JP4578242B2 - アーク処理を有する高ピーク電力パルス電源 - Google Patents
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Description
本発明は、概して高イオン化された高密度金属プラズマのマグネトロンスパッタリングする装置および方法に関する。特に、最大出力密度1kW/cm2以上を有する最大出力0.1メガワットから数メガワットを、アーク処理能力を有するスパッタリングマグネトロンプラズマ負荷に供給するマグネトロンスパッタリング装置に関する。
金属イオンを生成し、イオンを引き付ける電気バイアスによりワークピースにイオンを引き付けることによって、基板をコーティングすることが所望される。このアプローチの有用性は、視野方向を基本的に必要とする通常のスパッタリングによる一様な堆積を妨げる凸凹を有する表面へのコーティングの適用を含む。実際に、半導体デバイスにおいて、高アスペクト比のトレンチをコーティングし、充填することは、Monterio氏によって、JVST B17(3),1999 pg.1094に報告され、またLu氏およ
びKushner氏によって、JVST A 19(5),2001 pg.2652に
報告されるように、イオンを引き付けるために、ウエハーにバイアスをかけることによって可能である。
本発明によって、効率的なアーク処理能力を有する高密度マグネトロンプラズマへ高ピーク電力を供給するのに適した高電圧パルスを生成する装置および方法が提供される。エネルギー蓄積コンデンサを含むパルス回路は、繰り返し充電され、プラズマに直列接続されているインダクタを介して放電される。インダクタとコンデンサの組み合わせは、パルスを成形する役目をし、プラズマにインピーダンス整合に提供し、アーク発生の場合には、電流の上昇速度および最大振幅を制限する。アークは、パルス中の事前設定された電圧のしきい値よりも下への放電電圧の低下、もしくは、事前設定された電流のしきい値よりも上への放電電流における上昇によって検出される。アークが検出されるとき、エネルギー蓄積コンデンサは、直列インダクタから切断され、電流の上昇を止める。それから、パルス回路は、プラズマ負荷から接続が切られ、インダクタエネルギーは、エネルギー蓄積コンデンサへ戻して再循環される。
Claims (9)
- 連続動作モードにおいてカソード材料をスパッタリング堆積することにより、基板上にコーティングを形成する装置であって、
a)イオンおよび電子を含むプラズマが作成されるプラズマチャンバと、
b)該プラズマチャンバ内に配置される少なくとも1つのターゲットであって、該プラズマに近接した少なくとも1つの基板の表面上に膜を堆積するための該プラズマからのイオンによる照射に応答して該プラズマチャンバからスパッタリングされ得る原子を含む少なくとも1つのターゲットと、
c)該プラズマチャンバ内に配置される該ターゲットに接続されているパルス回路を有する直流パルス電源であって、該プラズマチャンバへ電圧パルスを供給する直流パルス電源と
を備え、
d)該パルス回路は、スイッチング手段を有する直列接続されているインダクタに該パルスを供給するエネルギー蓄積コンデンサをさらに備え、該スイッチング手段は、該プラズマから該パルス回路を切断し、アーク状態の検出で、インダクタエネルギーを該エネルギー蓄積コンデンサへ戻して再循環させ、
該スイッチング手段は、
該直列接続されているインダクタの第1の側と該エネルギー蓄積コンデンサの第1の側との間に接続されている第1のスイッチと、
該直列接続されているインダクタの該第1の側と該エネルギー蓄積コンデンサの第2の側との間に接続されているダイオードと、
該直列接続されているインダクタの第2の側と該プラズマチャンバとの間に接続されている第2のスイッチと、
該エネルギー蓄積コンデンサの該第1の側と該直列接続されているインダクタの該第2の側との間に結合されている第3のスイッチと
を含む、装置。 - 前記エネルギー蓄積コンデンサおよび前記直列接続されているインダクタは、前記プラズマにインピーダンス整合を提供する、請求項1に記載の連続動作モードにおいてカソード材料をスパッタリング堆積することにより、基板上にコーティングを形成する装置。
- 前記エネルギー蓄積コンデンサおよび前記直列接続されているインダクタは、アーク発生の場合には、電流の上昇速度および最大振幅を制限する、請求項2に記載の連続動作モードにおいてカソード材料をスパッタリング堆積することにより、基板上にコーティングを形成する装置。
- 前記エネルギー蓄積コンデンサ、前記スイッチング手段および前記直列接続されているインダクタは、前記電圧パルスを成形する、請求項3に記載の連続動作モードにおいてカソード材料をスパッタリング堆積することにより、基板上にコーティングを形成する装置。
- 前記直流パルス電源は、1kW/cm2より大きい最大出力密度を有する0.1メガワ
ットから数メガワットの電力を供給する、請求項4に記載の連続動作モードにおいてカソード材料をスパッタリング堆積することにより、基板上にコーティングを形成する装置。 - 前記パルス回路は、前記エネルギー蓄積コンデンサの放電開始における初期の充電電圧、前記インダクタの値、前記コンデンサの値およびプラズマ負荷特性に基づいてアーク電流のしきい値をアップデートする、請求項1に記載の連続動作モードにおいてカソード材料をスパッタリング堆積することにより、基板上にコーティングを形成する装置。
- 前記パルス回路は、平均ピーク電流に基づいてアーク電流のしきい値をアップデートし、高いアーク電流を有するパルスは、該平均ピーク電流の計算から除かれている、請求項1に記載の連続動作モードにおいてカソード材料をスパッタリング堆積することにより、基板上にコーティングを形成する装置。
- 前記アーク状態の検出で、前記エネルギー蓄積コンデンサは前記直列インダクタから切断され、その後に、前記パルス回路は前記プラズマから切断され、その後に、前記インダクタエネルギーは該エネルギー蓄積コンデンサへ戻して再循環される、請求項1に記載の連続動作モードにおいてカソード材料をスパッタリング堆積することにより、基板上にコーティングを形成する装置。
- 前記第1のスイッチは開路され、その後に、前記第3のスイッチは閉路され、その後に、前記第2のスイッチは開路される、請求項1に記載の連続動作モードにおいてカソード材料をスパッタリング堆積することにより、基板上にコーティングを形成する装置。
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