JPS63282661A - 干渉型光装置 - Google Patents
干渉型光装置Info
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- JPS63282661A JPS63282661A JP63009753A JP975388A JPS63282661A JP S63282661 A JPS63282661 A JP S63282661A JP 63009753 A JP63009753 A JP 63009753A JP 975388 A JP975388 A JP 975388A JP S63282661 A JPS63282661 A JP S63282661A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P3/00—Measuring linear or angular speed; Measuring differences of linear or angular speeds
- G01P3/36—Devices characterised by the use of optical means, e.g. using infrared, visible, or ultraviolet light
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
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- Power Engineering (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は整合された干渉分析器及びフィルタを用いる
光学装置に関する。この光学装置は、表面即ち物体の位
置、変位又は速度の測定に用いられる。この発明を応用
する分野のうちの一つは、衝撃効果（デトニックス）の
もとて物質の水力学的な振舞いを学習することである。
光学装置に関する。この光学装置は、表面即ち物体の位
置、変位又は速度の測定に用いられる。この発明を応用
する分野のうちの一つは、衝撃効果（デトニックス）の
もとて物質の水力学的な振舞いを学習することである。
この発明による装置は、ドツプラー・ベロメタ−即ち速
度計型のものである。このような装置は公知であり、そ
の概要を第１図から第３図に関連して部用に説明する。
度計型のものである。このような装置は公知であり、そ
の概要を第１図から第３図に関連して部用に説明する。
第１図は例えばアルゴン型の単一モード・レーザ即ちｍ
−周波数レーザ１０を示しており、光ビームを発光して
超高速シャッタ１２を介して光ファイバー１４を通過す
る。光ファイバー１４の他端には、表面Ｓに接近して配
置されたヘッド１６が備えられており、表面Ｓの速度が
測定対象となっている。ヘッド１６は他の光ファイバー
１８を保持しており、光ファイバー１８は表面Ｓにより
反射され、又は拡散された光を受光し、ファブリ・ペロ
ー干渉計２０に光を導く。ファブリ・ペロー干渉計２０
の背後には、光学系２２と、スロット２４と、−例とし
てスリット走査型の電子カメラ２６とが備えられている
。
−周波数レーザ１０を示しており、光ビームを発光して
超高速シャッタ１２を介して光ファイバー１４を通過す
る。光ファイバー１４の他端には、表面Ｓに接近して配
置されたヘッド１６が備えられており、表面Ｓの速度が
測定対象となっている。ヘッド１６は他の光ファイバー
１８を保持しており、光ファイバー１８は表面Ｓにより
反射され、又は拡散された光を受光し、ファブリ・ペロ
ー干渉計２０に光を導く。ファブリ・ペロー干渉計２０
の背後には、光学系２２と、スロット２４と、−例とし
てスリット走査型の電子カメラ２６とが備えられている
。
第２図及び第３図は以下で説明する装置の動作を可能に
するものである。単一モード・レーザｌＯは、単一周波
数Ｆにより特徴付けられる単色光（その値はシステムが
使用するモード選択による。）を発光する。励振された
発光機構（例えばイオン化アルゴン・レーザの５１４５
人）により使用される光線５０を第２図に示すように概
要的に表現すると、乍−モード・レーザ１０の弔−発信
モードは５２のようになり、その幅は非常に狭い（図は
寸法通りではない）。一般に、他の全てのモードの消去
はレーザ・キャビディーに導入されたエア・ウェッジを
使用することにより行なわれる。
するものである。単一モード・レーザｌＯは、単一周波
数Ｆにより特徴付けられる単色光（その値はシステムが
使用するモード選択による。）を発光する。励振された
発光機構（例えばイオン化アルゴン・レーザの５１４５
人）により使用される光線５０を第２図に示すように概
要的に表現すると、乍−モード・レーザ１０の弔−発信
モードは５２のようになり、その幅は非常に狭い（図は
寸法通りではない）。一般に、他の全てのモードの消去
はレーザ・キャビディーに導入されたエア・ウェッジを
使用することにより行なわれる。
このような入射照射の単一周波数Ｆは、表面Ｓにより光
ビームを反射する際に、ドツプラー効果により偏移する
。その周波数偏移ΔＦは速度ＶとＶ ＝ ｃ／２・ΔＦ
／Ｆ の関係がある。
ビームを反射する際に、ドツプラー効果により偏移する
。その周波数偏移ΔＦは速度ＶとＶ ＝ ｃ／２・ΔＦ
／Ｆ の関係がある。
ただし、Ｃは表面Ｓに対する光の速度である。
周波数Ｆ＋ΔＦの反射ビームがファブリ・ペロー干渉計
２０を通過するときは、第３図の部分ａの基準３０に示
すように、背部に一連のリングを発生させる多重干渉現
象がある。スリット３２を介してこれらのリングを観察
すると、間隔が周波数シフトΔＦの値に依存する円形セ
グメント３４が得られる。
２０を通過するときは、第３図の部分ａの基準３０に示
すように、背部に一連のリングを発生させる多重干渉現
象がある。スリット３２を介してこれらのリングを観察
すると、間隔が周波数シフトΔＦの値に依存する円形セ
グメント３４が得られる。
第３図の部分すにおいて、これらの円形セグメント３４
に対応し、時間の関数として展開する線が示されている
。この線は上から下に進むものと仮定している。部分４
０では、目標がまだ静止しており、リングがその直径を
保持しているので、線は直線となっている。目標は、時
点４２から急に動き始め、その速度が増加する。急激な
変化の後では、線が目標の速度値を反映する曲線となっ
ている。具体的にいうと、速度Ｖは次式により与えられ
る。
に対応し、時間の関数として展開する線が示されている
。この線は上から下に進むものと仮定している。部分４
０では、目標がまだ静止しており、リングがその直径を
保持しているので、線は直線となっている。目標は、時
点４２から急に動き始め、その速度が増加する。急激な
変化の後では、線が目標の速度値を反映する曲線となっ
ている。具体的にいうと、速度Ｖは次式により与えられ
る。
ただし、λはレーザの単一周波数に対応する波長、Ｃは
光の速度、ｅはファブリ・ペロー干渉計２０の長さ、Ｄ
、及びＤ２は第１及び第２のリングの直径、ｎはリング
の跳躍数である。
光の速度、ｅはファブリ・ペロー干渉計２０の長さ、Ｄ
、及びＤ２は第１及び第２のリングの直径、ｎはリング
の跳躍数である。
このような装置は「２木の光ファイバーを介した光伝送
によるドツプラー・レザー干渉計（Ｄｏｐ−ｐｌｅｒ
１ａｓｅｒ ｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｅｒｙ ｗｉＬ
ｈ ｌｉｇｈｔ Ｌｒａｎｓ−ｍｉｓｓｉｏｎ ｂｙ
ｔｗｏ ｏｐｔｉｃａｌ ｆｉｂｅｒｓ）Ｊと題してジ
ドン（Ｓ、ＧＩＤＯＮ）、ガルサン（Ｇ、ＧＡＲＣＩＮ
） Ａびベアール（Ｇ、ＢＥｌｌ八Ｒ）へよる論文と、
「ファブリ・ペロー干渉計をもつドツプラー・レザー干
渉計による速度測定を目的とした光ファイバーの利用（
Ｆ、ｍｐｌｏｉ ｄｅｆｉｂｒｅｓ ｏｐｊｉｑｕｅ
ｓ ｐｏｕｒ ｌａ ｍｅａｓｕｒｅ ｄａ
ｖｉｊｃｓｓｅｐａｒ ｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｒ
ｉｅ Ｄｏｐｐｌｅｒ−１，ａｓｅｒ ａｖｃｃ ｉｎ
−ｔｅｒｆｅｒｏｍｅＬｒｅ ｄｅ Ｆａｂｒｙ−Ｐｅ
ｒｏｔ） Ｊと題してデユラン（Ｍ、ＤＵＲＡＮ）によ
る論文に説明されており、いずれも［高速度写真及びフ
ォトニックス］について、フランス、ストスプールで１
９８４年８月２７日〜３１日に開催された５ＰＩＥ、第
１６回会議報告（前者は第４９１＠、第８９４頁〜第８
９８頁、後者は同巻第６５０頁〜第６５７頁）に開示さ
れている。
によるドツプラー・レザー干渉計（Ｄｏｐ−ｐｌｅｒ
１ａｓｅｒ ｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｅｒｙ ｗｉＬ
ｈ ｌｉｇｈｔ Ｌｒａｎｓ−ｍｉｓｓｉｏｎ ｂｙ
ｔｗｏ ｏｐｔｉｃａｌ ｆｉｂｅｒｓ）Ｊと題してジ
ドン（Ｓ、ＧＩＤＯＮ）、ガルサン（Ｇ、ＧＡＲＣＩＮ
） Ａびベアール（Ｇ、ＢＥｌｌ八Ｒ）へよる論文と、
「ファブリ・ペロー干渉計をもつドツプラー・レザー干
渉計による速度測定を目的とした光ファイバーの利用（
Ｆ、ｍｐｌｏｉ ｄｅｆｉｂｒｅｓ ｏｐｊｉｑｕｅ
ｓ ｐｏｕｒ ｌａ ｍｅａｓｕｒｅ ｄａ
ｖｉｊｃｓｓｅｐａｒ ｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｒ
ｉｅ Ｄｏｐｐｌｅｒ−１，ａｓｅｒ ａｖｃｃ ｉｎ
−ｔｅｒｆｅｒｏｍｅＬｒｅ ｄｅ Ｆａｂｒｙ−Ｐｅ
ｒｏｔ） Ｊと題してデユラン（Ｍ、ＤＵＲＡＮ）によ
る論文に説明されており、いずれも［高速度写真及びフ
ォトニックス］について、フランス、ストスプールで１
９８４年８月２７日〜３１日に開催された５ＰＩＥ、第
１６回会議報告（前者は第４９１＠、第８９４頁〜第８
９８頁、後者は同巻第６５０頁〜第６５７頁）に開示さ
れている。
これらの装置は、ある観点で満足できるが、まだ欠点が
残されている。従って、光源手段に必要とさね、光出力
に利用可能な周波数スペクトルの純度は低い。従って、
レーザを乍−周波数にさせるための処理は、それがいく
つかのモードから１モードのみを選択するためばかりで
はなく、光学装置が選択したモードを減衰させるために
、相当な損失をもたらすことが解っている。従って、イ
オン化アルゴン・レーザの場合は、数Ｗ（ワット）の電
力レベルで動作する。この電力レベルを更に増加させた
いのであれば、増幅手段、例えば色素レーザ型を用いる
必要がある。しかし、このような増幅手段によって約１
０Ｗを超えるようにすることは殆ど不可能である。
残されている。従って、光源手段に必要とさね、光出力
に利用可能な周波数スペクトルの純度は低い。従って、
レーザを乍−周波数にさせるための処理は、それがいく
つかのモードから１モードのみを選択するためばかりで
はなく、光学装置が選択したモードを減衰させるために
、相当な損失をもたらすことが解っている。従って、イ
オン化アルゴン・レーザの場合は、数Ｗ（ワット）の電
力レベルで動作する。この電力レベルを更に増加させた
いのであれば、増幅手段、例えば色素レーザ型を用いる
必要がある。しかし、このような増幅手段によって約１
０Ｗを超えるようにすることは殆ど不可能である。
この発明の目的は、このような欠点をなくすことにある
。従って、例えば少なくともｔｏｏ ｗの高稼動の光出
力ビームを得る非常に簡単な方法を得る手段が望ましい
。これは、従来の技術で用いられていた電力レベルの約
２０倍である。
。従って、例えば少なくともｔｏｏ ｗの高稼動の光出
力ビームを得る非常に簡単な方法を得る手段が望ましい
。これは、従来の技術で用いられていた電力レベルの約
２０倍である。
また、この発明は、従来技術の先入観に対して逆を行く
ものであり、単一周波数放射を用いる原則を放棄するこ
とを推奨するものである。この発明は、実際において、
広帯域のスペクトル光源（コヒーレント源、例えばガス
、色素、固体、半導体又は類似のレーザか、又は非コヒ
ーレント源、例えば発光ダイオード、ランプ、アーク等
）の支援により多周波数の放射を形成することであり、
前記光源は外部的に周波数フィルタと関連される。
ものであり、単一周波数放射を用いる原則を放棄するこ
とを推奨するものである。この発明は、実際において、
広帯域のスペクトル光源（コヒーレント源、例えばガス
、色素、固体、半導体又は類似のレーザか、又は非コヒ
ーレント源、例えば発光ダイオード、ランプ、アーク等
）の支援により多周波数の放射を形成することであり、
前記光源は外部的に周波数フィルタと関連される。
そのスペクトル特性は等距離の周波数範囲により形成さ
れるものである。次に、使用ビームは多周波数、従って
高出力となる。この発明は、第１の構成と組み合わせる
ことにより、更に放出で用いられるフィルタと同一の周
波数スペクトルを有する干渉分析システムを用いる第２
の構成も得られる。
れるものである。次に、使用ビームは多周波数、従って
高出力となる。この発明は、第１の構成と組み合わせる
ことにより、更に放出で用いられるフィルタと同一の周
波数スペクトルを有する干渉分析システムを用いる第２
の構成も得られる。
この発明は、電気的な伝送に用いる方法の類推から、整
合されたろ波を行なうものということができる。
合されたろ波を行なうものということができる。
受信チャネルに発生し、かつ表面の変位及び／又は速度
の測定を可能にする干渉機構は、存在する全ての周波数
について成立する。構造的な干渉に基づく各リングは、
周波数が固有であるということにより、従来技術では独
特のものであったが、この発明が推奨する周波数の多重
性の結果として多重となる。しかし、意外なことに、こ
の多重性が測定の結反を低下させるようなことはない。
の測定を可能にする干渉機構は、存在する全ての周波数
について成立する。構造的な干渉に基づく各リングは、
周波数が固有であるということにより、従来技術では独
特のものであったが、この発明が推奨する周波数の多重
性の結果として多重となる。しかし、意外なことに、こ
の多重性が測定の結反を低下させるようなことはない。
干渉分析装置の背後に形成される干渉パターンは、明確
に定められ、かつリングの強度がより大きな光出力を介
して強化されるので、速度をますます容易に測定するこ
とが可能となる。
に定められ、かつリングの強度がより大きな光出力を介
して強化されるので、速度をますます容易に測定するこ
とが可能となる。
この発明により得られる光源の選択がかなりの範囲とな
るということは、非常に高電力のパルス駆動したレーザ
の使用を可能にするものである。
るということは、非常に高電力のパルス駆動したレーザ
の使用を可能にするものである。
この場合は、当然、光パルスを調べるべき現象、特にブ
トニック測定に同期させなければならない。
トニック測定に同期させなければならない。
本発明は、付図に関連する以下の説明の結果からよく理
解されるであろう。
解されるであろう。
第４図による装置は、発光手段Ｅ及び受光手段Ｒを備え
ている。発光手段Ｅは（図示なしの手段（レンズ・セッ
ト））により方向付けられた光ビームＬ１を発光する発
光源６０と、例えばファブリ・ペロー型の第１干渉計Ｆ
ＰＩとを備えており、１■記第１干渉計ＦＰＩはビーム
Ｌ２を供給する。このビームＬ２は光ファイバ６２を介
して調べるべき表面Ｓに導かわる。表面Ｓにより反射又
は拡散されたビームＬ３は、光ファイバ６４により受信
手段に導かれる。前記受信手段は第２干渉計ＦＰ２を備
えており、その背後には光検出器６６、例えば焦点面シ
ャッタ・カメラを配置させた第２干渉計ＦＰ２か備えら
れている。
ている。発光手段Ｅは（図示なしの手段（レンズ・セッ
ト））により方向付けられた光ビームＬ１を発光する発
光源６０と、例えばファブリ・ペロー型の第１干渉計Ｆ
ＰＩとを備えており、１■記第１干渉計ＦＰＩはビーム
Ｌ２を供給する。このビームＬ２は光ファイバ６２を介
して調べるべき表面Ｓに導かわる。表面Ｓにより反射又
は拡散されたビームＬ３は、光ファイバ６４により受信
手段に導かれる。前記受信手段は第２干渉計ＦＰ２を備
えており、その背後には光検出器６６、例えば焦点面シ
ャッタ・カメラを配置させた第２干渉計ＦＰ２か備えら
れている。
このような装置の動作を理解するために、前記装置を形
成している手段の種々のスペクトル特性を説明すること
が必要となる。第５図は、部分（ａ）に発光源６０によ
り発光された光ビームＬ１のスペクトルを示す。このス
ペクトルは幅広である。これは発光源６０で用いる物質
の放射帯域即ち光線に対応する。これが色素レーザの場
合であるときは、前記放射帯域は色素物質（例えばロー
ダミン６Ｇ）の蛍光帯域である。アルゴン・レーザの場
合は、前記線が何回もイオン化されたアルゴン原子のう
ちの一つである。
成している手段の種々のスペクトル特性を説明すること
が必要となる。第５図は、部分（ａ）に発光源６０によ
り発光された光ビームＬ１のスペクトルを示す。このス
ペクトルは幅広である。これは発光源６０で用いる物質
の放射帯域即ち光線に対応する。これが色素レーザの場
合であるときは、前記放射帯域は色素物質（例えばロー
ダミン６Ｇ）の蛍光帯域である。アルゴン・レーザの場
合は、前記線が何回もイオン化されたアルゴン原子のう
ちの一つである。
部分（ｂ）は第１干渉計ＦＰＩの周波数範囲を示す。
部分（Ｃ）は第１干渉計ＦＰＩからのビームＬ２のスペ
クトルを示す。広い帯域は一定数の等距離周波数にろ波
される。このようなスペクトルは多重レーザのスペクト
ルと混同されることはないが、これらは同一の形状又は
荒さを有する。従って、この発明の場合は、得られたス
ペクトルがファブリ・ペロー干渉計により多重レーザの
外側に配置される。従って、このようなスペクトルは非
常に安定している。多重レーザからの放射を用いる際に
、こわらのモードの安定性はひどく不適当であり、安定
したパターンを得るのを不可能にすることはない。
クトルを示す。広い帯域は一定数の等距離周波数にろ波
される。このようなスペクトルは多重レーザのスペクト
ルと混同されることはないが、これらは同一の形状又は
荒さを有する。従って、この発明の場合は、得られたス
ペクトルがファブリ・ペロー干渉計により多重レーザの
外側に配置される。従って、このようなスペクトルは非
常に安定している。多重レーザからの放射を用いる際に
、こわらのモードの安定性はひどく不適当であり、安定
したパターンを得るのを不可能にすることはない。
部分（ｄ）は戻りビームのスペクトルを示す。
先ず、放射の振幅は反射又は拡散により減衰されたが、
特に周波数は、表面Ｓの偏移速度の関数である周波数シ
フトΔＦにより偏移される。このスペクトルを有するビ
ームは、周波数範囲が第１干渉計ＦＰＩの周波数範囲と
同一の第２干渉計ＦＰ２を通過する。この第２干渉計Ｆ
Ｐ２の背後には、回折リングが形成され、その直径が従
来技術のように解析される。
特に周波数は、表面Ｓの偏移速度の関数である周波数シ
フトΔＦにより偏移される。このスペクトルを有するビ
ームは、周波数範囲が第１干渉計ＦＰＩの周波数範囲と
同一の第２干渉計ＦＰ２を通過する。この第２干渉計Ｆ
Ｐ２の背後には、回折リングが形成され、その直径が従
来技術のように解析される。
第１及び第２干渉計ＦＰＩ及びＦＰ２のスペクトルの同
一性を得るために最も簡単な手段は、第６図に示すよう
に、同〜の装置を用いることである。これは、上部をろ
波すべきビームに用い、下部を解析すべきビームに用い
るファブリ・ペロー干渉計ＦＰを備えることか可能であ
る。
一性を得るために最も簡単な手段は、第６図に示すよう
に、同〜の装置を用いることである。これは、上部をろ
波すべきビームに用い、下部を解析すべきビームに用い
るファブリ・ペロー干渉計ＦＰを備えることか可能であ
る。
第７図はアルゴン・レーザにより得られる曲線（部分ａ
）、及び色素レーザにより得られる曲線（部分ｂ）を示
す。これらの曲線は第２図に関連して説明した通常の形
状を有する。第７図の曲線の上の部分は静止期間に対応
しており、その目標が不動であることに対応している。
）、及び色素レーザにより得られる曲線（部分ｂ）を示
す。これらの曲線は第２図に関連して説明した通常の形
状を有する。第７図の曲線の上の部分は静止期間に対応
しており、その目標が不動であることに対応している。
下の部分は目標の移動に対応している。
部分（ｂ）の結果は電子フラッシュ・ポンプ式ローダミ
ン６Ｇレーザにより得られた。光パルスの期間は５０μ
ｓであり、電力ピークは１ＯＫｉ＃である。
ン６Ｇレーザにより得られた。光パルスの期間は５０μ
ｓであり、電力ピークは１ＯＫｉ＃である。
ろ波後に１００Ｗの電力が得られる。
アルゴン・レーザは、連続動作、モード・セレクタ及び
５Ｗの電力を有する通常型のものであった。
５Ｗの電力を有する通常型のものであった。
第８図は測定の解析結果を示す。横軸に時間をプロット
し、縦軸に目標の速度をプロットしである。アルゴン・
レーザに対応する部分（ａ）において、測定した初期速
度は２２３０ｍ／ｓ 、最終速度は２８６０［１／Ｓで
あった。色素レーザの使用に対応する部分（ｂ）におい
て、測定した初期速度は２２５０ｍ／ｓ 、最終速度は
２８１０ｍ／ｓであった。
し、縦軸に目標の速度をプロットしである。アルゴン・
レーザに対応する部分（ａ）において、測定した初期速
度は２２３０ｍ／ｓ 、最終速度は２８６０［１／Ｓで
あった。色素レーザの使用に対応する部分（ｂ）におい
て、測定した初期速度は２２５０ｍ／ｓ 、最終速度は
２８１０ｍ／ｓであった。
推定した測定精度は約１０００ｍ／ｓの装置速度のとき
に±２０ｍ／ｓである（「装置速度」は先に与えた式に
現われるＣλ／４ｅ項に対応する。即ち、これは、１単
位だけ干渉順序が変化する速度、換言すれば、１つの縁
を横切った通過したときの速度である）。
に±２０ｍ／ｓである（「装置速度」は先に与えた式に
現われるＣλ／４ｅ項に対応する。即ち、これは、１単
位だけ干渉順序が変化する速度、換言すれば、１つの縁
を横切った通過したときの速度である）。
第１図は既に説明した従来技術の速度計の概要図、
第２図は既に説明した弔−周波数スペクトルを概要的に
示す図、 第３図は既に説明した解析装置の背後で得られる回折リ
ングの図、 第４図はこの発明装置のブロック図、 第５図はこの発明装置のスペクトル特性図、第６図はこ
の発明の効果的な変形のブロック図、 第７図はアルゴン・レーザ及び色素レーザによりそれぞ
れ得られる２つの線の例を示す図、第８図は２つの型の
アルゴン・レーザ及び色素レーザによる表面の速度の変
形を解析した後の計算の結果を与える２つの曲線を示す
図である。 ６０、Ｅ・・・・発光源、 ６２．６４・・・・光ファイバ、 ６６・・・・光検出器、 ＦＰＩ・・・・第１干渉計、 ＦＰ２・・・・第２干渉計。 わ 一 僧 −コ 沖手 続
補 正 書 （方 式）昭和６３年５月２４
日
示す図、 第３図は既に説明した解析装置の背後で得られる回折リ
ングの図、 第４図はこの発明装置のブロック図、 第５図はこの発明装置のスペクトル特性図、第６図はこ
の発明の効果的な変形のブロック図、 第７図はアルゴン・レーザ及び色素レーザによりそれぞ
れ得られる２つの線の例を示す図、第８図は２つの型の
アルゴン・レーザ及び色素レーザによる表面の速度の変
形を解析した後の計算の結果を与える２つの曲線を示す
図である。 ６０、Ｅ・・・・発光源、 ６２．６４・・・・光ファイバ、 ６６・・・・光検出器、 ＦＰＩ・・・・第１干渉計、 ＦＰ２・・・・第２干渉計。 わ 一 僧 −コ 沖手 続
補 正 書 （方 式）昭和６３年５月２４
日
Claims (9)
- （１）表面の位置、変位及び／又は速度の測定に利用可
能であると共に、 予め定めた周波数スペクトルを有し、調べるべき表面（
Ｓ）に指向された方向性ビーム（Ｌ１）を発光する発光
源（６０）により構成される放射手段と、 測定すべき前記表面（Ｓ）からの光信号を受信する干渉
解析装置（ＦＰ２）に関連される受信手段と を公知の方法により関連させた干渉型光装置において、 前記干渉型光装置の背後に配置され、前記光信号の変動
を測定可能な光受信器（６６）を備えると共に、 前記光源を離散的な周波数範囲を有する周波数ろ波干渉
計（ＦＰ１）に関連する広帯域スペクトル源により構成
し、前記放射手段の干渉解析装置（ＦＰ１）及び前記受
信手段の干渉解析装置（ＦＰ２）は同一のスペクトルを
有することを特徴とする干渉型光装置。 - （２）請求項１記載の干渉型光装置において、前記周波
数ろ波干渉計（ＦＰ１）はファブリ・ペロー干渉計であ
ることを特徴とする干渉型光装置。 - （３）請求項１記載の干渉型光装置において、前記干渉
解析装置（ＦＰ２）はファブリ・ペロー干渉計であるこ
とを特徴とする干渉型光装置。 - （４）請求項１記載の干渉型光装置において、前記周波
数ろ波干渉計（ＦＰ１）及び前記干渉解析装置（ＦＰ２
）は共にファブリ・ペロー干渉計であることを特徴とす
る干渉型光装置。 - （５）請求項４記載の干渉型光装置において、前記２つ
の周波数ろ波干渉計（ＦＰ１）及び前記干渉解析装置（
ＦＰ２）はその一方が前記光源から放射されるビームを
用いたファブリ・ペロー干渉計であり、他方が調べるべ
き表面からのビームを用いたファブリ・ペロー干渉計で
あることを特徴とする干渉型光装置。 - （６）請求項１記載の干渉型光装置において、前記光検
出器（６６）は焦点面シャッタ・カメラであることを特
徴とする干渉型光装置。 - （７）請求項１記載の干渉型光装置において、前記光源
（６０）はコヒーレント源、例えば色素、ガス、固体又
は半導体レーザであることを特徴とする干渉型光装置。 - （８）請求項１記載の干渉型光装置において、前記光源
はコヒーレント源、例えば発光ダイオード、ランプ又は
アークであることを特徴とする干渉型光装置。 - （９）請求項１記載の干渉型光装置において、前記光源
はパルス形式により動作することを特徴とする干渉型光
装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR8700659 | 1987-01-21 | ||
| FR8700659A FR2609809B1 (fr) | 1987-01-21 | 1987-01-21 | Dispositif optique utilisant un filtre et un analyseur interferometriques adaptes |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63282661A true JPS63282661A (ja) | 1988-11-18 |
Family
ID=9347114
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63009753A Pending JPS63282661A (ja) | 1987-01-21 | 1988-01-21 | 干渉型光装置 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4915499A (ja) |
| EP (1) | EP0278813B1 (ja) |
| JP (1) | JPS63282661A (ja) |
| CA (1) | CA1322865C (ja) |
| DE (1) | DE3862204D1 (ja) |
| FR (1) | FR2609809B1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106483319A (zh) * | 2015-09-01 | 2017-03-08 | 精工爱普生株式会社 | 介质速度检测装置以及印刷装置 |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5206697A (en) * | 1990-10-19 | 1993-04-27 | Schwartz Electro Optics, Inc. | Tunable laser rangefinder and method |
| US5317386A (en) * | 1991-09-06 | 1994-05-31 | Eastman Kodak Company | Optical monitor for measuring a gap between two rollers |
| US5202558A (en) * | 1992-03-04 | 1993-04-13 | Barker Lynn M | Flexible fiber optic probe for high-pressure shock experiments |
| US5345168A (en) * | 1993-02-01 | 1994-09-06 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Burst-by-burst laser frequency monitor |
| US5581351A (en) * | 1994-02-22 | 1996-12-03 | Eastman Kodak Company | Optical monitor for measuring thermal expansion of a rotating roller |
| US5642194A (en) * | 1996-02-05 | 1997-06-24 | The Regents Of The University Of California | White light velocity interferometer |
| NO316113B1 (no) * | 2002-01-24 | 2003-12-15 | Proanalysis As | Fremgangsmåte, probe og system for laserbasert rensemekanisme |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3788743A (en) * | 1972-03-02 | 1974-01-29 | California Inst Of Techn | Laser receiver system |
| US3802775A (en) * | 1972-09-05 | 1974-04-09 | Us Navy | Rapidly, continuously and synchronously tuned laser and laser detector |
| US3940608A (en) * | 1974-02-04 | 1976-02-24 | Mechanical Technology Incorporated | Fiber optic displacement measuring apparatus |
| US3942890A (en) * | 1974-03-21 | 1976-03-09 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Secure active sensor |
| SE419678B (sv) * | 1978-10-31 | 1981-08-17 | Gert Erik Nilsson | Sett och anordning for metning av stromningsrorelser i ett fluidum |
| US4766323A (en) * | 1986-08-29 | 1988-08-23 | B. C. Hydro | Method and apparatus for determining the distance of an object |
-
1987
- 1987-01-21 FR FR8700659A patent/FR2609809B1/fr not_active Expired
-
1988
- 1988-01-12 US US07/143,357 patent/US4915499A/en not_active Expired - Fee Related
- 1988-01-19 EP EP88400108A patent/EP0278813B1/fr not_active Expired - Lifetime
- 1988-01-19 DE DE8888400108T patent/DE3862204D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1988-01-20 CA CA000556910A patent/CA1322865C/en not_active Expired - Fee Related
- 1988-01-21 JP JP63009753A patent/JPS63282661A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106483319A (zh) * | 2015-09-01 | 2017-03-08 | 精工爱普生株式会社 | 介质速度检测装置以及印刷装置 |
| CN106483319B (zh) * | 2015-09-01 | 2020-06-19 | 精工爱普生株式会社 | 介质速度检测装置以及印刷装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| FR2609809B1 (fr) | 1989-03-31 |
| DE3862204D1 (de) | 1991-05-08 |
| CA1322865C (en) | 1993-10-12 |
| US4915499A (en) | 1990-04-10 |
| FR2609809A1 (fr) | 1988-07-22 |
| EP0278813B1 (fr) | 1991-04-03 |
| EP0278813A1 (fr) | 1988-08-17 |
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