RU1800260C

RU1800260C - Интерферометр дл измерени линейных перемещений объектов

Info

Publication number: RU1800260C
Application number: SU894719717D
Authority: RU
Inventors: Александр Николаевич Смоляков; Евгений Александрович Сигитов; Феликс Львович Лазовский
Original assignee: Особое конструкторское бюро машиностроения при Саратовском заводе "Тантал"
Priority date: 1989-07-17
Filing date: 1989-07-17
Publication date: 1993-03-07
Also published as: RU1800259C

Abstract

Изобретение относитс к контрольно- измерительной технике, к интерферометри- ческим измерени м линейных перемещений объектов. Цель изобретени повышение технологичности и точности измерений посредством совмещени в пространстве двух пучков излучени с различными ориентаци ми пол ризации. Дл этого интерферометр снабжен оптическим элементом, предназначенным дл изменени направлени пучков излучени , полуволновой фазовой пластиной, коллиматором , пол роидом, установленным в опорном канале между светоделителем и фотоприемником, и вторым пол роидом, установленным в рабочем канале между вторым светоделителем и вторым фотоприемником. Оптический элемент, предназначенный дл изменени направлени пучков излучени , может быть выполнен в виде призмы либо в виде оптических клиньев. 2 з.п. ф-лы, 1 ил. ел с

Description

Изобретение относитс к контрольно-измерительной технике, к интерферометриче- ским измерени м линейных перемещений обьектов.

Целью изобретени вл етс повышение технологичности и точности измерений посредством совмещени в пространстве двух пучков излучений с различными ориентаци ми пол ризации.

На чертеже приведена схема предлагаемого интерферометра.

Интерферометр содержит лазер 1 линейно пол ризованного излучени , дифрак- ционный фазовый модул тор 2, предназначенный дл расщеплени излучени лазера на два пучка, оптический элемент 3, предназначенный дл изменени направлени пучков излучени , полуволновую фазовую пластину 4, установленную на пути одного из пучков излучени , отражатель 5. светоделитель 6, коллиматор 7, второй пол ризационный светоделитель 8, неподвижный уголковый отражатель 9, подвижный уголковый отражатель 10, устанавливаемый на объекте измерени , пол роиды опорный 11 и измерительный 12, фотоприемники опорный 13 и измерительный 14. Пол роид 11 и фотоприемник 13 установлены в опорном канале интерферометра , а коллиматор 7, второй светоделитель 8, отражатели 9 и 10, пол роид 12 и фотоприемник 14 - в рабочем канале. Оптический элемент 3 может быть выполнен в виде призмы либо в виде оптических клиньев .

Интерферометр работает следующим образом.

Модул тор 2 расщепл ет линейно пол ризованное излучение лазера 1 на два пучка , направленных под углом один к другому.

со

о о ю о о

Один из пучков после модул тора 2 имеет частоту ш- , а второй -Шг . Оптический элемент 3 измен ет направлени пучков излучени на взаимно параллельные.

После элемента 3 один из пучков излучени проходит через полуволновую фазовую пластину 4, котора поворачивает плоскость пол ризации на 90°. Второй пучок попадает на отражатель 5, установленный под углом к его оси, и, отража сь от него, пересекаетс с первым пучком на светоделителе б.

Светоделитель 6 делит образовавшийс совмещенный пучок излучени на две части, кажда из которых родержит две волны с ортогональными пол ризаци ми. Одна часть совмещенного пучка поступает через пол роид 11 на фотоприемник 13 опорного канала. Друга часть пучка направл етс через коллиматор 7 на второй пол ризационный светоделитель 8, который раздел ет компоненты излучени по пол ризации, а тем самым и по частоте, направл излучение с одной из частот на неподвижный уголковый отражатель 9, а с другой частотой - на подвижный уголковый отражатель 10. После отражателей 9 и 10 пучки в светоделителе 8 объедин ютс и поступают через пол роид 12 на фотоприемник 14, который на выходе формирует электрический сигнал, частота которого отличаетс от опорной и несет информацию о перемещении уголкового отражател 10.В предложенном интерферометре происходит преобразование двух разночастот- ных пучков излучени из волн с одинаково ориентированными линейными пол ризаци ми в один пучок излучени из двух волн с ортогональными линейными пол ризаци ми . Это обеспечивает возможность уменьшени габаритов оптической схемы и упрощает пространственную разв зку лучей по разным направлени м, что позвол ет

повысить технологичность и точность измерений .

Claims

1. Интерферометр дл измерени линейных перемещений объектов, содержащий лазер линейно пол ризованного излучени и расположенные вдоль пучка излучени дифракционный фазовый модул тор, расщепл ющий излучение лазера на два пучка, первый

светоделитель и фотоприемник, образующие опорный канал, отражатель, установленный между дифракционным модул тором и первым светоделителем, второй светоделитель, отражатель, устанавливаемый на объекте, и

второй фотоприемник, образующие рабочий канал, отличающийс тем, что, с целью повышени технологичности и точности измерений , он снабжен оптическим элементом , предназначенным дл изменени

направлени пучков излучени , установленным между дифракционным модул тором и первым светоделителем, полуволновой фазовой пластиной, установленной между оптическим элементом, предназначенным дл

изменени направлени пучков излучени , и первым светоделителем, коллиматором, установленным в рабочем канале между первым и вторым светоделител ми, пол роидом , установленным в опорном канале

между первым светоделителем и фотоприемником , вторым пол роидом, установленным в рабочем канале между вторым светоделителем и вторым фотоприемником.

2. Интерферометр по п. 1, о т л и ч а ю- щ и и с тем, что оптический элемент, предназначенный дл изменени направлени пучков излучени , выполнен в виде призмы.

3. Интерферометр по п.1, о т л и ч а ю- щ и и с тем, что оптический элемент, предназначенный дл изменени направлени пучков излучени , выполнен в виде оптических клиньев.

L.ЈCdL U. %1±A(ff