JP2007149596A - プラズマ処理システムのアーク検出装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本願発明のプラズマ処理システムのアーク検出装置は、高周波電力を発生する高周波電源装置1と、高周波電源装置1から供給される高周波電力によりプラズマを発生させて被加工物Bに所定の加工処理を行うプラズマ処理装置4とを備えるものであって、プラズマ処理装置4のプラズマ処理中に、プラズマ処理装置4からの反射電力の変化を示す情報を検出する検出し、この反射電力の変化に関する情報の変化パターンに基づいて、プラズマ処理装置4における被加工物の加工品質に悪影響を与える微小なアークの発生を検出するアーク検出部17を備える。
【選択図】図1
Description
3 インピーダンス整合器
4 プラズマ処理装置
11 操作部
12 制御部
13 メモリ
14 発振部
15 増幅部
16 パワー検出部
17 アーク検出部
21 A/Dコンバータ
22 変化判定部
23 タイマ
24 カウンタ
25 アーク判定部
C 変化回数
C0 基準回数
LD 第1閾値
LU 第2閾値
T 所定時間
Claims (10)
- 高周波電力を発生する高周波電源装置と、前記高周波電源装置から供給される高周波電力によりプラズマを発生させて被加工物に所定の加工処理を行うプラズマ処理手段とを備えるプラズマ処理システムのアーク検出装置であって、
前記プラズマ処理手段のプラズマ処理中に、当該プラズマ処理手段からの反射電力の変化を示す情報を検出する検出手段と、
前記検出手段により検出される前記反射電力の変化に関する情報の変化パターンに基づいて、前記プラズマ処理手段における前記被加工物の加工品質に悪影響を与える微小なアークの発生を検出するアーク検出手段と、
を備えたことを特徴とする、プラズマ処理システムのアーク検出装置。 - 前記検出手段は、
前記反射電力の微小変化に関する情報を検出する微小変化検出手段と、
予め定める所定時間内に前記微小変化検出手段によって検出された微小変化の回数を計数する計数手段と、
前記計数手段によって計数された回数が予め定める基準回数を越えるか否かを判別する判別手段と、によって構成されており、
前記アーク検出手段は、
前記判別手段により前記計数手段による計数回数が前記基準回数を越えたとの判別結果に基づき、前記微小なアークの発生を検出する、請求項1に記載のプラズマ処理システムのアーク検出装置。 - 前記反射電力の変化に関する情報には、
少なくとも前記プラズマ処理手段からの反射電力の変化、前記プラズマ処理手段の入力端における反射係数、電圧、電流又はインピーダンスの変化が含まれる、請求項1又は2に記載のプラズマ処理システムのアーク検出装置。 - 前記微小変化検出手段は、
前記プラズマ処理手段から反射される高周波電力を検出する反射電力検出手段と、
前記反射電力検出手段によって検出された反射電力の値が微小変化したか否かを判別する微小変化判別手段と、
によって構成される、請求項2又は3に記載のプラズマ処理システムのアーク検出装置。 - 前記微小変化判別手段は、
前記反射電力検出手段によって検出された反射電力の微分値を算出する微分値演算手段と、
前記微分値演算手段によって算出された前記反射電力の微分値が予め定める第1閾値を下回った直後に、前記第1閾値より値が大きい第2閾値を上回ったことに基づいて、反射電力の値が微小変化したと判別する、請求項4に記載のプラズマ処理システムのアーク検出装置。 - 前記所定時間の値を変更する時間変更手段をさらに備える、請求項2ないし5のいずれかに記載のプラズマ処理システムのアーク検出装置。
- 前記第1閾値及び第2閾値を変更する閾値変更手段をさらに備える、請求項5又は6に記載のプラズマ処理システムのアーク検出装置。
- 前記基準回数の値を変更する回数変更手段をさらに備える、請求項2ないし7のいずれかに記載のプラズマ処理システムのアーク検出装置。
- 前記アーク検出手段により微小なアークが発生したとの判定結果が出力されると、その判定結果を報知する報知手段をさらに備える、請求項1ないし8のいずれかに記載のプラズマ処理システムのアーク検出装置。
- 前記アーク検出装置は、前記高周波電源装置の内部に設けられている、請求項1ないし9のいずれかに記載のプラズマ処理システムのアーク検出装置。
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