KR970706383A - 기체의 표면처리 방법 및 그에 사용되는 표면처리 조성물(method for treating surface of substrate and surface treatment composition therefor) - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract 40
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 title claims abstract 32
- 239000000203 mixture Substances 0.000 title claims abstract 19
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims 4
- 239000008139 complexing agent Substances 0.000 claims abstract 52
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 claims abstract 23
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract 20
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 claims abstract 18
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 claims abstract 18
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims abstract 15
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract 14
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract 14
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract 13
- 125000004433 nitrogen atom Chemical group N* 0.000 claims abstract 12
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 claims abstract 12
- 125000002915 carbonyl group Chemical group [*:2]C([*:1])=O 0.000 claims abstract 9
- 125000002029 aromatic hydrocarbon group Chemical group 0.000 claims abstract 6
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 claims abstract 5
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims abstract 5
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Malonic acid Chemical compound OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract 4
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 claims abstract 3
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 17
- 125000004434 sulfur atom Chemical group 0.000 claims 11
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 10
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 claims 10
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 claims 8
- IWYDHOAUDWTVEP-UHFFFAOYSA-N mandelic acid Chemical compound OC(=O)C(O)C1=CC=CC=C1 IWYDHOAUDWTVEP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 8
- CCUNBJAVKGOAEV-UHFFFAOYSA-N 2,2-dihydroxy-2-phenylacetic acid;ethane-1,2-diamine Chemical compound NCCN.OC(=O)C(O)(O)C1=CC=CC=C1 CCUNBJAVKGOAEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 6
- 150000003863 ammonium salts Chemical class 0.000 claims 5
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 claims 5
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 4
- 239000002519 antifouling agent Substances 0.000 claims 4
- 150000002009 diols Chemical class 0.000 claims 4
- 239000007800 oxidant agent Substances 0.000 claims 4
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 claims 4
- PIICEJLVQHRZGT-UHFFFAOYSA-N Ethylenediamine Chemical compound NCCN PIICEJLVQHRZGT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 3
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims 3
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 claims 3
- 125000000751 azo group Chemical group [*]N=N[*] 0.000 claims 3
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims 3
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims 3
- HGPSVOAVAYJEIJ-XDHOZWIPSA-N 2-[(e)-(3,4-dihydroxyphenyl)-(3-hydroxy-4-oxoniumylidenecyclohexa-2,5-dien-1-ylidene)methyl]benzenesulfonate Chemical compound C1=CC(=O)C(O)=C\C1=C(C=1C(=CC=CC=1)S(O)(=O)=O)/C1=CC=C(O)C(O)=C1 HGPSVOAVAYJEIJ-XDHOZWIPSA-N 0.000 claims 2
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O Ammonium Chemical compound [NH4+] QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O 0.000 claims 2
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- CPELXLSAUQHCOX-UHFFFAOYSA-N Hydrogen bromide Chemical compound Br CPELXLSAUQHCOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 claims 2
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 claims 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims 2
- 125000006841 cyclic skeleton Chemical group 0.000 claims 2
- 125000003916 ethylene diamine group Chemical group 0.000 claims 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims 2
- 125000000717 hydrazino group Chemical group [H]N([*])N([H])[H] 0.000 claims 2
- 125000001183 hydrocarbyl group Chemical group 0.000 claims 2
- 150000004715 keto acids Chemical group 0.000 claims 2
- 125000000449 nitro group Chemical group [O-][N+](*)=O 0.000 claims 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims 2
- VLTRZXGMWDSKGL-UHFFFAOYSA-N perchloric acid Chemical compound OCl(=O)(=O)=O VLTRZXGMWDSKGL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- WLJVXDMOQOGPHL-UHFFFAOYSA-N phenylacetic acid Chemical compound OC(=O)CC1=CC=CC=C1 WLJVXDMOQOGPHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- -1 saturated aliphatic mono Chemical class 0.000 claims 2
- 125000006290 2-hydroxybenzyl group Chemical group [H]OC1=C(C([H])=C([H])C([H])=C1[H])C([H])([H])* 0.000 claims 1
- NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N Ammonium chloride Substances [NH4+].[Cl-] NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- LSNNMFCWUKXFEE-UHFFFAOYSA-M Bisulfite Chemical compound OS([O-])=O LSNNMFCWUKXFEE-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims 1
- KXDHJXZQYSOELW-UHFFFAOYSA-N Carbamic acid Chemical group NC(O)=O KXDHJXZQYSOELW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 235000009421 Myristica fragrans Nutrition 0.000 claims 1
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- IOVCWXUNBOPUCH-UHFFFAOYSA-N Nitrous acid Chemical compound ON=O IOVCWXUNBOPUCH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229920002125 Sokalan® Polymers 0.000 claims 1
- UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N Sulphide Chemical compound [S-2] UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N acetic acid Substances CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000003929 acidic solution Substances 0.000 claims 1
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 claims 1
- 239000012670 alkaline solution Substances 0.000 claims 1
- 125000003342 alkenyl group Chemical group 0.000 claims 1
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 claims 1
- 235000011114 ammonium hydroxide Nutrition 0.000 claims 1
- 125000002648 azanetriyl group Chemical group *N(*)* 0.000 claims 1
- KGBXLFKZBHKPEV-UHFFFAOYSA-N boric acid Chemical compound OB(O)O KGBXLFKZBHKPEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000004327 boric acid Substances 0.000 claims 1
- BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-N carbonic acid Chemical compound OC(O)=O BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- JFEVWPNAOCPRHQ-UHFFFAOYSA-N chembl1316021 Chemical compound OC1=CC=CC=C1N=NC1=CC=CC=C1O JFEVWPNAOCPRHQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- XTEGARKTQYYJKE-UHFFFAOYSA-N chloric acid Chemical compound OCl(=O)=O XTEGARKTQYYJKE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229940005991 chloric acid Drugs 0.000 claims 1
- QBWCMBCROVPCKQ-UHFFFAOYSA-N chlorous acid Chemical compound OCl=O QBWCMBCROVPCKQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229940077239 chlorous acid Drugs 0.000 claims 1
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-O diazynium Chemical group [NH+]#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-O 0.000 claims 1
- 150000001991 dicarboxylic acids Chemical class 0.000 claims 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 claims 1
- 125000001033 ether group Chemical group 0.000 claims 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims 1
- 229910000042 hydrogen bromide Inorganic materials 0.000 claims 1
- XMBWDFGMSWQBCA-UHFFFAOYSA-N hydrogen iodide Chemical compound I XMBWDFGMSWQBCA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910000043 hydrogen iodide Inorganic materials 0.000 claims 1
- QWPPOHNGKGFGJK-UHFFFAOYSA-N hypochlorous acid Chemical compound ClO QWPPOHNGKGFGJK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 125000001841 imino group Chemical group [H]N=* 0.000 claims 1
- 239000003112 inhibitor Substances 0.000 claims 1
- 239000001115 mace Substances 0.000 claims 1
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000011255 nonaqueous electrolyte Substances 0.000 claims 1
- 229960003424 phenylacetic acid Drugs 0.000 claims 1
- 239000003279 phenylacetic acid Substances 0.000 claims 1
- ABLZXFCXXLZCGV-UHFFFAOYSA-N phosphonic acid group Chemical group P(O)(O)=O ABLZXFCXXLZCGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 230000003449 preventive effect Effects 0.000 claims 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 claims 1
- 238000000746 purification Methods 0.000 claims 1
- RMAQACBXLXPBSY-UHFFFAOYSA-N silicic acid Chemical compound O[Si](O)(O)O RMAQACBXLXPBSY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 claims 1
- 125000000542 sulfonic acid group Chemical group 0.000 claims 1
- 150000003564 thiocarbonyl compounds Chemical class 0.000 claims 1
- ZMZDMBWJUHKJPS-UHFFFAOYSA-M thiocyanate group Chemical group [S-]C#N ZMZDMBWJUHKJPS-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910001868 water Inorganic materials 0.000 claims 1
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 239000007767 bonding agent Substances 0.000 abstract 1
- 150000001735 carboxylic acids Chemical class 0.000 abstract 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 abstract 1
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 abstract 1
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 abstract 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C11—ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
- C11D—DETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
- C11D7/00—Compositions of detergents based essentially on non-surface-active compounds
- C11D7/02—Inorganic compounds
- C11D7/04—Water-soluble compounds
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02041—Cleaning
- H01L21/02043—Cleaning before device manufacture, i.e. Begin-Of-Line process
- H01L21/02054—Cleaning before device manufacture, i.e. Begin-Of-Line process combining dry and wet cleaning steps
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C11—ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
- C11D—DETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
- C11D3/00—Other compounding ingredients of detergent compositions covered in group C11D1/00
- C11D3/39—Organic or inorganic per-compounds
- C11D3/3947—Liquid compositions
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C11—ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
- C11D—DETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
- C11D7/00—Compositions of detergents based essentially on non-surface-active compounds
- C11D7/02—Inorganic compounds
- C11D7/04—Water-soluble compounds
- C11D7/06—Hydroxides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C11—ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
- C11D—DETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
- C11D7/00—Compositions of detergents based essentially on non-surface-active compounds
- C11D7/22—Organic compounds
- C11D7/26—Organic compounds containing oxygen
- C11D7/261—Alcohols; Phenols
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C11—ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
- C11D—DETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
- C11D7/00—Compositions of detergents based essentially on non-surface-active compounds
- C11D7/22—Organic compounds
- C11D7/26—Organic compounds containing oxygen
- C11D7/263—Ethers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C11—ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
- C11D—DETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
- C11D7/00—Compositions of detergents based essentially on non-surface-active compounds
- C11D7/22—Organic compounds
- C11D7/26—Organic compounds containing oxygen
- C11D7/264—Aldehydes; Ketones; Acetals or ketals
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C11—ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
- C11D—DETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
- C11D7/00—Compositions of detergents based essentially on non-surface-active compounds
- C11D7/22—Organic compounds
- C11D7/26—Organic compounds containing oxygen
- C11D7/265—Carboxylic acids or salts thereof
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C11—ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
- C11D—DETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
- C11D7/00—Compositions of detergents based essentially on non-surface-active compounds
- C11D7/22—Organic compounds
- C11D7/26—Organic compounds containing oxygen
- C11D7/266—Esters or carbonates
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C11—ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
- C11D—DETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
- C11D7/00—Compositions of detergents based essentially on non-surface-active compounds
- C11D7/22—Organic compounds
- C11D7/26—Organic compounds containing oxygen
- C11D7/267—Heterocyclic compounds
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C11—ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
- C11D—DETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
- C11D7/00—Compositions of detergents based essentially on non-surface-active compounds
- C11D7/22—Organic compounds
- C11D7/32—Organic compounds containing nitrogen
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C11—ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
- C11D—DETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
- C11D7/00—Compositions of detergents based essentially on non-surface-active compounds
- C11D7/22—Organic compounds
- C11D7/32—Organic compounds containing nitrogen
- C11D7/3227—Ethers thereof
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C11—ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
- C11D—DETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
- C11D7/00—Compositions of detergents based essentially on non-surface-active compounds
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- C11D7/3245—Aminoacids
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C11D—DETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
- C11D7/00—Compositions of detergents based essentially on non-surface-active compounds
- C11D7/22—Organic compounds
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- H—ELECTRICITY
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02041—Cleaning
- H01L21/02043—Cleaning before device manufacture, i.e. Begin-Of-Line process
- H01L21/02052—Wet cleaning only
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- C11D—DETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
- C11D2111/00—Cleaning compositions characterised by the objects to be cleaned; Cleaning compositions characterised by non-standard cleaning or washing processes
- C11D2111/10—Objects to be cleaned
- C11D2111/14—Hard surfaces
- C11D2111/22—Electronic devices, e.g. PCBs or semiconductors
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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Abstract
표면 처리 조성물로써 물질의 표면을 처리하는 방법, 이때 표면 처리 조성물은 금속 침전 방지제로서 착화제를 함유하는 액체매질로 이루어지며, 상기 착화제는 하기로부터 선택된 하나 이상의 원으로 이루어진다 : (군 A) 착화제 및 하기로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 원 : (군 B1 내지 B6) 착화제 : 그의 분자 구조에서 방향족 탄화수소 고리를 갖는 (군 A) 착화제 및 OH기 및/또는 고리로 이루어진 탄소원자에 직접 결합된 O기; (군 B1) 그의 분자 구조에서 공여 원자로서 질소원자를 갖는 착화제; (군 B2) 그의 분자 구조에서 할로겐, 황 및 탄소원자로부터 선택된 하나 이상의 공여원자를 갖는 착화제; (군 B3) 그의 분자 구조에서 공여 원자로서 산소원자를 갖는 착화제; (군 B4) 그의 분자 구조에서 카르복실기를 갖는 카르복실산 착화제; (군 B5) 그의 분자 구조에서 4개 이하의 히드록실기를 갖는 히드록시 모노- 또는 디카르복실산 착화제; 및 (군 B6) 그의 분자 구조에서 카르보닐기를 갖는 착화제.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
Claims (47)
- 표면처리 조성물을 사용하여 기체의 표면을 처리하는 방법에 있어서, 이 표면처리 조성물이 액체매질중에 금속부착 방지제로서 착화제를 함유하는 조성물이며, 이 착화제가 하기 (A 군)에서 선발된 1종 이상 및 하기 (B1 군)∼(B6 군)의 어느 군중에서 선발된 1종 이상의 착화제로 이루어진 방법.(A 군) 분자 구조중에 방향족, 탄화수소환을 가지며 또는 이 환을 구성하는 탄소원자에 직접 결합한 OH기 및/또는 O-기를 1개 이상 가지는 착화제.(B1 군) 분자 구조중에 공여 원자인 질소원자를 1개 이상 가지는 착화제.(B2 군) 분자 구조중에 공여 원자인 할로겐원자, 황원자 또는 탄소원자에서 선발되는 1종 이상의 원자를 1개 이상 가지는 착화제.(B3 군) 분자 구조중에 공여 원자인 산소원자를 1개 이상 가지나 카르보닐 및 카르복실기를 가지지 아니하고 또한 공여원자인 질소원자, 할로겐원자, 황원자 및 탄소원자의 어느 것도 가지지 아니하는 착화제.(B4 군) 분자 구조중에 카르복실사기를 1개 이상 가지나 공여원자인 질소원자, 할로겐원자, 황원자 또는 탄소 원자를 가지지 아니하고 또한 카르보닐기 및 수산기를 가지지 않는 카르분산계 착화제.(B5 군) 분자 구조중에 4개 이하의 수산기를 가지나 공여원자인 질소원자, 할로겐원자, 황원자 및 탄소원자 및 카르보닐기를 함유하지 않는 히드록시모노 또는 디카르본산계 착화제.(B6 군) 분자 구조중에 카르보닐기를 1개 이상 가지는 착화제.
- 제1항에 있어서, 전기 (B1 군)에 있어서, 공여 원자인 질소원자를 1개 이상 가지는 착화제가 아미노기, 이미노기, 니트리로기(제3질소원자) 티오시아네이트기, 히드록시아미노기, 히드록시아미노기, 니트로기, 니트로소기, 히드라디노기, 히드라조노기, 히드라조기, 4조기, 아조키시기, 디아조늄기 및 아시드기에서 선발되는 1종 이상의 배치기를 가지는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제1항에 있어서, 전기 (B1 군)의 착화제가 아미노 카르본산기 또는 복소환식 다환 아미노기를 가지는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제1항에 있어서, 전기 (B2 군)에 있어서, 공여 원자인 할로겐 원자를 가지는 착화제가 불화수소산, 염산, 브롬화 수소 또는 요오드화 수소 또는 그들의 염인 것을 특징으로 하는 방법.
- 제1항에 있어서, 전기 (B2 군)에 있어서, 공여 원자인 황원자를 가지는 착화제가 식 HS-, S2-, S2O3 2-, RS-, R-COS-, R-CSS-, 또는 CS3 2-로 표시되는 기의 적어도 1종의 배위기를 가지나 또는 RSH, R′2S 또는 R2C=S로 표시되는 티올, 술피드 또는 티오카르보닐 화합물에서 선발되는 것을 특징으로 하는 방법(단 전기식 중 R은 알킬기를 표시하며, Ri는 알킬기 또는 알케닐기를 표시하며 다시 서로 연결하여 황원자를 포함한 환을 형성해도 된다.)
- 제1항에 있어서, 전기 (B2 군)에 있어서, 공여 원자인 탄소원자를 가지는 착화제가 식 NC-, RNC 또는 RCC-로 표시되는 기의 적어도 1종의 배위기를 가지는 것을 특징으로 하는 방법(단, 식중 R은 알킬기를 표시한다).
- 제1항에 있어서, 전기 (B3 군)의 착화제가 수산기, 포스폰산기, 술폰산기 및 엣르기에서 선발되는 적어도 1종의 배위를 가지는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제1항에 있어서, 전기 (B3 군)의 착화제가 옥소산 또는 그의 염 또는 에테르인 것을 특징으로 하는 방법.
- 제8항에 있어서, 옥소산, 황산, 인산, 축합인산, 붕산, 규산, 탄산, 질산, 아질산, 과염소산, 염소산, 아염소산 또는 차아염소산인 것을 특징으로 하는 방법.
- 제1항에 있어서, 전기 (B4 군)의 착화제는 탄소수 2∼3의 포화 지방족 모노 또는 디카르본산 또는 그의 염에서 선발되는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제1항에 있어서, 전기 (B5 군)의 착화제는 분자 구조중에 1 또는 2개의 수산기를 가지는 히드록시모노 또는 디카르본산인 것을 특징으로 하는 방법.
- 제1항에 있어서, 전기 (B6 군)의 착화제는 분자구조중에 공여 원자인 질소원자, 할로겐원자, 황원자 및 탄소원자의 어느 원자도 함유치 않는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제1항에 있어서, 전기 (B6 군)의 착화제는 분자구조중에 2개의 카르보닐기를 가지는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제1항에 있어서, 전기 (A 군)의 착화제는 분자 구조중에 OH기 및/또는 O-기를 2개 이상 가지는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제1항에 있어서, 금속부착 방지제의 함유량이 10-7∼2중량%인 것을 특징으로 하는 방법.
- 제14항에 있어서, 금속부착 방지제의 함유량이 10-6∼0.5중량%인 것을 특징으로 하는 방법.
- 제1항에 있어서, 액메채가 알칼리성 수용액인 것을 특징으로 하는 방법.
- 제16항에 있어서, 알칼리성 수용액이 암모니아 및 과산화수소를 함유하여 이룬 방법.
- 액체매질중에 금속부착 방지제로서 착화제를 함유하는 표면처리 조성물이며 이 착화제가 하기 (A 군)에서 선발된 1종 이상 및 하기 (B1 군)∼(B6 군)의 어느 군중에서 선발된 1종 이상의 착화제에서 이룬 표면 처리조성물.(A 군) 분자 구조중에 방향족, 탄화수소환을 가지고 또한 이 환을 구성하는 탄소원자에 직접 결합한 OH기 및/또는 O-기를 1개 이상 가지는 착화제.(B1 군) 분자 구조중에 공여 원자인 질소원자를 1개 이상 가지는 착화제.(B2 군) 분자 구조중에 공여 원자인 할로겐원자, 황원자 또는 탄소원자에서 선발되는 1종 이상의 원자를 1개 이상 가지는 착화제.(B3 군) 분자 구조중에 공여 원자인 산소원자를 1개 이상 가지나 카르보닐기 및 카르복실기를 가지지 아니하고 또한 공여원자인 질소원자, 할로겐원자, 황원자 및 탄소원자의 어느 것도 갖지 않는 착화제.(B4 군) 분자 구조중에 카르복실사기를 1개 이상 가지나 공여원자인 질소원자, 할로겐원자, 황원자 및 탄소원자를 가지지 아니하고 또한 카르보닐기 및 수산기를 가지지 않는 카르분산계 착화제.(B5 군) 분자 구조중에 4개 이하의 수산기를 가진 공여원자인 질소원자, 할로겐원자, 황원자 및 탄소원자 및 카르보닐기를 함유하지 않는 히드록시모노 또는 디카르본산계 착화제.(B6 군) 분자 구조중에 카르보닐기를 1개 이상 가지는 착화제.
- 표면처리 조성물을 사용하여 기체의 표면을 처리하는 방법에 있어서 이 표면 처리 조성물의 액체매질중에 금속 부착 방지제로서 에틸렌디아민디올트히드록시페닐아세트산, 2-히드록시-1-(2-히드록시-5-메틸페닐아조)-4-나프탈렌술폰산, 4,4′-비스(3,4-디히드록시페닐아조)-2,2′-스틸벤디술폰산이 암모늄, 피로카테콜바이올렛, O, O′-디히드록시아조벤젠, 1,2-디히드록시-5-니트로-1,2′-아조나프탈렌-4-술폰산, N,N′-비스(2-히드록시벤질)에틸렌 디아민-N,N′-이 아세트산에서 선발된 1종 이상의 착화제를 함유하는 방법.
- 제19항에 있어서, 금속부착 방지제가 에틸렌 디아민 디올트히드록시페닐 아세트산인 것을 특징으로 하는 표면 처리방법.
- 제19항에 있어서, 금속부착 방지제의 함유량이 10-7∼2중량%인 것을 특징으로 하는 표면 처리방법.
- 제19항에 있어서, 액체매질이 알칼리성 수용액인 것을 특징으로 하는 표면 처리방법.
- 제22항에 있어서, 알칼리성 수용액이 암모니아 및 과산화수소를 함유하여 이룬 것을 특징으로 하는 표면 처리방법.
- 액체매질 중에 금속부착 방지제로서 에틸렌 디아민디올트 히드록시페닐 아세트산, 2-히드록시-1-(2-히드록시-5-메틸페닐아조)-4-나프탈렌술폰산, 4,4′-비스(3,4-디히드록시페닐아조)-2,2′-스틸벤디술폰산이 암모늄, 피로카테콜바이올렛, O,O′-디히드록시아조벤젠, 1,2-디히드록시-5-니트로-1,2′-아조나프탈렌-4-술폰산, N,N′-비스(92-히드록시벤질)에틸렌디아민-N,N′-이 아세트산에서 선발되는 1종 이상이 착화제를 함유하는 표면처리 조성물.
- 제24항에 있어서, 금속부착 방지제가 에틸렌 디아민디올트 히드록시페닐 아세트산인 것을 특징으로 하는 표면처리 조성물.
- 표면처리 조성물을 사용하여 기체의 표면을 처리하는 방법에 있어서 이 표면처리 조성물이 액체매질 중에 방향족 탄화수소기에 직접 결합한 OH기를 가지는 유기 착화제 및 산화제를 함유하는 조성물에 있어서 산화제의 농도가 1중량ppm 이상, 3중량% 이하인 것을 특징으로 하는 표면 처리방법.
- 제26항에 있어서, 유기 착화제가 1분자중에 방향족 탄화수소기에 직접 결합한 OH기를 2개 이상 가지는 착화제인 것을 특징으로 하는 표면 처리방법.
- 제26항에 있어서, 액체매질중에 2종 이상의 착화제를 함유하여 이 착화제 중 적어도 1종은 분자중에 방향족 탄화수소기에 직접 결합한 OH기를 가지지 않는 착화제인 것을 특징으로 하는 표면 처리방법.
- 제28항에 있어서, 방향족 탄화수소기에 직접 결합한 OH기를 가지지 않는 착화제가 (B1 군)∼(B6 군) 어느 군중에서 선발된 착화제인 것을 특징으로 하는 표면 처리방법.
- 제26항에 있어서, 산화제가 100중량ppm 이상, 3중량% 이하의 과산화 수소인 것을 특징으로 하는 표면 처리방법.
- 제26항에 있어서, 액체매질이 3중량% 이하의 암모니아를 함유하는 것을 특징으로 하는 표면 처리방법.
- 액체매질 중에 방향족 탄화수소기에 직접 결합한 OH기를 가지는 유기 착화제 및 산화제를 함유하는 표면처리 조성물에 있어서, 산화제의 농도가 1중량ppm 이상, 3중량% 이하인 것을 특징으로 하는 표면처리조성물.
- 액체매질 중에 암모니아, 물 및 금속부착, 방지제로서 분자 구조중에 환상 골격을 가지고 또는 이 환을 구성하는 탄소원자에 결합한 OH기 및/또는 O-기를 1개 이상 가지는 유기 착화제를 함유하는 알칼리성 표면처리 조성물을 사용하여 기체의 표면 처리를 행할 때 증발한 암모니아분을 당해 유기 착화제를 함유하는 암모니아 수용액으로 보충하는 표면 처리방법.
- 제33항에 있어서, 액체매질중의 암모니아 농도가 0.1∼35중량% 유기 착화제 농도가 10-7∼2중량%인 것을 특징으로 하는 표면 처리방법.
- 제33항에 있어서, 액체매질 중에 다시 과산화 수소가 함유하고 있는 것을 특징으로 하는 표면 처리방법.
- 제35항에 있어서, 과산화수소의 농도가 100중량ppm 이상, 3중량% 이하인 것을 특징으로 하는 표면 처리방법.
- 제33항에 있어서, 유기 착화제가 분자 구조중에 환상골격을 가지며 또한 이 환을 구성하는 탄소원자에 결합한 OH 기 및/또는 O-기를 2개 이상 가지는 것을 특징으로 하는 표면 처리방법.
- 제33항에 있어서, 보충하는 암모니아 수용액이 암모니아 농도가 0.1∼35중량% 유기 착화제 농도가 10-7∼5중량%, 금속 불순물 농도가 각 금속당 10-4중량% 이하인 것을 특징으로 하는 표면 처리방법.
- 제33항에 있어서, 유기 착화제로서 다시 상기 (B1 군)∼(B6 군)에서 이룬 군중에서 선발된 유기 착화제를 함유하는 것을 특징으로 하는 표면 처리방법.
- 표면처리 조성물을 사용하여 기체의 표면을 처리하는 방법에 있어 이 표면처리 조성물이 액체매질 중에 금속부착 방지제로서 Fe, Al, Zn 중 1개 이상의 금속원소의 함유량이 5ppm 이하인 고순도 에틸렌디아민디올트 히드록시페닐아세트산 또는 그의 암모늄염을 첨가하여 수득되는 조성물인 것을 특징으로 하는 표면 처리방법.
- 제40항에 있어서, 고순도 에틸렌디아민디올트히드록시페닐아세트산 또는 그의 암모늄염 중의 Fe 함유량이 5ppm 이하 Al 함유량이 2ppm 이하, Zn 함유량이 2ppm 이하인 것을 특징으로 하는 표면 처리방법.
- Fe, Al, Zn 중의 1개 이상의 금속원소의 함유량이 5ppm 이하인 고순도 에틸렌디아민 디올트히드록시페닐아세트산 또는 그의 암모늄염.
- 제42항에 있어서, 고순도 에틸렌디아민디올트히드록시페닐 아세트산 및 그의 암모늄염을 함유하는 표면처리 조성물.
- 제43항에 있어서, 에틸렌디아민디올트히드록시페닐아세트산이 10-7∼5중량%, 암모니아가 0.1∼35중량% 함유하며 또한 Fe, Al, Zn 중 1개 이상의 금속원소의 함유량이 5ppb 이하인 것을 특징으로 하는 조성물.
- 산성 또는 알칼리성 용액에 에틸렌디아민디올트히드록시페닐아세트산 또는 그의 염을 용해한 후 불용성 불순물을 로과분리하여 제거하고 재차 중화하여 에틸렌 디아민 디올트 히드록시페닐 아세트산의 결정을 석출시켜 이 결정을 액과 분리하여 수득하는 것을 특징으로 하는 고순도 에틸렌디아민 디올트 히드록시페닐 아세트산 또는 그의 암모늄염의 정제방법.
- 제45항에 있어서, 불용성 불순물의 로과분리가 개구경 0.5㎛ 이하의 필터에 의하여 행하여지는 것을 특징으로 하는 정제방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Applications Claiming Priority (17)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19150495A JP3198878B2 (ja) | 1995-07-27 | 1995-07-27 | 表面処理組成物及びそれを用いた基体の表面処理方法 |
JP95-191504 | 1995-07-27 | ||
JP23070095 | 1995-08-17 | ||
JP95-230700 | 1995-08-17 | ||
JP95-243859 | 1995-08-30 | ||
JP24385995A JPH0967688A (ja) | 1995-08-30 | 1995-08-30 | 基体の表面処理組成物及び表面処理方法 |
JP25723895A JPH0982677A (ja) | 1995-09-11 | 1995-09-11 | 表面処理組成物及びそれを使用する表面処理方法 |
JP95-257238 | 1995-09-11 | ||
JP25723795A JPH0982676A (ja) | 1995-09-11 | 1995-09-11 | 表面処理組成物及びそれを用いた基体の表面処理方法 |
JP95-257237 | 1995-09-11 | ||
JP95-279912 | 1995-10-04 | ||
JP95-279913 | 1995-10-04 | ||
JP27991395A JPH09100494A (ja) | 1995-10-04 | 1995-10-04 | 表面処理組成物及び基体の表面処理方法 |
JP27991295 | 1995-10-04 | ||
JP96-26087 | 1996-03-13 | ||
JP96-56087 | 1996-03-13 | ||
JP05608796A JP3303655B2 (ja) | 1996-03-13 | 1996-03-13 | 表面処理組成物及び表面処理方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR970706383A true KR970706383A (ko) | 1997-11-03 |
KR100429440B1 KR100429440B1 (ko) | 2004-07-15 |
Family
ID=27572467
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019970702024A KR100429440B1 (ko) | 1995-07-27 | 1996-07-25 | 기체의표면처리방법및그에사용되는표면처리조성물 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US5885362A (ko) |
EP (1) | EP0789071B1 (ko) |
KR (1) | KR100429440B1 (ko) |
DE (1) | DE69636618T2 (ko) |
WO (1) | WO1997005228A1 (ko) |
Families Citing this family (97)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5885362A (en) * | 1995-07-27 | 1999-03-23 | Mitsubishi Chemical Corporation | Method for treating surface of substrate |
US6410494B2 (en) | 1996-06-05 | 2002-06-25 | Wako Pure Chemical Industries, Ltd. | Cleaning agent |
TW416987B (en) * | 1996-06-05 | 2001-01-01 | Wako Pure Chem Ind Ltd | A composition for cleaning the semiconductor substrate surface |
JPH10178077A (ja) * | 1996-12-17 | 1998-06-30 | Nec Corp | 半導体基板の定量汚染試料の作製方法 |
JP4386968B2 (ja) * | 1996-12-24 | 2009-12-16 | アドバンスド テクノロジー マテリアルズ,インコーポレイテッド | 半導体基板から残留物をストリッピングするための1,3−ジカルボニル化合物キレート剤を含む処方物 |
US6896826B2 (en) | 1997-01-09 | 2005-05-24 | Advanced Technology Materials, Inc. | Aqueous cleaning composition containing copper-specific corrosion inhibitor for cleaning inorganic residues on semiconductor substrate |
US6224785B1 (en) * | 1997-08-29 | 2001-05-01 | Advanced Technology Materials, Inc. | Aqueous ammonium fluoride and amine containing compositions for cleaning inorganic residues on semiconductor substrates |
US6755989B2 (en) | 1997-01-09 | 2004-06-29 | Advanced Technology Materials, Inc. | Aqueous cleaning composition containing copper-specific corrosion inhibitor for cleaning inorganic residues on semiconductor substrate |
KR100497835B1 (ko) * | 1997-01-27 | 2005-09-08 | 미쓰비시 가가꾸 가부시키가이샤 | 표면처리조성물및이를이용한기판의표면처리방법 |
US6384001B2 (en) * | 1997-03-03 | 2002-05-07 | Micron Technology, Inc. | Dilute cleaning composition |
US6313048B1 (en) | 1997-03-03 | 2001-11-06 | Micron Technology, Inc. | Dilute cleaning composition and method for using same |
US6149828A (en) * | 1997-05-05 | 2000-11-21 | Micron Technology, Inc. | Supercritical etching compositions and method of using same |
JP3039493B2 (ja) * | 1997-11-28 | 2000-05-08 | 日本電気株式会社 | 基板の洗浄方法及び洗浄溶液 |
US6372699B1 (en) * | 1997-12-22 | 2002-04-16 | Kurita Water Industries Ltd. | Cleaning solution for electronic materials and method for using same |
US6211126B1 (en) * | 1997-12-23 | 2001-04-03 | Advanced Technology Materials, Inc. | Formulations including a 1, 3-dicarbonyl compound chelating agent for stripping residues from semiconductor substrates |
JP3595441B2 (ja) * | 1997-12-29 | 2004-12-02 | 三菱電機株式会社 | 塩酸過水を用いた洗浄方法 |
US6242165B1 (en) | 1998-08-28 | 2001-06-05 | Micron Technology, Inc. | Supercritical compositions for removal of organic material and methods of using same |
JP4090589B2 (ja) * | 1998-09-01 | 2008-05-28 | 株式会社フジミインコーポレーテッド | 研磨用組成物 |
JP3003684B1 (ja) | 1998-09-07 | 2000-01-31 | 日本電気株式会社 | 基板洗浄方法および基板洗浄液 |
EP1136527A4 (en) | 1998-10-19 | 2003-07-09 | Toto Ltd | Stain-resistant material and method for producing the same, coating composition and device therefor |
JP3177973B2 (ja) * | 1999-01-28 | 2001-06-18 | 日本電気株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP3550507B2 (ja) * | 1999-03-25 | 2004-08-04 | Necエレクトロニクス株式会社 | 被洗浄体のすすぎ方法およびその装置 |
US6799583B2 (en) * | 1999-05-13 | 2004-10-05 | Suraj Puri | Methods for cleaning microelectronic substrates using ultradilute cleaning liquids |
US6885466B1 (en) * | 1999-07-16 | 2005-04-26 | Denso Corporation | Method for measuring thickness of oxide film |
JP4344855B2 (ja) * | 1999-08-06 | 2009-10-14 | 野村マイクロ・サイエンス株式会社 | 電子デバイス用基板の有機汚染防止法及び有機汚染を防止した電子デバイス用基板 |
US6344432B1 (en) | 1999-08-20 | 2002-02-05 | Advanced Technology Materials, Inc. | Formulations including a 1,3-dicarbonyl compound chelating agent and copper corrosion inhibiting agents for stripping residues from semiconductor substrates containing copper structures |
US6638143B2 (en) | 1999-12-22 | 2003-10-28 | Applied Materials, Inc. | Ion exchange materials for chemical mechanical polishing |
US7375066B2 (en) * | 2000-03-21 | 2008-05-20 | Wako Pure Chemical Industries, Ltd. | Semiconductor wafer cleaning agent and cleaning method |
BR0003706A (pt) * | 2000-05-30 | 2002-02-13 | Tecsis Tecnologia E Sist S Ava | Pá para ventilador axial de baixo ruìdo e alta eficiência |
US6486108B1 (en) | 2000-05-31 | 2002-11-26 | Micron Technology, Inc. | Cleaning composition useful in semiconductor integrated circuit fabrication |
KR100363271B1 (ko) * | 2000-06-12 | 2002-12-05 | 주식회사 동진쎄미켐 | 포토레지스트 리무버 조성물 |
US6927176B2 (en) * | 2000-06-26 | 2005-08-09 | Applied Materials, Inc. | Cleaning method and solution for cleaning a wafer in a single wafer process |
US7456113B2 (en) | 2000-06-26 | 2008-11-25 | Applied Materials, Inc. | Cleaning method and solution for cleaning a wafer in a single wafer process |
JP4661005B2 (ja) | 2000-09-05 | 2011-03-30 | 和光純薬工業株式会社 | Ti系膜用エッチング剤及びエッチング方法 |
KR100822236B1 (ko) * | 2000-11-30 | 2008-04-16 | 토소가부시키가이샤 | 레지스트 박리제 |
US6566315B2 (en) | 2000-12-08 | 2003-05-20 | Advanced Technology Materials, Inc. | Formulations including a 1,3-dicarbonyl compound chelating agent and copper corrosion inhibiting agents for stripping residues from semiconductor substrates containing copper structures |
TWI276682B (en) * | 2001-11-16 | 2007-03-21 | Mitsubishi Chem Corp | Substrate surface cleaning liquid mediums and cleaning method |
JP3787085B2 (ja) * | 2001-12-04 | 2006-06-21 | 関東化学株式会社 | フォトレジスト残渣除去液組成物 |
JP3869730B2 (ja) * | 2002-01-16 | 2007-01-17 | 株式会社平間理化研究所 | 処理液調製供給方法及び装置 |
US20030148624A1 (en) * | 2002-01-31 | 2003-08-07 | Kazuto Ikemoto | Method for removing resists |
WO2003091376A1 (en) * | 2002-04-24 | 2003-11-06 | Ekc Technology, Inc. | Oxalic acid as a cleaning product for aluminium, copper and dielectric surfaces |
US20030201185A1 (en) * | 2002-04-29 | 2003-10-30 | Applied Materials, Inc. | In-situ pre-clean for electroplating process |
WO2003104900A2 (en) * | 2002-06-07 | 2003-12-18 | Mallinckrodt Baker Inc. | Microelectronic cleaning compositions containing oxidizers and organic solvents |
US20040002430A1 (en) * | 2002-07-01 | 2004-01-01 | Applied Materials, Inc. | Using a time critical wafer cleaning solution by combining a chelating agent with an oxidizer at point-of-use |
JP2006505132A (ja) * | 2002-11-05 | 2006-02-09 | メルク パテント ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフトング | 半導体の表面処理およびそれに使用される混合物 |
TW200413522A (en) * | 2002-11-08 | 2004-08-01 | Sumitomo Chemical Co | Washing liquid for semiconductor substrate |
CN100440445C (zh) * | 2002-11-08 | 2008-12-03 | 福吉米株式会社 | 抛光组合物和清洗组合物 |
WO2004046271A1 (en) * | 2002-11-18 | 2004-06-03 | Saudi Arabian Oil Company | Descaling and corrosion inhibiting composition |
KR100835606B1 (ko) * | 2002-12-30 | 2008-06-09 | 엘지디스플레이 주식회사 | 구리용 레지스트 제거용 조성물 |
TWI264620B (en) * | 2003-03-07 | 2006-10-21 | Asml Netherlands Bv | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
EP1648991B1 (en) * | 2003-06-27 | 2007-10-17 | Interuniversitair Microelektronica Centrum ( Imec) | Semiconductor cleaning solution |
US7241725B2 (en) * | 2003-09-25 | 2007-07-10 | Rohm And Haas Electronic Materials Cmp Holdings, Inc. | Barrier polishing fluid |
JP4620680B2 (ja) | 2003-10-29 | 2011-01-26 | マリンクロッド・ベイカー・インコーポレイテッド | ハロゲン化金属の腐食阻害剤を含有するアルカリ性のプラズマエッチング/灰化後の残渣の除去剤およびフォトレジスト剥離組成物 |
US6946396B2 (en) * | 2003-10-30 | 2005-09-20 | Nissan Chemical Indusries, Ltd. | Maleic acid and ethylene urea containing formulation for removing residue from semiconductor substrate and method for cleaning wafer |
US7432233B2 (en) * | 2003-12-18 | 2008-10-07 | Interuniversitair Microelektronica Centrum (Imec) | Composition and method for treating a semiconductor substrate |
US7517493B2 (en) | 2004-01-09 | 2009-04-14 | Water Conservation Technology International, Inc. | Cooling water corrosion inhibition method |
KR100795364B1 (ko) * | 2004-02-10 | 2008-01-17 | 삼성전자주식회사 | 반도체 기판용 세정액 조성물, 이를 이용한 세정 방법 및도전성 구조물의 제조 방법 |
US8338087B2 (en) * | 2004-03-03 | 2012-12-25 | Advanced Technology Materials, Inc | Composition and process for post-etch removal of photoresist and/or sacrificial anti-reflective material deposited on a substrate |
JP4632290B2 (ja) * | 2004-03-23 | 2011-02-16 | 日本碍子株式会社 | 窒化アルミニウム製サセプターの洗浄方法 |
KR100585139B1 (ko) * | 2004-04-12 | 2006-05-30 | 삼성전자주식회사 | 웨이퍼 세정액의 금속 측정 시약과 웨이퍼 세정액의 금속오염 모니터링 장치 및 방법 |
US20050252547A1 (en) * | 2004-05-11 | 2005-11-17 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for liquid chemical delivery |
KR20050110470A (ko) * | 2004-05-19 | 2005-11-23 | 테크노세미켐 주식회사 | 반도체 기판용 세정액 조성물, 이를 이용한 반도체 기판세정방법 및 반도체 장치 제조 방법 |
KR101232249B1 (ko) * | 2004-08-10 | 2013-02-12 | 간또 가가꾸 가부시끼가이샤 | 반도체 기판 세정액 및 반도체 기판 세정방법 |
KR101171175B1 (ko) * | 2004-11-03 | 2012-08-06 | 삼성전자주식회사 | 도전체용 식각액 및 이를 이용한 박막 트랜지스터표시판의 제조 방법 |
JP4487753B2 (ja) * | 2004-12-10 | 2010-06-23 | 株式会社Sumco | シリコンウェーハ用のアルカリエッチング液及び該エッチング液を用いたエッチング方法 |
WO2006081406A1 (en) * | 2005-01-27 | 2006-08-03 | Advanced Technology Materials, Inc. | Compositions for processing of semiconductor substrates |
US7923423B2 (en) * | 2005-01-27 | 2011-04-12 | Advanced Technology Materials, Inc. | Compositions for processing of semiconductor substrates |
KR100662546B1 (ko) * | 2005-03-07 | 2006-12-28 | 제일모직주식회사 | 실리콘 웨이퍼의 표면 품질을 개선하는 연마용 슬러리 조성물 및 이를 이용한 연마방법 |
US7894724B2 (en) * | 2005-03-31 | 2011-02-22 | Ciena Corporation | Method and apparatus for improving dual-polarization optical communication performance |
US7939482B2 (en) * | 2005-05-25 | 2011-05-10 | Freescale Semiconductor, Inc. | Cleaning solution for a semiconductor wafer |
KR20070041330A (ko) * | 2005-10-14 | 2007-04-18 | 가오가부시끼가이샤 | 반도체 기판용 연마액 조성물 |
TW200734448A (en) * | 2006-02-03 | 2007-09-16 | Advanced Tech Materials | Low pH post-CMP residue removal composition and method of use |
US8685909B2 (en) | 2006-09-21 | 2014-04-01 | Advanced Technology Materials, Inc. | Antioxidants for post-CMP cleaning formulations |
US20080076688A1 (en) * | 2006-09-21 | 2008-03-27 | Barnes Jeffrey A | Copper passivating post-chemical mechanical polishing cleaning composition and method of use |
WO2008039730A1 (en) * | 2006-09-25 | 2008-04-03 | Advanced Technology Materials, Inc. | Compositions and methods for the removal of photoresist for a wafer rework application |
KR100771113B1 (ko) * | 2006-10-19 | 2007-10-29 | 대진공업 주식회사 | 탄소나노튜브가 강화된 플라스틱의 도장방법 |
US7708939B2 (en) | 2007-04-24 | 2010-05-04 | Water Conservation Technology International, Inc. | Cooling water corrosion inhibition method |
TWI598468B (zh) * | 2007-05-17 | 2017-09-11 | 恩特葛瑞斯股份有限公司 | 用於移除化學機械研磨後殘留物之清洗組成物、套組及方法 |
JP5142592B2 (ja) * | 2007-06-06 | 2013-02-13 | 関東化学株式会社 | 基板の洗浄またはエッチングに用いられるアルカリ性水溶液組成物 |
JP2010535422A (ja) * | 2007-08-02 | 2010-11-18 | アドバンスド テクノロジー マテリアルズ,インコーポレイテッド | マイクロ電子デバイスから残渣を除去するための非フッ化物含有組成物 |
CN101910057A (zh) * | 2007-10-29 | 2010-12-08 | Ekc技术公司 | 稳定的含羟胺溶液和其制备方法 |
WO2009087515A1 (en) * | 2008-01-07 | 2009-07-16 | The Procter & Gamble Company | Detergents having acceptable color |
JP5379441B2 (ja) * | 2008-10-09 | 2013-12-25 | 関東化学株式会社 | 基板処理用アルカリ性水溶液組成物 |
US9074170B2 (en) | 2008-10-21 | 2015-07-07 | Advanced Technology Materials, Inc. | Copper cleaning and protection formulations |
US8754021B2 (en) | 2009-02-27 | 2014-06-17 | Advanced Technology Materials, Inc. | Non-amine post-CMP composition and method of use |
US9330703B2 (en) * | 2009-06-04 | 2016-05-03 | Cabot Microelectronics Corporation | Polishing composition for nickel-phosphorous memory disks |
TWI383046B (zh) * | 2009-12-21 | 2013-01-21 | Chi Mei Corp | Wash the liquid composition |
US20130052774A1 (en) * | 2010-06-29 | 2013-02-28 | Kyocera Corporation | Method for surface-treating semiconductor substrate, semiconductor substrate, and method for producing solar battery |
WO2012154498A2 (en) * | 2011-05-06 | 2012-11-15 | Advanced Technology Materials, Inc. | Removal of metal impurities from silicon surfaces for solar cell and semiconductor applications |
WO2013137192A1 (ja) | 2012-03-16 | 2013-09-19 | 株式会社フジミインコーポレーテッド | 研磨用組成物 |
JP2014062297A (ja) * | 2012-09-20 | 2014-04-10 | Toshiba Corp | 処理装置、処理液の製造方法、および電子デバイスの製造方法 |
KR20150058859A (ko) * | 2013-11-21 | 2015-05-29 | 삼성전자주식회사 | 금속 대상체의 피막 형성 조성물, 피막 및 이의 제조방법. |
KR102195254B1 (ko) * | 2013-12-30 | 2020-12-28 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 장치 제조 방법 |
JP5949822B2 (ja) * | 2014-03-28 | 2016-07-13 | 栗田工業株式会社 | 硬度測定用組成物、硬度測定用試薬キット、硬度測定方法、及び硬度測定装置における汚れ防止方法 |
KR20210151825A (ko) * | 2019-04-15 | 2021-12-14 | 미쯔비시 케미컬 주식회사 | 세정액, 세정 방법 및 반도체 웨이퍼의 제조 방법 |
CN113604154B (zh) * | 2021-07-09 | 2022-07-12 | 万华化学集团电子材料有限公司 | 一种钨插塞化学机械抛光液、制备方法及其应用 |
CN114318340B (zh) * | 2021-12-22 | 2023-09-29 | 惠州达诚微电子材料有限公司 | 一种蚀刻液组合物及其制备方法 |
Family Cites Families (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3796667A (en) * | 1972-06-02 | 1974-03-12 | Grace W R & Co | Method for inhibiting iron containing scale formation in seawater distillaton plants |
ZA743293B (en) * | 1974-03-01 | 1975-05-28 | Pennwalt Corp | Non-chromated alkaline etching bath and etching process for aluminium |
US3895913A (en) * | 1974-09-06 | 1975-07-22 | Betz Laboratories | Photometric test method for chelant residual or deficiency |
US4003975A (en) * | 1975-12-08 | 1977-01-18 | Union Carbide Corporation | Solvent extraction of copper values using dihydroxy azoarenes |
US4130582A (en) * | 1977-04-19 | 1978-12-19 | Ciba-Geigy Corporation | Preparation of phenolic ethylenediaminepolycarboxylic acids |
FI64639C (fi) * | 1978-09-27 | 1983-12-12 | Unilever Nv | Bleknings- och rengoeringskomposition |
US4187140A (en) * | 1978-10-11 | 1980-02-05 | International Business Machines Corporation | Method for etching silicon and a residue and oxidation resistant etchant therefor |
ZA811958B (en) * | 1980-03-27 | 1982-10-27 | Unilever Ltd | Detergent bleach compositions |
US4383043A (en) * | 1981-07-13 | 1983-05-10 | American Monitor Corporation | Magnesium assay with calmagite or eriochrome black T reagents |
US4717459A (en) * | 1985-05-30 | 1988-01-05 | Shinko Electric Industries Co., Ltd. | Electrolytic gold plating solution |
GB2184109A (en) * | 1985-10-29 | 1987-06-17 | Grace W R & Co | The treatment of aqueous systems |
US4929301A (en) * | 1986-06-18 | 1990-05-29 | International Business Machines Corporation | Anisotropic etching method and etchant |
EP0286167A3 (en) * | 1987-04-06 | 1989-08-30 | The Procter & Gamble Company | Hard-surface cleaning compositions |
FR2627772B1 (fr) * | 1988-02-29 | 1990-08-17 | Protex Manuf Prod Chimiq | Nouveau procede de preparation de l'acide ethylene-diamine-n-n(prime)-bis(ortho-hydroxyphenylacetique) et de derives de celui-ci |
DE3822350A1 (de) * | 1988-07-01 | 1990-01-04 | Siemens Ag | Verfahren zum entfernen von metall-verunreinigungen auf halbleiterkristalloberflaechen |
GB8922504D0 (en) * | 1989-10-05 | 1989-11-22 | Interox Chemicals Ltd | Hydrogen peroxide solutions |
JP2599021B2 (ja) * | 1989-11-09 | 1997-04-09 | 新日本製鐵株式会社 | シリコンウエハのエッチング方法および洗浄方法 |
EP0496605B1 (en) * | 1991-01-24 | 2001-08-01 | Wako Pure Chemical Industries Ltd | Surface treating solutions for semiconductors |
JP3075290B2 (ja) * | 1991-02-28 | 2000-08-14 | 三菱瓦斯化学株式会社 | 半導体基板の洗浄液 |
FI90951C (fi) * | 1991-11-01 | 1994-04-25 | Valtion Teknillinen | Puunsuojausmenetelmä ja puunsuoja-aine |
JPH0641773A (ja) * | 1992-05-18 | 1994-02-15 | Toshiba Corp | 半導体ウェーハ処理液 |
JP3048207B2 (ja) * | 1992-07-09 | 2000-06-05 | イー.ケー.シー.テクノロジー.インコーポレイテッド | 還元及び酸化電位を有する求核アミン化合物を含む洗浄剤組成物およびこれを使用した基板の洗浄方法 |
JP3244813B2 (ja) * | 1992-11-20 | 2002-01-07 | 株式会社東芝 | 半導体ウエハ処理液及び処理方法 |
JP3174823B2 (ja) * | 1992-12-01 | 2001-06-11 | 株式会社ピュアレックス | シリコンウェーハの洗浄方法 |
US5498511A (en) * | 1993-10-25 | 1996-03-12 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Silver halide photographic material |
US5853491A (en) * | 1994-06-27 | 1998-12-29 | Siemens Aktiengesellschaft | Method for reducing metal contamination of silicon wafers during semiconductor manufacturing |
US5712168A (en) * | 1995-02-03 | 1998-01-27 | Imec | Method for evaluating, monitoring or controlling the efficiency, stability, or exhaustion of a complexing or chelating agent present in a chemical solution used for oxidizing, dissolving, etching or stripping a semiconductor wafer |
US5885362A (en) * | 1995-07-27 | 1999-03-23 | Mitsubishi Chemical Corporation | Method for treating surface of substrate |
-
1996
- 1996-07-25 US US08/809,147 patent/US5885362A/en not_active Expired - Lifetime
- 1996-07-25 DE DE69636618T patent/DE69636618T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1996-07-25 EP EP96925074A patent/EP0789071B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1996-07-25 WO PCT/JP1996/002077 patent/WO1997005228A1/ja active IP Right Grant
- 1996-07-25 KR KR1019970702024A patent/KR100429440B1/ko not_active IP Right Cessation
-
1998
- 1998-12-22 US US09/218,000 patent/US6228823B1/en not_active Expired - Lifetime
-
2000
- 2000-12-28 US US09/749,545 patent/US6498132B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0789071A4 (en) | 2004-07-28 |
US6498132B2 (en) | 2002-12-24 |
US6228823B1 (en) | 2001-05-08 |
DE69636618D1 (de) | 2006-11-23 |
EP0789071A1 (en) | 1997-08-13 |
WO1997005228A1 (fr) | 1997-02-13 |
EP0789071B1 (en) | 2006-10-11 |
KR100429440B1 (ko) | 2004-07-15 |
US20020045556A1 (en) | 2002-04-18 |
DE69636618T2 (de) | 2007-08-30 |
US5885362A (en) | 1999-03-23 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130404 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Annual fee payment |
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|
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|
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