RU2008117093A - Тигель для кристаллизации кремния и способ его изготовления - Google Patents

Тигель для кристаллизации кремния и способ его изготовления Download PDF

Info

Publication number
RU2008117093A
RU2008117093A RU2008117093/15A RU2008117093A RU2008117093A RU 2008117093 A RU2008117093 A RU 2008117093A RU 2008117093/15 A RU2008117093/15 A RU 2008117093/15A RU 2008117093 A RU2008117093 A RU 2008117093A RU 2008117093 A RU2008117093 A RU 2008117093A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
silicon
crucible
silicon nitride
protective coating
crucible according
Prior art date
Application number
RU2008117093/15A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2401889C2 (ru
Inventor
Жилбер РАНКУЛЬ (FR)
Жилбер РАНКУЛЬ
Original Assignee
Везувиус Крусибл Компани (Us)
Везувиус Крусибл Компани
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Везувиус Крусибл Компани (Us), Везувиус Крусибл Компани filed Critical Везувиус Крусибл Компани (Us)
Publication of RU2008117093A publication Critical patent/RU2008117093A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2401889C2 publication Critical patent/RU2401889C2/ru

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/626—Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B
    • C04B35/63—Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B using additives specially adapted for forming the products, e.g.. binder binders
    • C04B35/6303—Inorganic additives
    • C04B35/6316—Binders based on silicon compounds
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C30—CRYSTAL GROWTH
    • C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B11/00—Single-crystal growth by normal freezing or freezing under temperature gradient, e.g. Bridgman-Stockbarger method
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
    • C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
    • C04B35/584—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/626—Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B
    • C04B35/62605—Treating the starting powders individually or as mixtures
    • C04B35/62625—Wet mixtures
    • C04B35/6264—Mixing media, e.g. organic solvents
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/009—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone characterised by the material treated
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
    • C04B41/50—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials
    • C04B41/5053—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials non-oxide ceramics
    • C04B41/5062—Borides, Nitrides or Silicides
    • C04B41/5066—Silicon nitride
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/80—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone of only ceramics
    • C04B41/81—Coating or impregnation
    • C04B41/85—Coating or impregnation with inorganic materials
    • C04B41/87—Ceramics
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C30—CRYSTAL GROWTH
    • C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B11/00—Single-crystal growth by normal freezing or freezing under temperature gradient, e.g. Bridgman-Stockbarger method
    • C30B11/002—Crucibles or containers for supporting the melt
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C30—CRYSTAL GROWTH
    • C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B15/00—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
    • C30B15/10—Crucibles or containers for supporting the melt
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27B—FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
    • F27B14/00—Crucible or pot furnaces
    • F27B14/08—Details peculiar to crucible or pot furnaces
    • F27B14/10—Crucibles
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/34—Non-metal oxides, non-metal mixed oxides, or salts thereof that form the non-metal oxides upon heating, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3418—Silicon oxide, silicic acids or oxide forming salts thereof, e.g. silica sol, fused silica, silica fume, cristobalite, quartz or flint
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/34—Non-metal oxides, non-metal mixed oxides, or salts thereof that form the non-metal oxides upon heating, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3427—Silicates other than clay, e.g. water glass
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/38—Non-oxide ceramic constituents or additives
    • C04B2235/3852—Nitrides, e.g. oxynitrides, carbonitrides, oxycarbonitrides, lithium nitride, magnesium nitride
    • C04B2235/3873—Silicon nitrides, e.g. silicon carbonitride, silicon oxynitride
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/48—Organic compounds becoming part of a ceramic after heat treatment, e.g. carbonising phenol resins
    • C04B2235/483—Si-containing organic compounds, e.g. silicone resins, (poly)silanes, (poly)siloxanes or (poly)silazanes
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/50—Constituents or additives of the starting mixture chosen for their shape or used because of their shape or their physical appearance
    • C04B2235/54—Particle size related information
    • C04B2235/5418—Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof
    • C04B2235/5436—Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof micrometer sized, i.e. from 1 to 100 micron
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/50—Constituents or additives of the starting mixture chosen for their shape or used because of their shape or their physical appearance
    • C04B2235/54—Particle size related information
    • C04B2235/5418—Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof
    • C04B2235/5445—Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof submicron sized, i.e. from 0,1 to 1 micron
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
    • C04B2235/80—Phases present in the sintered or melt-cast ceramic products other than the main phase

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
  • Silicon Compounds (AREA)
  • Crucibles And Fluidized-Bed Furnaces (AREA)
  • Ceramic Products (AREA)
  • Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
  • Glass Compositions (AREA)
  • Optical Elements Other Than Lenses (AREA)

Abstract

1. Тигель (1) для кристаллизации кремния, который содержит ! a) основание (2), имеющее нижнюю поверхность (21) и боковые стенки (22), образующие внутренний объем; ! b) защитное покрытие (3) на базе нитрида кремния, обращенное к внутреннему объему; ! отличающийся тем, что указанное защитное покрытие (3) содержит от 80 до 95 вес.% нитрида кремния, от 5 до 20 вес.% низкотемпературного минерального связующего материала, при полном содержании кислорода в диапазоне от 5 до 15% по весу. ! 2. Тигель по п.1, отличающийся тем, что полное содержание кислорода находится в диапазоне от 8 до 12% по весу. ! 3. Тигель по п.1, отличающийся тем, что защитное покрытие из нитрида кремния (3) имеет толщину от 50 до 500 мкм, преимущественно от 200 до 500 мкм. ! 4. Тигель по п.1, отличающийся тем, что защитное покрытие из нитрида кремния содержит частицы размером ≤1 мкм, ! 5. Тигель по п.4, отличающийся тем, что защитное покрытие из нитрида кремния также содержит более крупные частицы. ! 6. Тигель по п.5, отличающийся тем, что крупные частицы имеют размеры от 2 до 50 мкм, преимущественно от 2 до 5 мкм. ! 7. Тигель по п.4, отличающийся тем, что количество крупных частиц составляет от 20 до 50% по весу. ! 8. Тигель по одному из пп.1-7, отличающийся тем, что низкотемпературный минеральный связующий материал содержит металлоорганическое соединение на базе кремния, преимущественно выбранное из группы, в которую входят силоксан, тетраэтилортосиликат, тетраатоксисилан, полидиметилсилан или их комбинация. ! 9. Тигель по одному из пп.1-7, отличающийся тем, что низкотемпературный минеральный связующий материал содержит связующий материал на базе диоксида кремния, преимущественно выбранный из группы, в которую вх

Claims (13)

1. Тигель (1) для кристаллизации кремния, который содержит
a) основание (2), имеющее нижнюю поверхность (21) и боковые стенки (22), образующие внутренний объем;
b) защитное покрытие (3) на базе нитрида кремния, обращенное к внутреннему объему;
отличающийся тем, что указанное защитное покрытие (3) содержит от 80 до 95 вес.% нитрида кремния, от 5 до 20 вес.% низкотемпературного минерального связующего материала, при полном содержании кислорода в диапазоне от 5 до 15% по весу.
2. Тигель по п.1, отличающийся тем, что полное содержание кислорода находится в диапазоне от 8 до 12% по весу.
3. Тигель по п.1, отличающийся тем, что защитное покрытие из нитрида кремния (3) имеет толщину от 50 до 500 мкм, преимущественно от 200 до 500 мкм.
4. Тигель по п.1, отличающийся тем, что защитное покрытие из нитрида кремния содержит частицы размером ≤1 мкм,
5. Тигель по п.4, отличающийся тем, что защитное покрытие из нитрида кремния также содержит более крупные частицы.
6. Тигель по п.5, отличающийся тем, что крупные частицы имеют размеры от 2 до 50 мкм, преимущественно от 2 до 5 мкм.
7. Тигель по п.4, отличающийся тем, что количество крупных частиц составляет от 20 до 50% по весу.
8. Тигель по одному из пп.1-7, отличающийся тем, что низкотемпературный минеральный связующий материал содержит металлоорганическое соединение на базе кремния, преимущественно выбранное из группы, в которую входят силоксан, тетраэтилортосиликат, тетраатоксисилан, полидиметилсилан или их комбинация.
9. Тигель по одному из пп.1-7, отличающийся тем, что низкотемпературный минеральный связующий материал содержит связующий материал на базе диоксида кремния, преимущественно выбранный из группы, в которую входят силикон, силоксан, хлорсилан или их комбинация.
10. Тигель по одному из пп.1-7, отличающийся тем, что низкотемпературный минеральный связующий материал содержит субмикронные частицы и/или наночастицы диоксида кремния, позволяющие образовать суспензию, преимущественно коллоидный раствор диоксида кремния.
11. Способ изготовления тигля (1) для кристаллизации кремния, который включает в себя следующие операции:
a) использование основания (2), которое имеет нижнюю поверхность (21) и боковые стенки (22), образующие внутренний объем; и
b) нанесение защитного покрытия (3), которое содержит от 80 до 95 вес.% нитрида кремния и от 5 до 20 вес.% низкотемпературного минерального связующего материала, при полном содержании кислорода в диапазоне свыше 5% по весу, на поверхность боковых стенок (22), обращенную к внутреннему объему.
12. Способ по п.11, отличающийся тем, что он включает в себя дополнительную операцию с) нагревания тигля с нанесенным покрытием при температуре ниже температуры окисления нитрида кремния.
13. Способ по п.11 или 12, отличающийся тем, что операцию b) проводят путем напыления.
RU2008117093/05A 2005-10-06 2006-10-06 Тигель для кристаллизации кремния и способ его изготовления RU2401889C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP05447224 2005-10-06
EP05447224.6 2005-10-06

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2008117093A true RU2008117093A (ru) 2009-11-20
RU2401889C2 RU2401889C2 (ru) 2010-10-20

Family

ID=35735284

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2008117093/05A RU2401889C2 (ru) 2005-10-06 2006-10-06 Тигель для кристаллизации кремния и способ его изготовления

Country Status (18)

Country Link
US (1) US8298333B2 (ru)
EP (1) EP1954856B1 (ru)
JP (1) JP4917607B2 (ru)
KR (1) KR101212924B1 (ru)
CN (1) CN101278078B (ru)
AT (1) ATE439461T1 (ru)
AU (1) AU2006298957B2 (ru)
BR (1) BRPI0616485A2 (ru)
CA (1) CA2624887C (ru)
DE (1) DE602006008498D1 (ru)
ES (1) ES2327570T3 (ru)
NO (1) NO20082102L (ru)
PL (1) PL1954856T3 (ru)
RU (1) RU2401889C2 (ru)
TW (1) TWI400369B (ru)
UA (1) UA89284C2 (ru)
WO (1) WO2007039310A1 (ru)
ZA (1) ZA200803754B (ru)

Families Citing this family (56)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102005050593A1 (de) * 2005-10-21 2007-04-26 Esk Ceramics Gmbh & Co. Kg Dauerhafte siliciumnitridhaltige Hartbeschichtung
EP1811064A1 (fr) 2006-01-12 2007-07-25 Vesuvius Crucible Company Creuset pour le traitement de silicium à l'état fondu
PL1985594T3 (pl) * 2007-04-25 2012-03-30 3M Innovative Properties Co Kształtowy korpus z trwałą, twardą powłoką z azotku krzemu, sposób jego wytwarzania i jego zastosowanie
US8048365B2 (en) * 2007-04-30 2011-11-01 General Electric Company Crucibles for melting titanium alloys
US20080292804A1 (en) 2007-04-30 2008-11-27 Bernard Patrick Bewlay Methods for making refractory crucibles for melting titanium alloys
BE1017674A3 (fr) * 2007-07-05 2009-03-03 Fib Services Internat Composition de traitement de chambre a parois refractaires et son procede de mise en oeuvre.
DE102007053284A1 (de) 2007-11-08 2009-05-20 Esk Ceramics Gmbh & Co. Kg Fest haftende siliciumnitridhaltige Trennschicht
DE102008031766A1 (de) 2008-07-04 2009-10-15 Schott Ag Verfahren zur Herstellung eines beschichteten Tiegels aus einem Tiegelgrünkörper oder aus einem zwischengebrannten Tiegelkörper sowie die Verwendung solch eines beschichteten Tiegels
CN101428273B (zh) * 2008-12-05 2011-03-30 江阴海润太阳能电力有限公司 多晶硅太阳能电池铸锭用石英坩埚的氮化硅喷涂方法
CN101433890B (zh) * 2008-12-05 2010-12-29 江阴海润太阳能电力有限公司 低压下在石英坩埚内壁上喷涂氮化硅涂层的方法及装置
CN101775639B (zh) * 2009-01-08 2012-05-30 常熟华融太阳能新型材料有限公司 用于多晶硅结晶炉炉壁保护的内衬及其制造方法
CN101508590B (zh) * 2009-03-20 2012-07-04 江西赛维Ldk太阳能高科技有限公司 一种多晶硅铸锭用坩埚涂层以及制备方法
CN101798236B (zh) * 2009-04-30 2011-12-07 山东圣川陶瓷材料有限公司 干法水泥回转窑预热器用陶瓷内筒
EP2543751A3 (en) * 2009-07-16 2013-06-26 MEMC Singapore Pte. Ltd. Coated crucibles and methods for preparing and use thereof
JP5518584B2 (ja) * 2010-06-16 2014-06-11 電気化学工業株式会社 離型剤用窒化珪素粉末。
CN101870592B (zh) * 2010-06-30 2012-05-30 武汉理工大学 镀氮化钛碳化硅纤维的制备方法
FR2964117B1 (fr) * 2010-08-27 2012-09-28 Commissariat Energie Atomique Creuset pour la solidification de lingot de silicium
CN103124693B (zh) * 2010-10-08 2015-07-22 吉坤日矿日石金属株式会社 硅锭制造用容器
KR20130133820A (ko) * 2010-12-28 2013-12-09 우베 고산 가부시키가이샤 다결정 실리콘 잉곳 주조용 주형 및 그 제조 방법, 그리고 다결정 실리콘 잉곳 주조용 주형의 이형재용 질화규소 분말 및 그것을 함유한 슬러리
KR20130133822A (ko) * 2010-12-28 2013-12-09 우베 고산 가부시키가이샤 다결정 실리콘 잉곳 주조용 주형 및 그 제조 방법, 그리고 다결정 실리콘 잉곳 주조용 주형의 이형재용 질화규소 분말 및 그것을 함유한 슬러리
US8664135B2 (en) * 2010-12-30 2014-03-04 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Crucible body and method of forming same
EP2751302B1 (de) * 2011-08-31 2017-05-31 3M Innovative Properties Company Siliziumnitridhaltige trennschicht hoher härte
US20130239882A1 (en) * 2011-09-09 2013-09-19 Robert Billings Bramhall, JR. Coated crucible and method of making a coated crucible
US8747538B2 (en) * 2011-09-20 2014-06-10 Chung-Hou Tony Hsiao Photovoltaic ingot mold release
CN102358953B (zh) * 2011-09-28 2015-12-09 江西赛维Ldk太阳能高科技有限公司 一种减少粘埚的坩埚及其制备方法
US8858697B2 (en) 2011-10-28 2014-10-14 General Electric Company Mold compositions
CN103130528B (zh) * 2011-12-05 2014-06-11 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司 多晶硅铸锭用的免烧结坩埚涂层结构及其制备方法
US9011205B2 (en) 2012-02-15 2015-04-21 General Electric Company Titanium aluminide article with improved surface finish
US8932518B2 (en) 2012-02-29 2015-01-13 General Electric Company Mold and facecoat compositions
CN103360077B (zh) * 2012-04-01 2014-12-24 浙江昱辉阳光能源有限公司 一种氮化硅坩埚及其制备方法
CN104583464A (zh) * 2012-06-25 2015-04-29 希利柯尔材料股份有限公司 用于纯化硅的耐火坩埚的表面的衬里以及使用该坩埚进行熔化和进一步定向凝固以纯化硅熔融体的方法
JP5901448B2 (ja) * 2012-06-28 2016-04-13 デンカ株式会社 離型剤用窒化ケイ素粉末
US8906292B2 (en) 2012-07-27 2014-12-09 General Electric Company Crucible and facecoat compositions
US8708033B2 (en) 2012-08-29 2014-04-29 General Electric Company Calcium titanate containing mold compositions and methods for casting titanium and titanium aluminide alloys
US8992824B2 (en) 2012-12-04 2015-03-31 General Electric Company Crucible and extrinsic facecoat compositions
US9592548B2 (en) 2013-01-29 2017-03-14 General Electric Company Calcium hexaluminate-containing mold and facecoat compositions and methods for casting titanium and titanium aluminide alloys
DE102013206993B4 (de) 2013-04-18 2014-12-04 Morgan Advanced Materials Haldenwanger GmbH Verfahren zur Beschichtung von Formkörpern aus Quarzgut
CN103243392A (zh) * 2013-05-09 2013-08-14 天津英利新能源有限公司 多晶硅铸锭炉与制备均匀细小晶粒多晶硅铸锭的方法
FR3010716B1 (fr) * 2013-09-16 2015-10-09 Commissariat Energie Atomique Substrat pour la solidification de lingot de silicium
CN103526290A (zh) * 2013-10-24 2014-01-22 阿特斯(中国)投资有限公司 多晶硅铸锭的制备方法
US9192983B2 (en) 2013-11-26 2015-11-24 General Electric Company Silicon carbide-containing mold and facecoat compositions and methods for casting titanium and titanium aluminide alloys
US9511417B2 (en) 2013-11-26 2016-12-06 General Electric Company Silicon carbide-containing mold and facecoat compositions and methods for casting titanium and titanium aluminide alloys
US10391547B2 (en) 2014-06-04 2019-08-27 General Electric Company Casting mold of grading with silicon carbide
TWI663126B (zh) * 2014-07-09 2019-06-21 法商維蘇威法國公司 包含可磨塗層之輥、其製造方法及其用途
CN104140759B (zh) * 2014-07-17 2016-08-24 宁波晶元太阳能有限公司 多晶硅铸锭用石英坩埚底部引晶涂层的制备方法
CN105063757B (zh) * 2015-09-17 2017-12-29 晶科能源有限公司 一种低氧喷涂方法
CN105603374B (zh) * 2016-02-19 2018-06-12 中科院微电子研究所昆山分所 一种在多晶硅铸锭坩埚上制备Si3N4薄膜的方法
KR102571434B1 (ko) * 2016-12-28 2023-08-29 오씨아이 주식회사 실리카 도가니 내벽에 질화규소를 코팅하는 방법
CN107162001A (zh) * 2017-06-20 2017-09-15 晋能清洁能源光伏工程有限责任公司 一种多晶硅分凝铸造方法及分凝装置
CN107876362B (zh) * 2017-11-10 2021-03-23 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司 大尺寸铸锭用坩埚涂层的自动喷涂工艺及坩埚
DE102018206982A1 (de) * 2018-05-04 2019-11-07 Alzchem Trostberg Gmbh Tiegel zur Herstellung von multikristallinem Silicium mittels gerichteter Erstarrung, Verfahren zu dessen Herstellung und dessen Verwendung, sowie Verfahren zur Herstellung von multikristallinem Silicium mittels gerichteter Erstarrung
CN109750351A (zh) * 2018-05-31 2019-05-14 河北高富氮化硅材料有限公司 一种多晶硅铸锭用高效Si3N4粉
CN109704782B (zh) * 2019-01-30 2021-12-14 中国科学院理化技术研究所 一种用于光伏多晶硅生产的Si2N2O陶瓷粉体的制备方法
US20220212998A1 (en) * 2019-04-17 2022-07-07 Materion Corporation Crucibles and compositions and processes for making same
CN114477781B (zh) * 2020-10-23 2024-05-24 中国科学院理化技术研究所 一种复合陶瓷涂层脱模剂的制备工艺
KR102407043B1 (ko) * 2022-03-04 2022-06-10 주식회사 에스티아이 탄화규소 분말의 합성방법

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4218418A (en) * 1978-06-22 1980-08-19 Crystal Systems, Inc. Processes of casting an ingot and making a silica container
US4741925A (en) * 1987-09-14 1988-05-03 Gte Products Corporation Method of forming silicon nitride coating
US5283124A (en) 1990-03-02 1994-02-01 Kansai Paint Co., Ltd. Coating resin composition
EP0963464B1 (de) * 1997-02-06 2001-07-18 Deutsche Solar GmbH Mit siliciumschutzschichten versehene schmelztiegel, ein verfahren zum aufbringen der siliciumschutzschicht und deren verwendung
WO2002040732A1 (en) * 2000-11-15 2002-05-23 G.T. Equipment Technologies Inc. A protective layer for quartz crucibles used for silicon crystallization
UA81278C2 (en) * 2002-12-06 2007-12-25 Vessel for holding a silicon and method for its making
UA87842C2 (ru) 2004-04-29 2009-08-25 Везувіус Крусібл Компані Кристаллизатор для кристаллизации кремния и способ его изготвления
EP1739209A1 (en) 2005-07-01 2007-01-03 Vesuvius Crucible Company Crucible for the crystallization of silicon
EP1811064A1 (fr) * 2006-01-12 2007-07-25 Vesuvius Crucible Company Creuset pour le traitement de silicium à l'état fondu

Also Published As

Publication number Publication date
TW200720496A (en) 2007-06-01
ES2327570T3 (es) 2009-10-30
TWI400369B (zh) 2013-07-01
PL1954856T3 (pl) 2010-01-29
NO20082102L (no) 2008-05-05
ATE439461T1 (de) 2009-08-15
EP1954856A1 (en) 2008-08-13
EP1954856B1 (en) 2009-08-12
US8298333B2 (en) 2012-10-30
AU2006298957A1 (en) 2007-04-12
BRPI0616485A2 (pt) 2012-12-25
UA89284C2 (ru) 2010-01-11
WO2007039310A1 (en) 2007-04-12
ZA200803754B (en) 2009-09-30
CN101278078A (zh) 2008-10-01
CN101278078B (zh) 2011-01-19
CA2624887A1 (en) 2007-04-12
DE602006008498D1 (de) 2009-09-24
US20080260608A1 (en) 2008-10-23
CA2624887C (en) 2013-07-09
JP2009510387A (ja) 2009-03-12
AU2006298957B2 (en) 2010-06-03
RU2401889C2 (ru) 2010-10-20
KR20080051144A (ko) 2008-06-10
KR101212924B1 (ko) 2012-12-14
JP4917607B2 (ja) 2012-04-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2008117093A (ru) Тигель для кристаллизации кремния и способ его изготовления
JP2009510387A5 (ru)
ATE398196T1 (de) Tiegel für die kristallisation von silicium
ATE468426T1 (de) Tiegel für die kristallisation von silicium und verfahren zu ihrer herstellung
JP5209195B2 (ja) 窒化ケイ素を含有する耐久性ハードコーティング
RU2008132975A (ru) Кристаллизатор для обработки расплавленного кремния и способ его изготовления
CN103827351B (zh) 高硬度的含氮化硅剥离层
WO2011009062A4 (en) Coated crucibles and methods for preparing and use thereof
US8664135B2 (en) Crucible body and method of forming same
TW201344135A (zh) 用於容納熔融材料之坩堝及其生產，使用方法
NO327122B1 (no) Beleggingssystem
JP2010280529A (ja) 多結晶シリコン製造用ルツボの製造方法
CN103896282B (zh) 氧化硅纳米线的碳化硅粉末压坯制备方法
Narisawa et al. Microstructure of SiC-Si-Al2O3 composites derived from silicone resin-metal aluminum filler compounds by low temperature reduction process
JP4911607B2 (ja) シリコン鋳造用鋳型およびその製造方法
JP2005161359A (ja) シリコン鋳造用鋳型のコーティング方法およびシリコン鋳造用鋳型
JP2006327895A5 (ru)

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20181007