すなわちＣＣＰである。

ＣＣＰが発生している状態で、アンテナ５１に印加する電圧をさらに増大させると、コイルの周囲に磁場が形成されて誘導電界が発生し、それによりＩＣＰが発生する。ＩＣＰは、半導体装置の製造等に用いられるプラズマであり、用途に応じて維持および管理される。

制御手段６０は、プラズマ源１０の動作を制御する。たとえば、制御手段６０は、ドライバーアンプ７０を介して直流電源回路２０に接続され、ドライバーアンプ８０を介してインバータ回路３０に接続される。

制御手段６０は、直流電源回路２０の状態を表す測定信号（たとえば電圧信号Ｃ１および電流信号Ｃ２）を取得し、これに応じてプラズマ源１０を制御する。プラズマ源１０の制御は、たとえば直流電源回路２０に制御信号Ｃ３を送信し、インバータ回路３０に制御信号Ｃ４を送信することによって行われる。

また、制御手段６０は、プラズマ源１０の回路における電圧および電流を取得することができる。このためにプラズマ源１０は測定手段を備える。実施形態１では測定手段はＶＩセンサ９０であり、インバータ回路３０と共振回路４０との間に配置される。制御手段６０は、ＶＩセンサ９０から測定信号Ｃ５を受信することによって電圧および電流を取得する。なお、図１におけるＶＩセンサ９０の位置は一例であり、電圧および電流を測定すべき回路部分に応じて適切な位置に変更することができる。

直流電源回路２０、制御手段６０、ドライバーアンプ７０およびドライバーアンプ８０には、図示しない電源が接続され、これらに電力を供給する。

図２は、プラズマ源１０を用いてＩＣＰを発生させた場合に、測定される電圧および電流の関係を示すグラフである。横軸は、図略の電圧測定手段で測定した直流電源回路２０の出力端における電圧［Ｖ］である。縦軸は、図略の電圧測定手段で測定した直流電源回路２０の出力端における電流［Ａ］を表す。

実施形態１では、放電容器内のガスとして、酸素と窒素を混合したものを供給した。ガスの気圧は合計１００Ｐａとし、ガスの流量を異ならせて複数回の測定を行った。

図２において、●記号は、酸素の流量を１０００ｓｃｃｍ（Standard Cubic Centimeter per Minute）とし、窒素の流量を１００ｓｃｃｍとした場合のグラフを示す。▲記号は、酸素の流量を１５００ｓｃｃｍとし、窒素の流量を１００ｓｃｃｍとした場合のグラフを示す。

電圧が低い範囲（大まかに３５Ｖ程度以下）はプラズマが発生していない無負荷の状態に対応し、電圧の増加に対して電流がほぼ一定の増加率で増加する。電圧が増加し、大まかに３５Ｖ程度を超えるとＣＣＰが発生するが、その後も電圧の増加に対して電流がほぼ一定の増加率で増加する。

さらに電圧が増加すると、プラズマがＣＣＰからＩＣＰに変化する。この電圧は、酸素１０００ｓｃｃｍ、窒素１００ｓｃｃｍの場合（●グラフに対応する）の場合には約１２０Ｖ（破線で示す）であり、酸素１５００ｓｃｃｍ、窒素１００ｓｃｃｍの場合（▲グラフに対応する）の場合には約１３０Ｖ（一点鎖線で示す）であった。

図２の●グラフ（酸素１０００ｓｃｃｍ、窒素１００ｓｃｃｍ）の例では、電圧が約１２０Ｖ（破線）を超えると、電流の増加率がより大きい値に変化する。また、図２の▲グラフ（酸素１５００ｓｃｃｍ、窒素１００ｓｃｃｍ）の例では、電圧が約１３０Ｖ（一点鎖線）を超えると、電流の増加率がより大きい値に変化する。このように、プラズマがＣＣＰからＩＣＰに変化する点の電圧と、電流の増加率が変化する点の電圧とはよく一致している。

なお、図２には示さないが、その後さらに電圧を増加させると電流の増加率は低い値に戻る。

図３は、実施形態１に係るプラズマ源の状態を検出する方法のフローチャートである。プラズマ源１０は、この方法を実行することによりプラズマ源１０の状態を検出する。プラズマ源１０の状態は、たとえばプラズマ源１０によって発生するプラズマの状態を含む。プラズマの状態は、たとえばプラズマがＣＣＰであるかＩＣＰであるかを表す。プラズマ源１０の放電容器にガスを流通させた状態で、図３の方法が開始される。

まず、プラズマ源１０の放電部５０に電圧を印加し、これによって、放電部５０においてＣＣＰを発生させる（ステップＳ１）。ＣＣＰが発生した後、制御手段６０は、プラズマ源１０に係る電圧および電流を測定して取得する（ステップＳ２）。

図１の例では、この測定はＶＩセンサ９０を介して行われる。すなわち、制御手段６０は、インバータ回路３０および共振回路４０の接続点における電圧（より厳密な表現の例としては、たとえば当該接続点とグランドとの間の電圧）と、当該接続点に流れる電流とを測定する。

ここで、ＶＩセンサ９０が測定する電圧に基づいて直流電源回路２０の出力電圧を算出することができるので、ＶＩセンサ９０が測定する電圧は直流電源回路２０の出力端における電圧と等価であるということができる。同様に、ＶＩセンサ９０が測定する電流に基づいて直流電源回路２０の出力電流を算出することができるので、ＶＩセンサ９０が測定する電流は直流電源回路２０の出力端における電流と等価であるということができる。

本実施形態では、電圧および電流は正の値をとるものとする。また、交流の場合には、実効値であってもよく、最大値であってもよく、平均値であってもよく、他の適切に算出される値であってもよい。

なお、ステップＳ２で取得される電圧および電流の測定方法は、図１に示すＶＩセンサ９０を用いる方法に限らない。たとえば電圧は、直流電源回路２０の出力端における電圧に換算できる電圧であれば等価であり、たとえば直流電源回路２０の出力端における電圧そのものを直接的に測定した値であってもよいし、インバータ回路３０の入力端における電圧を測定した値であってもよいし、インバータ回路３０の出力端における電圧を測定した値であってもよいし、共振回路４０の入力端における電圧を測定した値であってもよいし、共振回路４０の出力端における電圧を測定した値であってもよいし、放電部５０の入力端における電圧を測定した値であってもよい。

電流についても同様に、直流電源回路２０の出力端における電流に換算できる電流であれば等価であり、たとえば直流電源回路２０の出力端における電流そのものを直接的に測定した値であってもよいし、インバータ回路３０の入力端における電流を測定した値であってもよいし、インバータ回路３０の出力端における電流を測定した値であってもよいし、共振回路４０の入力端および出力端の間における電流を測定した値であってもよいし、コンデンサ４２における電流を測定した値であってもよいし、放電部５０における電流を測定した値であってもよい。

ステップＳ２の後、制御手段６０は、ステップＳ２で取得される電圧の増加分に対する、ステップＳ２で取得される電流の増加分の比率（電流増加率）を取得する（ステップＳ３）。電流増加率は、図２のグラフにおける傾きに対応する。

次に、制御手段６０は、電流増加率が変化したか否かを判定する（ステップＳ４）。ここで、制御手段６０は、電圧が増加するように直流電源回路２０を制御しつつ、電流および電流増加率の挙動を監視してもよい。実施形態１では、電流増加率がより大きくなったか否かが判定される。ステップＳ４における具体的な判定方法は任意に設計可能であるが、一例を以下に説明する。

ステップＳ４における判定に先立って、制御手段６０は、ＣＣＰが発生している状態における電流増加率（第１電流増加率）を取得しておく。第１電流増加率の取得方法は任意に設計可能であるが、たとえば、電圧が所定のＣＣＰ電圧範囲（たとえば２０Ｖ～１００Ｖであるが、これに限らない）における電流増加率として算出することができる。ＣＣＰ電圧範囲は、プラズマ源１０の動作条件下において確実にＣＣＰを発生させ維持することができる電圧の範囲であり、当業者が適宜設計可能である。

制御手段６０は、第１電流増加率を取得した後、ステップＳ２およびＳ３が実行される都度、新たに測定された電圧および電流と、直前に測定された電圧および電流とに基づき、電流増加率（第２電流増加率）を算出する。そして、第１電流増加率に対する第２電流増加率の比率が、所定の閾値（たとえば１．１であるが、これに限らない）を超えるか否かを判定する。この比率が閾値を超える場合には、電流増加率が変化したと判定され、そうでなければ、電流増加率が変化していないと判定される。

電流増加率が変化していない場合には、ステップＳ２～Ｓ４が繰り返される。ここで、たとえば、制御手段６０は、ステップＳ２～Ｓ４を実行する都度、電圧を増加させる。

一方、電流増加率が変化した場合には、制御手段６０は電流増加率が変化したことを表す信号（第１信号）を出力する（ステップＳ５）。これは、プラズマがＣＣＰからＩＣＰに変化したと判定することに対応する。すなわち、第１信号は、プラズマがＣＣＰからＩＣＰに変化したことを表す信号であるといえる。

実施形態１では、この判定に発光強度を用いないので、従来技術より正確に判定を行うことができる。とくに、この方法は発光強度に依存しないので、発光強度が異なる様々な種類のガスに適用することが可能であり、また、ガスの圧力が異なる場合にも適用することが可能である。なお、変形例として、判定に発光強度を併用することも可能である。

第１信号の内容、形式、出力態様および利用方法は、当業者が適宜設計可能である。たとえば、制御手段６０には表示装置が接続されていてもよく、その表示装置に第１信号が出力されたことを示す情報が表示されてもよい。情報の具体例としては、プラズマの状態がＣＣＰからＩＣＰに変化したことを示すメッセージまたは画像とすることができる。

また、たとえば、制御手段６０は、第１信号の出力に応じて特定の処理の実行を開始してもよい。より具体的な例としては、タイマーを起動してもよい。このタイマーの値は、ＩＣＰが発生してからの経過時間を示す値として利用することができる。

以上説明するように、実施形態１に係るプラズマ源１０および図３に示す方法によれば、プラズマがＣＣＰからＩＣＰに変化したことをより正確に検出できる。

実施形態２．
実施形態２では、プラズマ源１０における電力の増加に対する電圧または電流の挙動に応じて検出を行う。以下、実施形態１との相違を説明する。

図４は、実施形態１とは異なる条件において、直流電源回路２０の出力端における電力と、ＶＩセンサ９０等を用いて測定される電流および電圧との関係を示すグラフである。実施形態２では、放電容器内のガスとして、水素と窒素を混合したものを供給した。水素および窒素の流量はいずれも１０００ｓｃｃｍとし、ガスの気圧は合計８７Ｐａとした。

横軸は、図略の電力測定手段で測定した直流電源回路２０の出力端における電力［Ｗ］を表す。左側の縦軸は、図略の電圧測定手段で測定した直流電源回路２０の出力端における電圧［Ｖ］を表す。右側の縦軸は、図略の電流測定手段で測定した直流電源回路２０の出力端における電流［Ａ］を表す。図４において、×記号は電流を示し、▲記号は電圧を示す。

図５は、図４の結果を微分して表したグラフである。横軸は図４と同じである。縦軸は、電流［Ａ］を電力で微分した値と、電圧［Ｖ］を電力で微分した値とを表す。これらの値は、以下では単に「微分値」と呼ぶ場合がある。微分係数または導関数とも呼ばれる。なお図示の都合上、電流の変化は１０倍の値にして示してある。

微分値の具体的な取得方法は、当業者が公知技術に基づき適宜設計可能であるが、たとえば、電力がある値Ｐから別の値Ｐ＋ΔＰに増加したときに、電流がある値Ｃから別の値Ｃ＋ΔＣに変化した場合には、ΔＣ／ΔＰを電流の微分値として算出することができる。電圧についても同様である。別の例として、公知の微分器または微分回路を用いてもよい。

図５の×記号は電流の微分値を示し、▲記号は電圧の微分値を示す。電流の微分値が正である間は、電力の増加に伴って電流が増加することを示し、電流の微分値が負である間は、電力の増加に伴って電流が減少することを示す。電圧の微分値についても同様である。

電力が低い範囲（大まかに１８００Ｗ程度以下）は、プラズマが発生していない無負荷の状態およびＣＣＰが発生している状態に対応する。この範囲では、電力の増加に対して電流は単調に増加し、電圧は単調に減少する。

電力が約１８００Ｗ（破線で示す）に達すると、プラズマがＣＣＰからＩＣＰに変化する。図５のグラフでは、電力が約１８００Ｗ（破線）を超えると、電流の微分値が増加から減少に転じており（電流の変曲点）、また、電圧の微分値が減少から増加に転じている（電圧の変曲点）。このように、プラズマがＣＣＰからＩＣＰに変化する点の電力と、電流および電圧の微分値の増減が反転する点の電力とはよく一致している。

図６は、実施形態２に係るプラズマ源の状態を検出する方法のフローチャートである。プラズマ源１０は、この方法を実行することによりプラズマ源の状態を検出する。プラズマ源１０の放電容器にガスを流通させた状態で、図６の方法が開始される。

まず、プラズマ源１０の放電部５０に電圧を印加し、これによって、放電部５０においてＣＣＰを発生させる（ステップＳ１１）。ＣＣＰが発生した後、制御手段６０は、プラズマ源１０に係る電力と、電圧または電流とを測定して取得する（ステップＳ１２）。この測定はたとえばＶＩセンサ９０を介して行われる。

ここで取得される電力は、直流電源回路２０の出力電力に換算することができるので、直流電源回路２０の出力端における電力と等価であるということができる。また、ＶＩセンサ９０が測定する電流および電圧は、直流電源回路２０の出力端における電流および電圧に換算することができるので、直流電源回路２０の出力端における電流および電圧と等価であるということができる。

本実施形態では、電力、電圧および電流は正の値をとるものとする。また、交流の場合には、実効値であってもよく、最大値であってもよく、平均値であってもよく、他の適切に算出される値であってもよい。

なお、ステップＳ１２で取得される電力、電圧および電流の測定方法は、図１に示すＶＩセンサ９０を用いる方法に限らない。たとえば電力は、直流電源回路２０の出力端における電力に換算できる電力であればどの部分の電力であってもよく、たとえば直流電源回路２０の出力端における電力そのものを直接的に測定した値であってもよいし、インバータ回路３０の入力端における電力を測定した値であってもよいし、インバータ回路３０の出力端における電力を測定した値であってもよいし、共振回路４０の入力端における電力を測定した値であってもよいし、共振回路４０の出力端における電力を測定した値であってもよいし、放電部５０の入力端における電力を測定した値であってもよい。

また、電流および電圧についても同様に、直流電源回路２０の出力端における電流に換算できる電流であれば等価である。

ステップＳ１２の後、制御手段６０は、ステップＳ１２で取得される電圧の微分値が、減少から増加に転じたか否かを判定する（ステップＳ１３）。または、制御手段６０は、このステップＳ１３において、ステップＳ１２で取得される電流の微分値が、増加から減少に転じたか否かを判定する。たとえば、制御手段６０は、電力が増加するように直流電源回路２０を制御しつつ、電流または電圧の挙動を監視してもよい。

電圧の微分値が、減少から増加に転じていない場合（たとえば、微分値が減少することなく増加している場合、微分値が減少し続けている場合、等）、または、電流の微分値が、増加から減少に転じていない場合（たとえば、微分値が増加することなく減少している場合、微分値が増加し続けている場合、等）には、ステップＳ１２およびＳ１３が繰り返される。たとえば、制御手段６０は、ステップＳ１２およびＳ１３を実行する都度、電力を増加させる。

一方、電圧の微分値が減少から増加に転じた場合、または、電流の微分値が増加から減少に転じた場合には、制御手段６０はこれを表す信号（第１信号）を出力する（ステップＳ１４）。これは、プラズマがＣＣＰからＩＣＰに変化したと判定することに対応する。すなわち、第１信号は、プラズマがＣＣＰからＩＣＰに変化したことを表す信号であるといえる。

なお、図５には電流および電圧双方の微分値を示しているが、上記から明らかなように、実施形態２に係る方法は、これらの微分値のうちいずれか一方のみを用いても、双方を用いても実施可能である。たとえば、ステップＳ１２で電力および電流を測定し、ステップＳ１４で電流の微分値を用いて判定してもよいし、ステップＳ１２で電力および電圧を測定し、ステップＳ１４で電圧の微分値を用いて判定してもよい。電流および電圧の双方を用いる場合には、ステップＳ１４において、電流の微分値が増加から減少に転じ、かつ電圧の微分値が減少から増加に転じた場合（ＡＮＤ条件）にのみ第１信号を出力してもよいし、ステップＳ１４において、電流の微分値が増加から減少に転じるか、または電圧の微分値が減少から増加に転じた場合（ＯＲ条件）に第１信号を出力してもよい。

実施形態２でも、判定に発光強度を用いないので、従来技術より正確に判定を行うことができる。とくに、この方法は発光強度に依存しないので、発光強度が異なる様々な種類のガスに適用することが可能であり、また、ガスの圧力が異なる場合にも適用することが可能である。なお、変形例として、判定に発光強度を併用することも可能である。

以上説明するように、実施形態２に係るプラズマ源１０および図６に示す方法によれば、プラズマがＣＣＰからＩＣＰに変化したことをより正確に検出できる。

１０…プラズマ源
２０…直流電源回路
３０…インバータ回路
４０…共振回路
４１…ＬＣ回路部
４２…コンデンサ
５０…放電部
５１…アンテナ
５２…抵抗
６０…制御手段
７０，８０…ドライバーアンプ
９０…ＶＩセンサ

Claims (6)

1. 誘導結合型のプラズマ源の状態を検出する方法であって、
   前記プラズマ源は、直流電源回路と、インバータ回路と、共振回路と、放電部とを備え、
   前記方法は、
   前記放電部において容量結合プラズマを発生させるステップと、
   前記容量結合プラズマが発生した後に、前記直流電源回路の出力端における電圧および電流を取得するステップと、
   前記電圧の増加分に対する前記電流の増加分の比率を表す電流増加率を取得するステップと、
   前記電流増加率の変化に応じて第１信号を出力するステップと、
   を備える、方法。
2. 前記電流増加率を取得する前記ステップにおいて、
   前記容量結合プラズマが発生している状態における前記電流増加率である第１電流増加率と、
   前記第１電流増加率より後に取得される前記電流増加率である第２電流増加率と、
   が取得され、
   前記第１信号は、前記第１電流増加率に対する前記第２電流増加率の比率が、所定の閾値を超える場合に出力される、
   請求項１に記載の方法。
3. 誘導結合型のプラズマ源の状態を検出する方法であって、
   前記プラズマ源は、直流電源回路と、インバータ回路と、共振回路と、放電部とを備え、
   前記方法は、
   前記放電部において容量結合プラズマを発生させるステップと、
   前記容量結合プラズマが発生した後に、前記直流電源回路の出力端における電力および電流、又は、前記直流電源回路の出力端における電力および電圧を取得するステップと、
   前記電流を前記電力で微分した値が増加から減少に転じた場合、又は、前記電圧を前記電力で微分した値が減少から増加に転じた場合に、第１信号を出力するステップと、
   を備える、方法。
4. 前記第１信号は、プラズマが前記容量結合プラズマから誘導結合プラズマに変化したことを表す信号である、請求項１～３のいずれか一項に記載の方法。
5. 誘導結合型のプラズマ源であって、
   前記プラズマ源は、直流電源回路と、インバータ回路と、共振回路と、放電部とを備え、
   前記プラズマ源は、
   前記放電部において容量結合プラズマを発生させ、
   前記容量結合プラズマが発生した後に、前記直流電源回路の出力端における電圧および電流を取得し、
   前記電圧の増加分に対する前記電流の増加分の比率を表す電流増加率を取得し、
   前記電流増加率の変化に応じて第１信号を出力する、
   プラズマ源。
6. 誘導結合型のプラズマ源であって、
   前記プラズマ源は、直流電源回路と、インバータ回路と、共振回路と、放電部とを備え、
   前記プラズマ源は、
   前記放電部において容量結合プラズマを発生させ、
   前記容量結合プラズマが発生した後に、前記直流電源回路の出力端における電力および電流、又は、前記直流電源回路の出力端における電力および電圧を取得し、
   前記電流を前記電力で微分した値が増加から減少に転じた場合、又は、前記電圧を前記電力で微分した値が減少から増加に転じた場合に、第１信号を出力する、
   プラズマ源。

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