KR20140106141A - 펄스 출력 모듈의 아크 차단 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 펄스 출력 모듈의 아크를 차단하기 위한 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 펄스 출력 모듈의 출력단에 연결되어 출력단의 출력 신호와 레벨 신호를 비교하여 출력단의 아크 발생 여부를 감지하는 아크 센싱 회로, 기준 신호를 이용하여 딜레이 신호를 생성하고, 상기 출력단의 출력 신호와 딜레이 신호를 비교하여 아크 차단 신호를 생성하는 로직 회로 및 상기 아크 센싱 회로 및 로직 회로의 동작을 제어하고, 아크 센싱 회로로부터 아크 발생 감지 결과를 수신하며, 로직 회로로부터 아크 차단 신호를 수신하여 펄스 출력 모듈의 출력단을 제어하는 제어부를 포함하는 아크 차단 장치에 관한 것이다.

Description

펄스 출력 모듈의 아크 차단 장치{Arc blocking apparatus of pulse output module}

본 발명은 펄스 출력 모듈의 아크를 차단하기 위한 장치에 관한 것으로 보다 상세하게는 플라즈마를 이용하여 박막을 증착하기 위한 펄스 출력 모듈의 출력단에서 발생하는 아크를 고속으로 검출하고 차단 여부를 판단하여 아크로 인한 에너지 손실을 최소화하고 펄스 출력 모듈에서 안정적인 출력을 발생시키기 위한 펄스 출력 모듈의 아크 차단 장치에 관한 것이다.

펄스 출력 모듈은 출력단에 일정한 전압을 출력하여 플라즈마를 발생시키고 이를 이용하여 박막을 증착하는 장치이다. 펄스 출력 모듈의 출력단에서는 예기치 않은 상황에서 고전압의 아크가 발생되므로, 펄스 출력 모듈의 아크를 검지하고 이를 차단하기 위한 장치가 요구된다.

종래에는 출력단에서의 전압이나 전류값을 검출하여 아크 발생 여부를 판별하고 펄스 출력 모듈의 출력을 차단하는 방식으로 아크를 차단하였다. 그러나 전압이나 전류값을 검출하는 종래의 방식은 아크를 검지하고 아크 발생 여부를 판별한 후 출력을 차단하는 데에 긴 시간이 소요되어, 출력단에 전달되는 아크 에너지가 크므로 코팅 품질을 저하시키는 문제가 있었다. 이에 따라 아크 발생 빈도가 늘어나게 되어 플라즈마를 안정적으로 제어하기가 어려웠다.

펄스 출력 모듈을 차단하고, 다시 가동하게 되는 경우 장치의 구동에 따른 비용이 들고 재가동에 소요되는 시간이 길어지게 되어 증착 공정에 있어서 큰 손해가 발생한다. 따라서 아크 발생 여부 및 출력 차단 여부를 신중하게 판단하여 조치를 취할 필요가 있다. 그러나 종래의 기술은 정확한 검지가 어렵고 검지, 차단하는데에 오랜 시간이 걸리는 문제가 있을 뿐만 아니라, 아크 상태의 강도를 구분하기 어려워 공정상 아크 빈도에 의한 공정 차단의 판단이 어려웠다.

한국공개특허공보 제 2011-0012116호(2011.02.09.공개)

본 발명은 상술한 종래기술의 문제점을 극복하기 위하여 펄스 출력 모듈의 출력단에서 고속으로 아크를 검지하고, 펄스 출력 모듈의 차단 여부를 정확하게 판단하기 위한 것이다.

본 발명은 출력단의 아크 상태를 여러가지로 분류하고, 이에 따라 선택적으로 펄스 출력 모듈을 제어하는 것을 목적으로 한다.

상술한 과제를 해결하기 위한 본 발명의 아크 차단 장치는 펄스 출력 모듈의 출력단에 연결되어 출력단의 출력 신호와 레벨 신호를 비교하여 출력단의 아크 발생 여부를 감지하는 아크 센싱 회로, 기준 신호를 이용하여 딜레이 신호를 생성하고, 상기 출력단의 출력 신호와 딜레이 신호를 비교하여 아크 차단 신호를 생성하는 로직 회로 및 상기 아크 센싱 회로 및 로직 회로의 동작을 제어하고, 아크 센싱 회로로부터 아크 발생 감지 결과를 수신하며, 로직 회로로부터 아크 차단 신호를 수신하여 펄스 출력 모듈의 출력단을 제어하는 제어부를 포함한다.

상기 로직 회로는 기준 신호를 수신하여 딜레이 신호를 생성시키는 딜레이 신호 생성부 및 상기 딜레이 신호와 출력 신호를 비교하여 아크 차단 신호를 생성하는 비교부를 포함할 수 있고, 상기 아크 센싱 회로는 펄스 출력 모듈의 출력단과 연결되어, 펄스 출력 모듈의 출력 신호를 수신하는 출력 신호 입력부, 아크 발생 여부의 판단 기준이 되는 레벨 신호를 생성하는 레벨 신호 생성부 및 상기 출력 신호와 레벨 신호를 비교하여 아크 발생 여부를 감지하는 아크 감지부를 포함할 수 있다.

한편, 본 발명의 아크 감지부는 출력 신호가 레벨 신호의 크기를 비교하여, 출력 신호가 레벨 신호보다 작은 경우 아크가 발생하였다고 판단하고, 레벨 신호 생성부는 레벨 신호의 크기 조절이 가능하다.

본 발명의 로직 회로는 출력 신호의 펄스 폭을 연산하는 카운터를 더 포함할 수 있고, 딜레이 신호 생성부는 상기 카운터에서 연산된 출력 신호의 펄스 폭 보다 작은 범위 내에서 상기 딜레이 신호가 기준 신호로부터 딜레이되는 정도를 조절할 수 있다.

한편, 본 발명의 로직 회로에서 아크 차단 신호는 아크 센싱 회로에서 검지된 아크보다 특정 주기 이후에 생성되는 것을 특징으로 하고, 아크 센싱 회로에서 기설정된 시간을 초과하여 아크가 감지되는 경우 제어부는 아크 종료 시점으로부터 기설정된 주기 이후에 펄스 출력 모듈을 재가동하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 의해 펄스 출력 모듈의 출력단에서 고속으로 아크를 검지하는 것이 가능하다.

그리고 펄스 출력 모듈의 차단 여부를 정확하게 판단하여, 펄스 출력 모듈을 안정적으로 사용할 수 있도록 한다.

뿐만 아니라, 레벨 신호를 조절하여 각각의 공정에 바람직한 아크 발생 기준을 설정할 수 있고, 아크의 발생 형태를 구별하여 각 형태에 맞게 펄스 출력 모듈을 제어할 수 있다.

도 1은 본 발명의 아크 차단 장치의 구성을 개략적으로 나타낸 구성도이다.
도 2는 본 발명의 아크 차단 장치가 펄스 전원 공급 장치에 장착된 예를 나타낸 회로도이다.
도 3은 본 발명의 아크 센싱 회로의 일 실시예를 나타낸 회로도이다.
도 4는 본 발명의 레벨 신호 생성부에서 레벨 신호 크기를 조절하여 아크 발생 여부를 감지하는 예를 나타낸 도면이다.
도 5는 본 발명의 아크 차단 장치 내 로직 회로의 구성을 개략적으로 나타낸 구성도이다.
도 6은 본 발명의 로직 회로 내 딜레이 신호 생성부의 일 실시예를 나타낸 회로도이다.
도 7은 본 발명의 로직 회로 내에 카운터가 더 포함된 실시예를 나타낸 도면이다.
도 8은 발명의 아크 차단 장치에서 아크를 검출하고 펄스 출력 모듈의 출력을 차단하는 예를 나타낸 도면이다.
도 9는 발명의 아크 차단 장치에서 아크 발생 형태에 따라 펄스 출력 모듈의 출력을 차단하는 방식을 달리하는 예를 나타낸 도면이다.

이하 첨부된 도면을 참고하여 본 발명에 대하여 상세하게 설명한다.

도 1은 본 발명의 아크 차단 장치의 구성을 개략적으로 나타낸 구성도이고, 도 2는 본 발명의 아크 차단 장치가 펄스 전원 공급 장치에 장착된 예를 나타낸 회로도이다.

본 발명의 아크 차단 장치는 펄스 출력 모듈의 출력단에 연결되어 출력단의 출력 신호와 레벨 신호를 비교하여 출력단의 아크 발생 여부를 감지하는 아크 센싱 회로, 기준 신호를 이용하여 딜레이 신호를 생성하고, 상기 출력단의 출력 신호와 딜레이 신호를 비교하여 아크 차단 신호를 생성하는 로직 회로 및 상기 아크 센싱 회로 및 로직 회로의 동작을 제어하고, 아크 센싱 회로로부터 아크 발생 감지 결과를 수신하며, 로직 회로로부터 아크 차단 신호를 수신하여 펄스 출력 모듈의 출력단을 제어하는 제어부를 포함한다.

본 발명의 특징 중 하나는 아크 센싱 회로가 출력단에 직접 연결되는 점이다. 도 2를 보면 아크 센싱 회로(아크 검출 회로라 표시되어 있음)가 펄스 출력 모듈의 출력단에 연결되어 있다. 출력단의 아크 발생시 펄스 출력 모듈이 동작하는 전압이나 전류 값을 측정하는 종래의 방식은 아크를 직접 검지하는 것이 아니라 전압/전류의 변화와 같은 간접적인 수치를 가지고 아크 발생을 판단한다. 종래의 방식은 펄스 출력 모듈의 출력단 이전에 전류 또는 전압을 측정하기 위한 구성이 부가되어야 하는데, 전류, 전압 측정에 상당한 시간이 소요된다. 이 뿐 아니라 전류, 전압 측정 후 전원을 차단하기 위해서 펄스 출력 모듈 이전에 결합된 구성(정류기, 필터, 컨버터, 저역필터, 클램핑 회로)을 제어하여 전원을 차단하는데, 이 또한 아크 차단에 적합하지 않을 정도로 시간 지연을 초래한다.

그러나 본 발명은 아크 발생을 검지하기 위한 아크 센싱 회로가 실제 아크가 발생하는 위치인 펄스 출력 모듈의 출력단에 직접 연결되어(도 2 참고) 아크 발생 여부를 직접 검지한다. 따라서, 아크를 검지하는 데에 소요되는 시간이 종래에 비하여 훨씬 단축된다. 아크 검지 후, 아크를 차단하기 위하여 제어부에서 펄스 출력 모듈의 출력단으로 유입되는 전류를 제어하는 것도 펄스 출력 모듈의 출력단 이전에 결합된 구성을 제어하는 것이 아니라 펄스 출력 모듈의 출력단 자체를 제어하는 것이므로 출력단 제어에 소요되는 시간이 단축된다. 따라서 종래에 비하여 아크 발생에 신속하게 대처할 수 있다.

본 발명의 아크 차단 장치 내 로직 회로는 기준 신호를 이용하여 딜레이 신호를 생성하고, 상기 딜레이 신호를 펄스 출력 모듈의 출력단으로부터 수신한 출력 신호와 비교하여 아크 차단 신호를 생성한다. 아크 차단 신호는 아크를 차단하기 위해 펄스 출력 모듈의 출력단을 제어하기 위한 정보를 포함하는 신호이다. 일례로 출력단에 연결된 스위치의 온/오프를 제어하기 위한 신호일 수 있다.

아크 차단 장치 내 제어부는 아크 센싱 회로로부터 수신된 아크 발생 감지 결과에 따라 아크 차단 여부를 인식(ack)하고, 로직 회로로부터 수신되는 아크 차단 신호에 따라 펄스 출력 모듈의 출력단을 제어한다. 펄스 출력 모듈의 출력단을 제어하는 방식은 다양하며, 일례로 출력단에 직접 연결된 스위치를 아크 차단 신호에 의해 온/오프 시킴으로써 출력단에서의 펄스 출력을 제어하고 아크 발생을 방지할 수 있다.

도 3은 본 발명의 아크 센싱 회로의 일 실시예를 나타낸 회로도이다.

본 발명의 아크 차단 장치 내 아크 센싱 회로는 펄스 출력 모듈의 출력단과 연결되어, 펄스 출력 모듈의 출력 신호를 수신하는 출력 신호 입력부, 아크 발생 여부의 판단 기준이 되는 레벨 신호를 생성하는 레벨 신호 생성부 및 상기 출력 신호와 레벨 신호를 비교하여 아크 발생 여부를 감지하는 아크 감지부를 포함한다.

레벨 신호란 아크 발생 여부의 판단 기준이 되는 신호로 펄스 출력 모듈이 사용되는 공정, 증착 대상물 등에 따라 조절이 가능하다. 아크 감지부는 레벨 신호와 출력 신호를 비교하여 아크 발생 여부를 판단하며, 일 실시예에서는 출력 신호가 레벨 신호보다 작은 경우 아크가 발생하였다고 판단한다.

도 4는 본 발명의 레벨 신호 생성부에서 레벨 신호 크기를 조절하여 아크 발생 여부를 감지하는 예를 나타낸 도면이다. 도 4의 위 쪽은 레벨 신호가 지나치게 낮게 설정되어 아크 발생을 검지하지 못한 예를 나타낸다. 아크 발생시 출력단에서 에너지가 아크를 발생시키는 데에 사용되므로 실제 출력단은 정상적인 경우에 비하여 낮아진다(도 4의 위쪽 그림에서 주황색으로 표시된 출력 신호의 3, 4주기가 아크가 발생한 상태이다.). 그러나 레벨 신호의 크기가 낮게 설정되어(도 4 위 그림의 녹색 점선) 아크가 발생한 경우의 출력 신호에 비해서도 낮은 경우, 아크를 제대로 검지할 수 없게 된다.

따라서 본 발명은 레벨 신호 생성부에서 생성되는 레벨 신호의 크기를 공정, 증착물에 따라 조절할 수 있도록 하며(도 4 아래 그림의 적색 점선), 아크를 확실하게 검지할 수 있는 정도에서 레벨 신호를 설정함으로써, 전류/전압을 직접 측정하지 않고 단순히 특정 기준 신호(레벨 신호)와 비교하는 것만으로도 아크 발생을 판단할 수 있다. 그 결과 아크 발생을 검지하는 데에 소요되는 시간이 종래에 비하여 단축되고, 아크 발생에 대해 신속하게 대처할 수 있다.

도 5는 본 발명의 아크 차단 장치 내 로직 회로의 구성을 개략적으로 나타낸 구성도이다.

본 발명의 로직 회로는 기준신호를 수신하여 딜레이 신호를 생성시키는 딜레이 신호 생성부 및 상기 딜레이 신호와 출력 신호를 비교하여 아크 차단 신호를 생성하는 비교부를 포함한다. 딜레이 신호는 아크 발생 차단 신호를 생성하기 위한 민감도를 결정하기 위한 신호로써(도 8의 세 번째에 표시됨), 딜레이 신호가 기준 신호에 비하여 많이 지연되는 경우, 아크 발생 여부를 판단하는 민감도는 감소하나 아크 발생 여부에 즉각 반응하지 않고 펄스 출력 모듈의 차단 여부를 신중하게 결정할 수 있도록 한다. 한편, 딜레이 신호가 기준 신호에 비하여 상대적으로 조금 지연되는 경우, 펄스 출력 모듈에서 펄스가 발생되는 직후에 계속하여 아크 차단 신호 생성 여부를 판단하게 되므로 앞서 설명한 경우에 비하여 아크 차단를 즉각적으로 결정할 수 있다.

한편, 기준 신호는 펄스 출력 모듈의 출력단에서 발생되는 출력 신호와 동일한 주기를 가지는 신호로써 펄스 출력 모듈을 발생시키는 장치와 동일한 클락을 사용하는 방식에 의해 기준 신호를 생성할 수 있다.

도 6에는 본 발명의 로직 회로 내 딜레이 신호 생성부의 일 실시예를 나타낸 회로도가 도시되어 있다.

딜레이 신호 생성부에는 앞서 설명한 기준 신호가 입력되고 기준신호는 적어도 한 개 이상(도 6에는 두 개가 도시되어 있음)의 D-FF(D-Flip/Flop)에 입력되고, 기준신호, 첫 번째 D-FF를 거친 신호,..., n번째 D-FF를 거친 신호를 합성하여 딜레이 신호를 생성한다. 이 때 D-FF에 입력되는 클락(CLK)의 주기 및 D-FF의 개수를 조절함으로써 딜레이 신호가 기준 신호에 비하여 딜레이되는 정도를 조절할 수 있다.

도 7은 본 발명의 로직 회로 내에 카운터가 더 포함된 실시예를 나타낸 도면이다.

본 실시예의 아크 차단 장치는 펄스 출력 모듈의 출력단과 로직 회로 내의 비교부사이에 출력 신호의 펄스 폭을 연산하는 카운터를 더 포함할 수 있다. 상기 카운터에 의해 출력 신호의 펄스 폭을 연산할 수 있으며, 연산된 펄스 폭을 고려하여 딜레이 신호 생성부에서 기준 신호가 딜레이되는 정도를 조절할 수 있다(기준 신호가 출력 신호의 펄스 폭 미만인 범위 내에서 딜레이되도록 한다.).

한편, 본 발명의 아크 차단 장치의 일 실시예에서 아크 차단 신호는 아크 센싱 회로에서 검지된 아크보다 특정 주기 이후에 생성되는 것을 특징으로 한다.

앞서 언급한 것처럼 펄스 출력 모듈을 차단하고, 다시 가동하게 되는 경우 장치의 차단 및 재가동에 따른 비용이 소요되므로 자칫 잘못된 판단으로 장치를 차단/재가동하는 경우 상당한 손해가 발생한다. 따라서 아크 발생 여부 및 출력 차단 여부를 신중하게 판단할 필요가 있는데, 본 실시예에서는 제어부가 로직 회로로부터 수신한 아크 차단 신호를 이용하여 펄스 출력 모듈의 출력단을 제어하는 데에 있어서 상기 아크 차단 신호가 아크 센싱 회로에서 수신된 아크 발생 감지 결과보다 특정 주기 이후에 생성되도록 하여, 아크 발생 시 즉각적으로 펄스 출력 모듈의 구동을 멈추는 것이 아니라, 특정 주기 동안의 아크 발생 양상을 확인한 후에 구동을 멈추도록 할 수 있다.

이에 따라 굳이 펄스 출력 모듈의 구동을 멈출 필요가 없는 경우, 예를 들어 아주 짧은 시간 동안 약하게 아크가 발생한 경우에 펄스 출력 모듈의 구동을 멈추는 오판을 줄일 수 있어, 보다 신중하게 아크 차단 장치를 제어할 수 있다.

도 8에는 발명의 아크 차단 장치에서 아크를 검출하고 펄스 출력 모듈의 출력을 차단하는 예가 도시되어 있다.

도 8에는 총 5가지의 신호가 도시되어 있다. 첫 번째 나타난 신호는 딜레이 신호를 생성하는데 사용되는 기준 신호이고, 두 번째 신호는 펄스 출력 모듈의 출력단에서 발생하는 출력 신호이다. 세 번째 신호는 로직 회로 내 딜레이 신호 생성부에서 생성된 딜레이 신호이고 네 번째 신호는 로직 회로 내 비교부에서 생성된 아크 차단 신호이다. 그리고 다섯 번째 신호는 펄스 출력 모듈의 출력단에서 나타난 출력 전류 신호이다.

출력 신호를 살펴보면(도 9 두 번째), 세 번째 주기에서 아크가 발생한 것을 확인할 수 있다. 아크 발생시 출력단의 전압은 0이되고, 전류는 순간적으로 고전류가 흐르게 된다(도 9 다섯 번째 참고). 딜레이 신호는 기준 신호에서 일정 시간 지연된 형태로 지속적으로 생성된다. 로직 회로에서는 딜레이 신호와 출력 신호를 비교하여 아크 차단 여부를 판단하는데, 아크 차단 신호는 아크 발생시 바로 발생할 수도 있고, 도 8의 네 번째 그림에 도시된 것처럼 특정 주기 이후에 발생될 수 있다. 아크 차단 신호가 특정 주기 이후에 발생되는 것에 대해서는 이미 설명하였다.

아크 차단 신호에 의해 펄스 출력 모듈이 차단된 경우 출력단의 전압 및 전류가 모두 0이 된다. 이는 도 8의 두 번째 및 다섯 번째 신호의 5주기 이후에 도시된 내용을 통해 확인할 수 있다. 그 결과 아크의 발생을 원천적으로 차단할 수 있게 된다.

도 9는 발명의 아크 차단 장치에서 아크 발생 형태에 따라 펄스 출력 모듈의 출력을 차단하는 방식을 달리하는 예를 나타낸 도면이다.

아크는 발생형태에 따라 순간적으로 발생하는 소프트 아크(soft arc)와 지속시간이 긴 하드 아크(hard arc)로 구분된다. 본 실시예에서는 소프트 아크가 발생한 경우와 하드 아크가 발생한 경우 아크를 차단하는 방식을 달리한다.

도 9의 위쪽 그래프는 소프트 아크가 발생한 때이고, 아래쪽 그래프는 하드 아크가 발생한 때이다. 아래 쪽 그래프의 아크 발생 시간이 더 긴 것을 확인할 수 있다(아크 발생 시간은 적색 화살표로 표시됨).

아크 지속 시간이 짧은 소프트 아크의 경우 아크 종료 시점 직후에 바로 펄스 출력 모듈을 재가동하여도 무방하지만, 하드 아크가 발생한 경우, 펄스 출력 모듈의 안전한 구동을 위해 기설정된 주기 이후에 펄스 출력 모듈을 재가동하는 것이 효율적이다(도 9에 도시된 예는 2주기 이후에 펄스 출력 모듈을 재가동하였으나 여기에 한정되는 것은 아니다.).

즉, 본 실시예에서는 상기 아크 센싱 회로에서 기설정된 시간을 초과하여 아크가 감지되는 경우(하드 아크가 감지되는 경우), 제어부는 아크 종료 시점으로부터 기설정된 주기 이후에 펄스 출력 모듈을 재가동하는 것을 특징으로 함으로써 아크의 발생 형태에 따라 보다 안전하게 펄스 출력 모듈이 가동될 수 있도록 한다.

본 발명의 실시예들은 예시의 목적을 위해 개시된 것으로 본 발명이 속한 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술 사상 범위 내에서 수정, 변경, 부가가 가능한 부분까지 본 특허청구범위에 속하는 것으로 보아야 할 것이다.

Claims (9)

1. 펄스 출력 모듈의 출력단에 연결되어 출력단의 출력 신호와 레벨 신호를 비교하여 출력단의 아크 발생 여부를 감지하는 아크 센싱 회로;
   기준 신호를 이용하여 딜레이 신호를 생성하고, 상기 출력단의 출력 신호와 딜레이 신호를 비교하여 아크 차단 신호를 생성하는 로직 회로; 및
   상기 아크 센싱 회로 및 로직 회로의 동작을 제어하고, 아크 센싱 회로로부터 아크 발생 감지 결과를 수신하며, 로직 회로로부터 아크 차단 신호를 수신하여 펄스 출력 모듈의 출력단을 제어하는 제어부;
   를 포함하는 펄스 출력 모듈의 아크 차단 장치
   
2. 청구항 1에 있어서, 상기 로직 회로는
   기준 신호를 수신하여 딜레이 신호를 생성시키는 딜레이 신호 생성부; 및
   상기 딜레이 신호와 출력 신호를 비교하여 아크 차단 신호를 생성하는 비교부;
   를 포함하는 것을 특징으로 하는 펄스 출력 모듈의 아크 차단 장치
   
3. 청구항 1에 있어서, 상기 아크 센싱 회로는
   펄스 출력 모듈의 출력단과 연결되어, 펄스 출력 모듈의 출력 신호를 수신하는 출력 신호 입력부;
   아크 발생 여부의 판단 기준이 되는 레벨 신호를 생성하는 레벨 신호 생성부; 및
   상기 출력 신호와 레벨 신호를 비교하여 아크 발생 여부를 감지하는 아크 감지부;
   를 포함하는 것을 특징으로 하는 펄스 출력 모듈의 아크 차단 장치
   
4. 청구항 3에 있어서, 상기 아크 감지부는 출력 신호가 레벨 신호의 크기를 비교하여, 출력 신호가 레벨 신호보다 작은 경우 아크가 발생하였다고 판단하는 것을 특징으로 하는 펄스 출력 모듈의 아크 차단 장치
   
5. 청구항 3에 있어서, 상기 레벨 신호 생성부는 레벨 신호의 크기 조절이 가능한 것을 특징으로 하는 펄스 출력 모듈의 아크 차단 장치
   
6. 청구항 2에 있어서, 상기 로직 회로는 출력 신호의 펄스 폭을 연산하는 카운터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 펄스 출력 모듈의 아크 차단 장치
   
7. 청구항 6에 있어서, 상기 딜레이 신호 생성부는 상기 카운터에서 연산된 출력 신호의 펄스 폭 보다 작은 범위 내에서 상기 딜레이 신호가 기준 신호로부터 딜레이되는 정도를 조절하는 것을 특징으로 하는 펄스 출력 모듈의 아크 차단 장치
   
8. 청구항 1에 있어서, 상기 아크 차단 신호는 아크 센싱 회로에서 검지된 아크보다 특정 주기 이후에 생성되는 것을 특징으로 하는 펄스 출력 모듈의 아크 차단 장치
   
9. 청구항 1에 있어서, 상기 아크 센싱 회로에서 기설정된 시간을 초과하여 아크가 감지되는 경우, 상기 제어부는 아크 종료 시점으로부터 기설정된 주기 이후에 펄스 출력 모듈을 재가동하는 것을 특징으로 하는 펄스 출력 모듈의 아크 차단 장치
   

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