JP4388695B2 - 形状又は距離間隔、例えば粗面の面形状又は距離間隔の干渉計形測定装置 - Google Patents
形状又は距離間隔、例えば粗面の面形状又は距離間隔の干渉計形測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4388695B2 JP4388695B2 JP2000533712A JP2000533712A JP4388695B2 JP 4388695 B2 JP4388695 B2 JP 4388695B2 JP 2000533712 A JP2000533712 A JP 2000533712A JP 2000533712 A JP2000533712 A JP 2000533712A JP 4388695 B2 JP4388695 B2 JP 4388695B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measurement
- unit
- measuring device
- partial
- interferometer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 64
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 26
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims description 16
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 claims description 12
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 claims description 8
- 239000000470 constituent Substances 0.000 claims description 5
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 4
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 claims description 2
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims description 2
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 238000012795 verification Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J9/00—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength
- G01J9/04—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength by beating two waves of a same source but of different frequency and measuring the phase shift of the lower frequency obtained
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
- G01B11/303—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces using photoelectric detection means
Description
本発明は、形状又は距離間隔、例えば表面粗さのある表面ないし粗面の面形状又は距離間隔の干渉計形測定装置であって、少なくとも1つの空間的にコヒーレントなビーム生成ユニットを有し、該ビーム生成ユニットのビームは、測定基準分岐を通って導かれその中で反射される基準測定ビームと、測定分岐を通って導かれ表面粗さのところで反射される測定ビームとに分割されるように構成され、光位相の変調のため、又は第1の部分ビームの光周波数(ヘテロダイン周波数)を第2の部分ビームの光周波数に対してシフトないし偏移するための装置を有し、反射された測定基準ビームを反射された測定ビームと重畳するための重畳ユニットを有し、重畳されたビームを相異なる波長を有する少なくとも2つのビームへ分解し、ビームを電気信号に変換するためのビーム分解、ビーム受信ユニット及び評価装置を有し、該評価装置では、表面粗さのある表面ないし粗面の面形状ないし距離間隔が電気信号の位相差に基づき求め得るようにした当該の測定装置に関する。
【0002】
その種の干渉計形測定装置ないし干渉測定装置は、EP0126475B1から公知であることが明かになっている。上記の公知の測定装置では、1つの測定対象物の表面粗さのある表面ないし粗面の粗さが、干渉計型式測定法で測定され、ここでレーザ光源を有するビーム生成ユニットが使用され、該ビーム生成ユニットは、種々の波長の光を送出する。ビームスプリッタを用いて、レーザ光は、基準ビーム路の基準ビームと、測定ビーム路の測定ビームとに分けられる。測定ビーム路の測定ビームは測定すべき表面へ当たり、一方基準ビーム路の基準ビームは、基準面にて、例えばミラーの形態の基準面にて反射される。表面及び反射面により反射された光は、ビームスプリッタにてまとめられ、レンズを用いてインターフェログラム平面内にフォーカシングされ、上記インターフェログラム平面内ではスペックルパターンが生じる。このスペックルパターンは、表面形状の決定のため評価され、ここでスペックルパターンは、測定点にてインターフェログラム位相の位相差が求められる。評価の簡単化のため、ヘテロダイン方式が適用され、ここで、基準ビームの周波数が周波数シフトないし偏移装置を用いて基準ビーム路中で測定ビームの周波数に対してシフトないし偏移される。上記測定装置を用いて、表面形状を微細に分解できる。種々の離散的個別の波長を有するレーザ光を、個々のレーザ光源により、例えばアルゴンレーザ光源により発生することができる。前記レーザ光源は、比較的高価であり、複数の種々の離散的波長(モード)を有する半導体レーザは、その種の干渉計型式測定向けには安定性の欠如、ひいては、それに伴う波長シフトないし偏移の故に不都合である。又は種々の離散個別波長を生じさせるのに複雑な光源、レーザダイオードを使用し得る。ここで、種々の波長から成るビームの空間的コヒーレンスを生じさせるのは、技術上コストを要する。更に、その種のレーザダイオードでは、種々の離散個別波長の不安定性は、特に不利である。これに関連して、複数の種々の離散個別波長を利用可能にすることもコストを要する。
【0003】
離散個別波長生成のためのレーザ光を使用する場合、測定センサと表面との間の所望の距離間隔を精確に調整セッティング(オートフォーカス機能)することも困難である。レーザ光源を有する構成により測定部分を良好に操作可能なユニットとして構成することも困難であり、前記ユニットを、例えば、測定機能の機械的、フィーラ−、触針形走査器の代わりに使用できるようにするものである。
【0004】
更なる干渉計型式測定装置がDE3906118A1にて示されており、該干渉計形ないし干渉測定形測定装置では、複数のレーザ光源を1つの測定セクションとの間に光ファイバが設けられている。ここでも、表面構造の決定のため位相差が求められる。走査アクセス困難な個所での操作扱いに関して上記の公知構成も不利である。
【0005】
本発明の基礎を成す課題とするところは、簡単な操作扱い及び簡単な構成のもとで、比較的アクセス操作の困難な表面でも、例えば、小さな孔のようなものにて、作製条件のもとで、表面形状ないし表面距離間隔の著しく精確な測定が可能である冒頭に述べた形式のヘテロダイン−又は位相干渉計型式ないし干渉測定形測定装置を提供することにある。
【0006】
前記課題は請求項1の構成要件により解決される。前記構成要件によれば、
形状又は距離間隔、例えば表面粗さのある表面ないし粗面の面形状又は距離間隔の干渉計形測定装置であって、少なくとも1つの空間的にコヒーレントなビーム生成ユニットを有し、該ビーム生成ユニットのビームは、測定基準分岐を通って導かれその中で反射される基準測定ビームと、測定分岐を通って導かれ表面粗さのところで反射される測定ビームとに分割されるように構成され、光位相の変調のため、又は第1の部分ビームの光周波数(ヘテロダイン周波数)を第2の部分ビームの光周波数に対してシフトないし偏移するための装置を有し、反射された測定基準ビームを反射された測定ビームと重畳するための重畳ユニットを有し、重畳されたビームを相異なる波長を有する少なくとも2つのビームへ分解し、ビームを電気信号に変換するためのビーム分解、ビーム受信ユニット及び評価装置を有し、該評価装置では、表面粗さのある表面ないし粗面の面形状ないし距離間隔が電気信号の位相差に基づき求め得るようにした当該の測定装置において、ビーム生成ユニットから送出されるビームは、時間的に短コヒーレント、且つ広帯域であるように構成されているのである。
【0007】
驚異的に明らかになったところによれば、時間的に短コヒーレンス長で、広帯域のビーム生成ユニットがヘテロダイン干渉計型式測定装置の光源として、同時に高い空間コヒーレンスを以て、例えば、表面粗さのある表面ないし粗面での測定と関連して極めて好適であるだけでなく、レーザ光源に比して際だった利点を有する。ビームの空間的コヒーレンスは、元来光源により与えられる。光源のビームのスペクトル分布の不安定性は、測定の際、実際上影響を及ぼさない、それというのは、ビームスプリッタ(例えば格子)及び所属のビーム受信ユニットを用いて常に、個々の固定の波長が連続スペクトルから安定して選択されるだけでなく、殊に、精確な一義的評価にとって重要な差が安定して維持されるからである。不安定性のもとでの波長の安定性変化がヘテロダイン技術の故に影響を及ぼさない、それというのは、その際位相のみが重要性を有するからである。時間的に短コヒーレントビームによりオートフォーカシングを簡単に実現できる。それというのは、ヘテロダイン信号は、短いコヒーレンス長に基因する、測定ビームと表面との間の所定の距離間隔領域に対してのみ存在するからである。更に、短コヒーレンス長の利点とするところは、測定システムを簡単にコヒーレンス長多重を用いてアクティブコンポーネントを有する変調形干渉計と、それとは、例えば光ファイバを介して空間的に分離された、測定センサとして構成された小型で、ロバストで容易に操作扱い可能な測定部分とに分けられていることである。有利な発展形態が、サブクレームに記載されている。
【0008】
請求項3,4では、作製の際の使用に有利な構成を特定する。マッハツェンダ(Mach-Zehnder)干渉計−構成の場合、両部分ビーム路内に配された音響光学変調器により角度分散の差が最小化される。
【0009】
ビーム生成ユニットは、時間的に短コヒーレンス長で広帯域、且つ空間的にコヒーレントな付加光源を有し、該付加光源は、光出力増大のため、又は代替予備光源として作動可能であるように構成する場合、両光源の同時使用をすれば、光度を高め得る。代替選択的付加光源を、他方の光源の障害の際の代替光源として使用し得る。
【0010】
第1部分ビームの、第2部分ビームに対する周波数シフトないし偏移のため、両部分ビームのうちの1つの光路中に周波数シフトないし偏移のための付加的装置が設けられており、前記の装置及び周波数シフトないし偏移のための付加的装置は音響光学変調器として構成されているという手段は、小さな角度分散を達成するのに適する。温度ドリフト及びこれに伴う音響光学変調器の屈折率変化−これは位相シフトないし偏移を来す−による測定誤差は両ビーム路中での変調器の配置構成により阻止される。
【0011】
更に構成及び評価にとって有利である手段によれば、ビーム分解及びビーム受信ユニットは、光を複数の波長に分解するためのスペクトル装置及び当該波長の選択的受信のための後置接続されたフォトデテクタマトリクスを有し、ビーム分解及びビーム受信ユニットは、同様に構成ユニット内に収容されており、ビーム分解及びビーム受信ユニットは光ファイバ装置を介して、測定センサに結合されており、フォトデテクタマトリクスの個々のデテクタの信号の位相差は測定表面の形状又は距離間隔を求めるため使用されるように構成されているのである。
【0012】
なおさらに構成及び評価は、次のようにして更に、有利になされる、即ち測定センサは、測定分岐、測定基準分岐、測定センサのビームスプリッタを以てマイケルソン−又はミラウ(Mirau)干渉計として構成されており、測定分岐中及び測定基準分岐中にて生ぜしめられた光路差が、遅延素子を用いて生ぜしめられる光路差により補償解消されるように構成されているのである。
【0013】
本発明の有利な実施形態により次のように構成すれば、即ち、第2ビームスプリッタから発する更なるビーム路が形成されており、この更なるビーム路は、基準センサー基準アーム及び基準センサー測定アームを有する基準センサに達しており、構成ユニット中に更なるビーム分解−及びビーム受信ユニットが設けられており、構成ユニットは更なる光ファイバ装置を介して基準センサに結合されているようにすれば、基準センサを用いて、回転テーブル誤差エラーを補償でき、回転テーブル誤差エラーは、測定すべき表面構造を有する測定対象物の運動のため使用される。更に、基準センサを、構成ユニット内に設けられた、変調形干渉計の、例えば温度により惹起されるドリフトの補償のため使用し得る。
【0014】
次に本発明を図を用いて参照して実施例に即して説明する。図は、表面粗さのある表面ないし粗面の面形状の検出のため干渉計型式測定装置の主要コンポーネントの配置構成を略示する。
【0015】
干渉計型式測定装置は、2つのセクションに分けられており、そのうちの一方のセクションは、変調形干渉計の形式で構成されており、一方、他方のセクションは、測定センサ3−これにより回転テーブル15上に位置付けられた測定すべき表面粗さを有する測定対象物4がスキャン走査される−及び基準センサ5を有する。測定センサ3は、光ファイバ装置6を介して変調形干渉計2に結合されており、一方測定センサ5は、更なる光ファイバ装置7を介して変調形干渉計2に接続されている。構造ユニット2の形態の変調形干渉計2は、マッハツェンダ干渉計として構成されアクティブコンポーネントを有する、即ち、光源8と付加的光源8′を有し、第1部分ビーム16及び第2部分ビーム17の部分ビームに配された音響光学変調器9,9′並びに2つのフォトデテクタマトリクスを有し、このフォトデテクタマトリクスは、ビーム分解−及びビーム受信ユニット13ないし付加的ビーム分解−及びビーム受信ユニット13′の一部である。亦マイケルソン干渉計としての構成も可能である。変調形干渉計2は、例えば、空調された振動絶縁ケーシング内に組み込まれている。
【0016】
光源8及び付加的光源8′、例えば、スーパー発光ダイオードは、多数の波長の連続的ビーム分布を有する短コヒーレントな広帯域光源である。光源8の光及び光源8′の光はコリメートされ、第1ビームスプリッタ18を用いて第1部分ビーム16と第2部分ビーム17とに分けられ、ここで光源8及び付加的光源8′は、ビームスプリッタ18の異なった側に設けられている。付加的光源8′は、前調整された代替光源として又は、光度全体の増幅のため使用され得る。両部分ビーム16,17は、2つの音響光学変調器9,9′を用いて相互に周波数をシフトないし偏移され得る。例えば、マッハツェンダとして構成された、又はマイケルソン干渉計として構成された変調形干渉計2の一方のアーム中に、ビーム路中で変調光源変調器9′及び引き続いての偏向ミラー11′の後方に、面並行のガラス板の形態の遅延素子10が挿入されており、この遅延素子10は、光源8,8′のコヒーレンス長より長い部分ビーム16,17の光路長の差を生ぜしめる。一方の部分ビーム16を有する変調形干渉計2の一方のアーム中に、音響光学変調器9の後方に同様に偏向ミラー11が配されており、該偏向ミラー11により光が第2のビームスプリッタ12へ偏向される。両部分ビーム16,17は、第2ビームスプリッタ12により重畳され得、1つ又は2つの単一モード(Monomode)光ファイバ装置内へ入力結合される。遅延素子10を用いて生ぜしめられた光路差に基づき、両部分ビーム16,17は干渉しない。光は、光ファイバ装置6を介して測定センサ3へ導かれ、更なる光ファイバ装置7を介して基準センサ5へ導かれ、そこから出力結合される。測定センサ3ないし基準センサ5は、例えば、マイケルソン又はミラウ(Mirau)干渉計の形態で次のように構成されている、即ち、測定センサ3の測定分岐3.1及び基準分岐3.2ないし基準センサ−基準アーム5.1及び基準センサー測定アーム5.2の重畳されたビームの光路差が変調形干渉計2の両部分ビーム16,17の光路差に対応するように構成されている。図1には測定センサ3及び基準センサ5がマイケルソン干渉計として示されている。
【0017】
測定分岐3.1を通る測定ビームは、光学装置を用いて、測定対象物4の被測定表面へフォーカシングされる。表面から反射された光が基準分岐3.2中にて、反射素子にて戻された基準ビームに重畳され、ビーム分解−及びビーム受信ユニット13内へ入力結合される。距離差補償に基づき、光ビームが干渉し得る。同様に、基準センサー測定アーム5.1の光が基準センサー基準アーム5.2の光に重畳され、更なるビーム分解−及びビーム受信ユニット13′に、更なる光ファイバ装置7を介し、更なる光ファイバ装置7の相応の送出分岐を経て供給される。
【0018】
測定センサ3ないし基準センサ5における光路差に基づき、光ビームが干渉し得る。ヘテロダイン方式を用いて音響光学変調器と関連して簡単に評価可能にされる光位相差は測定対象物4の被測定表面までの距離間隔についての、ひいては表面構造についての情報を含む。測定センサ3ないし基準センサ5により変調器干渉計2内へ戻された光は、光ファイバ装置6ないし更なる光ファイバ装置7から出力結合され、ビーム分解及びビーム受信ユニット13ないし更なるビーム分解及びビーム受信ユニット13′のスペクトル素子(例えば格子又はプリズム)を用いて複数の色ないし波長に分解され、そして、フォトダイオードマトリクスへフォーカシングされる。各フォトダイオードは、音響光学変調器9,9′により生ぜしめられる差周波数及び位相φnを有する電気信号を送出し、前記位相φnは、下記の関係式に従って、表面構造ないし測定対象物までの距離間隔ないし測定量(形状偏差、粗さ)及び所属の波長λnとの関係性を有する;
φn=(2πλn)ΔL・2
評価は種々のフォトデテクタの信号の位相間の差形成に基づいて行われる。
【0019】
複数のフォトデテクタ(多波長−ヘテロダイン−干渉測定、更なる検証付きの冒頭に述べた刊行物参照)の信号位相差の測定により、測定量ΔL−これはここの波長より大であってよい−を評価装置にて、例えばコンピュータ14の形態で、一義的に求め得る。
【0020】
干渉計型式測定装置の前述の構成により、一方では、容易に操作扱い可能な測定センサ3ないし基準センサ5を有する1つのセクションと、変調形干渉計2及び評価装置の比較的感度の良いコンポーネントを有する1つのセクションへの有利な分割が行われ得る。短コヒーレンス長で、広帯域の光源8,8′により、種々の波長の安定ビーム成分の簡単な用意生成を可能にし、そして、形状偏差−これは1つの波長の倍数であり得る−の改善された一義的評価を可能にする。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の表面粗さのある表面ないし粗面の面形状の検出のため干渉計型式測定装置の主要コンポーネントの配置構成の概念図。
【符号の説明】
2 構成ユニット
3 測定センサ
4 測定対象物
5 基準センサ
6 光ファイバ装置
7 更なる光ファイバ装置
8 光源
8′ 付加的光源
9 音響光学変調器
9′ 音響光学変調器
10 遅延素子
11 偏向ミラー
11′ 偏向ミラー
12 ビームスプリッタ
13 ビーム分解及びビーム受信ユニット
13′ 付加的ビーム分解及びビーム受信ユニット
14 コンピュータ
16 部分ビーム
17 部分ビーム
18 ビームスプリッタ
Claims (9)
- 表面の形状又は間隔を検出する干渉計形測定装置であって、
該干渉計形測定装置は、少なくとも1つの空間的にコヒーレントなビーム生成ユニット(8,8′)を有しており、
該ビーム生成ユニットのビームは、前記の測定装置の測定センサ(3)にて、測定基準分岐(3.2)を通って導かれかつそこで反射される基準測定ビームと、測定分岐(3.1)を通って導かれ前記の表面で反射される測定ビームとに分割され、
前記干渉計形測定装置は、第2の部分ビーム(17)の光周波数または光位相に対する第1の部分ビーム(16)のヘテロダイン周波数に相応して光周波数をシフト又は光位相を変調するための装置(9)を有しており、
前記干渉計形測定装置はさらに、
前記の反射された測定基準ビームを、反射された測定ビームに重畳するための重畳ユニットと、
当該の重畳されたビームを相異なる波長の少なくとも2つのビームへ分解して、ビームを電気信号に変換するためのビーム分解及びビーム受信ユニット(13)と、
表面の形状又は間隔を当該電気信号の位相差に基づいて求める評価装置(14)とを有する形式の干渉計形測定装置において、
前記の測定センサ(3)は、測定分岐(3.1)と測定基準分岐(3.2)とから構成されており、
前記の干渉計形測定装置(1)の残りの部材としてのビーム形成ユニット(8,8′)と、
第1部分ビーム(16)および第2部分ビーム(17)を形成するためのビームスプリッタと、
位相変調または周波数シフトのための装置(9)とが、変調干渉計(2)とした構成された構成ユニット(2)に配置されており、
前記の測定センサ(3)と、当該の構成ユニット(2)とは空間的に離されており、光導波装置(6)によって互いに接続されており、
前記のビーム生成ユニット(8,8′)から送出されるビームは、時間的に短コヒーレンス且つ広帯域であり、
当該構成ユニット(2)にて、1つの部分ビームのビーム路中に遅延ユニット(10)が配置されており、
該遅延ユニット(10)は、前記の2つの部分ビーム(16,17)の光路長の差を生じさせ、
当該の光路長の差は、ビーム生成ユニット(8,8′)によって生じるビームのコヒーレンス長よりも長いことを特徴とする
干渉計形測定装置。 - 前記のビーム生成ユニット(8,8′)は、時間的に短コヒーレンス且つ広帯域のビームを送出する光源であることを特徴とする、
請求項1記載の測定装置。 - マッハツェンダ干渉計に相応して、前記の構成ユニット(2)は、第1及び第2部分ビーム(16,17)形成する第1ビームスプリッタ(18)と、第2ビームスプリッタとを有しており、ここで当該の第2ビームスプリッタには、前記の第1及び第2部分ビーム(16,17)が供給され、第2ビームスプリッタにて第1及び第2部分ビームが重畳され、また第2ビームスプリッタにより、測定センサ(3)に供給されるビームが導かれることを特徴とする、
請求項1また2に項記載の測定装置。 - 前記のビーム生成ユニット(8,8′)は、時間的に短コヒーレンス、広帯域且つ空間的にコヒーレントな付加光源(8′)を有しており、
該付加光源は、光出力増大のため、又は代替予備光源として作動可能であることを特徴とする、
請求項1から3までのうちいずれか1項記載の測定装置。 - 前記の第1部分ビーム(16)を第2部分ビーム(17)に対して周波数シフトするため、2つの部分ビーム(16,17)のうちの1つの光路中に周波数シフトのための付加的装置(9′)が設けられており、
前記の周波数シフトのための装置(9)及び当該の付加的装置(9′)は音響光学変調器であることを特徴とする、
請求項1から4までのうちいずれか1項記載の測定装置。 - 前記のビーム分解及びビーム受信ユニット(13)は、光を複数の波長に分解するためのスペクトル装置と、当該波長を選択的に受信する後置接続されたフォトデテクタマトリクスとを有しており、
当該のビーム分解及びビーム受信ユニット(13)も前記の構成ユニット(2)内に収容されており、
当該のビーム分解及びビーム受信ユニット(13)は、前記の光ファイバ装置(6)を介して、測定センサ(3)に結合されており、
前記のフォトデテクタマトリクスの個々のデテクタの信号の位相差が、測定面の形状又は間隔を求めるため使用されることを特徴とする、
請求項1から5までのうちいずれか1項記載の測定装置。 - 前記の測定センサ(3)は、測定分岐(3.1)、測定基準分岐(3.2)、測定センサ(3)のビームスプリッタにより、マイケルソン−又はミラウ(Mirau)干渉計として構成されており、
前記の測定分岐(3.1)及び測定基準分岐(3.2)にて生じる光路差を、遅延素子(10)を用いて生じる光路差によって打ち消すことを特徴とする、
請求項1から6までのうちいずれか1項記載の測定装置。 - 前記の第2ビームスプリッタ(12)から発する別のビーム路が形成されており、
この更なるビーム路は、基準センサ−基準アーム(5.2)及び基準センサ−測定アーム(5.1)を有する基準センサ(5)に達し、
前記の構成ユニット(2)中に別のビーム分解及びビーム受信ユニット(13′)が設けられており、
当該の構成ユニットは、別の光ファイバ装置(7)を介して前記の基準センサ(5)に結合されていることを特徴とする、
請求項1から7までのうちいずれか1項記載の測定装置。 - 前記の測定装置は、孔における内法−幾何寸法測定に使用されることを特徴とする、
請求項1から8までのうちいずれか1項記載の測定装置の使用法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19808273.8 | 1998-02-27 | ||
DE19808273A DE19808273A1 (de) | 1998-02-27 | 1998-02-27 | Interferometrische Meßeinrichtung zum Erfassen der Form oder des Abstandes insbesondere rauher Oberflächen |
PCT/DE1999/000433 WO1999044009A1 (de) | 1998-02-27 | 1999-02-16 | Interferometrische messeinrichtung zum erfassen der form oder des abstandes insbesondere rauher oberflächen |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002505414A JP2002505414A (ja) | 2002-02-19 |
JP4388695B2 true JP4388695B2 (ja) | 2009-12-24 |
Family
ID=7859083
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000533712A Expired - Lifetime JP4388695B2 (ja) | 1998-02-27 | 1999-02-16 | 形状又は距離間隔、例えば粗面の面形状又は距離間隔の干渉計形測定装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6724485B1 (ja) |
EP (1) | EP1058812B1 (ja) |
JP (1) | JP4388695B2 (ja) |
DE (2) | DE19808273A1 (ja) |
WO (1) | WO1999044009A1 (ja) |
Families Citing this family (48)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19819762A1 (de) | 1998-05-04 | 1999-11-25 | Bosch Gmbh Robert | Interferometrische Meßeinrichtung |
EP1292805B1 (de) * | 2000-06-21 | 2012-08-22 | Komet Group GmbH | Messeinrichtung zur erfassung von dimensionen von prüflingen |
EP1210564B1 (de) | 2000-07-07 | 2006-08-23 | Robert Bosch Gmbh | Interferometrische messvorrichtung |
US6822746B2 (en) | 2000-07-07 | 2004-11-23 | Robert Bosch Gmbh | Interferometric, low coherence shape measurement device for a plurality of surfaces (valve seat) via several reference planes |
DE10039239A1 (de) * | 2000-08-11 | 2002-03-07 | Bosch Gmbh Robert | Optische Messvorrichtung |
DE10057539B4 (de) * | 2000-11-20 | 2008-06-12 | Robert Bosch Gmbh | Interferometrische Messvorrichtung |
DE10057540A1 (de) * | 2000-11-20 | 2002-06-06 | Bosch Gmbh Robert | Interferometrische Messvorrichtung |
DE10155203A1 (de) * | 2001-11-09 | 2003-06-18 | Bosch Gmbh Robert | Laserbearbeitungsvorrichtung |
DE10204136B4 (de) * | 2002-02-01 | 2004-03-25 | Robert Bosch Gmbh | Interferometrische Messvorrichtung |
DE10204133B4 (de) * | 2002-02-01 | 2004-05-27 | Robert Bosch Gmbh | Interferometrisches Messverfahren und Vorrichtung |
DE10244552B3 (de) | 2002-09-25 | 2004-02-12 | Robert Bosch Gmbh | Interferometrische Messeinrichtung |
DE10244553B3 (de) * | 2002-09-25 | 2004-02-05 | Robert Bosch Gmbh | Interferometrische Messeinrichtung |
DE10246798B3 (de) * | 2002-10-08 | 2004-06-09 | Robert Bosch Gmbh | Interferometrische Messeinrichtung |
DE10301607B4 (de) * | 2003-01-17 | 2005-07-21 | Robert Bosch Gmbh | Interferenzmesssonde |
DE10331966A1 (de) * | 2003-07-15 | 2005-02-03 | Robert Bosch Gmbh | Optische Meßeinrichtung |
DE10337896A1 (de) * | 2003-08-18 | 2005-03-17 | Robert Bosch Gmbh | Interferometrische Messvorrichtung zum Erfassen von Geometriedaten von Oberflächen |
DE10337894A1 (de) | 2003-08-18 | 2005-03-17 | Robert Bosch Gmbh | Optisches Messsystem zum Erfassen von Geometriedaten von Oberflächen |
DE102004010754A1 (de) * | 2004-03-05 | 2005-09-22 | Robert Bosch Gmbh | Interferometrische Messanordnung |
DE102004026193B4 (de) * | 2004-05-28 | 2012-03-29 | Carl Mahr Holding Gmbh | Messverfahren zur Formmessung |
DE102004038186A1 (de) * | 2004-08-06 | 2006-03-16 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zum Vermessen von Oberflächen mittels einer interferometrischen Anordnung |
DE102004045802B4 (de) * | 2004-09-22 | 2009-02-05 | Robert Bosch Gmbh | Interferometrisches System mit Referenzfläche mit einer verspiegelten Zone |
DE102005041491A1 (de) * | 2005-09-01 | 2007-03-08 | Robert Bosch Gmbh | Interferometrische Messeinrichtung |
DE102005046605A1 (de) | 2005-09-29 | 2007-04-05 | Robert Bosch Gmbh | Interferometrische Messeinrichtung |
DE102005050274A1 (de) | 2005-10-20 | 2007-04-26 | Robert Bosch Gmbh | Koppelvorrichtung für eine Lichtführung |
DE102006001732A1 (de) | 2006-01-13 | 2007-07-19 | Robert Bosch Gmbh | Interferometrische Messvorrichtung |
JP2007205918A (ja) * | 2006-02-02 | 2007-08-16 | Olympus Corp | 計測内視鏡 |
US7417744B2 (en) * | 2006-02-27 | 2008-08-26 | Los Alamos National Security, Llc | Coherent hybrid electromagnetic field imaging |
DE102006014766A1 (de) | 2006-03-30 | 2007-10-04 | Robert Bosch Gmbh | Interferometrische Messvorrichtung |
CN100470191C (zh) * | 2007-02-13 | 2009-03-18 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 全光纤斐索干涉共焦测量装置 |
DE102007017664A1 (de) | 2007-04-14 | 2008-10-16 | Carl Mahr Holding Gmbh | Interferenzoptisches Tastschnittgerät |
DE102007024197B4 (de) | 2007-05-24 | 2017-01-05 | Robert Bosch Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zur Formmessung von Freiform-Flächen |
DE102007039556B3 (de) * | 2007-08-22 | 2009-01-22 | Carl Mahr Holding Gmbh | Optische Mikrosonde |
DE102008002206A1 (de) | 2008-04-30 | 2009-11-05 | Robert Bosch Gmbh | Faseroptischer Tastkopf und interferometrische Messanordnung |
US8107084B2 (en) * | 2009-01-30 | 2012-01-31 | Zygo Corporation | Interference microscope with scan motion detection using fringe motion in monitor patterns |
EP2236978B8 (en) * | 2009-04-01 | 2013-12-04 | Nederlandse Organisatie voor toegepast -natuurwetenschappelijk onderzoek TNO | Optical measuring device and method to determine the shape of an object and a machine to shape the object. |
DE102009045261A1 (de) | 2009-10-01 | 2011-04-07 | Robert Bosch Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zur Formmessunung von Freiform-Flächen |
DE102010022421B4 (de) | 2010-06-01 | 2012-01-05 | Carl Mahr Holding Gmbh | Messeinrichtung und Messverfahren zur absoluten Abstandsmessung |
DE102010062626A1 (de) | 2010-12-08 | 2012-06-14 | Robert Bosch Gmbh | Tastsystem zur Erfassung der Form, des Durchmessers und/oder der Rauhigkeit einer Oberfläche |
EP2541193A1 (de) * | 2011-06-27 | 2013-01-02 | Hexagon Technology Center GmbH | Interferometrisches Entfernungsmessverfahren zum Vermessen von Oberflächen und ebensolche Messanordnung |
DE102011079447A1 (de) | 2011-07-20 | 2013-01-24 | Robert Bosch Gmbh | Vorrichtung zur taktilen Formbestimmung |
US20130265583A1 (en) * | 2012-04-06 | 2013-10-10 | Teledyne Scientific & Imaging, Llc | Fiber optic position sensing system |
DE102012212785A1 (de) | 2012-07-20 | 2014-01-23 | Robert Bosch Gmbh | Optische Messsonde und Verfahren zur optischen Messung von Innen- und Außendurchmessern |
EP2690395A1 (de) | 2012-07-24 | 2014-01-29 | Hexagon Technology Center GmbH | Interferometrische Entfernungsmessanordnung und ebensolches Verfahren |
EP2690396A1 (de) | 2012-07-24 | 2014-01-29 | Hexagon Technology Center GmbH | Interferometrische Entfernungsmessanordnung und ebensolches Verfahren |
CN103788247B (zh) * | 2012-10-29 | 2016-05-25 | 中国石油化工股份有限公司 | 用于烯烃聚合的催化剂组分及其应用和用于烯烃聚合的催化剂及其应用以及烯烃聚合方法 |
DE102013202284A1 (de) | 2013-02-13 | 2014-08-14 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zur Reinigung einer optischen Messsonde |
US20180149468A1 (en) * | 2016-11-30 | 2018-05-31 | Apre Instruments, Llc | True heterodyne spectrally controlled interferometry |
DE202022000880U1 (de) | 2022-04-08 | 2023-07-11 | Fionec Gmbh | Rotationssymmetrische Verstelleinheit mit aktiver Messung der Drehtischabweichung |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3318678A1 (de) * | 1983-05-21 | 1984-11-22 | Adolf Friedrich Prof. Dr.-Phys. Fercher | Verfahren und vorrichtung zur interferometrie rauher oberflaechen |
JPH02173505A (ja) * | 1988-12-26 | 1990-07-05 | Brother Ind Ltd | 光波干渉型微細表面形状測定装置 |
DE3906118A1 (de) * | 1989-02-28 | 1990-08-30 | Bosch Gmbh Robert | Vorrichtung zur interferometrischen erfassung von oberflaechenstrukturen |
US5106192A (en) * | 1990-03-16 | 1992-04-21 | Eastman, Inc. | Polarization insensitive absolute interferometeric method and apparatus for measuring position angular bearing and optical paths |
GB9026622D0 (en) * | 1990-12-07 | 1991-01-23 | Ometron Limited | Apparatus for the measurement of surface shape |
DE4108944A1 (de) * | 1991-03-19 | 1992-09-24 | Haeusler Gerd | Verfahren und einrichtung zur beruehrungslosen erfassung der oberflaechengestalt von diffus streuenden objekten |
JP3234353B2 (ja) * | 1993-06-15 | 2001-12-04 | 富士写真フイルム株式会社 | 断層情報読取装置 |
DE4336318A1 (de) * | 1993-10-25 | 1995-04-27 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Anordnung zur Frequenzverschiebung von Licht, insbesondere in einem interferometrischen Meßsystem |
DE4404663A1 (de) * | 1994-02-14 | 1995-08-17 | Stiftung Fuer Lasertechnologie | Verfahren und Vorrichtung zur optischen Messung des Abstandes zweier paralleler Meßflächen |
DE19520305C2 (de) * | 1995-06-02 | 1997-04-17 | Fraunhofer Ges Forschung | Verfahren und Meßvorrichtung zur interferometrischen Abstandsmessung |
DE19819762A1 (de) * | 1998-05-04 | 1999-11-25 | Bosch Gmbh Robert | Interferometrische Meßeinrichtung |
-
1998
- 1998-02-27 DE DE19808273A patent/DE19808273A1/de not_active Ceased
-
1999
- 1999-02-16 JP JP2000533712A patent/JP4388695B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1999-02-16 EP EP99914423A patent/EP1058812B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1999-02-16 US US09/622,802 patent/US6724485B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1999-02-16 WO PCT/DE1999/000433 patent/WO1999044009A1/de active IP Right Grant
- 1999-02-16 DE DE59903540T patent/DE59903540D1/de not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO1999044009A1 (de) | 1999-09-02 |
US6724485B1 (en) | 2004-04-20 |
EP1058812B1 (de) | 2002-11-27 |
DE59903540D1 (de) | 2003-01-09 |
DE19808273A1 (de) | 1999-09-09 |
EP1058812A1 (de) | 2000-12-13 |
JP2002505414A (ja) | 2002-02-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4388695B2 (ja) | 形状又は距離間隔、例えば粗面の面形状又は距離間隔の干渉計形測定装置 | |
US5153669A (en) | Three wavelength optical measurement apparatus and method | |
JP5752040B2 (ja) | 対チャープfmcwコヒーレントレーザレーダー用の小型の光ファイバ配置 | |
US7826064B2 (en) | Interferometer system for monitoring an object | |
US5541730A (en) | Interferometric measuring apparatus for making absolute measurements of distance or refractive index | |
KR100854259B1 (ko) | 간섭 측정 장치 | |
US6490046B1 (en) | Modulation interferometer and fiberoptically divided measuring probe with light guided | |
JP5265918B2 (ja) | モード選択同調器からの光フィードバック | |
US5159408A (en) | Optical thickness profiler using synthetic wavelengths | |
JPH01503172A (ja) | 光学的ヘテロダイン処理を有する2波長のインターフェロメトリーのための方法および装置と位置または距離測定のための使用 | |
CN109324333B (zh) | 用于干涉式距离测量的装置 | |
Norgia et al. | Exploiting the FM-signal in a laser-diode SMI by means of a Mach–Zehnder filter | |
JPH03180704A (ja) | レーザ干渉計 | |
US6897961B2 (en) | Heterodyne lateral grating interferometric encoder | |
Tomic et al. | Low-coherence interferometric method for measurement of displacement based on a 3× 3 fibre-optic directional coupler | |
Ishii | Wavelength-tunable laser-diode interferometer | |
JPH04269883A (ja) | 2波長光の発生用の2つのレーザダイオードを有する装置 | |
CN115031622A (zh) | 用于干涉距离测量的装置 | |
JP4600755B2 (ja) | 波長モニタ | |
US7333210B2 (en) | Method and apparatus for feedback control of tunable laser wavelength | |
US6538746B1 (en) | Method and device for measuring absolute interferometric length | |
JP2013536411A (ja) | 物理的パラメータを測定するための外在光ファイバを有する干渉デバイス | |
van de Sande et al. | Wavelength-modulated Interferometer without Inter-axis Dependency | |
Walsh et al. | Novel passive compensation technique applied to a white light interferometric system | |
JP4604879B2 (ja) | 波長モニタ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060215 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080508 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080514 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20080812 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20080819 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081114 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090311 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090709 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20090716 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090904 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20091005 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121009 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121009 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131009 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |