JP2000283722A

JP2000283722A - 光学部品駆動装置と光干渉計

Info

Publication number: JP2000283722A
Application number: JP11086738A
Authority: JP
Inventors: Fumio Akikuni; 文夫秋國; Akio Ichikawa; 昭夫市川; Eiichi Sano; 栄一佐野
Original assignee: F K KOGAKU KENKYUSHO KK; Ando Electric Co Ltd
Current assignee: F K KOGAKU KENKYUSHO KK; Ando Electric Co Ltd
Priority date: 1999-03-29
Filing date: 1999-03-29
Publication date: 2000-10-13
Also published as: US6570658B1; GB2348515A; GB0006188D0; DE10015242A1

Abstract

(57)【要約】【課題】光学部品駆動装置として、タイミングベルト
の駆動タイミングプーリに対する歯数引掛かり率を上げ
て、歯飛びを解消するとともに、光学部品の両方向への
移動立ち上がり速度を同程度にして、精度向上に寄与で
きるようにする。【解決手段】駆動タイミングプーリ６２と、一対の従
動タイミングプーリ６３，６４と、これら３個のタイミ
ングプー６２，６３，６４リに巻回したタイミングベル
ト６５とからなり、タイミングベルト６５に一対の従動
タイミングプーリ６３，６４間で光学部品３６，３７を
結合して、光学部品３６，３７を移動する光学部品駆動
装置であって、タイミングベルト６５に対し駆動タイミ
ングプーリ６２の両側でベルト張力を付与する一対のテ
ンションプーリ６６，６７を設ける。そして、駆動タイ
ミングプーリ６２は、一対の従動タイミングプーリ６
３，６４間のほぼ中央に配置する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光学部品駆動装
置、例えば、光計測技術分野で使用する光干渉計に用い
るに好適する光学部品駆動装置と、その光学部品駆動装
置を適用する光干渉計に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】マイケルソン干渉計に代表される光干渉
計は、入射光をビームスプリッタによって透過光と反射
光による直交する２光路に分割し、それぞれの光路に直
角に置いたミラーによる反射光を再びビームスプリッタ
で合波する。このとき、一方のミラーを設置したステー
ジを等速で直線的に動かすことで、２つのミラーからの
反射光の光路長に差ができ、干渉縞の強度変化が見られ
る。この干渉縞の強度変化を受光器で電気信号として取
り出す。なお、移動ミラーは直線的に長い距離を移動す
ることにより、光の波長測定を向上できる。

【０００３】ところで、移動ミラーの駆動装置として
は、ボールネジ機構、タイミングベルト装置、ワイヤー
装置等が知られている。なお、タイミングベルト装置の
場合、タイミングベルトに対し片側１個のテンションプ
ーリにより張力を付与するようにしていた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、移動ミラーの
駆動装置としてタイミングベルト装置を採用した場合、
タイミングベルトの駆動タイミングプーリに対する歯数
引掛かり率が少ないと、駆動時に歯飛びの心配がある。

【０００５】また、テンションプーリがタイミングベル
トに対し片側１個であると、テンションプーリの走行に
よる移動ミラーの左右移動時の初期立ち上がり時間につ
いて、詳細には左右で僅かな時間差が生じてしまう問題
があった。

【０００６】本発明の目的は、タイミングベルトの駆動
タイミングプーリに対する歯数引掛かり率を上げて、歯
飛びを解消するとともに、光学部品の両方向への移動立
ち上がり速度を同程度にして、精度向上に寄与できるよ
うにした光学部品駆動装置を提供することにある。ま
た、本発明は、このような光学部品駆動装置を備えた光
干渉計を提供することも目的としている。

【０００７】

【課題を解決するための手段】以上の課題を解決すべく
請求項１記載の発明は、駆動タイミングプーリと、一対
の従動タイミングプーリと、これら３個のタイミングプ
ーリに巻回したタイミングベルトとからなり、タイミン
グベルトに一対の従動タイミングプーリ間で光学部品を
結合して、光学部品を移動する光学部品駆動装置であっ
て、タイミングベルトに対し駆動タイミングプーリの両
側でベルト張力を付与する一対のテンションプーリを設
けた構成、を特徴としている。

【０００８】ここで、光学部品としては、光干渉計の直
線的に動く移動ミラーが挙げられるが、移動ミラーに限
らず、他の光学部品であっても良い。テンションプーリ
は、タイミングベルトに対応した歯を有するタイミング
プーリであっても、歯のない単なるプーリであっても良
い。

【０００９】以上のように、請求項１記載の発明によれ
ば、駆動タイミングプーリと一対の従動タイミングプー
リに巻回したタイミングベルトに対し、一対の従動タイ
ミングプーリ間で光学部品を結合して、駆動タイミング
プーリの両側でベルト張力を付与する一対のテンション
プーリを設けた光学部品駆動装置なので、タイミングベ
ルトに対し駆動タイミングプーリの両側に設けた一対の
テンションプーリにより、駆動タイミングプーリに対す
るタイミングベルトの歯数引掛かり率が上がることか
ら、歯飛びを解消しながら、光学部品の移動立ち上がり
速度を両方向とも同程度にできる。

【００１０】請求項２記載の発明は、請求項１記載の光
学部品駆動装置であって、一対の従動タイミングプーリ
間のほぼ中央に駆動タイミングプーリを配置した構成、
を特徴としている。

【００１１】このように、請求項２記載の発明によれ
ば、請求項１記載の一対の従動タイミングプーリ間のほ
ぼ中央に駆動タイミングプーリを配置した光学部品駆動
装置なので、駆動タイミングプーリから一対の従動タイ
ミングプーリまでの距離がほぼ等しくなって、このこと
からも、光学部品の移動立ち上がり速度を両方向とも同
程度にできる。

【００１２】そして、請求項３記載の発明は、基準光と
測定光を複数の光学部品により互いに干渉させる光干渉
計であって、複数の光学部品を筐体に固定の固定光学部
品と筐体に対し可動の移動光学部品とに分けて、移動光
学部品用として、請求項１または２記載の光学部品駆動
装置を備えた構成、を特徴としている。例えば、光学部
品としては、ビームスプリッタ及び反射器が挙げられ
る。

【００１３】このように、請求項３記載の発明によれ
ば、先ず、基準光の光軸とほぼ平行する光軸上に移動光
学部品を配置した光干渉計なので、基準光軸とほぼ平行
な光軸上に沿って移動光学部品を長い距離移動して、光
の波長測定の精度向上が可能となり、筐体の十分な小型
化が可能となる。そして、請求項１または２記載の光学
部品駆動装置により、移動光学部品の移動立ち上がり速
度を両方向とも同程度にできて、光の波長測定の精度向
上に寄与できる。

【００１４】また、請求項４記載の発明は、基準光と測
定光を、ビームスプリッタにより反射光と透過光による
直交する２光路に分岐し、各々の光路において、反射光
及び透過光を複数の反射器により互いに反射させた後、
再びビームスプリッタで合波してから受光器に受光させ
る光干渉計であって、複数の反射器を筐体に固定の固定
反射器と筐体に対し可動の移動反射器とに分けて、移動
反射器用として、請求項１または２記載の光学部品駆動
装置を備えた構成、を特徴としている。例えば、反射器
としては、ミラーが代表的であるが、ミラーの代わり
に、例えば、コーナーキューブ、リフレクタなども使用
できる。受光器は、干渉縞の強度変化を電気信号として
取り出すものである。

【００１５】このように、請求項４記載の発明によれ
ば、先ず、基準光の光軸とほぼ平行する光軸上に移動反
射器を配置した光干渉計なので、基準光軸とほぼ平行な
光軸上に沿って移動反射器を長い距離移動して、光の波
長測定の精度向上が可能となり、筐体の十分な小型化が
可能となる。そして、請求項１または２記載の光学部品
駆動装置により、移動反射器の移動立ち上がり速度を両
方向とも同程度にできて、光の波長測定の精度向上に寄
与できる。

【００１６】請求項５記載の発明は、請求項４記載の光
干渉計であって、反射光と透過光を互いに他方の固定反
射器に向けて反射する一対の固定反射器を備え、この一
対の固定反射器の間に、各々の固定反射器に光を全反射
する一対の移動反射器が配設されている構成、を特徴と
している。

【００１７】このように、請求項５記載の発明によれ
ば、先ず、反射光と透過光を互いに他方の固定反射器に
向けて反射する一対の固定反射器の間に、請求項４記載
の移動反射器として、各々の固定反射器に光を全反射す
る一対の移動反射器が配設されている光干渉計なので、
基準光軸とほぼ平行な光軸上において、一対の固定反射
器の間で一対の移動反射器を移動させて各々全反射させ
ることにより、各々の光路長に発生する差のできる範囲
を大きく取れる。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下に、本発明に係る光学部品駆
動装置と光干渉計の実施の形態例を図１から図６に基づ
いて説明する。先ず、図１は本発明を適用した一例とし
ての小型光干渉計の概略構成例を示した平面図で、図
中、Ｌ１は基準光軸、Ｌ２は可動光軸、３１は基準光
源、３２は第１ミラー、３３はビームスプリッタ、３４
は第２ミラー、３５は第３ミラー、３６，３７は移動ミ
ラー（コーナーキューブ）、３８は受光器、４０は筐
体、５１はリニアガイド、５２はミラーベースである。
この小型光干渉計は、Ｈｅ−Ｎｅレーザを基準光源３１
に用いたものである。

【００１９】基準光源３１から出射された基準光（Ｈｅ
−Ｎｅレーザ光）は、図示のように、筐体４０の内部に
おいて、基準光軸Ｌ１を通り、第１ミラー３２により反
射されてからビームスプリッタ３３に入射する。また、
ビームスプリッタ３３には、筐体４０の外部から測定光
が入射し、この測定光と基準光は、上段と下段とに異な
る光路を通ってビームスプリッタ３３に入射する。この
ビームスプリッタ３３によって、入射光が透過光と反射
光による直交する２光路に分割され、透過光は第２ミラ
ー３４により第３ミラー３５に向けて反射され、また、
反射光は第３ミラー３５により第２ミラー３４に向けて
反射する。第２ミラー３４で反射された光は、一方のコ
ーナーキューブによる移動ミラー３６により全反射さ
れ、また、第３ミラー３５で反射された光は、他方のコ
ーナーキューブによる移動ミラー３７で全反射される。
ここで、移動ミラー３６，３７は、第２ミラー３４と第
３ミラー３５間の光軸上において、リニアガイド５１上
を光軸に沿って移動自在に組み付けられている。

【００２０】そして、一方の移動ミラー３６で全反射さ
れた光は、第２ミラー３４により反射されてビームスプ
リッタ３３に再び入射し、また、他方の移動ミラー３７
で全反射された光は、第３ミラー３５により反射されて
ビームスプリッタ３３に再び入射する。こうして基準光
と測定光がビームスプリッタ３３で合波され、このと
き、ともにコーナーキューブによる一対の移動ミラー３
６，３７をリニアガイド５１上を光軸に沿って等速で移
動させることで、２つの移動ミラー３６，３７からの反
射光の光路長に差ができ、干渉縞の強度変化が見られ
る。この干渉縞の強度変化を受光器３８により電気信号
として取り出す。なお、２つの移動ミラー３６，３７に
よる反射光の光軸を、ここでは可動光軸Ｌ２とする。

【００２１】また、後述するように、２つの移動ミラー
３６，３７を外した光学系とした場合は、以下のような
光路となる。即ち、図２に示すように、ビームスプリッ
タ３３で分割された透過光は、第２ミラー３４により第
３ミラー３５に向けて反射され、さらに、第３ミラー３
５により反射されてビームスプリッタ３３に再び入射す
る。また、ビームスプリッタ３３で分割された反射光
は、第３ミラー３５により第２ミラー３４に向けて反射
され、さらに、第２ミラー３４により反射されてビーム
スプリッタ３３に再び入射する。こうして基準光と測定
光がビームスプリッタ３３で合波された結果、干渉が生
じ、その干渉が受光器３８で電気信号として取り出され
る。

【００２２】以上の小型光干渉計において、筐体４０に
は、図２に示したように、内部に複数（図示例では３
個）のボス４１，４１，４１を起設して、このボス４
１，４１，４１に一直線上の第１基準面４２，４２，４
２を形成するとともに、外形部に一直線上の第２基準面
４３を形成している。このような第１基準面４２，４
２，４２と第２基準面４３は、互いに平行であり、ま
た、第１基準面４２，４２，４２が第２基準面４３に向
かった状態にして、高精度な平坦面加工により得る。

【００２３】ところで、図３は移動ミラー３６，３７及
びその駆動系をブロック５０と一緒に取り外した状態を
示した平面図で、図中、５３は基準面、６１はモータ
（ステッピングモータ）、６２は駆動タイミングプー
リ、６３，６４は従動タイミングプーリ、６５はタイミ
ングベルト、６６，６７はテンションプーリである。即
ち、ブロック５０上には、図示のように、リニアガイド
５１が一体的または一体に設けられるとともに、中央の
モータ６１及び駆動タイミングプーリ６２と左右の従動
タイミングプーリ６３，６４及びテンションプーリ６
６，６７が備えられている。そして、モータ６１の出力
軸に設けた駆動タイミングプーリ６２と、リニアガイド
５１の両側に設けた従動タイミングプーリ６３，６４と
にタイミングベルト６５が掛けられている。このタイミ
ングベルト６５は、２つの移動ミラー３６，３７を備え
たミラーベース５２に固定されている。

【００２４】さらに、駆動タイミングプーリ６２の両側
において、タイミングベルト６５を適度の緊張状態とす
るためのテンションプーリ６６，６７が配置されてい
る。そして、ブロック５０のモータ６１を備えた側の端
面は、筐体４０の第１基準面４２，４２，４２と合致す
る基準面５３となっている。この基準面５３を高精度な
平坦面加工により得る。また、ブロック５０には、リニ
アガイド５１（可動光軸Ｌ２）を基準面５３と平行に設
けてある。なお、ブロック５０は、その基準面５３を第
１基準面４２，４２，４２に合致させた状態で筐体４０
上にネジ止め固定される。

【００２５】次に、以上のような構成による小型光干渉
計の使い方を説明する。先ず、筐体４０にブロック５０
を取り付けていない状態では、コーナーキューブによる
２つの移動ミラー３６，３７が可動光軸Ｌ２上に無いた
め、図２に示したように、基準光を基準光軸貫通穴４４
から筐体４０の外部へ遠方に飛ばして、基準光源３１か
ら出射直後の基準光軸Ｌ１と筐体４０の第１及び第２の
両基準面４２，４３との平行精度を、より高度に調整す
ることができる。また、筐体４０の第２基準面４３を基
準として、第２ミラー３４と第３ミラー３５とにより作
られる光軸（可動光軸Ｌ２参照）を平行に調整しておけ
ば、予め筐体４０の外部で調整されたブロック５０上の
移動ミラー３６，３７の可動光軸Ｌ２を合わせるだけ
で、前述したように、基準光と測定光の干渉を生じさせ
ることができる。

【００２６】そして、移動ミラー３６，３７について
は、筐体４０からブロック５０ごと外すことで、機械的
調整及び光学的調整することができ、具体的には、ブロ
ック５０の基準面５３を基準として、コリメータ及びレ
ーザにより、コーナーキューブによる移動ミラー３６，
３７を調整することができる。また、筐体４０からブロ
ック５０を外せるため、消耗部品であるリニアガイド５
１、ミラーベース５２、モータ６１、プーリ６２，６
３，６４及びタイミングベルト６５等を容易に交換する
ことができる。

【００２７】以上の通り、筐体４０からブロック５０と
して移動光学部品を外して、固定光学部品と移動光学部
品の機械的調整及び光学的調整が別個に行えるものとな
り、即ち、筐体４０からブロック５０ごと移動ミラー３
６，３７（移動反射器）及びその駆動系（モータ６１、
プーリ６２，６３，６４及びタイミングベルト６５等）
を外して、ビームスプリッタ３３及び固定反射器（ミラ
ー３２，３４，３５）と移動ミラー３６，３７の機械的
調整及び光学的調整が別個に行える。従って、移動ミラ
ー３６，３７のメンテナンス性が向上し、しかも、筐体
４０からブロック５０として移動ミラー３６，３７を外
して、筐体４０内のビームスプリッタ３３及びミラー３
２，３４，３５の光学的調整により、光干渉比率の精度
をアップできて、十分に小型化した筐体４０とすること
ができる。

【００２８】そして、基準光軸Ｌ１と平行な可動光軸Ｌ
２上に沿って移動ミラー３６，３７を長い距離移動でき
て、光の波長測定の精度をアップでき、この面からも十
分に小型化した筐体４０とすることができる。さらに、
基準光軸Ｌ１と平行な可動光軸Ｌ２上において、一対の
固定ミラー３４，３５の間で一対の移動ミラー３６，３
７を移動させて各々全反射させているため、各々の光路
長に発生する差のできる範囲を大きく取れるものとなっ
ている。

【００２９】以上において、モータ６１及びその出力軸
６１ａは、第２ミラー３４と第３ミラー３５との間の中
点位置にある。従って、モータ６１の駆動により、その
出力軸６１ａから駆動タイミングプーリ６２及びタイミ
ングベルト６５を介して一対の移動ミラー３６，３７
を、左右両方向の何れにおいても、立ち上がり速度を同
程度にして移動することができる。しかも、モータ６１
が左右の従動タイミングプーリ６３，６４に近付いた配
置となっているので、タイミングベルト６５による移動
ミラー３６，３７の左右両方向の立ち上がり速度を極力
早くして、測定時間の短縮が図られている。

【００３０】そして、詳細には、図４に示すように、タ
イミングベルト６５に対し駆動タイミングプーリ６２の
両側にテンションプーリ（アイドラタイミングプーリ）
６６，６７をそれぞれ設けたので、斜線範囲のように、
駆動タイミングプーリ６２に対するタイミングベルト６
５の歯数引掛かり部Ａが大きくなっている。即ち、テン
ションプーリ無しの場合やテンションプーリ１個の場合
と比較して、歯数引掛かり率を上げることができる。

【００３１】ここで、図５は図４の駆動装置との比較例
を示したもので、このように、例えば、テンションプー
リ無しの場合には、斜線範囲のように、駆動タイミング
プーリ６２に対するタイミングベルト６５の歯数引掛か
り部Ｂは小さなものに過ぎない。即ち、テンションプー
リ無しの場合は、図示のように、駆動タイミングプーリ
６２に対するタイミングベルト６５の歯数引掛かり率
（歯数引掛かり部Ｂ参照）は小さなものであり、また、
テンションプーリ１個の場合であっても、歯数引掛かり
率は小さい。

【００３２】しかし、図４に示したように、タイミング
ベルト６５に対し駆動タイミングプーリ６２の両側に設
けた一対のテンションプーリ６６，６７によって、斜線
範囲で示した通り、駆動タイミングプーリ６２に対する
タイミングベルト６５の歯数引掛かり率（歯数引掛かり
部Ａ参照）が大きくなるため、従来の歯飛びの問題を解
消できることに加え、一対の移動ミラー３６，３７の左
右両方向の立ち上がり速度を同程度にして移動すること
ができる。従って、光の波長測定の精度を向上すること
ができる。

【００３３】なお、以上の実施の形態例においては、Ｈ
ｅ−Ｎｅレーザ光を基準光としたが、基準光は、これに
限定されるものではなく、他のレーザ光であっても良
い。また、その他、具体的な細部構造等についても適宜
に変更可能であることは勿論である。

【００３４】

【発明の効果】以上のように、請求項１記載の発明に係
る光学部品駆動装置によれば、タイミングベルトに対し
駆動タイミングプーリの両側に設けた一対のテンション
プーリによって、駆動タイミングプーリに対するタイミ
ングベルトの歯数引掛かり率を上げて、歯飛びを解消す
ることができ、しかも、光学部品の移動立ち上がり速度
を両方向とも同程度にすることができる。

【００３５】請求項２記載の発明に係る光学部品駆動装
置によれば、一対の従動タイミングプーリ間のほぼ中央
に駆動タイミングプーリを配置したことによって、駆動
タイミングプーリから一対の従動タイミングプーリまで
の距離がほぼ等しくなるため、このことからも、請求項
１記載の発明のように、光学部品の移動立ち上がり速度
を両方向とも同程度にすることができるといった利点が
得られる。

【００３６】そして、請求項３記載の発明に係る光干渉
計によれば、基準光軸とほぼ平行な光軸上に沿って移動
光学部品を長い距離移動させることが可能なため、光の
波長測定の精度向上を可能として、筐体の十分な小型化
を可能とすることができ、しかも、請求項１または２記
載の発明に係る光学部品駆動装置によって、移動光学部
品の移動立ち上がり速度を両方向とも同程度にすること
ができるため、光の波長測定の精度向上を達成すること
ができる。

【００３７】また、請求項４記載の発明に係る光干渉計
によれば、基準光軸とほぼ平行な光軸上に沿って移動反
射器を長い距離移動させることが可能なため、光の波長
測定の精度向上を可能として、筐体の十分な小型化を可
能とすることができ、しかも、請求項１または２記載の
発明に係る光学部品駆動装置によって、移動反射器の移
動立ち上がり速度を両方向とも同程度にすることができ
るため、光の波長測定の精度向上を達成することができ
る。

【００３８】請求項５記載の発明に係る光干渉計によれ
ば、請求項４記載の発明により得られる効果に加え、基
準光軸とほぼ平行な光軸上において、一対の固定反射器
の間で一対の移動反射器を移動させて各々全反射させる
ため、各々の光路長に発生する差のできる範囲を大きく
取ることができるといった利点が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を適用した一例としての小型光干渉計の
概略構成例を示した平面図である。

【図２】図１の小型光干渉計において、筐体内の固定光
学部品を示した平面図である。

【図３】図１の小型光干渉計において、移動光学部品及
びその駆動系をブロックと一緒に取り外した状態を示し
た平面図である。

【図４】図３の移動反射器及びその駆動装置を拡大して
示した概略平面図である。

【図５】図４の駆動装置との比較例を示した概略平面図
である。

【符号の説明】

Ｌ１基準光軸Ｌ２可動光軸３１基準光源３２，３４，３５固定反射器３３ビームスプリッタ３６，３７移動反射器３８受光器４０筐体４２第１基準面４３第２基準面４４基準光軸貫通穴５０ブロック５１リニアガイド５２ミラーベース５３基準面６１モータ（駆動源）６２駆動タイミングプーリ６３，６４従動タイミングプーリ６５タイミングベルト６６，６７テンションプーリ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者市川昭夫東京都大田区蒲田４丁目19番７号安藤電気株式会社内 (72)発明者佐野栄一東京都板橋区富士見町13番６号株式会社ケイエヌテー内Ｆターム(参考） 2F064 CC10 EE01 FF02 GG12 GG16 GG22 GG51 2F065 AA00 AA02 DD03 FF52 GG05 HH04 JJ01 JJ15 LL12 LL17 LL46 UU00

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】駆動タイミングプーリと、一対の従動タイ
ミングプーリと、これら３個のタイミングプーリに巻回
したタイミングベルトとからなり、タイミングベルトに
一対の従動タイミングプーリ間で光学部品を結合して、
光学部品を移動する光学部品駆動装置であって、タイミングベルトに対し駆動タイミングプーリの両側で
ベルト張力を付与する一対のテンションプーリを設けた
こと、を特徴とする光学部品駆動装置。
【請求項２】一対の従動タイミングプーリ間のほぼ中央
に駆動タイミングプーリを配置したこと、を特徴とする
請求項１記載の光学部品駆動装置。
【請求項３】基準光と測定光を複数の光学部品により互
いに干渉させる光干渉計であって、複数の光学部品を筐
体に固定の固定光学部品と筐体に対し可動の移動光学部
品とに分けて、移動光学部品用として、請求項１または２記載の光学部
品駆動装置を備えたこと、を特徴とする光干渉計。
【請求項４】基準光と測定光を、ビームスプリッタによ
り反射光と透過光による直交する２光路に分岐し、各々
の光路において、反射光及び透過光を複数の反射器によ
り互いに反射させた後、再びビームスプリッタで合波し
てから受光器に受光させる光干渉計であって、複数の反射器を筐体に固定の固定反射器と筐体に対し可
動の移動反射器とに分けて、移動反射器用として、請求項１または２記載の光学部品
駆動装置を備えたこと、を特徴とする光干渉計。
【請求項５】反射光と透過光を互いに他方の固定反射器
に向けて反射する一対の固定反射器を備え、この一対の固定反射器の間に、各々の固定反射器に光を
全反射する一対の移動反射器が配設されていること、を
特徴とする請求項４記載の光干渉計。