JP2750747B2 - 連続式真空ろう付炉 - Google Patents

連続式真空ろう付炉

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JP2750747B2
JP2750747B2 JP1244666A JP24466689A JP2750747B2 JP 2750747 B2 JP2750747 B2 JP 2750747B2 JP 1244666 A JP1244666 A JP 1244666A JP 24466689 A JP24466689 A JP 24466689A JP 2750747 B2 JP2750747 B2 JP 2750747B2
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丈夫 加藤
治 大久保
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Nihon Shinku Gijutsu KK
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Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) この発明は連続式真空ろう付炉に関するものである。
(従来の技術) 従来の真空ろう付炉は第6図に示されるようなバッチ
式の炉であって、ろう付炉1内には開口部を断熱扉2で
閉じた箱型の断熱箱3が配置され、その断熱箱3内には
被処理物4が配置され、その被処理物4はヒータ5で加
熱されるようになっている。断熱箱3外には熱交換器6
と冷却ファン7とが配置され、断熱扉2を開いて断熱箱
3内でろう付けされた被処理物4を強制冷却するように
している。なお、図中、8は前扉である。
したがって、上記真空ろう付炉においては、被処理物
4を断熱箱3内に配置した後、その断熱箱3内で脱脂又
は脱ガス→昇温→ろう付温度での一定時間保持→後冷
(ろうを固める)→強制冷却という処理工程を行い、被
処理物4が大気に触れても劣化しない温度になってか
ら、前扉8を開いて、被処理物4をろう付炉1より取り
出していた。
(発明が解決しようとする課題) 従来の真空ろう付炉は、上記のような処理工程を行
う、被処理物4が大気に触れても劣化しない温度になっ
てから、被処理物4をろう付炉1より取り出すようにし
ているので、大量生産を必要とするような鉄系の真空部
品の生産には適さない問題があった。また、同じ断熱箱
3内で脱脂又は脱ガスと、ろう付とがなされるため、断
熱箱3内の雰囲気が早く悪くなり、メインテナンスを早
いサイクルで繰り返さないと、被処理物4の品質を保て
なくなる問題があった。更に、被処理物4を1個処理す
る毎に、強制冷却を行うことにしているので、被処理物
41個当たりの電気使用量が大きくなって、ランニングコ
ストが高くなる問題があった。
この発明の目的は、従来の問題を解決して、大量生産
を可能にして、被処理物の品質を向上させ、ランニング
コストを低減しうる連続式真空ろう付炉を提供すること
にある。
(課題を解決するための手段) 上記目的を達成するために、この発明の連続式真空ろ
う付炉は、被処理物の脱ガスや脱脂をする準備室と、内
部に備えられた分割された加熱器からの加熱で被処理物
をろう付けするろう付室と、冷却用ガスで被処理物を冷
却する冷却室とを仕切弁で仕切りながら、前記準備室、
前記ろう付室、前記冷却の順序で配列すると共に、この
ような順序で配列された前記準備室、前記ろう付室、前
記冷却室に真空排気経路をそれぞれ接続し、更に、少な
くとも前記ろう付室だけにはキャリヤガス導入経路を接
続し、前記被処理物を前記ろう付室へ移動させるときに
は、前記キャリヤガス導入経路から前記ろう付室にキャ
リヤガスを導入し、該キャリヤガスを前記準備室の方向
に流れるようにしたことを特徴とするものである。
(作用) この発明の連続式真空ろう付炉においては、準備室で
脱ガスや脱脂の行われた被処理物を、ろう付室で加熱し
てろう付けした後、ろうを固めるために冷却室で被処理
物を強制冷却してから、大気中に取り出すようにしてい
る。そして、被処理物を準備室よりろう付室に移動させ
るとき、キャリヤガス導入経路からろう付室にキャリヤ
ガスを導入し、このキャリヤガスをろう付室より準備室
の方向に流れるようにしているので、脱ガスや脱脂によ
り汚染されたガスはろう付室に流れ込まなくなる。ま
た、ろう付室でのろう付け後、ろう付室に大量のキャリ
ヤガスを導入しながら、そのキャリヤガスをろう付室に
接続された真空排気経路より排気するときには、キャリ
ヤガスによって、被処理物の徐冷が短時間で行われるよ
うになる。
(実施例) 以下、この発明の実施例について図面を参照しながら
説明する。
第1図はこの発明の実施例を示しており、同図におい
て、準備室11、予熱室12、ろう付室13、放冷室14、冷却
室15の順序で配列がなされ、各室は仕切弁16で仕切られ
ている。準備室11はその内部においてヒータ17aが配置
され、そのヒータ17aからの加熱によって被処理物18が
脱ガスや脱脂されるようになっている。予熱室12もその
内部においてヒータ17bが配置され、そのヒータ17bから
の加熱によって被処理物18が予熱されるようになってい
る。ろう付室13はその内部において3分割されたヒータ
17c1、17c2、17c3が配置され、各ヒータ17c1、17c2、17
c3はそれぞれ別個に温度調節が可能で、各ヒータ17c1
17c2、17c3からの加熱によって被処理物18がろう付けさ
れるようになっている。放冷室14は被処理物18が徐冷さ
れるようになっている。冷却室15内には熱交換器19と冷
却ファン20とが配置され、被処理物18を強制冷却できる
ようにしている。準備室11、予熱室12、ろう付室13、放
冷室14、冷却室15には真空排気経路21a、21b、21c、21
d、21eがそれぞれ接続されている。22a、22b、22c、22
d、22eは真空ポンプである。予熱室12にはキャリヤガス
導入経路23aが接続され、また、ろう付室13にはキャリ
ヤガスを大流量に流すことを可能にするため、2系統の
キャリヤガス導入経路23b、23cが接続されている。
次に、作用について説明する。
まず、準備室11内に被処理物18を入れ、そこでヒータ
17aからの熱を使って被処理物18を脱ガスまたは脱脂す
る。次に、仕切弁16を開いて被処理物18を予熱室12に搬
送し、予熱室12内にキャリヤガス導入経路23aより不活
性ガスを導入しながらヒータ17bからの加熱によって被
処理物18を予熱する。その次に、仕切弁16を開いて被処
理物18をろう付室13に搬送し、ろう付室13内にキャリヤ
ガス導入経路23bより不活性ガスを導入して0.1Torr程度
にし、ヒータ17c1、17c2、17c3からの加熱によって被処
理物18をろう付けする。ろう付け後、ヒータ17c1、17
c2、17c3への電源を切ってから、キャリヤガス導入経路
23cより不活性ガスを更に導入し、被処理物18のろうを
ある程度固める。そのため、被処理物の徐冷が短時間化
する。更にその次に、被処理物18を放冷室14に搬送し
て、そこで被処理物18を放冷する。その次に、仕切弁16
を開いて被処理物18を冷却室15に搬送し、そこで被処理
物18を熱交換器19で冷却された気体で強制冷却して、被
処理物18を100℃以下にする。その次に、仕切弁16を開
いて被処理物18を大気中に取り出す。なお、被処理物18
を予熱室12からろう付室13に搬送するときには、ろう付
室13に導入された不活性ガスが予熱室12に流れ、予熱室
12に接続された真空排気経路22bより排気されるように
なっている。そのため、脱ガスや脱脂により汚染された
ガスはろう付室13に流れ込まなくなる。
次に、第2図〜第5図はその他の実施例を示してお
り、これらの図において、31は脱ガス室、32は徐冷室で
ある。その他の符号で第1図の符号と同一のものはこれ
と同一につきその説明を省略する。
(発明の効果) この発明は、上記のようにバッチ式ではなく、各室が
順序よく配列されているので、被処理物の大量生産が可
能になると共に、ランニングコストが低減するようにな
る。更に、脱ガスや脱脂により汚染されたガスはろう付
室に流れ込まなくなるので、被処理物の品質を向上させ
ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の実施例を示す説明図である。第2
図、第3図、第4図、第5図はこの発明のその他の実施
例を示す説明図である。第6図は従来の真空ろう付炉を
示す説明図である。 図中、 11……準備室 12……予熱室 13……ろう付室 14……放冷室 15……冷却室 16……仕切弁 17a……ヒータ 17b……ヒータ 17c1……ヒータ 17c2……ヒータ 17c3……ヒータ 18……被処理物 21a……真空排気経路 21b……真空排気経路 21c……真空排気経路 21d……真空排気経路 21e……真空排気経路 23a……キャリヤガス導入経路 23b……キャリヤガス導入経路 23c……キャリヤガス導入経路

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】被処理物の脱ガスや脱脂をする準備室と、
    内部に備えられた分割された加熱器からの加熱で被処理
    物をろう付けするろう付室と、冷却用ガスで被処理物を
    冷却する冷却室とを仕切弁で仕切りながら、前記準備
    室、前記ろう付室、前記冷却室の順序で配列すると共
    に、このような順序で配列された前記準備室、前記ろう
    付室、前記冷却室に真空排気経路をそれぞれ接続し、更
    に、少なくとも前記ろう付室だけにはキャリヤガス導入
    経路を接続し、前記被処理物を前記ろう付室へ移動させ
    るときには、前記キャリヤガス導入経路から前記ろう付
    室にキャリヤガスを導入し、該キャリヤガスを前記準備
    室の方向に流れるようにしたことを特徴とする連続式真
    空ろう付炉。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4432730A1 (de) * 1994-09-14 1996-03-21 Emitec Emissionstechnologie Verfahren zur Herstellung einer metallischen Struktur
DE19953654A1 (de) 1999-11-08 2001-05-23 Pink Gmbh Vakuumtechnik Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung einer Lotverbindung
DE102006029593A1 (de) * 2006-05-29 2007-12-13 Pink Gmbh Vakuumtechnik Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung einer Lotverbindung
DE102006042501B4 (de) * 2006-09-07 2010-11-25 Eisenmann Anlagenbau Gmbh & Co. Kg Verfahren und Anlage zum Trocknen von Gegenständen
JP2009226456A (ja) * 2008-03-24 2009-10-08 Toyota Motor Corp 接合構造体の製造方法および接合装置
CN102896391B (zh) * 2012-10-15 2015-10-07 泗阳群鑫电子有限公司 一种链式真空炉
CN103056473B (zh) * 2013-01-07 2015-08-26 山东高唐杰盛半导体科技有限公司 一种连续式真空焊接炉及其焊接方法
CN110961737B (zh) * 2019-11-25 2022-03-08 佛山市泓实机械制造有限公司 用于空调热交换器的一体化生产线脱脂钎焊加工工艺

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5146551A (ja) * 1974-10-18 1976-04-21 Nippon Denso Co Shinkuro
JPS5750132Y2 (ja) * 1979-06-13 1982-11-02

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101341757B1 (ko) 2010-09-28 2013-12-13 주식회사 하이박 진공 브레이징로의 냉각장치

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