CN103582720B - 放电表面处理装置 - Google Patents

Abstract

放电电极及工件与电容器并联连接，在极间产生的放电脉冲电流的起始处形成有高峰值短脉宽的电流部分的情况下，通过在切换为随后的低电流值长脉宽的电流部分时，对反转电流进行抑制或阻止，从而使放电脉冲电流的波形形成为不对覆膜的生成产生影响的电流波形。

Description

放电表面处理装置

技术领域

本发明涉及使用放电加工技术在被处理材料(工件)的表面形成覆膜的放电表面处理装置。

背景技术

放电表面处理装置在放电电极与工件之间、即极间产生脉冲状的放电，在工件表面形成覆膜，其中，该放电电极是将金属粉末、金属化合物粉末、陶瓷粉末中的某一种或它们的混合物进行压缩成型而成的，该覆膜由通过上述放电的热能而熔融的电极材料形成，或由电极材料通过放电的热能进行反应而得到的物质形成。

此外，作为工件，例如是飞机用燃气涡轮发动机的涡轮叶片等高温环境下使用的部件。在这种高温环境下使用的部件的维修等时，需要在表面涂覆或堆焊高温环境下具有强度和润滑性的材料，会使用放电表面处理装置。

此外，为了通过放电表面处理而形成致密的厚膜，需要使得通过放电脉冲电流决定的电极材料向极间的供给量及接下来的向工件表面的供给量是适当值，且需要使所供给的电极材料利用该放电脉冲电流熔融而与工件表面牢固结合。

例如，在专利文献1中提出了一种能够在极间产生满足上述条件的放电脉冲电流，形成致密且较厚的覆膜的放电表面处理装置。即，在专利文献1中，作为在极间产生满足上述条件的放电脉冲电流的结构，示出将放电电极及工件与电容器并联连接的结构。

根据上述结构，电容器利用从电源向极间施加的无负载电压进行充电，如果发生放电，则首先在极间流过高峰值短脉宽的放电电流，随后流过低电流值长脉宽的放电电流，其中，高峰值短脉宽的放电电流是在从电源供给的电流中加上来自电容器的电流得到的，而低电流值长脉宽的放电电流是仅由从电源供给的电流形成的。如上所述，如果将放电电极及工件与电容器并联连接，则能够在极间流过形状为“高峰值短脉宽”+“低电流值长脉宽”的放电脉冲电流。

通过该形状为“高峰值短脉宽”+“低电流值长脉宽”的放电脉冲电流，在起始的“高峰值短脉宽”的电流部分，使电极崩解而控制电极材料向极间的供给量，在随后的“低电流值长脉宽”的电流部分，利用放电的热能使电极材料的一部分熔融，而在工件表面上形成覆膜。

但是，在起始的脉冲电流部分与随后的脉冲电流部分的边界处，由于利用极间的放电电压开始对电容器充电，因此，存在输出电流方向发生反转、产生输出电流较低部分的问题。特别地，在从电源供给的电流较低的情况下，有时会出现放电电流在该输出电流方向发生反转的部分中断的现象。如果放电电流在中途中断，则无法得到所需的放电热能，因此，电极材料的熔融不完全，形成空隙或缺陷较多的覆膜。

为了解决上述问题，在专利文献1中提出了下述结构，即，如果将上述电容器称为第1电容器，则与该第1电容器并联而设置第2电容器，通过在放电产生后延迟一定期间，然后从第2电容器供给电流，从而防止第1电容器的输出电流方向反转所导致的放电电流中断。

但是，在将第1电容器与第2电容器并联设置的结构中，由于在极间使来自第1电容器的峰值电流与来自第2电容器的峰值电流重叠，因此，在进行电极熔化动作的“高峰值短脉宽”的起始电流部分，电流值会局部增加。如果在起始的“高峰值短脉宽”电流部分的一部分形成电流值增加的部分，则由于会引起下述动作，因此覆膜成为空隙或缺陷较多的覆膜，该动作是指用于使电极材料的一部分熔融的热能过度增加，无法使电极材料顺利地向覆膜侧移动，会将覆膜去除。

专利文献1：日本特开2005－213554号公报

发明内容

即，在现有技术中，要使在起始处具有高峰值短脉宽电流部分的放电脉冲电流的波形，形成为不对覆膜的形成产生影响的电流波形，是不可能的。

本发明就是鉴于上述情况而提出的，其目的在于得到一种放电表面处理装置，该放电表面处理装置在将放电电极及工件与电容器并联连接，在极间产生的放电脉冲电流的起始处形成高峰值短脉宽的电流部分的情况下，能够使该放电脉冲电流的波形形成为不对覆膜的生成产生影响的电流波形。

为了解决上述课题并实现目的，本发明的放电表面处理装置在放电电极与工件之间、即极间产生脉冲状的放电，利用该放电的热能在工件表面形成由电极材料等构成的覆膜，该放电电极是对金属粉末、金属化合物粉末、陶瓷粉末中的某一种或它们的混合物进行压缩成型而成的，该放电表面处理装置的特征在于，具有：电容器，其一端与所述放电电极和所述工件中的某一方连接；以及电阻器及二极管的并联电路，其插入设置在所述放电电极和所述工件中的另一方与所述电容器的另一端之间的连接线上。

发明的效果

根据本发明，在起始的高峰值短脉宽的电流部分与随后的低电流值长脉宽的电流部分的边界附近，由于能够抑制或阻止由电容器产生的输出电流方向反转而导致的反转电流，因此，能够消除放电脉冲电流在起始的高峰值短脉宽的电流部分与随后的低电流值长脉宽的电流部分的边界附近中断的情况。另外，在起始的高峰值短脉宽的电流部分也不会发生电流值局部不同的情况。因此，具有能够使极间产生的在起始处具有高峰值短脉宽电流部分的放电脉冲电流整体的波形，形成为不对覆膜的生成产生影响的电流波形的效果。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式1所涉及的放电表面处理装置的要部结构的电路图。

图2是说明在极间施加的脉冲电压与流过的放电脉冲电流之间理论上的关系的波形图。

图3是说明图1所示的放电表面处理装置的要部结构的动作的波形图。

图4是表示本发明的实施方式2所涉及的放电表面处理装置的要部结构的电路图。

图5是说明图4所示的放电表面处理装置的要部结构的动作的波形图。

图6是表示本发明的实施方式3所涉及的放电表面处理装置的要部结构的电路图。

图7是说明图6所示的放电表面处理装置的要部结构的动作的波形图。

图8是表示本发明的实施方式4所涉及的放电表面处理装置的要部结构的电路图。

图9是说明图8所示的放电表面处理装置的要部结构的动作的波形图。

具体实施方式

下面，基于附图，对本发明所涉及的放电表面处理装置的实施方式详细地进行说明。此外，本发明并不限定于本实施方式。

实施方式1

图1是表示本发明的实施方式1所涉及的放电表面处理装置的要部结构的电路图。在图1中示出了如下电路，即，在将隔开一定间隔配置的放电电极及工件与电容器并联连接，在放电电极与工件之间、即极间流过的放电脉冲电流的起始处形成有高峰值短脉宽的电流部分的情况下，能够使该放电脉冲电流形成为不对覆膜的生成产生影响的电流波形。

在图1中，放电表面处理用的放电电极1是对金属粉末、金属化合物粉末、陶瓷粉末中的某一种或它们的混合物进行压缩成型而成的压粉体。作为被处理材料的工件2是需要涂覆或堆焊高温环境下具有强度和润滑性的材料的部件。

电源3的正极端直接与放电电极1连接。在电源3的负极端经由开关元件组4和电阻器组5的串联电路而连接有工件2，其中，开关元件组4由并联配置的多个开关元件构成，电阻器组5是将数量与上述多个开关元件相同的电阻器并联配置而成的。开关元件组4的各开关元件由控制电路6单独地进行接通/断开控制。由此，开关元件组4的各开关元件构成放电脉冲产生部。

另外，放电电极1经由电阻器9和二极管10的并联电路与电容器8的一端连接。二极管10的正极端子与放电电极1连接，负极端子与电容器8的一端连接。电容器8的另一端与工件2直接连接。

此外，在图1中示出放电电极1和工件2配置在加工液7中的情况，但有时也配置在空气中。

下面，参照图1至图3，对与本实施方式1相关部分的动作进行说明。此外，图2是说明在极间施加的脉冲电压与流过的放电脉冲电流之间理论上的关系的波形图。图3是说明图1所示的放电表面处理装置的要部结构的动作的波形图。在图3中，(1)表示极间电压；(2)表示放电电流；(3)表示来自电源3的电流；(4)表示来自电容器8的电流；(5)表示开关元件组4的大于或等于1个开关元件的定时(timing)。

图2(1)表示控制电路6的控制动作内容。如果控制电路6使开关元件组4的大于或等于1个的开关元件接通(ON)，则电源3的输出电压被施加至放电电极1与工件2之间、即极间。如果以该状态经过一定时间而在极间发生放电，则极间电压从放电前的无负载电压12下降至放电电压13。控制电路6在极间电压从无负载电压12下降至放电电压13的定时开始至经过规定时间14为止的期间内，持续使开关元件组4的大于或等于1个开关元件接通，如果经过了该规定时间14，则使开关元件组4的处于接通的大于或等于1个开关元件以规定时间断开(OFF)而形成间歇时间15，如果间歇时间15结束，则再次使开关元件组4的大于或等于1个开关元件接通。控制电路6重复上述动作。在极间每隔间歇时间15重复施加脉冲电压，该脉冲电压是以使开关元件组4的大于或等于1个开关元件接通的期间16为脉宽的。

如图2(2)所示，在规定时间14的期间内，在极间流过以该规定时间14为脉宽的放电脉冲电流，该规定时间14为，从极间电压从无负载电压12下降至放电电压13的定时开始，至开关元件组4的处于接通的大于或等于1个开关元件断开为止。该放电脉冲电流由起始脉冲电流17和后续脉冲电流18构成。起始脉冲电流17为高峰值短脉宽的电流成分，后续脉冲电流18为低电流值长脉宽的电流成分。

高峰值短脉宽的起始脉冲电流17是通过设置电容器8而产生的，其动作情况在图3中示出。即，如果使开关元件组4的大于或等于1个开关元件接通而从电源3向极间施加电压，则电容器8通过电阻器9进行充电。如果发生放电，则在极间，首先流过高峰值短脉宽的起始脉冲电流17(图2)，随后流过低电流值长脉宽的后续脉冲电流18(图2)，其中，该起始脉冲电流17是将从电源3供给的电流(图3(3))与来自电容器8的电流(图3(4))相加得到的，该后续脉冲电流18仅由从电源3供给的电流(图3(3))形成。

在此情况下，在“低电流值长脉宽”的后续脉冲电流18开始流过时，在电容器8中发生电流方向反转，但由于该反转电流被二极管10阻止并由电阻器9抑制，因此，如图3(2)(4)所示，不存在在从起始脉冲电流17切换为后续脉冲电流18的电流部分出现输出电流较低部分的问题。

即，能够抑制现有技术这种放电电流在中途中断的现象。另外，也不会出现在起始的高峰值短脉宽的电流部分中电流值局部不同的情况。因此，能够向极间供给不会对覆膜的生成产生影响的适当的电流波形的放电脉冲电流，从而能够形成致密的覆膜。

在此，在后续脉冲电流18的期间，为了下一个周期而经由电阻器9进行对电容器8的充电。如果电阻器9的电阻值较大，则抑制电容器8的反转电流的效果增加，但由于会妨碍向电容器8充电，因此存在充电时间增长的问题。因此，电阻器9的电阻值应设为10至100Ω左右，以具有抑制电容器8的反转电流的效果，且不会对充电时间产生影响。

此外，例如在国际公开WO2006/046599中记载有对正负两极性的交流脉冲中的负极方向的脉冲进行抑制的方法。但是，由于其电路是对交流的负极电流进行抑制，因此没有将向电容器充电考虑在内，另外，其电路是以使得脉冲不相连为目的而构成的，其与本实施方式所涉及的组合地产生高峰值短脉宽的起始脉冲电流17和低电流值长脉宽的后续脉冲电流18的电路不同。

实施方式2

图4是表示本发明的实施方式2所涉及的放电表面处理装置的要部结构的电路图。此外，在图4中，对与图1(实施方式1)所示的结构要素相同或等同的结构要素标注相同的标号。在此，围绕与该实施方式2相关的部分进行说明。

在图4中，作为将隔开一定间隔配置的放电电极及工件与电容器并联连接，在放电电极与工件之间、即极间流过的放电脉冲电流的起始处形成有高峰值短脉宽的电流部分的情况下，能够使该放电脉冲电流形成为不对覆膜的生成产生影响的电流波形的电路，在图1(实施方式1)所示的结构中，取代电容器8而设置电容器组20和开关组21的串联电路，其中，电容器组20构成可变电容器，是将多个电容器并联设置而成的，开关组21是将数量与上述多个电容器相同的开关并联设置而成的。其他结构与图1相同。

此外，开关组21的各开关是晶体管或继电器或机械开关。因此，开关组21的各开关由控制电路6或通过手动操作而单独地进行接通/断开控制。

下面，参照图2、图4及图5，对与本实施方式2相关部分的动作进行说明。此外，图5是说明图4所示的放电表面处理装置的要部结构的动作的波形图。在图5中，(1)表示极间电压；(2)表示放电电流；(3)表示来自电源3的电流；(4)表示来自电容器组20的电流；(5)表示开关元件组4的大于或等于1个开关元件的定时。

在开关组21中的某一个开关处于接通的状态下，如果控制电路6使开关元件组4的大于或等于1个开关元件接通，则从电源3向极间施加电压。这样，与开关组21内接通的开关相对应的电容器组20内的电容器，通过电阻器9进行充电。

如果发生放电，则在极间，首先流过高峰值短脉宽的起始脉冲电流17(图2)，随后流过低电流值长脉宽的后续脉冲电流18(图2)，其中，该脉冲电流17是将从电源3供给的电流(图5(3))与来自电容器组20内的1个电容器的电流(图5(4))相加得到的，该脉冲电流18仅由从电源3供给的电流(图5(3))形成。

并且，在“低电流值长脉宽”的后续脉冲电流18开始流过时，由电容器组20中进行充放电动作的电容器产生的反转电流，由于被二极管10阻止并由电阻器9抑制，因此，如图5(2)(4)所示，不会发生在从起始脉冲电流17切换为后续脉冲电流18的电流部分产生输出电流较低部分的问题。另外，也不会发生电流值在起始的高峰值短脉宽的电流部分局部不同的问题。

即，在本实施方式2中，与实施方式1同样地，也能够向极间供给不会对覆膜的生成产生影响的适当的电流波形的放电脉冲电流。

在此基础上，在本实施方式2中，由于能够通过在开关组21中，使接通的开关数量变化，而变更电容器组20中进行充放电的电容器的数量，因此，能够使与放电电极1及工件2并联连接的电容器的电容值变化。

即，如图5(2)(4)所示，由于能够使高峰值短脉宽的起始脉冲电流17的峰值变化，因此，在放电电极1较硬的情况下，能够控制使得峰值电流较大，在放电电极1较软的情况下，能够控制使得峰值电流较小。

因此，在本实施方式2中，由于能够针对多种电极而对应于柔软度使电极材料的供给量成为适当值，因此能够由多种电极形成致密的覆膜。

实施方式3

图6是表示本发明的实施方式3所涉及的放电表面处理装置的要部结构的电路图。此外，在图6中，对与图1(实施方式1)所示的结构要素相同或等同的结构要素标注相同的标号。在此，围绕与该实施方式3相关的部分进行说明。

在图6中，作为将隔开一定间隔配置的放电电极及工件与电容器并联连接，在放电电极与工件之间、即极间流过的放电脉冲电流的起始处形成有高峰值短脉宽的电流部分的情况下，能够使该放电脉冲电流形成为不对覆膜的生成产生影响的电流波形的电路，在图1(实施方式1)所示的结构中，取代电阻器9和二极管10的并联电路而设置开关元件23。开关元件23由控制电路6进行接通/断开控制。其他结构与图1相同。

下面，参照图2、图6及图7，对与本实施方式3相关部分的动作进行说明。此外，图7是说明图6所示的放电表面处理装置的要部结构的动作的波形图。在图7中，(1)表示极间电压；(2)表示放电电流；(3)表示来自电源3的电流；(4)表示来自电容器8的电流；(5)表示开关元件组4的大于或等于1个开关元件的定时；(6)表示开关元件23的定时。

控制电路6在使开关元件组4的大于或等于1个开关元件接通而将电源3的输出电压施加至放电电极1与工件2之间、即极间时，使开关元件23接通(图7(5)(6))。由此，电容器8通过开关元件23进行充电。如果发生放电，则在极间，首先流过高峰值短脉宽的起始脉冲电流17(图2)，随后流过低电流值长脉宽的后续脉冲电流18(图2)，其中，该脉冲电流17是将从电源3供给的电流(图7(3))与来自电容器8的电流(图7(4))相加得到的，该脉冲电流18仅由从电源3供给的电流(图7(3))形成。

在此情况下，在“低电流值长脉宽”的后续脉冲电流18开始流过时，在电容器8中发生电流方向反转，但由于控制电路6预先知晓后续脉冲电流18开始流过的定时，因此，在该定时使开关元件23断开并使该断开持续较短的任意时间(图7(6))。这样，即使在电容器8中发生电流方向反转，也能够利用已断开的开关元件23阻止该反转电流。由此，如图7(2)(4)所示，不会发生在从起始脉冲电流17切换为后续脉冲电流18的电流部分产生输出电流较低部分的问题。

即，能够抑制现有技术这种放电电流在中途中断的现象。另外，也不会发生在起始的高峰值短脉宽的电流部分中电流值局部不同的情况。因此，能够向极间供给不会对覆膜的生成产生影响的适当电流波形的放电脉冲电流，从而能够形成致密的覆膜。

在此，控制电路6在后续脉冲电流18的期间，为了下一个周期而对电容器8进行充电，因此使断开的开关元件23在经过任意时间后接通(图7(6))，并使该接通持续至开关元件组4的大于或等于1个开关元件断开为止(图7(5)(6))。由此，不会增加电容器8的充电时间，而能够在短时间内实现充分的充电。

实施方式4

图8是表示本发明的实施方式4所涉及的放电表面处理装置的要部结构的电路图。此外，在图8中，对与图6(实施方式3)所示的结构要素相同或等同的结构要素标注相同的标号。在此，围绕与该实施方式4相关的部分进行说明。

在图8中，作为将隔开一定间隔配置的放电电极及工件与电容器并联连接，在放电电极与工件之间、即极间流过的放电脉冲电流的起始处形成有高峰值短脉宽的电流部分的情况下，能够使该放电脉冲电流形成为不对覆膜的生成产生影响的电流波形的电路，在图6(实施方式3)所示的结构中，取代电容器8而设置构成可变电容器的图4所示的电容器组20和开关组21的串联电路。开关组21的各开关的内容及接通/断开控制方法，与实施方式2相同。其他的结构与图6相同。

下面，参照图2、图8及图9，对与本实施方式4相关部分的动作进行说明。此外，图9是说明图8所示的放电表面处理装置的要部结构的动作的波形图。在图9中，(1)表示极间电压；(2)表示放电电流；(3)表示来自电源3的电流；(4)表示来自电容器组20的电流；(5)表示开关元件组4的大于或等于1个开关元件的定时；(6)表示开关元件23的定时。

控制电路6在开关组21中的某一个接通的状态下，使开关元件组4的大于或等于1个开关元件接通，而将电源3的输出电压施加至放电电极1和工件2之间、即极间时，使开关元件23接通(图9(5)(6))。这样，与开关组21内的接通的开关相对应的电容器组20内的电容器，通过开关元件23进行充电。

如果发生放电，则在极间，首先流过高峰值短脉宽的起始脉冲电流17(图2)，随后流过低电流值长脉宽的后续脉冲电流18(图2)，其中，该脉冲电流17是将从电源3供给的电流(图9(3))与来自电容器组20内的1个电容器的电流(图9(4))相加得到的，该脉冲电流18仅由从电源3供给的电流(图9(3))形成。

并且，控制电路6如实施方式3所说明的那样，由于预先知晓后续脉冲电流18开始流过的定时，因此，在该定时使开关元件23断开并持续较短的任意时间(图9(6))。这样，即使在电容器组20中进行充放电动作的电容器中发生电流方向反转，也能够利用断开的开关元件23阻止该反转电流，因此，如图9(2)(4)所示，不会发生在从起始脉冲电流17切换为后续脉冲电流18的电流部分出现输出电流较低部分的问题。另外，也不会发生在起始的高峰值短脉宽的电流部分中电流值局部不同的情况。

即，与实施方式3同样地，能够向极间供给不会对覆膜的生成产生影响的适当电流波形的放电脉冲电流。

另外，控制电路6如实施方式3所说明的那样，在后续脉冲电流18的期间，为了下一个周期而对电容器8进行充电，因此使断开的开关元件23在经过任意时间后接通(图9(6))，并使该接通持续至使开关元件组4的大于或等于1个开关元件断开为止(图9(5)(6))。由此，不会使得电容器组20中进行充放电动作的电容器的充电时间增长，能够在短时间内实现充分的充电。

在此基础上，在本实施方式4中，通过使开关组21中接通的开关数量变化，从而能够变更电容器组20中进行充放电动作的电容器的数量，因此，能够使与放电电极1及工件2并联连接的电容器的电容值变化。

即，如图9(2)(4)所示，由于能够使高峰值短脉宽的起始脉冲电流17的峰值变化，因此，在放电电极1较硬的情况下，能够控制使得峰值电流较大，在放电电极1较软的情况下，能够控制使得峰值电流较小。

因此，在本实施方式4中，由于能够针对多种电极而对应于柔软度使得电极材料的供给量成为适当值，因此，能够由多种电极形成致密的覆膜。

工业实用性

如上所述，本发明所涉及的放电表面处理装置，适合作为将放电电极及工件与电容器并联连接，在极间产生的放电脉冲电流的起始处形成有高峰值短脉宽的电流部分的情况下，能够使该放电脉冲电流整体的波形形成为不对覆膜的生成产生影响的电流波形的放电表面处理装置。

标号的说明

1放电电极

2工件

3电源

4开关元件组

5电阻器组

6控制电路

7加工液

8电容器

9电阻器

10二极管

17高峰值短脉宽的起始脉冲电流

18低电流值长脉宽的后续脉冲电流

20电容器组

21开关组

23开关元件

Claims (4)

1.一种放电表面处理装置，其在放电电极与工件之间、即极间产生脉冲状的放电，利用该放电的热能在工件表面形成由电极材料构成的覆膜，该放电电极是对金属粉末、金属化合物粉末、陶瓷粉末中的某一种或它们中的两种或三种的混合物进行压缩成型而成的，

该放电表面处理装置的特征在于，具有：

电源；

电容器，其一端与所述放电电极和所述工件中的某一方连接；以及

电阻器及二极管的并联电路，其插入设置在所述放电电极和所述工件中的另一方与所述电容器的另一端之间的连接线上，

所述电源的正极端与所述放电电极直接连接，

所述电源的负极端经由开关元件组和电阻器组的串联电路而连接至所述工件，该开关元件组由并联配置的多个开关元件构成，该电阻器组是将数量与所述多个开关元件相同的电阻器并联配置而成的，

所述电阻器及二极管的并联电路与所述电容器串联连接，

串联连接的所述电阻器及二极管的并联电路、和所述电容器，与由所述放电电极和所述工件构成的串联连接电路并联连接。

2.一种放电表面处理装置，其在放电电极与工件之间、即极间产生脉冲状的放电，利用该放电的热能在工件表面形成由电极材料构成的覆膜，该放电电极是对金属粉末、金属化合物粉末、陶瓷粉末中的某一种或它们中的两种或三种的混合物进行压缩成型而成的，

该放电表面处理装置的特征在于，具有：

电源；

电容器，其一端与所述放电电极和所述工件中的某一方连接；

第一开关元件，其插入设置在所述放电电极和所述工件中的另一方与所述电容器的另一端之间的连接线上；以及

控制电路，其在从向所述极间施加电压时开始至放电发生后经过规定时间为止的期间内，使所述第一开关元件接通，在所述第一开关元件断开任意时间后，在直至结束向所述极间施加电压为止的期间内，使所述第一开关元件接通，

所述电源的正极端与所述放电电极直接连接，

所述电源的负极端经由开关元件组和电阻器组的串联电路而连接至所述工件，该开关元件组由并联配置的多个第二开关元件构成，该电阻器组是将数量与所述多个第二开关元件相同的电阻器并联配置而成的，

所述电容器与所述第一开关元件串联连接，

串联连接的所述电容器和所述第一开关元件，与由所述放电电极和所述工件构成的串联连接电路并联连接。

3.根据权利要求1或2所述的放电表面处理装置，其特征在于，

所述电容器是可变电容器。

4.根据权利要求3所述的放电表面处理装置，其特征在于，

所述可变电容器由电容器组与开关组的串联电路构成，其中，电容器组是将多个电容器并联设置而成的，开关组是将数量与所述多个电容器相同的开关并联设置而成的。