KR20020062935A - 납땜 조인트 제조방법 및 장치 - Google Patents

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Abstract

가공품 또는 구성요소의 열처리 방법 중 특히, 땜납 물질 캐리어상에 배치된 땜납 물질이 용융됨으로써 땜납 물질과 이 땜납 물질을 위한 캐리어로 사용되는 적어도 하나의 구성요소 또는 가공품 사이에 납땜 조인트가 만들어지도록 적어도 하나의 구성요소가 주위환경으로부터 밀폐된 공정 분위기인 용융챔버(12) 내에서 가열되는 납땜 조인트 제조방법에 있어서, 다음 단계로, 상기 구성요소가 주위 환경과 밀폐된 공정 분위기인 냉각챔버(13) 내에서 냉각되고 이로 인해 상기 구성요소가 서로 독립된 공정챔버(12, 13) 내에서 가열 및 냉각된다.

Description

납땜 조인트 제조방법 및 장치{Method and device for producing a soldered joint}
상기 언급된 타입의 방법 또는 장치는 비어있는 공정챔버(process chamber) 내에서 견고한 납땜 절차를 수행하기 위한 방법이 기술된 DE 29 08 829 C3로부터 알려져 있다. 여기서, 구성요소들은 서로 연결된 견고한 땜납의 용융에 의해 서로 연결된다. 견고한 납땜 절차 수행동안 공정챔버 내에는 진공이 형성되고 대략 600℃의 열이 서로 연결된 구성요소를 가열한다.
상기 방법에서 이어지는 냉각절차는 일반 대기 환경인 공정챔버 외부에서 수행된다.
본 발명은 가공품 또는 구성요소를 열처리하는 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 땜납 물질 캐리어(solder material carrier)상에 배치된 땜납 물질이 용융됨으로써 땜납 물질과 이 땜납 물질 캐리어로 사용되는 적어도 하나의 구성요소 또는 가공품 사이에 납땜 조인트(soldered joint)가 만들어지도록 적어도 하나의 구성요소가 주위환경으로부터 밀폐된 공정 분위기(process atmosphere) 내에서 가열되는 납땜 조인트 제조방법에 관한 것이다. 그리고, 본 발명은 이러한 방법을 수행하기 위해 적용되는 장치에 관한 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 장치의 일 실시예를 나타낸 개략사시도이다.
도 2는 도 1의 장치를 나타낸 종단면도이다.
도 3은 도어 메카니즘을 나타낸 개략도이다.
도 4a는 기본 상태에서 복사장치의 실시예를 나타낸 것이다.
도 4b는 가열 상태에서 도 3a에서 설명된 복사장치를 나타낸 것이다.
도 4c는 온도 조절 상태에서 도 3a에서 설명된 복사장치를 나타낸 것이다.
본 발명의 목적은 가열 절차 및 냉각 절차의 상호 손상 없이 구성요소의 가열, 특히 땜납 물질의 용융뿐만 아니라 규정된 공정 분위기 내에서 구성요소의 냉각이 일어나도록 하는 방법 및 장치를 제공하는 것이다.
이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 납땜 조인트 제조방법은 주위 환경과 밀폐된 공정 분위기 내에서 구성요소의 가열단계가 진행되고 이어서 절차상으로 냉각단계가 진행되며, 이로 인해 서로 독립된 공정챔버내에서 구성요소의 가열 또는 땜납 물질의 용융 및 구성요소의 냉각이 발생하게 된다.
본 발명에 따른 방법은 기본적으로 가공품 또는 구성요소에 뜨임(tempering), 담금질(annealing)과 같은 열처리 적용을 일반적으로 사용한다. 이러한 적용의 일부분은 전자부품 및 어셈블리(assemblies)의 제조에서와 같이 견고한 납땜 조인트와 유연한 납땜 조인트로써 디자인될 수 있는 납땜 조인트의 생산이다.
본 발명에 따른 방법에 의한 납땜 조인트의 생산은 서로 영향을 주지 않고 용융절차와 유사하게 관리되는 냉각 절차뿐만 아니라 각 경우에 이들 작업에 대해 지정된 공정챔버의 기본이 되는 냉각 절차를 포함하는 납땜 절차의 효과적인 실행을 가능하게 한다.
두 절차간의 상호 영향은 다양한 공정챔버 내에서 다른 공정 분위기의 형성을 가능하게 하기 때문에 지양되어야 한다. 그리고, 납땜 조인트의 질적 향상을 위해서 규정된 공정 분위기 내에서 냉각이 수행되어야 한다. 이것은 납땜 조인트가 금속 요소 사이를 연결하는 것과 같은 기계적인 연결 기능뿐만 아니라 에스엠디(SMD;surface-mounted device) 방법의 전자요소들에 적합한 보드(board)의 경우처럼 전기적인 연결 기능도 갖고 있을 때 보다 바람직할 수 있다. 여기서, 상기 에스엠디 방법의 전자요소들은 보드의 스트립(strip) 도체와 기계 및 전자적으로 통전되도록 납땜 조인트로 연결된다.
납땜 조인트로 금속 요소를 기계적으로 연결하기 위한 본 발명에 따른 방법은, 특히, 땜납 물질의 용융 이전 단계에서 분리된 공정챔버내에서 환원(reducing) 또는 불활성(inert) 공정 분위기에 적용 및/또는 복사 또는 물질을 통한 열전달의 적용에 의해 땜납 물질 캐리어가 마련되는 경우가 유용하다. 이것은 계속되는 용융 절차에 특히 적합한 공정 분위기의 손상 없이 금속 요소의 경우처럼 땜납 물질 캐리어의 준비를 가능하게 만든다. 이 목적을 위해 공정챔버 내로 포름산 등과 같은 환원제를 도입하거나, 또는, 공정챔버 내부를 환원 가스 분위기로 만들 수 있다. 이로 인해 땜납 물질 캐리어 또는 서로 결합될 구성요소가 용융절차를 수행하기 위해 다음 공정챔버로 이송되기 전에 상기 공정챔버는 다음의 공정챔버 내에서 형성된 공정 분위기의 영향에 대응하기 위해 세정된다. 이러한 땜납 물질 캐리어 또는 서로 연결된 구성요소의 준비는 이 구성요소 또는 다음의 용융절차 내에서 땜납 물질에 의해 젖은 접촉표면의 플라즈마(plasma) 적용에 의해서도 효과를 얻을 것이다.
다양한 공정챔버 내부에 형성되는 다양한 공정 분위기의 상호 영향이 상쇄되도록 하는 보다 많은 가능성은 각각의 공정 분위기 또는 공정챔버 내부가 진공상태로 되도록 함으로써 얻을 수 있다.
보호 가스 분위기로써의 각 공정챔버 내부의 공정 분위기를 만들 수도 있다. 구성요소의 온도를 조절하기 위한 가장 단순한 방법의 실현은 만약, 열(temperature) 적용이 실제 일정한 온도로 구성요소를 가열 또는 냉각시키는 뜨임장치(tempering device)에 의해 이루어진다면 가능하게 될 것이다. 이것은 전체적으로 공정시간 단축을 가능하게 하는데, 그 이유는 뜨임장치의 가열 및 냉각 시간은 계속적으로 작동하는 뜨임장치에는 적용되지 않기 때문이다.
뜨임시간의 단축 또는 뜨임률(tempering rate)의 증가를 위해, 뜨임장치의 열은 요구되는 공정 또는 납땜온도보다 더 높게 선택되는 것이 바람직 할 것이다.
납땜 조인트가 제조될 때 땜납 물질 및/또는 땜납 물질 캐리어의 온도를 조절하기 위한 가장 단순한 방법은 마찬가지로 열 적용에 의해 가능하게 될 것이다.
만약, 뜨임장치가 복사장치로써 작동된다면, 그리고 구성요소 또는 땜납 물질 캐리어의 온도가 구성요소 또는 땜납 물질 캐리어로부터 복사장치까지의 거리로 조절된다면 바람직 할 것이다.
만약, 복사장치가 접촉장치(33)와 결합되고, 열 적용은 열이나 냉기의 전달에 의한 가열 또는 냉각의 적어도 하나의 시작위상 내에서 발생된다면, 이때 가열과 냉각 시간의 상당한 단축이 가능하게 될 것이다.
상기 언급된 방법을 수행하기 위한 본 발명에 따른 장치는 구성요소에 가열이 일어나고, 특히, 땜납 물질 캐리어로써 사용되는 구성요소 상에 배치된 납땜 조인트 제조를 위한 땜납 물질을 용융시키기 위한 가열챔버 또는 용융챔버를 갖고, 용융챔버에 부착되어 있는 구성요소를 냉각시키기 위한 냉각챔버가 가열챔버 또는 용융챔버(12)와 연결되며, 이에 따라 가열챔버 또는 용융챔버와 냉각챔버는 서로독립적인 공정챔버를 형성한다.
상기 용융챔버(12)와 독립된 공정챔버로써 형성된 준비챔버(11)는 납땜 조인트를 위한 땜납 물질 캐리어를 준비하기 위해 용융챔버(12)의 전방에 배치되어 있다.
만약, 상기 공정챔버는 도어 메카니즘(door mechanism)을 통해 서로 연결될 수 있도록 하는 모듈러 유니츠(modular units)로써 디자인된다면, 본 발명에 따른 장치는 다양한 방법의 구조에 용이하게 적용될 것이다. 그러므로, 하나의 특별한 경우로써 예를 들어, 본 발명의 장치는 단지 요구되는 것처럼 용융챔버와 냉각챔버로 이루어질 것이다. 그리고, 다른 경우에 준비챔버, 용융챔버 및 냉각챔버로 이루어지고, 그로 인해 적어도 부분적으로 각 장치를 구성하는데 있어 동일한 모듈러 유니츠가 사용될 수 있다.
이것은 또한, 상기 공정챔버가 모듈러 유형(modular fashion)으로 완성되는 것이 가능하도록 하고, 이로 인해 도어 메카니즘은 공정챔버를 형성하기 위한 챔버모듈(chamber module)과 결합될 수 있는 도어 모듈(door module)로써 디자인된다.
가열챔버 또는 용융챔버에 의해 형성된 공정챔버내의 캐리어장치 상에 배치된 구성요소로 열을 적용시키기 위한 것으로써 거리변화장치에 의해 캐리어장치 또는 구성요소와의 상관 거리를 변화시킬 수 있는 복사장치를 갖는 것이 바람직하다. 이 열적용장치는 복사장치가 필수적으로 일정 온도에서 작동되는 것이 가능하도록 디자인되고, 이로 인해 캐리어 장치와 연관된 복사장치의 거리는 복사장치에 의해 가열된 캐리어 장치의 온도를 변화시킴으로써 변화될 수 있다.
캐리어 장치의 가속적인 가열이 필요하게 되고, 그리하여 용융챔버 내에서 용융을 수행하거나 또는 냉각챔버 내에서 냉각을 하는 경우에 필요한 땜납 물질 캐리어의 체류시간이 전반적으로 짧아지게 되는 경우, 복사를 통해 떨어져 있는 곳에 열을 전달하고, 또한, 열전도를 통해 열을 전달할 수 있는 접촉장치를 갖는 복사장치가 제공되는 것이 바람직하다.
상기 접촉장치를 동시에 형성하기 위한 복사장치의 가장 간단한 고안은 만약 이 복사장치가 템퍼러블 플레이트(temperable plate)로 디자인되고 그 표면이 접촉장치로써 제공되면 실현가능 할 것이다.
상기 캐리어장치의 요구되는 온도에 의존하는 이 캐리어장치로부터 복사장치까지의 거리를 규정하기 위해서는 상기 캐리어장치와 관련된 복사장치의 거리 변화를 위한 여러 가지 교정을 규정하기 위해 출력신호를 제공하는 온도센서를 갖는 캐리어 장치 또는 땜납 물질 캐리어를 제공하는 것이 바람직하다. 캐리어 장치의 온도를 결정하기 위해 제공되는 이 온도센서는 예를 들어, 판상과 같은 복사장치 상에 바로 배치될 수도 있다. 그리하여, 캐리어장치와의 접촉은 예를 들어, 캐리어(carrier)와 플레이트(plate) 사이의 각 거리와 관계없는 스프링장치와 같이 플레이트와 캐리어장치 사이의 수정된 거리를 보상하는 연결장치에 의해 보증될 수 있다.
특히, 본 발명에 따른 방법이 연속공정으로 디자인되었을 때, 캐리어 장치 상에 배치된 땜납 물질 캐리어들은 서로 부착되어 연속적으로 배열되어 있는 개별적인 공정챔버를 통해 안내된다. 이것은 판독장치와 상호 작용하는 정보매체를 갖는 캐리어장치에 적합하고, 캐리어장치가 제1공정챔버로 들어간 후 공정이 진행되며 정보매체상에 포함된 정보에 의해 계속적으로 배치된 공정챔버들을 관리하게 된다.
만약 상기 적어도 하나의 가열챔버와 냉각챔버를 포함하는 장치가 직렬 배치내의 부분장치로써 작업 또는 생산라인내로 통합된다면 상기 장치의 경제적인 적용이 실현될 것이다. 예를 들어, 에스엠디 보드(SMD board)를 생산하기 위한 상기 장치가 탑재를 위해 탑재장치로 사용될 때 상기 에스엠디 보드는 상기 장치와 연결될 수 있을 것이다.
도 1은 연이어서 배열된 다수개의 공정챔버, 다시 말해서, 준비챔버(11), 용융챔버(12) 및 냉각챔버를 갖는 납땜장치(10)를 나타낸 것이다. 분리된 공정챔버(11, 12, 13)는 서로 도어 메카니즘(14, 15)에 의해 연결되고, 본 실시예에서는 이에 더해, 외부 공정챔버(11, 13)에 각각 도 2에서 나타낸 캐리어장치 (carrier device)(18)의 진입, 반출을 위한 도어 메카니즘(16, 17)을 구비하고 있다. 땜납 물질 캐리어들은 땜납 물질의 용융에 의한 납땜 조인트 상의 납땜이 제공되는 캐리어장치(18)(보다 상세한 기술은 생략)상에 배치되어 있다.
도 1에서 나타내듯이, 개별적인 공정챔버(11, 12, 13)는 이들 각각의 공정챔버를 형성하기 위해 챔버모듈(21, 22, 23)과 결합되는 적어도 하나의 도어 메카니즘(14, 15, 16, 17)에 의해 완전하게 되는 챔버모듈을 갖추며 모듈화 유형으로 디자인되었다. 도 1에서 나타낸 납땜장치(10)를 형성하기 위해 세 개의 공정챔버 모두를 연이어 배열하는 것으로부터 명백히 알 수 있듯이, 모듈화 유형으로 다른 공정챔버를 연결함으로써 완전해지고, 공정을 확장시키기 위해 연결되지 않은 다른 부분 공정을 연결할 수 있으며, 서로 결합되지 않은 전체 공정의 별도 부분 공정으로써 준비챔버(11), 용융챔버(12) 및 냉각챔버(13)로 가동된다.
도 2에서 나타내듯이, 본 발명에 따른 일 실시예로써 납땜장치(10)에는 제1단계로 땜납 물질 캐리어 또는 캐리어들(상세한 설명은 생략)이 준비챔버(11)내로 우선 준비된다. 캐리어장치(18)가 준비챔버(11)내로 안내되기 위해서는 준비챔버(11)를 비우거나 및/또는 원하는 공정 분위기를 창출하기 위해 환원제를 준비챔버(11)에 추가시킨다. 결국, 땜납 물질 캐리어(상세한 설명은 생략)들은 납땜 조인트에 의해 서로 결합되는 금속 구성요소들이고, 준비챔버(11)내에 포름산(formic acid)을 추가함으로써 환원공정 분위기를 창출해 낼 수도 있을 것이다. 요구되는 환원결과가 달성된 후에 준비챔버(11)은 질소/수소 혼합가스에 의해 세정될 수 있다.
도 2에서 나타낸 캐리어장치(18)는 개방 도어 메카니즘(16)을 통해 이 캐리어장치(18)를 준비챔버(11)내로 후퇴시킬 뿐만 아니라 도어 메카니즘(15)이 개방된 후 상기 캐리어장치(18)가 용융챔버(12)로 운송될 수 있도록 하는 준비챔버(11)내의 운송장치(27)상에 배치되어 있다. 상기 용융챔버(12)내에 예를 들어, 환원 분위기 또는 용융챔버(12)내의 보호가스 분위기의 형성에 따른 불활성 분위기를 형성시킨 후 요구되는 공정 분위기가 마련되고 나서 요구되는 땜납 온도로 캐리어장치(18)의 가열이 수행된다. 이러한 가열은 승강메카니즘(25)상에 배치된 핫플레이트(26)를 갖는 가열장치(24)에 의해 수행된다.
도 3은 도어 메카니즘(door mechanism)(14, 15, 16)의 구조를 나타낸 예시도이다. 도어 메카니즘(14)은 공정챔버(11, 12, 13)(도 2)내에 형성된 다양한 공정 분위기를 창출해내기 위한 압력을 형성시키기 위해 상기 공정챔버(11, 12, 13)들을 각각 독립적으로 밀폐시킬 수 있다. 상기 도어 메카니즘(14)은 한 쌍의 작동실린더, 안내장치(40) 및 도어패널(41)로 구성된 작동장치(39)를 가지고, 상기 안내장치(40)는 공정챔버벽(43)의 도어개방부(42)를 향해 이동되거나 또는 도어개방부(42)로부터 이탈될 수도 있다. 도 3에서 도어패널(door panel)(41)은 공정챔버벽(43)상의 바로 전방에 위치되어 있다. 안내장치(40)는 슬라이드블럭(slide block)(46)에 의해 안내되는 한 쌍의 관절레버(knee lever)(45)를 포함하는 도어개방부(42)의 수평면과 평행하게 배치된 슬라이드로드(44)를 포함한다. 개방위치에서 폐쇄위치로 도어패널(41)을 이동시키기 위해서는 상기 슬라이드블럭(46)이 상부 슬라이드스톱 (upper slide stop)(47)에서 하방으로 이동하기 시작하여 하부 슬라이드스톱(48)에 도착할 때까지 작동실린더피스톤(49)이 한 쌍의 관절레버(45)상에서 직접 작동하며 밀폐가 완전히 이루어질 때까지 상기 도어패널(41)은 공정챔버벽(43)을 향해 이동한다.
가열장치(24)의 가능한 구조 및 그 기능은 도 4a 내지 도 4c에서 상세히 설명한다. 도 4a에서 나타낸 기본형태내의 가열장치(24)는 핫플레이트(hot plate)(26)가 캐리어장치(18)의 저면에서 거리 d1에 위치해 있다. 상기 캐리어장치(18)는 공정챔버 (11, 12, 13)의 인접부에서 회전되는 피드빌릿(feed billet)(28, 29)에 의해 형성된 본 발명내에서 운송장치(27)에 대한 가열장치(24)와 비교되는 상관위치에 매달려 있다.
본 발명의 핫플레이트(26)는 두 개의 리프팅램(lifting ram)(30)과 스프링장치(31)내에 위치된 온도센서(32)를 갖는 승강메카니즘(hoist mechanism)(25)상에 배치되어 있다. 도 4a의 기본 상황에서 스프링장치(31)는 가압되지 않고 있기 때문에 온도센서(32)는 핫플레이트(26)의 접촉표면(33) 외부로 돌출된 상태이다.
도 4b에서 나타낸 가열형태내의 가열장치(24)는 핫플레이트(26)의 접촉표면(33)이 캐리어장치(18)의 저면(34)에 위치해 있고, 열전달에 의해 핫플레이트(26)의 열을 캐리어장치(18)로 효과적으로 전달하게 된다. 온도센서(32)는 접촉표면(33)의 내부로 가라앉은 위치에 위치해 있는 동시에 이 온도센서(32)의 센서표면(35)은 접촉표면(33)에서 노출되어 캐리어장치(18)의 저면(34)과 밀착되어 있다. 상기 핫플레이트(26)는 도 4b에서 나타낸 것과 같이 접촉온도에서 작동되고 온도센서(32)는 캐리어장치(18)의 요구되는 온도가 결정될 때까지 접촉위치에 남아 있는다. 다음에, 핫플레이트(26)가 도 4c에 나타낸 온도조절상태로 이동된다. 여기서, 핫플레이트(26)의 접촉표면(33)은 캐리어장치(18)의 저면에서 거리 d2에 위치하고, 스프링장치 (31)에 의해 가둬졌던 온도센서(32)는 캐리어장치(18)의 센서표면(35)에 접촉된 상태로 남아 있는다. 상기와 같이 서술된 핫플레이트(26)의 온도조절상태에서는 이 핫플레이트(26)가 복사체로써 작용하고 복사를 통해 캐리어장치(18)로 열을 흡수시킬 수 있다. 캐리어장치(18)의 저면(34)과 핫플레이트(26)의 접촉표면(33) 사이의 거리 d2의 변화는 세팅장치(상세한 설명은 생략)로써 캐리어장치의 명목적인 온도와 관계되는 온도센서(32)에 의해 결정된 온도의 차이에 의해 결정된다. 여기서, 상기 캐리어장치(18)의 명목적인 온도는 용융챔버(12)내에서 용융공정을 수행하는데 요구되는 캐리어장치(18)의 체재시간 이상 유지하기 위한 온도이다.
상기 거리 조절은 도 4a에서 나타낸 것처럼 운송장치(27) 상에서 작동되는 승강장치(50) 또는 핫플레이트상에서 작동되는 승강장치(25) 대신에 피드빌릿(28, 29)을 제공하는 거리조절장치에 의해 이루어진다. 일정온도에서 필수적으로 작동되는 핫플레이트(26)의 온도조절을 위한 필수사항은 핫플레이트(26)와 캐리어장치(18) 또는 땜납 물질 캐리어 사이의 상관적인 거리 변화의 가능성이다.
도 4a에서 4c에 나타낸 것처럼, 가열장치(24)의 효과는 예를 들어, 캐리어장치(18)의 상부에 배치된 복사패널가열(radiant panel heating)(36)과 같은 가열장치를 추가함으로써 보다 완벽하게 될 수 있다. 상기 복사패널가열(36)은 또한 가열장치 (24)의 거리관리를 위한 작동방법과 일치하는 거리조절을 제공할 수 있다.
도 2에서 나타낸 것과 같이, 용융챔버(12)내의 용융단계가 완성된 캐리어장치(18)는 냉각챔버(13)로 이동되고, 여기서, 용융챔버내의 공정 분위기와 다르거나 또는 일치하는 공정 분위기가 형성된다. 상기 냉각챔버(13)는 도 4a 내지 4c에서 상세히 서술된 가열장치(24)의 자체 디자인 및 작동방법에 의한 거리조절에 대해서 부분적으로 일치하는 냉각장치(37)를 제공한다. 냉각장치(37)는 예를 들어, 설정된 냉각커브의 결과로써 냉각복사와 냉각발산의 조합에 의해 캐리어장치(18)의 냉각을 규정할 수 있다. 가열장치(24)와 냉각장치(37)의 유사성은 이들이 일정 온도에서 작동되는 것이다. 여기서, 캐리어장치(18)의 온도는 냉각판(38)과 캐리어장치(18) 사이의 거리 조절 또는 변화에 의해 영향을 미칠 수 있다.
이상에서와 같이, 본 발명에 따른 납땜 조인트 제조방법 및 장치는 가열 절차 및 냉각 절차의 손상 없이 구성요소의 가열, 특히 땜납 물질의 용융뿐만 아니라 규정된 공정 분위기 내에서 구성요소의 냉각이 일어나도록 하는 효과를 얻는다.
이상의 설명에서와 같이 본 발명은 바람직한 구체적인 예들에 대해서만 기술하였으나, 상기의 구체적인 예들을 바탕으로 한 본 발명의 기술사상 범위 내에서의 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 또한, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

Claims (16)

  1. 가공품 또는 구성요소의 열처리 방법 중 특히, 땜납 물질 캐리어상에 배치된 땜납물질이 용융됨으로써 땜납 물질과 이 땜납 물질의 캐리어로 사용되는 적어도 하나의 구성요소 또는 가공품 사이에 납땜 조인트가 제조될 수 있도록 적어도 하나의 구성요소가 주위환경으로부터 밀폐된 공정 분위기 내에서 가열되는 납땜 조인트 제조방법에 있어서,
    다음 단계로, 상기 구성요소가 주위 환경과 밀폐된 공정 분위기 내에서 냉각되고 이로 인해 상기 구성요소가 서로 독립된 공정챔버(12, 13)내에서 가열 및 냉각됨을 특징으로 하는 납땜 조인트 제조방법.
  2. 제1항에 있어서, 구성요소의 가열 전단계에서 상기 구성요소는 분리된 공정챔버(11)내에서 물질 또는 복사를 통해 및/또는 환원 또는 불활성 공정 분위기의 적용에 의해 준비됨을 특징으로 하는 상기 납땜 조인트 제조방법.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 공정 분위기 또는 공정챔버(11, 12, 13)내에는 진공이 형성됨을 특징으로 하는 상기 납땜 조인트 제조방법.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 공정 분위기는 보호가스 분위기로써 디자인됨을 특징으로 하는 상기 납땜 조인트 제조방법.
  5. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 구성요소를 가열 및/또는 냉각시키기 위한 열 적용은 가열되거나 또는 냉각될 수 있는 뜨임장치(24, 37)에 의해 이루어지고, 가열 또는 냉각을 위한 상기 뜨임장치는 필수적으로 일정 온도에서 작동됨을 특징으로 하는 상기 납땜 조인트 제조방법.
  6. 제5항에 있어서, 상기 뜨임장치는 복사장치로써 작동되고 상기 구성요소의 온도는 구성요소에서 복사장치까지의 거리에 의해 조절됨을 특징으로 하는 상기 납땜 조인트 제조방법.
  7. 제6항에 있어서, 상기 복사장치(24, 37)는 접촉장치(33)와 결합되고, 열 적용은 열이나 냉기의 전달에 의한 열기 또는 냉기의 적어도 하나의 시작위상 내에서 발생됨을 특징으로 하는 상기 납땜 조인트 제조방법.
  8. 구성요소에 가열이 일어나고, 특히, 땜납 물질 캐리어로써 사용되는 구성요소 상에 배치된 납땜 조인트 제조를 위한 땜납 물질의 용융을 위한 가열챔버 또는 용융챔버를 갖는 청구항 1 내지 7의 어느 한 항에서 청구된 방법의 효과를 가져오기 위한 납땜 조인트 제조장치에 있어서,
    구성요소를 냉각시키기 위한 냉각챔버(3)가 가열챔버 또는 용융챔버(12)와 연결되고, 이로 인해 가열챔버 또는 용융챔버와 냉각챔버는 서로 독립적인 공정챔버를 형성함을 특징으로 하는 납땜 조인트 제조장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 용융챔버(12)와 독립된 공정챔버로써 형성된 준비챔버(11)는 납땜 조인트를 위한 땜납 물질 캐리어를 준비하기 위해 용융챔버(12)의 전방에 배치됨을 특징으로 하는 상기 납땜 조인트 제조장치.
  10. 제8항 또는 제9항에 있어서, 상기 공정챔버(11, 12, 13)는 도어 메카니즘(14, 15, 16, 17)을 통해 서로 연결될 수 있도록 하는 모듈유니트로써 디자인됨을 특징으로 하는 상기 납땜 조인트 제조장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 공정챔버(11, 12, 13)는 모듈 유형으로 디자인되고, 도어 메카니즘(14, 15, 16, 17)은 공정챔버를 형성하기 위한 챔버모듈(21, 22, 23)과 결합될 수 있는 도어 모듈로써 디자인됨을 특징으로 하는 상기 납땜 조인트 제조장치.
  12. 제8항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서, 적어도 공정챔버는 가열챔버 또는 용융챔버(12)로써 제공되고 또는 공정챔버는 캐리어장치(18)상에 배치된 구성요소로 열을 적용시키기 위한 복사장치(24, 37)를 갖는 냉각챔버로 제공되며, 이로 인해 복사장치는 캐리어장치(18) 또는 구성요소와의 사이 거리가 거리변화장치에 의해 변화될 수 있음을 특징으로 하는 상기 납땜 조인트 제조장치.
  13. 제12항에 있어서, 상기 복사장치(24, 37)는 열분산에 의해 구성요소 또는 캐리어장치(18)로 열을 적용하기 위한 접촉장치(33)를 갖는 것을 특징으로 하는 상기 납땜 조인트 제조장치.
  14. 제12항 또는 제13항에 있어서, 상기 복사장치(24, 37)는 그 표면을 접촉장치(33)로 사용하는 템퍼러블 플레이트(26, 38)가 구비됨을 특징으로 하는 상기 납땜 조인트 제조장치.
  15. 제12항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 캐리어장치(18)는 이 캐리어장치(18)와 연관되는 복사장치(24, 37)의 거리 변화를 위한 여러 가지 교정을 규정하기 위해 출력신호를 제공하는 온도센서(32)를 구비함을 특징으로 하는 상기 납땜 조인트 제조장치.
  16. 제8항 또는 제11항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 캐리어장치(18)는 판독장치와 상호 작용하는 정보매체로 제공되고, 이로 인해 캐리어장치(18)가 제1공정챔버(11, 12, 13)로 진입한 후 이 제1공정챔버와 이어서 배치된 공정챔버내에서 진행되는 공정은 정보매체상에 포함된 정보에 의해 관리됨을 특징으로 하는 상기 납땜 조인트 제조장치.
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