KR20030045193A - 간섭계 측정 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 프로브 부분(6)을 포함하는 측정 대상(7)의 표면 특성값, 형태, 간격, 간격 변동, 예컨대 진동을 측정하기 위한 간섭계 측정 장치에 관한 것이다. 사용하기 쉽고 에러가 없는 스캐닝의 관점에서 바람직한 실시예로서, 프로브 부분(6)은 고정된 프로브 부분(6.1)과 여기에 기계적 및 광학적으로 연결된 회전 가능한 프로브 부분(6.2)으로 분할되고, 기준 빔과 간섭계 측정용 측정 빔을 발생시키기 위한 빔 분할기(6.3;6.3')는 회전 가능한 프로브 부분(6.2) 내에 배치된다.

Description

간섭계 측정 장치{Interferometric measuring device}
상기 방식의 간섭계 측정 장치는 DE 198 08 273 A1에 제시되어 있다. 공지된 상기 측정 장치의 경우 간섭계 측정 시스템에서 코히어런스-멀티플렉스에 의해 측정 장치의 광학 시스템이 2 개의 서브 시스템, 즉 표기된 변조-간섭계와 프로브 부분으로 분할된다. 프로브 부분은 상기 방식으로 아주 사용하기 쉽고, 하나의 측정 헤드를 포함하며, 상기 측정 헤드에 의해 비교적 길고 좁은 보어 내에서의 측정도 가능해진다. 상기 측정 장치는 다파장 간섭계용으로 설계됨으로써, 측정 범위의 확장이 달성된다. 표면의 라운딩-스캐닝을 실행하기 위해, 일반적으로 측정 대상 스스로 또는 측정 장치가 회전하면서 구동된다. 구동이 항상 간단하게 실행되지 않으므로 측정 정확도에 부정적으로 작용할 수 있다.
DE 198 19 762 A1에 공지된 상기 방식의 추가 간섭계 측정 장치에서 측정 시스템용 상이한 공간 절약형 측정 장치가 제안되고, 스캐닝 작동의 발생은 상기한 바와 유사한 어려움과 결부될 수 있다.
EP 0 126 475는 거친 표면의 프로파일 및/또는 설정-위치의 무접촉 측정을위한 장치 및 방법을 공지하고, 상기 방법은 다파장-헤테로다인-간섭계를 기초로 하고 광원으로서 하나 또는 다수의 레이저를 포함한다. 헤테로다인 기술은, 위상 평가를 기초로 하여 진동의 영향을 광범위하게 저지하는 것을 가능하게 하지만, 또한 상기 조치에서도 상기 어려움이 발생할 수 있다.
본 발명은 프로브 부분을 포함하는 측정 대상의 표면 특성값, 형태, 간격, 간격 변동, 예컨대 진동을 측정하기 위한 간섭계 측정 장치에 관한 것이다.
도 1은 변조-간섭계 및 이로부터 공간적으로 분리된 프로브 부분을 포함하는 간섭계 측정 장치의 제 1 실시예의 개략적인 도면 및
도 2는 변조-간섭계 및 이로부터 공간적으로 분리된 프로브 부분이 제공되어 있는 간섭계 측정 장치의 추가 실시예이다.
본 발명의 목적은 측정 장치를 가급적 간단하게 조작할 경우 측정 장치의 표면의 회전 스캐닝시 상승된 정확성에 도달하게 하고, 구동 장치에 의해 야기되는 측정 정확성에 대한 방해 영향을 저지시키는, 상기 방식의 간섭계 측정 장치를 제공하는데 있다.
상기 목적은 청구항 제 1항의 특징에 의해 달성된다. 이와 관련하여, 프로브 부분은 고정된 프로브 부분과 이와 기계적 그리고 광학적으로 결합된 회전 가능한 프로브 부분으로 분할되고, 기준 빔 및 간섭계 측정용 측정 빔의 발생을 위한 빔 분할기가 회전 가능한 프로브 부분 내에 배치된다.
프로브 부분이 고정된 프로브 부분과 회전 가능한 프로브 부분으로 분할됨으로써, 측정 대상의 스캐닝을 위한 비교적 간단한 방향 설정 및 정확하게 회전하는 스캐닝용 프로브 부분의 설계를 가능하게 한다. 빔 분할기가 회전 가능한 프로브 부분 내에 배치됨으로써, 측정될 표면에 의해 야기되는 기준 빔과 측정 빔 사이의 검출될 경로 차이가 고정된 프로브 부분과 회전하는 프로브 부분 사이의 전이 영역에서의 회전에 의해 발생하는 차이에 중첩되는 것이 방지된다.
조작에 있어서의 추가 간소함은, 프로브 부분으로부터 공간적으로 분리되고그 내에 짧은 코히어런스 광원이 배치된 변조 간섭계 또는 공간적으로 분리된 변조 간섭계가 존재하고, 짧은 코히어런스 광원은 회전 가능한 또는 고정된 프로브 부분 내부에 배치되거나 또는 프로브 부분의 외부에 배치되는 조치에 의해 달성된다. 이 경우 바람직한 구조는 프로브 부분과 변조 간섭계 또는 변조 복조 간섭계가 모노 모드의 광섬유를 통해 서로 결합됨으로써 달성된다.
따라서 바람직한 구조는 빔 분할기가 커먼-패스-간섭계 장치의 부분이 됨으로써 달성된다. 이로 인해 기준 빔용 고유의 광 경로가 생략되며 슬림한 구조가 바람직하다.
측정 장치의 실시예에 대한 상이한, 공지된 대안예로서, 간섭계의 구조가 전통적인 간섭계, 백색광 간섭계 또는 헤테로다인 간섭계에 상응한다.
또한 바람직한 실시예로서 측정 범위의 확장을 위한 간섭계가 다파장 간섭계로서 형성된다.
예컨대 분사 노즐과 같은 매우 좁은 채널 또는 보어에서의 측정은, 프로브 부분이 측정 대상의 스캐닝을 위한 측정 헤드 내에서 섬유 조각이 연결되어 있는 광학 측정 섬유를 포함함으로써, 그리고 빔 분할기로서 섬유 조각과 측정 섬유 사이에 분리면이 형성됨으로써 달성될 수 있다. 이 경우 예컨대 80㎛ 내지 1 mm 사이의 직경을 가진 보어 내에서의 측정이 가능하다. 이 경우 측정 섬유의 측정 대상측 단부는 각 측정 목적에 상응하게 형성된다.
또한 바람직한 구조를 위해, 광원의 빛이 추가 광섬유 및 섬유-빔 분할기를 통해 섬유 조각 내로 안내되어 여기로부터 측정 대상의 조명을 향해 광섬유로 안내된다.
간섭계 측정 장치 자체의 구조 및 동작을 위해 서두에 언급된 선행 기술이 참조되고, 간섭계 측정 장치에 대한 추가 문헌이 제공된다.
본 발명은 하기에서 도면을 참조로 하는 실시예에 의해 더 자세히 설명된다.
도 1에 도시된 간섭계 측정 장치(1)에서 변조-간섭계(2)로 이루어진 모듈과 프로브 부분(6)을 포함하는 모듈이 공간적으로 서로 분리되어 배치되고, 바람직하게 모노 모드의 광섬유(5)를 통해 서로 연결된다. 스캐닝된 측정 대상(7)의 대상 표면으로부터 모노 모드의 광섬유(5)를 통해 안내되는 측정광을 수용하기 위해 스펙트럼 부재(4.2) 및 광검출 장치(4.1)를 포함하는 수신 장치(4)가 제공되고, 상기 수신 장치의 출력 신호는 계산적 평가를 위해 평가 장치(8)로 전달되고, 상기 평가 장치는 간섭계 측정 장치(1)의 제어 목적을 수행할 수도 있다.
변조 간섭계는 짧은 코히어런스의 넓은 대역폭 광원(3), 예컨대 수퍼 발광 다이오드, 2 개의 모듈레이터(2.1), 특히 음향 광학적 모듈레이터, 분기 내에 배치된 지연 부재(2.2), 예컨대 평행하게 배치된 플레이트, 2 개의 빔 분할기를 포함하고, 상기 빔 분할기 중 하나는 광 빔을 모듈레이터(2.1)로 공급되는 2 개의 부분-광 빔으로 분할하기 위한 것이고, 다른 하나는 분할된 광 빔의 통합을 위한 것이며, 그리고 2 개의 편향 부재를 포함한다. 상기 방식의 변조 간섭계는 예컨대 서두에 언급된 DE 198 19 762 A1에 제시되어 있고, 또한 작동 방식도 자세하게 기술되어 있다.
프로브 부분(6)은 고정된 프로브 부분(6.1)과 거기에 기계적 그리고 광학적으로 연결된 회전 가능한 프로브 부분(6.2)을 포함하고, 여기에 빔 분할기(6.3)가 배치되어 있다. 빔 분할기(6.3)가 회전 가능한 프로브 부분(6.2) 내에 배치됨으로써, 회전으로 인해 빔 분할기(6.3)에 의해 발생된 기준 빔과 측정 빔 사이의 경로 차이가 발생될 수 있는 것이 아니라 표면 특성에서 발생하는 경로 차이의 변경 또는 형태, 간격, 간격 변동, 예컨대 진동이 측정 대상(7)의 스캐닝된 표면으로 재공급되는 장점이 나타난다.
변조-간섭계(2)의 짧은 코히어런스 광원(3)의 빛은 하나의 렌즈에 조준되어 2 개의 부분-광 빔으로 분할된다. 변조-간섭계는 예컨대 마하-첸더(Mach-Zehnder)-간섭계의 원리에 따라 구현된다. 2 개의 부분-광 빔은 모듈레이터(2.1)에 의해 상호 주파수 내로 이동된다. 주파수 차이는 예컨대 수 kHz이다. 변조-간섭계(2)의 하나의 아암에서 지연 부재(3)는 2 개의 부분-광 빔의 광 경로의 차이를 야기하고, 상기 차이는 광원(3)의 코히어런스 길이보다 길다. 2 개의 부분-광 빔은 후속하는 빔 분할기에서 중첩되어 모노 모드의 광섬유(5)에 결합된다. 광 경로 차이로 인해 부분-광 빔은 간섭 작용을 일으키지 않는다. 빛은 광섬유를 통해 프로브 부분(6)으로 안내되어 거기서 분리된다.
회전 가능한 프로브 부분(6.2)은 빔 분할기(6.3)의 외부에서 추가 광학 부재를 포함하고, 상기 광학 부재는 공급된 광 빔을 측정 대상(7)의 측정될 표면에 포커싱한다. 빔 분할기(6.3)로부터 측정면까지의 광 경로는 변조-간섭계(2)에 제공된 광 경로 차이를 보상한다. 빔 분할기(6.3)에 의해 광 빔은 측정 대상으로 안내된 측정 빔과 기준 빔으로 분할된다. 회전 가능한 프로브 부분(6.2)의 회전에 의해 예컨대 보어의 벽이 스캐닝되고, 내부 실린더의 형태 에러가 측정된다. 이 경우 측정 표면으로부터 반사된 빛은 기준 빔과 중첩되고, 광섬유(5)에 결합된다. 경로차 보상으로 인해 측정 빔 및 기준 빔의 광 빔이 간섭 작용을 일으킬 수 있다. 광-위상차는 측정 표면에 대한 간격에 관련된 정보를 포함한다.
광섬유(5)를 통해 변조-간섭계(2)에 안내된 빛은 분리되고 스펙트럼 부재(4.2), 예컨대 격자 또는 프리즘에 의해 파장(λ1,λ2, ...λn)을 가진 다수의 스펙트럼 부분으로 분광되어 광검출 장치(4.1)에 포커싱된다. 각 광검출기는 모듈레이터(2.1)에 의해 발생된 차이 주파수 및 위상()을 가진 전기 신호를 전달하고, 상기 위상은 관계식= ()에 따라 측정 대상(7) 및 관련 파장(λn)에 대한 간격의 측정 값(ΔL)과 연결된다.
다수의 광검출기(다파장-헤테로다인-간섭계)의 신호의 위상차를 측정함으로써 개별 광파장보다 더 커도되는 간격(ΔL)이 정확하게 측정될 수 있다. 평가는 평가 장치(8)에 의해 이루어진다.
기본적으로 도 1에 도시된 간섭계 측정 장치(1)와 유사하게 도 2에 도시된 추가 간섭계 측정 장치(1)도 작동한다. 그러나 이 경우 간섭계 측정 장치(1)는 복조-간섭계(2') 및 이로부터 이격된, 광섬유(5)에 의해 결합된 프로브 부분(6)에 연결되고, 상기 프로브 부분은 마찬가지로 고정된 프로브 부분(6.2)과 회전 가능한 프로브 부분(6.2)으로 분할된다.
이 경우 짧은 코히어런스 광원(3), 예컨대 수퍼 발광 다이오드는 회전 가능한 프로브 부분(6.2) 내에 배치된다. 상기 광원의 빛은 추가 광섬유(6.4)를 통해, 마찬가지로 바람직하게 모노 모드의 광섬유를 통해, 섬유-빔 분할기(6.3')에 의해 섬유 조각(6.5)에 연결되고, 상기 섬유 조각은 측정 헤드(6.6)내의 섬유 연결기에 의해 측정 대상(7)으로 향한 측정 섬유(6.7)에 연결된다. 상기 측정 섬유의 자유 단부에서 측정 표면의 발광 및 그로부터 반사된 빛의 수용을 위해 형성된 측정 섬유(6.2)에 의해 측정 대상(7)의 표면, 예컨대 분사 노즐의 매우 좁은 보어가 광학적으로 스캐닝된다.
측정 섬유(6.7)로의 전이 영역에 있는 섬유 조각(6.5)의 배출면은, 상기 배출면이 빔 분할기(6.3)의 기능을 가지도록 피복된다. 빛은 상기 빔 분할기(6.3)에서 2 개의 부분 빔, 즉 측정 빔과 기준 빔으로 분할된다. 기준 빔은 다시 섬유 조각(6.5)에 연결되어 회전 가능한 프로브 부분(6.2)과 고정된 프로브 부분(6.1) 사이의 전이 영역에 있는 광학 커플러(6.8)를 통해 복조-간섭계(2')로 안내된다. 측정 빔은 그 단부가 특수 처리되어 예컨대 45°의 각도로 연삭되어 실버링(거울화)되는 측정 섬유로부터 분리되어 측정 대상(7)의 작은 보어의 측정될 내벽을 조명한다. 측정 섬유(6.7)는 예컨대 125㎛의 직경을 가진다. 보어의 벽으로부터 반사된 빛은 측정 섬유(6.7), 섬유-빔 분할기(6.3') 및 광학 커플러(6.8)를 통해 복조-간섭계(2')에 연결되어 기준 빔과 중첩된다. 2 개의 빔은 서로 간섭작용을 일으킬 수 없는데, 그 이유는 광원(3)의 코히어런스 길이가 측정 섬유(6.7)의 1/2 보다 짧기 때문이다. 복조-간섭계(2')는 예컨대 마하-첸더(Mach-Zehnder)-간섭계의 원리에 따라 구현된다. 복조-간섭계(2') 내에서 도달하는 빛은 2 개의 부분-광 빔으로 분할된다. 복조-간섭계(2')의 아암에 지연 부재(2.2), 예컨대 마찬가지로 평탄하게 평행하는 글래스 플레이트가 삽입되고, 상기 지연 부재는 측정 헤드(6.6)에서 강요되는 측정 빔과 기준 빔 사이의 광 경로의 차이를 리세팅한다. 2 개의 부분-광 빔은 모듈레이터(2.1), 예컨대 마찬가지로 음향 광학적 모듈레이터에 의해 상호 주파수 내로 이동되고, 주파수 차이는 이 경우에도 예컨대 수 kHz이다. 2 개의 간섭할 수 있는 부분-광 빔은 추가 빔 분할기에서 중첩되어, 분리되고 스펙트럼 부재(4,2), 예컨대 격자 또는 프리즘에 의해 파장(λ1,λ2, ...λn)을 가진 다수의 스펙트럼 부분으로 분광되어 광검출 장치(4.1)에 포커싱된다. 평가는 도 1에 따른 실시예에 상응하게 이루어진다.
회전하는 프로브 부분(6.2)으로부터 고정된 프로브 부분(6.1)으로의 정보 전달은 광학 커플러(6.8)에 의해 이루어지고, 상기 광학 커플러는 예컨대 상응하는 광섬유(5)의 섬유 단부에 배치된 2 개의 그린(Grin)(= graduade-index-)-렌즈의 형태로 구현될 수 있다. 광학 커플러(6.8)가 섬유-빔 분할기(6.3') 또는 빔분할기(6.3)로 향한 광 경로에 위치하기 때문에, 경우에 따라 2 개의 프로브 부분(6.1, 6.2)의 작은 경사 또는 이동이 회전하는 동안 방해되지 않음으로써, 회전에 의해 스캐닝동안 측정 결과 값의 변조는 발생하지 않는다.

Claims (8)

  1. 하나의 프로브 부분(6)을 포함하는 측정 대상(7)의 표면 특성값, 형태, 간격, 간격 변동, 예컨대 진동을 측정하기 위한 간섭계 측정 장치에 있어서,
    상기 프로브 부분(6)은 고정된 프로브 부분(6.1)과 여기에 기계적 및 광학적으로 연결된 회전 가능한 프로브 부분(6.2)으로 분할되고 및
    기준 빔과 간섭계 측정용 측정 빔을 발생시키기 위한 빔 분할기(6.3; 6.3')는 회전 가능한 프로브 부분(6.2) 내에 배치되는 것을 특징으로 하는 측정 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 프로브 부분(6)으로부터 공간적으로 분리되고 그 내에 짧은 코히어런스 광원(3)이 배치된 변조 간섭계(2) 또는 공간적으로 분리된 복조 간섭계(2')가 존재하고, 짧은 코히어런스 광원(3)은 회전 가능한 또는 고정된 프로브 부분(6) 내에 또는 프로브 부분(6)의 외부에 배치되는 것을 특징으로 하는 측정 장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 프로브 부분(6) 및 변조 간섭계(2) 또는 복조 간섭계(2')는 모노 모드 광섬유(5)를 통해 서로 결합되는 것을 특징으로 하는 측정 장치.
  4. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 빔 분할기(6.3)는 커먼-패스-간섭계 장치의 부분인 것을 특징으로 하는 측정 장치.
  5. 제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 간섭계의 구조가 전통적인 간섭계, 백색광 간섭계 또는 헤테로다인 간섭계에 상응하는 것을 특징으로 하는 측정 장치.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 간섭계는 측정 범위의 확장을 위해 다파장 간섭계로서 형성되는 것을 특징으로 하는 측정 장치.
  7. 제 1항 내지 제 6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 프로브 부분(6)이 측정 대상(7)의 스캐닝을 위한 측정 헤드(6.6) 내에서 광학 측정 섬유(6.7)를 포함하고, 상기 광학 측정 섬유 앞에 섬유 조각(6.5)이 연결되고
    빔 분할기(6.3)로서 섬유 조각(6.5)과 측정 섬유(6.7) 사이에 분리면이 형성되는 것을 특징으로 하는 측정 장치.
  8. 제 3항 내지 제 7항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 광원(3)의 빛은 추가 광섬유(6.4) 및 섬유-빔 분할기(6.3')를 통해 섬유 조각(6.5)으로 안내되어, 여기로부터 측정 대상(7)의 조명을 향해 광섬유(6)로 안내되는 것을 특징으로 하는 측정 장치.
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WO (1) WO2002040936A1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2012033320A2 (ko) * 2010-09-07 2012-03-15 경북대학교 산학협력단 발광다이오드 소자의 결함검사 장치 및 방법

Families Citing this family (30)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10155203A1 (de) * 2001-11-09 2003-06-18 Bosch Gmbh Robert Laserbearbeitungsvorrichtung
DE10244552B3 (de) * 2002-09-25 2004-02-12 Robert Bosch Gmbh Interferometrische Messeinrichtung
DE10244553B3 (de) * 2002-09-25 2004-02-05 Robert Bosch Gmbh Interferometrische Messeinrichtung
DE10301607B4 (de) 2003-01-17 2005-07-21 Robert Bosch Gmbh Interferenzmesssonde
DE10360078A1 (de) * 2003-12-20 2005-07-21 Robert Bosch Gmbh Optische Messvorrichtung
JP4471163B2 (ja) * 2004-09-30 2010-06-02 富士フイルム株式会社 光断層画像取得装置
DE102005021061B4 (de) * 2005-05-06 2011-12-15 Siemens Ag Verfahren zur tomographischen Darstellung eines Hohlraumes durch Optische-Kohärenz-Tomographie (OCT) und eine OCT-Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
JP4804057B2 (ja) * 2005-07-28 2011-10-26 オリンパス株式会社 内面計測装置
JP2007101263A (ja) * 2005-09-30 2007-04-19 Fujifilm Corp 光断層画像化装置
US7636166B2 (en) * 2006-01-23 2009-12-22 Zygo Corporation Interferometer system for monitoring an object
DE102007010389B4 (de) * 2007-03-03 2011-03-10 Polytec Gmbh Vorrichtung zur optischen Vermessung eines Objekts
DE102007024197B4 (de) * 2007-05-24 2017-01-05 Robert Bosch Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Formmessung von Freiform-Flächen
EP2037214A1 (de) 2007-09-14 2009-03-18 Leica Geosystems AG Verfahren und Messgerät zum vermessen von Oberflächen
DE102007045568A1 (de) * 2007-09-24 2009-04-02 Robert Bosch Gmbh Sonde und Vorrichtung zum optischen Prüfen von Messobjekten
DE102007045569A1 (de) 2007-09-24 2009-04-02 Robert Bosch Gmbh Sonde und Vorrichtung zum optischen Prüfen von Messobjekten
DE102007054915A1 (de) * 2007-11-15 2009-05-20 Precitec Optronik Gmbh Messvorrichtung, Messkopf und Messkopfhalter
DE102007059903A1 (de) 2007-12-12 2009-06-18 Robert Bosch Gmbh Sonde und Vorrichtung zum optischen Prüfen von Messobjekten
DE102008029479A1 (de) * 2008-06-20 2009-12-24 Carl Zeiss Meditec Ag Kurzkohärenz-Interferometerie zur Abstandsmessung
DE102008040921A1 (de) 2008-08-01 2010-02-04 Robert Bosch Gmbh Referenzkörper zur Überprüfung von optischen oder taktilen Messsonden
DE102009027266A1 (de) * 2009-06-29 2010-12-30 Robert Bosch Gmbh Interferometrische Weg- und/oder Drehmessvorrichtung
WO2011012274A1 (en) 2009-07-27 2011-02-03 Helmholtz Zentrum München Deutsches Forschungszentrum Für Gesundheit Und Umwelt (Gmbh) Imaging device and method for optoacoustic imaging of small animals
DE102009041996A1 (de) 2009-09-18 2011-03-24 Carl Zeiss Meditec Ag Ophthalmologisches Biometrie- oder Bilderzeugungssystem und Verfahren zur Erfassung und Auswertung von Messdaten
DE102010019657A1 (de) 2010-05-03 2011-11-03 Carl Zeiss Meditec Ag Anordnung zur verbesserten Abbildung von Augenstrukturen
DE102010032138A1 (de) 2010-07-24 2012-01-26 Carl Zeiss Meditec Ag OCT-basiertes, ophthalmologisches Messsytem
GB2485175A (en) * 2010-11-03 2012-05-09 Univ City Optical imaging system using incoherent light and interference fringes
EP2541193A1 (de) 2011-06-27 2013-01-02 Hexagon Technology Center GmbH Interferometrisches Entfernungsmessverfahren zum Vermessen von Oberflächen und ebensolche Messanordnung
DE102012212785A1 (de) 2012-07-20 2014-01-23 Robert Bosch Gmbh Optische Messsonde und Verfahren zur optischen Messung von Innen- und Außendurchmessern
US20180149468A1 (en) * 2016-11-30 2018-05-31 Apre Instruments, Llc True heterodyne spectrally controlled interferometry
US10645917B2 (en) * 2017-10-31 2020-05-12 Deere & Company Method for remediating developmentally delayed plants
JP7193992B2 (ja) * 2018-11-28 2022-12-21 株式会社日立製作所 形状測定システム、プローブ先端部、形状測定方法、及びプログラム

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3318678A1 (de) † 1983-05-21 1984-11-22 Adolf Friedrich Prof. Dr.-Phys. Fercher Verfahren und vorrichtung zur interferometrie rauher oberflaechen
US4848908A (en) * 1983-10-24 1989-07-18 Lockheed Missiles & Space Company, Inc. Optical heterodyne roughness measurement system
US4627731A (en) † 1985-09-03 1986-12-09 United Technologies Corporation Common optical path interferometric gauge
DE3834117A1 (de) † 1988-10-07 1990-04-12 Zeiss Carl Fa Koordinatenmessgeraet mit einem optischen tastkopf
US6134003A (en) † 1991-04-29 2000-10-17 Massachusetts Institute Of Technology Method and apparatus for performing optical measurements using a fiber optic imaging guidewire, catheter or endoscope
US6564087B1 (en) † 1991-04-29 2003-05-13 Massachusetts Institute Of Technology Fiber optic needle probes for optical coherence tomography imaging
US5157745A (en) † 1991-09-16 1992-10-20 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Multi-channel fiber optic rotary joint for single-mode fiber
US5588077A (en) † 1995-05-22 1996-12-24 Focal Technologies, Inc. In-line, two-pass, fiber optic rotary joint
US5640270A (en) * 1996-03-11 1997-06-17 Wyko Corporation Orthogonal-scanning microscope objective for vertical-scanning and phase-shifting interferometry
US5731876A (en) * 1996-09-17 1998-03-24 Hewlett-Packard Company Method and apparatus for on-line determination of the thickness of a multilayer film using a partially reflecting roller and low coherence reflectometry
DE19808273A1 (de) * 1998-02-27 1999-09-09 Bosch Gmbh Robert Interferometrische Meßeinrichtung zum Erfassen der Form oder des Abstandes insbesondere rauher Oberflächen
DE19819762A1 (de) * 1998-05-04 1999-11-25 Bosch Gmbh Robert Interferometrische Meßeinrichtung
US6687010B1 (en) * 1999-09-09 2004-02-03 Olympus Corporation Rapid depth scanning optical imaging device
DE10033189C1 (de) * 2000-07-07 2001-09-06 Alexander Knuettel Niederkohärenz-interferometrisches Gerät zur Tiefenabtastung eines Objektes

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2012033320A2 (ko) * 2010-09-07 2012-03-15 경북대학교 산학협력단 발광다이오드 소자의 결함검사 장치 및 방법
WO2012033320A3 (ko) * 2010-09-07 2012-05-31 경북대학교 산학협력단 발광다이오드 소자의 결함검사 장치 및 방법

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