RU2006140280A

RU2006140280A - Кристаллизатор для кристаллизации кремния

Info

Publication number: RU2006140280A
Application number: RU2006140280/15A
Authority: RU
Inventors: Жильбер РАНКУЛЬ (FR); Жильбер РАНКУЛЬ
Original assignee: Везувиус Крусибл Компани (Us); Везувиус Крусибл Компани
Priority date: 2004-04-29
Filing date: 2005-04-26
Publication date: 2008-05-27
Also published as: CN1946881B; JP2007534590A; NO339723B1; DE602005007484D1; WO2005106084A1; ATE398196T1; EP1745164A1; TW200540130A; UA87842C2; TWI361174B; US7378128B2; RU2355832C2; CN1946881A; NO20065496L; MXPA06012509A; ES2306141T3; EP1745164B1; KR101213928B1; KR20070004901A; PL1745164T3

Claims

1. Кристаллизатор (1), предназначенный для кристаллизации кремния, который содержит a) основной корпус (2), содержащий нижнюю поверхность (21) и боковые стенки (22), образующие внутренний объем; b) промежуточный слой (3), содержащий от 50 до 100 вес.% диоксида кремния, на поверхности боковых стенок (22) обращенной к внутреннему объему; и

c) поверхностный слой (4), содержащий от 50 до 100 вес.% нитрида кремния, до 50 вес.% диоксида кремния и до 20 вес.% кремния, нанесенный сверху от промежуточного слоя (2).

2. Кристаллизатор по п.1, отличающийся тем, что промежуточный слой имеет толщину в диапазоне от 50 до 500 мкм, преимущественно от 200 до 500 мкм.

3. Кристаллизатор по п.1 или 2, отличающийся тем, что промежуточный слой (3) содержит неорганический связующий материал, преимущественно коллоидный диоксид кремния.

4. Кристаллизатор по п.3, отличающийся тем, что неорганический связующий материал присутствует в количестве от 5 до 20 вес.%.

5. Кристаллизатор по п.1, отличающийся тем, что промежуточный слой (3) содержит органический связующий материал, преимущественно выбранный из группы, в которую входят полиоксиэтиленгликоль, поливиниловый спирт, поликарбонат, эпоксидная смола и карбоксиметилцеллюлоза.

6. Кристаллизатор по п.5, отличающийся тем, что органический связующий материал присутствует в количестве до 5 вес.%.

7. Кристаллизатор по п.1, отличающийся тем, что он содержит дополнительный промежуточный слой (31), нанесенный сверху первого промежуточного слоя (3), содержащий до 50 вес.% нитрида кремния, с остатком из диоксида кремния.

8. Кристаллизатор по п.7, отличающийся тем, что дополнительный промежуточный слой (31) имеет толщину до 200 мкм, преимущественно от 50 до 100 мкм.

9. Кристаллизатор по п.1, отличающийся тем, что поверхностный слой (4) имеет толщину в диапазоне от 50 до 500 мкм, преимущественно от 200 до 500 мкм.

10. Кристаллизатор по п.1, отличающийся тем, что поверхностный слой (4) содержит от 50 до 100 вес.% Si₃N₄, до 40 вес.% SiO₂ и до 10 вес.% кремния.

11. Способ изготовления кристаллизатора (1) для кристаллизации кремния, который включает в себя следующие операции: a) использование основного корпуса (2), содержащего нижнюю поверхность (21) и боковые стенки (22), образующие внутренний объем; b) нанесение промежуточного слоя (3), содержащего от 50 до 100 вес.% диоксида кремния, на поверхность боковых стенок (22), обращенную к внутреннему объему; и c) нанесение поверхностного слоя (4), содержащего от 50 до 100 вес.% нитрида кремния, до 50 вес.% диоксида кремния и до 20 вес.% кремния сверх промежуточного слоя (3).

12. Способ по п.11, отличающийся тем, что он дополнительно включает в себя операцию b') нанесения дополнительного промежуточного слоя (31), содержащего главным образом до 50 вес.% нитрида кремния, с остатком из диоксида кремния, причем указанный промежуточный слой наносят сверху первого промежуточного слоя (3), ранее проведения операции с).

13. Способ по п.11 или 12, отличающийся тем, что по меньшей мере одну из операций b), b') или с) проводят при помощи напыления.

14. Способ по п.11, отличающийся тем, что он дополнительно включает в себя операцию нагрева имеющего покрытие кристаллизатора, проводимую при температуре и в течение времени, необходимых для выжигания главным образом всех органических соединений, присутствующих в покрытиях.