JP2001227906A - 光干渉計 - Google Patents
光干渉計Info
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 13
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims description 26
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/266—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light by interferometric means
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02055—Reduction or prevention of errors; Testing; Calibration
- G01B9/02056—Passive reduction of errors
- G01B9/02059—Reducing effect of parasitic reflections, e.g. cyclic errors
Abstract
(57)【要約】
【課題】 光干渉計において、不要な反射光をなくし、
安定した測定をする。 【解決手段】 入射光３をビームスプリッタ４により反
射光と透過光による直交する二光路に分岐し、各々の光
路で反射光を第１の反射器５により全反射して透過光を
第２の反射器６により全反射し、両反射器５，６による
反射光を再びビームスプリッタ４で合波してから受光器
７に受光させる光干渉計である。入射光を分波・合波す
るビームスプリッタ４を入射光に対して垂直より少し傾
けて配置する。
安定した測定をする。 【解決手段】 入射光３をビームスプリッタ４により反
射光と透過光による直交する二光路に分岐し、各々の光
路で反射光を第１の反射器５により全反射して透過光を
第２の反射器６により全反射し、両反射器５，６による
反射光を再びビームスプリッタ４で合波してから受光器
７に受光させる光干渉計である。入射光を分波・合波す
るビームスプリッタ４を入射光に対して垂直より少し傾
けて配置する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、光計測技
術分野で使用する光干渉計に関するものである。
術分野で使用する光干渉計に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図３は従来の光干渉計の概略構成例を示
した図で、図中、１は光ファイバ、２はレンズ、３は入
射光、４はビームスプリッタ、５，６は反射器、７は受
光器、である。この光干渉計は、図示のように、光ファ
イバ１からの入射光３をレンズ２にて平行光とし、ビー
ムスプリッタ４によって透過光と反射光による直交する
２光路に分岐し、それぞれの光路に直角に置いた反射器
５，６による反射光を再びビームスプリッタ４で合波す
る。このとき、一方の反射器５を設置した図示しないス
テージを等速に動かすことで、２つの反射器５，６から
の反射光の光路長に差ができ、干渉縞の強度変化が見ら
れる。この干渉縞の強度変化を受光器７で電気信号とし
て取り出す。
した図で、図中、１は光ファイバ、２はレンズ、３は入
射光、４はビームスプリッタ、５，６は反射器、７は受
光器、である。この光干渉計は、図示のように、光ファ
イバ１からの入射光３をレンズ２にて平行光とし、ビー
ムスプリッタ４によって透過光と反射光による直交する
２光路に分岐し、それぞれの光路に直角に置いた反射器
５，６による反射光を再びビームスプリッタ４で合波す
る。このとき、一方の反射器５を設置した図示しないス
テージを等速に動かすことで、２つの反射器５，６から
の反射光の光路長に差ができ、干渉縞の強度変化が見ら
れる。この干渉縞の強度変化を受光器７で電気信号とし
て取り出す。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】以上のように従来の光
干渉計は、ビームスプリッタ４を入射光軸に対して垂直
に配置していたが、ビームスプリッタ４の入射面、出射
面等で反射した光が干渉したり、ファイバ１に戻ること
で安定した測定が難しいものとなっていた。そこで、本
発明の目的はこのような反射光をなくし、安定した測定
をする光干渉計を提供することにある。
干渉計は、ビームスプリッタ４を入射光軸に対して垂直
に配置していたが、ビームスプリッタ４の入射面、出射
面等で反射した光が干渉したり、ファイバ１に戻ること
で安定した測定が難しいものとなっていた。そこで、本
発明の目的はこのような反射光をなくし、安定した測定
をする光干渉計を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】以上の課題を解決すべく
請求項１記載の発明は、光干渉計であって、測定光を入
射する光ファイバと、光ファイバから入射された光を平
行光にするレンズと、入射光を反射光と透過光による直
交する２光路に分岐させ、かつ、入射光に対して垂直か
ら少し傾けて配置したビームスプリッタと、ビームスプ
リッタからの反射光に対して平行移動した位置に反射す
る第１の反射器と、ビームスプリッタからの透過光に対
して平行移動した位置に反射する第２の反射器と、ビー
ムスプリッタにより合波した光を受光する受光器と、を
備えた構成、を特徴としている。ここで反射器として
は、リフレクタが代表的であるが、リフレクタの代わり
に、例えば、コーナキューブなども使用できる。受光器
は干渉縞の強度変化を電気信号として取り出すものであ
る。
請求項１記載の発明は、光干渉計であって、測定光を入
射する光ファイバと、光ファイバから入射された光を平
行光にするレンズと、入射光を反射光と透過光による直
交する２光路に分岐させ、かつ、入射光に対して垂直か
ら少し傾けて配置したビームスプリッタと、ビームスプ
リッタからの反射光に対して平行移動した位置に反射す
る第１の反射器と、ビームスプリッタからの透過光に対
して平行移動した位置に反射する第２の反射器と、ビー
ムスプリッタにより合波した光を受光する受光器と、を
備えた構成、を特徴としている。ここで反射器として
は、リフレクタが代表的であるが、リフレクタの代わり
に、例えば、コーナキューブなども使用できる。受光器
は干渉縞の強度変化を電気信号として取り出すものであ
る。
【０００５】以上のように、請求項１の発明によれば、
ビームスプリッタを入射光軸に対して垂直に配置せず、
傾けて配置するため入射面で反射した光は入射光路と同
一光路を通らないため、光ファイバに戻らない。また、
ビームスプリッタの出射面で反射した光もビームスプリ
ッタ内で同一光路を通らない。このためビームスプリッ
タ内での干渉をさけることができ、安定した測定が可能
となる。
ビームスプリッタを入射光軸に対して垂直に配置せず、
傾けて配置するため入射面で反射した光は入射光路と同
一光路を通らないため、光ファイバに戻らない。また、
ビームスプリッタの出射面で反射した光もビームスプリ
ッタ内で同一光路を通らない。このためビームスプリッ
タ内での干渉をさけることができ、安定した測定が可能
となる。
【０００６】請求項２記載の発明は、光干渉計であっ
て、測定光を入射する光ファイバと、光ファイバの中心
軸とレンズの中心軸をずらすことで入射光軸を傾ける位
置に配置したレンズと、入射光を反射光と透過光による
直交する２光路に分岐させるビームスプリッタと、ビー
ムスプリッタからの透過光に対して平行移動した位置に
反射する第２の反射器と、ビームスプリッタにより合波
した光を受光する受光器と、を備えた構成、を特徴とし
ている。ここで、反射器としては、リフレクタが代表的
であるが、リフレクタの代わりに、例えば、コーナキュ
ーブなども使用できる。受光器は干渉縞の強度変化を電
気信号として取り出すものである。
て、測定光を入射する光ファイバと、光ファイバの中心
軸とレンズの中心軸をずらすことで入射光軸を傾ける位
置に配置したレンズと、入射光を反射光と透過光による
直交する２光路に分岐させるビームスプリッタと、ビー
ムスプリッタからの透過光に対して平行移動した位置に
反射する第２の反射器と、ビームスプリッタにより合波
した光を受光する受光器と、を備えた構成、を特徴とし
ている。ここで、反射器としては、リフレクタが代表的
であるが、リフレクタの代わりに、例えば、コーナキュ
ーブなども使用できる。受光器は干渉縞の強度変化を電
気信号として取り出すものである。
【０００７】以上のように、請求項２の発明によれば、
請求項１の発明と同様に、入射光軸を傾けるため、ビー
ムスプリッタの入射面で反射した光は入射光路と同一光
路を通らないため、光ファイバに戻らない。また、ビー
ムスプリッタの出射面で反射した光もビームスプリッタ
内で同一光路を通らない、このためビームスプリッタ内
での干渉をさけることができ、安定した測定が可能とな
る。
請求項１の発明と同様に、入射光軸を傾けるため、ビー
ムスプリッタの入射面で反射した光は入射光路と同一光
路を通らないため、光ファイバに戻らない。また、ビー
ムスプリッタの出射面で反射した光もビームスプリッタ
内で同一光路を通らない、このためビームスプリッタ内
での干渉をさけることができ、安定した測定が可能とな
る。
【０００８】請求項３記載の発明は、請求項１または２
のいずれかに記載の光干渉計であって、第１及び第２の
反射器は、リフレクタである構成、を特徴としている。
このように、請求項３の発明によれば、請求項１また２
記載の第１及び第２の反射器が、リフレクタである光干
渉計なので、ビームスプリッタからの反射光を第１のリ
フレクタにより平行移動した位置に反射する一方、ビー
ムスプリッタからの透過光を第２のリフレクタにより平
行移動した位置に反射し、ともにビームスプリッタに入
射できる。
のいずれかに記載の光干渉計であって、第１及び第２の
反射器は、リフレクタである構成、を特徴としている。
このように、請求項３の発明によれば、請求項１また２
記載の第１及び第２の反射器が、リフレクタである光干
渉計なので、ビームスプリッタからの反射光を第１のリ
フレクタにより平行移動した位置に反射する一方、ビー
ムスプリッタからの透過光を第２のリフレクタにより平
行移動した位置に反射し、ともにビームスプリッタに入
射できる。
【０００９】請求項４記載の発明は、請求項１または２
のいずれかに記載の光干渉計であって、第１及び第２の
反射器は、コーナキューブである構成、を特徴としてい
る。このように、請求項４の発明によれば、請求項１ま
た２記載の第１及び第２の反射器が、コーナキューブで
ある光干渉計なので、ビームスプリッタからの反射光を
第１のコーナキューブにより平行移動した位置に反射す
る一方、ビームスプリッタからの透過光を第２のコーナ
キューブにより平行移動した位置に反射し、ともにビー
ムスプリッタに入射できる。
のいずれかに記載の光干渉計であって、第１及び第２の
反射器は、コーナキューブである構成、を特徴としてい
る。このように、請求項４の発明によれば、請求項１ま
た２記載の第１及び第２の反射器が、コーナキューブで
ある光干渉計なので、ビームスプリッタからの反射光を
第１のコーナキューブにより平行移動した位置に反射す
る一方、ビームスプリッタからの透過光を第２のコーナ
キューブにより平行移動した位置に反射し、ともにビー
ムスプリッタに入射できる。
【００１０】請求項５記載の発明は、請求項１また２記
載の光干渉計であって、光ファイバは、斜め研磨ファイ
バである構成、を特徴としている。このように、請求項
５の発明によれば、請求項１また２記載の光ファイバ
が、斜め研磨ファイバである光干渉計なので光ファイバ
のコネクタ端での反射を抑えレンズからの戻り光を減ら
すことができる。
載の光干渉計であって、光ファイバは、斜め研磨ファイ
バである構成、を特徴としている。このように、請求項
５の発明によれば、請求項１また２記載の光ファイバ
が、斜め研磨ファイバである光干渉計なので光ファイバ
のコネクタ端での反射を抑えレンズからの戻り光を減ら
すことができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下に、本発明に係る光干渉計の
実施の各形態例を図１から図２に基づいて説明する。 ＜第１の実施の形態例＞まず、図１は本発明を適用した
第１の実施の形態例としての光干渉計の概略構成を示し
た図であり、前述した従来の光干渉計（図３参照）と同
様に、図中、１は光ファイバ、２はレンズ、３は入射
光、４はビームスプリッタ、５，６はリフレクタ（第１
及び第２の反射器）、７は受光器、である。この実施の
形態例は、前述したビームスプリッタ４を傾けて配置し
たものである。具体的には図示のようにビームスプリッ
タ４を１度傾けると、入射面で反射した光は入射光と同
一光路を通らず、入射光路から２度傾いた方向に進む。
ここで、光ファイバ１とビームスプリッタ４の距離が１
０ｃｍとすると約３．５ｍｍずれた位置に戻り、光ファ
イバ１に反射光は戻らなくなる。次にビームスプリッタ
４の出射面にて反射した光についてもビームスプリッタ
４内の同一光路を戻ることが無くなり、反射光が光ファ
イバ１に戻らなくなる。ビームスプリッタ４から出た光
はリフレクタ５，６で出射光に対して平行移動した位置
に反射され、再びビームスプリッタ４内に入射され、合
波した光を受光器６に入射する。
実施の各形態例を図１から図２に基づいて説明する。 ＜第１の実施の形態例＞まず、図１は本発明を適用した
第１の実施の形態例としての光干渉計の概略構成を示し
た図であり、前述した従来の光干渉計（図３参照）と同
様に、図中、１は光ファイバ、２はレンズ、３は入射
光、４はビームスプリッタ、５，６はリフレクタ（第１
及び第２の反射器）、７は受光器、である。この実施の
形態例は、前述したビームスプリッタ４を傾けて配置し
たものである。具体的には図示のようにビームスプリッ
タ４を１度傾けると、入射面で反射した光は入射光と同
一光路を通らず、入射光路から２度傾いた方向に進む。
ここで、光ファイバ１とビームスプリッタ４の距離が１
０ｃｍとすると約３．５ｍｍずれた位置に戻り、光ファ
イバ１に反射光は戻らなくなる。次にビームスプリッタ
４の出射面にて反射した光についてもビームスプリッタ
４内の同一光路を戻ることが無くなり、反射光が光ファ
イバ１に戻らなくなる。ビームスプリッタ４から出た光
はリフレクタ５，６で出射光に対して平行移動した位置
に反射され、再びビームスプリッタ４内に入射され、合
波した光を受光器６に入射する。
【００１２】＜第２の実施の形態例＞図２は本発明を適
用した第２の実施の形態例としての光干渉計の概略構成
を示した図であり、前述した従来の光干渉計（図３参
照）と同様に、図中、１は光ファイバ、２はレンズ、３
は入射光、４はビームスプリッタ、５，６はリフレクタ
（第１及び第２の反射器）、７は受光器、である。この
第２の実施の形態例は、前述した光ファイバ１の中心軸
とレンズ２の中心軸をずらした位置に配置している。こ
のため、レンズ２で平行光にされた入射光３はビームス
プリッタ４に対して垂直ではなく角度をもって入射され
る。このため、前述した第１の実施の形態例と同等な効
果が得られる。なお、以上の実施の形態例においては、
反射器をリフレクタとしたが、本発明はこれに限定され
るものではなく、リフレクタの代わりに、コーナーキュ
ーブなどの反射器を使用しても良い。また、その他、具
体的な寸法関係等についても適宜に変更可能であること
は勿論である。
用した第２の実施の形態例としての光干渉計の概略構成
を示した図であり、前述した従来の光干渉計（図３参
照）と同様に、図中、１は光ファイバ、２はレンズ、３
は入射光、４はビームスプリッタ、５，６はリフレクタ
（第１及び第２の反射器）、７は受光器、である。この
第２の実施の形態例は、前述した光ファイバ１の中心軸
とレンズ２の中心軸をずらした位置に配置している。こ
のため、レンズ２で平行光にされた入射光３はビームス
プリッタ４に対して垂直ではなく角度をもって入射され
る。このため、前述した第１の実施の形態例と同等な効
果が得られる。なお、以上の実施の形態例においては、
反射器をリフレクタとしたが、本発明はこれに限定され
るものではなく、リフレクタの代わりに、コーナーキュ
ーブなどの反射器を使用しても良い。また、その他、具
体的な寸法関係等についても適宜に変更可能であること
は勿論である。
【００１３】
【発明の効果】以上のように、請求項１記載の発明に係
る光干渉計によれば、ビームスプリッタを傾けているた
め、ビームスプリッタの入射面からの反射と、ビームス
プリッタ出射面からの反射が光ファイバに戻ったり、ビ
ームスプリッタ内での干渉をなくすことができ、安定し
た測定ができる。
る光干渉計によれば、ビームスプリッタを傾けているた
め、ビームスプリッタの入射面からの反射と、ビームス
プリッタ出射面からの反射が光ファイバに戻ったり、ビ
ームスプリッタ内での干渉をなくすことができ、安定し
た測定ができる。
【００１４】請求項２記載の発明に係る光干渉計によれ
ば、入射光軸を傾けているため、請求項１記載の発明の
ように、ビームスプリッタの入射面と出射面での反射を
抑え、安定した測定ができる。
ば、入射光軸を傾けているため、請求項１記載の発明の
ように、ビームスプリッタの入射面と出射面での反射を
抑え、安定した測定ができる。
【００１５】請求項３記載の発明に係る光干渉計によれ
ば、第１及び第２の反射器をリフレクタとしたため、請
求項１記載の発明のように、ビームスプリッタからの反
射光を第１のリフレクタにより平行移動した位置に反射
する一方、ビームスプリッタからの透過光を第２のリフ
レクタにより平行移動した位置に反射し、ともにビーム
スプリッタに入射することができる。
ば、第１及び第２の反射器をリフレクタとしたため、請
求項１記載の発明のように、ビームスプリッタからの反
射光を第１のリフレクタにより平行移動した位置に反射
する一方、ビームスプリッタからの透過光を第２のリフ
レクタにより平行移動した位置に反射し、ともにビーム
スプリッタに入射することができる。
【００１６】請求項４記載の発明に係る光干渉計によれ
ば、第１及び第２の反射器をコーナーキューブとしたた
め、請求項１記載の発明のように、ビームスプリッタか
らの反射光を第１のコーナーキューブにより平行移動し
た位置に反射する一方、ビームスプリッタからの透過光
を第２のコーナーキューブにより平行移動した位置に反
射し、ともにビームスプリッタに入射することができ
る。
ば、第１及び第２の反射器をコーナーキューブとしたた
め、請求項１記載の発明のように、ビームスプリッタか
らの反射光を第１のコーナーキューブにより平行移動し
た位置に反射する一方、ビームスプリッタからの透過光
を第２のコーナーキューブにより平行移動した位置に反
射し、ともにビームスプリッタに入射することができ
る。
【００１７】請求項５記載の発明に係る光干渉計によれ
ば、光ファイバを斜め研磨ファイバとしたため、コネク
タ端からの戻り光を抑え、安定な測定ができる。
ば、光ファイバを斜め研磨ファイバとしたため、コネク
タ端からの戻り光を抑え、安定な測定ができる。
【図１】本発明を適用した第１の実施の形態例としての
光干渉計の概略構成を示した図である。
光干渉計の概略構成を示した図である。
【図２】本発明を適用した第２の実施の形態例としての
光干渉計の概略構成を示した図である。
光干渉計の概略構成を示した図である。
【図３】従来の光干渉計の概略構成を示した図である。
【符号の説明】 １ 光ファイバ ２ レンズ ３ 入射光 ４ ビームスプリッタ ５ 第１の反射器 ６ 第２の反射器 ７ 受光器
Claims (5)
- 【請求項１】 測定光を入射する光ファイバと、光ファ
イバから入射された光を平行光にするレンズと入射光を
反射光と透過光による直交する２光路に分岐させ、か
つ、入射光に対して垂直から少し傾けて配置したビーム
スプリッタと、ビームスプリッタからの反射光に対して
平行移動した位置に反射する第１の反射器と、ビームス
プリッタからの透過光に対して平行移動した位置に反射
する第２の反射器と、ビームスプリッタにより合波した
光を受光する受光器と、を備えた構成を特徴とする光干
渉計。 - 【請求項２】 測定光を入射する光ファイバと、光ファ
イバの中心軸とレンズの中心軸をずらすことで入射光軸
を傾ける位置に配置したレンズと、入射光を反射光と透
過光による直交する２光路に分岐させるビームスプリッ
タと、ビームスプリッタからの透過光に対して平行移動
した位置に反射する第２の反射器と、ビームスプリッタ
により合波した光を受光する受光器と、を備えた構成、
を特徴とする光干渉計。 - 【請求項３】 前記第１および第２の反射器は、リフレ
クタであること、を特徴とする請求項１または２記載の
光干渉計。 - 【請求項４】 前記第１および第２の反射器はコーナキ
ューブであること、を特徴とする請求項１または２のい
ずれかに記載の光干渉計 - 【請求項５】 前記光ファイバは斜め研磨光ファイバで
あること、を特徴とする請求項１または２のいずれかに
記載の光干渉計
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000041763A JP2001227906A (ja) | 2000-02-18 | 2000-02-18 | 光干渉計 |
| GB0103904A GB2359378A (en) | 2000-02-18 | 2001-02-16 | Optical interferometer with inclined incident beam |
| DE10107330A DE10107330A1 (de) | 2000-02-18 | 2001-02-16 | Optisches Interferometer |
| US09/785,585 US6636317B2 (en) | 2000-02-18 | 2001-02-16 | Optical interferometer |
| US10/654,183 US20040042016A1 (en) | 2000-02-18 | 2003-09-03 | Optical interferometer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000041763A JP2001227906A (ja) | 2000-02-18 | 2000-02-18 | 光干渉計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001227906A true JP2001227906A (ja) | 2001-08-24 |
Family
ID=18564938
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000041763A Pending JP2001227906A (ja) | 2000-02-18 | 2000-02-18 | 光干渉計 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US6636317B2 (ja) |
| JP (1) | JP2001227906A (ja) |
| DE (1) | DE10107330A1 (ja) |
| GB (1) | GB2359378A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6900899B2 (en) * | 2001-08-20 | 2005-05-31 | Agilent Technologies, Inc. | Interferometers with coated polarizing beam splitters that are rotated to optimize extinction ratios |
| JP5317298B2 (ja) * | 2010-09-08 | 2013-10-16 | 国立大学法人 香川大学 | 分光計測装置及び分光計測方法 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4243323A (en) * | 1978-11-30 | 1981-01-06 | Nasa | Interferometer |
| JPH0650243B2 (ja) | 1984-12-14 | 1994-06-29 | 株式会社日立製作所 | 光波干渉装置 |
| NL8900389A (nl) * | 1989-02-17 | 1990-09-17 | Philips Nv | Optische koherente ontvanger. |
| EP0480027A4 (en) | 1989-06-30 | 1993-06-09 | Nauchno-Proizvodstvenny Kooperativ "Fokon" | Method and device for determining the thickness of a glass tube |
| US5170223A (en) * | 1990-12-03 | 1992-12-08 | Advanced Fuel Research, Inc. | Device for blocking of divergent radiation, as in spectroscopy and instrument and method utilizing same |
| US6134003A (en) * | 1991-04-29 | 2000-10-17 | Massachusetts Institute Of Technology | Method and apparatus for performing optical measurements using a fiber optic imaging guidewire, catheter or endoscope |
| JP3653827B2 (ja) * | 1995-10-20 | 2005-06-02 | 株式会社ニコン | 干渉計 |
| WO1998053733A1 (fr) * | 1997-05-26 | 1998-12-03 | Hitachi, Ltd. | Appareil d'inspection dans lequel un interferometre optique est utilise |
| JP3202183B2 (ja) * | 1997-10-16 | 2001-08-27 | 株式会社ミツトヨ | レーザ光を用いたスケール及び測長方法 |
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