JP2013179048A - プラズマチャンバーのアーク検出方法および装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 電源供給源からプラズマチャンバーに供給される無線周波数電力の電圧値を検出する電圧センサーと、前記無線周波数電力の電流値を検出する電流センサーと、前記電圧センサーおよび電流センサーによって検出された電圧値および電流値を受け入れ、電圧電流比値を演算する電圧電流比検出回路および前記電圧電流比検出回路から演算された電圧電流比値に基づき、前記プラズマチャンバーの内部でアーク発生の可否を判断する制御部を含む。
【選択図】図1
Description
20 電圧センサー
22 電流センサー
24 電圧電流比検出回路
25 論理回路
26 制御部
27 反射電力検出回路
28 比較回路
29 基準値設定部
30 インピーダンスマッチングユニット
40 プラズマチャンバー
41 上部電極
42 下部電極
43 プラズマ
Claims (12)
- 電源供給源からプラズマチャンバーに供給される無線周波数電力の電圧値を検出する電圧センサーと、前記無線周波数電力の電流値を検出する電流センサーと、前記電圧センサーおよび電流センサーによって検出された電圧値および電流値を受け入れ、電圧電流比値を演算する電圧電流比検出回路および前記電圧電流比検出回路で演算された電圧電流比値に基づき前記プラズマチャンバーの内部でアーク発生の可否を判断する制御部を含むことを特徴とするプラズマチャンバーのアーク検出装置。
- 前記制御部は、前記プラズマチャンバーの内部でアークが発生したと判断される場合、前記電源供給源の無線周波数電力の供給を減らす制御を遂行することを特徴とする請求項1記載のプラズマチャンバーのアーク検出装置。
- 前記制御部は、前記プラズマチャンバーの内部でアークが発生したと判断される場合、前記電源供給源の無線周波数電力の供給を遮断させる制御を遂行することを特徴とする請求項1記載のプラズマチャンバーのアーク検出装置。
- 前記制御部は、前記プラズマチャンバーの内部でアークが発生したと判断される場合、先に前記電源供給源の無線周波数電力の供給を減らす制御を先に進めてから電力供給を遮断する制御を遂行することを特徴とする請求項1記載のプラズマチャンバーのアーク検出装置。
- 前記電源供給源からプラズマチャンバーに供給される無線周波数電力の反射電力を検出する反射電力検出部と、前記反射電力検出部によって検出された反射電力値を基準値と比較する比較回路と、前記比較回路で比較された結果値と前記電圧電流比検出回路で出力される低圧電流比値を論理的に演算して前記制御部で提供する論理回路とをさらに含むことを特徴とする請求項1記載のプラズマチャンバーのアーク検出装置。
- 前記制御部は、前記論理回路で提供される論理演算値に基づき前記電源供給源の制御を遂行することを特徴とする請求項5記載のプラズマチャンバーのアーク検出装置。
- 電源供給源からプラズマチャンバーに供給される無線周波数電力の電圧値を検出する段階と、前記検出された電圧値と電流値で電圧電流比値を演算する段階および、前記演算された電圧電流比値に基づき、前記プラズマチャンバーの内部でアーク発生の可否を判断する段階を含むことを特徴とするプラズマチャンバーのアーク検出方法。
- 前記アーク発生の可否を判断する段階でアーク発生と判断される場合、前記電源供給の無線周波数電力供給を制御する段階をさらに含むことを特徴とする請求項7記載のプラズマチャンバーのアーク検出方法。
- 前記無線周波数電力供給の制御は供給される無線周波数電力を減少する制御であることを特徴とする請求項8記載のプラズマチャンバーのアーク検出方法。
- 前記無線周波数電力供給の制御は、供給される無線周波数電力を遮断する制御であることを特徴とする請求項8記載のプラズマチャンバーのアーク検出方法。
- 前記無線周波数電力供給の制御は、供給される無線周波数電力を減少させた以後に遮断する制御であることを特徴とする請求項8記載のプラズマチャンバーのアーク検出方法。
- 電源供給源からプラズマチャンバーに供給される無線周波数電力の反射電力値を検出する段階をさらに含み、前記アーク発生の可否を判断する段階は、前記検出された反射電力値を基礎にして判断されることを特徴とする請求項7記載のプラズマチャンバーのアーク検出方法。
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