JP3518376B2 - 光干渉計 - Google Patents
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- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02049—Interferometers characterised by particular mechanical design details
- G01B9/02051—Integrated design, e.g. on-chip or monolithic
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
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- General Physics & Mathematics (AREA)
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、光計測技
術分野で使用する光干渉計に関するものである。
術分野で使用する光干渉計に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図６は従来の光干渉計の概略構成例を示
した平面図で、図中、１は入射光、２はビームスプリッ
タ、３，４はミラー、５は受光器である。この光干渉計
は、図示のように、入射光１をビームスプリッタ２によ
って透過光と反射光による直交する２光路に分割し、そ
れぞれの光路に直角に置いたミラー３，４による反射光
を再びビームスプリッタ２で合波する。このとき、一方
のミラー３を設置した図示しないステージを等速で動か
すことで、２つのミラー３，４からの反射光の光路長に
差ができ、干渉縞の強度変化が見られる。この干渉縞の
強度変化を受光器５で電気信号として取り出す。
した平面図で、図中、１は入射光、２はビームスプリッ
タ、３，４はミラー、５は受光器である。この光干渉計
は、図示のように、入射光１をビームスプリッタ２によ
って透過光と反射光による直交する２光路に分割し、そ
れぞれの光路に直角に置いたミラー３，４による反射光
を再びビームスプリッタ２で合波する。このとき、一方
のミラー３を設置した図示しないステージを等速で動か
すことで、２つのミラー３，４からの反射光の光路長に
差ができ、干渉縞の強度変化が見られる。この干渉縞の
強度変化を受光器５で電気信号として取り出す。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】以上のように従来は、
一方のミラー３をその光路上に沿って移動する方式のた
め、移動距離が長く、移動時間もかかり、また、移動距
離の長さに応じて精度を確保しなければならなかった。
従って、従来の光干渉計では、小型化と測定時間の短縮
に限界があり、また、精度管理の面からも改善が望まれ
る。
一方のミラー３をその光路上に沿って移動する方式のた
め、移動距離が長く、移動時間もかかり、また、移動距
離の長さに応じて精度を確保しなければならなかった。
従って、従来の光干渉計では、小型化と測定時間の短縮
に限界があり、また、精度管理の面からも改善が望まれ
る。
【０００４】そこで、本発明の目的は、測定時間を短縮
するとともに、精度管理を楽にしながら測定精度を向上
する光干渉計を提供することにある。さらに、本発明
は、光干渉計の小型化を図ることも目的としている。
するとともに、精度管理を楽にしながら測定精度を向上
する光干渉計を提供することにある。さらに、本発明
は、光干渉計の小型化を図ることも目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】以上の課題を解決すべく
請求項１記載の発明は、入射光をビームスプリッタによ
り反射光と透過光による直交する２光路に分岐し、各々
の光路で反射光を第１の反射器により全反射して透過光
を第２の反射器により全反射し、両反射器による反射光
を再びビームスプリッタで合波してから受光器に受光さ
せる光干渉計であって、入射光を直角に反射してビーム
スプリッタに入射する第３の反射器と、ビームスプリッ
タからの透過光を直角に反射して第２の反射器に入射す
る第４の反射器と、ビームスプリッタと第３及び第４の
両反射器を配置し、第１の反射器から受光器への光路に
沿って移動可能な移動部材と、を備えた構成、を特徴と
している。
請求項１記載の発明は、入射光をビームスプリッタによ
り反射光と透過光による直交する２光路に分岐し、各々
の光路で反射光を第１の反射器により全反射して透過光
を第２の反射器により全反射し、両反射器による反射光
を再びビームスプリッタで合波してから受光器に受光さ
せる光干渉計であって、入射光を直角に反射してビーム
スプリッタに入射する第３の反射器と、ビームスプリッ
タからの透過光を直角に反射して第２の反射器に入射す
る第４の反射器と、ビームスプリッタと第３及び第４の
両反射器を配置し、第１の反射器から受光器への光路に
沿って移動可能な移動部材と、を備えた構成、を特徴と
している。
【０００６】ここで、反射器としては、ミラーが代表的
であるが、ミラーの代わりに、例えば、コーナーキュー
ブ、リフレクタなども使用できる。受光器は、干渉縞の
強度変化を電気信号として取り出すものである。移動部
材は、一般的には、ステージと呼ばれる。
であるが、ミラーの代わりに、例えば、コーナーキュー
ブ、リフレクタなども使用できる。受光器は、干渉縞の
強度変化を電気信号として取り出すものである。移動部
材は、一般的には、ステージと呼ばれる。
【０００７】以上のように、請求項１記載の発明によれ
ば、入射光を、第３の反射器により直角に反射してビー
ムスプリッタに入射し、このビームスプリッタにより反
射光と透過光による直交する２光路に分岐し、各々の光
路において、ビームスプリッタからの反射光を、第１の
反射器により全反射する一方、ビームスプリッタからの
透過光を、第４の反射器により直角に反射して第２の反
射器に入射し、この第２の反射器により全反射して、両
反射光を再びビームスプリッタで合波してから受光器に
受光させる光干渉計であって、ビームスプリッタと第３
及び第４の両反射器が配置された移動部材を、第１の反
射器から受光器への光路に沿って移動するので、第１の
反射器からの反射光と第２の反射器からの反射光の光路
長が同時に変化し、従来の光干渉計の半分の移動距離で
同一の光路長差が得られる。このように、従来の光干渉
計に比べて移動距離が半分になるので、測定時間を短縮
できる。そして、移動距離が短いため、移動によるブレ
が小さく、部品の精度管理が楽になり、しかも、測定精
度を向上できる。さらに、移動距離が短いため、小型化
できる。
ば、入射光を、第３の反射器により直角に反射してビー
ムスプリッタに入射し、このビームスプリッタにより反
射光と透過光による直交する２光路に分岐し、各々の光
路において、ビームスプリッタからの反射光を、第１の
反射器により全反射する一方、ビームスプリッタからの
透過光を、第４の反射器により直角に反射して第２の反
射器に入射し、この第２の反射器により全反射して、両
反射光を再びビームスプリッタで合波してから受光器に
受光させる光干渉計であって、ビームスプリッタと第３
及び第４の両反射器が配置された移動部材を、第１の反
射器から受光器への光路に沿って移動するので、第１の
反射器からの反射光と第２の反射器からの反射光の光路
長が同時に変化し、従来の光干渉計の半分の移動距離で
同一の光路長差が得られる。このように、従来の光干渉
計に比べて移動距離が半分になるので、測定時間を短縮
できる。そして、移動距離が短いため、移動によるブレ
が小さく、部品の精度管理が楽になり、しかも、測定精
度を向上できる。さらに、移動距離が短いため、小型化
できる。
【０００８】請求項２記載の発明は、請求項１記載の光
干渉計であって、ビームスプリッタからの反射光に対し
て平行移動した位置に反射して第１の反射器に入射する
第５の反射器と、第４の反射器からの反射光に対して平
行移動した位置に反射して第２の反射器に入射する第６
の反射器と、を備え、移動部材には、第１及び第２の両
反射器も配置した構成、を特徴としている。
干渉計であって、ビームスプリッタからの反射光に対し
て平行移動した位置に反射して第１の反射器に入射する
第５の反射器と、第４の反射器からの反射光に対して平
行移動した位置に反射して第２の反射器に入射する第６
の反射器と、を備え、移動部材には、第１及び第２の両
反射器も配置した構成、を特徴としている。
【０００９】このように、請求項２記載の発明によれ
ば、請求項１記載の光干渉計において、ビームスプリッ
タからの反射光を第５の反射器により平行移動した位置
に反射して第１の反射器に入射する一方、第４の反射器
からの反射光を第６の反射器により平行移動した位置に
反射して第２の反射器に入射させるようにして、ビーム
スプリッタと第３及び第４の両反射器を配置した移動部
材に第１及び第２の両反射器も配置したので、移動距離
がさらに半分になり、即ち、従来の光干渉計に比べて移
動距離が１／４になる。
ば、請求項１記載の光干渉計において、ビームスプリッ
タからの反射光を第５の反射器により平行移動した位置
に反射して第１の反射器に入射する一方、第４の反射器
からの反射光を第６の反射器により平行移動した位置に
反射して第２の反射器に入射させるようにして、ビーム
スプリッタと第３及び第４の両反射器を配置した移動部
材に第１及び第２の両反射器も配置したので、移動距離
がさらに半分になり、即ち、従来の光干渉計に比べて移
動距離が１／４になる。
【００１０】また、請求項３記載の発明は、入射光をビ
ームスプリッタにより反射光と透過光による直交する２
光路に分岐し、各々の光路で反射光を第１の反射器によ
り全反射して透過光を第２の反射器により全反射し、両
反射器による反射光を再びビームスプリッタで合波して
から受光器に受光させる光干渉計であって、ビームスプ
リッタからの透過光を直角に反射して第２の反射器に入
射する第３の反射器と、第１及び第２の両反射器を第１
の反射器から受光器への光路に沿って相寄る方向及び相
離間する方向に同期して移動させる移動手段と、を備え
た構成、を特徴としている。
ームスプリッタにより反射光と透過光による直交する２
光路に分岐し、各々の光路で反射光を第１の反射器によ
り全反射して透過光を第２の反射器により全反射し、両
反射器による反射光を再びビームスプリッタで合波して
から受光器に受光させる光干渉計であって、ビームスプ
リッタからの透過光を直角に反射して第２の反射器に入
射する第３の反射器と、第１及び第２の両反射器を第１
の反射器から受光器への光路に沿って相寄る方向及び相
離間する方向に同期して移動させる移動手段と、を備え
た構成、を特徴としている。
【００１１】このように、請求項３記載の発明によれ
ば、入射光をビームスプリッタにより反射光と透過光に
よる直交する２光路に分岐し、各々の光路において、ビ
ームスプリッタからの反射光を、第１の反射器により全
反射する一方、ビームスプリッタからの透過光を、第３
の反射器により直角に反射して第２の反射器に入射し、
この第２の反射器により全反射して、両反射光を再びビ
ームスプリッタで合波してから受光器に受光させる光干
渉計であって、第１及び第２の両反射器を、移動手段に
より第１の反射器から受光器への光路に沿って相寄る方
向及び相離間する方向に同期して移動させるので、第１
の反射器からの反射光と第２の反射器からの反射光の光
路長が同時に変化し、第１の反射器と第２の反射器とが
同時に逆方向に動いて、従来の光干渉計の半分の時間で
測定できる。そして、第１及び第２の両反射器の移動距
離が従来の半分となるため、移動によるブレが小さく、
部品の精度管理が楽になり、しかも、測定精度を向上で
きる。
ば、入射光をビームスプリッタにより反射光と透過光に
よる直交する２光路に分岐し、各々の光路において、ビ
ームスプリッタからの反射光を、第１の反射器により全
反射する一方、ビームスプリッタからの透過光を、第３
の反射器により直角に反射して第２の反射器に入射し、
この第２の反射器により全反射して、両反射光を再びビ
ームスプリッタで合波してから受光器に受光させる光干
渉計であって、第１及び第２の両反射器を、移動手段に
より第１の反射器から受光器への光路に沿って相寄る方
向及び相離間する方向に同期して移動させるので、第１
の反射器からの反射光と第２の反射器からの反射光の光
路長が同時に変化し、第１の反射器と第２の反射器とが
同時に逆方向に動いて、従来の光干渉計の半分の時間で
測定できる。そして、第１及び第２の両反射器の移動距
離が従来の半分となるため、移動によるブレが小さく、
部品の精度管理が楽になり、しかも、測定精度を向上で
きる。
【００１２】請求項４記載の発明は、請求項３記載の光
干渉計であって、前記移動手段は、逆ネジ部を有する送
りネジ部材を有し、この送りネジ部材を第１の反射器か
ら受光器への光路と平行に配置して、その逆ネジ部の一
方を第１の反射器が配置された移動部材に螺合して他方
を第２の反射器が配置された移動部材に螺合した構成、
を特徴としている。
干渉計であって、前記移動手段は、逆ネジ部を有する送
りネジ部材を有し、この送りネジ部材を第１の反射器か
ら受光器への光路と平行に配置して、その逆ネジ部の一
方を第１の反射器が配置された移動部材に螺合して他方
を第２の反射器が配置された移動部材に螺合した構成、
を特徴としている。
【００１３】このように、請求項４記載の発明によれ
ば、請求項３記載の光干渉計において、第１の反射器か
ら受光器への光路と平行に配置した送りネジ部材の逆ネ
ジ部の一方を第１の反射器が配置された移動部材に螺合
して他方を第２の反射器が配置された移動部材に螺合し
た移動手段なので、送りネジ部材の回転駆動によって、
第１の反射器と第２の反射器とが同時に逆方向に動く。
ば、請求項３記載の光干渉計において、第１の反射器か
ら受光器への光路と平行に配置した送りネジ部材の逆ネ
ジ部の一方を第１の反射器が配置された移動部材に螺合
して他方を第２の反射器が配置された移動部材に螺合し
た移動手段なので、送りネジ部材の回転駆動によって、
第１の反射器と第２の反射器とが同時に逆方向に動く。
【００１４】また、請求項５記載の発明は、入射光をビ
ームスプリッタにより反射光と透過光による直交する２
光路に分岐し、各々の光路で反射光を第１の反射器によ
り全反射して透過光を第２の反射器により全反射し、両
反射器による反射光を再びビームスプリッタで合波して
から受光器に受光させる光干渉計であって、ビームスプ
リッタからの透過光を直角に反射して、ビームスプリッ
タを挟んで第１の反射器と反対側に配置された第２の反
射器に入射する第３の反射器と、第１及び第２の両反射
器を配置し、第１の反射器から受光器への光路に沿って
移動可能な移動部材と、を備えた構成、を特徴としてい
る。
ームスプリッタにより反射光と透過光による直交する２
光路に分岐し、各々の光路で反射光を第１の反射器によ
り全反射して透過光を第２の反射器により全反射し、両
反射器による反射光を再びビームスプリッタで合波して
から受光器に受光させる光干渉計であって、ビームスプ
リッタからの透過光を直角に反射して、ビームスプリッ
タを挟んで第１の反射器と反対側に配置された第２の反
射器に入射する第３の反射器と、第１及び第２の両反射
器を配置し、第１の反射器から受光器への光路に沿って
移動可能な移動部材と、を備えた構成、を特徴としてい
る。
【００１５】このように、請求項５記載の発明によれ
ば、入射光をビームスプリッタにより反射光と透過光に
よる直交する２光路に分岐し、各々の光路において、ビ
ームスプリッタからの反射光を、第１の反射器により全
反射する一方、ビームスプリッタからの透過光を、第３
の反射器により直角に反射して、ビームスプリッタを挟
んで第１の反射器と反対側に配置された第２の反射器に
入射し、この第２の反射器により全反射して、両反射光
を再びビームスプリッタで合波してから受光器に受光さ
せる光干渉計であって、第１及び第２の両反射器が配置
された移動部材を、第１の反射器から受光器への光路に
沿って移動するので、第１の反射器と第２の反射器とが
同時に同一方向に動いて、第１の反射器からの反射光と
第２の反射器からの反射光の光路長が同時に変化し、従
来の光干渉計の半分の移動距離で同一の光路長差が得ら
れる。このように、従来の光干渉計に比べて移動距離が
半分になるので、測定時間を短縮できる。そして、移動
距離が短いため、移動によるブレが小さく、部品の精度
管理が楽になり、しかも、測定精度を向上できる。
ば、入射光をビームスプリッタにより反射光と透過光に
よる直交する２光路に分岐し、各々の光路において、ビ
ームスプリッタからの反射光を、第１の反射器により全
反射する一方、ビームスプリッタからの透過光を、第３
の反射器により直角に反射して、ビームスプリッタを挟
んで第１の反射器と反対側に配置された第２の反射器に
入射し、この第２の反射器により全反射して、両反射光
を再びビームスプリッタで合波してから受光器に受光さ
せる光干渉計であって、第１及び第２の両反射器が配置
された移動部材を、第１の反射器から受光器への光路に
沿って移動するので、第１の反射器と第２の反射器とが
同時に同一方向に動いて、第１の反射器からの反射光と
第２の反射器からの反射光の光路長が同時に変化し、従
来の光干渉計の半分の移動距離で同一の光路長差が得ら
れる。このように、従来の光干渉計に比べて移動距離が
半分になるので、測定時間を短縮できる。そして、移動
距離が短いため、移動によるブレが小さく、部品の精度
管理が楽になり、しかも、測定精度を向上できる。
【００１６】請求項６記載の発明は、請求項５記載の光
干渉計であって、入射光を直角に反射してビームスプリ
ッタに入射する第４の反射器と、ビームスプリッタから
の反射光に対して平行移動した位置に反射して第１の反
射器に入射する第５の反射器と、第３の反射器からの反
射光に対して平行移動した位置に反射して第２の反射器
に入射する第６の反射器と、第５及び第６の両反射器を
配置し、第５の反射器から受光器への光路に沿って移動
可能な第２の移動部材と、を備え、第１及び第２の両反
射器を配置した第１の移動部材には、ビームスプリッタ
と第３及び第４の両反射器も配置した構成、を特徴とし
ている。
干渉計であって、入射光を直角に反射してビームスプリ
ッタに入射する第４の反射器と、ビームスプリッタから
の反射光に対して平行移動した位置に反射して第１の反
射器に入射する第５の反射器と、第３の反射器からの反
射光に対して平行移動した位置に反射して第２の反射器
に入射する第６の反射器と、第５及び第６の両反射器を
配置し、第５の反射器から受光器への光路に沿って移動
可能な第２の移動部材と、を備え、第１及び第２の両反
射器を配置した第１の移動部材には、ビームスプリッタ
と第３及び第４の両反射器も配置した構成、を特徴とし
ている。
【００１７】このように、請求項６記載の発明によれ
ば、請求項５記載の光干渉計において、入射光を第４の
反射器により直角に反射してビームスプリッタに入射
し、このビームスプリッタからの反射光を第５の反射器
により平行移動した位置に反射して第１の反射器に入射
する一方、ビームスプリッタからの透過光を直角に反射
した第３の反射器からの反射光を第６の反射器により平
行移動した位置に反射して第２の反射器に入射させるよ
うにして、第１及び第２の両反射器を配置した第１の移
動部材にビームスプリッタと第３及び第４の両反射器も
配置して、第５及び第６の両反射器が配置された第２の
移動部材を、第５の反射器から受光器への光路に沿って
移動するので、移動距離がさらに短くなり、即ち、従来
の光干渉計に比べて移動距離が半分よりもさらに短くな
る。
ば、請求項５記載の光干渉計において、入射光を第４の
反射器により直角に反射してビームスプリッタに入射
し、このビームスプリッタからの反射光を第５の反射器
により平行移動した位置に反射して第１の反射器に入射
する一方、ビームスプリッタからの透過光を直角に反射
した第３の反射器からの反射光を第６の反射器により平
行移動した位置に反射して第２の反射器に入射させるよ
うにして、第１及び第２の両反射器を配置した第１の移
動部材にビームスプリッタと第３及び第４の両反射器も
配置して、第５及び第６の両反射器が配置された第２の
移動部材を、第５の反射器から受光器への光路に沿って
移動するので、移動距離がさらに短くなり、即ち、従来
の光干渉計に比べて移動距離が半分よりもさらに短くな
る。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下に、本発明に係る光干渉計の
実施の各形態例を図１から図５に基づいて説明する。
実施の各形態例を図１から図５に基づいて説明する。
【００１９】＜第１の実施の形態例＞先ず、図１は本発
明を適用した第１の実施の形態例としての光干渉計の概
略構成を示した平面図で、前述した従来の光干渉計（図
６参照）と同様に、図中、１は入射光、２はビームスプ
リッタ、３，４はミラー（第１及び第２の反射器）、５
は受光器であって、６，７はミラー（第３及び第４の反
射器）、８はステージ（移動部材）である。この実施の
形態例は、前述した２つのミラー３，４を第１及び第２
の反射器として、新たに第３及び第４の反射器として２
つのミラー６，７を設け、前述したビームスプリッタ２
と２つのミラー６，７を移動部材であるステージ８上に
配置したものである。
明を適用した第１の実施の形態例としての光干渉計の概
略構成を示した平面図で、前述した従来の光干渉計（図
６参照）と同様に、図中、１は入射光、２はビームスプ
リッタ、３，４はミラー（第１及び第２の反射器）、５
は受光器であって、６，７はミラー（第３及び第４の反
射器）、８はステージ（移動部材）である。この実施の
形態例は、前述した２つのミラー３，４を第１及び第２
の反射器として、新たに第３及び第４の反射器として２
つのミラー６，７を設け、前述したビームスプリッタ２
と２つのミラー６，７を移動部材であるステージ８上に
配置したものである。
【００２０】具体的には、図示のように、ビームスプリ
ッタ２及び第１のミラー３と一直線上に配置した受光器
５と平行に入射光１と第２のミラー４を配置している。
そして、入射光１を直角に反射してビームスプリッタ２
に入射する第３のミラー６を設けている。また、ビーム
スプリッタ２からの透過光を直角に反射して第２のミラ
ー４に入射する第４のミラー７を設けている。さらに、
ビームスプリッタ２とその両側の第３及び第４のミラー
６，７とを、ステージ８上に配置している。このステー
ジ８は、図中に太矢印で示したように、第１のミラー３
から受光器５への光路に沿って図示しない駆動源及び駆
動機構の駆動により往復移動可能である。
ッタ２及び第１のミラー３と一直線上に配置した受光器
５と平行に入射光１と第２のミラー４を配置している。
そして、入射光１を直角に反射してビームスプリッタ２
に入射する第３のミラー６を設けている。また、ビーム
スプリッタ２からの透過光を直角に反射して第２のミラ
ー４に入射する第４のミラー７を設けている。さらに、
ビームスプリッタ２とその両側の第３及び第４のミラー
６，７とを、ステージ８上に配置している。このステー
ジ８は、図中に太矢印で示したように、第１のミラー３
から受光器５への光路に沿って図示しない駆動源及び駆
動機構の駆動により往復移動可能である。
【００２１】以上の通り、ビームスプリッタ２を第３及
び第４のミラー６，７と一緒にステージ８上に配置して
移動するため、第１のミラー３からの反射光と第２のミ
ラー４からの反射光の光路長を同時に変化させることと
なり、従来の光干渉計の半分の移動距離で同一の光路長
差を得ることができる。このように、従来の光干渉計に
比べて移動距離が半分になるため、測定時間を短縮でき
る。また、移動距離が短いため、ステージ８の移動によ
るブレを小さくすることができ、測定精度を向上でき
る。そして、移動距離が短いため、光干渉計を小型化で
きる。
び第４のミラー６，７と一緒にステージ８上に配置して
移動するため、第１のミラー３からの反射光と第２のミ
ラー４からの反射光の光路長を同時に変化させることと
なり、従来の光干渉計の半分の移動距離で同一の光路長
差を得ることができる。このように、従来の光干渉計に
比べて移動距離が半分になるため、測定時間を短縮でき
る。また、移動距離が短いため、ステージ８の移動によ
るブレを小さくすることができ、測定精度を向上でき
る。そして、移動距離が短いため、光干渉計を小型化で
きる。
【００２２】＜第２の実施の形態例＞図２は本発明を適
用した第２の実施の形態例としての光干渉計の概略構成
を示した平面図で、前述した第１の実施の形態例（図１
参照）と同様に、図中、１は入射光、２はビームスプリ
ッタ、３，４はミラー（第１及び第２の反射器）、５は
受光器、６，７はミラー（第３及び第４の反射器）、８
はステージ（移動部材）であって、１１，１２はリフレ
クタ（第５及び第６の反射器）である。この実施の形態
例は、前述した第１の実施の形態例の構成において、新
たに第５及び第６の反射器として２つのリフレクタ１
１，１２を設け、前述したビームスプリッタ２と第３及
び第４のミラー６，７を配置したステージ８上に、さら
に、第１及び第２のミラー３，４も一緒に配置したもの
である。
用した第２の実施の形態例としての光干渉計の概略構成
を示した平面図で、前述した第１の実施の形態例（図１
参照）と同様に、図中、１は入射光、２はビームスプリ
ッタ、３，４はミラー（第１及び第２の反射器）、５は
受光器、６，７はミラー（第３及び第４の反射器）、８
はステージ（移動部材）であって、１１，１２はリフレ
クタ（第５及び第６の反射器）である。この実施の形態
例は、前述した第１の実施の形態例の構成において、新
たに第５及び第６の反射器として２つのリフレクタ１
１，１２を設け、前述したビームスプリッタ２と第３及
び第４のミラー６，７を配置したステージ８上に、さら
に、第１及び第２のミラー３，４も一緒に配置したもの
である。
【００２３】具体的には、図示のように、ビームスプリ
ッタ２からの反射光を平行移動した位置に反射するリフ
レクタ１１を設けて、その反射光を反射する第１のミラ
ー３をビームスプリッタ２及び第４のミラー７の近傍に
配置している。また、ビームスプリッタ２からの透過光
で第４のミラー７による反射光を平行移動した位置に反
射するリフレクタ１２を設けて、その反射光を反射する
第２のミラー４を第４のミラー７の近傍に配置してい
る。そして、第１及び第２のミラー３，４を、ビームス
プリッタ２と第３及び第４のミラー６，７を配置したス
テージ８上に配置している。
ッタ２からの反射光を平行移動した位置に反射するリフ
レクタ１１を設けて、その反射光を反射する第１のミラ
ー３をビームスプリッタ２及び第４のミラー７の近傍に
配置している。また、ビームスプリッタ２からの透過光
で第４のミラー７による反射光を平行移動した位置に反
射するリフレクタ１２を設けて、その反射光を反射する
第２のミラー４を第４のミラー７の近傍に配置してい
る。そして、第１及び第２のミラー３，４を、ビームス
プリッタ２と第３及び第４のミラー６，７を配置したス
テージ８上に配置している。
【００２４】以上の通り、ミラー３，４，６，７とリフ
レクタ１１，１２を併用し、ビームスプリッタ２と第１
から第４のミラー３，４，６，７とを一緒にステージ８
上に配置して移動するため、前述した第１の実施の形態
例により得られる作用効果に加えて、従来の光干渉計に
比べてさらに移動距離を１／４に短くすることができ
る。
レクタ１１，１２を併用し、ビームスプリッタ２と第１
から第４のミラー３，４，６，７とを一緒にステージ８
上に配置して移動するため、前述した第１の実施の形態
例により得られる作用効果に加えて、従来の光干渉計に
比べてさらに移動距離を１／４に短くすることができ
る。
【００２５】＜第３の実施の形態例＞図３は本発明を適
用した第３の実施の形態例としての光干渉計の概略構成
を示した平面図で、前述した従来の光干渉計（図６参
照）と同様に、図中、１は入射光、２はビームスプリッ
タ、３，４はミラー（第１及び第２の反射器）、５は受
光器であって、９はミラー（第３の反射器）、１３，１
４はステージ（移動部材）、１５は送りネジ部材、１５
Ａ，１５Ｂは逆ネジ部、１６はモータ（駆動源）、１７
は軸受部である。この実施の形態例は、前述した２つの
ミラー３，４を第１及び第２の反射器として、新たに第
３の反射器としてのミラー９を設け、第１及び第２のミ
ラー３，４を同期して逆方向に移動させる移動手段を設
けたものである。
用した第３の実施の形態例としての光干渉計の概略構成
を示した平面図で、前述した従来の光干渉計（図６参
照）と同様に、図中、１は入射光、２はビームスプリッ
タ、３，４はミラー（第１及び第２の反射器）、５は受
光器であって、９はミラー（第３の反射器）、１３，１
４はステージ（移動部材）、１５は送りネジ部材、１５
Ａ，１５Ｂは逆ネジ部、１６はモータ（駆動源）、１７
は軸受部である。この実施の形態例は、前述した２つの
ミラー３，４を第１及び第２の反射器として、新たに第
３の反射器としてのミラー９を設け、第１及び第２のミ
ラー３，４を同期して逆方向に移動させる移動手段を設
けたものである。
【００２６】具体的には、図示のように、第１のミラー
３及び受光器５と一直線上に配置したビームスプリッタ
２を挟んで直交方向に入射光１と第３のミラー９を配置
している。この第３のミラー９は、ビームスプリッタ２
からの透過光を直角に反射するもので、その反射光が入
射される第２のミラー４を、図示例では、第１のミラー
３側に平行に配置している。また、第１のミラー３を移
動部材であるステージ１３上に配置する一方、第２のミ
ラー４も別の移動部材であるステージ１４上に配置して
いる。
３及び受光器５と一直線上に配置したビームスプリッタ
２を挟んで直交方向に入射光１と第３のミラー９を配置
している。この第３のミラー９は、ビームスプリッタ２
からの透過光を直角に反射するもので、その反射光が入
射される第２のミラー４を、図示例では、第１のミラー
３側に平行に配置している。また、第１のミラー３を移
動部材であるステージ１３上に配置する一方、第２のミ
ラー４も別の移動部材であるステージ１４上に配置して
いる。
【００２７】そして、第１及び第２のミラー３，４を同
期して逆方向に移動させる移動手段は、送りネジ部材１
５及びモータ１６から構成されている。送りネジ部材１
５は、互いに逆方向の逆ネジ部１５Ａ，１５Ｂを有する
もので、第１のミラー３から受光器５への光路と平行に
配置されていて、図示例では、第１のミラー３の外側に
配置した駆動源のモータ１６により回転駆動される。こ
の送りネジ部材１５は、一方の逆ネジ部１５Ａが第１の
ミラー３を配置したステージ１３に螺合する一方、他方
の逆ネジ部１５Ｂが第２のミラー４を配置したステージ
１４に螺合しており、逆ネジ部１５Ａ，１５Ｂの間にお
いて、軸受１７にて回転自在に支持されている。
期して逆方向に移動させる移動手段は、送りネジ部材１
５及びモータ１６から構成されている。送りネジ部材１
５は、互いに逆方向の逆ネジ部１５Ａ，１５Ｂを有する
もので、第１のミラー３から受光器５への光路と平行に
配置されていて、図示例では、第１のミラー３の外側に
配置した駆動源のモータ１６により回転駆動される。こ
の送りネジ部材１５は、一方の逆ネジ部１５Ａが第１の
ミラー３を配置したステージ１３に螺合する一方、他方
の逆ネジ部１５Ｂが第２のミラー４を配置したステージ
１４に螺合しており、逆ネジ部１５Ａ，１５Ｂの間にお
いて、軸受１７にて回転自在に支持されている。
【００２８】以上の通り、逆ネジ部１５Ａ，１５Ｂを有
する送りネジ部材１５の回転駆動により第１及び第２の
ミラー３，４を互いに逆方向、即ち、相寄る方向及び相
離間する方向に同期して動かすため、第１のミラー３か
らの反射光と第２のミラー４からの反射光の光路長を同
時に変化させることとなり、従来の光干渉計の半分の時
間で測定できることとなる。このように、従来の光干渉
計に比べて測定時間を短縮できる。また、ミラー３，４
の１個あたりの移動距離が従来の半分となるため、各々
のステージ１３，１４の移動によるブレを小さくするこ
とができ、測定精度を向上できる。
する送りネジ部材１５の回転駆動により第１及び第２の
ミラー３，４を互いに逆方向、即ち、相寄る方向及び相
離間する方向に同期して動かすため、第１のミラー３か
らの反射光と第２のミラー４からの反射光の光路長を同
時に変化させることとなり、従来の光干渉計の半分の時
間で測定できることとなる。このように、従来の光干渉
計に比べて測定時間を短縮できる。また、ミラー３，４
の１個あたりの移動距離が従来の半分となるため、各々
のステージ１３，１４の移動によるブレを小さくするこ
とができ、測定精度を向上できる。
【００２９】なお、この実施の形態例では、図示のよう
に、モータ１６を第１のミラー３の外側に配置したが、
逆に、第２のミラー４のステージ１４と第３のミラー９
との間にモータ１６を配置しても良い。このように、モ
ータ１６を第２のミラー４のステージ１４と第３のミラ
ー９との間に配置すれば、光干渉計を小型化できる。
に、モータ１６を第１のミラー３の外側に配置したが、
逆に、第２のミラー４のステージ１４と第３のミラー９
との間にモータ１６を配置しても良い。このように、モ
ータ１６を第２のミラー４のステージ１４と第３のミラ
ー９との間に配置すれば、光干渉計を小型化できる。
【００３０】＜第４の実施の形態例＞図４は本発明を適
用した第４の実施の形態例としての光干渉計の概略構成
を示した平面図で、前述した従来の光干渉計（図６参
照）と同様に、図中、１は入射光、２はビームスプリッ
タ、３，４はミラー（第１及び第２の反射器）、５は受
光器であって、１８はミラー（第３の反射器）、１９は
ステージ（移動部材）である。この実施の形態例は、前
述した２つのミラー３，４を第１及び第２の反射器とし
て、新たに第３の反射器としてのミラー１８を設け、第
１及び第２のミラー３，４を移動部材であるステージ１
９上に配置したものである。
用した第４の実施の形態例としての光干渉計の概略構成
を示した平面図で、前述した従来の光干渉計（図６参
照）と同様に、図中、１は入射光、２はビームスプリッ
タ、３，４はミラー（第１及び第２の反射器）、５は受
光器であって、１８はミラー（第３の反射器）、１９は
ステージ（移動部材）である。この実施の形態例は、前
述した２つのミラー３，４を第１及び第２の反射器とし
て、新たに第３の反射器としてのミラー１８を設け、第
１及び第２のミラー３，４を移動部材であるステージ１
９上に配置したものである。
【００３１】具体的には、図示のように、第１のミラー
３及び受光器５と一直線上に配置したビームスプリッタ
２を挟んで直交方向に入射光１と第３のミラー１８を配
置している。この第３のミラー１８は、ビームスプリッ
タ２からの透過光を直角に反射するもので、その反射光
が入射される第２のミラー４を、図示例では、受光器５
側に配置している。そして、第１及び第２のミラー３，
４をステージ１９上に配置している。このステージ１９
は、図中に太矢印で示したように、第１のミラー３から
受光器５への光路に沿って図示しない駆動源及び駆動機
構の駆動により往復移動可能である。
３及び受光器５と一直線上に配置したビームスプリッタ
２を挟んで直交方向に入射光１と第３のミラー１８を配
置している。この第３のミラー１８は、ビームスプリッ
タ２からの透過光を直角に反射するもので、その反射光
が入射される第２のミラー４を、図示例では、受光器５
側に配置している。そして、第１及び第２のミラー３，
４をステージ１９上に配置している。このステージ１９
は、図中に太矢印で示したように、第１のミラー３から
受光器５への光路に沿って図示しない駆動源及び駆動機
構の駆動により往復移動可能である。
【００３２】以上の通り、第１及び第２のミラー３，４
を一緒にステージ１９上に配置して移動するため、第１
のミラー３からの反射光と第２のミラー４からの反射光
の光路長を同時に変化させることとなり、従来の光干渉
計の半分の移動距離で同一の光路長差を得ることができ
る。このように、従来の光干渉計に比べて移動距離が半
分になるため、測定時間を短縮できる。また、移動距離
が短いため、ステージ１９の移動によるブレを小さくす
ることができ、測定精度を向上できる。
を一緒にステージ１９上に配置して移動するため、第１
のミラー３からの反射光と第２のミラー４からの反射光
の光路長を同時に変化させることとなり、従来の光干渉
計の半分の移動距離で同一の光路長差を得ることができ
る。このように、従来の光干渉計に比べて移動距離が半
分になるため、測定時間を短縮できる。また、移動距離
が短いため、ステージ１９の移動によるブレを小さくす
ることができ、測定精度を向上できる。
【００３３】
【００３４】＜第５の実施の形態例＞図５は本発明を適
用した第５の実施の形態例としての光干渉計の概略構成
を示した平面図で、前述した第２の実施の形態例（図２
参照）と同様に、図中、１は入射光、２はビームスプリ
ッタ、３，４はミラー（第１及び第２の反射器）、５は
受光器、６，７はミラー（第３及び第４の反射器）、８
はステージ（移動部材）、１１，１２はリフレクタ（第
５及び第６の反射器）であって、２１はステージ（第２
の移動部材）である。この実施の形態例は、前述した第
２の実施の形態例の構成において、図示のように、２つ
のリフレクタ１１，１２を、ビームスプリッタ２と第１
から第４のミラー３，４，６，７を一緒に配置したステ
ージ８とは別に、第２の移動部材であるステージ２１上
に配置したものである。
用した第５の実施の形態例としての光干渉計の概略構成
を示した平面図で、前述した第２の実施の形態例（図２
参照）と同様に、図中、１は入射光、２はビームスプリ
ッタ、３，４はミラー（第１及び第２の反射器）、５は
受光器、６，７はミラー（第３及び第４の反射器）、８
はステージ（移動部材）、１１，１２はリフレクタ（第
５及び第６の反射器）であって、２１はステージ（第２
の移動部材）である。この実施の形態例は、前述した第
２の実施の形態例の構成において、図示のように、２つ
のリフレクタ１１，１２を、ビームスプリッタ２と第１
から第４のミラー３，４，６，７を一緒に配置したステ
ージ８とは別に、第２の移動部材であるステージ２１上
に配置したものである。
【００３５】以上の通り、ビームスプリッタ２と第１か
ら第４のミラー３，４，６，７を一緒にステージ８上に
配置して移動するとともに、２つのリフレクタ１１，１
２を一緒にステージ２１上に配置して移動するため、前
述した第２及び第４の実施の形態例により得られる効果
に加えて、移動距離をさらに短くすることができる。
ら第４のミラー３，４，６，７を一緒にステージ８上に
配置して移動するとともに、２つのリフレクタ１１，１
２を一緒にステージ２１上に配置して移動するため、前
述した第２及び第４の実施の形態例により得られる効果
に加えて、移動距離をさらに短くすることができる。
【００３６】なお、以上の実施の各形態例においては、
反射器をミラーとしたが、本発明はこれに限定されるも
のではなく、ミラーの代わりに、コーナーキューブ、リ
フレクタなどの反射器を使用しても良い。また、その
他、具体的な寸法関係等についても適宜に変更可能であ
ることは勿論である。
反射器をミラーとしたが、本発明はこれに限定されるも
のではなく、ミラーの代わりに、コーナーキューブ、リ
フレクタなどの反射器を使用しても良い。また、その
他、具体的な寸法関係等についても適宜に変更可能であ
ることは勿論である。
【００３７】
【発明の効果】以上のように、請求項１記載の発明に係
る光干渉計によれば、特に、ビームスプリッタと第３及
び第４の両反射器が配置された移動部材を、第１の反射
器から受光器への光路に沿って移動するため、第１の反
射器からの反射光と第２の反射器からの反射光の光路長
を同時に変化させることができ、従来の光干渉計の半分
の移動距離で同一の光路長差を得ることができる。この
ように、従来の光干渉計に比べて移動距離が半分になる
ため、測定時間を短縮することができる。また、移動距
離が短いため、移動によるブレが小さくすることがで
き、従って、部品の精度管理を楽なものにして、測定精
度の向上を達成することができるとともに、光干渉計の
小型化も達成することができる。
る光干渉計によれば、特に、ビームスプリッタと第３及
び第４の両反射器が配置された移動部材を、第１の反射
器から受光器への光路に沿って移動するため、第１の反
射器からの反射光と第２の反射器からの反射光の光路長
を同時に変化させることができ、従来の光干渉計の半分
の移動距離で同一の光路長差を得ることができる。この
ように、従来の光干渉計に比べて移動距離が半分になる
ため、測定時間を短縮することができる。また、移動距
離が短いため、移動によるブレが小さくすることがで
き、従って、部品の精度管理を楽なものにして、測定精
度の向上を達成することができるとともに、光干渉計の
小型化も達成することができる。
【００３８】請求項２記載の発明に係る光干渉計によれ
ば、ビームスプリッタからの反射光を第５の反射器によ
り平行移動した位置に反射して第１の反射器に入射する
一方、第４の反射器からの反射光を第６の反射器により
平行移動した位置に反射して第２の反射器に入射させる
ようにして、ビームスプリッタと第３及び第４の両反射
器を配置した移動部材に第１及び第２の両反射器も配置
したため、請求項１記載の発明により得られる効果に加
えて、移動距離をさらに半分にすることができ、即ち、
従来の光干渉計に比べて移動距離を１／４に短くするこ
とができるといった利点が得られる。
ば、ビームスプリッタからの反射光を第５の反射器によ
り平行移動した位置に反射して第１の反射器に入射する
一方、第４の反射器からの反射光を第６の反射器により
平行移動した位置に反射して第２の反射器に入射させる
ようにして、ビームスプリッタと第３及び第４の両反射
器を配置した移動部材に第１及び第２の両反射器も配置
したため、請求項１記載の発明により得られる効果に加
えて、移動距離をさらに半分にすることができ、即ち、
従来の光干渉計に比べて移動距離を１／４に短くするこ
とができるといった利点が得られる。
【００３９】また、請求項３記載の発明に係る光干渉計
によれば、特に、第１及び第２の両反射器を、移動手段
により第１の反射器から受光器への光路に沿って相寄る
方向及び相離間する方向に同期して移動させるため、第
１の反射器からの反射光と第２の反射器からの反射光の
光路長を同時に変化させることができ、第１の反射器と
第２の反射器とが同時に逆方向に動くことによって、従
来の光干渉計の半分の時間で測定することができる。そ
して、第１及び第２の両反射器の移動距離が従来の半分
となるため、移動によるブレを小さくすることができ、
従って、部品の精度管理を楽なものにして、測定精度の
向上を達成することができる。
によれば、特に、第１及び第２の両反射器を、移動手段
により第１の反射器から受光器への光路に沿って相寄る
方向及び相離間する方向に同期して移動させるため、第
１の反射器からの反射光と第２の反射器からの反射光の
光路長を同時に変化させることができ、第１の反射器と
第２の反射器とが同時に逆方向に動くことによって、従
来の光干渉計の半分の時間で測定することができる。そ
して、第１及び第２の両反射器の移動距離が従来の半分
となるため、移動によるブレを小さくすることができ、
従って、部品の精度管理を楽なものにして、測定精度の
向上を達成することができる。
【００４０】請求項４記載の発明に係る光干渉計によれ
ば、第１の反射器から受光器への光路と平行に配置した
送りネジ部材の逆ネジ部の一方を第１の反射器が配置さ
れた移動部材に螺合して他方を第２の反射器が配置され
た移動部材に螺合した移動手段としたため、請求項３記
載の発明により得られる効果に加えて、送りネジ部材の
回転駆動によって、第１の反射器と第２の反射器とを同
時に逆方向に動かすことができるといった利点が得られ
る。
ば、第１の反射器から受光器への光路と平行に配置した
送りネジ部材の逆ネジ部の一方を第１の反射器が配置さ
れた移動部材に螺合して他方を第２の反射器が配置され
た移動部材に螺合した移動手段としたため、請求項３記
載の発明により得られる効果に加えて、送りネジ部材の
回転駆動によって、第１の反射器と第２の反射器とを同
時に逆方向に動かすことができるといった利点が得られ
る。
【００４１】また、請求項５記載の発明に係る光干渉計
によれば、特に、第１及び第２の両反射器が配置された
移動部材を、第１の反射器から受光器への光路に沿って
移動するため、第１の反射器と第２の反射器とが同時に
同一方向に動くことによって、第１の反射器からの反射
光と第２の反射器からの反射光の光路長を同時に変化さ
せることができ、従来の光干渉計の半分の移動距離で同
一の光路長差を得ることができる。このように、従来の
光干渉計に比べて移動距離が半分になるため、測定時間
を短縮することができる。また、移動距離が短いため、
移動によるブレを小さくすることができ、従って、部品
の精度管理を楽なものにして、測定精度の向上を達成す
ることができる。
によれば、特に、第１及び第２の両反射器が配置された
移動部材を、第１の反射器から受光器への光路に沿って
移動するため、第１の反射器と第２の反射器とが同時に
同一方向に動くことによって、第１の反射器からの反射
光と第２の反射器からの反射光の光路長を同時に変化さ
せることができ、従来の光干渉計の半分の移動距離で同
一の光路長差を得ることができる。このように、従来の
光干渉計に比べて移動距離が半分になるため、測定時間
を短縮することができる。また、移動距離が短いため、
移動によるブレを小さくすることができ、従って、部品
の精度管理を楽なものにして、測定精度の向上を達成す
ることができる。
【００４２】請求項６記載の発明に係る光干渉計によれ
ば、入射光を第４の反射器により直角に反射してビーム
スプリッタに入射し、このビームスプリッタからの反射
光を第５の反射器により平行移動した位置に反射して第
１の反射器に入射する一方、ビームスプリッタからの透
過光を直角に反射した第３の反射器からの反射光を第６
の反射器により平行移動した位置に反射して第２の反射
器に入射させるようにして、第１及び第２の両反射器を
配置した第１の移動部材にビームスプリッタと第３及び
第４の両反射器も配置して、第５及び第６の両反射器が
配置された第２の移動部材を、第５の反射器から受光器
への光路に沿って移動するため、請求項５記載の発明に
より得られる効果に加えて、移動距離をさらに短くする
ことができ、即ち、従来の光干渉計に比べて移動距離を
半分よりもさらに短くすることができるといった利点が
得られる。
ば、入射光を第４の反射器により直角に反射してビーム
スプリッタに入射し、このビームスプリッタからの反射
光を第５の反射器により平行移動した位置に反射して第
１の反射器に入射する一方、ビームスプリッタからの透
過光を直角に反射した第３の反射器からの反射光を第６
の反射器により平行移動した位置に反射して第２の反射
器に入射させるようにして、第１及び第２の両反射器を
配置した第１の移動部材にビームスプリッタと第３及び
第４の両反射器も配置して、第５及び第６の両反射器が
配置された第２の移動部材を、第５の反射器から受光器
への光路に沿って移動するため、請求項５記載の発明に
より得られる効果に加えて、移動距離をさらに短くする
ことができ、即ち、従来の光干渉計に比べて移動距離を
半分よりもさらに短くすることができるといった利点が
得られる。
【図１】本発明を適用した第１の実施の形態例としての
光干渉計の概略構成を示した平面図である。
光干渉計の概略構成を示した平面図である。
【図２】本発明を適用した第２の実施の形態例としての
光干渉計の概略構成を示した平面図である。
光干渉計の概略構成を示した平面図である。
【図３】本発明を適用した第３の実施の形態例としての
光干渉計の概略構成を示した平面図である。
光干渉計の概略構成を示した平面図である。
【図４】本発明を適用した第４の実施の形態例としての
光干渉計の概略構成を示した平面図である。
光干渉計の概略構成を示した平面図である。
【図５】本発明を適用した第５の実施の形態例としての
光干渉計の概略構成を示した平面図である。
光干渉計の概略構成を示した平面図である。
【図６】従来の光干渉計の概略構成例を示した平面図で
ある。
ある。
１ 入射光
２ ビームスプリッタ
３ 第１の反射器
４ 第２の反射器
５ 受光器
６ 第３の反射器
７ 第４の反射器
８ 移動部材
９ 第３の反射器
１１ 第５の反射器
１２ 第６の反射器
１３，１４ 移動部材
１５ 送りネジ部材
１５Ａ，１５Ｂ 逆ネジ部
１６ 駆動源
１８ 第３の反射器
１９ 移動部材
２１ 第２の移動部材
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01B 9/02
Claims (6)
- 【請求項１】入射光をビームスプリッタにより反射光と
透過光による直交する２光路に分岐し、各々の光路で反
射光を第１の反射器により全反射して透過光を第２の反
射器により全反射し、両反射器による反射光を再びビー
ムスプリッタで合波してから受光器に受光させる光干渉
計であって、 入射光を直角に反射してビームスプリッタに入射する第
３の反射器と、 ビームスプリッタからの透過光を直角に反射して第２の
反射器に入射する第４の反射器と、 ビームスプリッタと第３及び第４の両反射器を配置し、
第１の反射器から受光器への光路に沿って移動可能な移
動部材と、 を備えたこと、を特徴とする光干渉計。 - 【請求項２】ビームスプリッタからの反射光に対して平
行移動した位置に反射して第１の反射器に入射する第５
の反射器と、 第４の反射器からの反射光に対して平行移動した位置に
反射して第２の反射器に入射する第６の反射器と、 を備え、 移動部材には、第１及び第２の両反射器も配置したこ
と、を特徴とする請求項１記載の光干渉計。 - 【請求項３】入射光をビームスプリッタにより反射光と
透過光による直交する２光路に分岐し、各々の光路で反
射光を第１の反射器により全反射して透過光を第２の反
射器により全反射し、両反射器による反射光を再びビー
ムスプリッタで合波してから受光器に受光させる光干渉
計であって、 ビームスプリッタからの透過光を直角に反射して第２の
反射器に入射する第３の反射器と、 第１及び第２の両反射器を第１の反射器から受光器への
光路に沿って相寄る方向及び相離間する方向に同期して
移動させる移動手段と、 を備えたこと、を特徴とする光干渉計。 - 【請求項４】前記移動手段は、逆ネジ部を有する送りネ
ジ部材を有し、 この送りネジ部材を第１の反射器から受光器への光路と
平行に配置して、その逆ネジ部の一方を第１の反射器が
配置された移動部材に螺合して他方を第２の反射器が配
置された移動部材に螺合したこと、を特徴とする請求項
３記載の光干渉計。 - 【請求項５】入射光をビームスプリッタにより反射光と
透過光による直交する２光路に分岐し、各々の光路で反
射光を第１の反射器により全反射して透過光を第２の反
射器により全反射し、両反射器による反射光を再びビー
ムスプリッタで合波してから受光器に受光させる光干渉
計であって、 ビームスプリッタからの透過光を直角に反射して、ビー
ムスプリッタを挟んで第１の反射器と反対側に配置され
た第２の反射器に入射する第３の反射器と、 第１及び第２の両反射器を配置し、第１の反射器から受
光器への光路に沿って移動可能な移動部材と、 を備えたこと、を特徴とする光干渉計。 - 【請求項６】入射光を直角に反射してビームスプリッタ
に入射する第４の反射器と、 ビームスプリッタからの反射光に対して平行移動した位
置に反射して第１の反射器に入射する第５の反射器と、 第３の反射器からの反射光に対して平行移動した位置に
反射して第２の反射器に入射する第６の反射器と、 第５及び第６の両反射器を配置し、第５の反射器から受
光器への光路に沿って移動可能な第２の移動部材と、 を備え、 第１及び第２の両反射器を配置した第１の移動部材に
は、ビームスプリッタと第３及び第４の両反射器も配置
したこと、を特徴とする請求項５記載の光干渉計。
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