JPH11274643A

JPH11274643A - 可変波長半導体レーザ光源

Info

Publication number: JPH11274643A
Application number: JP7043398A
Authority: JP
Inventors: Shinya Nagashima; 伸哉長島
Original assignee: Ando Electric Co Ltd
Current assignee: Ando Electric Co Ltd
Priority date: 1998-03-19
Filing date: 1998-03-19
Publication date: 1999-10-08

Abstract

(57)【要約】【課題】可変波長ＬＤ光源において、高価な波長計を
用いずに、高確度化を実現する。【解決手段】外部共振器型ＬＤ光源部１と、駆動部２
と、該駆動部２を制御する制御部３と、光源部１からの
出力光を２分岐する光分岐器４と、該光分岐器４からの
一方の出力光を少なくとも３分岐以上に分岐する光分岐
器５と、該光分岐器５から出力された光ａ１をその光の
波長に対応した角度で出力する回折格子１４と、該回折
格子１４から出力された光の入射位置を検出して制御部
３へと送信する受光器アレイ部１６と、光分岐器５から
出力された光ａ３、光ａ４の波長に対応した干渉強度を
出力するファブリペロー干渉計７、１１と、これらの干
渉強度率を求めて制御部３へと送信する干渉強度率測定
部９と、を備えた可変波長ＬＤ光源である。制御部２
は、干渉強度率及び入射位置から導き出される現在波長
値に基づいて、駆動部２を制御して、光源部１の発振波
長を補正する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光信号源を用いる
技術の全ての分野に用いられ、特に、光通信、光コヒー
レント計測技術分野に用いられる可変波長半導体レーザ
光源に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】可変波長範囲が１００ｎｍ程度の可変波
長半導体レーザ光源の光源部には、通常、外部共振器型
の半導体レーザ（以下、ＬＤとする）が使用されてい
る。そして、外部共振器の一方の鏡に、波長選択素子で
ある回折格子（分散分光手段）を使用して単一モード発
振させ、回折格子の反射波長を機械的に可変することに
より、広範囲の波長掃引を可能としている。

【０００３】図７は、従来技術による可変波長ＬＤ光源
の一構成例を示すもので、この図７において、１は外部
共振器型ＬＤ光源部、２は駆動部、３は制御部、１７は
原点スイッチである。この可変波長ＬＤ光源において、
制御部３は、電源投入時に原点スイッチ１７が動作する
位置まで駆動部２を操作する。この原点スイッチ１７の
動作位置における現在波長値は、原点波長として、あら
かじめ正確な波長計で測定し、記憶しておく。駆動部２
は、外部共振器型ＬＤ光源部１を構成する回折格子（後
述）の反射波長を機械的に可変する。ここで、駆動部２
の状態と発振波長の関係は既知であり、制御部３は既知
の関係式により波長設定を行う。

【０００４】次に、外部共振器型ＬＤ光源部１の構成例
について、図８を参照しながら説明する。図８におい
て、１０１は回折格子、１０２，１０５，１０７はレン
ズ、１０６は光アイソレータ、１０３は無反射膜、１０
４はＬＤ、１０８は光ファイバ、１０９はＬＤ駆動回路
である。この外部共振器型ＬＤ光源部１において、外部
共振器は、ＬＤ端面Ｂと回折格子１０１で構成され、そ
の共振器長は、回折格子１０１の光軸Ｘ上の点Ａとし
て、線分ＡＢである。そして、ＬＤ１０４の回折格子１
０１側端面には、不要な反射を除去するために、無反射
膜１０３が形成されている。また、レンズ１０２，１０
５は、ＬＤ１０４の出射ビームを平行ビームにそれぞれ
変換するコリメータである。以上において、外部共振器
ＬＤ１０４の出力光は、ＬＤ端面Ｂ側から得られ、レン
ズ１０７により集光された後、光ファイバ１０８によっ
て取り出される。そして、後続の光学系からの戻り光に
よるノイズを発生させないために、出力側には、光アイ
ソレータ１０６が挿入されている。なお、ＬＤ駆動回路
１０９は、所望の光出力レベルに相当するＬＤ駆動電流
を供給している。

【０００５】次に、外部共振器型ＬＤ光源部１の光学フ
ィルタ特性について、図９、図１０（ａ）、（ｂ）、
（ｃ）、（ｄ）を参照しながら説明する。図９は回折格
子の光学系を示すもので、図示のように、光軸Ｘと回折
格子１０１の法線Ｎgrのなす角をθ、格子間隔をｄと
し、同一の光軸Ｘ上に入射光と反射（回折）光を設定す
る。ここで、白色光を入射した時の反射光スペクトル
が、回折格子１０１のフィルタ特性（図１０（ａ））で
あり、その反射ピーク波長λｇｒは、ブラッグの式
（１）で求められる。 λｇｒ＝２ｄ×sin（θ）・・・（１）更に、外部共振器長をＬとすれば、その共振縦モード
は、ｍを整数として、ｍλｍ＝２Ｌ・・・（２）となり、この共振縦モードのスペクトルは図１０（ｂ）
となる。従って、１００ｎｍ以上の波長範囲で利得を有
するＬＤの利得特性を図１０（ｃ）とすれば、外部共振
器型ＬＤ光源１の発振波長は、図１０（ａ）のフィルタ
特性によって、図１０（ｄ）に示すような、単一モード
発振が得られる。このように、図１０（ａ）、（ｂ）、
（ｃ）の各特性を変化させれば、すなわち、Ｌ，θを適
宜可変すれば、波長掃引が可能となる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】従来技術による可変波
長ＬＤ光源は、機構上のバックラッシュやヒステリシ
ス、或いは温度変動や経時変化を含めた設定再現性とい
った誤差要因のため、設定分解能は高いものの、波長確
度は低かった。従って、波長確度を向上させるには、可
変波長ＬＤ光源以外に高価で大型な波長計を準備し、可
変波長ＬＤ光源から出力される波長を測定して波長設定
を補正するしかなかった。

【０００７】そこで、本発明は、高価な波長計を用いな
くとも、高確度化を実現することが可能な可変波長ＬＤ
光源を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、請求項１記載の発明は、可変波長半導体レーザ光源
において、外部共振器型半導体レーザ光源部と、外部共
振器長を可変する駆動部と、該駆動部と半導体レーザ駆
動電流を制御する制御部と、前記外部共振器型半導体レ
ーザ光源部からの出力光を２分岐して出力する第１の光
分岐器と、該第１の光分岐器からの一方の出力光を少な
くとも３分岐以上に複数分岐して出力する第２の光分岐
器と、該第２の光分岐器から複数分岐して出力された光
の１つを入射して、該入射した光をその光の波長に対応
した角度で出力する分散分光手段と、該分散分光手段か
ら出力された光の入射位置を検出するとともに、該検出
した入射位置を前記制御部へと送信する受光器アレイ部
と、前記第２の光分岐器から複数分岐して出力された光
の１つを入射して、該入射した光の波長に対応した干渉
強度を出力する少なくとも１以上の干渉分光手段と、前
記第２の光分岐器から複数分岐して出力された光の強度
と前記干渉分光手段から出力された前記干渉強度との比
較により、前記干渉分光手段毎の干渉強度率を算出し、
該算出した干渉強度率を前記制御部へと送信する干渉強
度率測定部と、を備え、前記制御部が、前記入射位置か
ら波長絶対値を算出し、前記干渉強度率から前記波長絶
対値を高分解能化した現在波長値を導き出し、該現在波
長値に基づいて、前記駆動部を制御して、前記外部共振
器型レーザ光源部の発振波長を補正することを特徴とし
ている。

【０００９】この請求項１記載の発明によれば、外部共
振器型半導体レーザ光源部からの出力光が第１の光分岐
器により２分岐され、該２分岐された一方の光が第２の
光分岐器により少なくとも３分岐以上に複数分岐され、
該複数分岐された光は、それぞれ、分散分光手段、少な
くとも１以上の干渉分光手段、干渉強度率測定部へと入
射される。分散分光手段に入射した光は、その光の波長
に対応した角度で受光器アレイ部に出力され、その入射
位置が、受光器アレイ部に検出されて制御部へと送信さ
れ、一方、干渉分光手段に入射した光は、その光の波長
に対応した干渉強度が干渉強度率測定部に出力され、そ
の干渉強度率が、第２の光分岐器から干渉強度率測定部
に入射された光の強度との比較により算出されて制御部
へと送信される。そして、制御部へと送信された入射位
置から波長絶対値が算出され、干渉強度率から波長絶対
値を高分解能化した現在波長値が導き出され、該現在波
長値に基づいて、制御部によって駆動部が制御されて外
部共振器型レーザ光源部の発振波長が補正されることと
なる。

【００１０】このように、外部共振器型レーザ光源部の
発振波長が、上記現在波長値に基づいて、補正されるた
め、例えば、高価な波長計などを用いなくとも、高確度
化を実現することが可能となる。

【００１１】請求項２記載の発明は、請求項１記載の可
変波長半導体レーザ光源であって、前記分散分光手段
が、回折格子により構成されることを特徴としている。

【００１２】この請求項２記載の発明によれば、回折格
子によって、第２の光分岐器から出力された光が、その
光の波長に対応した角度で受光器アレイ部へと出力され
る。

【００１３】請求項３記載の発明は、請求項１記載の可
変波長半導体レーザ光源であって、前記分散分光手段
が、音響光学素子と、該音響光学素子に超音波を出力す
る発振器と、により構成されることを特徴としている。

【００１４】この請求項３記載の発明によれば、発振器
から超音波が入力された状態の音響光学素子によって、
第２の光分岐器から出力された光が、その光の波長に対
応した角度で受光器アレイ部へと出力される。

【００１５】請求項４記載の発明は、請求項１〜３の何
れかに記載の可変波長半導体レーザ光源であって、前記
干渉分光手段が、ファブリペロー干渉計により構成され
ることを特徴としている。

【００１６】この請求項４記載の発明によれば、ファブ
リペロー干渉計によって、第２の光分岐器から出力され
た光の波長に対応した干渉強度が、干渉強度率測定部へ
と出力される。

【００１７】請求項５記載の発明は、請求項１〜３の何
れかに記載の可変波長半導体レーザ光源であって、前記
干渉分光手段が、マイケルソン干渉計により構成される
ことを特徴としている。

【００１８】この請求項５記載の発明によれば、マイケ
ルソン干渉計によって、第２の光分岐器から出力された
光の波長に対応した干渉強度が、干渉強度率測定部へと
出力される。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下に、本発明に係る可変波長Ｌ
Ｄ光源の実施の形態例を図１から図６に基づいて説明す
る。

【００２０】＜第１の実施の形態例＞図１は本発明を適
用した第１の実施の形態例に係る可変波長ＬＤ光源の構
成を示す図である。ただし、この図１において、前述し
た図７の各部と共通する部分には、同一の符号を付して
示し、その説明を省略する。

【００２１】図１において、４は光分岐器（第１の光分
岐器）、５は光分岐器（第２の光分岐器）、６、８、１
０、１２、１３、１５はレンズ、７、１１は干渉分光手
段としてのファブリペロー干渉計、９は干渉強度率測定
部、１４は分散分光手段としての回折格子、１６は受光
器アレイ部（以下ＰＤアレイ部とする）である。

【００２２】始めに、光分岐器４は、外部共振器型ＬＤ
光源部１からの出射光を２分岐して出力する。この光分
岐器４において２分岐された出射光の一方は、当該可変
波長ＬＤ光源の出力光となる。また、もう一方の光は、
現在波長値を測定するもので、光分岐器５へと入射され
てから、少なくとも３分岐以上（ここでは、４分岐とし
ている）に分岐される。光分岐器５において４分岐され
た光ａ１、ａ２、ａ３、ａ４は、光ａ１がレンズ１３、
光ａ２が干渉強度率測定部９、光ａ３がレンズ６、光ａ
４がレンズ１０へと、それぞれ入射される。

【００２３】出射光ａ１は、レンズ１３により平行光に
変換されて回折格子１４に入射される。回折格子１４
は、入射された光波長に対応した出射角度θで、光をレ
ンズ１５に出力する。レンズ１５は、平行光をＰＤアレ
イ部１６の素子上に集光する。ＰＤアレイ部１６は、レ
ンズ１５の焦点距離上に配置され、回折格子１４から角
度θで出射された光の入射位置を検出し、該検出した入
射位置を制御部３へと送信する。

【００２４】ここで、回折格子１４とＰＤアレイ部１６
による波長絶対値（現在波長の概算値）の測定方法につ
いて、図２を参照しながら詳細に説明する。図２は、回
折格子及びＰＤアレイ部の光学系図である。

【００２５】レンズ１３から回折格子１４に、入射角度
β（回折格子１４の法線１８とのなす角）で入射した光
は、図２に示すように、反射角度θで反射される。この
とき、回折格子１４に入射した光の波長λは、以下の関
係式（３）から、求めることができる。ｓｉｎθ＝λｍ／ｄ−ｓｉｎβ ・・・（３）この式（３）において、λは入射光の波長、ｄは回折格
子１４の溝間隔、ｍは回折格子１４の回折次数、βは回
折格子１４へ入射する光の入射角度、θは回折格子１４
から反射する光の反射角度を示している。

【００２６】上記のように回折格子１４に反射角度θで
反射された光は、適当な焦点距離のレンズ１５により、
ＰＤアレイ部１６の素子上に集光される。このＰＤアレ
イ部１６は、一列に並べられた受光素子のどの位置に光
が入射されたかを検出し、該検出した入射位置を制御部
３へと送信する。即ち、回折格子１４が波長変化量を角
度変化量に変換し、ＰＤアレイ部１６が角度変化量を位
置変化量に変換することにより、波長絶対値の測定が行
われている。

【００２７】一方、光分岐器５において分岐された出射
光ａ３は、図１に示すように、レンズ６に入射して平行
光に変換された後、ファブリペロー干渉計７に入射され
る。ファブリペロー干渉計７は、干渉強度（干渉光）を
レンズ８に入射し、該レンズ８は平行光を集光して干渉
強度率測定部９に入射する。同様に、光分岐器５におい
て分岐された出射光ａ４は、レンズ１０に入射して、該
レンズ１０により平行光に変換された後、ファブリペロ
ー干渉計１１に入射される。ファブリペロー干渉計１１
は、干渉強度（干渉光）をレンズ１２に入射し、該レン
ズ１２は平行光を集光して干渉強度率測定部９に入射す
る。また、光分岐器５において分岐された出射光ａ２
は、干渉強度率測定部９に直接入射される。

【００２８】干渉強度率測定部９では、外部共振器型Ｌ
Ｄ光源部１自体の光強度変動を相殺するため、ファブリ
ペロー干渉計７、１１より入力された干渉強度（干渉
光）と光分岐器５からの直接入射光を測定し、その強度
比、すなわちファブリペロー干渉計７、１１の干渉強度
率を求めて、制御部３へと送信する。そして、制御部３
は、精密な波長計を使用して、あらかじめ測定記憶して
おいたＰＤアレイ部１６の入射位置と波長の関係、ファ
ブリペロー干渉計７、１１の干渉強度率と波長の関係に
基づき、ＰＤアレイ部１６から出力された入射位置と干
渉強度率測定部９から出力されたファブリペロー干渉計
７、１１の干渉強度率とから、現在波長値を演算し、該
現在波長値と外部共振器型ＬＤ光源部１に設定された波
長値とが一致するように、駆動部２を制御する。

【００２９】次に、現在波長値の測定方法について、図
３及び図４を用いて説明する。

【００３０】図３はファブリペロー干渉計の光学系図で
ある。図４（ａ）はファブリペロー干渉計７の干渉強度
率を示す図、図４（ｂ）はファブリペロー干渉計１１の
干渉強度率を示す図である。

【００３１】ファブリペロー干渉計７、１１は、図３に
示すように、端面Ａ、Ｂが高精度に平行化されたガラス
基板で構成されている。このファブリペロー干渉計７、
１１は、その干渉強度率が、図４（ａ）及び（ｂ）に示
すように、入射波長に対応して、周期的に変化するよう
になっている。このファブリペロー干渉計７、１１それ
ぞれの各干渉ピーク波長間隔λｋは、図３における各パ
ラメータにより、以下の式（４）で求めることができ
る。 λｋ＝λ２／２ｎＤ・・・（４）この式（４）において、Ｄは端面Ａ、Ｂの間隔（ガラス
基板厚）、ｎは屈折率である。また、各干渉ピーク波長
間隔λｋは、一般的に、自由スペクトル領域（以下、Ｆ
ＳＲとする）と定義され、端面反射率を２７％程度に設
定した場合には、図４（ａ）及び（ｂ）に示すように、
ファブリペロー干渉計７、１１の干渉強度率は、正弦波
に近い曲線を示す。

【００３２】ファブリペロー干渉計７の干渉強度率の読
み取り分解能ｙは、図４（ａ）に示すように、波長測定
分解能λ１と等価である。しかし、干渉強度率だけでは
干渉強度率曲線の立ち上がりと立ち下がりを区別する事
は不可能であり、波長絶対値も測定できない。そこで、
波長絶対値については、前述のように、回折格子１４と
ＰＤアレイ部１６により測定し、更に高分解能化した現
在波長値を導き出すために、ファブリペロー干渉計７の
干渉強度率より波長絶対値に対する相対値を測定する。
従って、回折格子１４とＰＤアレイ部１６とから測定さ
れる波長絶対値の測定分解能は、干渉強度率曲線の立ち
上がりと立ち下がりとを区別可能な分解能が要求され
る。

【００３３】ファブリペロー干渉計１１は、図４（ｂ）
に示すように、そのＦＳＲが前記波長分解能λ１の２倍
以下となるファブリペロー干渉計である。ファブリペロ
ー干渉計７、１１の干渉強度率の読み取り分解能ｙを同
一と仮定すれば、ファブリペロー干渉計７、１１を組み
合わせることで、λ１より更に小さな分解能λ２まで波
長絶対値に対する相対値を測定することが可能である。
このように、ファブリペロー干渉計を多段にすること
で、現在波長値を、より高分解能化することが可能であ
る。

【００３４】この実施の形態の可変波長ＬＤ光源によれ
ば、外部共振器型ＬＤ光源部１からの出力光が光分岐器
４により２分岐され、該２分岐された一方の光が光分岐
器５により４分岐され、該分岐された光ａ１、ａ２、ａ
３、ａ４は、それぞれ、回折格子１４、ファブリペロー
干渉計７、１１、干渉強度率測定部９へと入射される。
回折格子１４に入射した光ａ１は、その光の波長に対応
した角度でＰＤアレイ部１６に出力され、その入射位置
が、ＰＤアレイ部１６に検出されて制御部３へと送信さ
れ、一方、ファブリペロー干渉計７、１１に入射した光
ａ３、ａ４は、その光の波長に対応した干渉強度が干渉
強度率測定部９に出力され、その干渉強度率が、光分岐
器５から干渉強度率測定部９に入射された光ａ２の強度
との比較により算出されて制御部３へと送信される。そ
して、制御部３へと送信された入射位置から波長絶対値
が算出され、干渉強度率から波長絶対値を高分解能化し
た現在波長値が導き出され、該現在波長値に基づいて、
駆動部２が制御されて外部共振器型レーザ光源部１の発
振波長が補正されることとなる。このように外部共振器
型レーザ光源部１の発振波長が、上記現在波長値に基づ
いて補正されるため、例えば、高価な波長計などを用い
なくとも、高確度化を実現することが可能となる。

【００３５】＜第２の実施の形態例＞第２の実施の形態
例では、分散分光手段が、第１の実施の形態例の回折格
子１４に代わって、音響光学素子１９と発振器２０とに
より構成されている。この第２の実施の形態例特有の部
分以外は、上記第１の実施の形態例におけると同様であ
る。この第２の実施の形態例において、前述の第１の実
施の形態例の可変波長半導体ＬＤ光源と同一部分につい
ては、同一符号を付し、その説明を省略する。

【００３６】図５は、本発明を適用した第２の実施の形
態例に係る可変波長ＬＤ光源に備わる、音響光学素子及
び発振器の光学系図である。

【００３７】音響光学素子１９は、図５に示すように、
レンズ１３から入射された光を、その波長に対応した出
射角度θａで、レンズ１５に出射する。この出射角度θ
ａは、発振器２０から出力される超音波の発振周波数Ｆ
と、入射された光波長λと、音響光学素子１９内を伝わ
る超音波の速さＶとの関係式（５）から、求めることが
できる。 θａ＝ｓｉｎ−１（λＦ／２Ｖ）・・・（５）このように、音響光学素子１９と発振器２０とから構成
される分散分光手段によっても、第１の実施の形態例の
回折格子１４と同様、光の波長に対応した角度で、ＰＤ
アレイ部１６に、光を出力することが可能である。

【００３８】＜第３の実施の形態例＞第３の実施の形態
例では、干渉分光手段が、第１の実施の形態例のファブ
リペロー干渉計７、１１に代わって、マイケルソン干渉
計により構成されている。この第３の実施の形態例特有
の部分以外は、前記第１の実施の形態例におけると同様
である。この第３の実施の形態例において、前述の第１
の実施の形態例の可変波長半導体ＬＤ光源と同一部分に
ついては、同一符号を付し、その説明を省略する。

【００３９】図６は、本発明を適用した第３の実施の形
態例に係る可変波長ＬＤ光源に備わる、マイケルソン干
渉計の光学系図である。ここでは、ファブリペロー干渉
計７の代替としてのマイケルソン干渉計について説明
し、ファブリペロー干渉計１１の代替となるマイケルソ
ン干渉計については、その説明を省略する。

【００４０】マイケルソン干渉計は、図６に示すよう
に、ビームスプリッタ２１、反射鏡２２、２３等により
構成されている。レンズ６より入射された光は、ビーム
スプリッタ２１により２分岐され、該２分岐された光
は、それぞれ反射鏡２２、２３により反射される。これ
ら反射鏡２２、２３により反射された光は、再びビーム
スプリッタ２１で合波され、干渉現象を生じる。この干
渉現象は、前述のファブリペロー干渉計７、１１の場合
と同様、入射波長に出力の干渉強度が依存するものであ
り、ビームスプリッタ２１と反射鏡２２の距離をＬ１、
ビームスプリッタ２１と反射鏡２３の距離をＬ２とし、
これらＬ１とＬ２の差をＤとすれば、前記（４）式をそ
のまま適用することができる。このように、マイケルソ
ン干渉計から構成される干渉分光手段によっても、第１
の実施の形態例のファブリペロー干渉計７、１１と同
様、干渉強度率測定部９に対して、現在波長に対応した
干渉強度（干渉光）を出力することが可能である。

【００４１】

【発明の効果】以上のように、本発明に係る可変波長Ｌ
Ｄ光源によれば、干渉強度率測定部からの干渉強度率
と、受光器アレイ部からの入射位置とから導き出され
た、高分解能化した現在波長値に基づいて、駆動部が制
御されて、外部共振器型レーザ光源部の発振波長が補正
されるため、例えば、高価な波長計などを用いなくと
も、高確度化を実現することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を適用した第１の実施の形態例に係る可
変波長ＬＤ光源の構成を示す図である。

【図２】図１の可変波長ＬＤ光源に備わる、回折格子及
びＰＤアレイ部の光学系図である。

【図３】図１の可変波長ＬＤ光源に備わる、ファブリペ
ロー干渉計の光学系図である。

【図４】ファブリペロー干渉計の干渉強度率を示す図で
ある。

【図５】本発明を適用した第２の実施の形態例に係る可
変波長ＬＤ光源に備わる、音響光学素子及び発振器の光
学系図である。

【図６】本発明を適用した第３の実施の形態例に係る可
変波長ＬＤ光源に備わる、マイケルソン干渉計の光学系
図である。

【図７】従来技術による可変波長ＬＤ光源の一構成例を
示す図である。

【図８】図７の可変波長ＬＤ光源に備わる、外部共振器
型ＬＤ光源部の構成例を示す図である。

【図９】図８の外部共振器型ＬＤ光源部を構成する回折
格子の光学系図である。

【図１０】可変波長ＬＤ光源の発振モード選択原理図
で、（ａ）は波長−回折格子反射率特性図、（ｂ）は波
長−共振器モード特性図、（ｃ）は波長−ＬＤ利得特性
図、（ｄ）は波長−発振モード特性図である。

【符号の説明】

１外部共振器型ＬＤ光源部２駆動部３制御部４光分岐器（第１の光分岐器）５光分岐器（第２の光分岐器）６、８、１０、１２、１３、１５レンズ７、１１ファブリペロー干渉計（干渉分光手段）９干渉強度率測定部１４回折格子（分散分光手段）１６ＰＤアレイ部（受光器アレイ部）１９音響光学素子（分散分光手段）２０発振器（分散分光手段）２１ビームスプリッタ２２、２３反射鏡

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】外部共振器型半導体レーザ光源部と、外部共振器長を可変する駆動部と、該駆動部と半導体レーザ駆動電流を制御する制御部と、前記外部共振器型半導体レーザ光源部からの出力光を２
分岐して出力する第１の光分岐器と、該第１の光分岐器からの一方の出力光を少なくとも３分
岐以上に複数分岐して出力する第２の光分岐器と、該第２の光分岐器から複数分岐して出力された光の１つ
を入射して、該入射した光をその光の波長に対応した角
度で出力する分散分光手段と、該分散分光手段から出力された光の入射位置を検出する
とともに、該検出した入射位置を前記制御部へと送信す
る受光器アレイ部と、前記第２の光分岐器から複数分岐して出力された光の１
つを入射して、該入射した光の波長に対応した干渉強度
を出力する少なくとも１以上の干渉分光手段と、前記第２の光分岐器から複数分岐して出力された光の強
度と前記干渉分光手段から出力された前記干渉強度との
比較により、前記干渉分光手段毎の干渉強度率を算出
し、該算出した干渉強度率を前記制御部へと送信する干
渉強度率測定部と、を備え、前記制御部は、前記入射位置から波長絶対値を算出し、
前記干渉強度率から前記波長絶対値を高分解能化した現
在波長値を導き出し、該現在波長値に基づいて、前記駆
動部を制御して、前記外部共振器型レーザ光源部の発振
波長を補正することを特徴とする可変波長半導体レーザ
光源。
【請求項２】前記分散分光手段は、回折格子により構成
されることを特徴とする請求項１記載の可変波長半導体
レーザ光源。
【請求項３】前記分散分光手段は、音響光学素子と、該
音響光学素子に超音波を出力する発振器と、により構成
されることを特徴とする請求項１記載の可変波長半導体
レーザ光源。
【請求項４】前記干渉分光手段は、ファブリペロー干渉
計により構成されることを特徴とする請求項１〜３の何
れかに記載の可変波長半導体レーザ光源。
【請求項５】前記干渉分光手段は、マイケルソン干渉計
により構成されることを特徴とする請求項１〜３の何れ
かに記載の可変波長半導体レーザ光源。