JP4604879B2 - 波長モニタ - Google Patents
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Description
入力光ファイバ20の出射端から空間に射出され、レンズ21によって平行光に変換された被測定光が、射出光軸上に配置されたハーフミラー22に入射し、第1反射器側23と第2反射器側24に分岐される。
被測定光の波長を測定する波長モニタにおいて、
前記被測定光を2分岐して出力する光導波路型の光分岐素子と、
この光分岐素子から出力される2個の出射光を平行光にすると共に干渉させる干渉光学素子と、
この干渉光学素子からの干渉光を受光するフォトダイオードを複数有するフォトダイオードアレイと、
このフォトダイオードアレイの出力から位相が90°ずれた干渉信号を生成する干渉信号変換手段と、
この干渉信号変換手段の干渉信号から被測定光の波長を求める信号処理手段と
を設け、
前記光分岐素子は、光カプラであり、
この光カプラの出射端の間隔をファイバ径よりも狭くする光導波路型のピッチ変換素子を設けたことを特徴とするものである。
光分岐素子は、分岐され出射されるまでの光路長が異なり、出射端が並列に配置されることを特徴とするものである。
請求項3記載の発明は、請求項1記載の発明において、
ピッチ変換素子は、平面光回路基板であることを特徴とするものである。
請求項4記載の発明は、請求項1記載の発明において、
ピッチ変換素子は、2本の光ファイバの溶融延伸から構成されることを特徴とするものである。
請求項5記載の発明は、請求項1〜4のいずれかに記載の発明において、
干渉光学素子は、レンズであることを特徴とするものである。
請求項6記載の発明は、請求項1〜4のいずれかに記載の発明において、
干渉光学素子は、凹面反射鏡であることを特徴とするものである。
請求項7記載の発明は、請求項1記載の発明において、
フォトダイオードアレイは、フォトダイオードを少なくとも4個有し、
前記フォトダイオードのそれぞれは、干渉光の干渉縞の空間的な1周期を4等分して受光することを特徴とするものである。
請求項8記載の発明は、請求項1記載の発明において、
干渉光学素子は、前記フォトダイオードアレイのフォトダイオードの並ぶ方向に対して、前記出射光を平行光にすることを特徴とするものである。
請求項1〜8によれば、光導波路型の光分岐素子が、被測定光を2分岐して異なる光路を経て出射端から出力する。そして、干渉光学素子が、出力された2個の出射光を平行光にすると共に、僅かな傾きを持たして干渉させる。そして、干渉光をフォトダイオードアレイで受光するので、平行光を各種光学素子に入射する構造でなく、光学素子表面の残留反射率で発生する多重干渉を抑えることができる。これにより、干渉ノイズが少なく、安定した干渉信号を測定できる。
[第1の実施例]
図1は、本発明の第1の実施例を示した構成図である。図2は、図1に示す装置のフォトダイオードアレイ43近傍および干渉信号変換手段44を詳細に示した図である。図1において、入力光ファイバ40は、被測定光が伝送される。
光ファイバ40が、図示しないレーザ光源からの被測定光をPLC基板41に伝送する。PLC基板41が、光ファイバ40から入射された被測定光を光路長が異なる2つの光導波路41a、41bに分岐し、2つの光導波路41a、41bの出射端41c、41d面から2つの光ビームを出射する。ここで、2つの光導波路41a、41bの出射端41c、41dは、数十[μm]のピッチで並列に配置されている。
図3は、本発明の第2の実施例を示した構成図である。ここで、図1、図2と同一のものは同一符号を付し、説明を省略する。図3において、PLC基板の代わりに光ファイバで構成される2入力2出力の光カプラ46が設けられる。
光カプラ46が、図示しない光源からの被測定光を、光路長が異なる2つの光導波路46a、46bに分岐し、2つの光導波路46a、46bの出射端46c、46d面から2つの光ビームを出射する。ここで、2つの光導波路46a、46bの出射端46c、46dは、V溝基板47によって保持され、所定のピッチで並列に配置されている。
図4は、本発明の第3の実施例を示した構成図である。ここで、図3と同一のものは同一符号を付し、説明を省略する。図4において、光カプラ46とレンズ42の間に、ピッチ変換素子48が新たに設けられる。また、V溝基板47が取り外される。
ピッチ変換素子48が、光カプラ46からの被測定光を、光導波路48a、48bによって伝送して出射端48c、48d面から2つの光ビームを出射する。
図5は、本発明の第4の実施例を示した構成図である。ここで、図1と同一のものは同一符号を付し、説明を省略する。図5(a)は、上面図であり、図5(b)は側面図である。図5において、レンズ42の代わりに凹面反射鏡49が設けられる。凹面反射鏡49は、干渉光学素子であり、PLC基板41の出射端41c、41dから出射される2個の出射光を反射して平行光にすると共に、合波および干渉させる。
PLC基板41の出射光軸上に配置された凹面反射鏡49が、PLC基板41からの2つの出射光をフォトダイオードアレイ43に反射すると共に、平行光に変換する。さらに、2つの出射光は、出射位置が数十[μm]離れているので、2つの平行光の出射方向は僅かに傾いた状態になり干渉する。そして、フォトダイオードアレイ43が、凹面反射鏡49からの干渉光を受光する。その他の動作は、図1に示す装置と同様なので説明を省略する。
図1、図3、図4、図5に示す装置において、フォトダイオードアレイ43は、4個のフォトダイオードP(1)〜P(4)を有する構成を示したが、フォトダイオードを少なくとも(4×n)個、有していればよく、フォトダイオードのそれぞれは、干渉縞の空間的な1周期を4等分(つまり、干渉縞の周期に対して90°ずれて設置)して受光する。
42 レンズ
43 フォトダイオードアレイ
44 干渉信号変換手段
45 信号処理手段
46 光カプラ
48 ピッチ変換素子
49 凹面反射鏡
P(1)〜P(n) フォトダイオード
Claims (8)
- 被測定光の波長を測定する波長モニタにおいて、
前記被測定光を2分岐して出力する光導波路型の光分岐素子と、
この光分岐素子から出力される2個の出射光を平行光にすると共に干渉させる干渉光学素子と、
この干渉光学素子からの干渉光を受光するフォトダイオードを複数有するフォトダイオードアレイと、
このフォトダイオードアレイの出力から位相が90°ずれた干渉信号を生成する干渉信号変換手段と、
この干渉信号変換手段の干渉信号から被測定光の波長を求める信号処理手段と
を設け、
前記光分岐素子は、光カプラであり、
この光カプラの出射端の間隔をファイバ径よりも狭くする光導波路型のピッチ変換素子を設けたことを特徴とする波長モニタ。 - 光分岐素子は、分岐され出射されるまでの光路長が異なり、出射端が並列に配置されることを特徴とする請求項1記載の波長モニタ。
- ピッチ変換素子は、平面光回路基板であることを特徴とする請求項1記載の波長モニタ。
- ピッチ変換素子は、2本の光ファイバの溶融延伸から構成されることを特徴とする請求項1記載の波長モニタ。
- 干渉光学素子は、レンズであることを特徴とする請求項1〜4のいずれに記載の波長モニタ。
- 干渉光学素子は、凹面反射鏡であることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の波長モニタ。
- フォトダイオードアレイは、フォトダイオードを少なくとも4個有し、
前記フォトダイオードのそれぞれは、干渉光の干渉縞の空間的な1周期を4等分して受光することを特徴とする請求項1記載の波長モニタ。 - 干渉光学素子は、前記フォトダイオードアレイのフォトダイオードの並ぶ方向に対して、前記出射光を平行光にすることを特徴とする請求項1記載の波長モニタ。
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JPH11264765A (ja) * | 1998-01-16 | 1999-09-28 | Thilo Weitzel | 光信号処理装置 |
JP2000186912A (ja) * | 1998-12-22 | 2000-07-04 | Seiko Giken:Kk | 微小変位測定方法および装置 |
JP2002214049A (ja) * | 2001-01-17 | 2002-07-31 | Ando Electric Co Ltd | 波長モニタ |
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JPH01187406A (ja) * | 1988-01-22 | 1989-07-26 | Rikagaku Kenkyusho | 等間隔干渉縞の位置検出法ならびに位置検出装置 |
JPH11264765A (ja) * | 1998-01-16 | 1999-09-28 | Thilo Weitzel | 光信号処理装置 |
JP2000186912A (ja) * | 1998-12-22 | 2000-07-04 | Seiko Giken:Kk | 微小変位測定方法および装置 |
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