JP6514841B1

JP6514841B1 - 光モジュール

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Publication number: JP6514841B1
Application number: JP2019503580A
Authority: JP
Inventors: 智史鈴木; 恭輔港谷; 達哉杉本
Original assignee: Hamamatsu Photonics KK
Current assignee: Hamamatsu Photonics KK
Priority date: 2017-07-06
Filing date: 2018-07-06
Publication date: 2019-05-15
Anticipated expiration: 2038-07-06
Also published as: EP3650913A4; JP2019139236A; US20210132364A1; EP3650915A4; JP2019074763A; JP7233365B2; JP7413475B2; CN114815223A; EP3650820A1; WO2019009402A1; US20200124473A1; EP3650907A4; EP4300058A2; US20200142155A1; CN110770625B; EP3650907A1; EP3650820A4; US11054309B2; JPWO2019009399A1; EP3650909A4

Abstract

光モジュールは、ミラーユニットと、ビームスプリッタユニットと、を備える。ミラーユニットは、主面を有するベースと、可動ミラーと、第１固定ミラーと、駆動部と、を有する。ビームスプリッタユニットは、可動ミラー及び第１固定ミラーと共に測定光について第１干渉光学系を構成している。可動ミラーのミラー面及び第１固定ミラーのミラー面は、主面に平行な平面に沿っており、主面に垂直な第１方向における一方の側に向いている。可動ミラー及び駆動部、並びに、ビームスプリッタユニットと第１固定ミラーとの間の光路の少なくとも一部は、気密空間に配置されている。

Description

本開示は、光モジュールに関する。

ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）技術によってＳＯＩ（Silicon On Insulator）基板に干渉光学系が形成された光モジュールが知られている（例えば、特許文献１参照）。このような光モジュールは、高精度な光学配置が実現されたＦＴＩＲ（フーリエ変換型赤外分光分析器）を提供し得るため、注目されている。

特表２０１２−５２４２９５号公報

しかし、上述したような光モジュールには、例えば可動ミラーのミラー面のサイズがＳＯＩ基板に対する深堀加工の達成度に依存する点で、次のような課題がある。すなわち、ＳＯＩ基板に対する深堀加工の達成度は最大でも５００μｍ程度であるため、可動ミラーのミラー面の大型化によってＦＴＩＲにおける感度を向上させるのには限界がある。その一方で、ミラー面の大型化に伴って可動ミラーが大型化すると、可動ミラーの可動性能が低下したり、モジュール全体が大型化したりするおそれがある。

本開示は、可動ミラーのミラー面の大型化を図りつつも、可動ミラーの可動性能の低下及びモジュール全体の大型化を抑制することができる光モジュールを提供することを目的とする。

本開示の一側面の光モジュールは、ミラーユニットと、ビームスプリッタユニットと、を備え、ミラーユニットは、主面を有するベースと、主面に平行な平面に沿ったミラー面を有し、主面に垂直な第１方向に沿って移動可能となるようにベースにおいて支持された可動ミラーと、主面に平行な平面に沿ったミラー面を有し、ベースに対する位置が固定された第１固定ミラーと、第１方向に沿って可動ミラーを移動させる駆動部と、を有し、ビームスプリッタユニットは、可動ミラー及び第１固定ミラーと共に測定光について第１干渉光学系を構成しており、可動ミラーのミラー面及び第１固定ミラーのミラー面は、第１方向における一方の側に向いており、ミラーユニットにおいては、可動ミラー及び駆動部、並びに、ビームスプリッタユニットと第１固定ミラーとの間の光路の少なくとも一部が、気密空間に配置されている。

この光モジュールでは、可動ミラーが、ベースの主面に平行な平面に沿ったミラー面を有している。これにより、可動ミラーのミラー面の大型化を図ることができる。また、ミラーユニットにおいて、可動ミラー及び駆動部が、気密空間に配置されている。これにより、可動ミラーを移動させる駆動部が外部環境の影響を受け難くなるため、可動ミラーの可動性能が低下するのを抑制することができる。更に、可動ミラーのミラー面及び第１固定ミラーのミラー面が、第１方向における一方の側に向いている。これにより、例えば、可動ミラーのミラー面及び第１固定ミラーのミラー面が互いに直交する位置関係にある場合に比べ、第１方向におけるミラーユニットの高さを抑えることができる。しかも、ビームスプリッタユニットと第１固定ミラーとの間の光路の少なくとも一部が、気密空間に配置されている。これにより、第１方向に垂直な方向おけるミラーユニットの幅を抑えることができる。以上により、この光モジュールによれば、可動ミラーのミラー面の大型化を図りつつも、可動ミラーの可動性能の低下及びモジュール全体の大型化を抑制することができる。

本開示の一側面の光モジュールでは、ミラーユニットは、光透過性を有する支持体を更に有し、ベースは、支持体によって支持されており、第１固定ミラーは、支持体におけるベースとは反対側の表面に配置されており、支持体は、ビームスプリッタユニットと可動ミラーとの間の第１光路と、ビームスプリッタユニットと第１固定ミラーとの間の第２光路との間の光路差を補正してもよい。これによれば、測定光の干渉光を容易に且つ高精度で得ることができる。しかも、光路差を補正する光透過部材を別途設ける必要もない。

本開示の一側面の光モジュールでは、ミラーユニットは、ベース、可動ミラー、第１固定ミラー、駆動部及び支持体を収容するパッケージを更に有し、パッケージは、光透過性を有する壁を含み、ビームスプリッタユニットは、壁によって支持されており、気密空間は、パッケージによって形成されていてもよい。これによれば、光透過性を有する壁を含む簡易なパッケージによって、気密空間の形成及びビームスプリッタユニットの支持の両方を実現することができる。

本開示の一側面の光モジュールでは、ミラーユニットは、ベース、可動ミラー、第１固定ミラー、駆動部及び支持体を収容するパッケージを更に有し、パッケージは、第１光路及び第２光路が通る少なくとも１つの開口が形成された壁を含み、ビームスプリッタユニットは、少なくとも１つの開口を塞いだ状態で、壁によって支持されており、気密空間は、パッケージ及びビームスプリッタユニットによって形成されていてもよい。これによれば、少なくとも１つの開口が形成された壁を含む簡易なパッケージによって、気密空間の形成及びビームスプリッタユニットの支持の両方を実現することができる。

本開示の一側面の光モジュールでは、ミラーユニットは、ベース、可動ミラー、第１固定ミラー、駆動部及び支持体を収容するパッケージと、ビームスプリッタユニットを支持する支持構造と、を更に有し、パッケージは、光透過性を有する壁を含み、ビームスプリッタユニットは、壁から離間した状態で、支持構造によって支持されており、気密空間は、パッケージによって形成されていてもよい。これによれば、ビームスプリッタユニットを支持する支持構造がパッケージとは別に設けられているため、ビームスプリッタユニットのレイアウトの自由度を向上させることができる。

本開示の一側面の光モジュールでは、ミラーユニットは、光透過性を有する壁を更に有し、ビームスプリッタユニットは、壁によって支持されており、気密空間は、ベース、支持体及び壁によって形成されていてもよい。これによれば、ベース及び支持体が、気密空間を形成するパッケージの一部として機能するため、例えば、ベース及び支持体を収容するパッケージを別途設ける場合に比べ、モジュール全体の大型化を抑制することができる。

本開示の一側面の光モジュールでは、ミラーユニットは、第１光路及び第２光路が通る少なくとも１つの開口が形成された壁を更に有し、ビームスプリッタユニットは、少なくとも１つの開口を塞いだ状態で、壁によって支持されており、気密空間は、ベース、支持体、壁及びビームスプリッタユニットによって形成されていてもよい。これによれば、ベース及び支持体が、気密空間を形成するパッケージの一部として機能するため、例えば、ベース及び支持体を収容するパッケージを別途設ける場合に比べ、モジュール全体の大型化を抑制することができる。

本開示の一側面の光モジュールでは、ミラーユニットは、光透過性を有する壁と、ビームスプリッタユニットを支持する支持構造と、を更に有し、ビームスプリッタユニットは、壁から離間した状態で、支持構造によって支持されており、気密空間は、ベース、支持体及び壁によって形成されていてもよい。これによれば、ベース及び支持体が、気密空間を形成するパッケージの一部として機能するため、例えば、ベース及び支持体を収容するパッケージを別途設ける場合に比べ、モジュール全体の大型化を抑制することができる。また、ミラーユニットが、光透過性を有する壁とは別に、ビームスプリッタユニットを支持する支持構造を含むため、ビームスプリッタユニットのレイアウトの自由度を向上させることができる。

本開示の一側面の光モジュールでは、ミラーユニットにおいては、可動ミラーのミラー面及び第１固定ミラーのミラー面が、主面に平行な同一の平面に沿って配置されており、ビームスプリッタユニットは、ビームスプリッタユニットと可動ミラーとの間の第１光路と、ビームスプリッタユニットと第１固定ミラーとの間の第２光路との間の光路差を補正してもよい。これによれば、例えば、光路差を補正する光透過部材を別途設ける場合に比べ、第１方向におけるミラーユニットの高さを抑えることができる。

本開示の一側面の光モジュールでは、ミラーユニットは、ベース、可動ミラー、第１固定ミラー及び駆動部を収容するパッケージを更に有し、パッケージは、光透過性を有する壁を含み、ビームスプリッタユニットは、壁によって支持されており、気密空間は、パッケージによって形成されていてもよい。これによれば、光透過性を有する壁を含む簡易なパッケージによって、気密空間の形成及びビームスプリッタユニットの支持の両方を実現することができる。

本開示の一側面の光モジュールでは、ミラーユニットは、ベース、可動ミラー、第１固定ミラー及び駆動部を収容するパッケージを更に有し、パッケージは、第１光路及び第２光路が通る少なくとも１つの開口が形成された壁を含み、ビームスプリッタユニットは、少なくとも１つの開口を塞いだ状態で、壁によって支持されており、気密空間は、パッケージ及びビームスプリッタユニットによって形成されていてもよい。これによれば、少なくとも１つの開口が形成された壁を含む簡易なパッケージによって、気密空間の形成及びビームスプリッタユニットの支持の両方を実現することができる。

本開示の一側面の光モジュールでは、ミラーユニットは、ベース、可動ミラー、第１固定ミラー及び駆動部を収容するパッケージを更に有し、パッケージは、光透過性を有する壁と、ビームスプリッタユニットを支持する支持構造と、を含み、ビームスプリッタユニットは、壁から離間した状態で、支持構造によって支持されており、気密空間は、パッケージによって形成されていてもよい。これによれば、パッケージが、光透過性を有する壁とは別に、ビームスプリッタユニットを支持する支持構造を含むため、ビームスプリッタユニットのレイアウトの自由度を向上させることができる。

本開示の一側面の光モジュールでは、ミラーユニットは、光透過性を有する壁を更に有し、ビームスプリッタユニットは、壁によって支持されており、気密空間は、ベース及び壁によって形成されていてもよい。これによれば、ベースが、気密空間を形成するパッケージの一部として機能するため、例えば、ベースを収容するパッケージを別途設ける場合に比べ、モジュール全体の大型化を抑制することができる。

本開示の一側面の光モジュールでは、ミラーユニットは、第１光路及び第２光路が通る少なくとも１つの開口が形成された壁を更に有し、ビームスプリッタユニットは、少なくとも１つの開口を塞いだ状態で、壁によって支持されており、気密空間は、ベース、壁及びビームスプリッタユニットによって形成されていてもよい。これによれば、ベースが、気密空間を形成するパッケージの一部として機能するため、例えば、ベースを収容するパッケージを別途設ける場合に比べ、モジュール全体の大型化を抑制することができる。

本開示の一側面の光モジュールでは、ミラーユニットは、光透過性を有する壁と、ビームスプリッタユニットを支持する支持構造と、を更に有し、ビームスプリッタユニットは、壁から離間した状態で、支持構造によって支持されており、気密空間は、ベース及び壁によって形成されていてもよい。これによれば、ベースが、気密空間を形成するパッケージの一部として機能するため、例えば、ベースを収容するパッケージを別途設ける場合に比べ、モジュール全体の大型化を抑制することができる。また、ミラーユニットが、光透過性を有する壁とは別に、ビームスプリッタユニットを支持する支持構造を含むため、ビームスプリッタユニットのレイアウトの自由度を向上させることができる。

本開示の一側面の光モジュールは、外部から第１干渉光学系に測定光を入射させるように配置された測定光入射部と、第１干渉光学系から外部に測定光を出射させるように配置された測定光出射部と、を更に備えてもよい。これによれば、測定光入射部及び測定光出射部を備えるＦＴＩＲを得ることができる。

本開示の一側面の光モジュールでは、ビームスプリッタユニットは、可動ミラー及び第１固定ミラーと共にレーザ光について第２干渉光学系を構成していてもよい。これによれば、レーザ光の干渉光を検出することで、可動ミラーのミラー面の位置を精度良く計測することができる。また、ビームスプリッタユニットが、可動ミラー及び第１固定ミラーと共に、測定光についての第１干渉光学系、及びレーザ光についての第２干渉光学系を構成している。そのため、ミラーユニットにおいて部品点数を減少させることができる。

本開示の一側面の光モジュールでは、ミラーユニットは、主面に平行な平面に沿ったミラー面を有し、ベースに対する位置が固定された第２固定ミラーを更に有し、ビームスプリッタユニットは、可動ミラー及び第２固定ミラーと共にレーザ光について第２干渉光学系を構成しており、第２固定ミラーのミラー面は、第１方向における一方の側に向いており、ミラーユニットにおいては、可動ミラー及び駆動部、ビームスプリッタユニットと第１固定ミラーとの間の光路の少なくとも一部、並びに、ビームスプリッタユニットと第２固定ミラーとの間の光路の少なくとも一部が、気密空間に配置されていてもよい。これによれば、レーザ光の干渉光を検出することで、可動ミラーのミラー面の位置を精度良く計測することができる。また、第２固定ミラーのミラー面が、第１固定ミラーのミラー面と同様に、第１方向における一方の側に向いている。そのため、例えば、可動ミラーのミラー面及び第２固定ミラーのミラー面が互いに直交する位置関係にある場合に比べ、第１方向におけるミラーユニットの高さを抑えることができる。しかも、ビームスプリッタユニットと第２固定ミラーとの間の光路の少なくとも一部が、ビームスプリッタユニットと第１固定ミラーとの間の光路の少なくとも一部と同様に、気密空間に配置されている。これにより、第１方向に垂直な方向おけるミラーユニットの幅を抑えることができる。

本開示の一側面の光モジュールは、第２干渉光学系に入射させるレーザ光を発生する光源と、第２干渉光学系から出射されたレーザ光を検出する光検出器と、を更に備えてもよい。これによれば、レーザ光を検出することで可動ミラーの位置を精度良く計測することができるので、より高精度のＦＴＩＲを得ることができる。

本開示の一側面の光モジュールでは、ベース、可動ミラーの可動部、及び駆動部は、ＳＯＩ基板によって構成されてもよい。これによれば、可動ミラーの確実な移動のための構成をＳＯＩ基板によって好適に実現することができる。

本開示によれば、可動ミラーのミラー面の大型化を図りつつも、可動ミラーの可動性能の低下及びモジュール全体の大型化を抑制することができる光モジュールを提供することが可能となる。

図１は、第１実施形態の光モジュールの縦断面図である。図２は、図１に示される光モジュールが備える光学デバイスの縦断面図である。図３は、図２に示される光学デバイスの平面図である。図４は、図１に示される光モジュールの変形例の縦断面図である。図５は、第２実施形態の光モジュールの縦断面図である。図６は、図５に示される光モジュールの変形例の縦断面図である。図７は、第３実施形態の光モジュールの縦断面図である。図８は、図７に示される光モジュールの変形例の縦断面図である。図９は、第４実施形態の光モジュールの縦断面図である。図１０は、図９に示される光モジュールの変形例の縦断面図である。図１１は、図９に示される光モジュールの変形例の縦断面図である。図１２は、第５実施形態の光モジュールの縦断面図である。図１３は、図１２に示される光モジュールの変形例の縦断面図である。図１４は、第６実施形態の光モジュールの縦断面図である。図１５は、図１４に示される光モジュールの変形例の縦断面図である。図１６は、第７実施形態の光モジュールの縦断面図である。図１７は、図１６に示される光モジュールの変形例の縦断面図である。図１８は、第８実施形態の光モジュールの縦断面図である。図１９は、図１８に示される光モジュールの変形例の縦断面図である。図２０は、図７〜図１１に示される光学デバイスの平面図である。

以下、本開示の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する部分を省略する。
［第１実施形態］
［光モジュールの構成］

図１に示されるように、光モジュール１Ａは、ミラーユニット２及びビームスプリッタユニット３を備えている。ミラーユニット２は、光学デバイス１０及び固定ミラー（第１固定ミラー）２１を有している。光学デバイス１０は、可動ミラー１１を含んでいる。光モジュール１Ａでは、ビームスプリッタユニット３、可動ミラー１１及び固定ミラー２１によって、測定光Ｌ０について干渉光学系（第１干渉光学系）Ｉ１が構成されている。干渉光学系Ｉ１は、ここでは、マイケルソン干渉光学系である。

光学デバイス１０は、可動ミラー１１に加え、ベース１２、駆動部１３、第１光学機能部１７及び第２光学機能部１８を含んでいる。ベース１２は、主面１２ａを有している。可動ミラー１１は、主面１２ａに平行な平面に沿ったミラー面１１ａを有している。可動ミラー１１は、主面１２ａに垂直なＺ軸方向（Ｚ軸に平行な方向、第１方向）に沿って移動可能となるようにベース１２において支持されている。駆動部１３は、Ｚ軸方向に沿って可動ミラー１１を移動させる。第１光学機能部１７は、Ｚ軸方向から見た場合に、Ｚ軸方向に垂直なＸ軸方向（Ｘ軸に平行な方向、第２方向）における可動ミラー１１の一方の側に配置されている。第２光学機能部１８は、Ｚ軸方向から見た場合に、Ｘ軸方向における可動ミラー１１の他方の側に配置されている。第１光学機能部１７及び第２光学機能部１８のそれぞれは、ベース１２に設けられた光通過開口部であり、Ｚ軸方向における一方の側及び他方の側に開口している。

固定ミラー２１は、主面１２ａに平行な平面に沿ったミラー面２１ａを有している。固定ミラー２１は、ベース１２に対する位置が固定されている。ミラーユニット２においては、可動ミラー１１のミラー面１１ａ及び固定ミラー２１のミラー面２１ａが、Ｚ軸方向における一方の側（ビームスプリッタユニット３側）に向いている。

ミラーユニット２は、光学デバイス１０及び固定ミラー２１に加え、支持体２２、サブマウント２３及びパッケージ２４を有している。パッケージ２４は、光学デバイス１０（可動ミラー１１、ベース１２及び駆動部１３）、固定ミラー２１、支持体２２及びサブマウント２３を収容している。パッケージ２４は、底壁２４１、側壁２４２及び天壁（壁）２４３を含んでいる。パッケージ２４は、例えば、直方体箱状に形成されている。パッケージ２４は、例えば、３０×２５×１０（厚さ）ｍｍ程度のサイズを有している。底壁２４１及び側壁２４２は、一体的に形成されている。天壁２４３は、Ｚ軸方向において底壁２４１と対向しており、側壁２４２に気密に固定されている。天壁２４３は、測定光Ｌ０に対して光透過性を有している。ミラーユニット２では、パッケージ２４によって気密空間Ｓが形成されている。気密空間Ｓは、例えば、高い真空度が維持された気密な空間、或いは窒素等の不活性ガスが充填された気密な空間である。

底壁２４１の内面には、サブマウント２３を介して、支持体２２が固定されている。支持体２２は、例えば、矩形板状に形成されている。支持体２２は、測定光Ｌ０に対して光透過性を有している。支持体２２におけるサブマウント２３とは反対側の表面２２ａには、光学デバイス１０のベース１２が固定されている。つまり、ベース１２は、支持体２２によって支持されている。支持体２２の表面２２ａには、凹部２２ｂが形成されており、光学デバイス１０と天壁２４３との間には、隙間（気密空間Ｓの一部）が形成されている。これにより、可動ミラー１１がＺ軸方向に沿って移動させられた際に、可動ミラー１１及び駆動部１３が支持体２２及び天壁２４３に接触することが防止される。

サブマウント２３には、開口２３ａが形成されている。固定ミラー２１は、開口２３ａ内に位置するように、支持体２２におけるサブマウント２３側の表面２２ｃに配置されている。つまり、固定ミラー２１は、支持体２２におけるベース１２とは反対側の表面２２ｃに配置されている。固定ミラー２１は、Ｚ軸方向から見た場合に、Ｘ軸方向における可動ミラー１１の一方の側に配置されている。固定ミラー２１は、Ｚ軸方向から見た場合に、光学デバイス１０の第１光学機能部１７と重なっている。

ミラーユニット２は、複数のリードピン２５及び複数のワイヤ２６を更に有している。各リードピン２５は、底壁２４１を貫通した状態で、底壁２４１に気密に固定されている。各リードピン２５は、ワイヤ２６を介して駆動部１３と電気的に接続されている。ミラーユニット２では、可動ミラー１１をＺ軸方向に沿って移動させるための電気信号が、複数のリードピン２５及び複数のワイヤ２６を介して駆動部１３に付与される。

ビームスプリッタユニット３は、パッケージ２４の天壁２４３によって支持されている。具体的には、ビームスプリッタユニット３は、天壁２４３における光学デバイス１０とは反対側の表面２４３ａに光学樹脂４によって固定されている。光学樹脂４は、測定光Ｌ０に対して光透過性を有している。

ビームスプリッタユニット３は、ハーフミラー面３１、全反射ミラー面３２及び複数の光学面３３ａ，３３ｂ，３３ｃ，３３ｄを有している。ビームスプリッタユニット３は、複数の光学ブロックが接合されることで構成されている。ハーフミラー面３１は、例えば誘電体多層膜によって形成されている。全反射ミラー面３２は、例えば金属膜によって形成されている。

光学面３３ａは、例えばＺ軸方向に垂直な面であり、Ｚ軸方向から見た場合に光学デバイス１０の第１光学機能部１７及び固定ミラー２１のミラー面２１ａと重なっている。光学面３３ａは、Ｚ軸方向に沿って入射した測定光Ｌ０を透過させる。

ハーフミラー面３１は、例えば光学面３３ａに対して４５°傾斜した面であり、Ｚ軸方向から見た場合に光学デバイス１０の第１光学機能部１７及び固定ミラー２１のミラー面２１ａと重なっている。ハーフミラー面３１は、Ｚ軸方向に沿って光学面３３ａに入射した測定光Ｌ０の一部をＸ軸方向に沿って反射し且つ当該測定光Ｌ０の残部をＺ軸方向に沿って固定ミラー２１側に透過させる。

全反射ミラー面３２は、ハーフミラー面３１に平行な面であり、Ｚ軸方向から見た場合に可動ミラー１１のミラー面１１ａと重なっており且つＸ軸方向から見た場合にハーフミラー面３１と重なっている。全反射ミラー面３２は、ハーフミラー面３１によって反射された測定光Ｌ０の一部をＺ軸方向に沿って可動ミラー１１側に反射する。

光学面３３ｂは、光学面３３ａに平行な面であり、Ｚ軸方向から見た場合に可動ミラー１１のミラー面１１ａと重なっている。光学面３３ｂは、全反射ミラー面３２によって反射された測定光Ｌ０の一部をＺ軸方向に沿って可動ミラー１１側に透過させる。

光学面３３ｃは、光学面３３ａに平行な面であり、Ｚ軸方向から見た場合に固定ミラー２１のミラー面２１ａと重なっている。光学面３３ｃは、ハーフミラー面３１を透過した測定光Ｌ０の残部をＺ軸方向に沿って固定ミラー２１側に透過させる。

光学面３３ｄは、例えばＸ軸方向に垂直な面であり、Ｘ軸方向から見た場合にハーフミラー面３１及び全反射ミラー面３２と重なっている。光学面３３ｄは、測定光Ｌ１をＸ軸方向に沿って透過させる。測定光Ｌ１は、可動ミラー１１のミラー面１１ａ及び全反射ミラー面３２で順次に反射されてハーフミラー面３１を透過した測定光Ｌ０の一部と、固定ミラー２１のミラー面２１ａ及びハーフミラー面３１で順次に反射された測定光Ｌ０の残部との干渉光である。

以上のように構成された光モジュール１Ａでは、光モジュール１Ａの外部から光学面３３ａを介してビームスプリッタユニット３に測定光Ｌ０が入射すると、測定光Ｌ０の一部は、ハーフミラー面３１及び全反射ミラー面３２で順次に反射されて、可動ミラー１１のミラー面１１ａに向かって進行する。そして、測定光Ｌ０の一部は、可動ミラー１１のミラー面１１ａで反射されて、同一の光路（後述する光路Ｐ１）上を逆方向に進行し、ビームスプリッタユニット３のハーフミラー面３１を透過する。

一方、測定光Ｌ０の残部は、ビームスプリッタユニット３のハーフミラー面３１を透過した後、第１光学機能部１７を通過し、更に、支持体２２を透過して、固定ミラー２１のミラー面２１ａに向かって進行する。そして、測定光Ｌ０の残部は、固定ミラー２１のミラー面２１ａで反射されて、同一の光路（後述する光路Ｐ２）上を逆方向に進行し、ビームスプリッタユニット３のハーフミラー面３１で反射される。

ビームスプリッタユニット３のハーフミラー面３１を透過した測定光Ｌ０の一部と、ビームスプリッタユニット３のハーフミラー面３１で反射された測定光Ｌ０の残部とは、干渉光である測定光Ｌ１となり、測定光Ｌ１は、ビームスプリッタユニット３から光学面３３ｄを介して光モジュール１Ａの外部に出射する。光モジュール１Ａによれば、Ｚ軸方向に沿って可動ミラー１１を高速で往復動させることができるので、小型且つ高精度のＦＴＩＲを提供することができる。

支持体２２は、ビームスプリッタユニット３と可動ミラー１１との間の光路（第１光路）Ｐ１と、ビームスプリッタユニット３と固定ミラー２１との間の光路（第２光路）Ｐ２との間の光路差を補正する。具体的には、光路Ｐ１は、ハーフミラー面３１から、全反射ミラー面３２及び光学面３３ｂを順次に介して、基準位置に位置する可動ミラー１１のミラー面１１ａに至る光路であって、測定光Ｌ０の一部が進行する光路である。光路Ｐ２は、ハーフミラー面３１から、光学面３３ｃ及び第１光学機能部１７を順次に介して、固定ミラー２１のミラー面２１ａに至る光路であって、測定光Ｌ０の残部が進行する光路である。支持体２２は、光路Ｐ１の光路長（光路Ｐ１が通る各媒質の屈折率を考慮した光路長）と光路Ｐ２の光路長（光路Ｐ２が通る各媒質の屈折率を考慮した光路長）との差が小さくなるように、光路Ｐ１と光路Ｐ２との間の光路差を補正する。支持体２２は、例えば、ビームスプリッタユニット３を構成する各光学ブロックと同一の光透過性材料によって形成することができる。その場合、支持体２２の厚さ（Ｚ軸方向における長さ）は、Ｘ軸方向におけるハーフミラー面３１と全反射ミラー面３２との距離と同一とすることができる。なお、ミラーユニット２においては、可動ミラー１１、駆動部１３、光路Ｐ１の一部、及び、光路Ｐ２の一部が、気密空間Ｓに配置されている。
［光学デバイスの構成］

図２及び図３に示されるように、ベース１２、可動ミラー１１の可動部、駆動部１３及び第１光学機能部１７及び第２光学機能部１８は、ＳＯＩ基板５０によって構成されている。つまり、光学デバイス１０は、ＳＯＩ基板５０によって構成されている。光学デバイス１０は、例えば、矩形板状に形成されている。光学デバイス１０は、例えば、１５×１０×０．３（厚さ）ｍｍ程度のサイズを有している。ＳＯＩ基板５０は、支持層５１、デバイス層５２及び中間層５３を含んでいる。具体的には、支持層５１は、ＳＯＩ基板５０の第１シリコン層である。デバイス層５２は、ＳＯＩ基板５０の第２シリコン層である。中間層５３は、ＳＯＩ基板５０の絶縁層であり、支持層５１とデバイス層５２との間に配置されている。可動ミラー１１及び駆動部１３は、ＭＥＭＳ技術（パターニング及びエッチング）によってデバイス層５２の一部に一体的に形成されている。

ベース１２は、支持層５１、デバイス層５２及び中間層５３によって形成されている。ベース１２の主面１２ａは、デバイス層５２における中間層５３とは反対側の表面である。ベース１２において主面１２ａと対向する主面１２ｂは、支持層５１における中間層５３とは反対側の表面である。光モジュール１Ａでは、ベース１２の主面１２ａと支持体２２の表面２２ａとが互いに接合されている（図１参照）。

可動ミラー１１は、可動部である本体部１１１及び壁部１１２を有している。本体部１１１は、デバイス層５２によって形成されている。本体部１１１における主面１２ｂ側の表面１１１ａには、金属膜が形成されることで、ミラー面１１ａが設けられている。壁部１１２は、支持層５１及び中間層５３によって形成されている。壁部１１２は、本体部１１１の表面１１１ａに設けられている。壁部１１２は、Ｚ軸方向から見た場合にミラー面１１ａを包囲している。一例として、壁部１１２は、Ｚ軸方向から見た場合に、本体部１１１の外縁の内側において当該外縁に沿うように、且つ、Ｚ軸方向から見た場合に、ミラー面１１ａの外縁の外側において当該外縁に沿うように、本体部１１１の表面１１１ａに設けられている。

可動ミラー１１は、可動部である一対のブラケット１１３及び一対のブラケット１１４を更に有している。一対のブラケット１１３及び一対のブラケット１１４は、デバイス層５２によって形成されている。一対のブラケット１１３は、第１光学機能部１７側に突出するように、本体部１１１の側面のうち第１光学機能部１７側の領域に設けられている。各ブラケット１１３は、Ｚ軸方向から見た場合に、同一の側にクランク状に屈曲した形状を呈している。一対のブラケット１１４は、第２光学機能部１８（第１光学機能部１７とは反対側）側に突出するように、本体部１１１の側面のうち第２光学機能部１８側の領域に設けられている。各ブラケット１１４は、Ｚ軸方向から見た場合に、同一の側（ただし、各ブラケット１１３とは反対側）にクランク状に屈曲した形状を呈している。

駆動部１３は、第１弾性支持部１４、第２弾性支持部１５及びアクチュエータ部１６を有している。第１弾性支持部１４、第２弾性支持部１５及びアクチュエータ部１６は、デバイス層５２によって形成されている。

第１弾性支持部１４及び第２弾性支持部１５は、ベース１２及び可動ミラー１１に接続されている。第１弾性支持部１４及び第２弾性支持部１５は、Ｚ軸方向に沿って移動可能となるように可動ミラー１１を支持している。

第１弾性支持部１４は、一対の第１レバー１４１、一対の第２レバー１４２、複数のトーションバー１４３，１４４，１４５、複数のリンク１４６，１４７及び一対のブラケット１４８を含んでいる。一対の第１レバー１４１は、可動ミラー１１から、Ｚ軸方向及びＸ軸方向に垂直なＹ軸方向（Ｙ軸に平行な方向、第３方向）における第１光学機能部１７の両側に、ベース１２の主面１２ａに沿って延在している。本実施形態では、一対の第１レバー１４１は、可動ミラー１１と第１光学機能部１７との間から、Ｙ軸方向における第１光学機能部１７の両側に、ベース１２の主面１２ａに沿って延在している。一対の第１レバー１４１は、Ｚ軸方向から見た場合に、第１光学機能部１７の縁に沿って延在している。一対の第２レバー１４２は、Ｙ軸方向における第１光学機能部１７の両側から、可動ミラー１１側に、ベース１２の主面１２ａに沿って延在している。一対の第２レバー１４２は、Ｚ軸方向から見た場合に、一対の第１レバー１４１の外側においてＸ軸方向に沿って延在している。

リンク１４６は、各第１レバー１４１における可動ミラー１１側の端部１４１ａ間に掛け渡されている。リンク１４７は、各第２レバー１４２における可動ミラー１１とは反対側の端部１４２ａ間に掛け渡されている。各リンク１４６，１４７は、Ｚ軸方向から見た場合に、第１光学機能部１７の縁に沿って延在している。一対のブラケット１４８は、可動ミラー１１側に突出するように、リンク１４６における可動ミラー１１側の側面に設けられている。各ブラケット１４８は、Ｚ軸方向から見た場合に、同一の側（ただし、各ブラケット１１３とは反対側）にクランク状に屈曲した形状を呈している。一方のブラケット１４８の先端部は、Ｙ軸方向において一方のブラケット１１３の先端部と対向している。他方のブラケット１４８の先端部は、Ｙ軸方向において他方のブラケット１１３の先端部と対向している。

一方のブラケット１４８の先端部と一方のブラケット１１３の先端部との間、及び、他方のブラケット１４８の先端部と他方のブラケット１１３の先端部との間には、それぞれ、トーションバー１４３が掛け渡されている。互いに反対側にクランク状に屈曲したブラケット１４８とブラケット１１３との間に、トーションバー１４３が掛け渡されている。つまり、各第１レバー１４１の端部１４１ａは、一対のトーションバー１４３を介して可動ミラー１１に接続されている。一対のトーションバー１４３は、Ｙ軸方向に平行な同一の軸線上に配置されている。

一方の第１レバー１４１における可動ミラー１１とは反対側の端部１４１ｂと一方の第２レバー１４２の端部１４２ａとの間、及び、他方の第１レバー１４１における可動ミラー１１とは反対側の端部１４１ｂと他方の第２レバー１４２の端部１４２ａとの間には、それぞれ、トーションバー１４４が掛け渡されている。つまり、各第１レバー１４１の端部１４１ｂは、一対のトーションバー１４４を介して各第２レバー１４２の端部１４２ａに接続されている。一対のトーションバー１４４は、Ｙ軸方向に平行な同一の軸線上に配置されている。

一方の第２レバー１４２における可動ミラー１１側の端部１４２ｂとベース１２との間、及び、他方の第２レバー１４２における可動ミラー１１側の端部１４２ｂとベース１２との間には、それぞれ、トーションバー１４５が掛け渡されている。つまり、各第２レバー１４２の端部１４２ｂは、一対のトーションバー１４５を介してベース１２に接続されている。一対のトーションバー１４５は、Ｙ軸方向に平行な同一の軸線上に配置されている。

第２弾性支持部１５は、一対の第３レバー１５１、一対の第４レバー１５２、複数のトーションバー１５３，１５４，１５５、複数のリンク１５６，１５７及び一対のブラケット１５８を含んでいる。一対の第３レバー１５１は、可動ミラー１１から、Ｙ軸方向における第２光学機能部１８の両側に、ベース１２の主面１２ａに沿って延在している。本実施形態では、一対の第３レバー１５１は、可動ミラー１１と第２光学機能部１８との間から、Ｙ軸方向における第２光学機能部１８の両側に延在している。一対の第３レバー１５１は、Ｚ軸方向から見た場合に、第２光学機能部１８の縁に沿って延在している。一対の第４レバー１５２は、Ｙ軸方向における第２光学機能部１８の両側から、可動ミラー１１側に、ベース１２の主面１２ａに沿って延在している。一対の第４レバー１５２は、Ｚ軸方向から見た場合に、一対の第３レバー１５１の外側においてＸ軸方向に沿って延在している。

リンク１５６は、各第３レバー１５１における可動ミラー１１側の端部１５１ａ間に掛け渡されている。リンク１５７は、各第４レバー１５２における可動ミラー１１とは反対側の端部１５２ａ間に掛け渡されている。各リンク１５６，１５７は、Ｚ軸方向から見た場合に、第２光学機能部１８の縁に沿って延在している。一対のブラケット１５８は、可動ミラー１１側に突出するように、リンク１５６における可動ミラー１１側の側面に設けられている。各ブラケット１５８は、Ｚ軸方向から見た場合に、同一の側（ただし、各ブラケット１１４とは反対側）にクランク状に屈曲した形状を呈している。一方のブラケット１５８の先端部は、Ｙ軸方向において一方のブラケット１１４の先端部と対向している。他方のブラケット１５８の先端部は、Ｙ軸方向において他方のブラケット１１４の先端部と対向している。

一方のブラケット１５８の先端部と一方のブラケット１１４の先端部との間、及び、他方のブラケット１５８の先端部と他方のブラケット１１４の先端部との間には、それぞれ、トーションバー１５３が掛け渡されている。互いに反対側にクランク状に屈曲したブラケット１５８とブラケット１１４との間に、トーションバー１５３が掛け渡されている。つまり、各第３レバー１５１の端部１５１ａは、一対のトーションバー１５３を介して可動ミラー１１に接続されている。一対のトーションバー１５３は、Ｙ軸方向に平行な同一の軸線上に配置されている。

一方の第３レバー１５１における可動ミラー１１とは反対側の端部１５１ｂと一方の第４レバー１５２の端部１５２ａとの間、及び、他方の第３レバー１５１における可動ミラー１１とは反対側の端部１５１ｂと他方の第４レバー１５２の端部１５２ａとの間には、それぞれ、トーションバー１５４が掛け渡されている。つまり、各第３レバー１５１の端部１５１ｂは、一対のトーションバー１５４を介して各第４レバー１５２の端部１５２ａに接続されている。一対のトーションバー１５４は、Ｙ軸方向に平行な同一の軸線上に配置されている。

一方の第４レバー１５２における可動ミラー１１側の端部１５２ｂとベース１２との間、及び、他方の第４レバー１５２における可動ミラー１１側の端部１５２ｂとベース１２との間には、それぞれ、トーションバー１５５が掛け渡されている。つまり、各第４レバー１５２の端部１５２ｂは、一対のトーションバー１５５を介してベース１２に接続されている。一対のトーションバー１５５は、Ｙ軸方向に平行な同一の軸線上に配置されている。

第１光学機能部１７は、少なくとも、一対の第１レバー１４１及び複数のリンク１４６，１４７によって、画定されている。第１弾性支持部１４において、Ｘ軸方向における各第１レバー１４１の長さＡ１は、ミラー面１１ａの外縁と第１光学機能部１７の縁との間の最短距離Ｄ１（Ｚ軸方向から見た場合における最短距離）よりも大きい。Ｙ軸方向における一対の第１レバー１４１間の最大距離Ｄ２は、Ｙ軸方向における第１光学機能部１７の最大幅Ｗ１（Ｚ軸方向から見た場合における最大幅）に等しい。第１光学機能部１７の縁のうちミラー面１１ａに最も近い部分から、各第１レバー１４１の端部１４１ｂまでの距離Ｄ３（Ｚ軸方向から見た場合における距離）は、第１光学機能部１７の縁のうちミラー面１１ａから最も遠い部分から、各第１レバー１４１の端部１４１ｂまでの距離Ｄ４（Ｚ軸方向から見た場合における距離）よりも大きい。

第２光学機能部１８は、少なくとも、一対の第３レバー１５１及び複数のリンク１５６，１５７によって、画定されている。第２弾性支持部１５において、Ｘ軸方向における各第３レバー１５１の長さＡ２は、ミラー面１１ａの外縁と第２光学機能部１８の縁との間の最短距離Ｄ５（Ｚ軸方向から見た場合における最短距離）よりも大きい。Ｙ軸方向における一対の第３レバー１５１間の最大距離Ｄ６は、Ｙ軸方向における第２光学機能部１８の最大幅Ｗ２（Ｚ軸方向から見た場合における最大幅）に等しい。第２光学機能部１８の縁のうちミラー面１１ａに最も近い部分から、各第３レバー１５１の端部１５１ｂまでの距離Ｄ７（Ｚ軸方向から見た場合における距離）は、第２光学機能部１８の縁のうちミラー面１１ａから最も遠い部分から、各第３レバー１５１の端部１５１ｂまでの距離Ｄ８（Ｚ軸方向から見た場合における距離）よりも大きい。

第１弾性支持部１４と第２弾性支持部１５とは、可動ミラー１１の中心を通り且つＸ軸方向に垂直な平面に関しても、また、可動ミラー１１の中心を通り且つＹ軸方向に垂直な平面に関しても、互いに対称の構造を有していない。ただし、第１弾性支持部１４のうち一対のブラケット１４８を除いた部分と、第２弾性支持部１５のうち一対のブラケット１５８を除いた部分とは、可動ミラー１１の中心を通り且つＸ軸方向に垂直な平面に関しても、また、可動ミラー１１の中心を通り且つＹ軸方向に垂直な平面に関しても、互いに対称の構造を有している。

アクチュエータ部１６は、Ｚ軸方向に沿って可動ミラー１１を移動させる。アクチュエータ部１６は、可動ミラー１１の外縁に沿って配置された一対の櫛歯電極１６１及び一対の櫛歯電極１６２を有している。一方の櫛歯電極１６１は、可動ミラー１１の本体部１１１の側面のうち、一方のブラケット１１３と一方のブラケット１１４との間の領域１１１ｂに設けられている。他方の櫛歯電極１６１は、可動ミラー１１の本体部１１１の側面のうち、他方のブラケット１１３と他方のブラケット１１４との間の領域１１１ｃに設けられている。一方の櫛歯電極１６２は、ベース１２のデバイス層５２の側面うち、本体部１１１の領域１１１ｂから離間した状態で当該領域１１１ｂに沿うように延在する領域に設けられている。他方の櫛歯電極１６２は、ベース１２のデバイス層５２の側面うち、本体部１１１の領域１１１ｃから離間した状態で当該領域１１１ｃに沿うように延在する領域に設けられている。一方の櫛歯電極１６１及び一方の櫛歯電極１６２においては、一方の櫛歯電極１６１の各櫛歯が一方の櫛歯電極１６２の各櫛歯間に位置している。他方の櫛歯電極１６１及び他方の櫛歯電極１６２においては、他方の櫛歯電極１６１の各櫛歯が他方の櫛歯電極１６２の各櫛歯間に位置している。

ベース１２には、複数の電極パッド１２１，１２２が設けられている。各電極パッド１２１，１２２は、デバイス層５２に至るようにベース１２の主面１２ｂに形成された開口１２ｃ内において、デバイス層５２の表面に形成されている。各電極パッド１２１は、第１弾性支持部１４及び可動ミラー１１の本体部１１１を介して、又は、第２弾性支持部１５及び可動ミラー１１の本体部１１１を介して、櫛歯電極１６１と電気的に接続されている。各電極パッド１２２は、デバイス層５２を介して、櫛歯電極１６２と電気的に接続されている。ワイヤ２６は、各電極パッド１２１，１２２と各リードピン２５との間に掛け渡されている。

以上のように構成された光学デバイス１０では、複数のリードピン２５及び複数のワイヤ２６を介して、複数の電極パッド１２１と複数の電極パッド１２２との間に電圧が印加されると、例えばＺ軸方向における一方の側に可動ミラー１１を移動させるように、互いに対向する櫛歯電極１６１及び櫛歯電極１６２間に静電気力が生じる。このとき、第１弾性支持部１４及び第２弾性支持部１５において各トーションバー１４３，１４４，１４５，１５３，１５４，１５５が捩れて、第１弾性支持部１４及び第２弾性支持部１５に弾性力が生じる。光学デバイス１０では、複数のリードピン２５及び複数のワイヤ２６を介して駆動部１３に周期的な電気信号を付与することで、Ｚ軸方向に沿って可動ミラー１１をその共振周波数レベルで往復動させることができる。このように、駆動部１３は、静電アクチュエータとして機能する。
［作用及び効果］

光モジュール１Ａでは、可動ミラー１１が、ベース１２の主面１２ａに平行な平面に沿ったミラー面１１ａを有している。これにより、可動ミラー１１のミラー面１１ａの大型化を図ることができる。また、ミラーユニット２において、可動ミラー１１及び駆動部１３が、気密空間Ｓに配置されている。これにより、可動ミラー１１を移動させる駆動部１３が外部環境の影響を受け難くなるため、可動ミラー１１の可動性能が低下するのを抑制することができる。更に、可動ミラー１１のミラー面１１ａ及び固定ミラー２１のミラー面２１ａが、主面１２ａに垂直なＺ軸方向における一方の側に向いている。これにより、例えば、可動ミラー１１のミラー面１１ａ及び固定ミラー２１のミラー面２１ａが互いに直交する位置関係にある場合に比べ、Ｚ軸方向におけるミラーユニット２の高さを抑えることができる。しかも、ビームスプリッタユニット３と可動ミラー１１との間の光路Ｐ１の一部に加え、ビームスプリッタユニット３と固定ミラー２１との間の光路Ｐ２の一部が、気密空間Ｓに配置されている。これにより、Ｚ軸方向に垂直な方向（光モジュール１Ａでは、Ｘ軸方向）おけるミラーユニット２の幅を抑えることができる。以上により、光モジュール１Ａによれば、可動ミラー１１のミラー面１１ａの大型化を図りつつも、可動ミラー１１の可動性能の低下及びモジュール全体の大型化を抑制することができる。

光モジュール１Ａでは、光学デバイス１０のベース１２を支持すると共に表面２２ｃに固定ミラー２１が配置された支持体２２が、ビームスプリッタユニット３と可動ミラー１１との間の光路Ｐ１と、ビームスプリッタユニット３と固定ミラー２１との間の光路Ｐ２との間の光路差を補正する。これにより、測定光Ｌ０の干渉光（すなわち、測定光Ｌ１）を容易に且つ高精度で得ることができる。しかも、光路差を補正する光透過部材を別途設ける必要もない。

光モジュール１Ａでは、パッケージ２４が、光透過性を有する天壁２４３を含み、ビームスプリッタユニット３が、パッケージ２４の天壁２４３によって支持されており、気密空間Ｓが、パッケージ２４によって形成されている。これにより、光透過性を有する天壁２４３を含む簡易なパッケージ２４によって、気密空間Ｓの形成及びビームスプリッタユニット３の支持の両方を実現することができる。

光モジュール１Ａでは、ベース１２、可動ミラー１１の本体部１１１、壁部１１２、及び複数のブラケット１１３，１１４、並びに、駆動部１３が、ＳＯＩ基板５０によって構成されている。これにより、可動ミラー１１の確実な移動のための構成をＳＯＩ基板５０によって好適に実現することができる。

光学デバイス１０では、第１弾性支持部１４が、可動ミラー１１から第１光学機能部１７の両側に主面１２ａに沿って延在する一対の第１レバー１４１を有しており、可動ミラー１１と第１光学機能部１７とが並ぶＸ軸方向における各第１レバー１４１の長さが、ミラー面１１ａの外縁と第１光学機能部１７の縁との間の最短距離よりも大きい。これにより、可動ミラー１１と第１光学機能部１７との間の距離の増大が抑制されるため、装置全体の大型化を抑制することができる。更に、第１弾性支持部１４において各第１レバー１４１の長さが確保されるため、可動ミラー１１の可動性能の低下を抑制することができる。以上により、光学デバイス１０によれば、可動ミラー１１のミラー面１１ａの大型化を図りつつも、可動ミラー１１の可動性能の低下及び装置全体の大型化を抑制することができる。

光学デバイス１０では、Ｙ軸方向における一対の第１レバー１４１間の最大距離が、Ｙ軸方向における第１光学機能部１７の最大幅に等しい。これにより、可動ミラー１１と第１光学機能部１７との間の距離の増大の抑制と、各第１レバー１４１の長さの確保とを、よりバランス良く実現することができる。

光学デバイス１０では、第１光学機能部１７の縁のうちミラー面１１ａに最も近い部分から、各第１レバー１４１における可動ミラー１１とは反対側の端部１４１ｂまでの距離が、第１光学機能部１７の縁のうちミラー面１１ａから最も遠い部分から、各第１レバー１４１における可動ミラー１１とは反対側の端部１４１ｂまでの距離よりも大きい。これにより、可動ミラー１１と第１光学機能部１７との間の距離の増大の抑制と、各第１レバー１４１の長さの確保とを、よりバランス良く実現することができる。

光学デバイス１０では、第１弾性支持部１４が、Ｙ軸方向における第１光学機能部１７の両側から可動ミラー１１側に主面１２ａに沿って延在する一対の第２レバー１４２を更に有しており、一対の第１レバー１４１、一対の第２レバー１４２及びベース１２の相互間の接続が、複数のトーションバー１４３，１４４，１４５を介して実現されている。同様に、第２弾性支持部１５が、一対の第３レバー１５１に加え、一対の第４レバー１５２を有しており、一対の第３レバー１５１、一対の第４レバー１５２及びベース１２の相互間の接続が、複数のトーションバー１５３，１５４，１５５を介して実現されている。これにより、可動ミラー１１の可動範囲の増大、及び可動ミラー１１の可動効率の向上（可動ミラー１１の駆動に要する駆動力の低減）を図ることができる。

光学デバイス１０では、各第１レバー１４１における可動ミラー１１側の端部１４１ａが、Ｙ軸方向に平行な同一の軸線上に配置された複数のトーションバー１４３を介して可動ミラー１１に接続されている。同様に、各第３レバー１５１における可動ミラー１１側の端部１５１ａが、Ｙ軸方向に平行な同一の軸線上に配置された複数のトーションバー１５３を介して可動ミラー１１に接続されている。これにより、同一の軸線上に配置された各トーションバー１４３の長さを短くすることができる。同様に、同一の軸線上に配置された各トーションバー１５３の長さを短くすることができる。その結果、Ｘ軸方向への可動ミラー１１の移動、及びＺ軸方向に平行な軸線回りの可動ミラー１１の回転を抑制することができる。

光学デバイス１０では、第１弾性支持部１４において、各第１レバー１４１における可動ミラー１１側の端部１４１ａ間にリンク１４６が掛け渡されており、各第２レバー１４２における可動ミラー１１とは反対側の端部１４２ａ間にリンク１４７が掛け渡されている。同様に、第２弾性支持部１５において、各第３レバー１５１における可動ミラー１１側の端部１５１ａ間にリンク１５６が掛け渡されており、各第４レバー１５２における可動ミラー１１とは反対側の端部１５２ａ間にリンク１５７が掛け渡されている。これにより、可動ミラー１１の移動の安定性を向上させることができる。また、各リンク１４６，１４７が、Ｚ軸方向から見た場合に、第１光学機能部１７の縁に沿って延在している。これにより、装置全体の大型化を抑制することができる。

光学デバイス１０では、アクチュエータ部１６が、可動ミラー１１の外縁に沿って配置された櫛歯電極１６１，１６２を有している。これにより、櫛歯電極１６１，１６２によって生じる静電気力を可動ミラー１１の駆動力として効率良く利用することができる。

光学デバイス１０では、可動ミラー１１の本体部１１１に、Ｚ軸方向から見た場合にミラー面１１ａを包囲する壁部１１２が設けられている。これにより、壁部１１２が梁として機能するため、本体部１１１の薄型化を図りつつも、ミラー面１１ａの変形（反り、撓み等）を抑制することができる。
［第１実施形態の変形例］

図４の（ａ）に示されるように、気密空間Ｓは、パッケージ２４及びビームスプリッタユニット３によって形成されていてもよい。図４の（ａ）に示される光モジュール１Ａでは、パッケージ２４の天壁２４３に、光路Ｐ１が通る開口２４３ｂ、及び光路Ｐ２が通る開口２４３ｃが形成されている。各開口２４３ｂ，２４３ｃは、Ｚ軸方向において天壁２４３を貫通している。ビームスプリッタユニット３は、各開口２４３ｂ，２４３ｃを塞いだ状態で、天壁２４３によって支持されている。具体的には、ビームスプリッタユニット３は、天壁２４３の表面２４３ａに光学樹脂４によって固定されている。このような構成によれば、光路Ｐ１が通る開口２４３ｂ、及び光路Ｐ２が通る開口２４３ｃが形成された天壁２４３を含む簡易なパッケージ２４によって、気密空間Ｓの形成及びビームスプリッタユニット３の支持の両方を実現することができる。なお、図４の（ａ）に示される光モジュール１Ａでは、天壁２４３は、測定光Ｌ０に対して光透過性を有していなくてもよい。また、各開口２４３ｂ，２４３ｃ内に光学樹脂４が入り込まなければ、光学樹脂４に代えて、測定光Ｌ０に対して光透過性を有しない樹脂が用いられてもよい。また、パッケージ２４の天壁２４３に、複数の光路Ｐ１，Ｐ２が通る１つの開口が形成されていてもよい。

また、図４の（ｂ）に示されるように、気密空間Ｓを形成するパッケージ２４とは別に、ビームスプリッタユニット３を支持する支持構造２７が設けられていてもよい。図４の（ｂ）に示される光モジュール１Ａでは、ビームスプリッタユニット３は、天壁２４３から離間した状態で、支持構造２７によって支持されている。具体的には、ビームスプリッタユニット３は、支持構造２７の壁部２７１に形成された凹部２７１ａ内にビームスプリッタユニット３の一部が配置された状態で、凹部２７１ａの内面に光学樹脂４によって固定されている。壁部２７１は、Ｚ軸方向において天壁２４３と対向しており、凹部２７１ａは、Ｚ軸方向において天壁２４３とは反対側に開口している。凹部２７１ａの底面には、複数の光路Ｐ１，Ｐ２が通る１つの開口２７１ｂが形成さている。このような構成によれば、ビームスプリッタユニット３を支持する支持構造２７がパッケージ２４とは別に設けられているため、ビームスプリッタユニット３のレイアウトの自由度を向上させることができる。なお、開口２７１ｂ内に光学樹脂４が入り込まなければ、光学樹脂４に代えて、測定光Ｌ０に対して光透過性を有しない樹脂が用いられてもよい。
［第２実施形態］
［光モジュールの構成］

図５に示されるように、光モジュール１Ｂは、ベース１２、支持体２２及び支持壁（壁）２９によって気密空間Ｓが形成されている点で、図１に示される光モジュール１Ａと主に相違している。光モジュール１Ｂでは、サブマウント２３が、基板２８上に固定されており、複数のリードピン２５が、基板２８を貫通した状態で、基板２８に固定されている。

支持壁２９は、ベース１２の主面１２ｂに固定されている。支持壁２９は、例えば、矩形板状に形成されている。支持壁２９は、測定光Ｌ０に対して光透過性を有している。支持壁２９におけるベース１２側の表面２９ａには、凹部２９ｃが形成されている。これにより、可動ミラー１１がＺ軸方向に沿って移動させられた際に、可動ミラー１１及び駆動部１３が支持壁２９に接触することが防止される。ビームスプリッタユニット３は、支持壁２９によって支持されている。具体的には、ビームスプリッタユニット３は、支持壁２９における光学デバイス１０とは反対側の表面２９ｂに光学樹脂４によって固定されている。光学樹脂４は、測定光Ｌ０に対して光透過性を有している。
［作用及び効果］

光モジュール１Ｂによれば、上述した光モジュール１Ａと同様の理由により、可動ミラー１１のミラー面１１ａの大型化を図りつつも、可動ミラー１１の可動性能の低下及びモジュール全体の大型化を抑制することができる。

光モジュール１Ｂでは、気密空間Ｓが、ベース１２、支持体２２及び支持壁２９によって形成されている。これにより、ベース１２及び支持体２２が、気密空間Ｓを形成するパッケージ２４の一部として機能するため、例えば、ベース１２及び支持体２２を収容するパッケージを別途設ける場合に比べ、モジュール全体の大型化を抑制することができる。
［第２実施形態の変形例］

図６の（ａ）に示されるように、気密空間Ｓは、ベース１２、支持体２２、支持壁２９及びビームスプリッタユニット３によって形成されていてもよい。図６の（ａ）に示される光モジュール１Ｂでは、支持壁２９に、光路Ｐ１が通る開口２９ｄ、及び光路Ｐ２が通る開口２９ｅが形成されている。各開口２９ｄ，２９ｅは、Ｚ軸方向において支持壁２９を貫通している。ビームスプリッタユニット３は、各開口２９ｄ，２９ｅを塞いだ状態で、支持壁２９によって支持されている。具体的には、ビームスプリッタユニット３は、支持壁２９の表面２９ｂに光学樹脂４によって固定されている。このような構成によれば、ベース１２及び支持体２２が、気密空間Ｓを形成するパッケージの一部として機能するため、例えば、ベース１２及び支持体２２を収容するパッケージを別途設ける場合に比べ、モジュール全体の大型化を抑制することができる。なお、図６の（ａ）に示される光モジュール１Ｂでは、支持壁２９は、測定光Ｌ０に対して光透過性を有していなくてもよい。また、各開口２９ｄ，２９ｅ内に光学樹脂４が入り込まなければ、光学樹脂４に代えて、測定光Ｌ０に対して光透過性を有しない樹脂が用いられてもよい。また、支持壁２９に、複数の光路Ｐ１，Ｐ２が通る１つの開口が形成されていてもよい。

また、図６の（ｂ）に示されるように、支持壁２９とは別に、ビームスプリッタユニット３を支持する支持構造２７が設けられていてもよい。図６の（ｂ）に示される光モジュール１Ｂでは、ビームスプリッタユニット３は、支持壁２９から離間した状態で、支持構造２７によって支持されている。具体的には、ビームスプリッタユニット３は、支持構造２７の壁部２７１に形成された凹部２７１ａ内にビームスプリッタユニット３の一部が配置された状態で、凹部２７１ａの内面に光学樹脂４によって固定されている。壁部２７１は、Ｚ軸方向において支持壁２９と対向しており、凹部２７１ａは、Ｚ軸方向において支持壁２９とは反対側に開口している。凹部２７１ａの底面には、複数の光路Ｐ１，Ｐ２が通る１つの開口２７１ｂが形成さている。このような構成によれば、ベース１２及び支持体２２が、気密空間Ｓを形成するパッケージの一部として機能するため、例えば、ベース１２及び支持体２２を収容するパッケージを別途設ける場合に比べ、モジュール全体の大型化を抑制することができる。また、ミラーユニット２が、支持壁２９とは別に、ビームスプリッタユニット３を支持する支持構造２７を含むため、ビームスプリッタユニット３のレイアウトの自由度を向上させることができる。なお、開口２７１ｂ内に光学樹脂４が入り込まなければ、光学樹脂４に代えて、測定光Ｌ０に対して光透過性を有しない樹脂が用いられてもよい。
［第３実施形態］
［光モジュールの構成］

図７に示されるように、光モジュール１Ｃは、可動ミラー１１のミラー面１１ａ及び固定ミラー２１のミラー面２１ａが、ベース１２の主面１２ａに平行な同一の平面に沿って配置されている点、並びに、ビームスプリッタユニット３が、光路Ｐ１と光路Ｐ２との間の光路差を補正する点で、図１に示される光モジュール１Ａと主に相違している。光モジュール１Ｃでは、パッケージ２４の底壁２４１の内面に、光学デバイス１０のベース１２が固定されている。光モジュール１Ｃでは、ベース１２の主面１２ａが天壁２４３の内面と向かい合い、且つベース１２の主面１２ｂが底壁２４１の内面と向かい合うように、光学デバイス１０が配置されている。

可動ミラー１１を構成する金属膜は、ベース１２の主面１２ａを含む可動ミラー１１の平面上に形成されている。固定ミラー２１を構成する金属膜は、ベース１２の主面１２ａに形成されている。この場合、固定ミラー２１が第１光学機能部１７として機能する。

ビームスプリッタユニット３は、ハーフミラー面３１、全反射ミラー面３２及び複数の光学面３３ａ，３３ｂ，３３ｃ，３３ｄに加え、複数の全反射ミラー面３４ａ，３４ｂを有している。ビームスプリッタユニット３は、複数の光学ブロックが接合されることで構成されている。各全反射ミラー面３４ａ，３４ｂは、例えば金属膜によって形成されている。全反射ミラー面３４ａは、例えば光学面３３ａに対してハーフミラー面３１とは逆側に４５°傾斜した面であり、Ｚ軸方向から見た場合にハーフミラー面３１と重なっている。全反射ミラー面３４ａは、ハーフミラー面３１を透過した測定光Ｌ０の残部をＸ軸方向に沿って反射する。全反射ミラー面３４ｂは、全反射ミラー面３４ａに平行な面であり、Ｚ軸方向から見た場合に固定ミラー２１のミラー面２１ａと重なっており且つＸ軸方向から見た場合に全反射ミラー面３４ａと重なっている。全反射ミラー面３４ｂは、全反射ミラー面３４ａによって反射された測定光Ｌ０の残部をＺ軸方向に沿って固定ミラー２１側に反射する。

以上のように構成された光モジュール１Ｃでは、光モジュール１Ｃの外部から光学面３３ａを介してビームスプリッタユニット３に測定光Ｌ０が入射すると、測定光Ｌ０の一部は、ハーフミラー面３１及び全反射ミラー面３２で順次に反射されて、可動ミラー１１のミラー面１１ａに向かって進行する。そして、測定光Ｌ０の一部は、可動ミラー１１のミラー面１１ａで反射されて、同一の光路（光路Ｐ１）上を逆方向に進行し、ビームスプリッタユニット３のハーフミラー面３１を透過する。

一方、測定光Ｌ０の残部は、ビームスプリッタユニット３のハーフミラー面３１を透過した後、複数の全反射ミラー面３４ａ，３４ｂで順次に反射されて、固定ミラー２１のミラー面２１ａに向かって進行する。そして、測定光Ｌ０の残部は、固定ミラー２１のミラー面２１ａで反射されて、同一の光路（光路Ｐ２）上を逆方向に進行し、ビームスプリッタユニット３のハーフミラー面３１で反射される。

ビームスプリッタユニット３のハーフミラー面３１を透過した測定光Ｌ０の一部と、ビームスプリッタユニット３のハーフミラー面３１で反射された測定光Ｌ０の残部とは、干渉光である測定光Ｌ１となり、測定光Ｌ１は、ビームスプリッタユニット３から光学面３３ｄを介して光モジュール１Ｃの外部に出射する。光モジュール１Ｃでは、ビームスプリッタユニット３が、ビームスプリッタユニット３と可動ミラー１１との間の光路Ｐ１と、ビームスプリッタユニット３と固定ミラー２１との間の光路Ｐ２との間の光路差を補正する。
［作用及び効果］

光モジュール１Ｃによれば、上述した光モジュール１Ａと同様の理由により、可動ミラー１１のミラー面１１ａの大型化を図りつつも、可動ミラー１１の可動性能の低下及びモジュール全体の大型化を抑制することができる。

光モジュール１Ｃでは、可動ミラー１１のミラー面１１ａ及び固定ミラー２１のミラー面２１ａが、ベース１２の主面１２ａに平行な同一の平面に沿って配置されており、ビームスプリッタユニット３が、光路Ｐ１と光路Ｐ２との間の光路差を補正する。これにより、例えば、光路差を補正する光透過部材を別途設ける場合に比べ、Ｚ軸方向におけるミラーユニット２の高さを抑えることができる。

光モジュール１Ｃでは、ビームスプリッタユニット３が、パッケージ２４の天壁２４３によって支持されており、気密空間Ｓが、パッケージ２４によって形成されている。これにより、光透過性を有する天壁２４３を含む簡易なパッケージ２４によって、気密空間Ｓの形成及びビームスプリッタユニット３の支持の両方を実現することができる。
［第３実施形態の変形例］

図８の（ａ）に示されるように、気密空間Ｓは、パッケージ２４及びビームスプリッタユニット３によって形成されていてもよい。図８の（ａ）に示される光モジュール１Ｃでは、パッケージ２４の天壁２４３に、光路Ｐ１が通る開口２４３ｂ、及び光路Ｐ２が通る開口２４３ｃが形成されている。各開口２４３ｂ，２４３ｃは、Ｚ軸方向において天壁２４３を貫通している。ビームスプリッタユニット３は、各開口２４３ｂ，２４３ｃを塞いだ状態で、天壁２４３によって支持されている。具体的には、ビームスプリッタユニット３は、天壁２４３の表面２４３ａに光学樹脂４によって固定されている。このような構成によれば、光路Ｐ１が通る開口２４３ｂ、及び光路Ｐ２が通る開口２４３ｃが形成された天壁２４３を含む簡易なパッケージ２４によって、気密空間Ｓの形成及びビームスプリッタユニット３の支持の両方を実現することができる。なお、図８の（ａ）に示される光モジュール１Ｃでは、天壁２４３は、測定光Ｌ０に対して光透過性を有していなくてもよい。また、各開口２４３ｂ，２４３ｃ内に光学樹脂４が入り込まなければ、光学樹脂４に代えて、測定光Ｌ０に対して光透過性を有しない樹脂が用いられてもよい。また、パッケージ２４の天壁２４３に、複数の光路Ｐ１，Ｐ２が通る１つの開口が形成されていてもよい。

また、図８の（ｂ）に示されるように、気密空間Ｓを形成するパッケージ２４とは別に、ビームスプリッタユニット３を支持する支持構造２７が設けられていてもよい。図８の（ｂ）に示される光モジュール１Ｃでは、ビームスプリッタユニット３は、天壁２４３から離間した状態で、支持構造２７によって支持されている。具体的には、ビームスプリッタユニット３は、支持構造２７の壁部２７１に形成された凹部２７１ａ内にビームスプリッタユニット３の一部が配置された状態で、凹部２７１ａの内面に光学樹脂４によって固定されている。壁部２７１は、Ｚ軸方向において天壁２４３と対向しており、凹部２７１ａは、Ｚ軸方向において天壁２４３とは反対側に開口している。凹部２７１ａの底面には、複数の光路Ｐ１，Ｐ２が通る１つの開口２７１ｂが形成さている。このような構成によれば、ビームスプリッタユニット３を支持する支持構造２７がパッケージ２４とは別に設けられているため、ビームスプリッタユニット３のレイアウトの自由度を向上させることができる。なお、開口２７１ｂ内に光学樹脂４が入り込まなければ、光学樹脂４に代えて、測定光Ｌ０に対して光透過性を有しない樹脂が用いられてもよい。
［第４実施形態］
［光モジュールの構成］

図９に示されるように、光モジュール１Ｄは、ベース１２、サブマウント２３及び支持壁（壁）２９によって気密空間Ｓが形成されている点で、図７に示される光モジュール１Ｃと主に相違している。光モジュール１Ｄでは、サブマウント２３が、基板２８上に固定されており、複数のリードピン２５が、基板２８を貫通した状態で、基板２８に固定されている。

支持壁２９は、ベース１２の主面１２ａに固定されている。支持壁２９は、例えば、矩形板状に形成されている。支持壁２９は、測定光Ｌ０に対して光透過性を有している。支持壁２９におけるベース１２側の表面２９ａには、凹部２９ｃが形成されている。これにより、可動ミラー１１がＺ軸方向に沿って移動させられた際に、可動ミラー１１及び駆動部１３が支持壁２９に接触することが防止される。ビームスプリッタユニット３は、支持壁２９によって支持されている。具体的には、ビームスプリッタユニット３は、支持壁２９における光学デバイス１０とは反対側の表面２９ｂに光学樹脂４によって固定されている。光学樹脂４は、測定光Ｌ０に対して光透過性を有している。
［作用及び効果］

光モジュール１Ｄによれば、上述した光モジュール１Ａと同様の理由により、可動ミラー１１のミラー面１１ａの大型化を図りつつも、可動ミラー１１の可動性能の低下及びモジュール全体の大型化を抑制することができる。

光モジュール１Ｄでは、気密空間Ｓが、ベース１２、サブマウント２３及び支持壁２９によって形成されている。これにより、ベース１２が、気密空間Ｓを形成するパッケージ２４の一部として機能するため、例えば、ベース１２を収容するパッケージを別途設ける場合に比べ、モジュール全体の大型化を抑制することができる。
［第４実施形態の変形例］

図１０の（ａ）に示されるように、気密空間Ｓは、ベース１２、サブマウント２３、支持壁２９及びビームスプリッタユニット３によって形成されていてもよい。図１０の（ａ）に示される光モジュール１Ｄでは、支持壁２９に、光路Ｐ１が通る開口２９ｄ、及び光路Ｐ２が通る開口２９ｅが形成されている。各開口２９ｄ，２９ｅは、Ｚ軸方向において支持壁２９を貫通している。ビームスプリッタユニット３は、各開口２９ｄ，２９ｅを塞いだ状態で、支持壁２９によって支持されている。具体的には、ビームスプリッタユニット３は、支持壁２９の表面２９ｂに光学樹脂４によって固定されている。このような構成によれば、ベース１２が、気密空間Ｓを形成するパッケージの一部として機能するため、例えば、ベース１２を収容するパッケージを別途設ける場合に比べ、モジュール全体の大型化を抑制することができる。なお、図１０の（ａ）に示される光モジュール１Ｄでは、支持壁２９は、測定光Ｌ０に対して光透過性を有していなくてもよい。また、各開口２９ｄ，２９ｅ内に光学樹脂４が入り込まなければ、光学樹脂４に代えて、測定光Ｌ０に対して光透過性を有しない樹脂が用いられてもよい。また、支持壁２９に、複数の光路Ｐ１，Ｐ２が通る１つの開口が形成されていてもよい。

また、図１０の（ｂ）に示されるように、支持壁２９とは別に、ビームスプリッタユニット３を支持する支持構造２７が設けられていてもよい。図１０の（ｂ）に示される光モジュール１Ｄでは、ビームスプリッタユニット３は、支持壁２９から離間した状態で、支持構造２７によって支持されている。具体的には、ビームスプリッタユニット３は、支持構造２７の壁部２７１に形成された凹部２７１ａ内にビームスプリッタユニット３の一部が配置された状態で、凹部２７１ａの内面に光学樹脂４によって固定されている。壁部２７１は、Ｚ軸方向において支持壁２９と対向しており、凹部２７１ａは、Ｚ軸方向において支持壁２９とは反対側に開口している。凹部２７１ａの底面には、複数の光路Ｐ１，Ｐ２が通る１つの開口２７１ｂが形成さている。このような構成によれば、ベース１２が、気密空間Ｓを形成するパッケージの一部として機能するため、例えば、ベース１２を収容するパッケージを別途設ける場合に比べ、モジュール全体の大型化を抑制することができる。また、ミラーユニット２が、支持壁２９とは別に、ビームスプリッタユニット３を支持する支持構造２７を含むため、ビームスプリッタユニット３のレイアウトの自由度を向上させることができる。なお、開口２７１ｂ内に光学樹脂４が入り込まなければ、光学樹脂４に代えて、測定光Ｌ０に対して光透過性を有しない樹脂が用いられてもよい。

また、図１１に示されるように、光モジュール１Ｄでは、サブマウント２３が設けられていなくてもよい。その場合、サブマウント２３に相当する部分を、ベース１２として支持層５１（図２参照）によって一体的に構成することで、気密空間Ｓを容易に且つ確実に形成することができる。
［第５実施形態］
［光モジュールの構成］

図１２に示されるように、光モジュール１Ｅは、ビームスプリッタユニット３が、可動ミラー１１及び固定ミラー２１と共に、測定光Ｌ０についての干渉光学系Ｉ１、及びレーザ光Ｌ１０についての干渉光学系（第２干渉光学系）Ｉ２を構成している点で、図１に示される光モジュール１Ａと主に相違している。光モジュール１Ｅは、光源５、光検出器６、複数の回路基板７、及びハーフミラー８を備えている。光源５は、干渉光学系Ｉ２に入射させるレーザ光Ｌ１０を発生する。光源５は、例えばレーザダイオード等によって構成されている。光検出器６は、干渉光学系Ｉ２から出射されたレーザ光Ｌ１１（レーザ光Ｌ１０の干渉光）を検出する。光検出器６は、例えばフォトダイオード等によって構成されている。光源５及び光検出器６は、別々の回路基板７に実装されている。ハーフミラー８は、光源５から出射されたレーザ光Ｌ１０を透過させ、干渉光学系Ｉ２から出射されたレーザ光Ｌ１１を反射する。

ビームスプリッタユニット３は、ハーフミラー面３１、全反射ミラー面３２、ダイクロイックミラー面３５及び複数の光学面３６ａ，３６ｂ，３６ｃ，３６ｄを有している。ビームスプリッタユニット３は、複数の光学ブロックが接合されることで構成されている。ダイクロイックミラー面３５は、例えば誘電体多層膜によって形成されている。

光学面３６ａは、例えばＸ軸方向に垂直な面である。ハーフミラー面３１は、例えば光学面３６ａに対して４５°傾斜した面であり、Ｚ軸方向から見た場合に固定ミラー２１のミラー面２１ａと重なっており且つＸ軸方向から見た場合に光学面３６ａと重なっている。全反射ミラー面３２は、ハーフミラー面３１に平行な面であり、Ｚ軸方向から見た場合に可動ミラー１１のミラー面１１ａと重なっており且つＸ軸方向から見た場合にハーフミラー面３１と重なっている。

光学面３６ｂは、光学面３６ａに垂直な面であり、Ｚ軸方向から見た場合に可動ミラー１１のミラー面１１ａと重なっている。光学面３６ｂは、Ｚ軸方向において全反射ミラー面３２と可動ミラー１１のミラー面１１ａとの間に位置している。光学面３６ｃは、光学面３６ａに垂直な面であり、Ｚ軸方向から見た場合に固定ミラー２１のミラー面２１ａと重なっている。光学面３６ｃは、Ｚ軸方向においてハーフミラー面３１と固定ミラー２１のミラー面２１ａとの間に位置している。光学面３６ｄは、光学面３６ａに垂直な面であり、Ｚ軸方向から見た場合に固定ミラー２１のミラー面２１ａと重なっている。光学面３６ｄは、Ｚ軸方向において、ハーフミラー面３１に対して固定ミラー２１のミラー面２１ａとは反対側に位置している。

光学面３６ｅは、例えばＸ軸方向に垂直な面である。ダイクロイックミラー面３５は、例えば光学面３６ｅに対してハーフミラー面３１とは逆側に４５°傾斜した面であり、Ｚ軸方向から見た場合に固定ミラー２１のミラー面２１ａと重なっており且つＸ軸方向から見た場合に光学面３６ｅと重なっている。ダイクロイックミラー面３５は、Ｚ軸方向において光学面３６ｄとハーフミラー面３１との間に位置している。

以上のように構成された光モジュール１Ｅでは、光モジュール１Ｅの外部から光学面３６ａを介してビームスプリッタユニット３に測定光Ｌ０が入射すると、測定光Ｌ０の一部は、ハーフミラー面３１を透過し、全反射ミラー面３２で反射されて、可動ミラー１１のミラー面１１ａに向かって進行する。そして、測定光Ｌ０の一部は、可動ミラー１１のミラー面１１ａで反射されて、同一の光路（光路Ｐ１）上を逆方向に進行し、ハーフミラー面３１で反射される。

一方、測定光Ｌ０の残部は、ハーフミラー面３１で反射された後、第１光学機能部１７を通過し、更に、支持体２２を透過して、固定ミラー２１のミラー面２１ａに向かって進行する。そして、測定光Ｌ０の残部は、固定ミラー２１のミラー面２１ａで反射されて、同一の光路（光路Ｐ２）上を逆方向に進行し、ハーフミラー面３１を透過する。

ハーフミラー面３１で反射された測定光Ｌ０の一部と、ハーフミラー面３１を透過した測定光Ｌ０の残部とは、干渉光である測定光Ｌ１となり、測定光Ｌ１は、ダイクロイックミラー面３５を透過して、ビームスプリッタユニット３から光学面３６ｄを介して光モジュール１Ｅの外部に出射する。

また、光源５から出射されたレーザ光Ｌ１０が、ハーフミラー８を透過して、光学面３６ｅを介してビームスプリッタユニット３に入射すると、レーザ光Ｌ１０は、ダイクロイックミラー面３５で反射されて、ハーフミラー面３１に向かって進行する。レーザ光Ｌ１０の一部は、ハーフミラー面３１及び全反射ミラー面３２で順次に反射されて、可動ミラー１１のミラー面１１ａに向かって進行する。そして、レーザ光Ｌ１０の一部は、可動ミラー１１のミラー面１１ａで反射されて、同一の光路（光路Ｐ３）上を逆方向に進行し、ハーフミラー面３１で反射される。

一方、レーザ光Ｌ１０の残部は、ハーフミラー面３１を透過した後、第１光学機能部１７を通過し、更に、支持体２２を透過して、固定ミラー２１のミラー面２１ａに向かって進行する。そして、レーザ光Ｌ１０の残部は、固定ミラー２１のミラー面２１ａで反射されて、同一の光路（光路Ｐ４）上を逆方向に進行し、ハーフミラー面３１を透過する。

ハーフミラー面３１で反射されたレーザ光Ｌ１０の一部と、ハーフミラー面３１を透過したレーザ光Ｌ１０の残部とは、干渉光であるレーザ光Ｌ１１となり、レーザ光Ｌ１１は、ダイクロイックミラー面３５で反射されて、光学面３６ｅを介してビームスプリッタユニット３から出射する。ビームスプリッタユニット３から出射したレーザ光Ｌ１１は、ハーフミラー８で反射されて、光検出器６に入射し、光検出器６で検出される。
［作用及び効果］

光モジュール１Ｅによれば、上述した光モジュール１Ａと同様の理由により、可動ミラー１１のミラー面１１ａの大型化を図りつつも、可動ミラー１１の可動性能の低下及びモジュール全体の大型化を抑制することができる。

光モジュール１Ｅでは、ビームスプリッタユニット３が、可動ミラー１１及び固定ミラー２１と共にレーザ光Ｌ１０について干渉光学系Ｉ２を構成している。これにより、レーザ光Ｌ１０の干渉光であるレーザ光Ｌ１１を検出することで、可動ミラー１１のミラー面１１ａの位置を精度良く計測することができる。また、ビームスプリッタユニット３が、可動ミラー１１及び固定ミラー２１と共に、測定光Ｌ０についての干渉光学系Ｉ１、及びレーザ光Ｌ１０についての干渉光学系Ｉ２を構成している。そのため、ミラーユニット２において部品点数を減少させることができる。
［第５実施形態の変形例］

図１３の（ａ）に示されるように、気密空間Ｓは、パッケージ２４及びビームスプリッタユニット３によって形成されていてもよい。図１３の（ａ）に示される光モジュール１Ｅでは、パッケージ２４の天壁２４３に、光路Ｐ１，Ｐ３が通る開口２４３ｂ、及び光路Ｐ２，Ｐ４が通る開口２４３ｃが形成されている。各開口２４３ｂ，２４３ｃは、Ｚ軸方向において天壁２４３を貫通している。ビームスプリッタユニット３は、各開口２４３ｂ，２４３ｃを塞いだ状態で、天壁２４３によって支持されている。具体的には、ビームスプリッタユニット３は、天壁２４３の表面２４３ａに光学樹脂４によって固定されている。このような構成によれば、光路Ｐ１，Ｐ３が通る開口２４３ｂ、及び光路Ｐ２，Ｐ４が通る開口２４３ｃが形成された天壁２４３を含む簡易なパッケージ２４によって、気密空間Ｓの形成及びビームスプリッタユニット３の支持の両方を実現することができる。なお、図１３の（ａ）に示される光モジュール１Ｅでは、天壁２４３は、測定光Ｌ０及びレーザ光Ｌ１０に対して光透過性を有していなくてもよい。また、各開口２４３ｂ，２４３ｃ内に光学樹脂４が入り込まなければ、光学樹脂４に代えて、測定光Ｌ０及びレーザ光Ｌ１０に対して光透過性を有しない樹脂が用いられてもよい。また、パッケージ２４の天壁２４３に、複数の光路Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４が通る１つの開口が形成されていてもよい。

また、図１３の（ｂ）に示されるように、気密空間Ｓを形成するパッケージ２４とは別に、ビームスプリッタユニット３を支持する支持構造２７が設けられていてもよい。図１３の（ｂ）に示される光モジュール１Ｅでは、ビームスプリッタユニット３は、天壁２４３から離間した状態で、支持構造２７によって支持されている。具体的には、ビームスプリッタユニット３は、支持構造２７の壁部２７１に形成された凹部２７１ａ内にビームスプリッタユニット３の一部が配置された状態で、凹部２７１ａの内面に光学樹脂４によって固定されている。壁部２７１は、Ｚ軸方向において天壁２４３と対向しており、凹部２７１ａは、Ｚ軸方向において天壁２４３とは反対側に開口している。凹部２７１ａの底面には、複数の光路Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４が通る１つの開口２７１ｂが形成さている。このような構成によれば、ビームスプリッタユニット３を支持する支持構造２７がパッケージ２４とは別に設けられているため、ビームスプリッタユニット３のレイアウトの自由度を向上させることができる。なお、開口２７１ｂ内に光学樹脂４が入り込まなければ、光学樹脂４に代えて、測定光Ｌ０及びレーザ光Ｌ１０に対して光透過性を有しない樹脂が用いられてもよい。
［第６実施形態］
［光モジュールの構成］

図１４に示されるように、光モジュール１Ｆは、ビームスプリッタユニット３が、可動ミラー１１及び固定ミラー２１と共に、測定光Ｌ０についての干渉光学系Ｉ１、及びレーザ光Ｌ１０についての干渉光学系Ｉ２を構成している点で、図１に示される光モジュール１Ａと主に相違している。光モジュール１Ｆは、光源５、光検出器６及び回路基板７に加え、光検出器９を備えている。光検出器９は、干渉光学系Ｉ１から出射された測定光Ｌ１（測定光Ｌ１の干渉光）を検出する。光検出器９は、例えばフォトダイオード等によって構成されている。光源５、複数の光検出器６，９、及びミラーユニット２は、同一の回路基板７に実装されている。

ビームスプリッタユニット３は、ハーフミラー面３１、全反射ミラー面３２、ダイクロイックミラー面３５、ハーフミラー面３７、全反射ミラー面３８及び複数の光学面３３ａ，３３ｂ，３３ｃ，３３ｄ，３３ｅ，３３ｆ，３３ｇ，３３ｈを有している。ビームスプリッタユニット３は、複数の光学ブロックが接合されることで構成されている。ハーフミラー面３７は、例えば誘電体多層膜によって形成されている。全反射ミラー面３８は、例えば金属膜によって形成されている。

光学面３３ａは、例えばＺ軸方向に垂直な面であり、Ｚ軸方向から見た場合に固定ミラー２１のミラー面２１ａと重なっている。ハーフミラー面３１は、例えば光学面３３ａに対して４５°傾斜した面であり、Ｚ軸方向から見た場合に固定ミラー２１のミラー面２１ａと重なっている。ハーフミラー面３１は、Ｚ軸方向において光学面３３ａと固定ミラー２１のミラー面２１ａとの間に位置している。全反射ミラー面３２は、ハーフミラー面３１に平行な面であり、Ｚ軸方向から見た場合に可動ミラー１１のミラー面１１ａと重なっており且つＸ軸方向から見た場合にハーフミラー面３１と重なっている。

光学面３３ｂは、光学面３３ａに平行な面であり、Ｚ軸方向から見た場合に可動ミラー１１のミラー面１１ａと重なっている。光学面３３ｂは、Ｚ軸方向において全反射ミラー面３２と可動ミラー１１のミラー面１１ａとの間に位置している。光学面３３ｃは、光学面３３ａに平行な面であり、Ｚ軸方向から見た場合に固定ミラー２１のミラー面２１ａと重なっている。光学面３３ｃは、Ｚ軸方向においてハーフミラー面３１と固定ミラー２１のミラー面２１ａとの間に位置している。光学面３３ｄは、光学面３３ａに垂直な面であり、Ｘ軸方向から見た場合にハーフミラー面３１と重なっている。光学面３３ｄは、Ｘ軸方向において、ハーフミラー面３１に対して全反射ミラー面３２とは反対側に位置している。

光学面３３ｅは、光学面３３ｄに平行な面であり、Ｘ軸方向から見た場合に光学面３３ｄと重なっている。光学面３３ｅは、Ｘ軸方向において、光学面３３ｄに対してハーフミラー面３１とは反対側に位置している。ダイクロイックミラー面３５は、例えば光学面３３ｅに対して４５°傾斜した面であり、Ｚ軸方向から見た場合に光検出器９と重なっており且つＸ軸方向から見た場合に光学面３３ｅと重なっている。ダイクロイックミラー面３５は、Ｘ軸方向において光学面３３ｅに対してハーフミラー面３１とは反対側に位置している。ハーフミラー面３７は、ダイクロイックミラー面３５に平行な面であり、Ｚ軸方向から見た場合に光検出器６と重なっており且つＸ軸方向から見た場合にダイクロイックミラー面３５と重なっている。ハーフミラー面３７は、Ｘ軸方向においてダイクロイックミラー面３５に対して光学面３３ｅとは反対側に位置している。全反射ミラー面３８は、ダイクロイックミラー面３５に平行な面であり、Ｚ軸方向から見た場合に光源５と重なっており且つＸ軸方向から見た場合にハーフミラー面３７と重なっている。全反射ミラー面３８は、Ｘ軸方向においてハーフミラー面３７に対してダイクロイックミラー面３５とは反対側に位置している。

光学面３３ｆは、光学面３３ａに平行な面であり、Ｚ軸方向から見た場合に光検出器９と重なっている。光学面３３ｆは、Ｚ軸方向においてダイクロイックミラー面３５と光検出器９との間に位置している。光学面３３ｇは、光学面３３ａに平行な面であり、Ｚ軸方向から見た場合に光検出器６と重なっている。光学面３３ｇは、Ｚ軸方向においてハーフミラー面３７と光検出器６との間に位置している。光学面３３ｈは、光学面３３ａに平行な面であり、Ｚ軸方向から見た場合に光源５と重なっている。光学面３３ｈは、Ｚ軸方向において全反射ミラー面３８と光源５との間に位置している。

以上のように構成された光モジュール１Ｆでは、光モジュール１Ｆの外部から光学面３３ａを介してビームスプリッタユニット３に測定光Ｌ０が入射すると、測定光Ｌ０の一部は、ハーフミラー面３１及び全反射ミラー面３２で順次に反射されて、可動ミラー１１のミラー面１１ａに向かって進行する。そして、測定光Ｌ０の一部は、可動ミラー１１のミラー面１１ａで反射されて、同一の光路（光路Ｐ１）上を逆方向に進行し、ハーフミラー面３１を透過する。

一方、測定光Ｌ０の残部は、ハーフミラー面３１を透過した後、第１光学機能部１７を通過し、更に、支持体２２を透過して、固定ミラー２１のミラー面２１ａに向かって進行する。そして、測定光Ｌ０の残部は、固定ミラー２１のミラー面２１ａで反射されて、同一の光路（光路Ｐ２）上を逆方向に進行し、ハーフミラー面３１で反射される。

ハーフミラー面３１を透過した測定光Ｌ０の一部と、ハーフミラー面３１で反射された測定光Ｌ０の残部とは、干渉光である測定光Ｌ１となり、測定光Ｌ１は、ダイクロイックミラー面３５で反射されて、光検出器９に入射し、光検出器９で検出される。

また、光源５から出射されたレーザ光Ｌ１０が、光学面３３ｈを介してビームスプリッタユニット３に入射すると、レーザ光Ｌ１０は、全反射ミラー面３８で反射されて、ハーフミラー面３７及びダイクロイックミラー面３５を順次に透過し、ハーフミラー面３１に向かって進行する。レーザ光Ｌ１０の一部は、ハーフミラー面３１を透過した後、全反射ミラー面３２で反射されて、可動ミラー１１のミラー面１１ａに向かって進行する。そして、レーザ光Ｌ１０の一部は、可動ミラー１１のミラー面１１ａで反射されて、同一の光路（光路Ｐ３）上を逆方向に進行し、ハーフミラー面３１を透過する。

一方、レーザ光Ｌ１０の残部は、ハーフミラー面３１で反射された後、第１光学機能部１７を通過し、更に、支持体２２を透過して、固定ミラー２１のミラー面２１ａに向かって進行する。そして、レーザ光Ｌ１０の残部は、固定ミラー２１のミラー面２１ａで反射されて、同一の光路（光路Ｐ４）上を逆方向に進行し、ハーフミラー面３１で反射される。

ハーフミラー面３１を透過したレーザ光Ｌ１０の一部と、ハーフミラー面３１で反射されたレーザ光Ｌ１０の残部とは、干渉光であるレーザ光Ｌ１１となり、レーザ光Ｌ１１は、ダイクロイックミラー面３５を透過した後、ハーフミラー面３７で反射されて、光検出器６に入射し、光検出器６で検出される。
［作用及び効果］

光モジュール１Ｆによれば、上述した光モジュール１Ａと同様の理由により、可動ミラー１１のミラー面１１ａの大型化を図りつつも、可動ミラー１１の可動性能の低下及びモジュール全体の大型化を抑制することができる。

光モジュール１Ｆでは、ビームスプリッタユニット３が、可動ミラー１１及び固定ミラー２１と共にレーザ光Ｌ１０について干渉光学系Ｉ２を構成している。これにより、レーザ光Ｌ１０の干渉光であるレーザ光Ｌ１１を検出することで、可動ミラー１１のミラー面１１ａの位置を精度良く計測することができる。また、ビームスプリッタユニット３が、可動ミラー１１及び固定ミラー２１と共に、測定光Ｌ０についての干渉光学系Ｉ１、及びレーザ光Ｌ１０についての干渉光学系Ｉ２を構成している。そのため、ミラーユニット２において部品点数を減少させることができる。
［第６実施形態の変形例］

図１５の（ａ）に示されるように、気密空間Ｓは、パッケージ２４及びビームスプリッタユニット３によって形成されていてもよい。図１５の（ａ）に示される光モジュール１Ｆでは、パッケージ２４の天壁２４３に、光路Ｐ１，Ｐ３が通る開口２４３ｂ、及び光路Ｐ２，Ｐ４が通る開口２４３ｃが形成されている。各開口２４３ｂ，２４３ｃは、Ｚ軸方向において天壁２４３を貫通している。ビームスプリッタユニット３は、各開口２４３ｂ，２４３ｃを塞いだ状態で、天壁２４３によって支持されている。具体的には、ビームスプリッタユニット３は、天壁２４３の表面２４３ａに光学樹脂４によって固定されている。このような構成によれば、光路Ｐ１，Ｐ３が通る開口２４３ｂ、及び光路Ｐ２，Ｐ４が通る開口２４３ｃが形成された天壁２４３を含む簡易なパッケージ２４によって、気密空間Ｓの形成及びビームスプリッタユニット３の支持の両方を実現することができる。なお、図１５の（ａ）に示される光モジュール１Ｆでは、天壁２４３は、測定光Ｌ０及びレーザ光Ｌ１０に対して光透過性を有していなくてもよい。また、各開口２４３ｂ，２４３ｃ内に光学樹脂４が入り込まなければ、光学樹脂４に代えて、測定光Ｌ０及びレーザ光Ｌ１０に対して光透過性を有しない樹脂が用いられてもよい。また、パッケージ２４の天壁２４３に、複数の光路Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４が通る１つの開口が形成されていてもよい。

また、図１５の（ｂ）に示されるように、気密空間Ｓを形成するパッケージ２４とは別に、ビームスプリッタユニット３を支持する支持構造２７が設けられていてもよい。図１５の（ｂ）に示される光モジュール１Ｆでは、ビームスプリッタユニット３は、天壁２４３から離間した状態で、支持構造２７によって支持されている。具体的には、ビームスプリッタユニット３は、支持構造２７の壁部２７１に形成された凹部２７１ａ内にビームスプリッタユニット３の一部が配置された状態で、凹部２７１ａの内面に光学樹脂４によって固定されている。壁部２７１は、Ｚ軸方向において天壁２４３と対向しており、凹部２７１ａは、Ｚ軸方向において天壁２４３とは反対側に開口している。凹部２７１ａの底面には、複数の光路Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４が通る１つの開口２７１ｂが形成さている。このような構成によれば、ビームスプリッタユニット３を支持する支持構造２７がパッケージ２４とは別に設けられているため、ビームスプリッタユニット３のレイアウトの自由度を向上させることができる。なお、開口２７１ｂ内に光学樹脂４が入り込まなければ、光学樹脂４に代えて、測定光Ｌ０及びレーザ光Ｌ１０に対して光透過性を有しない樹脂が用いられてもよい。
［第７実施形態］
［光モジュールの構成］

図１６に示されるように、光モジュール１Ｇは、ビームスプリッタユニット３が、可動ミラー１１及び固定ミラー（第２固定ミラー）２００と共にレーザ光Ｌ１０について干渉光学系Ｉ２を構成している点で、図１２に示される光モジュール１Ｅと主に相違している。固定ミラー２００は、ベース１２の主面１２ａに平行な平面に沿ったミラー面２００ａを有している。固定ミラー２００は、ベース１２に対する位置が固定されている。固定ミラー２００のミラー面２００ａは、可動ミラー１１のミラー面１１ａ及び固定ミラー２１のミラー面２１ａと同様に、Ｚ軸方向における一方の側（ビームスプリッタユニット３側）に向いている。固定ミラー２００は、サブマウント２３に形成された開口２３ｂ内に位置するように、支持体２２の表面２２ｃに配置されている。固定ミラー２００は、Ｚ軸方向から見た場合に、Ｘ軸方向における可動ミラー１１の他方の側（固定ミラー２１とは反対側）に配置されている。固定ミラー２００は、Ｚ軸方向から見た場合に、光学デバイス１０の第２光学機能部１８と重なっている。なお、ミラーユニット２においては、可動ミラー１１、駆動部１３、光路Ｐ１の一部、及び、光路Ｐ２の一部に加え、ビームスプリッタユニット３と固定ミラー２００との間の光路Ｐ４の一部が、気密空間Ｓに配置されている。

ビームスプリッタユニット３は、複数のハーフミラー面３１ａ，３１ｂ、ダイクロイックミラー面３５、全反射ミラー面３８及び複数の光学面３３ａ，３３ｂ，３３ｃ，３３ｄ，３３ｅ，３３ｆを有している。ビームスプリッタユニット３は、複数の光学ブロックが接合されることで構成されている。

光学面３３ａは、例えばＺ軸方向に垂直な面であり、Ｚ軸方向から見た場合に固定ミラー２１のミラー面２１ａと重なっている。ハーフミラー面３１ａは、例えば光学面３３ａに対して４５°傾斜した面であり、Ｚ軸方向から見た場合に固定ミラー２１のミラー面２１ａと重なっている。ハーフミラー面３１ａは、Ｚ軸方向において光学面３３ａと固定ミラー２１のミラー面２１ａとの間に位置している。ハーフミラー面３１ｂは、ハーフミラー面３１ａに平行な面であり、Ｚ軸方向から見た場合に可動ミラー１１のミラー面１１ａと重なっており且つＸ軸方向から見た場合にハーフミラー面３１ａと重なっている。

光学面３３ｂは、光学面３３ａに平行な面であり、Ｚ軸方向から見た場合に可動ミラー１１のミラー面１１ａと重なっている。光学面３３ｂは、Ｚ軸方向においてハーフミラー面３１ｂと可動ミラー１１のミラー面１１ａとの間に位置している。光学面３３ｃは、光学面３３ａに平行な面であり、Ｚ軸方向から見た場合に固定ミラー２１のミラー面２１ａと重なっている。光学面３３ｃは、Ｚ軸方向においてハーフミラー面３１ａと固定ミラー２１のミラー面２１ａとの間に位置している。

光学面３３ｄは、例えばＺ軸方向に垂直な面であり、Ｚ軸方向から見た場合に光源５及び可動ミラー１１のミラー面１１ａと重なっている。光学面３３ｄは、Ｚ軸方向において、ハーフミラー面３１ｂに対して可動ミラー１１のミラー面１１ａとは反対側に位置している。全反射ミラー面３８は、ハーフミラー面３１ａに平行な面であり、Ｚ軸方向から見た場合に固定ミラー２００のミラー面２００ａと重なっており且つＸ軸方向から見た場合にハーフミラー面３１ｂと重なっている。光学面３３ｅは、光学面３３ｄに平行な面であり、Ｚ軸方向から見た場合に固定ミラー２００のミラー面２００ａと重なっている。光学面３３ｅは、Ｚ軸方向において全反射ミラー面３８と固定ミラー２００のミラー面２００ａとの間に位置している。

ダイクロイックミラー面３５は、ハーフミラー面３１ａに平行な面であり、Ｚ軸方向から見た場合に光検出器６と重なっている。ダイクロイックミラー面３５は、Ｘ軸方向において、ハーフミラー面３１ａに対してハーフミラー面３１ｂとは反対側に位置している。光学面３３ｆは、例えばＺ軸方向に垂直な面であり、Ｚ軸方向から見た場合に光検出器６と重なっている。光学面３３ｆは、Ｚ軸方向においてダイクロイックミラー面３５と光検出器６との間に位置している。

以上のように構成された光モジュール１Ｇでは、光モジュール１Ｇの外部から光学面３３ａを介してビームスプリッタユニット３に測定光Ｌ０が入射すると、測定光Ｌ０の一部は、ハーフミラー面３１ａ及びハーフミラー面３１ｂで順次に反射されて、可動ミラー１１のミラー面１１ａに向かって進行する。そして、測定光Ｌ０の一部は、可動ミラー１１のミラー面１１ａで反射されて、同一の光路（光路Ｐ１）上を逆方向に進行し、ハーフミラー面３１ａを透過する。

一方、測定光Ｌ０の残部は、ハーフミラー面３１ａを透過した後、第１光学機能部１７を通過し、更に、支持体２２を透過して、固定ミラー２１のミラー面２１ａに向かって進行する。そして、測定光Ｌ０の残部は、固定ミラー２１のミラー面２１ａで反射されて、同一の光路（光路Ｐ２）上を逆方向に進行し、ハーフミラー面３１ａで反射される。

ハーフミラー面３１ａを透過した測定光Ｌ０の一部と、ハーフミラー面３１ａで反射された測定光Ｌ０の残部とは、干渉光である測定光Ｌ１となり、測定光Ｌ１は、ダイクロイックミラー面３５を透過して、ビームスプリッタユニット３から光モジュール１Ｇの外部に出射する。

また、光源５から出射されたレーザ光Ｌ１０が、光学面３３ｄを介してビームスプリッタユニット３に入射すると、レーザ光Ｌ１０の一部は、ハーフミラー面３１ｂを透過して、可動ミラー１１のミラー面１１ａに向かって進行する。そして、レーザ光Ｌ１０の一部は、可動ミラー１１のミラー面１１ａで反射されて、同一の光路（光路Ｐ３）上を逆方向に進行し、ハーフミラー面３１ｂで反射される。

一方、レーザ光Ｌ１０の残部は、ハーフミラー面３１ｂ及び全反射ミラー面３８で順次に反射されて、固定ミラー２００のミラー面２００ａに向かって進行する。そして、レーザ光Ｌ１０の残部は、固定ミラー２００のミラー面２００ａで反射されて、同一の光路（光路Ｐ４）上を逆方向に進行し、ハーフミラー面３１ｂを透過する。

ハーフミラー面３１ｂで反射されたレーザ光Ｌ１０の一部と、ハーフミラー面３１ｂを透過したレーザ光Ｌ１０の残部とは、干渉光であるレーザ光Ｌ１１となり、レーザ光Ｌ１１は、ハーフミラー面３１ａを透過した後、ダイクロイックミラー面３５で反射されて、光検出器６に入射し、光検出器６で検出される。
［作用及び効果］

光モジュール１Ｇによれば、上述した光モジュール１Ａと同様の理由により、可動ミラー１１のミラー面１１ａの大型化を図りつつも、可動ミラー１１の可動性能の低下及びモジュール全体の大型化を抑制することができる。

光モジュール１Ｇでは、ビームスプリッタユニット３が、可動ミラー１１及び固定ミラー２００と共にレーザ光Ｌ１０について干渉光学系Ｉ２を構成している。これにより、レーザ光Ｌ１０の干渉光であるレーザ光Ｌ１１を検出することで、可動ミラー１１のミラー面１１ａの位置を精度良く計測することができる。また、固定ミラー２００のミラー面２００ａが、固定ミラー２１のミラー面２１ａと同様に、Ｚ軸方向における一方の側に向いている。そのため、例えば、可動ミラー１１のミラー面１１ａ及び固定ミラー２００のミラー面２００ａが互いに直交する位置関係にある場合に比べ、Ｚ軸方向におけるミラーユニット２の高さを抑えることができる。しかも、ビームスプリッタユニット３と可動ミラー１１との間の光路Ｐ１に加え、ビームスプリッタユニット３と固定ミラー２００との間の光路Ｐ４の一部が、ビームスプリッタユニット３と固定ミラー２１との間の光路Ｐ２の一部と同様に、気密空間Ｓに配置されている。これにより、Ｚ軸方向に垂直な方向（光モジュール１Ｇでは、Ｘ軸方向）おけるミラーユニット２の幅を抑えることができる。
［第７実施形態の変形例］

図１７の（ａ）に示されるように、気密空間Ｓは、パッケージ２４及びビームスプリッタユニット３によって形成されていてもよい。図１７の（ａ）に示される光モジュール１Ｇでは、パッケージ２４の天壁２４３に、光路Ｐ１，Ｐ３が通る開口２４３ｂ、光路Ｐ２が通る開口２４３ｃ、及び光路Ｐ４が通る開口２４３ｄが形成されている。各開口２４３ｂ，２４３ｃ，２４３ｄは、Ｚ軸方向において天壁２４３を貫通している。ビームスプリッタユニット３は、各開口２４３ｂ，２４３ｃ，２４３ｄを塞いだ状態で、天壁２４３によって支持されている。具体的には、ビームスプリッタユニット３は、天壁２４３の表面２４３ａに光学樹脂４によって固定されている。このような構成によれば、光路Ｐ１，Ｐ３が通る開口２４３ｂ、光路Ｐ２が通る開口２４３ｃ、及び光路Ｐ３が通る開口２４３ｄが形成された天壁２４３を含む簡易なパッケージ２４によって、気密空間Ｓの形成及びビームスプリッタユニット３の支持の両方を実現することができる。なお、図１７の（ａ）に示される光モジュール１Ｇでは、天壁２４３は、測定光Ｌ０及びレーザ光Ｌ１０に対して光透過性を有していなくてもよい。また、各開口２４３ｂ，２４３ｃ，２４３ｄ内に光学樹脂４が入り込まなければ、光学樹脂４に代えて、測定光Ｌ０及びレーザ光Ｌ１０に対して光透過性を有しない樹脂が用いられてもよい。また、パッケージ２４の天壁２４３に、複数の光路Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４が通る１つの開口が形成されていてもよい。

また、図１７の（ｂ）に示されるように、気密空間Ｓを形成するパッケージ２４とは別に、ビームスプリッタユニット３を支持する支持構造２７が設けられていてもよい。図１７の（ｂ）に示される光モジュール１Ｇでは、ビームスプリッタユニット３は、天壁２４３から離間した状態で、支持構造２７によって支持されている。具体的には、ビームスプリッタユニット３は、支持構造２７の壁部２７１に形成された凹部２７１ａ内にビームスプリッタユニット３の一部が配置された状態で、凹部２７１ａの内面に光学樹脂４によって固定されている。壁部２７１は、Ｚ軸方向において天壁２４３と対向しており、凹部２７１ａは、Ｚ軸方向において天壁２４３とは反対側に開口している。凹部２７１ａの底面には、複数の光路Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４が通る１つの開口２７１ｂが形成さている。このような構成によれば、ビームスプリッタユニット３を支持する支持構造２７がパッケージ２４とは別に設けられているため、ビームスプリッタユニット３のレイアウトの自由度を向上させることができる。なお、開口２７１ｂ内に光学樹脂４が入り込まなければ、光学樹脂４に代えて、測定光Ｌ０及びレーザ光Ｌ１０に対して光透過性を有しない樹脂が用いられてもよい。
［第８実施形態］
［光モジュールの構成］

図１８に示されるように、光モジュール１Ｈは、支持体２２に凹部２２ｂが形成されていない点で、図１に示される光モジュール１Ａと主に相違している。光モジュール１Ｈでは、パッケージ２４の底壁２４１の内面に、光学デバイス１０のベース１２が固定されている。光モジュール１Ｈでは、ベース１２の主面１２ａが天壁２４３の内面と向かい合い、且つベース１２の主面１２ｂが底壁２４１の内面と向かい合うように、光学デバイス１０が配置されている。

光モジュール１Ｈでは、ベース１２の支持層５１のうち可動ミラー１１及び駆動部１３に対応する領域に開口５１ａが形成されている。これにより、可動ミラー１１がＺ軸方向に沿って移動させられた際に、可動ミラー１１及び駆動部１３が支持体２２に接触することが防止される。可動ミラー１１を構成する金属膜は、本体部１１１における主面１２ａ側の表面に形成されている。固定ミラー２１を構成する金属膜は、支持体２２の表面２２ｃの全領域に形成されている。

以上のように構成された光モジュール１Ｈでは、図１に示される光モジュール１Ａと同様に、測定光Ｌ０の干渉光である測定光Ｌ１を得ることができる。なお、光モジュール１Ｈは、測定光入射部３００及び測定光出射部４００を備えている。測定光入射部３００は、外部から干渉光学系Ｉ１に測定光Ｌ０を入射させるように配置されている。測定光入射部３００は、例えば光ファイバ及びコリメートレンズ等によって構成されている。測定光出射部４００は、干渉光学系Ｉ１から外部に測定光Ｌ１（測定光Ｌ０の干渉光）を出射させるように配置されている。測定光出射部４００は、例えば光ファイバ及びコリメートレンズ等によって構成されている。これにより、測定光入射部３００及び測定光出射部４００を備えるＦＴＩＲを得ることができる。
［作用及び効果］

光モジュール１Ｈによれば、上述した光モジュール１Ａと同様の理由により、可動ミラー１１のミラー面１１ａの大型化を図りつつも、可動ミラー１１の可動性能の低下及びモジュール全体の大型化を抑制することができる。
［第８実施形態の変形例］

図１９の（ａ）に示されるように、気密空間Ｓは、パッケージ２４及びビームスプリッタユニット３によって形成されていてもよい。図１９の（ａ）に示される光モジュール１Ｈでは、パッケージ２４の天壁２４３に、光路Ｐ１が通る開口２４３ｂ、及び光路Ｐ２が通る開口２４３ｃが形成されている。各開口２４３ｂ，２４３ｃは、Ｚ軸方向において天壁２４３を貫通している。ビームスプリッタユニット３は、各開口２４３ｂ，２４３ｃを塞いだ状態で、天壁２４３によって支持されている。具体的には、ビームスプリッタユニット３は、天壁２４３の表面２４３ａに光学樹脂４によって固定されている。このような構成によれば、光路Ｐ１が通る開口２４３ｂ、及び光路Ｐ２が通る開口２４３ｃが形成された天壁２４３を含む簡易なパッケージ２４によって、気密空間Ｓの形成及びビームスプリッタユニット３の支持の両方を実現することができる。なお、図１９の（ａ）に示される光モジュール１Ｈでは、天壁２４３は、測定光Ｌ０に対して光透過性を有していなくてもよい。また、各開口２４３ｂ，２４３ｃ内に光学樹脂４が入り込まなければ、光学樹脂４に代えて、測定光Ｌ０に対して光透過性を有しない樹脂が用いられてもよい。また、パッケージ２４の天壁２４３に、複数の光路Ｐ１，Ｐ２が通る１つの開口が形成されていてもよい。

また、図１９の（ｂ）に示されるように、気密空間Ｓを形成するパッケージ２４とは別に、ビームスプリッタユニット３を支持する支持構造２７が設けられていてもよい。図１９の（ｂ）に示される光モジュール１Ｈでは、ビームスプリッタユニット３は、天壁２４３から離間した状態で、支持構造２７によって支持されている。具体的には、ビームスプリッタユニット３は、支持構造２７の壁部２７１に形成された凹部２７１ａ内にビームスプリッタユニット３の一部が配置された状態で、凹部２７１ａの内面に光学樹脂４によって固定されている。壁部２７１は、Ｚ軸方向において天壁２４３と対向しており、凹部２７１ａは、Ｚ軸方向において天壁２４３とは反対側に開口している。凹部２７１ａの底面には、複数の光路Ｐ１，Ｐ２が通る１つの開口２７１ｂが形成さている。このような構成によれば、ビームスプリッタユニット３を支持する支持構造２７がパッケージ２４とは別に設けられているため、ビームスプリッタユニット３のレイアウトの自由度を向上させることができる。なお、開口２７１ｂ内に光学樹脂４が入り込まなければ、光学樹脂４に代えて、測定光Ｌ０に対して光透過性を有しない樹脂が用いられてもよい。
［変形例］

以上、本開示の第１〜第８実施形態について説明したが、本開示は、上述した各実施形態に限定されない。例えば、各構成の材料及び形状は、上述した材料及び形状に限らず、様々な材料及び形状を採用することができる。一例として、支持体２２は、光路Ｐ１の光路長（光路Ｐ１が通る各媒質の屈折率を考慮した光路長）と光路Ｐ２の光路長（光路Ｐ２が通る各媒質の屈折率を考慮した光路長）との差が小さくなるように、光路Ｐ１と光路Ｐ２との間の光路差を補正するものであれば、その材料は限定されない。支持体２２の材料は、ガラスの他に、シリコン、カルコゲナイド等であってもよい。

また、光モジュール１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ，１Ｅ，１Ｆ，１Ｇは、測定光入射部３００及び測定光出射部４００を備えていてもよい。逆に、光モジュール１Ｈは、測定光入射部３００及び測定光出射部４００を備えていなくてもよい。

また、光学デバイス１０の駆動部１３は、ベース１２の主面１２ａに垂直な方向に沿って可動ミラー１１を移動させることができるものであれば、上述した構成に限定されない。一例として、第１弾性支持部１４と第２弾性支持部１５とは、可動ミラー１１の中心を通り且つＸ軸方向に垂直な平面に関して、互いに対称の構造を有していてもよい。また、第１弾性支持部１４と第２弾性支持部１５とは、可動ミラー１１の中心を通り且つＹ軸方向に垂直な平面に関して、互いに対称の構造を有していてもよい。また、駆動部１３は、可動ミラー１１を弾性的に支持する３つ以上の弾性支持部を有していてもよい。更に、アクチュエータ部１６は、静電アクチュエータとして構成されたものに限定されず、例えば、圧電式アクチュエータ、電磁式アクチュエータ等として構成されたものであってもよい。

また、光モジュール１Ｅ，１Ｆ，１Ｇでは、レーザ光Ｌ１０が進行せず且つ測定光Ｌ０が進行する光路上に、レーザ光Ｌ１０の中心波長を含む波長範囲の光をカットするフィルタが配置されていてもよい。一例として、図１２に示される光モジュール１Ｅでは、光学面３３ａの前段に、上述したフィルタを配置すればよい。その場合、レーザ光Ｌ１０の干渉光であるレーザ光Ｌ１１の検出において測定光Ｌ０がノイズとなるのを防止することができる。

図４〜図６及び図１２〜図１９に示される光学デバイス１０における駆動部１３は、図１〜図３に示される光学デバイス１０における駆動部１３と同様の構成を有しており、図７〜図１１に示される光学デバイス１０における駆動部１３は、図１〜図３に示される光学デバイス１０における駆動部１３と異なり、図２０に示される構成を有している。図２０に示される光学デバイス１０では、一対の第１レバー１４１のそれぞれにおける可動ミラー１１とは反対側の端部１４１ｂがトーションバー１４４を介してベース１２に接続されており、一対の第３レバー１５１のそれぞれにおける可動ミラー１１とは反対側の端部１５１ｂがトーションバー１５４を介してベース１２に接続されている。つまり、図２０に示される光学デバイス１０には、一対の第２レバー１４２及び一対の第４レバー１５２が設けられていない。このように、図２０に示される光学デバイス１０では、第１弾性支持部１４及び第２弾性支持部１５の構造の単純化が図られている。

上述した一の実施形態又は変形例における各構成は、他の実施形態又は変形例における各構成に任意に適用することができる。

１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ，１Ｅ，１Ｆ，１Ｇ，１Ｈ…光モジュール、２…ミラーユニット、３…ビームスプリッタユニット、５…光源、６…光検出器、１１…可動ミラー、１１ａ…ミラー面、１２…ベース、１２ａ…主面、１３…駆動部、２１…固定ミラー（第１固定ミラー）、２１ａ…ミラー面、２２…支持体、２２ｃ…表面、２４…パッケージ、２７…支持構造、２９…支持壁（壁）、２９ｄ，２９ｅ…開口、５０…ＳＯＩ基板、１１１…本体部（可動部）、１１２…壁部（可動部）、１１３，１１４…ブラケット（可動部）、２００…固定ミラー（第２固定ミラー）、２００ａ…ミラー面、２４３…天壁（壁）、２４３ｂ，２４３ｃ…開口、Ｉ１…干渉光学系（第１干渉光学系）、Ｉ２…干渉光学系（第２干渉光学系）、Ｌ０，Ｌ１…測定光、Ｌ１０，Ｌ１１…レーザ光、Ｐ１…光路（第１光路）、Ｐ２…光路（第２光路）、Ｐ４…光路、Ｓ…気密空間。

Claims

ミラーユニットと、ビームスプリッタユニットと、を備え、
前記ミラーユニットは、
主面を有するベースと、
前記主面に平行な平面に沿ったミラー面を有し、前記主面に垂直な第１方向に沿って移動可能となるように前記ベースにおいて支持された可動ミラーと、
前記主面に平行な平面に沿ったミラー面を有し、前記ベースに対する位置が固定された第１固定ミラーと、
前記第１方向に沿って前記可動ミラーを移動させる駆動部と、を有し、
前記ビームスプリッタユニットは、前記可動ミラー及び前記第１固定ミラーと共に測定光について第１干渉光学系を構成しており、
前記可動ミラーの前記ミラー面及び前記第１固定ミラーの前記ミラー面は、前記第１方向における一方の側に向いており、
前記ミラーユニットにおいては、前記可動ミラー及び前記駆動部、並びに、前記ビームスプリッタユニットと前記第１固定ミラーとの間の光路の少なくとも一部が、気密空間に配置されている、光モジュール。
前記ミラーユニットは、光透過性を有する支持体を更に有し、
前記ベースは、前記支持体によって支持されており、
前記第１固定ミラーは、前記支持体における前記ベースとは反対側の表面に配置されており、
前記支持体は、前記ビームスプリッタユニットと前記可動ミラーとの間の第１光路と、前記ビームスプリッタユニットと前記第１固定ミラーとの間の第２光路との間の光路差を補正する、請求項１に記載の光モジュール。
前記ミラーユニットは、前記ベース、前記可動ミラー、前記第１固定ミラー、前記駆動部及び前記支持体を収容するパッケージを更に有し、
前記パッケージは、光透過性を有する壁を含み、
前記ビームスプリッタユニットは、前記壁によって支持されており、
前記気密空間は、前記パッケージによって形成されている、請求項２に記載の光モジュール。
前記ミラーユニットは、前記ベース、前記可動ミラー、前記第１固定ミラー、前記駆動部及び前記支持体を収容するパッケージを更に有し、
前記パッケージは、前記第１光路及び前記第２光路が通る少なくとも１つの開口が形成された壁を含み、
前記ビームスプリッタユニットは、前記少なくとも１つの開口を塞いだ状態で、前記壁によって支持されており、
前記気密空間は、前記パッケージ及び前記ビームスプリッタユニットによって形成されている、請求項２に記載の光モジュール。
前記ミラーユニットは、前記ベース、前記可動ミラー、前記第１固定ミラー、前記駆動部及び前記支持体を収容するパッケージと、前記ビームスプリッタユニットを支持する支持構造と、を更に有し、
前記パッケージは、光透過性を有する壁を含み、
前記ビームスプリッタユニットは、前記壁から離間した状態で、前記支持構造によって支持されており、
前記気密空間は、前記パッケージによって形成されている、請求項２に記載の光モジュール。
前記ミラーユニットは、光透過性を有する壁を更に有し、
前記ビームスプリッタユニットは、前記壁によって支持されており、
前記気密空間は、前記ベース、前記支持体及び前記壁によって形成されている、請求項２に記載の光モジュール。
前記ミラーユニットは、前記第１光路及び前記第２光路が通る少なくとも１つの開口が形成された壁を更に有し、
前記ビームスプリッタユニットは、前記少なくとも１つの開口を塞いだ状態で、前記壁によって支持されており、
前記気密空間は、前記ベース、前記支持体、前記壁及び前記ビームスプリッタユニットによって形成されている、請求項２に記載の光モジュール。
前記ミラーユニットは、光透過性を有する壁と、前記ビームスプリッタユニットを支持する支持構造と、を更に有し、
前記ビームスプリッタユニットは、前記壁から離間した状態で、前記支持構造によって支持されており、
前記気密空間は、前記ベース、前記支持体及び前記壁によって形成されている、請求項２に記載の光モジュール。
前記ミラーユニットにおいては、前記可動ミラーの前記ミラー面及び前記第１固定ミラーの前記ミラー面が、前記主面に平行な同一の平面に沿って配置されており、
前記ビームスプリッタユニットは、前記ビームスプリッタユニットと前記可動ミラーとの間の第１光路と、前記ビームスプリッタユニットと前記第１固定ミラーとの間の第２光路との間の光路差を補正する、請求項１に記載の光モジュール。
前記ミラーユニットは、前記ベース、前記可動ミラー、前記第１固定ミラー及び前記駆動部を収容するパッケージを更に有し、
前記パッケージは、光透過性を有する壁を含み、
前記ビームスプリッタユニットは、前記壁によって支持されており、
前記気密空間は、前記パッケージによって形成されている、請求項９に記載の光モジュール。
前記ミラーユニットは、前記ベース、前記可動ミラー、前記第１固定ミラー及び前記駆動部を収容するパッケージを更に有し、
前記パッケージは、前記第１光路及び前記第２光路が通る少なくとも１つの開口が形成された壁を含み、
前記ビームスプリッタユニットは、前記少なくとも１つの開口を塞いだ状態で、前記壁によって支持されており、
前記気密空間は、前記パッケージ及び前記ビームスプリッタユニットによって形成されている、請求項９に記載の光モジュール。
前記ミラーユニットは、前記ベース、前記可動ミラー、前記第１固定ミラー及び前記駆動部を収容するパッケージを更に有し、
前記パッケージは、光透過性を有する壁と、前記ビームスプリッタユニットを支持する支持構造と、を含み、
前記ビームスプリッタユニットは、前記壁から離間した状態で、前記支持構造によって支持されており、
前記気密空間は、前記パッケージによって形成されている、請求項９に記載の光モジュール。
前記ミラーユニットは、光透過性を有する壁を更に有し、
前記ビームスプリッタユニットは、前記壁によって支持されており、
前記気密空間は、前記ベース及び前記壁によって形成されている、請求項９に記載の光モジュール。
前記ミラーユニットは、前記第１光路及び前記第２光路が通る少なくとも１つの開口が形成された壁を更に有し、
前記ビームスプリッタユニットは、前記少なくとも１つの開口を塞いだ状態で、前記壁によって支持されており、
前記気密空間は、前記ベース、前記壁及び前記ビームスプリッタユニットによって形成されている、請求項９に記載の光モジュール。
前記ミラーユニットは、光透過性を有する壁と、前記ビームスプリッタユニットを支持する支持構造と、を更に有し、
前記ビームスプリッタユニットは、前記壁から離間した状態で、前記支持構造によって支持されており、
前記気密空間は、前記ベース及び前記壁によって形成されている、請求項９に記載の光モジュール。
外部から前記第１干渉光学系に前記測定光を入射させるように配置された測定光入射部と、
前記第１干渉光学系から外部に前記測定光を出射させるように配置された測定光出射部と、を更に備える、請求項１〜１５のいずれか一項に記載の光モジュール。
前記ビームスプリッタユニットは、前記可動ミラー及び前記第１固定ミラーと共にレーザ光について第２干渉光学系を構成している、請求項１〜１６のいずれか一項に記載の光モジュール。
前記ミラーユニットは、
前記主面に平行な平面に沿ったミラー面を有し、前記ベースに対する位置が固定された第２固定ミラーを更に有し、
前記ビームスプリッタユニットは、前記可動ミラー及び前記第２固定ミラーと共にレーザ光について第２干渉光学系を構成しており、
前記第２固定ミラーの前記ミラー面は、前記第１方向における前記一方の側に向いており、
前記ミラーユニットにおいては、前記可動ミラー及び前記駆動部、前記ビームスプリッタユニットと前記第１固定ミラーとの間の光路の少なくとも一部、並びに、前記ビームスプリッタユニットと前記第２固定ミラーとの間の光路の少なくとも一部が、前記気密空間に配置されている、請求項１〜１６のいずれか一項に記載の光モジュール。
前記第２干渉光学系に入射させる前記レーザ光を発生する光源と、
前記第２干渉光学系から出射された前記レーザ光を検出する光検出器と、を更に備える、請求項１７又は１８に記載の光モジュール。
前記ベース、前記可動ミラーの可動部、及び前記駆動部は、ＳＯＩ基板によって構成されている、請求項１〜１９のいずれか一項に記載の光モジュール。