KR20060050174A - 기판 캐리어 지지부의 재배치 방법 및 장치 - Google Patents

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KR20060050174A
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어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
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Abstract

본 발명의 제 1 특징에 따른 제 1 방법은 엔드 이펙터에 의해 제공되는 지지대를 재배치시키는 단계를 포함한다. 상기 제 1 방법은 (1) 기판 캐리어의 바닥으로 기판 캐리어를 지지하도록 엔드 이펙터를 사용하는 단계와, (2) 상기 엔드 이펙터로부터, 상기 기판 캐리어의 바닥으로 기판 캐리어를 지지하는 상기 중간 지지 로케이션으로 상기 기판 캐리어를 이송하는 단계와, (3) 상기 기판 캐리어의 바닥 근처에 상기 엔드 이펙터를 재배치시키는 단계와, (4) 상기 기판 캐리어의 상기 오버헤드 이송 플랜지로 상기 기판 캐리어를 지지하도록 상기 엔드 이펙터를 사용하는 단계와, (5) 상기 중간 지지 로케이션으로부터 상기 기판 캐리어를 이송하는 단계를 더 포함한다. 다수의 다른 특징들이 제공된다.

Description

기판 캐리어 지지부의 재배치 방법 및 장치 {METHODS AND APPARATUS FOR REPOSITIONING SUPPORT FOR A SUBSTRATE CARRIER}
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 엔드 이펙터에 의해 지지되는 종래의 프론트 오프닝 유니파이드 포드(FOUP)의 등축도.
도 2는 도 1의 FOUP의 평면도.
도 3은 도 1의 FOUP의 저면도.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 도 1의 중간 지지 로케이션 및 엔드 이펙터의 등축도.
도 5a는 본 발명의 일 실시예에 따른 도 1의 엔드 이펙터의 바닥면을 도시한 등축도.
도 5b는 본 발명의 일 실시예에 따른 도 1의 엔드 이펙터의 측면도.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 엔드 이펙터에 의해 제공되는 지지부를 재배치시키기 위한 하나의 예시적인 방법을 나타내는 도면.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 캐리어(예를 들어, FOUP)의 바닥으로서 기판 캐리어를 지지하도록 사용되는 엔드 이펙터를 나타내는 도면.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 중간 지지 로케이션 바로 위에 있는 도 7의 엔드 이펙터를 나타내는 도면.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따라 FOUP의 바닥면을 지지하기 위해 사용되는 도 7의 중간 지지 로케이션을 나타내는 도면.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따라 중간 지지 로케이션이 FOUP를 지지하는 동안 중간 지지 로케이션 바로 아래 위치되는 도 7의 엔드 이펙터를 나타내는 도면.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따라 엔드 이펙터의 어떠한 부분도 FOUP의 아래에 위치되지 않도록, 중간 지지 로케이션에 의해 지지되는 FOUP 아래에 위치되는 도 7의 엔드 이펙터를 나타내는 도면.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따라 FOUP 보다 약간 높게 위치되는 도 7의 엔드 이펙터를 나타내는 도면.
도 13은 본 발명의 일 실시예에 따라 FOUP에 근접하게 위치되는 도 7의 엔드 이펙터를 나타내는 도면.
도 14는 본 발명의 일 실시예에 따라 FOUP의 OHT 플랜지로 FOUP를 지지하는 도 7의 엔드 이펙터를 나타내는 도면.
도 15는 본 발명의 일 실시예에 따라 중간 지지 로케이션 바로 위에서 FOUP를 지지하는 도 7의 엔드 이펙터를 나타내는 도면.
도 16은 본 발명의 일 실시예에 따라 엔드 이펙터 및 FOUP의 어떠한 부분도 중간 지지 로케이션 위에 위치되지 않도록, 중간 지지 로케이션보다 높게 위치되는 도 7의 FOUP 및 엔드 이펙터를 나타내는 도면.
도 17은 본 발명의 일 실시예에 따라 중간 지지 로케이션으로부터 이송되는 도 7의 FOUP 및 엔드 이펙터를 나타내는 도면.
도 18은 본 발명의 일 실시예에 따라 엔드 이펙터에 의해 제공되는 지지부를 재배치시키기 위한 제 2의 예시적 방법을 나타내는 도면.
도 19는 본 발명의 일 실시예에 따라 지지부 캐리어를 이송하기 위한 개략적인 정면도.
※ 도면의 주요 부분에 대한 도면 부호의 설명 ※
101: 기판 캐리어 103: 엔드 이펙터
107: OHT 플랜지 109: 상부면
117: 중간 지지 로케이션 301: 바닥면
401: 엔드 이펙터 핀 403: 지지 로케이션 핀
407: 제어기 501: 엔드 이펙터 플랜지
503: 엔드 이펙터 센서
본 발명은 2004년 7월 14일자로 출원된 미국 가출원 제60/587,752호를 우선권 주장하며, 이는 본 발명에 그 전체가 참조되었다.
본 발명은 현재 계류중인 하기의 미국 특허출원과 연관되며, 이들은 각각 그 전체가 본 발명에 참조되었으며, 본 발명 출원인에게 양도되었다.
"기판 캐리어 이송 시스템"이란 명칭으로 2003년 8월 28일자로 출원된 미국 특허출원 제10/650,310호; 및
"움직이는 컨베이어로부터 기판 캐리어를 직접 언로딩하는 기판 캐리어 핸들러"란 명칭으로 2003년 8월 28일자로 출원된 미국 특허출원 제10/650,480호.
본 발명은 반도체 소자 제조에 관한 것으로, 특히 기판 캐리어 지지부의 재배치 방법 및 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 소자의 제조방법에 있어서는 실리콘 기판, 유리판 등의 기판과 관련된 일련의 절차를 수행하는 단계를 포함한다. 이러한 단계에는 폴리싱, 증착, 에칭, 포토리소그래피, 열처리 등이 포함된다. 일반적으로, 다수의 상이한 처리 단계가 단일 처리 시스템 또는 복수의 처리 챔버를 포함한 "툴"에서 수행될 수 있다. 그러나 어떤 프로세스는 제조 설비 내의 다른 처리 장소에서 수행될 필요가 있는 경우가 있으며, 그에 따라, 기판이 제조 설비 내에서 하나의 처리 장소로부터 다른 장소로 이송되어야 할 필요가 있다. 제조하고자 하는 반도체 소자의 유형에 따라, 상대적으로 많은 수의 처리 단계가 제조 설비 내의 많은 여러 처리 장소에서 수행될 필요가 있을 수 있다.
밀봉된 포드(pods), 카세트, 컨테이너 등과 같은 기판 캐리어 내에서 기판을 하나의 처리 위치로부터 다른 위치로 이송하는 것이 통상적이다. 또한, 제조 설비 내에서 하나의 장소에서 다른 장소로 기판 캐리어를 이동시키거나, 또는 기판 캐리어 이송 장치로부터 또는 기판 캐리어 이송 장치로 기판 캐리어를 이송하기 위하여, 자동 안내 운반체, 오버헤드 이송 시스템, 기판 캐리어 핸들링 로봇 등과 같이 자동화된 기판 캐리어 이송 장치를 사용하는 것이 통상적이다. 그러나 이송 과정 에서 기판 캐리어를 지지하기 위한 개선된 방법 및 장치가 여전히 필요하다.
본 발명의 제 1 양태에서, 엔드 이펙터에 의해 제공된 지지부의 제 1 재배치 방법이 제공된다. 상기 제 1 재배치 방법은, (1) 기판 캐리어의 바닥으로 기판 캐리어를 지지하도록 엔드 이펙터를 사용하는 단계; (2) 상기 엔드 이펙터로부터, 상기 기판 캐리어의 바닥으로 기판 캐리어를 지지하는 중간 지지 로케이션으로 상기 기판 캐리어를 이송하는 단계; (3) 상기 기판 캐리어의 오버헤드 이송 플랜지 근처에 상기 엔드 이펙터를 재배치하는 단계; (4) 상기 기판 캐리어의 오버헤드 이송 플랜지로 기판 캐리어를 지지하도록 엔드 이펙터를 사용하는 단계; 및 (5) 상기 중간 지지 로케이션으로부터 기판 캐리어를 이송하는 단계;를 포함한다.
본 발명의 제 2 양태에서, 엔드 이펙터에 의해 제공된 지지부의 제 2 재배치 방법이 제공된다. 상기 제 2 재배치 방법은, (1) 기판 캐리어의 오버헤드 이송 플랜지로 기판 캐리어를 지지하도록 엔드 이펙터를 사용하는 단계; (2) 상기 엔드 이펙터로부터, 상기 기판 캐리어의 바닥으로 기판 캐리어를 지지하는 중간 지지 로케이션으로 상기 기판 캐리어를 이송하는 단계; (3) 상기 기판 캐리어의 바닥 근처에 상기 엔드 이펙터를 재배치하는 단계; (4) 상기 기판 캐리어의 바닥으로 기판 캐리어를 지지하도록 엔드 이펙터를 사용하는 단계; 및 (5) 상기 중간 지지 로케이션으로부터 기판 캐리어를 이송하는 단계;를 포함한다.
본 발명의 제 3 양태에서, 제 1 기판 캐리어 이송 시스템이 제공된다. 상기 제 1 기판 캐리어 이송 시스템은, (1) 기판 캐리어의 바닥으로 기판 캐리어를 지지 하고, 상기 기판 캐리어의 오버헤드 이송 플랜지로 기판 캐리어를 지지하는 엔드 이펙터; (2) 중간 지지 로케이션; 및 (3) 상기 엔드 이펙터에 연결되는 제어기를 포함하며; 상기 제어기는 (a) 상기 기판 캐리어의 바닥으로 기판 캐리어를 지지하도록 엔드 이펙터를 사용하고; (b) 상기 엔드 이펙터로부터, 상기 기판 캐리어의 바닥으로 기판 캐리어를 지지하는 중간 지지 로케이션으로 상기 기판 캐리어를 이송하며; (c) 상기 기판 캐리어의 오버헤드 이송 플랜지 근처에 상기 엔드 이펙터를 재배치하고; (d) 상기 기판 캐리어의 오버헤드 이송 플랜지로 기판 캐리어를 지지하도록 엔드 이펙터를 사용하며; (e) 상기 중간 지지 로케이션으로부터 기판 캐리어를 이송한다.
본 발명의 제 4 양태에서, 제 2 기판 캐리어 이송 시스템이 제공된다. 상기 제 2 기판 캐리어 이송 시스템은, (1) 기판 캐리어의 바닥으로 기판 캐리어를 지지하고, 상기 기판 캐리어의 오버헤드 이송 플랜지로 기판 캐리어를 지지하는 엔드 이펙터; (2) 중간 지지 로케이션; 및 (3) 상기 엔드 이펙터에 연결되며, (a) 상기 기판 캐리어의 오버헤드 이송 플랜지로 기판 캐리어를 지지하도록 엔드 이펙터를 사용하고; (b) 상기 엔드 이펙터로부터, 상기 기판 캐리어의 바닥으로 기판 캐리어를 지지하는 중간 지지 로케이션으로 상기 기판 캐리어를 이송하며; (c) 상기 기판 캐리어의 바닥 근처에 상기 엔드 이펙터를 재배치하고; (d) 상기 기판 캐리어의 바닥으로 기판 캐리어를 지지하도록 엔드 이펙터를 사용하며; 및 (e) 상기 중간 지지 로케이션으로부터 기판 캐리어를 이송하는, 제어기;를 포함한다. 본 발명의 상기 또는 다른 양태에 따른 방법, 시스템, 장치 및 컴퓨터 프로그램 제품과 같은, 다수 의 다른 양태들이 제공된다. 본 발명에 기재되어 있는 각각의 컴퓨터 프로그램 제품은 컴퓨터(예를 들어, 캐리어 파형 신호(wave signal), 플로피 디스크, 컴팩트 디스크, DVD, 하드 드라이브, 램(random access memory), 등과 같이)에 의해 판독 가능한 매체에 의해 저장될 수 있다.
본 발명의 다른 특징 및 양태들은 다음의 상세한 설명, 첨부된 청구 범위 및 첨부된 도면으로부터 보다 충분히 명백해질 것이다.
종래의 프론트 오프닝 유니파이드 포드 (Front Opening Unified Pod; FOUP)와 같은 기판 캐리어는 하나 이상의 기판을 저장할 수 있다. 반도체 소자 제조 공정 중에, 기판 캐리어는 로봇 암의 엔드 이펙터와 같은 이송 장치를 이용하는 반도체 소자 제조 설비의 제 1 로케이션에서 제 2 로케이션으로 이송된다. 이송 장치는 기판 캐리어의 제 1 단부(예를 들어, 상부 단부)를 지지함으로써 제 1 로케이션으로 기판 캐리어를 (예를 들어, 리프팅에 의해) 이송할 수 있다. 그러나 본 발명에 따라서, 이송 장치는 기판 캐리어의 제 2 단부(예를 들어, 바닥 단부)를 지지함으로써 기판 캐리어를 제 2 로케이션에 이송할 수 있다. 예를 들어, 기판 캐리어에 제공되는 지지부는 이송중에 기판 캐리어의 제 1 단부에서 제 2 단부로 재배치될 수 있다. 따라서, 기판 캐리어의 지지부를 재배치시키기 위한 방법 및 장치가 제공된다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따라서 엔드 이펙터(103)에 의해 지지되는 종래의 정면 오프닝 단일 포드 (FOUP)(101)의 등축도이다. 일 실시예에 있어서, FOUP(101)는 입방체일 수 있다. 도 1에 입방체로서 도시되었음에도 불구하고, FOUP(101)를 다른 형태로 가정할 수 있다. FOUP(101)는 상부측 또는 상부면(109) 및 (도 1에 도시되지 않은) 바닥면을 포함하는 복수의 면 또는 표면을 포함할 수 있다. FOUP(101)는 FOUP(101)를 수동적으로 운반하기 위해 이용될 수 있는 하나 이상의 측면에 핸들(105)을 포함할 수 있다. FOUP(101)는 FOUP(101)의 상부면(109)에 연결되는 오버헤드 이송 (OHT) 플랜지를 포함한다. OHT 플랜지(107)는 베이스(114) 위에 및/또는 베이스(114)로부터 연장하는 복수의 플랜지(111)를 포함한다. FOUP(101)의 (도 1 에 도시되지 않은) 바닥면 또는 OHT 플랜지(107)는 엔드 이펙터(103)와 같은 이송 장치에 연결된다.
엔드 이펙터(103)는 상부면(113) 및 바닥면(115)을 포함한다. 엔드 이펙터(103)의 바닥면(115) 및 상부면(113)이 각각, 도 4 및 도 5를 참조하여 상세하게 설명된다. 엔드 이펙터(103)는 예를 들어, 이송중에 FOUP(101)를 지지하기 위해 사용될 수 있다. 보다 구체적으로, 엔드 이펙터(103)의 바닥면(115)은 FOUP(101)의 상부면(109)(예를 들어, OHT 플랜지(107))를 이용하여(예를 들어, 상부면에 의해서) FOUP(101)를 지지할 수 있다. 이와 달리, 도 1에 도시된 바와 같이, 엔드 이펙터(103)의 상부면(113)은 FOUP(101)의 바닥면을 이용하여(예를 들어, 바닥면에 의해서) FOUP(101)를 지지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 중간 지지 로케이션(117)의 등축도이다. 일 실시예에서, 중간 지지 로케이션(117)은 선반일 수도 있다. 중간 지지 로케이션(117)은 다른 형태의 지지부를 포함할 수도 있다. 엔드 이펙터(103, end effector)가 FOUP(101)의 제 1 면(예를 들어, 바닥면)에 지지부를 제공하는 것으로부터 FOUP(101)의 제 2 면(예를 들어 상부면(109))에 지지부를 제공하도록(또는 그 반대) 재배치되면서 중간 지지 로케이션(117)은 FOUP(101)를 지지한다. 도 1에 도시된 실시예에서, 중간 지지 로케이션(117)은 FOUP(101)의 바닥 측면부(도 1에 도시않음)에 의해 FOUP(101)를 지지한다. 다른 실시예에서, 중간 지지 로케이션(117)은 FOUP(101)의 다른 및/또는 추가 면에 의해 FOUP(101)를 지지할 수도 있다.
도 2는 도 1에 도시된 FOUP(101)의 평면도이다. OHT 플랜지(107)의 상부 표면(201)은 도 1의 중간 지지 로케이션(117)과 같은 지지 장치 또는 엔드 이펙터(103)와의 정렬을 제공하기 위한 하나 이상의 플랜지 슬롯(203)을 포함할 수도 있다. 일 실시예에서, OHT 플랜지(107)의 상부 표면(201) 또는 바닥 표면(도시 않음)은 3개의 플랜지 슬롯(203)을 포함한다. 다른 수의 슬롯(203)이 채용될 수도 있다. 또한, 상이한 실시예들은 상이한 길이, 깊이 및/또는 형상 및/또는 슬롯 위치의 슬롯(203)을 포함할 수도 있다.
도 3은 도 1에 도시된 FOUP(101)의 저면도이다. FOUP(101)의 바닥면 또는 바닥측(301)은 도 1의 중간 지지 로케이션(117)과 같은 지지 장치 또는 엔드 이펙터(103)와의 정렬을 제공하기 위한 하나 이상의 FOUP 슬롯(303)을 포함할 수도 있다. 일 실시예에서, FOUP(101)의 바닥면(301)은 3개의 FOUP 슬롯(303)을 포함한다. 다른 수의 FOUP 슬롯(303)이 채용될 수도 있다. 또한, 상이한 실시예들은 상이한 길이, 깊이, 형상 및/또는 슬롯 위치의 FOUP 슬롯(303)을 포함할 수도 있다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따라 도 1의 중간 지지 로케이션(117)과 엔드 이펙터(103)의 등축도이다. 엔드 이펙터(103)의 상부 표면(113)은 하나 이상의 엔드 이펙터 핀(401)을 포함할 수도 있다. 하나 이상의 엔드 이펙터 핀(401)은 엔드 이펙터가 FOUP(101)의 바닥면(301)을 지지할 때 FOUP(101)의 바닥면(301)에 포함된 대응 FOUP 슬롯(303, 도 3)에 연결(예를 들어 삽입되어)된다. FOUP 슬롯(303)과 하나 이상의 엔드 이펙터 핀(401)은 하나 이상의 엔드 이펙터 핀(401)과 대응 FOUP 슬롯(303)과의 연결이 FOUP(101)를 엔드 이펙터(103)와 정렬시키도록 설계된다. 유사하게, 중간 지지 로케이션(117)은 하나 이상의 지지 로케이션 핀(403, 예를 들어 지지 로케이션의 상부 표면상에)을 포함할 수도 있다. 하나 이상의 지지 로케이션 핀(403)은 중간 지지 로케이션(117)이 FOUP(101)의 바닥면을 지지할 때 대응 FOUP 슬롯(303)에 연결(예를 들어 삽입되어)된다. FOUP 슬롯(303)과 하나 이상의 지지 로케이션 핀(403)은 하나 이상의 지지 로케이션 핀(403)과 대응 FOUP 슬롯(303)과의 연결이 FOUP(101)를 중간 지지 로케이션(117)과 정렬시키도록 설계된다. 도 4의 실시예에서, 3개의 엔드 이펙터 핀(401) 및/또는 3개의 지지 로케이션 핀(403)이 채용되지만, 다른 수의 핀이 사용될 수도 있다. 일 실시예에서, 하나 이상의 엔드 이펙터 핀(401) 및/또는 하나 이상의 지지 로케이션 핀(403)은 동적 핀(kinematic pins)이다. 다른 형태의 핀이 채용될 수도 있다. 또한, 하나 이상의 엔드 이펙터 핀(401) 및/또는 지지 로케이션 핀(403)은 센서(405, 예를 들어 정확한 캐리어 장착을 탐지하기 위해)를 포함할 수도 있다. 센서를 이용하는 동적 핀은 "반도체 기판 캐리어를 탐지하기 위해 센서와 일체화된 로케이터 핀"이라는 명칭으로 2003년 6월 3일에 출원되고 본 발명에 참조된 미국 특허 제 6,573,522B2호 에 개시되어 있다.
엔드 이펙터(103)는 엔드 이펙터(103)를 하나 이상의 방향으로 이동(예를 들어, 이동 제어)시키도록 구성된 제어기(407)에 연결될 수도 있다. 예를 들어, 제어기(407)는 x-축, y-축 및/또는 z-축(도 4)을 따라 엔드 이펙터를 이동시키도록 구성될 수도 있다. 엔드 이펙터(103), 중간 지지 로케이션(117) 및 제어기(407)는 기판 캐리어 전달 시스템(409)을 형성할 수도 있다.
도 4의 실시예에서, 엔드 이펙터(103)의 형상 및 하나 이상의 엔드 이펙터 핀(401)의 위치는 중간 지지 로케이션(117)의 형상 및 그 위에 있는 하나 이상의 지지 로케이션 핀(403)의 위치를 보족(complement)시키도록 설계된다. 보다 구체적으로, 엔드 이펙터(103)와 중간 지지 로케이션(117)이 동일 평면(예를 들어, xy-평면)에 있을 때, 엔드 이펙터(103)의 각각의 엔드 이펙터 핀(401)과 중간 지지 로케이션(117)의 각각의 대응 지지 로케이션 핀(403)은 각각의 FOUP 슬롯(303)에 연결(예를 들어 삽입되어)될 수도 있다. 이때, 엔드 이펙터(103)와 중간 지지 로케이션(117) 모두는 FOUP(101, 예를 들어 FOUP(101)의 바닥면을 통해)를 지지할 수도 있다.
도 5a는 본 발명의 일 실시예에 따른 엔드 이펙터(103)의 바닥 표면(115)의 등축도이다. 엔드 이펙터(103)의 바닥 면(115)은 하나 이상의 엔드 이펙터 플랜지(501)를 포함할 수도 있다. 전술한 것처럼, 엔드 이펙터(103)의 바닥면(115)은 FOUP(101)의 상부면(109)을 이용하여 FOUP(101)를 지지할 수도 있다. 보다 구체적으로, 하나 이상의 엔드 이펙터 플랜지(501)는 예를 들어 OHT 플랜지(107) 아래로 슬라이딩시킴으로써 OHT 플랜지(107)에 연결되도록 구성된다. 이러한 방식으로, 엔드 이펙터(103)는 OHT 플랜지(107)를 이용하여 FOUP(101)를 지지한다. 일 실시예에서, 엔드 이펙터(103)는 4개의 엔드 이펙터 플랜지(501)를 포함한다. 다른 수의 엔드 이펙터 플랜지가 채용될 수도 있다. 또한, 상이한 실시예들은 상이한 형상, 위치 및/또는 크기의 엔드 이펙터 플랜지(501)를 포함할 수도 있다. 일 실시예에서, 하나 이상의 엔드 이펙터 플랜지는 엔드 이펙터 플랜지(501)와 OHT 플랜지(107)의 적절한 정렬을 보장하기 위해 엔드 이펙터 센서(503)를 포함 및/또는 이에 연결될 수도 있다. 예를 들어, 엔드 이펙터 센서(503)는 하나 이상의 엔드 이펙터 플랜지(501)가 OHT 플랜지(107)에 대해 적절히 위치될 때를 표시할 수도 있다.
도 5b는 본 발명의 일 실시예에 따른 엔드 이펙터(103)의 측면도이다. 도 5b를 참조하면, 하나 이상의 엔드 이펙터 플랜지(501)의 상부 표면(505)은 하나 이상의 엔드 이펙터 핀(401)을 포함할 수도 있다. 엔드 이펙터 플랜지(401)의 상부 표면(505) 상의 하나 이상의 엔드 이펙터 핀(401)은 엔드 이펙터(103)가 OHT 플랜지(107)에 의해 FOUP(101)를 지지할 때 OHT 플랜지(107)의 바닥 표면(도시 않음)에 포함된 대응 OHT 플랜지 슬롯(도시 않음)에 연결된다. 엔드 이펙터 플랜지(501)의 상부 표면(505) 상의 하나 이상의 엔드 이펙터 핀(401)과 OHT 플랜지 슬롯은 하나 이상의 엔드 이펙터 핀(401)과 대응 OHT 플랜지 슬롯과의 연결이 FOUP(101)와 엔드 이펙터(103)를 정렬시키도록 설계된다.
이제 기판 캐리어 운송 시스템((409), 도 4)의 예시적인 작업이 도 1 내지 도 6 및 도 7 내지 도 17을 참고로 하여 기재되어 있으며, 여기에는 본 발명의 실 시예에 따르는 엔드 이펙터(103)에 의하여 제공되는 지지부를 재배치하는 예시적인 방법(601)이 나타나 있다. 보다 명확하게 말하자면, 엔드 이펙터(103)에 의하여 제공되는 지지부를 기판 캐리어(예컨대, FOUP(101)))로 FOUP 101의 제1면부터 제2 면으로 재배치하는 방법이 기재되어 있다. 예를 들면, 상기 방법(601)의 하나 이상의 단계는, 제어기(407)에 의하여 실행되고 이 제어기(407)에 의하여 연결되거나 관련되는 임의의 적절한 컴퓨터 판독 매체(예컨대, 캐리어 웨이브 시그널, 플로피 디스크, 콤팩트 디스크, DVD, 하드 디스크, 램 등)의 메모리에 저장되는 컴퓨터 프로그램 코드를 통하여 구현될 수 있다.
도 6과 관련하여, 상기 방법(601)은 단계(603)에서 시작한다. 단계(605)에서 엔드 이펙터(103)는 기판 캐리어(예컨대, FOUP(101))의 바닥면(301)에 의하여 기판 캐리어를 지지되도록 사용된다. 제어기(407)는 엔드 이펙터를 움직이기 위하여 사용하여, 엔드 이펙터(103)의 상면(113)의 엔드 이펙터 핀(401)이 FOUP(101)의 바닥면(301)에 포함된 FOUP 슬롯(303)에 연결되며, 이로써 엔드 이펙터(103)의 상면(113)과 FOUP(101)의 바닥면(301)을 연결할 수 있게 된다. 이러한 방법으로, 엔드 이펙터(103)는 FOUP(101)의 바닥면(301)을 지지한다. 제어기(407)는 x-축, y-축, z-축 중의 하나 이상의 축을 따라 엔드 이펙터(103)를 움직여서, 전술한 바와 같이 엔드 이펙터(103)가 FOUP(101)와 연결되도록 사용할 수 있다. 도 7에는 본 발명의 실시예에 따라 기판 캐리어(예컨대, FOUP(101))의 바닥면에 의하여 기판 캐리어를 지지하도록 채용되는 엔드 이펙터(103)가 도시되어 있다. 예를 들면, 엔드 이펙터(103)는 바닥면을 통하여 FOUP(101)를 지지하는 또 다른 지지부 선반으로부 터 또는 OHT 플랜지를 통하여 FOUP를 지지하는 오버헤드 컨베이어 시스템으로부터 FOUP(101)를 제거할 수 있다. 도 7에서 보는 바와 같이, FOUP(101)는 엔드 이펙터(103)에 의하여 충분히 지지된다.
단계(607)에서, 기판 캐리어(예컨대, FOUP(101))는 엔드 이펙터(103)로부터 중간 지지 로케이션(intermediate support location(117))으로 이동한다. 중간 지지 로케이션(117)은 기판 캐리어(예컨대, FOUP(101))의 바닥면(301)을 지지한다. 예컨대, 제어기(407)는 엔드 이펙터(103)를 움직일 수 있는데, 이 엔드 이펙터는 FOUP(101)의 바닥면(301)을 z-축(예컨대, 수직으로 상하방향)을 따라 지지하여 (도 7에서 보는 바와 같이) 엔드 이펙터는 중간 지지 로케이션(117)보다 근접한 위치에 있게 된다(예컨대, 약간 더 높이).
그 이후 제어기(407)는 엔드 이펙터(103)를 움직이면서, 엔드 이펙터(103)는 x-축(예컨대, 수평으로 좌우 방향)을 따라 FOUP(101)의 바닥면(301)을 지지하여 엔드 이펙터(103)는 중간 지지 로케이션(117) 바로 위에 있게 된다. 도 8에는 도 7의 엔드 이펙터(103)가 본 발명의 실시예에 따라 중간 지지 로케이션(117)의 바로 위에 있는 것으로 도시되어 있다. 엔드 이펙터(103)는 FOUP(101)의 바닥면(301)에 의하여 FOUP(101)를 충분히 지지한다.
그 이후 제어기(407)는 엔드 이펙터(103)를 움직이면서, 엔드 이펙터(103)는 z-축(예컨대, 수직으로 아래방향)을 따라 FOUP(101)의 바닥면(301)을 지지하게 된다. 엔드 이펙터(103)가 z-축을 따라 아래 방향으로 움직이면서, 엔드 이펙터(103)는 FOUP(101)의 바닥면(301)을 충분히 지지한다. 그러나 엔드 이펙터(103)가 도 9에 도시된 위치(예컨대, 핀(401, 403)의 상대적인 높이에 따라, 엔드 이펙터(103)와 중간 지지 로케이션(117)가 동일한 xy 평면에 있거나 엔드 이펙터(103)의 xy 평면이 중간 지지 로케이션(117)의 xy 평면보다 약간 위에 있거나 아래에 있는 위치)로 접근함에 따라, 엔드 이펙터(103)와 중간 지지 로케이션(117)은 모두 FOUP(101)의 바닥면(301)을 지지할 수 있게 된다. 예를 들면, 엔드 이펙터(103)의 각 엔드 이펙터 핀(401)과 중간 지지 로케이션(117)의 각 대응하는 지지 로케이션 핀(403)은 각 FOUP 슬롯(303)에 연결되어(예컨대, 그 안으로 삽입됨) FOUP(101)의 바닥면(301)을 지지할 수 있게 된다. 엔드 이펙터(103) 및 중간 지지 로케이션(117) 모두가 FOUP(101)의 바닥면(301)을 지지하는 시간은 짧을 수 있다(예컨대, 1초 이하). 도 9에는 중간 지지 로케이션(117)가 본 발명의 실시예에 따라 FOUP(101)의 바닥면(301)을 지지하도록 사용된 것이 도시되어 있다.
제어기(407)가 엔드 이펙터(103)를 수직으로 아래 방향으로 계속 이동시킴에 따라, FOUP(101)은 중간 지지 로케이션(117)에 의하여 계속 지지되며 엔드 이펙터 핀(401)은 FOUP 슬롯(303)으로부터 맞물림 해제된다. 그러므로 엔드 이펙터(103)는 FOUP(101)을 더 이상 지지하지 않고, 중간 지지 로케이션(117)은 FOUP(101)의 바닥(예컨대, 저면)에 의하여 FOUP(101)을 충분히 지지할 수 있다. 따라서, FOUP(101)은 (도 10에 도시된 바와 같이) 엔드 이펙터(103)로부터 중간 지지 로케이션(117)으로 성공적으로 운반될 수 있다.
단계(609)에서, 엔드 이펙터(103)는 기판 캐리어(예컨대, FOUP(101))의 오버헤드 이송(OHT) 플랜지(107) 근처에 재배치된다. 제어기(407)는 FOUP(101)을 지지 하지 않는 엔드 이펙터(103)가 x-축, y-축 및 z-축 중의 하나 이상의 축을 따라 이동하여 OHT 플랜지(107) 근처에 엔드 이펙터(103)를 재배치하도록 사용된다. 예를 들면, 제어기(407)는 FOUP(101)가 엔드 이펙터(103)로부터 중간 지지 로케이션(117)으로 운반된 후에, 엔드 이펙터(103)를 수직으로 아래 방향으로 이동시킬 수 있다. 이렇게 수직으로 아래 방향으로 이동하는 것은 단계(607)의 수직으로 아래 방향으로 이동하는 것과 연속적일 수 있고 또는 별도의 이동이 이용될 수도 있다. 수직으로 아래 방향으로 이동하는 결과로서, 엔드 이펙터(103)는 중간 지지 로케이션(117) 바로 아래에 있게 되면서, 중간 지지 로케이션(117)은 본 발명의 실시예에 따라 FOUP(101)을 지지하게 된다. 엔드 이펙터(103)의 임의의 수평 방향 이동 중에(수직 방향 및 수평 방향 이동의 조합이 될 수 있는 경우에, 수직 방향 거리는 도 10에 나타난 것보다 크거나 작을 수 있음), 엔드 이펙터 핀(401)은 중간 지지 로케이션(117)과 접촉하지 않을 정도로, 엔드 이펙터(103)는 FOUP(101)의 바닥면(301) 충분히 아래에 있다.
그 이후 제어기(407)는 엔드 이펙터(103)를 수평 방향으로, 예컨대 x-축 방향을 따라 이동시킬 수 있다. 제어기(407)는 엔드 이펙터(103)를, 예컨대 개방 영역 또는 터널(예컨대, 개방 영역(1911)은 도 19를 참조) 내부로 이동시켜서, 엔드 이펙터(103)의 어떠한 부분도 중간 지지 로케이션(117)에 의하여 지지되는 FOUP 아래에 있지 않을 수 있다. 예컨대, 반도체 장치 제조 공정 중에 이용되는 다른 설비 또는 장치와 접촉함이 없이 터널은 엔드 이펙터가 z-축(예컨대, 수직 방향)을 따라 이동할 수 있는 영역을 형성한다. 예를 들어, 터널은 선반들의 칼럼과 처리 기(processing tool)의 로드 포트(load port) 사이의 경로일 수 있다. 도 11은, 본 발명의 실시예에 따라서, 중간 지지 로케이션(intermediate support location)(117)에 의해 지지되는 FOUP(101) 아래에 위치해서 엔드 이펙터(103)의 어떠한 부분도 FOUP(101) 하부에 있지 않은 엔드 이펙터(end effector)(103)를 도시한다.
그 다음 제어기(407)가 (예를 들어, 터널에 수직인) z-축에 따라 엔드 이펙터(103)를 이동시켜서, 엔드 이펙터(103)가 FOUP(101)보다 약간 위에 있게 된다. 보다 특정적으로, 엔드 이펙터(103)는 상기 엔드 이펙터(103)의 바닥면(115)이 FOUP의 OHT 플랜지(107)의 상부면 보다 (예를 들어, 수직으로) 높도록 그리고 엔드 이펙터(103)의 엔드 이펙터 플랜지(501)들 및 (도 5b의 측면도에서 도시된 수직 방향의 운동핀(kinematic pin)(401)들과 같은) 어떠한 상승된 형상들도 OHT 플랜지(107)보다 (예를 들어, 수직으로) 낮도록 이동된다. 엔드 이펙터(103)가 개방된 영역으로 이동하고 있기 때문에, 엔드 이펙터(103)가 반도체 장치 제조 처리 동안 채용된 장비 또는 기타 장치와 접촉하지 않을 것이다. 도 12는, 본 발명의 실시예에 따라서, 전술한 바와 같이 FOUP(101)보다 약간 높이 위치한 엔드 이펙터(103)를 도시한다.
제어기(407)는 엔드 이펙터(103)를 (예를 들어, x 및/또는 y-축을 따라서) 수평으로 이동시켜 엔드 이펙터(103)의 바닥면(115)이 OHT 플랜지(107)의 상부면(201)의 바로 위에 있고, 엔드 이펙터 플랜지(501)가 OHT 플랜지(107)의 바로 아래에 있도록 한다. 엔드 이펙터(103)가 z-축을 따라서 상방으로 이동된다면, 엔드 이펙터 플랜지(501)는 (예를 들어, 엔드 이펙터(103)와 FOUP(101) 사이에서 최종적인 정렬을 제공하고 FOUP(101)가 X-방향으로의 이동 동안 미끄러지는 것을 방지하는 운동 핀(401)들을 거쳐서) OHT 플랜지(107)에 결속될 것이다. 이러한 방법으로, 엔드 이펙터(103)는 FOUP(101)의 OHT 플랜지(107)에 근사하게 재배치된다. 도 13은, 본 발명의 실시예에 따라서, 전술한 바와 같이 FOUP(101)에 근사하게 배치한 엔드 이펙터(103)를 도시한다.
단계(611)에서, 엔드 이펙터(103)는 기판 캐리어(substrate carrier)(예를 들어, FOUP(101))의 OHT 플랜지(107)에 의해 기판 캐리어(예를 들어, FOUP(101))를 지지하도록 채용된다. 제어기(407)는 엔드 이펙터(103)를 z-축을 따라 (예를 들어, 수직인) 상방으로 이동시킨다. 엔드 이펙터(103)가 z-축을 따라 상방으로 이동되는 동안, 엔드 이펙터 플랜지(501)는 OHT 플랜지(107)에 결속되고 이를 지지한다. 엔드 이펙터(103)의 상방 이동의 결과로서, FOUP(101)가 중간 지지 로케이션(117)으로부터 z-축을 따라 상방으로 상승된다. 결과적으로, 로케이션(117)의 지지부 핀(403)들은 상응하는 FOUP 슬롯(303)들로부터 이탈(disengage)된다. 따라서 엔드 이펙터(103)는 FOUP(101)의 OHT 플랜지(107)에 의해 FOUP(101)를 충분히 지지한다. 도 14는, 본 발명의 실시예에 따라 FOUP(101)의 OHT 플랜지(107)에 의해 FOUP(101)를 지지하는 엔드 이펙터(103)를 도시한다.
단계(613)에서, 엔드 이펙터(103)가 그 OHT 플랜지로 기판 캐리어를 지지한 후, 기판 캐리어(예를 들어, FOUP(101))가 중간 지지 로케이션(117)로부터 전달된다. 예를 들어, FOUP(101)는 (도시되지 않은) 처리 또는 로드 잠금 챔버(load lock chamber) 내측에 위치할 수 있다. 엔드 이펙터(103)가 이동되고, 따라서 FOUP(101)가 z-축을 따라 상방으로 상승되어, 엔드 이펙터(103) 및 FOUP(101)의 어떠한 수평 이동 동안에도 로케이션(117) 핀들이 FOUP(101)의 바닥면(301)과 접촉하지 않는다. 따라서, 도 15에서 도시되는 바와 같이, 엔드 이펙터(103)가 중간 지지 로케이션(117)의 바로 위에서 FOUP(101)를 지지한다.
제어기(407)는 예를 들어 개방된 구역 또는 터널 내로 엔드 이펙터(103)를 (예를 들어, x 및/또는 y-축을 따라서) 수평으로 이동시켜서, 엔드 이펙터(103)에 의해 지지되는 엔드 이펙터(103) 및 FOUP(101)의 어떠한 부분도 중간 지지 로케이션(117) 위쪽에 있지 않는다(예를 들어, 위쪽으로 연장되지 않는다). 도 16은, 본 발명의 실시예에 따라서, 중간 지지 로케이션(117)보다 높게 위치하고 엔드 이펙터(103) 및 FOUP(101)의 어떠한 부분도 중간 지지 로케이션(117) 위쪽에 있지 않은 FOUP(101) 및 엔드 이펙터(103)를 도시한다.
제어기(407)는 엔드 이펙터(103) 및 엔드 이펙터(103)에 의해 지지되는 FOUP(101)를 z-축을 따라서 이동시켜 FOUP(101)를 (도시되지 않은) 로드 잠금 챔버, 처리기의 도킹 스테이션(docking station) 등과 같은 반도체 장치 제조 설비 내에 포함된 다른 구성 요소들에 상응하도록 배치시킨다. 제어기(407)는 엔드 이펙터(103) 및 FOUP(101)를 (예를 들어, x 및/또는 y-축을 따라) 수평으로 이동하여 상기 구성 요소들에 상응하도록 FOUP(101)를 배치시킬 수 있다. 이러한 방법으로, FOUP(101)는 중간 지지 로케이션(117)으로부터 전달된다. 도 17은, 본 발명의 실시예에 따라서, 중간 지지 로케이션(117)으로부터 전달된 (그리고, 예를 들어, 로 드 잠금 챔버, 처리기의 도킹 스테이션, 다른 지지부, 저장 선반, 컨베이어 시스템, 등과 같은 기타 원하는 위치로 전달된) 엔드 이펙터 및 FOUP를 도시한다.
단계(615)에서, 방법(601)이 종료된다. 도 6의 방법(601)을 사용하여, 엔드 이펙터(103)에 의해 제공된 지지부(support)가 재배치된다. 보다 특정적으로, FOUP(101)가 반도체 장치 제조 설비 내에서 제 1 위치로부터 제 2 위치로 전달되는 동안, 엔드 이펙터(103)에 의해 기판 캐리어(예를 들어, FOUP(101))에 제공된 지지부는 FOUP(101)의 제 1 단부(예를 들어, 바닥면(301))로부터 FOUP(101)의 제 2 단부(예를 들어, 상부면(109))로 재배치될 수 있다. 본 방법은 FOUP(101)가 FOUP(101)의 제 1 단부를 사용하여 제 1 위치로부터 보다 편리하게 전달될 때 그리고 FOUP(101)의 제 2 단부를 사용하여 제 2 위치로 보다 편리하게 전달될 때 바람직하다.
특징적인 하나의 실시예에서, 방법(601)은 오버헤드 이송 플랜지(overhead transfer flange)를 거쳐서 기판 캐리어를 지지하는 오버헤드 컨베이어 시스템(overhead conveyor system)으로부터 기판 캐리어의 바닥면을 거쳐서 기판 캐리어를 지지하는 처리기의 로드 포트로 기판 캐리어를 전달하는 작동의 일부분으로서 사용될 수 있다. 예를 들어, 2003년 8월 28일 출원되고 본 발명에서 참조한 것으로 앞서 기술하였던 미국 특허 출원 제 10/650,310 호 및 제 10/650,480 호에서 개시된 바와 같이, (예를 들어, 컨베이어 시스템이 작동 중인 동안) 기판 캐리어의 바닥을 거쳐 기판 캐리어를 지지함으로써 엔드 이펙터(103)가 기판 캐리어를 오버헤드 컨베이어 시스템으로부터 제거하도록 사용될 수 있다. 그 다음, 엔드 이펙터 (103)가 재배치될 수 있어서 ((601) 방법에 의해 개시된 바와 같이) 엔드 이펙터(103)가 기판 캐리어의 OHT 플랜지를 거쳐서 기판 캐리어를 지지한다. 그 다음, 기판 캐리어는 처리기의 로드 포트 상에 (낮게) 위치하고 기판 캐리어 내에 포함된 기판의 처리를 허용하도록 도킹/개방된다. 기판 캐리어를 그 OHT 플랜지에 거쳐 지지함으로써 로드 포트로부터 기판 캐리어를 제거하도록 그리고 기판 캐리어를 그 바닥면에 거쳐 지지함으로써 오버헤드 컨베이어 시스템상에 기판 캐리어를 로딩하도록 반대 작용이 수행될 수 있다.
이하에서는, 본 발명의 실시예에 따른 엔드 이펙터(103)에 의해 제공된 지지부를 재배치하기 위한 제 2의 예시적인 방법(1801)을 도시한 도 18 및, 도 7-17을 참조하여, 기판 캐리어 이송 시스템(409)의 예시적인 작동을 설명한다. 보다 구체적으로는, 엔드 이펙터(103)에 의해 기판 캐리어(예를 들어, FOUP(101))에 제공된 지지부를 FOUP(101)의 상부면(109)(예를 들어, 제 2면)으로부터 바닥면(301)(예를 들어, 제 1면)으로 재배치시키는 예시적인 방법이 설명된다. 예를 들어, 방법(1801)의 단계들 중 하나 이상은 제어기(407)에 의해 실행되고 그 제어기(407)와 연결되거나 관련된 적절한 컴퓨터 판독가능한 매체(예를 들어, 반송파 신호(carrier wave signal), 플로피 디스크, 컴팩트 디스크, DVD, 하드디스크 드라이브, 램(random access memory), 등)와 같은 메모리 내에 저장된 컴퓨터 프로그램 코드를 통해 실행된다.
도 18을 참조하면, 단계(1803)에서, 방법(1801)이 시작된다. 단계(1805)에서, 기판 캐리어(예를 들어, FOUP(101))의 오버헤드 이송(overhead transfer; OHT) 플랜지(107)에 의해 기판 캐리어(예를 들어, FOUP(101))를 지지하기 위해 엔드 이펙터(103)를 이용한다. 전술한 바와 같이, 엔드 이펙터 플랜지(501)는 OHT 플랜지(107)에 결합되고 그 OHT 플랜지(107)를 지지할 것이다. 결과적으로, 도 17에 도시된 바와 같이, 엔드 이펙터(103)는 FOUP(101)의 OHT 플랜지(107)에 의해 FOUP(101)를 지지한다. 예를 들어, FOUP(101)를 반도체 소자 제조 설비의 제 1 위치(예를 들어, 로드록 챔버 또는 록킹 스테이션)로부터 이송하는 동안 엔드 이펙터(103)는 OHT 플랜지(107)를 이용하여 FOUP(101)를 지지한다.
단계(1807)에서, 기판 캐리어(예를 들어, FOUP(101))가 엔드 이펙터(103)로부터 중간 지지 위치(117)로 이송된다. 중간 지지 위치는 FOUP(101)의 바닥면(301)을 지지한다. 제어기(407)를 이용하여 x, y 및 z-축들 중 하나 이상을 따라 엔드 이펙터(103)를 이동시킴으로써, FOUP(101)을 엔드 이펙터(103)로부터 중간 지지 위치(117)로 이송시킬 수 있다. 예를 들어, 제어기(407)는 엔드 이펙터(103) 및 그에 따른 FOUP(101)를 z-축을 따라 이동시킬 것이고, 그에 따라 FOUP(101)은 중간 지지 위치(117)에 근접하게 된다. 보다 구체적으로, 엔드 이펙터(103) 및 FOUP(101)가 수평방향으로(예를 들어, x 및/또는 y-축을 따라) 이동할 때 FOUP(101)의 바닥면(301)이 지지부 위치 핀(403)과 접촉하지 않도록, 제어기(407)는 엔드 이펙터(103) 및 FOUP(101)를 위치시킨다. 도 16에 도시된 바와 같이, 엔드 이펙터(103) 및 FOUP(101)는 중간 지지 위치(117)보다 높게 위치된다.
제어기(407)는 엔드 이펙터(103) 및 그에 따른 FOUP(101)를 수평으로(예를 들어, x 및/또는 y-축을 따라) 이동시켜, FOUP(101)의 바닥면(301) 내의 각각의 FOUP 슬롯(303)이 중간 지지 위치(117)의 대응하는 지지부 위치 핀(403)의 바로 위쪽에 위치하도록 한다. 도 15에 도시된 바와 같이, 엔드 이펙터(103) 및 FOUP(101)은 중간 지지 위치(117)의 바로 위쪽에 위치된다.
제어기(407)는 엔드 이펙터(103) 및 그에 따른 FOUP(101)를 수직방향으로(예를 들어, z-축을 따라) 하향 이동시킨다. FOUP(101)의 바닥면(301)이 중간 지지 위치(117)보다 약간 높게 위치되었을 때, 지지부 위치 핀(403)은 FOUP(101)의 바닥면(301) 내의 대응하는 FOUP 슬롯(303)으로 진입하기 시작한다.
제어기(407)는, 지지부 위치 핀(403)이 FOUP 슬롯(303)과 결합 또는 접촉(예를 들어, 커플링) 될 때까지 엔드 이펙터(103) 및 FOUP(101)를 수직 하방으로 이동시킨다. 전술한 바와 같이, 지지부 위치 핀(403)은 하나 이상의 엔드 이펙터 핀(401) 및/또는 하나 이상의 지지부 위치 핀(403)이 FOUP 슬롯(303)에 대해 적절하게 위치되었을 때를 나타내는 및/또는 적절하게 위치되었다고 판단한 것을 나타내는 센서(405)를 포함할 수 있다. 지지부 위치 핀(403)이 FOUP 슬롯(303) 내에 적절하게 위치되었을 때(예를 들어, 커플링 되었을 때), 엔드 이펙터 플랜지(501)는 OHT 플랜지(107)에 커플링 되지 않는다. 결과적으로, 중간 지지 위치(117)는 FOUP(101)을 완전히 지지하며, 엔드 이펙터(103)는 FOUP(101)을 지지하지 않는다. 그에 따라, FOUP(101)은 엔드 이펙터(103)로부터 중간 지지 위치(117)로 이송된다. 도 13에 도시된 바와 같이, 중간 지지 위치(117)는 FOUP(101)을 지지한다.
단계(1809)에서, 엔드 이펙터(103)는 기판 캐리어(예를 들어, FOUP(101))의 바닥에 근접하여 재배치된다. 엔드 이펙터(103)를 FOUP(101)의 바닥면(301)에 인 접하여 재배치하기 위해, 제어기(407)는 x, y 및 z-축들 중 하나 이상을 따라 엔드 이펙터(103)를 이동시킬 것이다. 예를 들어, 엔드 이펙터(103)의 어떠한 부분도 중간 지지 위치(117)에 의해 지지되는 FOUP(101)의 위쪽에 있지 않도록(예를 들어 위쪽에서 연장하지 않도록), 제어기(407)는 x 및/또는 y-축을 따라 수평방향으로(예를 들어, 터널 내로) 엔드 이펙터(103)를 이동시킨다. 도 12에 도시된 바와 같이, 엔드 이펙터(103)의 어떠한 부분도 FOUP(101)의 위쪽에서 연장하지 않도록 엔드 이펙터(103)가 위치된다.
이어서, 엔드 이펙터(103)의 높이가 중간 지지 위치(117)보다 낮도록, 제어기(407)는 엔드 이펙터(103)를 z-축을 따라(예를 들어, 터널 내에서 수직방향으로) 하향 이동시킨다. 엔드 이펙터(103)가 수평방향으로(예를 들어, x 및/또는 y-축을 따라) 이동할 때 엔드 이펙터 핀(401)이 중간 지지 위치(117)와 접촉하지 않도록, 엔드 이펙터(103)가 위치된다. 도 11에 도시된 바와 같이, 엔드 이펙터(103)는, 전술한 바와 같이, 중간 지지 위치(117)보다 낮게 위치된다.
이어서, 엔드 이펙터(103)가 중간 지지 위치(117) 및 FOUP(101) 바로 아래에 위치하도록, 제어기(407)는 엔드 이펙터(103)를 수평방향으로(예를 들어, x 및/또는 y-축을 따라) 이동시킨다. 보다 구체적으로, 엔드 이펙터(103)가 수직방향으로 이동될 때 그리고 엔드 이펙터 핀(401)이 FOUP(101)의 바닥면(301) 내의 대응하는 FOUP 슬롯(303)의 바로 아래에 위치될 때, 엔드 이펙터(103) 및 중간 지지 위치(117)가 동일한 평면(예를 들어, xy 평면)을 점유하도록, 엔드 이펙터(103)가 위치된다. 도 10에 도시된 바와 같이 그리고 전술한 바와 같이, 엔드 이펙터(103)는 중간 지지 위치(117) 및 FOUP(101)의 바로 아래에 위치된다. 이러한 방식에서, 엔드 이펙터(103)는 FOUP(101)의 바닥면(301)에 인접하여 재배치된다.
단계(1811)에서, 엔드 이펙터(103)는 기판 캐리어(예를 들어, FOUP(101))의 바닥을 지지한다. 엔드 이펙터 핀(401)이 대응하는 FOUP 슬롯(303)에 결합 또는 커플링 되도록, 제어기(407)는 z-축을 따라(예를 들어, 수직방향으로) 엔드 이펙터(103)를 상향 이동시킨다. 이어서, 도 9에 도시된 바와 같이, 엔드 이펙터(103)는 FOUP(101)를 지지한다. 전술한 바와 같이, 엔드 이펙터(103) 및 중간 지지 위치(117)는 동시에 FOUP(101)를 짧게 지지할 것이다. 엔드 이펙터(103)의 상향 이동중에, 지지부 위치 핀(403)은 FOUP 슬롯(303)으로부터 분리된다. 결과적으로, 엔드 이펙터(103)는 FOUP(101)의 바닥면(301)을 지지하며; 중간 지지 위치(117)는 FOUP(101)의 바닥면(301)을 지지하지 않는다.
단계(1813)에서, 기판 캐리어(예를 들어, FOUP(101))는 중간 지지 위치(117)로부터 이송된다. FOUP(101)가 중간 지지 위치(117)로부터 이송되도록, 제어기(407)는 x, y 및 z-축들 중 하나 이상을 따라 엔드 이펙터(103)를 이동시킬 것이다. 예를 들어, 제어기(407)는 FOUP(101)의 바닥면(301)을 지지하는 엔드 이펙터(103)를 z-축을 따라(예를 들어, 수직방향으로) 중간 지지 위치(117)의 바로 위쪽의 위치까지 상향 이동시킨다. 보다 구체적으로, 엔드 이펙터(103)가 수평방향으로(예를 들어, x 및/또는 y-축을 따라) 이동될 때 엔드 이펙터(103)가 중간 지지 위치(117)와 접촉하지 않도록, 엔드 이펙터(103)가 위치된다. 도 8에 도시된 바와 같이 그리고 전술한 바와 같이, 엔드 이펙터(103) 및 FOUP(101)는 중간 지지 위치 (117)의 위쪽에 위치된다.
엔드 이펙터(103) 및 FOUP(101)의 어느 부분도 중간 지지 위치(117) 위쪽에 위치하지 않도록(예를 들어, 위쪽에서 연장하지 않도록), 제어기(407)는 엔드 이펙터(103)를 수평방향으로(예를 들어, x 및/또는 y-축을 따라) 이동시킨다. 예를 들어, 엔드 이펙터(103) 및, 그에 따른 FOUP(101)는 터널 내로 또는 개방 영역으로 이동된다. 도 7에 도시된 바와 같이, 엔드 이펙터(103) 및 FOUP(101)의 어느 부분도 중간 지지 위치(117) 위쪽에 위치하지 않도록, 엔드 이펙터(103) 및 FOUP(101)가 위치된다. FOUP(101)가 반도체 소자 제조 설비의 제 2 위치(예를 들어, 오버헤드 컨베이어(도시 안 됨))에 인접하도록, 엔드 이펙터(103) 및 그에 따른 FOUP(101)는 z-축을 따라(예를 들어, 수직방향으로) 이동될 것이다. 이러한 방식에서, FOUP(101)은 중간 지지 위치(117)로부터 이송된다.
단계(1815)에서, 방법(1801)이 종결된다. 도 18의 방법(1801)의 이용을 통해, 엔드 이펙터(103)에 의해 제공된 지지부가 재배치된다. 더 상세하게는, 기판 캐리어(예를 들면, FOUP(101))에 엔드 이펙터(103)에 의해 제공된 지지부는 FOUP(101)의 상부면(109)으로부터 FOUP(101)의 바닥면(301)에 재배치될 수 있으며 FOUP(101)는 반도체 소자 제조 설비에서 제 1 로케이션(예를 들면, 처리 또는 로드 록 챔버)으로부터 제 2 로케이션(예를 들면, 오버헤드 컨베이어)으로 이송된다. 본 출원의 방법은 FOUP(101)이 FOUP(101)의 상부면을 이용하여 제 1 로케이션으로부터 더욱 용이하게 이송되고 FOUP(101)의 바닥면을 이용하여 제 2 로케이션으로 더욱 용이하게 이송된다.
본 출원은 앞에서 참조되고 2003년 8월 28일에 출원되고 발명의 명칭이 "가동 컨베이어로부터 직접 기판 캐리어를 언로딩하는 기판 캐리어 핸들러(SUBSTRATE CARRIER HANDLER THAT UNLOADS SUBSTRATE CARRIERS DIRECTLY FROM A MOVING CONVEYOR)"인 미국 특허 출원 제 10/650,480호(서류 번호 제 7676)에 설명된 바와 같은 시스템에 적용될 때 특히 유용하다.
상술된 상세한 설명은 본 발명의 예시적인 실시예들만 공개한다. 본 발명의 범위 내에 포함되는 상술된 장치 및 방법의 변형은 본 기술분야의 일반적인 기술자에게 매우 명백할 것이다. 예를 들면, 엔드 이펙터(103)에 대한 이동의 예시적인 순서가 제공되지만 본 방법(601, 1801)의 하나 이상의 단계를 설명함으로써 상이한 이동 순서가 본 방법(601, 1801)의 단계들 중 임의의 단계를 수행하도록 적용될 수 있다. 하나 이상의 실시예에서, 제어기(407)는 본 방법(601, 1801)의 하나 이상의 단계를 수행하기 위해 적용된다. 이와 달리, 다른 제어 장치가 본 방법(601, 1801)의 하나 이상의 단계를 수행하도록 적용될 수 있다. 하나 이상의 실시예에서, 제 1 단부는 FOUP(101)의 바닥면(301)이고 제 2 단부는 FOUP(101)의 상부면이며 또는 그 반대일 수 있지만, 제 1 단부는 FOUP(101)의 임의의 면일 수 있으며 제 2 단부는 FOUP(101)의 임의의 다른 면일 수 있다.
또한, 엔드 이펙터(103) 및/또는 중간 지지 로케이션(117)이 커플링 핀(401, 403)에 의해 대응하는(예를 들면, 상보적인) 슬롯(303)에 FOUP(101)의 바닥면(301)을 지지하지만, 엔드 이펙터(103) 및/또는 중간 지지 로케이션(117) 및 FOUP(101)는 상이한 보완 장치를 이용하여 결합될 수 있다. 유사하게, 엔드 이펙터 플랜지 (501) 및 OHT 플랜지(107)는 다른 보완 장치에 의해 대체될 수 있다. 소정의 실시예에서, 중간 지지 로케이션(117)은 오버헤드 이송 플랜지로 기판 캐리어를 지지할 수 있다.
도 19는 본 발명에 따라 기판 캐리어를 운반하기 위한 시스템(1901)의 개략적인 정면도이다. 도 19를 참조하면, 시스템(1901)은 도 19에 도시된 제 1 프로세싱 툴(1907)을 포함하여, 다수의 프로세싱 툴들 사이로 기판 캐리어(1905)를 운반한다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에서, 오버헤드 이송 시스템(1903)은 앞에서 참조되고 모두 2003년 8월 28일 출원된 미국 특허 출원 제 10/650,310호 및 제 10/650,480호에 보여진 바와 같이 구성될 수 있으며 연속적으로 작동할 수 있다. 연속적으로 작동되지 않는 이송 시스템을 포함하는 다른 오버헤드 이송 시스템이 이용될 수 있다. 도 19의 실시예에서, 오버헤드 이송 시스템(1903)은 각각의 기판 캐리어(1905)의 오버헤드 이송 플랜지(1906)에 의해 기판 캐리어(1905)를 지지한다.
프로세싱 툴(1907)은 엔드 이펙터(103)를 포함하고, 엔드 이펙터는 기판 캐리어(1905)의 바닥으로 또는 기판 캐리어(1905)의 오버헤드 이송 플랜지(1906)에 의해 지지된다(점선으로 도시된 바와 같이). 프로세싱 툴(1907)은 도시된 바와 같이 두 개의 열로 분리된 로드 포트(1909a 내지 1909f)를 포함한다. 다른 구성 및/또는 다른 개수의 로드 포트가 이용될 수 있다. 각각의 로드 포트(1909a 내지 1909f)는 기판 캐리어(1905)를 지지, 도킹 및/또는 개방할 수 있을 뿐만 아니라(예 를 들면, 기판 캐리어(1905) 내부의 기판이 프로세싱 툴(1907) 내부에서 추출되어 처리될 수 있도록) 기판 캐리어(1905)를 언도킹 및/또는 폐쇄할 수 있도록 한다. 도시된 실시예에서, 각각의 로드 포트(1909a 내지 1909f)는 기판 캐리어의 바닥으로 기판 캐리어(1905)를 지지한다.
프로세싱 툴(1907)은 또한 다수의 지지 로케이션(117a 내지 117f)을 포함한다. 다른 개수 및/또는 다른 배치의 지지 로케이션(117a 내지 117f)이 이용될 수 있다. 개방 영역 또는 터널(1911)은 엔드 이펙터(103)가 다른 지지 로케이션 및/또는 로드 포트와 접촉하지 않고 z-축선을 따라(예를 들면, 수직 방향으로) 이동할 수 있는 영역에 형성되는 로드 포트(1909a 내지 1909f)와 지지 로케이션(117a 내지 117f) 열들 사이에 존재한다.
제어기(407)는 프로세싱 툴(1907)에 결합되고 앞에서 설명된 바와 같은 엔드 이펙터(103)의 작동을 포함하여 프로세싱 툴(1907)의 작동을 제어할 수 있다(예를 들면 방법(601 또는 1801)을 수행하기 위해).
시스템(1901)의 예시적인 작동 동안, 기판 캐리어(1905)는 기판 캐리어(1905)의 바닥으로 기판 캐리어(1905)를 지지하기 위해 엔드 이펙터(103)를 이용하여 오버헤드 이송 시스템(1903)으로부터 언로딩될 수 있다(2003년 8월 28일에 출원된, 예를 들면, 미국 특허 출원 제 10/650,310호 및 제 10/650,480호 참조). 그리고 기판 캐리어(1905)는 지지 로케이션(117a 내지 117f) 중 하나에 배치될 수 있으며 엔드 이펙터(103)는 (앞에서 설명된 바와 같이) 오버헤드 이송 플랜지(1906)에 의해 기판 캐리어(1905)를 지지하도록 재배치될 수 있다. 그리고 기판 캐리어 (1905)는 지지 로케이션(117a 내지 117f)으로부터 로드 포트(1909a 내지 1909f) 중 하나로 전달되어 기판 캐리어(1905)의 바닥으로 각각의 로드 포트에서 지지될 수 있다. 그리고 기판 캐리어(1905)는 로드 포트에서 도킹 및 개방되고, 기판 캐리어(1905)의 기판은 프로세싱 툴(1907) 내부에서 처리될 수 있다. 그 후, 기판 캐리어(1905)는 로드 포트에서 폐쇄 및 언도킹될 수 있다. 그리고 엔드 이펙터(103)는 각각의 로드 포트로부터, 오버헤드 이송 플랜지로 기판 캐리어(1905)를 지지하는, 지지 로케이션(117a 내지 117f) 중 하나로 전달될 수 있다. 그 후, 엔드 이펙터(103)는 기판 캐리어(1905)의 바닥으로 기판 캐리어(1905)를 지지하도록 (전술된 바와 같이) 재배치될 수 있다. 그리고 기판 캐리어(1905)는 엔드 이펙터(103)에 의해 오버헤드 이송 시스템(1903)으로 로딩되어 또 다른 프로세싱 툴(도시 안 됨) 또는 제조 설비 내의 다른 로케이션으로 운반될 수 있다. 제어기(407)는 위의 단계들 중 임의의 단계를 수행하기 위한 컴퓨터 프로그램 코드를 포함할 수 있다. 컨베이어 시스템이 중단 또는 작동하는 동안 오버헤드 이송 시스템(1903)으로/으로부터 기판 캐리어를 로딩/언로딩하는 단계가 수행될 수 있다.
본 발명은 FOUP를 참조하여 주로 설명되었지만, 다른 타입의 기판 캐리어가 적용될 수 있다(예를 들면, 개방형 기판 캐리어, 상부 개방형 기판 캐리어 등). 또한, 본 발명은 소형 로트 크기 또는 대형 로트 크기 기판 캐리어와 함께 이용될 수 있다. 본 명세서에서 이용되는, "소형 로트(small lot)" 크기 기판 캐리어는 통상적으로 13 또는 25 기판을 홀딩하는 종래의 "대형 로트(large lot)" 크기 캐리어 기판보다 상당히 적은 기판을 홀딩하도록 적용된다. 일 예로서, 일 실시예에 서, 소형 로트 크기 기판 캐리어는 5개 이하의 기판을 홀딩하도록 적용된다. 다른 소형 로트 크기 기판 캐리어가 적용될 수 있다(예를 들면 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7 또는 그 이상의 기판을 홀딩하지만 대형 로트 크기 기판 캐리어의 기판 홀딩 개수보다 상당히 작은 기판을 홀딩하는 소형 로트 크기 캐리어). 예를 들면, 일 실시예에서, 각각의 소형 로트 크기 기판 캐리어는 기판 캐리어를 사람이 운반하기에 매우 작아서 반도체 소자 제조 설비 내에서는 가시적이지 않다.
본 발명의 실시예에 따른 기판 캐리어 지지부의 재배치 방법 및 장치에 의해, 본 발명은 전술한 바와 같이, 기판 캐리어를 지지하기 위한 개선된 방법 및 장치를 제공할 수 있는 효과를 갖는다.
본 발명은 예시적인 실시예와 관련하여 공개되었지만, 다른 실시예가 다음의 청구범위에 의해 한정되는 바와 같이 본 발명의 사상 및 범위 내에 있을 수 있다,

Claims (30)

  1. 기판 캐리어의 바닥으로 상기 기판 캐리어를 지지하도록 엔드 이펙터를 사용하는 단계,
    상기 엔드 이펙터로부터, 상기 기판 캐리어의 바닥으로 상기 기판 캐리어를 지지하는 상기 중간 지지 로케이션으로 상기 기판 캐리어를 이송하는 단계,
    상기 기판 캐리어의 오버헤드 이송 플랜지 근처에 상기 엔드 이펙터를 재배치시키는 단계,
    상기 기판 캐리어를 상기 기판 캐리어의 상기 오버헤드 이송 플랜지로 지지하도록 상기 엔드 이펙터를 사용하는 단계, 및
    상기 중간 지지 로케이션으로부터 상기 기판 캐리어를 이송하는 단계를 포함하는,
    엔드 이펙터에 의해 제공되는 지지부를 재배치하기 위한 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판 캐리어의 바닥으로 상기 기판 캐리어를 지지하도록 엔드 이펙터를 사용하는 단계는, 상기 기판 캐리어의 바닥으로 상기 기판 캐리어를 지지하도록 상기 엔드 이펙터의 상면을 사용하는 단계를 포함하는,
    엔드 이펙터에 의해 제공되는 지지부를 재배치하기 위한 방법.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판 캐리어를 상기 기판 캐리어의 상기 오버헤드 이송 플랜지로 지지하도록 상기 엔드 이펙터를 사용하는 단계는, 상기 기판 캐리어를 상기 기판 캐리어의 상기 오버헤드 이송 플랜지로 지지하도록 상기 엔드 이펙터의 바닥면을 사용하는 단계를 포함하는,
    엔드 이펙터에 의해 제공되는 지지부를 재배치하기 위한 방법.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판 캐리어의 오버헤드 이송 플랜지 근처에 상기 엔드 이펙터를 재배치시키는 단계는, 상기 기판 캐리어로부터 측면으로 변위된 영역에서 상기 엔드 이펙터를 수직으로 이동시키는 단계를 포함하는,
    엔드 이펙터에 의해 제공되는 지지부를 재배치하기 위한 방법.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 중간 지지 로케이션으로부터 상기 기판 캐리어를 이송하는 단계는, 상기 엔드 이펙터를 이동시켜 상기 중간 지지 로케이션 상면의 핀들이 상기 기판 캐리어의 바닥에 있는 대응 슬롯들에 결합되게 하고, 상기 엔드 이펙터 상면의 핀들이 상기 기판 캐리어의 바닥면의 대응 슬롯들과 더 이상 결합되지 않게 하는 단계를 포함하는,
    엔드 이펙터에 의해 제공되는 지지부를 재배치하기 위한 방법.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 중간 지지 로케이션으로부터 상기 기판 캐리어를 이동시키는 단계는, 상기 엔드 이펙터를 이동시켜 상기 엔드 이펙터 바닥면에 연결된 핀들이 상기 기판 캐리어의 상기 오버헤드 이송 플랜지에 있는 대응 슬롯들에 결합되게 하고, 상기 중간 지지 로케이션 상면의 핀들이 상기 기판 캐리어 바닥의 대응 슬롯들에 더 이상 결합되지 않게 하는 단계를 포함하는,
    엔드 이펙터에 의해 제공되는 지지부를 재배치하기 위한 방법.
  7. 기판 캐리어의 오버헤드 이송 플랜지로 상기 기판 캐리어를 지지하도록 엔드 이펙터를 사용하는 단계,
    상기 엔드 이펙터로부터, 상기 기판 캐리어의 바닥으로 상기 기판 캐리어를 지지하는 상기 중간 지지 로케이션으로 상기 기판 캐리어를 이송하는 단계,
    상기 기판 캐리어의 바닥 근처에 상기 엔드 이펙터를 재배치시키는 단계,
    상기 기판 캐리어를 상기 기판 캐리어의 상기 바닥으로 지지하도록 상기 엔드 이펙터를 사용하는 단계, 및
    상기 중간 지지 로케이션으로부터 상기 기판 캐리어를 이송하는 단계를 포함하는,
    엔드 이펙터에 의해 제공되는 지지부를 재배치하기 위한 방법.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 기판 캐리어의 오버헤드 이송 플랜지로 상기 기판 캐리어를 지지하도록 엔드 이펙터를 사용하는 단계는, 상기 기판 캐리어의 상기 오버헤드 이송 플랜지로 상기 기판 캐리어를 지지하도록 상기 엔드 이펙터의 바닥면을 사용하는 단계를 포함하는,
    엔드 이펙터에 의해 제공되는 지지부를 재배치하기 위한 방법.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 기판 캐리어를 상기 기판 캐리어의 상기 바닥으로 지지하도록 상기 엔드 이펙터를 사용하는 단계는, 상기 기판 캐리어의 바닥으로 상기 기판 캐리어를 지지하도록 상기 엔드 이펙터의 상면을 사용하는 단계를 포함하는,
    엔드 이펙터에 의해 제공되는 지지부를 재배치하기 위한 방법.
  10. 제 7 항에 있어서,
    상기 기판 캐리어의 바닥 근처에 상기 엔드 이펙터를 재배치하는 단계는,
    상기 기판 캐리어로부터 측면으로 변위된 영역에서 상기 엔드 이펙터를 수직으로 이동시키는 단계를 포함하는,
    엔드 이펙터에 의해 제공되는 지지부를 재배치하기 위한 방법.
  11. 제 7 항에 있어서,
    상기 중간 지지 로케이션으로부터 상기 기판 캐리어를 이송하는 단계는, 상기 엔드 이펙터를 이동시켜 상기 중간 지지 로케이션 상면의 핀들이 상기 기판 캐리어의 바닥에 있는 대응 슬롯들에 결합되게 하고, 상기 엔드 이펙터의 바닥면에 연결된 핀들이 상기 기판 캐리어의 상기 오버헤드 이송 플랜지의 대응 슬롯들에 더 이상 결합되지 않게 하는 단계를 포함하는,
    엔드 이펙터에 의해 제공되는 지지부를 재배치하기 위한 방법.
  12. 제 7 항에 있어서,
    상기 중간 지지 로케이션으로부터 상기 기판 캐리어를 이동시키는 단계는, 상기 엔드 이펙터 상면의 핀들이 상기 기판 캐리어 바닥면에 있는 대응 슬롯들에 결합되게 하고, 상기 중간 지지 로케이션 상면의 핀들이 상기 기판 캐리어 바닥의 대응 슬롯들에 더 이상 결합되지 않게 하는 단계를 포함하는,
    엔드 이펙터에 의해 제공되는 지지부를 재배치하기 위한 방법.
  13. 기판 캐리어의 바닥으로 상기 기판 캐리어를 지지하고 상기 기판 캐리어의 오버헤드 이송 플랜지로 상기 기판 캐리어를 지지하는 엔드 이펙터,
    중간 지지 로케이션, 및
    상기 엔드 이펙터에 연결되는 제어기를 포함하며, 상기 제어기는
    상기 엔드 이펙터를 사용하여 상기 기판 캐리어의 바닥으로 상기 기
    판 캐리어를 지지하고,
    상기 엔드 이펙터로부터 상기 중간 지지 로케이션까지 상기 기판 캐
    리어를 이동시키되, 상기 중간 지지 로케이션은 상기 기판 캐리어의 바닥
    으로 상기 기판 캐리어를 지지하며,
    상기 기판 캐리어의 상기 오버헤드 이송 플랜지 근처에 상기 엔드
    이펙터를 재배치하고,
    상기 엔드 이펙터를 사용하여 상기 기판 캐리어의 상기 오버헤드 이
    송 플랜지로 상기 기판 캐리어를 지지하며,
    상기 기판 캐리어를 상기 중간 지지 로케이션으로부터 이동시키는,
    기판 캐리어 이송 시스템.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 제어기는 또한 상기 엔드 이펙터의 상면을 사용하여 상기 기판 캐리어의 바닥으로 상기 기판 캐리어를 지지하는,
    기판 캐리어 이송 시스템.
  15. 제 13 항에 있어서,
    상기 제어기는 또한 상기 엔드 이펙터의 바닥면을 사용하여 상기 기판 캐리어의 오버헤드 이송 플랜지로 상기 기판 캐리어를 지지하는,
    기판 캐리어 이송 시스템.
  16. 제 13 항에 있어서,
    상기 제어기는 또한 상기 기판 캐리어로부터 측면으로 변위된 영역에서 상기 엔드 이펙터를 수직으로 이동시킴으로써 상기 기판 캐리어의 상기 오버헤드 이송 플랜지 근처에 상기 엔드 이펙터를 재배치하는,
    기판 캐리어 이송 시스템.
  17. 제 13 항에 있어서,
    상기 제어기는 또한 상기 엔드 이펙터를 이동시켜 상기 중간 지지 로케이션 상면의 핀들이 상기 기판 캐리어의 바닥에 있는 대응 슬롯들에 결합되게 하고, 상기 엔드 이펙터 상면의 핀들이 상기 기판 캐리어의 바닥면의 대응 슬롯들에 더 이상 결합되지 않게 않는,
    기판 캐리어 이송 시스템.
  18. 제 13 항에 있어서,
    상기 제어기는 또한 상기 엔드 이펙터를 이동시켜 상기 엔드 이펙터 바닥면에 연결된 핀들이 상기 기판 캐리어의 상기 오버헤드 이송 플랜지에 있는 대응 슬롯들에 결합되게 하고, 상기 중간 지지 로케이션 상면의 핀들이 상기 기판 캐리어 바닥의 대응 슬롯들에 더 이상 결합되지 않게 하는,
    기판 캐리어 이송 시스템.
  19. 기판 캐리어 이송 시스템으로서,
    상기 기판 캐리어의 바닥으로 기판 캐리어를 지지하고 상기 기판 캐리어의 오버헤드 이송 플랜지로 기판 캐리어를 지지하는 엔드 이펙터,
    중간 지지 로케이션, 및
    상기 엔드 이펙터에 결합되는 제어기를 포함하며, 상기 제어기는,
    상기 기판 캐리어의 오버헤드 이송 플랜지로 상기 기판 캐리어를 지
    지하도록 상기 엔드 이펙터를 사용하고,
    상기 엔드 이펙터로부터, 상기 기판 캐리어의 바닥으로 기판 캐리어
    를 지지하는 상기 중간 지지 로케이션으로 상기 기판 캐리어를 이송하며,
    상기 기판 캐리어의 바닥 근처에 상기 엔드 이펙터를 재배치시키고,
    상기 기판 캐리어를 상기 기판 캐리어의 바닥으로 지지하도록 상기
    엔드 이펙터를 사용하며,
    상기 중간 지지 로케이션으로부터 상기 기판 캐리어를 이송하는,
    기판 캐리어 이송 시스템.
  20. 제 19 항에 있어서,
    상기 제어기는 상기 기판 캐리어의 오버헤드 이송 플랜지로 상기 기판 캐리어를 지지하도록 상기 엔드 이펙터의 바닥면을 사용하는,
    기판 캐리어 이송 시스템.
  21. 제 19 항에 있어서,
    상기 제어기는 상기 기판 캐리어의 바닥으로 상기 기판 캐리어를 지지하도록 상기 엔드 이펙터의 상부면을 사용하는,
    기판 캐리어 이송 시스템.
  22. 제 19 항에 있어서,
    상기 제어기는 상기 기판 캐리어로부터 측면으로 변위된 영역에서 상기 엔드 이펙터를 수직으로 이동시킴으로써 상기 기판 캐리어의 바닥 근처에 상기 엔드 이펙터를 재배치시키는,
    기판 캐리어 이송 시스템.
  23. 제 19 항에 있어서,
    상기 제어기는 상기 엔드 이펙터를 이동시켜서, 상기 중간 지지 로케이션의 상부면에 있는 핀이 상기 기판 캐리어의 바닥에 있는 대응 슬롯에 결합되게 하고 상기 엔드 이펙터의 바닥면에 결합된 핀이 상기 기판 캐리어의 오버헤드 이송 플랜지의 대응 슬롯에 더 이상 결합되지 않게 하는,
    기판 캐리어 이송 시스템.
  24. 제 19 항에 있어서,
    상기 제어기는 상기 엔드 이펙터를 이동시켜서, 상기 엔드 이펙터의 상부에 있는 핀이 상기 기판 캐리어의 바닥에 있는 대응 슬롯에 결합되게 하고 상기 중간 지지 로케이션의 상부면에 있는 핀이 상기 기판 캐리어의 바닥에 있는 대응 슬롯에 더 이상 결합되지 않게 하는,
    기판 캐리어 이송 시스템.
  25. 기판 캐리어를 이송시키도록 오버헤드 컨베이어 시스템을 사용하는 단계,
    상기 기판 캐리어의 바닥으로 상기 기판 캐리어를 지지함으로써 상기 오버헤드 컨베이어 시스템으로부터 상기 기판 캐리어를 제거하도록 프로세싱 툴의 엔드 이펙터를 사용하는 단계,
    상기 기판 캐리어를 상기 프로세싱 툴의 중간 지지 로케이션으로 이송하도록 상기 엔드 이펙터를 사용하는 단계,
    상기 기판 캐리어의 오버헤드 이송 플랜지 근처에 상기 엔드 이펙터를 재배치시키는 단계,
    상기 기판 캐리어의 오버헤드 이송 플랜지로 상기 기판 캐리어를 지지함으로써 상기 중간 지지 로케이션으로부터 상기 기판 캐리어를 제거하도록 상기 엔드 이펙터를 사용하는 단계, 및
    상기 기판 캐리어를 상기 프로세싱 툴의 로딩부로 이송시키도록 상기 엔드 이펙터를 사용하는 단계를 포함하는,
    방법.
  26. 제 25 항에 있어서,
    상기 기판 캐리어를 상기 로딩부에 결합시키고 상기 로딩부를 개방시키는 단계를 더 포함하는,
    방법.
  27. 제 26 항에 있어서,
    상기 기판 캐리어 내부의 기판을 상기 프로세싱 툴에 의해 처리하는 단계를 더 포함하는,
    방법.
  28. 제 26 항에 있어서,
    상기 기판 캐리어를 상기 로딩부에서 분리하고 상기 로딩부를 폐쇄시키는 단계를 더 포함하는,
    방법.
  29. 제 25 항에 있어서,
    상기 기판 캐리어의 오버헤드 이송 플랜지로 상기 기판 캐리어를 상기 로딩부로부터 제거하도록 상기 엔드 이펙터를 사용하는 단계,
    상기 기판 캐리어를 상기 프로세싱 툴의 중간 지지 로케이션으로 이송하도록 상기 엔드 이펙터를 사용하는 단계,
    상기 엔드 이펙터를 상기 기판 캐리어의 바닥 근처에 재배치시키는 단계,
    상기 기판 캐리어의 바닥으로 상기 기판 캐리어를 지지함으로써 상기 중간 지지 로케이션으로부터 상기 기판 캐리어를 제거하도록 상기 엔드 이펙터를 사용하는 단계, 및
    상기 기판 캐리어의 바닥으로 상기 기판 캐리어를 지지함으로써 상기 기판 캐리어를 상기 오버헤드 컨베이어 시스템에 로딩시키도록 상기 엔드 이펙터를 사용하는 단계를 더 포함하는,
    방법.
  30. 제 29 항에 있어서,
    상기 오버헤드 컨베이어 시스템으로부터 상기 기판 캐리어를 제거하도록 상기 엔드 이펙터를 사용하는 단계 및 상기 기판 캐리어를 상기 오버헤드 컨베이어 시스템에 로딩시키도록 상기 엔드 이펙터를 사용하는 단계는 상기 오버헤드 컨베이어 시스템이 이동 중일 때 수행되는,
    방법.
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