KR20100133868A - 공정 민감도가 감소된 전극-반도체 정류기 - Google Patents

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KR20100133868A
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토마스 이. 그렙스
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페어차일드 세미컨덕터 코포레이션
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Abstract

반도체 소자 및 반도체 소자를 제조하는 방법이 개시된다. 예시적인 실시예는 제 1 도전형의 반도체층을 포함하며, 상기 반도체층은 제 1 표면, 제 2 표면 및 상기 반도체층의 일부분 내에 상기 제 1 도전형의 경사 순 도핑 농도(graded net doping concentration)를 갖는다. 경사 부분은 상기 반도체층의 상면에 인접하게 위치하며, 그 내부의 상기 경사 순 도핑 농도는 상기 반도체층의 상면으로부터의 거리에 따라 값이 감소한다. 예시적인 소자는 상기 반도체층의 상기 제 1 면에 그리고 상기 경사 부분에 인접하게 배치되는 전극을 포함한다.

Description

공정 민감도가 감소된 전극-반도체 정류기{REDUCED PROCESS SENSITIVITY OF ELECTRODE-SEMICONDUCTOR RECTIFIERS}
본 발명은 일반적으로 반도체 기술에 관한 것이며, 구체적으로 전력 반도체 소자 및 이를 제조하는 방법에 관한 것이다.
전극-반도체 정류기들(electrode-semiconductor rectifiers)은 비대칭 전류-전압 특성을 갖는 2가지 물질 사이에 전기 접합(electrical junction)을 형성하기 위해서 반도체층과 콘택하는 도전성 전극층을 갖는 다양한 반도체 소자들을 포함한다. 통상적으로 비대칭 전류-전압 특성은 어느 한 전압 방향(예컨대, "순-바이어스" 전압)의 경우의 전류 전도도가 다른 전압 방향(예컨대, "역-바이어스" 전압)의 경우보다 훨씬 크다. 전극-반도체 정류기의 예는 쇼트키-배리어(Schottky-barrier) 다이오드이다. 다른 형태의 전극-반도체 정류기들도 존재한다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 전기장 특성 및 누설 전류 특성과 같은 전기적 특성을 개선하여 공정 민감도를 감소시킨 반도체 소자 및 이를 제조하 는 방법을 제공하는 것이다.
본 발명을 만드는 일부로서, 출원인은 전극-반도체 정류기들의 전기적 특성들이 특정 전극 물질이 사용되는 경우에 반도체 웨이퍼에 걸쳐 그리고 많은 반도체 웨이퍼들 사이에 크게 변할 수 있다는 것을 발견하였다. 또한, 출원인은 이러한 큰 변화가 전극 형성 공정에 의해 야기되는 상대적으로 큰 표면 거칠기(roughness)에 의한 것임을 발견하였다.
출원인은 전기적 성질의 상기 변화가 전극에 인접한(예컨대, 근처에 또는 가깝게, 그러나 반드시 접촉하는 것은 아님) 반도체 물질의 순 도핑 농도를 경사지게함으로써 현저하게 감소될 수 있다는 것을 발견하였다. 대표적인 실시예에서, 경사 부분은 전극의 0.5 마이크론 내에 위치될 수 있다. 전극에 인접하게 위치한 쉴드 트렌치(shielding trench)를 갖는 대표적인 실시예에서, 상기 경사 부분은 전극으로부터 일정 거리 내에 위치될 수 있으며, 상기 거리는 0.5 마이크론 또는 상기 쉴드 트렌치의 깊이의 절반보다 클 수 있다. 본원에 따르는 쇼트키 배리어 다이오드 실시예들에서, 전극에 인접한 반도체 물질 내의 순 도핑 농도는 오믹(ohmic) 콘택의 형성을 방지할 수 있도록 충분히 낮다.
일 예시적인 실시예는 반도체 소자에 관한 것으로서, 상기 반도체 소자는, 제 1 표면, 제 2 표면 및 일부분 내에 제 1 도전형의 경사 순 도핑 농도를 갖는 제 1 도전형의 반도체층으로서, 상기 경사 순 도핑 농도는 상기 반도체층의 상면으로부터의 거리에 따라 값이 감소하는 반도체층, 및 상기 반도체층의 상기 제 1 표면 에 그리고 제 1 도전형의 경사 순 도핑 농도를 갖는 부분에 인접하게 위치하는 전극을 대체로 포함한다.
이전 예시적인 실시예에 대한 추가적인 예시적인 실시예에서, 경사 순 도핑 농도를 갖는 부분은 상기 반도체층의 상기 상면의 0.5 마이크론 이내에, 또는 (메사(mesa)가 존재한다면) 메사의 높이의 절반 이내에, 또는 상기 2개의 값들 중 큰 값의 이내에 위치된다.
다른 예시적인 실시예는 반도체 소자를 형성하는 것에 관한 것으로서, 상면 및 상기 상면에 인접하며 제 1 도전형의 경사 순 도핑 농도를 갖는 부분을 갖는 반도체 물질의 메사 영역(mesa region)을 형성하는 단계로서, 상기 경사 순 도핑 농도는 상기 메사 영역의 상면으로부터의 거리에 따라 값이 감소하는 단계; 및 상기 메사 영역의 상기 상면 상의 콘택 전극을 형성하는 단계를 대체로 포함한다.
이전 예시적인 실시예에 대한 추가적인 예시적인 실시예에서, 경사 순 도핑 농도를 갖는 부분은 상기 반도체층의 상면의 0.5 마이크론 이내에, 또는 상기 메사의 높이의 절반 이내에, 또는 상기 2개의 값들 중 큰 값의 이내에 위치된다.
추가적인 예시적인 실시예들은 트렌치-쉴디드(trench-shielded) 소자 및 상기 소자를 제조하는 방법에 관한 것이다. 상기 소자의 예시적인 실시예는, 제 1 표면, 제 2 표면, 및 메사 영역을 갖는 제 1 도전형의 반도체층으로서, 상기 메사 영역은 상기 층의 제 1 표면에 인접한 상면, 및 상기 메사 영역의 제 1 영역 내에 제 1 도전형의 경사 순 도핑 농도를 가지며, 상기 경사 순 도핑 농도는 상기 메사 영역의 상기 상면으로부터의 거리에 따라 값이 감소하는 반도체층; 상기 반도체층 내에 연장되고 상기 메사 영역에 인접한 트렌치 전극으로서, 상기 트렌치는 내부에 배치되고 상기 반도체층의 제 1 표면으로부터 상기 반도체층의 제 2 표면을 향하여 상기 층의 제 1 표면 아래의 제 1 깊이까지 연장되는 전기적으로 절연된 전극을 가지는 트렌치 전극; 상기 메사 영역의 상기 상면에 배치되는 제 2 전극; 상기 반도체층에 전기적으로 결합되는 제 3 전극을 포함하며, 상기 제 1 영역은 상기 반도체층의 상기 상면의 제 1 거리 내에 위치하며, 상기 제 1 거리는 0.5 마이크론 또는 상기 제 1 깊이의 절반 중 더 큰 거리이다. 상기 제 2 전극은 쇼트키 콘택 및/또는 실리사이드 콘택을 포함할 수 있다.
트렌치-쉴디드 소자를 제조하는 예시적인 방법 실시예는, 반도체층의 일부분 내에 제 1 도전형의 경사 순 도핑 농도의 영역을 형성하는 단계로서, 상기 경사 순 도핑 농도는 상기 반도체층의 제 1 표면으로부터의 거리에 따라 값이 감소하는 단계; 상기 반도체층의 제 1 표면 내에 메사 영역을 한정하기 위해, 상기 반도체층의 제 1 표면에서 상기 반도체층 내에 하나 이상의 전기적으로 절연된 트렌치 전극들을 형성하는 단계; 및 적어도 하나의 메사의 상면 상에 콘택 전극을 형성하는 단계를 포함한다.
이러한 및 다른 실시예들은 도면들을 참조로 상세한 설명에서 상세히 기술된다.
본원에 개시된 예시적인 실시예들의 다양한 측면들은 단독으로 또는 조합하여 이용될 수 있다.
반도체 소자의 메사 영역의 도핑 농도를 경사지게 함으로써, 반도체 소자의 전기장 특성 및 누설 전류 특성과 같은 전기적 특성을 개선시킬 수 있다. 그에 따라 공정 민감도가 감소된 반도체 소자를 제공할 수 있다.
본 발명에 따르는 기술은 첨부한 도면을 참조로 이후에 더욱 자세히 설명될 것이며, 본 발명의 예시적인 실시예들은 상기 도면에서 도시된다. 그러나 본 발명은 다른 형태로 실시될 수 있으며, 본원에서 설명하는 실시예들로 한정되는 것으로 간주되어서는 안 된다. 오히려, 이러한 실시예들이 제공됨으로써, 본 개시가 본 기술분야의 당업자들에게 본 발명의 범위를 철저하고 완전하고 풍부하게 전달한다. 도면에서, 층들 및 영역들의 두께는 명료함을 위해 과장될 수 있다. 동일한 참조 번호는 명세서 전체에 걸쳐 동일한 요소를 지칭하기 위해 사용된다.
층, 영역, 전극 등과 같은 어느 한 요소가 다른 요소의 "위에" 있다거나, 다른 요소 "상에" 있다거나, 다른 요소"에 연결되어" 있다거나, 다른 요소"에 결합되어" 있다거나, 다른 요소"에 전기적으로 결합되어" 있다거나, 등과 같이 지칭될 때, 이는 또 다른 요소의 바로 위에 있을 수 있거나, 또 다른 요소 상에 바로 위치할 수 있거나, 또 다른 요소에 직접 연결될 수 있거나, 또 다른 요소에 직접 결합될 수 있으며, 또는 삽입된 요소들이 존재할 수도 있다는 것이 이해될 것이다. 반대로, 어느 한 요소가 다른 요소의 "바로 위에" 있다거나, 다른 요소의 "바로 상에" 있다거나, 다른 요소"에 직접 연결되어" 있다거나, 다른 요소"에 직접 결합되어" 있다거나, 다른 요소"에 직접 전기적으로 결합되어" 있다거나, 등과 같이 지칭될 때에는, 삽입된 요소들이 존재하지 않는다. 본원의 청구범위는 명세서에서 설명되거나 도면들에 도시되는 예시적인 관계들을 상술하도록 보정될 수 있으며, 이러한 예시적인 관계들은 원 출원에 의해 지지된다. "위에", "아래에", "위쪽에", "아래쪽에", "상부에", "하부에", "앞에", "뒤에", "우측에", "좌측에" 등과 같은 공간적으로 상대적인 용어들은 용이한 설명을 위해 본원에서 사용될 수 있으며, 도면들에 도시된 바와 같이 어느 한 요소 또는 특징의 다른 요소(들) 또는 특징(들)과의 관계를 설명할 수 있다. 이러한 공간적으로 상대적인 용어들은 도면에서 도시된 방향 외에 사용 또는 동작 중인 장치의 다른 방향들을 내포하도록 의도된다는 것이 이해될 것이다. 예를 들면, 도면들에서 장치가 뒤집혀 있다면, 다른 요소들 또는 특징들의 "아래에" 또는 "아래쪽에"와 같이 기술된 요소들은 상기 다른 요소들 또는 특징들의 "위에" 또는 "위쪽에" 위치될 것이다. 따라서 예시적인 용어, "위에"는 위쪽 방향과 아래쪽 방향 모두를 내포할 수 있다.
본원에서 사용되는 용어들은 설명 목적을 위한 것이며, 본 발명의 의미나 범위를 한정하는 것으로 간주되어서는 안 된다. 본 명세서에서 사용되는 단수형(singular)은, 문맥의 견지에서 특별한 경우를 명확하게 지칭하지 않는 한, 복수형을 포함한다. 또한, 본 명세서에서 사용되는 "포함한다" 및/또는 "포함하는"의 표현들은, 언급된 형상들, 숫자들, 단계들, 작용들, 동작들, 부재들, 요소들 및/또는 이들의 그룹들을 한정하지 않으며, 또한 하나 이상의 다른 형상들, 숫자들, 단계들, 동작들, 작용들, 부재들, 요소들, 및/또는 이들의 그룹들의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다. 본원에서 사용되는 용어 "및/또는"은 하나 이상의 관련되어 나열된 항목들(items)의 임의의 조합들 및 모든 조합들을 포함한다. 본원에서 사용되는 "제 1", "제 2" 등과 같은 서수 용어는 다양한 항목들을 설명하기 위해 사용되며, 한 항목을 다른 항목과 구별한다. 항목들은 이러한 서수 용어들에 의해 한정되지 않는다는 것을 이해해야 한다. 따라서 제 1 항목으로 설명되더라도 본 발명의 범위를 벗어나지 않고 제 2 항목으로 지칭될 수 있다.
반도체 분야에 알려진 바와 같이, 반도체 영역을 n형으로 만들기 위해 반도체 영역 안으로 주입, 확산 또는 성장될 수 있는 n형 도펀트들(예컨대, 비소(As), 인(P))이 존재하며, 반도체 영역을 p형으로 만들기 위해 반도체 영역 안으로 주입, 확산 또는 성장될 수 있는 p형 도펀트들(예컨대, 붕소(B))이 존재한다. 많은 소자 제조 공정들에서, n형인 서브-영역을 만들기 위해 기존 p형 영역 안으로 n형 도펀트를 주입 또는 확산시키는 것은 일반적이다. 상기 n형 서브-영역에서, n형 도펀트의 농도는 p형 도펀트의 농도보다 높다. 상기 서브-영역의 "순(net)" n형 도핑 농도는, 도입된 n형 도펀트의 농도에서 기존 p형 도펀트의 농도를 뺀 농도와 동일하다. 상기 n형 서브-영역의 전기적 성질들의 실질적인 부분은 (도입된 n형 도펀트의 농도보다는) 순 n형 도핑 농도와 관련되며, 이러한 이유에서, 반도체 분야에서는 순 농도와 도입된 농도를 구별한다. 소자의 다른 영역들은 형성 중에 상기 영역들 안으로 단일 형의 도펀트들이 도입됨으로써 형성될 수 있으며, 이 경우 "순" 도핑 농도는 도입된 도핑 농도와 같다. 총(gross) 도핑 농도와 순(net) 도핑 농도는 입방 센티미터(cm3) 당 총(gross) 또는 순(net) 도펀트 원자의 단위로 본원 에서 기술 될 수 있으며, 이들 모두 본원에서 cm-3으로 약칭된다.
도 1은 비교 트렌치-쉴디드(trench-shielded) 쇼트키 배리어(Schottky barrier) 다이오드(1)의 주사 전자 현미경(SEM) 단면 사진에 대한 도면을 도시한다. 반도체 소자(1)는 순 n+ 도핑된 기판(5), 기판(5) 상에 배치되는 n형 반도체층(10), 반도체층(10)의 상면에 배치되는 복수의 전기적으로 절연된 트렌치 전극들(30), 및 상기 트렌치 전극들(30) 사이에 배치되는 복수의 반도체 메사(mesa) 영역들(20)을 포함한다. 트렌치 전극(30)은 중앙 도전성 폴리실리콘 전극(32) 및 외부 전기적 절연 산화물층(34)을 포함할 수 있다. 소자(1)는 폴리실리콘 전극들(32) 및 메사들(20)의 상면들에 형성되는 니켈 실리사이드층(40), 니켈 실리사이드층(4) 상에 형성되는 금속층(45), 및 기판(5)의 배면에 형성되는 금속 전극층(60)을 더 포함한다. 니켈 실리사이드층(40)은 메사들(20) 및 폴리실리콘 전극들(32)의 표면들 상에 원소 니켈(elemental nickel)층을 증착한 후, 니켈 실리사이드층을 형성하기 위해서 상기 기판의 표면을 고온으로 가열함으로써 형성될 수 있다. 이러한 형성 공정 중에, 실리콘과 폴리실리콘의 상부들은 소모된다. 통상적으로, 0.05 마이크론 내지 0.25 마이크론의 실리콘이 소모된다. 니켈 실리사이드는 소자에게 낮은 순 전압(forward voltage)을 제공하지만, 발명자들은 이러한 형성이 도 1에 도시된 바와 같이 메사들(20)과 폴리실리콘 전극들(32)의 표면들을 거칠게 한다는 것을 발견하였다. 메사들(20)과 전극들(32)의 표면들 상에 원소 니켈을 증착하기 전에, 적은 양의 p형 도펀트(예컨대 붕소)를 메사들(20)의 상면들에 주입하여 메사들의 상면의 순 n형 도핑 농도를 낮추며, 이것은 니켈 실리사이드가 상기 메사에 오믹(ohmic) 콘택을 형성하지 않도록 한다. 주입 에너지(implant energy)는 40KeV 이하로 낮다.
본 발명을 만드는 일부로서, 발명자들은 니켈 실리사이드층(40)의 형성이 웨이퍼 상에 만들어지는 소자들 및 동일한 공정 시퀀스에 의해 만들어지는 상이한 웨이퍼들로 만든 소자들의 전기적 성질들에 상대적으로 큰 변화를 초래한다는 것을 발견하였다. 이러한 큰 변화들은 니켈 실리사이드 형성 공정에 의해 야기되는 상대적으로 큰 표면 거칠기 때문이라고 현재 생각된다. 본 발명의 발명적인 측면으로서, 발명자들은 전기적 성질들의 상기 변화들이, 메사 영역의 중앙선을 따라 측정할 때 메사의 상면으로부터의 거리에 따라 값이 감소하도록 메사의 일부에서 순 도핑 농도를 경사지게 함으로써, 현저하게 감소될 수 있다는 것을 발견하였다. 대표적인 실시예에서, 경사 부분은 완성된 소자의 메사의 상부-절반 내에 위치될 수 있으며, 특히 1 마이크론 또는 2 마이크론보다 짧은 메사를 갖는 소자들의 경우, 완성된 소자의 메사의 최상부 0.5 마이크론 내에 위치될 수 있다. 경사 부분은, 특히 1 마이크론 또는 2 마이크론보다 짧은 메사를 갖는 소자들의 경우, 완성된 소자의 메사의 최상부 0.25 마이크론 내에 위치될 수 있다. 일반적으로, 경사 순 도핑 농도를 갖는 부분은 반도체층의 상면의 0.5 마이크론 또는 메사의 높이의 절반 중 더 큰 것 내에 위치된다. 본 발명에 따르는 쇼트키 배리어 다이오드 실시예들에서, 메사의 상면에서의 순 도핑 농도는 오믹 콘택의 형성을 방지할 수 있을 정도로 충분히 낮다. 대조적으로, 비교 소자는, 메사 영역의 중앙선을 따라, 메사 영 역의 상면으로부터의 거리에 따라 증가하는 순 도핑 농도를 갖는다.
도 2는 본 발명에 따르는 예시적인 트렌치-쉴디드 쇼트키 배리어 다이오드 소자(100)의 단면을 도시한다. 반도체 소자(100)는 순 n+ 도핑된 기판(105), 기판(105) 상에 배치되는 순 n형 반도체층(110), 반도체층(110)의 상면에서 반도체층(110) 안으로 배치되는 복수의 전기적으로 절연된 트렌치 전극들(130), 및 상기 트렌치 전극들(130) 사이에 배치되는 복수의 반도체 메사 영역들(120)을 포함한다. 도면으로부터 알 수 있다시피, 트렌지 전극들(130)의 깊이는 메사 영역들(120)의 높이와 같다. 층(110)은 통상적으로 p형 도펀트 없이 층(110) 안으로 성장되는 n형 도펀트로 제조되며, 이 경우, "순" n형 도핑 농도와 도입된 n형 도핑은 동일한 값을 가질 수 있다. 트렌치 전극(130)은 중앙의 도전성 전극(132) 및 외부의 전기적으로 절연하는 산화물층(134)을 포함할 수 있다. 중앙의 도전성 전극(132)은 금속 및/또는 도핑된 폴리실리콘을 포함할 수 있다. 외부 절연층(134)은 실리콘 이산화물과 같은 산화물을 포함할 수 있다. 메사 영역은 층(110)의 상면에 인접한 상면, 메사 영역의 측벽들의 중간 지점(예컨대, 메사의 중앙)에서 측정된 폭(WM), 및 메사의 중앙선을 따르는 순 n형 도핑 농도 프로파일을 가지며, 상기 순 n형 도핑 농도 프로파일은 메사 영역의 상면으로부터의 거리에 따라 달라진다. 소자(100)는 메사 영역(120)의 상면에 인접한, 경사 순 n형 도핑 농도를 갖는 영역(150)을 더 포함한다. 경사 영역(150)에서, 순 n형 도핑 농도는 메사 영역의 상면으로부터의 거리에 따라 값이 감소한다. 즉, 상면에서 또는 상면 근처에서, 순 n형 도핑 농도는 제 1 값으로 시작하여, 메사 영역의 중앙선을 따라 메사 영역의 하부로 향하여 메사 영역의 벌크 안으로 이동할수록 상기 제 1 값으로부터 작아진다. 그리고, 순 n형 도핑 농도는, 1 내지 2 마이크론의 메사 높이를 갖는 소자들의 경우, 형성된(as formed) 소자에서 측정할 때, 메사 영역(120)의 상면으로부터 0.125 마이크론 내지 0.5 마이크론의 거리에서 제 2 값으로 안정화될 수 있다. 1 마이크론을 초과하는 메사 높이(트렌치 깊이)를 갖는 소자들의 경우, 순 n형 도핑 농도가 제 2 값으로 안정화되는 점(point)은 메사 높이(트렌치 깊이)의 값의 절반에 이르는 거리일 수 있다. 그리고, 메사 영역 안으로 거리가 증가할수록(예컨대 메사 영역의 하부를 향하여 메사 영역 안으로 더욱 이동할수록) 순 n형 도핑 농도는 상기 점(point)으로부터 증가할 수 있다. 순 n형 도핑 농도의 증가는 소자의 온-상태(on-state) 저항을 낮추는 장점을 제공한다.
예시적인 구현예에서, 반도체층(110)은 4.25㎛(마이크론)의 두께를 가질 수 있으며, 트렌치 전극(130)은 1.1㎛의 깊이를 가질 수 있으며, 절연층(134)은 400Å의 두께를 갖는 실리콘 이산화물을 포함할 수 있으며, 메사 영역(120)은 0.2㎛ 내지 0.6㎛ 범위의 폭을 가질 수 있으며, 이의 측벽은 층(110)의 하부면에 대하여 약 89ㅀ의 각으로 경사질 수 있다. 대표적인 구현예들에서, 메사 폭은 0.2㎛ 내지 0.4㎛의 범위 내이며, 바람직하게는, 0.25㎛ 내지 0.35㎛의 범위 내이다. 기판(105)은 5x1018cm-3 내지 1x1020cm-3의 순 n형 도핑 농도를 가질 수 있다. 메사 영역(120) 내의 최대 순 n형 도핑 농도는 4x1015cm-3 내지 2x1017cm-3의 범위 내의 값을 가질 수 있으며, 대표적인 구현예들에서는, 8x1015cm-3 내지 8x1016cm-3의 범위 내의 값을 가질 수 있다. 경사 영역(150) 내의 최대 순 n형 도핑 농도는 위와 같은 범위들을 가질 수 있다. 메사 영역(120)의 상면에서의 순 n형 도핑 농도는, 메사가 실리콘 반도체를 포함하는 경우, 쇼트키 콘택(예컨대, 비-오믹(non-ohmic) 콘택)의 형성을 보장하기 위해서, 일반적으로 약 1x1017cm-3보다 작으며, 바람직하게는, 4x1016cm-3 이하이다.
소자(100)는 전극들(132) 및 메사들(12)의 상면들에서 형성되는 니켈 실리사이드층(140), 니켈 실리사이드층(140) 위에 형성되는 상호연결 금속층(145), 및 기판(105)과 n형 층(110)에 전기적으로 연결되는 하부 금속 전극층(160)을 더 포함한다. 니켈 실리사이드층(140)은 메사 영역들(120)의 상면들에 배치되는 쇼트키-콘택 전극들을 제공하며, 금속층(145)은 이러한 전극들을 전극들(132)에 상호연결시킨다. 니켈 실리사이드층(140)은 메사들(120) 및 폴리실리콘 전극들(132)의 표면들 상에 원소 니켈층을 증착한 후 니켈 실리사이드층을 형성하기 위해서 고온으로 기판의 표면을 가열함으로써 형성될 수 있다. 이러한 형성 공정 중에, 실리콘 및 폴리실리콘의 상부들은 (콘택들(132)을 위해 사용되는 경우) 소비된다. 통상적으로, 0.05 마이크론 내지 0.25 마이크론의 실리콘이 소비된다. 전극들(132)이 폴리실리콘을 포함하는 경우, 폴리실리콘의 도핑 농도는 실리사이드층이 전극들(132)에 대해 도전성 콘택들을 형성할 수 있을 정도로 충분히 높다. (전극들(132)이 금속을 포함하는 경우, 증착된 니켈층은 금속에 대해 전기적 콘택을 형성하지만 실리사 이드를 형성하지 않는다.)
선택적으로, 소자(100)는 전극들(130)의 하부 벽들 근처에 배치되는 복수의 강화된(enhanced) 도핑 영역들(170)을 더 포함할 수 있으며, 이는 "안정하고 제어되는 애벌런치 특성들을 갖는 반도체 소자들 및 이를 제조하는 방법(Semiconductor Devices With Stable And Controlled Avalanche Characteristics and Methods Of Fabricating The Same)"이란 제목으로 2009년 2월 9일에 출원된 본 출원인의 동시계속(co-pending) 미국 특허 출원 제 12/368,210호에 더욱 자세히 설명되며, 이는 모든 목적들을 위해 참조로서 본 명세서에 통합된다. 강화된 도핑 영역들(170)은 반도체층(110)의 순 n형 도핑 농도 및 메사 영역(120)의 최대 순 n형 도핑 농도보다 적어도 50% 높거나 2x1016cm-3 큰 순 피크 n형 도핑 농도들을 가질 수 있으며, 통상적으로 2 내지 5배 더 큰 순 피크 n형 도핑 농도들을 갖는다. 영역들(170)은 전극들이 형성되기 전에 트렌치들(130)의 하부 벽들 안으로 n형 도펀트를 이온-주입하고, 임플란트(implant)를 어닐링함으로써 쉽게 형성될 수 있다. 어닐링 처리는 도면의 점선들(170')로 표시된 바와 같이, 도펀트를 메사의 중앙선을 향하여 이동시킬 수 있다. 통상적인 임플란트 도즈(dose)는 5x1012cm-2(주입된 표면 영역의 제곱센티미터 당 도펀트 원자) 내지 2x1013cm-2의 범위일 수 있으며, 임플란트를 반도체층(110) 안으로 0.1 마이크론 내지 2 마이크론만큼 확산시키기 위한 어닐링 처리 및 임플란트 에너지를 가질 수 있다. 출원인의 상기-식별된 동시계속 미국 특허 출원에서 더욱 상세히 설명되겠지만, 강화된 도핑 영역들(170)은 애벌런치 영역들 을 메사 영역(120) 아래의 위치들로 고정(pin)시키는 역할을 하며, 그에 따라서 소자가 항복 상태로 반복하여 노출됨에 따라서 항복 전압이 증가하는 것을 방지한다.
도 3은 도 1에 도시된 비교 소자(점선), 경사 영역(150)이 메사(120)의 상면의 약 0.25 마이크론 밖에 위치하는 제 1 예시적인 구현예에 따르는 소자(100)(실선), 및 경사 영역(150)이 메사(120)의 상면의 약 0.5 마이크론 내에 위치하는 제 2 예시적인 구현예에 따르는 소자(100)에 대한 순 n형 도핑 농도의 그래프를 도시한다. 일관성을 위해서, 도 3에 도시된 모든 3가지 소자 구현예들은 강화된 도핑 영역들(170') 및 약 1.1 마이크론의 메사 높이(트렌치 깊이)를 포함한다. X축은 금속층들(45 및 145)의 상부에서 측정하는 소자 표면 안으로의 거리이며, 왼쪽 Y축은 순 n형 도핑 농도이다. 도 3에 도시된 소자 구현예들 모두에서, 상면에서 평균적으로 0.065 마이크론의 메사의 실리콘이 니켈 실리사이드 형성 공정에서 소모되었다. 메사들(20 및 120)의 상부들은 평균적으로 X축의 0.2 마이크론에 위치하며, 메사들의 하부들은 X축의 1.3 마이크론에 위치한다. 비교 소자는 메사(20)의 상부에서 1x1015cm-3의 순 n형 도핑 농도를 가지며, 메사의 중앙에서 4x1016cm-3의 플래토우(plateau) 값으로 메사 영역에서 단조 증가하며, 1.3 마이크론의 메사의 하부까지 상기 레벨로 또는 상기 레벨보다 높게 유지한다. 비교 소자의 메사 상부에서의 가장 낮은 값은 얕은 p형 주입(shallow p-type implant)에 의해 달성되며, 층(10)의 N형 도펀트의 일부를 상쇄한다. 반대로, 소자(100)의 양 구현예들은 메사들(120)의 상부에서 약 1.17x1016cm-3(실선) 및 3.3x1016cm-3(파선)의 더 높은 순 N형 도핑 농도들을 가지며, 각각, X축의 0.45 마이크론에서 약 5.2x1015cm-3, 및 X축의 0.6 마이크론에서 4.2x1015cm-3의 트러프(trough) 값으로 단조 감소한다. 소자(100)의 양 구현예들에서, 순 N형 도핑 농도는 상기 트러프(trough)들에서부터 메사의 하부 근처(약 1.2 마이크론의 X축 값)에서 4x1016cm-3의 값으로 단조 증가한다. 모든 3가지 소자 구현예들에서, 순 n형 도핑 농도 프로파일은 강화된 도핑 영역들(170')로 인해 약 1.2 마이크론 내지 1.7 마이크론의 범위에서 약 8x1016cm-3으로 증가하는 것을 도시한다.
또한, 18V의 역 바이어스 하에서의 3가지 소자 구현예들의 전기장 프로파일들이 도 3에 도시된다. 3가지 프로파일 모두 트렌치의 하부 근처(X축의 1.3 마이크론)에서 3.2x105 V/cm의 피크 값을 갖는다. 비교 소자(1)(점선)에서, 전기장은 메사 영역(20)의 중앙부 및 상부에서 0.4x105 V/cm의 상대적으로 평탄한 값이다. 소자(100)의 예시적인 양 구현예들에서, 전기장 프로파일들은 메사 영역들(120)의 중앙부 및 상부에서 포물선(parabolic) 형태들을 가지며, 소자(100)의 제 2 구현예의 메사의 상면 근처에서의 전기장 프로파일을 제외하고는, 비교 소자(1)의 0.4x105 V/cm 값보다 낮은 값들을 가지며, 소자(100)의 제 2 구현예의 경우 메사의 상면에서 0.7x105 V/cm의 값으로 높다. 소자의 역-바이어스 누설 전류는 메사의 상면에서의 전기장 값에 대략적으로 관계된다. 따라서, 사례에서, 소자(1) 및 소자(100)의 제 1 구현예가 상면에서 대략 동일한 전기장을 갖기 때문에, 소자들이 유사한 누설 전류 값들을 가질 것으로 예상될 것이다. 그리고, 사례에서, 소자(100)의 제 2 구현예는 메사의 상면에서 더 높은 전기장을 갖기 때문에, 더 높은 누설 전류 값을 가질 것으로 예상될 것이다.
도 5 및 6은, 각각 25℃ 및 200℃의 온도들에서 3가지 소자 구현예들의 18V 역 바이어스에서의 역-바이어스 누설 전류(Ir)의 그래프들이며, 니켈 실리사이드 형성 공정에서 소모된 실리콘의 양의 함수로서 도시된다. 0.065 마이크론의 실리콘이 실리사이드 공정에서 소모되었던 도 3에 도시된 소자들의 경우, 소자(100)의 제 1 구현예(실선) 및 비교 소자(1)(점선)는 양 온도에서 실질적으로 동일한 누설 전류를 갖지만, 소자(100)의 제 2 구현예(파선)은 더 높은 누설 전류를 갖는다(도 5 및 6의 그래프의 좌단을 참조). 소모된 실리콘의 양이 증가할수록, 비교 소자(1)의 누설 전류에는 상당한 변화가 생기지만, 소자(100)의 제 1 및 제 2 구현예들에서는 상대적으로 작은 변화가 생긴다. 이것은 실리사이드 공정 동안 소모되는 실리콘의 양이 달라짐에도, 동일한 웨이퍼 상에서 만들어진 소자들이 대단히 높은 균일성을 갖는 전기적 특성을 가질 수 있으며, 동일한 제조 공정을 사용하여 다른 웨이퍼들 상에서 만들어진 소자들이 대단히 높은 균일성을 갖는 전기적 특성을 가질 수 있다는 점에서 상당한 장점이다.
도 4는 니켈 실리사이드 형성 공정 중에 메사의 상면에서 평균적으로 0.215 마이크론의 실리콘이 소모된 경우에서 3가지 소자 구현예들의 순 n형 도핑 농도 및 전기장을 도시한다. (상기 경우는 도 5 및 6의 그래프의 우단의 데이터 점들에 대 응한다.) 도 4에 도시된 바와 같이, 도 1의 메사 상면에서의 전기장 값은 2배가 되지만, 소자(100)의 제 1 구현예의 경우에는 메사 상면에서의 전기장 값이 약간 상승하였으며, 소자(100)의 제 2 구현예의 경우에는 메사 상면에서의 전기장 값이 중간정도의 값만큼 감소하였다. 발명적 측면들의 범위를 임의의 하나의 특정 설명으로 한정하지 않으면서, 소자(100)의 구현예들에서 전기장 및 누설 전류를 낮추는 2가지 주요 효과들이 발생한 것으로 생각된다. 제 1 효과로서, 소자(100)의 영역(150)의 경사 순 n형 도핑 농도는 전기장에 대한 내부 저지 성분(built-in retarding component)을 생성하며, 이것은 누설 전류를 줄이는데 이익이 되는 것으로 생각된다. 그러나, 도펀트의 상당한 양이 실리사이드 공정 동안 실리콘과 함께 소모되기 때문에, 상기 저지 성분은 실리사이드 공정 동안 소모되는 실리콘의 양이 증가할수록 감소될 수 있다. 제 2 효과로서, 메사 상면에서의 전기장은 메사의 상부에서의 총 순 n형 도핑 농도가 감소할수록 감소하며, 그에 따라 메사에서의 전기장 및 누설 전류를 감소시킨다고 생각된다. 이것은 공핍 영역이 트렌치 전극들(130)의 동작으로 인해 역 바이어스 상태에서 메사 내에 형성하고, 메사의 상부에서의 총 순 도핑 농도를 낮추는 것은 공핍 영역을 반도체층(110) 안으로 더 깊이 밀어 넣는 역할을 하며, 그에 따라서 메사의 상면에 도달할 수 있는 전위 값 및 전기장을 낮추기 때문이다. 따라서, 소자(100)의 영역(150)에 존재하는 음의 구배(negative gradient)는 실리사이드 공정 중에 더 많은 실리콘 및 도펀트가 소모될수록 상면에서의 순 n형 도핑 농도를 감소시키며, 이것은 실리사이드 공정 중에 더 많은 실리콘 및 도펀트가 소모될수록 메사의 상부에서의 총 순 도핑 농도를 감 소시키며, 이것은 전기장 및 누설 전류를 감소시킨다. 이러한 2가지 효과는 도 3 및 4에 도시되는 3가지 소자들 모두에 대하여 더욱 상세히 아래에 설명된다.
소자(100)의 제 1 구현예(실선)에 대하여 도 3과 도 4를 비교하면, 도 4의 메사 상면에서의 순 n형 도핑 농도는 도 3과 비교하여 약간 감소하며, 이것은 메사 상부에서의 총 순 도핑 농도가 감소하기 때문에 상술된 제 2 효과에 따라서 도 4의 경우에 누설 전류를 감소시키는 경향을 나타낸다. 다른 한편으로, 농도 구배도 약간 감소하며, 이것은 전기장의 유익한 저지 성분이 감소되기 때문에 상술된 제 1 효과에 따라서 도 4의 경우에 누설 전류를 증가시키는 경향을 나타낸다. 이러한 두 효과들의 상쇄 작용(counterbalancing action)은 소자(100)의 제 1 구현예가 도 5 및 6에서 낮고 균일한 누설 전류 값들을 갖는 이유를 설명하는 것으로 생각된다. 소자(100)의 제 2 구현예(파선)에 대하여 동일하게 비교하면, 도 4의 메사 상면에서의 순 n형 도핑 농도는 도 3과 비교하여 약간 감소하며, 이것은 상술된 제 2 효과에 따라서 도 4의 경우에 누설 전류를 감소시키는 경향을 가지며, 농도의 구배도 약간 증가하며, 이것은 전기장의 유익한 저지 성분이 증가되기 때문에 상술된 제 1 효과에 따라서 도 4의 경우에 누설 전류를 감소시키는 경향을 나타낸다. 이러한 효과들은 소자(100)의 제 2 구현예에 대하여 도 5 및 6에 도시된 누설 전류가 소모된 실리콘의 양이 증가할수록 적절하게 감소하게 하도록 서로 협동하는 것으로 생각된다. 마지막으로, 비교 소자(1)(점선)에 대하여 도 3과 도 4를 비교하면, 메사 상면에서의 순 n형 도핑 농도 및 전기장 모두 도 4와 비교할 때 도 4에서 극적으로 증가하며, 이것은 도 5 및 6에서 소자(10)의 누설 전류를 증가시키는 경향을 나타 낸다. 더욱 구체적으로, 소자(10)는 도핑 구배가 반대 방향이기 때문에 전기장에 대한 저지 성분을 갖지 않으며(상술된 제 1 효과), 메사 상부에서의 총 순 도핑 농도는 실리사이드 공정 중에 소모되는 실리콘 및 도펀트의 양이 증가될수록 증가되며, 그에 따라서 상술된 제 2 효과에 따라서 누설 전류 및 메사에서의 전기장을 증가시킨다.
도 7은 소모된 실리콘의 함수로서 3가지 소자 구현예들의 순 전압(forward voltage)을 도시한다. 도면에 도시된 바와 같이, 소자(100)의 양 구현예들은 소자(1)에 비해 순 전압의 변화가 적다. 이것은 소자(100)의 제 1 및 제 2 구현예들이 소자(1)에 비해 소모된 실리콘의 함수로서 순 n형 도핑 농도의 변화가 적다는 사실에 기인하는 것으로 생각된다.
영역(150)은 복수의 공정들에 의해 형성될 수 있다. 일 공정에서, 역-도펀트(counter-dopant)가 메사들(120)의 상부 안으로 깊이 주입되어, 주입된 역-도펀트의 피크는 완전히 형성된 소자의 메사 상면의 평균 높이 레벨 아래로 0.15 마이크론 내지 0.5 마이크론(또는 메사 높이가 1 마이크론보다 큰 경우에는 메사 높이의 50%)에 위치하며, 바람직하게는 메사 상면의 평균 높이 레벨 아래로 0.2 마이크론 내지 0.4 마이크론(또는 메사 높이가 1 마이크론보다 큰 경우에는 메사 높이의 40%)에 위치한다. 역-도펀트로 붕소(boron)를 사용하는 경우, 임플란트 에너지는 70 KeV 이상일 수 있으며, 300 KeV 이하일 수 있다. 1 내지 2 마이크론 범위의 메사 높이를 갖는 대표적인 구현예들에서, 붕소 임플란트는 80 KeV 내지 160 KeV의 범위의 에너지를 가지며, 통상적으로는 100 KeV 내지 140 KeV의 범위의 에너지를 갖는다. 임플란트 에너지는, 쇼트키-콘택 형성 공정에 의한 실리콘의 예상 소모량을 고려하여, 형성된(as formed) 소자에서 쇼트키 콘택의 평균 레벨 아래로 1/8 마이크론 내지 1/2 마이크론(또는 메사 높이가 1 마이크론보다 큰 경우에는 메사 높이의 50%)에 임플란트의 피크가 위치하도록 선택될 수 있으며, 더욱 바람직하게는 형성된(as formed) 소자에서 쇼트키 콘택의 평균 레벨 아래로 1/8 마이크론 내지 3/8 마이크론(또는 메사 높이가 1 마이크론보다 큰 경우에는 메사 높이의 40%)에 임플란트의 피크가 위치하도록 선택될 수 있다. 임플란트 도즈(dose)는, 메사 상면에서의 순 n형 도펀트 농도와 트러프(trough)에서의 순 n형 도펀트 농도 사이에 2 이상의 비를 제공하도록, 후속 제조 공정들 동안에 소자가 노출될 후속 열 노출들을 고려하여 선택될 수 있다. 이러한 비는 4이상일 수 있으며, 10 이상의 값으로 커질 수도 있다. 임플란트들의 피크들은 영역들(150) 내의 순 n형 도핑 농도의 트러프(trough)들에 대응할 것이다. 예시적으로, 소자(100)의 제 1 구현예에 대하여 도 3 및 4에 도시된 도핑 프로파일들(실선)은 120 KeV의 임플란트 에너지와 2.8x1012 원자/cm2의 도즈를 갖는 붕소 임플란트에 의해 달성될 수 있으며, 소자(100)의 제 2 구현예에 대하여 도 3 및 4에 도시된 도핑 프로파일들(파선)은 160 KeV의 임플란트 에너지와 2.9x1012 원자/cm2의 도즈를 갖는 붕소 임플란트에 의해 달성될 수 있다. 영역(150)을 형성하는 다른 예로서, 층(110)은 영역(150)의 경사 순 n형 도핑 농도 프로파일을 제공하기 위해서 n형 도펀트를 선택적으로 통합시키면서 에피택셜 성장될 수 있다. 영역(150)을 형성하는 또 다른 예로서, 약하게 n 형 도핑된 층(110; lightly n-type doped layer)은 얕은 n형 도펀트(shallow n-type dopant)로 주입될 수 있다.
소자의 순 전압 특성을 조절하고 쇼트키 콘택을 보장하기 위해서, 메사 상면에서의 순 n형 도핑 농도를 낮추도록 얕은 p형 임플란트가 소자(100)의 구현예에 제공될 수 있다고 이해될 수 있다. 이것은 소자(100)의 제 3 구현예에 의해 도시되는데, 소자(100)의 제 3 구현예의 도핑 프로파일은 실리사이드 공정에 의해 0.065 마이크론의 실리콘 값이 소모되는 도 8에 도시된다. 프로파일로부터 알 수 있다시피, 순 n형 도핑 농도가 전극층(140)으로부터의 거리에 따라 증가하는 메사 영역의 일부가 전극층(140)과 영역(150) 사이에 존재한다. 따라서, 실리사이드 공정에 의해 더 많은 실리콘이 소모될수록, 메사 전체 내의 총 순 도핑 농도는 약간 증가한 후에, 소모된 실리콘이 영역(150)에 진입함에 따라서 감소할 것이며, 그에 따라서 비교 소자에 비해서는 실질적으로 균일하지만, 제 1 및 제 2 구현예들에 비해서는 누설 특성에 약간 더 큰 변화를 초래한다.
소자(100)가 니켈 실리사이드를 사용하는 것으로 도시되었지만, 소자(100) 및 본 발명은 다른 실리사이드 또는 금속 시스템들로 실시될 수 있으며, 전기적 속성에 있어서 감소된 변화라는 유사한 이익을 제공할 것으로 이해될 수 있다. 소자(100)는 n형 기판(105), n형 반도체층(110), 메사들(120) 및 영역들(150)에서의 n형 순 도핑 농도, 및 n형 강화된 도핑 영역들(170)을 갖는 n-채널 소자인 것으로 도시되었지만, p형 기판(105), p형 반도체층(110), 메사들(120) 및 영역들(150)에서의 p형 순 도핑 농도, 및 p형 강화된 도핑 영역들(170)을 갖는 p-채널로 간주될 수도 있다고 이해될 수 있다. 따라서, 청구항들은 이러한 구성요소들이 "제 1 도전형"을 갖는다고 언급함으로써 이와 같이 가능한 채널 구성들을 포함한다. 만약 도펀트 임플란트가 소자(100)의 p-채널 구현예에서 영역(150)을 형성하는데 사용된다면, n-형 도펀트, 예컨대 인 또는 비소도 주입될 수 있다.
이제, 소자(100)를 제조하는 예시적인 방법들이 설명된다. 제 1 방법은 도 9에 도시된 흐름도(200)에 도시된다. 블록(202)에 도시된 바와 같이, 상기 방법은 반도체층의 제 1 표면에서 반도체층 내에 하나 이상의 메사들을 정의하기 위해서 반도체층의 제 1 표면에서 반도체층 내에 하나 이상의 전기적으로 절연된 트렌치 전극들을 형성하는 단계를 포함할 수 있다. 메사는 반도체층의 제 1 표면에서 상면을 갖는다. 트렌치 전극들을 형성하는 예시적인 공정들을 아래에서 더욱 상세히 설명된다. 블록(204)에 도시된 바와 같이, 일반적이고 예시적인 제 1 방법은 메사의 일부분 내에 제 1 도전형의 경사 순 도핑 농도를 갖는 영역을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있으며, 상기 영역은 메사의 상면의 0.5 마이크론(또는 메사 높이가 1 마이크론보다 큰 경우라면 메사 높이의 50%) 내에 위치될 수 있으며, 상기 경사 순 도핑 농도는 메사의 상면으로부터의 거리에 따라 값이 감소한다. 층(110)이 제 1 도전형의 중간 정도의 도핑을 포함하는 경우, 상기 경사 영역은 완전히 형성된 소자들에서 메사들의 상면들의 평균 높이 레벨 아래로 0.125 마이크론 내지 0.5 마이크론(또는 메사 높이가 1 마이크론보다 큰 경우라면 메사 높이의 50%) 사이인 피크 임플란트 깊이로 메사들의 상면들 안으로 상쇄 도펀트(compensating dopant)(제 1 도전형에 반대인 제 2 도전형을 갖는 도펀트)를 이온 주입함으로써 형성될 수 있 다. 임플란트는 열 처리를 이용하여 어닐링될 수 있다. 트렌치 전극들의 상면들은 임플란트를 위해 마스킹될 필요는 없지만, 필요하다면 마스킹될 수 있다. 임플란트의 도즈량(dosage)은 어닐링 처리의 온도 노출 및 높은 공정 온도에 대한 임의의 후속 노출들을 고려하여, 경사 도핑 프로파일들의 상술된 어레이를 제공하도록 선택된다. 어닐링 및 다른 처리 동작 동안의 임플란트들의 확산을 모델링하기 위해 컴퓨터 시뮬레이션 프로그램들을 사용하여 최종적으로 형성된 소자에서 프로파일들을 결정하는 것은 반도체 기술분야에서 일반적이다. 임플란트의 목적하는 최종 프로파일을 제공하는 임플란트 에너지 및 임플란트 도즈를 선택하기 위해 상기 시뮬레이션 프로그램을 사용하는 것은 본 기술분야의 당업자들의 능력 내의 일이다. 제 2 도전형의 도펀트로서 붕소를 주입할 때, 임플란트 에너지는 통상적으로 70 KeV 이상이고 300 KeV 이하이며, 종종 80 KeV 내지 160 KeV의 범위일 수 있으며, 통상적으로 100 KeV 내지 140 KeV의 범위이다. 층(110)이 제 1 도전형의 중간 정도의 도핑(예컨대, 5x1015cm-3 또는 그 이하)을 포함하는 경우, 상기 경사 영역은 하나 이상의 저-에너지 임플란트들(40 KeV 미만, 통상적으로 20 KeV 미만의 얕은 임플란트들)로 반도체층의 표면에 제 1 도전형의 추가 도핑을 주입한 후, 어닐링 또는 이와 동등한 열 처리를 수행함으로써 형성될 수 있다. 블록(206)에 도시된 바와 같이, 제 1 일반적인 방법은, 적어도 하나의 메사의 상면 상에 콘택 전극을 형성하는 단계를 더 포함한다. 콘택 전극은 쇼트키-콘택 전극을 포함할 수 있으며, 니켈 실리사이드와 같은 금속 실리사이드를 더 포함할 수 있다. 니켈 실리사 이드 콘택 전극을 형성하는 예시적인 공정은 아래에 설명된다.
소자(100)를 제조하는 제 2 방법은 도 10에 도시된 흐름도(220)에 의해 도시된다. 블록(222)에 도시된 바와 같이, 상기 방법은, 반도체층의 일부분 내에 제 1 도전형의 경사 순 도핑 농도의 영역을 형성하는 단계를 포함할 수 있으며, 상기 영역은 반도체층의 제 1 표면의 0.5 마이크론(또는 메사 높이가 1 마이크론보다 큰 경우라면 메사 높이의 50%) 내에 위치하며, 상기 경사 순 도핑 농도는 반도체층의 제 1 표면으로부터의 거리에 따라서 값이 감소한다. 상기 영역은, (1) 제 1 일반적인 방법에서 사용될 수 있는 상술된 임플란테이션들 중 어느 하나를 포함하는 여러 가지 기술들에 의해, 그리고 (2) 후속 열 처리들을 고려하여 목적하는 순 도핑 프로파일을 얻기 위해 반도체 층의 에피택셜 성정 동안에 함유되는 도펀트의 양을 변화시킴으로써, 형성될 수 있다. 블록(224)에 도시된 바와 같이, 제 2 일반적인 방법은, 반도체층의 제 1 표면에서 반도체층 내에 하나 이상의 메사 영역들을 정의하기 위해서 반도체층의 제 1 표면에서 반도체층 내에 하나 이상의 전기적으로 절연된 트렌치 전극들을 형성하는 단계를 더 포함하며, 상기 메사 영역은 반도체층의 제 1 표면에서 상면을 갖는다. 트렌치 전극들을 형성하는 예시적인 공정들은 아래에서 더욱 상세히 설명된다. 블록(226)에 도시된 바와 같이, 제 2 일반적인 방법은 메사 영역의 상면 상에 콘택 전극을 형성하는 단계를 더 포함한다. 콘택 전극을 쇼트키-콘택 전극을 포함할 수 있으며, 니켈 실리사이드와 같은 금속 실리사이드를 더 포함할 수 있다. 니켈 실리사이드 콘택 전극을 형성하는 예시적인 공정은 아래에 설명된다.
위의 방법들은 다음의 방법에 포함되는데, 이는 상면 및 상기 상면에 인접하며 제 1 도전성의 경사 순 도핑 농도의 일부분을 갖는 반도체 물질의 메사 영역을 형성하는 단계로서, 상기 일부분은 상기 메사 영역의 상기 상면의 0.5 마이크론(또는 메사 높이가 1 마이크론 보다 큰 경우라면 메사 높이의 50%) 내에 위치하며, 상기 경사 순 도핑 농도는 메사 영역의 상면으로부터의 거리에 따라 값이 감소하는 단계; 및 적어도 하나의 메사의 상면 상에 콘택 전극을 형성하는 단계를 포함한다.
이제, 예시적인 트렌치 전극 형성 공정들이 설명된다. 제 1 및 제 2 일반적인 방법들 중 어느 하나에서, 하나 이상의 트렌치 전극들은 메사 위치들을 보호하도록 반도체층 위에 식각 마스크를 위치시킨 후 상기 식각 마스크에 이용하여 이방성 식각 공정을 수행함으로써 형성될 수 있다. 이방성 식각 공정은 플라즈마 식각 공정을 포함할 수 있다. 불소계 플라즈마 식각제(etchant)들이 트렌치들에 라운드형 하부 표면들을 제공하기 위해 사용될 수 있다. 이러한 불소계 플라즈마 식각제는, SF6 육불화황(sulfur hexafluoride), SF6과 불활성 기체(예컨대, 희 가스(noble gas)), SF6과 산소 및 하나 이상의 불활성 가스들(예컨대, He 및 Ar), 및 SF6과 브롬화수소(HBr; hydrogen bromide) 및 하나 이상의 불활성 가스들(예컨대, He 및 Ar)을 포함한다. 그 외에, C2F6, C4F8, NF3, 등과 같은 다른 불소계 식각제들이 상술된 불활성 가스들(O2, HBr, 등)과 함께 사용될 수 있다. 불소는 실리콘 기판을 식각하지만, 산소와 HBr은 트렌치 측벽들 상에 부산물들을 형성하는데, 상기 부산물들은 측벽들의 식각을 최소화한다. 예시적은 식각 공정들은 Grebs 등의 미국 특 허 제6,680,232호에서 찾을 수 있으며, 이는 본 명세서에 참조로서 통합되며, 상기 특허는 본원과 함께 공동으로 양수되었다.
만약 플라즈마 식각이 사용된다면, 트렌치의 측벽 및 하부벽에 대한 소프트 세정 식각이 후속할 수 있으며, 이것은 플라즈마 식각 고정에 의해 야기된 임의의 결정 손상(crystal damage)을 제거할 수 있다. 종래 식각 마스크가 정위치에 남겨질 수 있으며, 실리콘용 임의의 공지된 화학 식각제가 사용될 수 있다(등방성 수용성 화학 식각제가 사용될 수 있다.). 일 예로서, 소프트 플라즈마 식각(예컨대, CF4 다운스트림 마이크로웨이브 플라즈마(downstream microwave plasma))이 약 300Å의 물질을 제거하는데 사용될 수 있으며, 그 후 종래 H2SO4/H2O2 식각으로 세정될 수 있으며, 그 후 RCA SC-1 표준 세정 식각이 수행될 수 있다. 소프트 플라즈마 식각은 종래 이방성 식각에 비해 더 등방성이며 덜 강력(energetic)하며, 바람직하게는 이방성보다는 등방성이다. 이러한 소프트 세정 식각 동작에 대한 대안으로서, 또는 이에 부가하여, 약 400Å의 희생 실리콘 이산화물 층이 1100℃ 이상의 온도에서 종래 산화에 의해 성장될 수 있으며, 그 후 적절한 식각제에 의해 제거될 수 있다(예컨대, 완충된 산화물 식각제(buffered oxide etchant)와 같은 등방성 수용성 화학 식각제가 사용될 수 있다.). 또한 희생 산화물은 이전 플라즈마 식각 공정들에 의해 야기된 트렌치 측벽들 상의 끊어진 실리콘 결합들(dangling silicon bonds)을 묶으며, 이후에 형성될 트렌치 유전체층들의 품질을 향상시킨다. 제 2 희생 산화물이 트렌치들의 하부 표면들 및 메사들의 상부 에지들을 추가적으로 둥 글게 하기 위해서 성장되고 제거될 수 있다. 하나 이상의 희생 산화물들이 성장되고 제거된 후에, 기판과 트렌치들의 상면은 종래 H2SO4/H2O2 식각과 이에 후속하는 RCA SC-1 표준 세정 식각을 통해 세정될 수 있다.
선택적인 동작으로서, 제 1 도전형의 도펀트는 강화된 도핑 영역들(170)이 소자(100)에서 사용된다면 상기 영역들(170)을 위한 시작 도핑을 제공하기 위해서 트렌치들의 하부벽들 안으로 이온-주입될 수 있다. 비소(As)는 주입되는 도펀트로 사용될 수 있으며, 종래 식각 마스크는 도펀트가 메사들의 상면들에 주입되는 것을 막기 위해 정위치에 제공될 수 있다. 도펀트를 활성화시키고 강화된 도핑 영역들(170)을 제공하기 위해서, 열 처리 공정이 수행되고 임플란트를 반도체 층(110) 안으로 확산시킬 수 있다. 이러한 임플란트는 상술된 희생 산화물층의 성장 전에 이루어질 수 있으며, 희생 산화물의 성장 및 다른 후속 처리 동작들에 사용되는 열 노출은 강화된 도핑 영역들(170)을 위해 임플란트를 확산시키고 활성화시키는데 사용될 수 있다. 다른 방법으로서, 영역들(170)을 위한 임플란트가 희생 산화물층이 성장된 후에 수행될 수 있으며, 상기 희생 산화물을 관통하여 주입될 수 있다. 이러한 방법은 희생 산화물이 메사의 측벽들을 임플란트의 수신으로부터 보호하는데 도움을 줄 수 있게 한다. 후속 처리 동작들에서 사용되는 열 노출은 강화된 도핑 영역들(170)을 위해 임플란트를 확산시키고 활성화시키는데 사용될 수 있다.
다음으로, 트렌치 전극들(130)의 유전체층들(134)이 형성될 수 있다. 이러한 동작은 불활성가스로 희석된 탈수 산소 환경(수증기 없음)에서 1100℃ 이상의 고온에서 트렌치 측벽들 상에 얇은 산화물층을 성장시키는 단계를 포함할 수 있다. 산화물층은 약 400Å 내지 600Å의 범위의 두께로 성장될 수 있다. 메사 상면들은 성장 공정동안 노출되기 때문에 이러한 산화물은 메사 상면들 상에도 형성된다. 일 대표적인 구현예에서, 성장 온도는 1125℃ 내지 1200℃의 범위이며, 약 1175℃ (±10℃)의 값이 바람직하며, 환경은 50%의 산소와 50%의 아르곤(예컨대 산소에 대해서는 분당 10리터의 유동 속도, 및 아르곤에 대해서는 분당 10리터의 유동 속도)을 포함한다. 쉴드 산화물을 성장시키기 위해 높은 성장 온도와 희석된 탈수 산소 환경을 조합하여 사용하는 것은 전력 반도체 분야에서 일반적인 것은 아니지만, 이러한 조합은 더 적은 핀홀 결함들(pinhole defects)을 제공하여 향상된 산화물 품질, 더 높은 Qbd(charge to breakdown) 값들, 및 더 좋은 두께 균일성을 달성할 수 있다는 것을 발견하였다. 산소가 가스 성장 환경 부피의 10% 내지 75%, 더욱 바람직하게는 가스 성장 환경 부피의 25% 내지 60%를 구성하도록 산소는 희석될 수 있다.
트렌치 전극들(132)은 이미 형성된 얇은 산화물층 위에 폴리실리콘 물질로 이루어진 층을 증착함으로써 형성될 수 있으며, 이것은 기판의 상면(메사 상면들) 및 트렌치들의 측벽들 상에도 형성된다. 증착은 본 기술분야에 공지된 종래 폴리실리콘 증착 장치에 의해 수행될 수 있다. 약 0.5 마이크론의 폭과 1.1 마이크론의 깊이를 갖는 트렌치 영역들을 폴리실리콘 물질로 충진하기 위해서, 폴리실리콘 물질은 기판의 상면에서 측정하였을 때 5000Å(0.5 마이크론)의 두께로 560℃의 온 도에서 증착될 수 있다. 이러한 물질의 양은 트렌치들의 측벽들을 코팅하고 내부를 충진하는데 충분하다. 일반적으로, 쉴드 전극 내에 보이드(voids)가 발생하는 것을 방지하기 위해서, 폴리실리콘(또는 다른 쉴드 물질)은 충진되는 트렌치 폭의 1/2 내지 상기 폭의 2배의 범위의 두께로 증착되어야 한다. 통상적으로 증착되는 두께는 트렌치의 폭과 같다. 폴리실리콘은 도핑된 형태 또는 도핑되지 않은 형태로 증착될 수 있다. 도핑된 형태로 증착된다면, 증착동안 인시튜로 도핑되는 것이 바람직하며, 입방 센티미터 당(cm-3) 1x1018 도펀트 원자 이상의 도핑 레벨을 가지며, 더욱 바람직하게는 5x1018cm-3 이상의 도핑 레벨을 갖는다. 인시튜 도핑은 폴리실리콘을 형성하는데 사용되는 가스들(예컨대, 실란 및 암모니아)과 함께 도펀트-함유 가스(예컨대, n형을 위한 인, 및 p형을 위한 다이보레인(diborane) 또는 삼불화붕소(boron trifluoride))를 도입함으로써 달성될 수 있다. 도핑되지 않은 형태로 증착된다면, 폴리실리콘은 후속 어닐링 단계(후술됨) 동안 도펀트 가스에 기상(vapor-phase) 노출될 수 있으며, 또는 어닐링 전에 30 KeV의 임플란트 에너지로 제곱센티미터 당(cm-2) 5x1015 도펀트 원자의 도즈로 주입될 수 있다. 도펀트 도즈는 5x1014cm-2 내지 5x1016cm-2 범위 내일 수 있다. 더욱 균일한 도펀트 분포는 2 이상의 임플란테이션 에너지로 도즈를 주입함으로써 달성될 수 있다. 예를 들면, 120 KeV에서 2.5x1015cm-2의 도즈의 제 1 임플란테이션과 30 KeV에서 2.5x1015cm-2의 도즈의 제 2 임플란테이션이 사용될 수 있다.
폴리실리콘을 위한 도펀트는 n형 또는 p형 일 수 있다. n형 도펀트는 본 기술분야에서 종래부터 사용되었으며, p형 도펀트는 본 기술분야에 사용되지 않는다. 그러나, 발명자들은 쉴드 전극들을 위한 p형 도핑이 상기 물질에 대해 더 좋은 일 함수 값을 제공할 수 있다는 것을 발견하였으며, 이것은 메사들(120)의 더 좋은 쉴딩(shielding)을 제공한다(도 2에 도시됨).
폴리실리콘이 증착되고 선택적으로 주입된 후에, 폴리실리콘 입자들을 강화하고 (사용된다면) 주입된 도핑을 재분배하기 위해 충분한 시간동안 800℃ 이상의 온도에서 어닐링될 수 있다. 950℃의 어닐링 온도가 사용될 수 있다. 만약 실리콘이 어닐링 동안 기상(vapor-phase) 도핑될 것이라면, 어닐링 온도는 1000℃ 이상으로 증가될 수 있다. 어닐링 공정 동안 폴리실리콘 상에 형성되는 어떠한 산화물도 완충된 산화물 식각에 간단히 노출함으로써 제거될 수 있으며, 기판은 종래 H2SO4/H2O2 식각과 이에 후속하는 RCA SC-1 표준 세정 식각을 통해 세정될 수 있다. 이 시점에서, 폴리실리콘층은 얇은 산화물층의 상면 상에 위치하며, 이것은 메사의 상면 상에 위치한다. 그 후, 종래 폴리실리콘 식각은 에지 스톱(etch stop)으로 기능하는 이전에-형성된 얇은 산화물층과 함께 메사들의 상면 상에 남아있는 폴리실리콘을 에치 백(etch back)하기 위해 수행될 수 있다. 이것은 메사들과 트렌치들 모두의 상부에 위치한 폴리실리콘층의 상부를 식각하여 제거한다. 폴리실리콘 식각은 쉴드 전극들의 상면 레벨이 메사들의 상면들보다 아래에 위치하도록 트렌치들 내에 폴리실리콘의 약간의 에치 백을 더욱 제공하기 위해서 짧은 시간동안 지속 할 수 있다. 폴리실리콘 식각 후에, 기판은 종래 H2SO4/H2O2 식각과 이에 후속하는 RCA SC-1 표준 세정 식각을 통해 세정될 수 있다.
이제, 예시적인 니켈 실리사이드 형성 공정이 설명된다. 예시적인 니켈 실리사이드 형성 공정은, 이미 형성된 임의의 산화물을 제거하기 위해서 짧은 시간 동안 플루오르화 수소(HF) 식각제에 메사들 및 쉴드 전극들의 상면들을 노출하는 단계, 기판의 표면 상에 약 1000Å의 니켈(Ni)을 증발(evaporation)시키는 단계, 약 5분 동안 250℃ 내지 400℃의 범위 내의 온도로 니켈층에 제 1 어닐링을 수행하는 단계, 및 약 5분 동안 400℃ 내지 700℃의 범위 내의 온도로 제 2 어닐링을 수행하는 단계를 포함할 수 있다. 제 1 어닐링 공정은 니켈층의 상당 부분을 Ni2Si로 변환시키며, 제 2 어닐링은 Ni2Si를 NiSi로 변환시킨다. 일 구현예에서, 제 1 어닐링 온도는 약 350℃ (±10℃)이며, 제 2 어닐링 온도는 약 500℃ (±25℃)이다. 어닐링 공정은 메사들의 상면들의 약 1000Å를 실리콘에서 니켈 실리사이드로 변환하며, 메사들의 상면들에 쇼트키 배리어들을 형성한다. 또한, 어닐링 공정은 폴리실리콘 쉴드 전극들의 상면들의 일부분을 변환하여, 쉴드 전극들 내의 높은 도핑 레벨로 인하여 쉴드 전극들과의 도전성 콘택을 형성한다.
상술된 방법들 및 본 명세서에서 청구되는 방법들에서 어느 한 동작이 다른 동작이 완료된 후에 수행되는 것으로 단정되지 않은 경우, 동작들은 서로에 대하여 임의의 시간 시퀀스(예컨대, 시간 순서)로, 예컨대 다양한 동작들의 동시 수행 및 인터리브 수행(interleaved performance)으로 수행될 수 있다고 이해되어야만 한 다. (인터리브 수행은 예컨대 둘 이상의 동작들의 일부들이 뒤섞이는 방식으로 수행될 때 일어날 수 있다.) 따라서, 본 명세서의 방법 청구항들이 동작들의 세트들을 언급하지만, 상기 방법 청구항들은 청구항 언어(claim language)에서 나열된 동작들의 순서로 반드시 한정되는 것이 아니며, 차라리, (예컨대, 한 동작이 다른 동작에 선행 또는 후행한다고 명확하게 명시함으로써) 청구항 언어에 의해 다르게 구체화되지 않는 한, 동작들의 동시 수행 및 인터리브 수행을 포함하는 상술된 가능한 순서들 및 명확하게 상술되지 않은 다른 가능한 순서들 전부를 포함하는 것으로 이해될 수 있다.
"하나의"("a", "an") 및 "상기"("the")라는 표현은 이와 반대로 명시되지 않는 한, 하나 이상을 의미하는 것으로 의도된다.
본원에서 사용되었던 용어들 및 표현들은 한정하고자 함이 아니라 설명을 위한 용어로 사용되며, 이러한 용어들 및 표현들을 사용하는 것이 위에서 도시되고 설명된 특징들의 등가물을 배제하는 것으로 의도되지 않으며, 이것은 청구 범위 내에서 가능한 다양한 변형들을 포함하는 것으로 의도된다.
다양한 실시예들이 N-채널 트렌치 쉴디드 소자들의 문맥에서 대부분 설명되었지만, 본 발명에 따르는 실시예들은 층들 및 영역들의 도전형들이 역전된 P-채널 트렌치-쉴디드 소자로 구현될 수 있다. 또한, 실시예들이 쇼트키 배리어 정류기(rectifier)들을 사용하여 도시되었지만, 본 발명에 따르는 실시예들은 MOSFET 구조들, IGBT 구조들, BJT 구조들, 쉴디드 게이트 동기식 정류기들(shielded gate synchronous rectifiers)(예컨대, 집적된 쉴디드 게이트 MOSFET 및 쇼트키), 및 본 원에서 설명되는 소자들의 슈퍼정션(superjunction) 변형들(예컨대, 교번형(alternating) 도전형 실리콘의 컬럼들(columns)을 갖는 소자들)로 구현될 수 있다.
또한, 하나 이상의 실시예들의 하나 이상의 특징들은 본 발명의 범위로부터 벗어남 없이 다른 실시예들의 하나 이상의 특징들과 결합될 수 있다.
본 발명은 개시된 실시예들에 대하여 구체적으로 설명되었지만, 다양한 변형, 수정, 채용 및 등가 배열이 본 개시를 기초로 만들어질 수 있으며(예컨대, 다양한 변화들이 만들어질 수 있으며, 특정 상황에 적합하도록 구성요소들이 등가물들로 대체될 수 있다.), 본 발명 및 첨부된 청구범위의 범위 내에 속하는 것으로 의도된다고 이해될 것이다.
도 1은 비교 트렌치-쉴디드 쇼트키 배리어 다이오드의 주사 전자 현미경(SEM) 단면 사진에 대한 도면을 도시한다.
도 2는 본 발명에 따르는 예시적인 트렌치-쉴디드 쇼트키 배리어 다이오드 소자의 단면을 도시한다.
도 3은 비교 소자와 본 발명에 따르는 예시적인 소자의 2개의 예시적인 구현예에 대한 순 n형 도핑 농도 프로파일과 전기장 프로파일의 그래프를 도시하며, 여기서 콘택 형성 공정에 의해 반도체의 제 1 양이 소모된다.
도 4는 비교 소자와 본 발명에 따르는 예시적인 소자의 2개의 예시적인 구현예에 대한 순 n형 도핑 농도 프로파일과 전기장 프로파일의 그래프를 도시하며, 여기서 콘택 형성 공정에 의해 반도체의 제 2 양이 소모된다.
도 5는 비교 소자와 본 발명에 따르는 예시적인 소자의 2개의 예시적인 구현예에 대한 25℃의 온도에서의 역-바이어스 누설 전류의 그래프로서, 콘택 형성 공정에 의해 소모되는 반도체의 양의 함수로서 표시된다.
도 6은 비교 소자와 본 발명에 따르는 예시적인 소자의 2개의 예시적인 구현예에 대한 200℃의 온도에서의 역-바이어스 누설 전류의 그래프로서, 콘택 형성 공정에 의해 소모되는 반도체의 양의 함수로서 표시된다.
도 7은 비교 소자와 본 발명에 따르는 예시적인 소자의 2개의 예시적인 구현예에 대한 25℃의 온도 및 높은 전류 밀도에서의 순 전압(forward voltage)의 그래프로서, 콘택 형성 공정에 의해 소모되는 반도체의 양의 함수로서 표시된다.
도 8은 본 발명에 따르는 예시적인 소자의 제 3 예시적인 구현예에 대한 순 n형 도핑 농도 프로파일의 그래프를 도시하며, 여기서 콘택 형성 공정에 의해 반도체의 제 1 양이 소모된다.
도 9는 본 발명에 따르는 예시적인 방법의 흐름도를 도시한다.
도 10은 본 발명에 따르는 다른 예시적인 방법의 흐름도를 도시한다.

Claims (15)

  1. 제 1 표면, 제 2 표면, 및 메사 영역(mesa region)을 갖는 제 1 도전형의 반도체층으로서, 상기 메사 영역은 상기 반도체층의 상기 제 1 표면에 인접한 상면(top surface), 및 상기 메사 영역의 제 1 일부분 내에 위치하는 상기 제 1 도전형의 경사 순 도핑 농도(graded net doping concentration)를 가지며, 상기 경사 순 도핑 농도는 상기 메사 영역의 상기 상면으로부터의 거리에 따라 값이 감소하는 반도체층;
    상기 메사 영역에 인접하게 상기 반도체층 내로 연장되는 트렌치 전극(trench electrode)으로서, 상기 트렌치는 내부에 배치되는 전기적으로 절연되는 전극을 가지며 상기 반도체층의 상기 제 1 표면으로부터 상기 반도체층의 상기 제 2 표면을 향하여 상기 반도체층의 상기 제 1 표면 아래의 제 1 깊이로 연장되는 트렌치 전극;
    상기 메사 영역의 상기 상면에 배치되는 제 2 전극; 및
    상기 반도체층에 전기적으로 결합되는 제 3 전극;을 포함하며,
    상기 메사 영역의 상기 제 1 일부분은 상기 반도체층의 상기 상면으로부터 제 1 거리 내에 위치하며, 상기 제 1 거리는 0.5 마이크론 또는 상기 제 1 깊이의 1/2 중 더 큰 것인 것을 특징으로 하는 반도체 소자.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 경사 순 도핑 농도를 갖는 상기 제 1 일부분은 상기 반도체층의 상기 상면의 3/8 마이크론 내에 위치하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 메사 영역은 상기 메사 영역의 제 2 일부분 내에 위치하는 상기 제 1 도전형의 경사 순 도핑 농도를 더 포함하며,
    상기 제 2 일부분은 상기 제 1 일부분 아래에 위치하며, 상기 제 2 일부분 내의 상기 경사 순 도핑 농도는 상기 메사 영역의 상기 상면으로부터의 거리에 따라서 값이 증가하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 메사 영역은 상기 메사 영역의 제 2 일부분 내에 위치하는 상기 제 1 도전형의 경사 순 도핑 농도를 더 포함하며,
    상기 제 2 일부분은 상기 제 2 전극과 상기 메사 영역의 상기 제 1 일부분 사이에 배치되며, 상기 경사 순 도핑 농도는 상기 메사 영역의 상기 상면으로부터의 거리에 따라서 값이 증가하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 트렌치 전극은 적어도 하나의 측벽 및 하부벽을 가지며,
    상기 메사 영역은 상기 제 1 도전형의 순 도핑 농도의 최대값을 가지며,
    상기 반도체 소자는, 상기 반도체층 내에 배치되며, 상기 메사 영역의 상기 순 도핑 농도의 최소값보다 큰 상기 제 1 도전형의 순 도핑 농도를 가지며, 상기 전기적으로 절연되는 도전체(conductor)의 하부벽에 인접하게 배치되는 강화된 도핑 영역을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 1 일부분은 순 도핑 농도의 최대값, 순 도핑 농도의 최소값, 및 상기 최소값에 대한 상기 최대값의 비율을 가지며, 상기 비율은 2 이상인 것을 특징으로 하는 반도체 소자.
  7. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 메사 영역 내의 상기 제 1 도전형의 순 도핑 농도의 상기 최대값은 2x1017cm-3 이하인 것을 특징으로 하는 반도체 소자.
  8. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 경사 순 도핑 농도를 갖는 상기 제 1 일부분은 8x1016cm-3 이하의 최대 순 도핑 농도를 갖는 것을 특징으로 하는 반도체 소자.
  9. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 1 도전형은 n형인 것을 특징으로 하는 반도체 소자.
  10. 반도체 물질로 이루어진 메사 영역으로서, 상면 및 상기 메사 영역의 제 1 일부분 내에 위치하며 제 1 도전형의 경사 순 도핑 농도를 갖는 일부분을 갖는 매사 영역을 형성하는 단계; 및
    상기 메사 영역의 상기 상면 상에 콘택 전극(contact electrode)을 형성하는 단계;를 포함하며,
    상기 경사 순 도핑 농도는 상기 메사 영역의 상기 상면으로부터의 거리에 따라서 값이 감소하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자를 제조하는 방법.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 메사 영역을 형성하는 단계는,
    반도체층의 일부분 내에 위치하는 제 1 도전형의 경사 순 도핑 농도의 영역을 형성하는 단계로서, 상기 경사 순 도핑 농도는 상기 반도체층의 제 1 표면으로부터의 거리에 따라서 값이 감소하는 단계; 및
    상기 메사 영역을 정의하기 위해서 상기 반도체층의 상기 제 1 표면에서 상기 반도체층 내에 하나 이상의 전기적으로 절연되는 트렌치 전극들을 형성하는 단계로서, 상기 메사 영역의 상기 상면은 상기 반도체층의 상기 제 1 표면에 위치하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조 방법.
  12. 제 10 항에 있어서,
    상기 메사 영역을 형성하는 단계는,
    상기 반도체층의 제 1 표면에서 상기 반도체층 내에 상기 메사 영역을 정의하기 위해서 상기 반도체층의 상기 제 1 표면에서 상기 반도체층 내에 하나 이상의 전기적으로 절연되는 트렌치 전극들을 형성하는 단계로서, 상기 메사 영역은 상기 반도체층의 상기 제 1 표면에서 상면을 갖는 단계; 및
    상기 메사 영역 내에 제 1 도전형의 경사 순 도핑 농도를 갖는 상기 일부분을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조 방법.
  13. 제 10 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 메사 영역을 형성하는 단계는, 적어도 70 KeV의 에너지로 제 2 도전형의 도펀트(dopant)를 주입하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조 방법.
  14. 제 10 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 1 일부분은 상기 반도체층의 상기 상면의 제 1 거리 내에 위치하며, 상기 제 1 거리는 0.5 마이크론 또는 상기 메사의 높이의 1/2 중 더 큰 거리인 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조 방법.
  15. 제 10 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 콘택 전극을 형성하는 단계는, 실리사이드층(silicide layer) 또는 쇼트키 콘택(Schottky contact) 중 적어도 하나를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조 방법.
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