JP2003517376A - はんだ接合部の製造方法および製造装置 - Google Patents
はんだ接合部の製造方法および製造装置Info
- Publication number
- JP2003517376A JP2003517376A JP2001536316A JP2001536316A JP2003517376A JP 2003517376 A JP2003517376 A JP 2003517376A JP 2001536316 A JP2001536316 A JP 2001536316A JP 2001536316 A JP2001536316 A JP 2001536316A JP 2003517376 A JP2003517376 A JP 2003517376A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- carrier
- component
- heating
- cooling
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 238
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 111
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title description 11
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 72
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 70
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims abstract description 67
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims abstract description 67
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 claims abstract description 49
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 98
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 30
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 claims description 25
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 5
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 5
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 5
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 claims description 3
- 230000000977 initiatory effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000000155 melt Substances 0.000 claims 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 10
- BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N methanoic acid Natural products OC=O BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 7
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 7
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 6
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 6
- OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 4-(3-methoxyphenyl)aniline Chemical compound COC1=CC=CC(C=2C=CC(N)=CC=2)=C1 OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 4
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 235000019253 formic acid Nutrition 0.000 description 4
- 210000003127 knee Anatomy 0.000 description 4
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N nitrogen Substances N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 2
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 2
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 2
- 238000010924 continuous production Methods 0.000 description 2
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen(.) Chemical compound [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 2
- 238000005496 tempering Methods 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K1/00—Soldering, e.g. brazing, or unsoldering
- B23K1/008—Soldering within a furnace
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
- Die Bonding (AREA)
- Manufacturing Of Electrical Connectors (AREA)
- Coupling Device And Connection With Printed Circuit (AREA)
- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
- Tunnel Furnaces (AREA)
- Coating With Molten Metal (AREA)
- Heat Treatment Of Articles (AREA)
Abstract
Description
料キャリア上に配置されるはんだ材料の溶融によってはんだ材料キャリアとして
使用される少なくとも1つの部品または加工品との間にはんだ接合部をつくる方
法に関し、少なくとも1つの部品は周囲環境から遮断されたプロセス雰囲気中で
加熱される。加えて、本発明はこの方法を実行するのに適した装置に関する。
置は、排気されたプロセスチャンバにおいて硬ろう付け手順を遂行するための方
法が記載され、ここでは互いに接合されるべき部品が硬ろうの溶融によって互い
に接合される。硬ろう付け手順の間、プロセスチャンバ内は真空にされ、かつ共
に接合すべき部品の加熱が約600℃で行われる。
内において行われる。
く、加熱手順と冷却手順を互いに損なうことなく、所定のプロセス雰囲気におい
て部品の冷却も行う方法または装置を提供することにある。
ステップに続く手順ステップにおいて、部品の冷却を行い、これによって、部品
の加熱またははんだ材料の溶融と部品の冷却とを互いに独立したプロセスチャン
バ内で行う。
して、加工品または部品に温度を与えるために一般的に使用するのにそれ自体役
立つ。適用に関する特別な分野は、硬ろう接合部の形成であり、例えば電子部品
や組立体の製造のように、硬ろう接合部とはんだ接合部との双方を構成すること
ができる。
を与えることなく、溶融手順と同様に制御される冷却手順を行うだけでなく、そ
れぞれのタスクに関して指定されたプロセスチャンバに基づいて冷却手順を含む
はんだ手順の効果的な実施をも可能にする。双方の手順の相互影響に対して、さ
まざまなプロセスチャンバにおいて異なるプロセス雰囲気を形成できることで対
抗する。加えて、規定されたプロセス雰囲気において実行される冷却により、全
体的に高品質のはんだ接合部が得られる。これは、はんだ接合部が金属部品間の
接続に関するように機械的な接続機能を有するだけでなく、例えばSMD(表面
実装装置)法において電気的な部品を備えるボードの場合のように電気的な接続
機能を有し、ボード同士をボードの剥離された導体部に機械的にかつ電気的に導
通するはんだ接合部によって接続するときにはいつでも特に有利であることが分
かる。
を使用すると、はんだ材料の溶融に先立つ手順ステップにおいて、はんだ材料キ
ャリアを、分離したプロセスチャンバにおいて還元プロセス雰囲気または不活性
プロセス雰囲気にあてることで及び/又は放射することでまたは材料によって準
備するならば特に有利であることが分かる。これにより、続く溶融手順に特に適
しているプロセス雰囲気を損なうことなく、例えば金属部品などのはんだ材料キ
ャリアを準備することが可能となる。この目的のために、蟻酸等の還元剤をプロ
セスチャンバの中に導入することが可能であり、同じくプロセスチャンバ内を還
元ガス雰囲気にすることが可能であり、これによって、互いに接続されるべきは
んだ材料キャリア即ち部品が溶融手順を行うための続くプロセスチャンバに移送
される前に、プロセスチャンバを、続くプロセスチャンバにおいて形成されたプ
ロセス雰囲気のいかなる影響をも中和するようにすすぐことができる。互いに接
合すべきはんだ材料キャリア即ち部品をそのように準備することは、その後の溶
融手順においてはんだ材料とともに湿潤される部品即ちコンタクト面にプラズマ
を印加することによって効果を与えることもできる。
相互影響を打ち消すのを更に可能とすることは、それぞれのプロセス雰囲気また
はプロセスチャンバを真空にすることである。
ことも可能である。
って温度が与えられるならば、部品の温度を調整する最も簡単な方法を実行でき
る。温度調整装置の加熱時間または冷却時間が温度調整装置の連続的な作動によ
って与えられないので、これは概してプロセス時間を短くする。温度調整期間を
短縮化するため、または温度調整速度を増大させるため、温度調整装置の温度が
所望の処理またははんだ温度よりも明らかに高く選択されるならば有利であるこ
とがわかっている。
ャリアの温度を調整するための最も単純可能な方法がそのような温度を付与する
ことによって同様に可能となる。
リアの温度が部品から即ちはんだ材料キャリアからラジエータ装置までの距離で
調節されるならば、特に有利な形態の調整が可能となる。
によって加熱または冷却の少なくとも1つの開始フェーズにおいて起こるならば
、加熱期間または冷却期間をかなり短縮することが可能である。
ャンバを有し、特にはんだ材料を溶融するために部品の加熱が行われ、はんだ材
料キャリアとしての役目を果たす部品上に配置されるはんだ接合部を作り、かつ
溶融チャンバにくっ付けられ部品を冷却するための冷却チャンバを有し、これに
よって加熱チャンバまたは溶融チャンバと冷却チャンバは互いに独立したプロセ
スチャンバを形成する。
したプロセスチャンバを形成する準備チャンバを、溶融チャンバの前方に配置す
ることができる。
機構を介して接続できるならば、本発明による装置はさまざまな方法に対して構
造上容易に適応することができ、したがって、例えば一つの特別な場合として、
必要に応じて溶融チャンバと冷却チャンバのみから構成することができ、他の場
合には準備チャンバ、溶融チャンバ、及び冷却チャンバから構成することができ
、これによって、それぞれの装置を構成するのに少なくとも部分的に同一のモジ
ュールユニットを利用することができる。
セスチャンバを構成するような方法をもって、モジュール方式でプロセスチャン
バを作り上げることも可能である。
て、キャリア装置に配置される部品に温度を与えるために、ラジエータ装置を設
けることが有利であり、このラジエータ装置は距離変更装置によってキャリア装
置または部品に対する距離を変化させることもできる。そのように構成された温
度付与装置は、ラジエータ装置を本質的に一定の温度で作動させることが可能と
なり、キャリア装置に対するラジエータ装置の距離を変えて、ラジエータ装置に
よって加熱されるキャリア装置の温度を変化させることができる。
はんだ材料キャリアの滞在時間を全体的に短時間にすることが必要な場合や冷却
チャンバ内で冷却する場合では、放熱による温度伝達とは別に熱伝導による温度
伝達をも可能にする接触装置をラジエータ装置に設けることが有利なことも分か
る。部品すなわちはんだ材料キャリアを冷却するためのラジエータ装置の使用に
伴い、ラジエータ装置を、冷却効率を向上させる対流装置と結合しても良い。
を構成するならば、接触装置を同時に形成した最も簡単可能なラジエータ装置の
構成として相応しい。
を調整するために、キャリア装置またははんだ材料キャリアに温度センサを設け
、温度センサの出力信号がキャリア装置に対するラジエータ装置の距離を変更す
るために可変修正量を規定する役目を果たすのが有利であることがわかる。キャ
リア装置の温度を決定する役目を果たす温度センサは、ラジエータ装置、かくし
て例えばプレート上に直接配置することもでき、これによってキャリア装置との
接触は、例えばプレートとキャリア装置との間のそれぞれの距離と無関係なバネ
装置のような、プレートとキャリア装置との間の変化する距離を相殺する接続装
置によって保証される。
装置に配置されたはんだ材料キャリアが、続いて配置されたプロセスチャンバに
規則正しく案内されるが、個々のプロセスチャンバ内での固有の滞在時間が付与
されている場合には、キャリア装置に読み取り装置と協働する情報媒体を備わせ
、キャリア装置が最初のプロセスチャンバに入った後、最初のプロセスチャンバ
と続いて配置されたプロセスチャンバにおけるプロセスの流れが情報媒体に含ま
れる情報によって制御されるようにするのが有利なことが分かっている。
製造ラインに部分的な装置としてインライン配置状態で組み込まれるならば、装
置の特に経済的な適用が実現可能である。例えば、SMDボードを作る装置を使
用するとき、SMDボードを実装する実装装置を前記装置に接続することができ
る。
に詳細に説明する。
11、溶融チャンバ12、および冷却チャンバ13を備えたはんだ装置10を示
している。分離したプロセスチャンバ11,12および13はドア機構14およ
び15によって互いに接続され、図示された実施例においてこれに加えて外側の
プロセスチャンバ11および13の各々が、図2に示すキャリア装置18の入口
用または出口用のドア機構16または17を有している。はんだ材料キャリアは
、キャリア装置18上に配置され(ここでは詳細には図示せず)、はんだ材料を
溶融することによってはんだ部またははんだ接合部を備えるようになっている。
モジュール方式で構成され、それぞれが少なくとも1つのドア機構14,15,
16または17によって補完されるチャンバモジュール21を示し、ドアモジュ
ール機構はチャンバモジュール21,22または23と結合し、それぞれプロセ
スチャンバを形成する。これから、図1に示したはんだ装置10を形成する合計
して3つのプロセスチャンバの一連の配置に他のプロセスチャンバをモジュール
方式で連結し、互いに結合されていないプロセス全体の部分的なプロセスに加え
て、プロセスを拡張するために他の結合されていない部分的なプロセスと接続す
ることができ、準備チャンバ11、溶融チャンバ12および冷却チャンバを13
に合体させることで補完できることが明らかである。
あらしめることができ、ここでは第1の手順ステップにおいて、ここでは詳細に
は示さないはんだ材料キャリアが、最初に準備チャンバ11において準備される
。このためにキャリア装置18を準備チャンバ11の中に導入し、準備チャンバ
11の排気および/または準備チャンバ11に還元剤を加えて所望のプロセス雰
囲気を作る。ここでは詳細には示さないが、はんだ材料キャリアが、はんだ接合
部によって互いに接合される金属部品である場合、準備チャンバ11に蟻酸を加
えることで還元プロセス雰囲気を作り出すことを考えても良い。所望の還元が達
成された後、準備チャンバ11を窒素/水素ガスの混合体ですすぐことができる 図2に示すように、キャリア装置18は準備チャンバ11内の移送装置27上
に配置され、移送装置27は開放したドア機構16を介してキャリア装置18を
準備チャンバ11内に引っ込ませることができ、同様にドア機構15が開放され
た後にキャリア装置18を溶融チャンバ12に移送することができる。例えば還
元雰囲気を作り出すか、溶融チャンバ12内で保護ガス雰囲気を形成することで
不活性雰囲気をつくり出した後などの、所望のプロセス雰囲気が溶融チャンバ1
2内で定常状態となった後、所望のはんだ温度までキャリア装置18を加熱する
。そのような加熱を、昇降機構25上に配置された加熱プレート26を有する加
熱装置24によって実行する。
−図3に二重矢印によって示すように−圧力の方向とは無関係にプロセスチャン
バ11,12,13を密閉することができ、プロセスチャンバ11,12,13
(図2)内に形成される異なるプロセス雰囲気を作り出す。ドア機構14は、こ
こでは二重作動型シリンダによって形成された作動装置39、ガイド装置40お
よびドアパネル41を有し、ドアパネル41はガイド装置40によってプロセス
チャンバ壁43のドア開口部42に対して行ったり来たりする。図3の図面にお
いて、ドアパネル41はプロセスチャンバ壁43のシール配置部の前方に向かっ
て位置している。ガイド装置40は、ドア開口部42の平面と平行に配置された
スライドロッド44を有し、このスライドロッド44に沿ってダブルニーレバー
45がスライドブロック46によって案内されている。ドアパネル41を開放位
置から閉止位置に移動させるために、スライドブロック46が上方のスライドス
トップ47から下方に向かって移動し始め、下方のスライドストップ48に到達
した後、作動シリンダーピストン49を作動させることでの移動動作がダブルニ
ーレバー45に直接作用し、ドアパネル41がプロセスチャンバ壁43に向かっ
て移動して遂には密閉が確保される。
に説明する。図4Aは加熱装置24を基本的配置で示し、ここでは加熱プレート
26がキャリア装置18の下方にキャリア装置18から距離d1だけ離れて位置
している。図4Aにさらに示すように、キャリア装置18は移送装置27によっ
て加熱装置24と比較して関連する位置に保持され、移送装置27はこの場合プ
ロセスチャンバ11,12および13の近傍で回転する送給ビレット28および
29によって形成されている。
れた昇降機構25上に配置され、スプリング構造体31内に収容された温度セン
サ32を有している。図4Aに示す基本的配置においてスプリング構造体31に
は応力がかからず、したがって、温度センサ32は加熱プレート26の接触面3
3の外方に突出して配置されている。
26の接触面33がキャリア装置18の下面34上にあるように加熱プレート2
6が位置し、熱を熱拡散によって加熱プレート26からキャリア装置18に効率
良く伝達している。同時に、温度センサ32は、そのセンサ表面35が接触面3
3と面一に配置された状態で接触面33の中に入り込んで位置しており、かくし
て、センサ表面35をキャリア装置18の下面34上に同様に位置させている。
温度センサ32がキャリア装置18の所望の温度を決定するまで加熱プレート2
6を一定の温度で作動すると共に、図4Bに示す接触位置にとどまらせる。次い
で、加熱プレート26は、図4Cに示す温度制御用配置に移行し、ここでは加熱
プレート26の接触表面33がキャリア装置18の下面34から距離d2だけ離
れており、これによってスプリング構造体31によって付勢された温度センサ3
2は、そのセンサ表面35がキャリア装置18に接触したままとなる。加熱プレ
ート26の図示した温度制御用配置において、加熱プレート26はラジエータ装
置としてのみ作用し、放射を介してキャリア装置18における熱吸収を可能にす
る。これは、キャリアの温度が、キャリア装置18上において一定温度で作動す
る加熱プレート26を連続的にくっ付けることで所望の温度以上に上昇するのを
防止する。以下において、キャリア装置18の下面34と加熱プレート26の接
触面33との間の距離d2の変化は、ここでは詳細には示さないが必要なたびご
とにセッティング装置によってキャリア装置の公称温度に対する温度センサ32
によって決定された温度差に依存して設定され、したがってキャリア装置18の
公称温度が溶融チャンバ12内の溶融手順を実現するのに必要なキャリア装置1
8の滞在時間中維持される。
ト上に作用する昇降装置25の代わりに移送装置27すなわち送給ビレット28
,29上に作用する昇降装置50を設けた距離変更装置によって行っても良い。
本質的に一定温度で作動される加熱プレート26で温度制御するのに必要不可欠
なことは、加熱プレート26とキャリア装置18すなわちはんだ材料キャリアと
の間の相対的な距離を変更できることである。
置18上に配置されている放射パネルヒーティング36のような付加的な加熱装
置によって必要に応じて更に補完することができる。放射パネルヒーティング3
6は、その作動方法において加熱装置24の距離制御に対応する距離制御を備え
ることもできる。
に、キャリア装置18が冷却チャンバ13に移送され、ここでは溶融チャンバ1
2におけるプロセス雰囲気に対応するか異なるプロセス雰囲気を作り上げること
ができる。冷却チャンバ13は冷却装置37を備え、冷却装置37は図4A乃至
図4Cに詳細に示した加熱装置24に距離制御に関してその構成および動作方法
において特に対応している。冷却装置37は、冷気放射と冷気拡散との結合によ
って、例えば所定の冷却曲線を遂げることでキャリア装置18の規定の冷却を可
能にする。加熱装置24と同様に、冷却装置37もまた一定温度で制御され、キ
ャリア装置18の温度が冷却プレート38とキャリア装置18との間の距離の変
更または調整によって影響を受けるようにできる。
示したラジエータ装置を加熱用配置で示し、図4Cは、図4Aに示したラジエー
タ装置を温度制御用配置で示す。
料キャリア上に配置されるはんだ材料の溶融によってはんだ材料キャリアとして
使用される少なくとも1つの部品または加工品との間にはんだ接合部をつくる方
法に関し、少なくとも1つの部品は周囲環境から遮断されたプロセス雰囲気中で
加熱される。加えて、本発明はこの方法を実行するのに適した装置に関する。
置は、排気されたプロセスチャンバにおいて硬ろう付け手順を遂行するための方
法が記載され、ここでは互いに接合されるべき部品が硬ろうの溶融によって互い
に接合される。硬ろう付け手順の間、プロセスチャンバ内は真空にされ、かつ共
に接合すべき部品の加熱が約600℃で行われる。
内において行われる。
この装置は加熱手順および冷却手順の双方を真空中で行うような方法を実行する
ために抽気される3つのチャンバを有している。チャンバに同時に負荷をかけ、
かくして周囲環境から遮断されたチャンバによって変換を増大させることが可能
となる。
この手順は加工品の酸化を避けるために窒素雰囲気内において行われ、これによ
ってチャンバに導入された窒素をまず最初に冷却チャンバの内壁及び外壁によっ
て画成されたキャビティ内において蒸発させ、次いでチャンバ壁によって限定さ
れたキャビティからチャンバの内側に移送する。そこで、それは冷却または酸化
保護としての役割を果たす。冷却法によって発散された熱を、ガスの加熱を加速
するのに同時に使用する。
く、加熱手順と冷却手順を互いに損なうことなく、所定のプロセス雰囲気におい
て部品の冷却も行う方法または装置を提供することにある。
ステップに続く手順ステップにおいて、部品の冷却を行い、これによって、部品
の加熱またははんだ材料の溶融と部品の冷却とを互いに独立したプロセスチャン
バ内で行う。
して、加工品または部品に温度を与えるために一般的に使用するのにそれ自体役
立つ。適用に関する特別な分野は、硬ろう接合部の形成であり、例えば電子部品
や組立体の製造のように、硬ろう接合部とはんだ接合部との双方を構成すること
ができる。
を与えることなく、溶融手順と同様に制御される冷却手順を行うだけでなく、そ
れぞれのタスクに関して指定されたプロセスチャンバに基づいて冷却手順を含む
はんだ手順の効果的な実施をも可能にする。双方の手順の相互影響に対して、さ
まざまなプロセスチャンバにおいて異なるプロセス雰囲気を形成できることで対
抗する。加えて、規定されたプロセス雰囲気において実行される冷却により、全
体的に高品質のはんだ接合部が得られる。これは、はんだ接合部が金属部品間の
接続に関するように機械的な接続機能を有するだけでなく、例えばSMD(表面
実装装置)法において電気的な部品を備えるボードの場合のように電気的な接続
機能を有し、はんだ同士をボードの剥離された導体部に機械的にかつ電気的に導
通するはんだ接合部によって接続するときにはいつでも特に有利であることが分
かる。
を使用すると、はんだ材料の溶融に先立つ手順ステップにおいて、はんだ材料キ
ャリアを、分離したプロセスチャンバにおいて還元プロセス雰囲気または不活性
プロセス雰囲気にあてることで及び/又は放射することでまたは材料によって準
備するならば特に有利であることが分かる。これにより、続く溶融手順に特に適
しているプロセス雰囲気を損なうことなく、例えば金属部品などのはんだ材料キ
ャリアを準備することが可能となる。この目的のために、蟻酸等の還元剤をプロ
セスチャンバの中に導入することが可能であり、同じくプロセスチャンバ内を還
元ガス雰囲気にすることが可能であり、これによって、互いに接続されるべきは
んだ材料キャリア即ち部品が溶融手順を行うための続くプロセスチャンバに移送
される前に、プロセスチャンバを、続くプロセスチャンバにおいて形成されたプ
ロセス雰囲気のいかなる影響をも中和するようにすすぐことができる。互いに接
合すべきはんだ材料キャリア即ち部品をそのように準備することは、その後の溶
融手順においてはんだ材料とともに湿潤される部品即ちコンタクト面にプラズマ
を印加することによって効果を与えることもできる。
相互影響を打ち消すのを更に可能とすることは、それぞれのプロセス雰囲気また
はプロセスチャンバを真空にすることである。
ことも可能である。
って温度が与えられるならば、部品の温度を調整する最も簡単な方法を実行でき
る。温度調整装置の加熱時間または冷却時間が温度調整装置の連続的な作動によ
って与えられないので、これは概してプロセス時間を短くする。温度調整期間を
短縮化するため、または温度調整速度を増大させるため、温度調整装置の温度が
所望の処理またははんだ温度よりも明らかに高く選択されるならば有利であるこ
とがわかっている。
ャリアの温度を調整するための最も単純可能な方法がそのような温度を付与する
ことによって同様に可能となる。
リアの温度が部品から即ちはんだ材料キャリアからラジエータ装置までの距離で
調節されるならば、特に有利な形態の調整が可能となる。
によって加熱または冷却の少なくとも1つの開始フェーズにおいて起こるならば
、加熱期間または冷却期間をかなり短縮することが可能である。
ャンバを有し、特にはんだ材料を溶融するために部品の加熱が行われ、はんだ材
料キャリアとしての役目を果たす部品上に配置されるはんだ接合部を作り、かつ
溶融チャンバにくっ付けられ部品を冷却するための冷却チャンバを有し、これに
よって加熱チャンバまたは溶融チャンバと冷却チャンバは互いに独立したプロセ
スチャンバを形成する。
したプロセスチャンバを形成する準備チャンバを、溶融チャンバの前方に配置す
ることができる。
機構を介して接続できるならば、本発明による装置はさまざまな方法に対して構
造上容易に適応することができ、したがって、例えば一つの特別な場合として、
必要に応じて溶融チャンバと冷却チャンバのみから構成することができ、他の場
合には準備チャンバ、溶融チャンバ、及び冷却チャンバから構成することができ
、これによって、それぞれの装置を構成するのに少なくとも部分的に同一のモジ
ュールユニットを利用することができる。
セスチャンバを構成するような方法をもって、モジュール方式でプロセスチャン
バを作り上げることも可能である。
て、キャリア装置に配置される部品に温度を与えるために、ラジエータ装置を設
けることが有利であり、このラジエータ装置は距離変更装置によってキャリア装
置または部品に対する距離を変化させることもできる。そのように構成された温
度付与装置は、ラジエータ装置を本質的に一定の温度で作動させることが可能と
なり、キャリア装置に対するラジエータ装置の距離を変えて、ラジエータ装置に
よって加熱されるキャリア装置の温度を変化させることができる。
はんだ材料キャリアの滞在時間を全体的に短時間にすることが必要な場合や冷却
チャンバ内で冷却する場合では、放熱による温度伝達とは別に熱伝導による温度
伝達をも可能にする接触装置をラジエータ装置に設けることが有利なことも分か
る。部品すなわちはんだ材料キャリアを冷却するためのラジエータ装置の使用に
伴い、ラジエータ装置を、冷却効率を向上させる対流装置と結合しても良い。
を構成するならば、接触装置を同時に形成した最も簡単可能なラジエータ装置の
構成として相応しい。
を調整するために、キャリア装置またははんだ材料キャリアに温度センサを設け
、温度センサの出力信号がキャリア装置に対するラジエータ装置の距離を変更す
るために可変修正量を規定する役目を果たすのが有利であることがわかる。キャ
リア装置の温度を決定する役目を果たす温度センサは、ラジエータ装置、かくし
て例えばプレート上に直接配置することもでき、これによってキャリア装置との
接触は、例えばプレートとキャリア装置との間のそれぞれの距離と無関係なバネ
装置のような、プレートとキャリア装置との間の変化する距離を相殺する接続装
置によって保証される。
装置に配置されたはんだ材料キャリアが、続いて配置されたプロセスチャンバに
規則正しく案内されるが、個々のプロセスチャンバ内での固有の滞在時間が付与
されている場合には、キャリア装置に読み取り装置と協働する情報媒体を備わせ
、キャリア装置が最初のプロセスチャンバに入った後、最初のプロセスチャンバ
と続いて配置されたプロセスチャンバにおけるプロセスの流れが情報媒体に含ま
れる情報によって制御されるようにするのが有利なことが分かっている。
製造ラインに部分的な装置としてインライン配置状態で組み込まれるならば、装
置の特に経済的な適用が実現可能である。例えば、SMDボードを作る装置を使
用するとき、SMDボードを実装する実装装置を前記装置に接続することができ
る。
に詳細に説明する。
11、溶融チャンバ12、および冷却チャンバ13を備えたはんだ装置10を示
している。分離したプロセスチャンバ11,12および13はドア機構14およ
び15によって互いに接続され、図示された実施例においてこれに加えて外側の
プロセスチャンバ11および13の各々が、図2に示すキャリア装置18の入口
用または出口用のドア機構16または17を有している。はんだ材料キャリアは
、キャリア装置18上に配置され(ここでは詳細には図示せず)、はんだ材料を
溶融することによってはんだ部またははんだ接合部を備えるようになっている。
モジュール方式で構成され、それぞれが少なくとも1つのドア機構14,15,
16または17によって補完されるチャンバモジュール21を示し、ドアモジュ
ール機構はチャンバモジュール21,22または23と結合し、それぞれプロセ
スチャンバを形成する。これから、図1に示したはんだ装置10を形成する合計
して3つのプロセスチャンバの一連の配置に他のプロセスチャンバをモジュール
方式で連結し、互いに結合されていないプロセス全体の部分的なプロセスに加え
て、プロセスを拡張するために他の結合されていない部分的なプロセスと接続す
ることができ、準備チャンバ11、溶融チャンバ12および冷却チャンバを13
に合体させることで補完できることが明らかである。
あらしめることができ、ここでは第1の手順ステップにおいて、ここでは詳細に
は示さないはんだ材料キャリアが、最初に準備チャンバ11において準備される
。このためにキャリア装置18を準備チャンバ11の中に導入し、準備チャンバ
11の排気および/または準備チャンバ11に還元剤を加えて所望のプロセス雰
囲気を作る。ここでは詳細には示さないが、はんだ材料キャリアが、はんだ接合
部によって互いに接合される金属部品である場合、準備チャンバ11に蟻酸を加
えることで還元プロセス雰囲気を作り出すことを考えても良い。所望の還元が達
成された後、準備チャンバ11を窒素/水素ガスの混合体ですすぐことができる
。
に配置され、移送装置27は開放したドア機構16を介してキャリア装置18を
準備チャンバ11内に引っ込ませることができ、同様にドア機構15が開放され
た後にキャリア装置18を溶融チャンバ12に移送することができる。例えば還
元雰囲気を作り出すか、溶融チャンバ12内で保護ガス雰囲気を形成することで
不活性雰囲気をつくり出した後などの、所望のプロセス雰囲気が溶融チャンバ1
2内で定常状態となった後、所望のはんだ温度までキャリア装置18を加熱する
。そのような加熱を、昇降機構25上に配置された加熱プレート26を有する加
熱装置24によって実行する。
−図3に二重矢印によって示すように−圧力の方向とは無関係にプロセスチャン
バ11,12,13を密閉することができ、プロセスチャンバ11,12,13
(図2)内に形成される異なるプロセス雰囲気を作り出す。ドア機構14は、こ
こでは二重作動型シリンダによって形成された作動装置39、ガイド装置40お
よびドアパネル41を有し、ドアパネル41はガイド装置40によってプロセス
チャンバ壁43のドア開口部42に対して行ったり来たりする。図3の図面にお
いて、ドアパネル41はプロセスチャンバ壁43のシール配置部の前方に向かっ
て位置している。ガイド装置40は、ドア開口部42の平面と平行に配置された
スライドロッド44を有し、このスライドロッド44に沿ってダブルニーレバー
45がスライドブロック46によって案内されている。ドアパネル41を開放位
置から閉止位置に移動させるために、スライドブロック46が上方のスライドス
トップ47から下方に向かって移動し始め、下方のスライドストップ48に到達
した後、作動シリンダーピストン49を作動させることでの移動動作がダブルニ
ーレバー45に直接作用し、ドアパネル41がプロセスチャンバ壁43に向かっ
て移動して遂には密閉が確保される。
に説明する。図4Aは加熱装置24を基本的配置で示し、ここでは加熱プレート
26がキャリア装置18の下方にキャリア装置18から距離d1だけ離れて位置
している。図4Aにさらに示すように、キャリア装置18は移送装置27によっ
て加熱装置24と比較して関連する位置に保持され、移送装置27はこの場合プ
ロセスチャンバ11,12および13の近傍で回転する送給ビレット28および
29によって形成されている。
れた昇降機構25上に配置され、スプリング構造体31内に収容された温度セン
サ32を有している。図4Aに示す基本的配置においてスプリング構造体31に
は応力がかからず、したがって、温度センサ32は加熱プレート26の接触面3
3の外方に突出して配置されている。
26の接触面33がキャリア装置18の下面34上にあるように加熱プレート2
6が位置し、熱を熱拡散によって加熱プレート26からキャリア装置18に効率
良く伝達している。同時に、温度センサ32は、そのセンサ表面35が接触面3
3と面一に配置された状態で接触面33の中に入り込んで位置しており、かくし
て、センサ表面35をキャリア装置18の下面34上に同様に位置させている。
温度センサ32がキャリア装置18の所望の温度を決定するまで加熱プレート2
6を一定の温度で作動すると共に、図4Bに示す接触位置にとどまらせる。次い
で、加熱プレート26は、図4Cに示す温度制御用配置に移行し、ここでは加熱
プレート26の接触表面33がキャリア装置18の下面34から距離d2だけ離
れており、これによってスプリング構造体31によって付勢された温度センサ3
2は、そのセンサ表面35がキャリア装置18に接触したままとなる。加熱プレ
ート26の図示した温度制御用配置において、加熱プレート26はラジエータ装
置としてのみ作用し、放射を介してキャリア装置18における熱吸収を可能にす
る。これは、キャリアの温度が、キャリア装置18上において一定温度で作動す
る加熱プレート26を連続的にくっ付けることで所望の温度以上に上昇するのを
防止する。以下において、キャリア装置18の下面34と加熱プレート26の接
触面33との間の距離d2の変化は、ここでは詳細には示さないが必要なたびご
とにセッティング装置によってキャリア装置の公称温度に対する温度センサ32
によって決定された温度差に依存して設定され、したがってキャリア装置18の
公称温度が溶融チャンバ12内の溶融手順を実現するのに必要なキャリア装置1
8の滞在時間中維持される。
ト上に作用する昇降装置25の代わりに移送装置27すなわち送給ビレット28
,29上に作用する昇降装置50を設けた距離変更装置によって行っても良い。
本質的に一定温度で作動される加熱プレート26で温度制御するのに必要不可欠
なことは、加熱プレート26とキャリア装置18すなわちはんだ材料キャリアと
の間の相対的な距離を変更できることである。
置18上に配置されている放射パネルヒーティング36のような付加的な加熱装
置によって必要に応じて更に補完することができる。放射パネルヒーティング3
6は、その作動方法において加熱装置24の距離制御に対応する距離制御を備え
ることもできる。
に、キャリア装置18が冷却チャンバ13に移送され、ここでは溶融チャンバ1
2におけるプロセス雰囲気に対応するか異なるプロセス雰囲気を作り上げること
ができる。冷却チャンバ13は冷却装置37を備え、冷却装置37は図4A乃至
図4Cに詳細に示した加熱装置24に距離制御に関してその構成および動作方法
において特に対応している。冷却装置37は、冷気放射と冷気拡散との結合によ
って、例えば所定の冷却曲線を遂げることでキャリア装置18の規定の冷却を可
能にする。加熱装置24と同様に、冷却装置37もまた一定温度で制御され、キ
ャリア装置18の温度が冷却プレート38とキャリア装置18との間の距離の変
更または調整によって影響を受けるようにできる。
示したラジエータ装置を加熱用配置で示し、図4Cは、図4Aに示したラジエー
タ装置を温度制御用配置で示す。
Claims (16)
- 【請求項1】 はんだ材料と前記はんだ材料用キャリアとして使用される少
なくとも1つの部品または加工品との間に、前記はんだ材料キャリア上に配置さ
れたはんだ材料を溶融することによってはんだ接合部を特に形成するための加工
品または部品の熱処理方法であって、 少なくとも1つの部品は周囲雰囲気から遮断されたプロセス雰囲気中で加熱さ
れる方法において、 続くステップにおいて周囲環境から遮断されたプロセス雰囲気中で部品を冷却
し、これによって互いに独立しているプロセスチャンバ(12,13)内におい
て部品を加熱しかつ冷却することを特徴とする方法。 - 【請求項2】 請求項1に記載の方法であって、部品の加熱に先立つ手順ス
テップにおいて、 分離したプロセスチャンバ(11)において還元プロセス雰囲気または不活性プ
ロセス雰囲気にあてることで、および/または放射を介してまたは材料によって
部品を準備することを特徴とする方法。 - 【請求項3】 請求項1または請求項2に記載の方法であって、 真空をプロセス雰囲気中またはプロセスチャンバ(11,12,13)内におい
て形成することを特徴とする方法。 - 【請求項4】 請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の方法であって、プ
ロセス雰囲気を保護ガス雰囲気として構成していることを特徴とする方法。 - 【請求項5】 請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の方法であって、 部品を加熱するためおよび/または部品を冷却するための温度付与を加熱または
冷却できる温度調節装置(24,37)によって行い、加熱または冷却のための
前記温度調節装置を本質的に一定の温度で作動させることを特徴とする方法。 - 【請求項6】 請求項5に記載の方法であって、温度調節装置をラジエータ
装置として作動し、部品の温度を部品からラジエータ装置までの距離によって調
整することを特徴とする方法。 - 【請求項7】 請求項6に記載の方法であって、 ラジエータ装置(24,37)を接触装置(33)と結合させて、加熱または冷
却の開始フェーズの少なくとも1つにおいて熱または冷気を伝達することによっ
て温度を与えることを特徴とする方法。 - 【請求項8】 加熱チャンバまたは溶融チャンバ(12)を有し、請求項1
乃至請求項7のいずれかに記載の方法を効果あらしめる装置であって、 部品の加熱が、はんだ材料キャリアとして作用する部品上に配置されるはんだ
接合部を作るために、特にはんだ材料を溶融するために行われる装置において、 部品を冷却するための冷却チャンバ(13)が加熱チャンバまたは溶融チャン
バ(12)に接続され、これによって加熱チャンバまたは溶融チャンバおよび冷
却チャンバが互いに独立したプロセスチャンバを形成することを特徴とする装置
。 - 【請求項9】 請求項8に記載の装置であって、 溶融チャンバ(12)と独立したプロセスチャンバを形成する準備チャンバ(
11)が、はんだ接合部のためのはんだ材料キャリアを準備するために溶融チャ
ンバ(12)の前方に配置されていることを特徴とする装置。 - 【請求項10】 請求項8または請求項9に記載の装置であって、 プロセスチャンバ(11,12,13)が、ドア機構(14,15,16,17
)を介して互いに接合されるモジュールユニットとして構成されていることを特
徴とする装置。 - 【請求項11】 請求項10に記載の装置であって、 プロセスチャンバ(11,12,13)がモジュール方式で構成され、ドア機
構(14,15,16,17)がプロセスチャンバを形成するためにチャンバモ
ジュール(21,22,23)と結合するドアモジュールとして構成されている
ことを特徴とする装置。 - 【請求項12】 請求項8乃至請求項11のいずれかに記載の装置であって
、 少なくとも加熱チャンバまたは溶融チャンバ(12)としての役割を果たすプ
ロセスチャンバおよび/または冷却チャンバ(13)としての役割を果たすプロ
セスチャンバが、キャリア装置(18)上に配置された部品に温度を与えるため
のラジエータ装置(24,37)を備え、 ラジエータ装置は距離変更装置によってキャリア装置(18)または部品から
の距離を変えることができることを特徴とする装置。 - 【請求項13】 請求項12に記載の装置であって、 ラジエータ装置(24,37)が、キャリア装置(18)又は部品に熱放散に
よって温度を与えるように接触装置(33)を有することを特徴とする装置。 - 【請求項14】 請求項12または請求項13に記載の装置であって、 ラジエータ装置(24,37)が、表面が接触装置(33)として作用する温
度調節プレート(26,38)を有することを特徴とする装置。 - 【請求項15】 請求項12乃至請求項14のいずれかに記載の装置であっ
て、 キャリア装置(18)が温度センサ(32)を備え、温度センサ(32)の出力
信号が、キャリア装置(18)に対するラジエータ装置(24,37)の距離を
変えるための変化する修正量を規定する役目を果たすことを特徴とする装置。 - 【請求項16】 請求項8乃至請求項11のいずれかに記載の装置であって
、 キャリア装置(18)が読み取り装置と協働する情報媒体を備え、キャリア装
置(18)が最初のプロセスチャンバ(11,12,13)に入った後に、最初
にかつ続いて配置されたプロセスチャンバにおけるプロセスの運転が情報媒体に
含まれた情報によって制御されることを特徴とする装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19953654A DE19953654A1 (de) | 1999-11-08 | 1999-11-08 | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung einer Lotverbindung |
DE19953654.6 | 1999-11-08 | ||
PCT/DE2000/003848 WO2001034334A1 (de) | 1999-11-08 | 2000-11-02 | Verfahren und vorrichtung zur herstellung einer lotverbindung |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003517376A true JP2003517376A (ja) | 2003-05-27 |
JP4727110B2 JP4727110B2 (ja) | 2011-07-20 |
Family
ID=7928273
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001536316A Expired - Lifetime JP4727110B2 (ja) | 1999-11-08 | 2000-11-02 | はんだ接合部の製造方法および製造装置 |
Country Status (19)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6796483B1 (ja) |
EP (1) | EP1233841B1 (ja) |
JP (1) | JP4727110B2 (ja) |
KR (1) | KR100645984B1 (ja) |
CN (1) | CN1275730C (ja) |
AT (1) | ATE297829T1 (ja) |
AU (1) | AU779191B2 (ja) |
CA (1) | CA2390498C (ja) |
CZ (1) | CZ302495B6 (ja) |
DE (2) | DE19953654A1 (ja) |
DK (1) | DK1233841T3 (ja) |
ES (1) | ES2243338T3 (ja) |
HU (1) | HU225907B1 (ja) |
IL (2) | IL149489A0 (ja) |
MX (1) | MXPA02004579A (ja) |
NO (1) | NO323074B1 (ja) |
PL (1) | PL194904B1 (ja) |
PT (1) | PT1233841E (ja) |
WO (1) | WO2001034334A1 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004358519A (ja) * | 2003-06-04 | 2004-12-24 | Furukawa Sky Kk | アルミニウム材のろう付け方法 |
JP2009538739A (ja) * | 2006-05-29 | 2009-11-12 | ピンク ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクター ハフツング ヴァクームテヒニク | 特にはんだ接続に用いられる熱処理方法及び熱処理装置 |
JP2014060401A (ja) * | 2012-09-17 | 2014-04-03 | Psk Inc | 連続線形熱処理装置の配列 |
JP2015009262A (ja) * | 2013-07-01 | 2015-01-19 | 三菱電機株式会社 | リフロー装置 |
JP2021507814A (ja) * | 2017-12-29 | 2021-02-25 | シャンドン ツァイジュー エレクトロニック テクノロジー カンパニー リミテッド | 真空溶接炉制御システム及びその制御方法 |
Families Citing this family (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3770238B2 (ja) * | 2002-03-22 | 2006-04-26 | セイコーエプソン株式会社 | 電子デバイス製造装置および電子デバイスの製造方法 |
DE10304774B3 (de) * | 2003-02-05 | 2004-07-15 | Pink Gmbh Vakuumtechnik | Verfahren und Vorrichtung zur Temperaturbeaufschlagung von Werkstücken |
DE102004047359B3 (de) * | 2004-09-29 | 2006-01-26 | eupec Europäische Gesellschaft für Leistungshalbleiter mbH | Verfahren und Vorrichtung zur Regelung und Überwachung eines Lötprozesses |
US7845540B2 (en) * | 2005-08-30 | 2010-12-07 | Micron Technology, Inc. | Systems and methods for depositing conductive material into openings in microfeature workpieces |
EP2029307B1 (de) | 2006-05-29 | 2011-03-02 | Kirsten Soldering AG | Lötanlage mit lötmodulen und mindestens einer mobilen und auswechselbar in einem lötmodul einsetzbaren lötstation ; entsprechende stand-by station |
CN101454107B (zh) * | 2006-05-29 | 2013-03-27 | 平克塞莫系统有限公司 | 对工件或元件进行温度处理的方法和装置 |
DE102006034600B4 (de) * | 2006-07-26 | 2010-01-14 | Infineon Technologies Ag | Verfahren zur Herstellung einer Lötverbindung |
US7793819B2 (en) | 2007-03-19 | 2010-09-14 | Infineon Technologies Ag | Apparatus and method for connecting a component with a substrate |
KR101370807B1 (ko) * | 2007-08-29 | 2014-03-07 | 에이씨엠 리서치 (상하이) 인코포레이티드 | 반도체 워크피스 열처리 방법 및 장치 |
DE102008021240B4 (de) * | 2008-04-28 | 2012-11-22 | Ersa Gmbh | Vorrichtung zur thermischen Behandlung von Werkstücken und Verfahren zur Bestimmung der thermischen Prozessstabilität in einer solchen Vorrichtung |
DE102011081606B4 (de) * | 2011-08-26 | 2022-08-04 | Infineon Technologies Ag | Kühlvorrichtung und Lötanlage |
CN102896391B (zh) * | 2012-10-15 | 2015-10-07 | 泗阳群鑫电子有限公司 | 一种链式真空炉 |
DE102014106631B4 (de) | 2013-05-10 | 2021-12-02 | Seho Systemtechnik Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen von Lötverbindungen |
US9733130B2 (en) * | 2013-05-10 | 2017-08-15 | Illinois Tool Works Inc. | Temperature sensor belt |
JP6533579B2 (ja) | 2014-12-09 | 2019-06-19 | ピンク ゲーエムベーハー テルモジステーメPink Gmbh Thermosysteme | 電気構成部品のはんだ付け接続を行うための熱伝達装置 |
DE102016103213A1 (de) * | 2016-02-24 | 2017-08-24 | Semikron Elektronik Gmbh & Co. Kg | Vorrichtung, Verfahren und Anlage zur der inhomogenen Abkühlung eines flächigen Gegenstandes |
CN109059543A (zh) * | 2018-07-16 | 2018-12-21 | 苏州洛特兰新材料科技有限公司 | 一种用于陶瓷材料生产的工业窑炉 |
DE102019211212A1 (de) * | 2019-07-29 | 2021-02-04 | Rehm Thermal Systems Gmbh | Mechatronischer Vorhang für eine Prozesskammer zur Durchführung thermischer Prozesse in der Fertigung elektronischer Baugruppen |
CN113543514B (zh) * | 2020-04-15 | 2022-09-23 | 昆山达菲乐电子产品有限公司 | 回焊炉 |
US11998999B2 (en) * | 2020-05-15 | 2024-06-04 | Pink Gmbh Thermosysteme | Soldering or sintering system with plurality of modules and temperature control |
CN115922172B (zh) * | 2023-03-14 | 2023-06-02 | 无锡昌鼎电子有限公司 | 一种在线式真空焊接炉组装设备及其组装方法 |
CN117139941A (zh) * | 2023-10-30 | 2023-12-01 | 北京中科同志科技股份有限公司 | 真空系统及其工作方法 |
Family Cites Families (38)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3882596A (en) * | 1972-11-09 | 1975-05-13 | Vaw Ver Aluminium Werke Ag | Method of flux-free soldering of aluminum-containing workpieces in a controlled atmosphere |
JPS5091031A (ja) * | 1973-12-17 | 1975-07-21 | ||
US3926415A (en) * | 1974-01-23 | 1975-12-16 | Park Ohio Industries Inc | Method and apparatus for carbonizing and degassing workpieces |
JPS54118358A (en) * | 1978-03-07 | 1979-09-13 | Toyo Radiator Kk | Production of aluminum heat exchanger |
JPS54125832A (en) * | 1978-03-23 | 1979-09-29 | Tobishima Construct Co Ltd | Yoke for slip form |
CS201367B1 (en) * | 1978-11-17 | 1980-11-28 | Jozef Husar | Method of capillary soldering of hollow steel products particularly the cover knifes in the vacuum or in the protective atmosphere of inert gas |
JPS58217625A (ja) * | 1982-06-09 | 1983-12-17 | Daido Steel Co Ltd | 熱処理装置 |
US4568277A (en) * | 1983-12-20 | 1986-02-04 | International Business Machines Corporation | Apparatus for heating objects to and maintaining them at a desired temperature |
JPS61125618A (ja) | 1984-11-24 | 1986-06-13 | Ohkura Electric Co Ltd | パタ−ン切換式温度制御装置 |
JPS61206667A (ja) * | 1985-03-09 | 1986-09-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ドツトプリンタ用印字ヘツド |
US4804128A (en) | 1986-12-04 | 1989-02-14 | General Motors Corporation | Vacuum brazing of aluminum alloy workpieces |
JPS63177961A (ja) * | 1987-01-19 | 1988-07-22 | Koki:Kk | 予熱ヒ−タ自動制御方法 |
DE3737563A1 (de) * | 1987-11-05 | 1989-05-18 | Ernst Hohnerlein | Loetmaschine |
JPH0714353Y2 (ja) * | 1988-07-08 | 1995-04-05 | 中外炉工業株式会社 | ローラハース型熱処理炉 |
JP2858009B2 (ja) * | 1988-08-02 | 1999-02-17 | 利光 武者 | ゆらぎ照明装置 |
JPH0244694A (ja) * | 1988-08-04 | 1990-02-14 | Matsushita Graphic Commun Syst Inc | 原稿照明装置 |
DE3843191C2 (de) * | 1988-12-22 | 1994-09-15 | Broadcast Television Syst | Vorrichtung zum Löten |
JP2750747B2 (ja) * | 1989-09-20 | 1998-05-13 | 日本真空技術株式会社 | 連続式真空ろう付炉 |
DE3934103A1 (de) * | 1989-10-12 | 1991-04-25 | Ipsen Ind Int Gmbh | Ofen zur partiellen waermebehandlung von werkzeugen |
US5341980A (en) * | 1990-02-19 | 1994-08-30 | Hitachi, Ltd. | Method of fabricating electronic circuit device and apparatus for performing the same method |
JP3066436B2 (ja) * | 1990-09-05 | 2000-07-17 | 東洋ラジエーター株式会社 | 熱交換器の真空ろう付け方法 |
US5128506A (en) * | 1990-10-30 | 1992-07-07 | Westinghouse Electric Corp. | Method and apparatus for selective infrared soldering using shielding fixtures |
CS609090A3 (en) * | 1990-12-07 | 1992-06-17 | Vyzk Ustav Zvaracsky | Process of cladding metallic materials with a solder foil |
US5516031A (en) * | 1991-02-19 | 1996-05-14 | Hitachi, Ltd. | Soldering method and apparatus for use in connecting electronic circuit devices |
US5147083A (en) * | 1991-09-25 | 1992-09-15 | General Motors Corporation | Method and apparatus for convection brazing of aluminum heat exchangers |
JPH05308186A (ja) * | 1991-11-06 | 1993-11-19 | Sanden Corp | ろう付加熱装置 |
JPH05161961A (ja) * | 1991-11-14 | 1993-06-29 | Tamura Seisakusho Co Ltd | リフロー炉 |
NL9202279A (nl) * | 1992-07-29 | 1994-02-16 | Soltec Bv | Reflow-soldeermachine. |
JPH07115169B2 (ja) * | 1992-08-11 | 1995-12-13 | 株式会社サーマル | ろう付け連続装置 |
US5439160A (en) * | 1993-03-31 | 1995-08-08 | Siemens Corporate Research, Inc. | Method and apparatus for obtaining reflow oven settings for soldering a PCB |
US5341978A (en) | 1993-08-16 | 1994-08-30 | General Motors Corporation | Braze furnace with improved inert gas system |
DE4432730A1 (de) | 1994-09-14 | 1996-03-21 | Emitec Emissionstechnologie | Verfahren zur Herstellung einer metallischen Struktur |
JPH08125099A (ja) * | 1994-10-28 | 1996-05-17 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法 |
DE29505496U1 (de) * | 1995-03-31 | 1995-06-01 | Ipsen Industries International GmbH, 47533 Kleve | Vorrichtung zur Wärmebehandlung metallischer Werkstücke unter Vakuum |
JP2793528B2 (ja) * | 1995-09-22 | 1998-09-03 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション | ハンダ付け方法、ハンダ付け装置 |
JPH10339377A (ja) * | 1997-06-06 | 1998-12-22 | Nec Corp | ゲートバルブ |
US6039236A (en) * | 1997-06-11 | 2000-03-21 | Soltec B.V. | Reflow soldering apparatus with improved cooling |
JPH1177294A (ja) * | 1997-08-28 | 1999-03-23 | Toyota Motor Corp | 減圧ロウ付け方法 |
-
1999
- 1999-11-08 DE DE19953654A patent/DE19953654A1/de not_active Ceased
-
2000
- 2000-11-02 WO PCT/DE2000/003848 patent/WO2001034334A1/de active IP Right Grant
- 2000-11-02 JP JP2001536316A patent/JP4727110B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2000-11-02 HU HU0203145A patent/HU225907B1/hu unknown
- 2000-11-02 DK DK00988556T patent/DK1233841T3/da active
- 2000-11-02 CA CA002390498A patent/CA2390498C/en not_active Expired - Lifetime
- 2000-11-02 CN CNB008154392A patent/CN1275730C/zh not_active Expired - Lifetime
- 2000-11-02 IL IL14948900A patent/IL149489A0/xx active IP Right Grant
- 2000-11-02 MX MXPA02004579A patent/MXPA02004579A/es active IP Right Grant
- 2000-11-02 PL PL355529A patent/PL194904B1/pl unknown
- 2000-11-02 AU AU25010/01A patent/AU779191B2/en not_active Ceased
- 2000-11-02 AT AT00988556T patent/ATE297829T1/de active
- 2000-11-02 DE DE50010577T patent/DE50010577D1/de not_active Expired - Lifetime
- 2000-11-02 EP EP00988556A patent/EP1233841B1/de not_active Expired - Lifetime
- 2000-11-02 ES ES00988556T patent/ES2243338T3/es not_active Expired - Lifetime
- 2000-11-02 CZ CZ20021603A patent/CZ302495B6/cs not_active IP Right Cessation
- 2000-11-02 PT PT00988556T patent/PT1233841E/pt unknown
- 2000-11-02 KR KR1020027005763A patent/KR100645984B1/ko active IP Right Grant
- 2000-11-02 US US10/129,575 patent/US6796483B1/en not_active Expired - Lifetime
-
2002
- 2002-05-03 NO NO20022132A patent/NO323074B1/no not_active IP Right Cessation
- 2002-05-06 IL IL149489A patent/IL149489A/en not_active IP Right Cessation
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004358519A (ja) * | 2003-06-04 | 2004-12-24 | Furukawa Sky Kk | アルミニウム材のろう付け方法 |
JP4537019B2 (ja) * | 2003-06-04 | 2010-09-01 | 古河スカイ株式会社 | アルミニウム材のろう付け方法 |
JP2009538739A (ja) * | 2006-05-29 | 2009-11-12 | ピンク ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクター ハフツング ヴァクームテヒニク | 特にはんだ接続に用いられる熱処理方法及び熱処理装置 |
JP2014060401A (ja) * | 2012-09-17 | 2014-04-03 | Psk Inc | 連続線形熱処理装置の配列 |
JP2015009262A (ja) * | 2013-07-01 | 2015-01-19 | 三菱電機株式会社 | リフロー装置 |
JP2021507814A (ja) * | 2017-12-29 | 2021-02-25 | シャンドン ツァイジュー エレクトロニック テクノロジー カンパニー リミテッド | 真空溶接炉制御システム及びその制御方法 |
JP7165738B2 (ja) | 2017-12-29 | 2022-11-04 | シャンドン ツァイジュー エレクトロニック テクノロジー カンパニー リミテッド | 真空溶接炉制御システム及びその制御方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
IL149489A (en) | 2006-10-31 |
MXPA02004579A (es) | 2004-09-10 |
PL355529A1 (en) | 2004-05-04 |
DE19953654A1 (de) | 2001-05-23 |
CA2390498A1 (en) | 2001-05-17 |
CN1387468A (zh) | 2002-12-25 |
NO20022132L (no) | 2002-05-03 |
PL194904B1 (pl) | 2007-07-31 |
NO20022132D0 (no) | 2002-05-03 |
ATE297829T1 (de) | 2005-07-15 |
EP1233841A1 (de) | 2002-08-28 |
NO323074B1 (no) | 2006-12-27 |
AU2501001A (en) | 2001-06-06 |
CZ302495B6 (cs) | 2011-06-15 |
EP1233841B1 (de) | 2005-06-15 |
JP4727110B2 (ja) | 2011-07-20 |
US6796483B1 (en) | 2004-09-28 |
CN1275730C (zh) | 2006-09-20 |
AU779191B2 (en) | 2005-01-13 |
HUP0203145A2 (en) | 2002-12-28 |
DE50010577D1 (de) | 2005-07-21 |
KR20020062935A (ko) | 2002-07-31 |
IL149489A0 (en) | 2002-11-10 |
PT1233841E (pt) | 2005-09-30 |
KR100645984B1 (ko) | 2006-11-13 |
CZ20021603A3 (cs) | 2003-05-14 |
WO2001034334A1 (de) | 2001-05-17 |
HU225907B1 (en) | 2007-12-28 |
ES2243338T3 (es) | 2005-12-01 |
DK1233841T3 (da) | 2005-10-10 |
CA2390498C (en) | 2009-06-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2003517376A (ja) | はんだ接合部の製造方法および製造装置 | |
KR100507892B1 (ko) | 금속제품의 성형방법과 그 장치 | |
US7669452B2 (en) | Titanium stretch forming apparatus and method | |
CA2463894C (en) | Process of forming tubular member | |
CA2650508C (en) | Method and device for heat treatment, especially connection by soldering | |
SG99968A1 (en) | Repair of single crystal nickel based superalloy article | |
DE102006034600A1 (de) | Verfahren zur Herstellung einer Lötverbindung | |
WO2022074443A1 (en) | A method of manufacturing a metallic component by additive manufacturing process and a system thereof | |
JP3252737B2 (ja) | リフロー式はんだ付方法及びワーク搬送治具 | |
JPH05203363A (ja) | リフロー雰囲気炉における高温ガスの供給装置 | |
IT1255769B (it) | Metodo per la costruzione di circuiti ibridi con componenti su entrambe le facce di un substrato, alcuni dei quali richiedono una atmosfera inerte. |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050401 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7426 Effective date: 20050602 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20050602 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080312 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080314 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20080611 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20080702 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20080711 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20080729 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20080804 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20080811 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080912 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090622 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20090918 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20090930 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20091021 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20091028 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20091119 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20091127 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091221 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100126 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20100422 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20100430 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20100521 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20100528 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20100625 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20100709 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100722 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20100722 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20100722 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100929 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110128 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20110207 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110324 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110413 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4727110 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140422 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R3D02 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |